JP2004019870A

JP2004019870A - 塗布装置

Info

Publication number: JP2004019870A
Application number: JP2002178701A
Authority: JP
Inventors: Taku Iwade; 岩出　卓; Junichi Uehara; 上原　淳一
Original assignee: Toray Engineering Co Ltd
Current assignee: Toray Engineering Co Ltd
Priority date: 2002-06-19
Filing date: 2002-06-19
Publication date: 2004-01-22

Abstract

【課題】ケーブル支持装置が支持台から「つ」の字状に順次持ち上がる際、または「つ」の字状への繰り返し動作の際に、ブロックの外周面と支持台との間に摩擦力が生じず、ステージの走行速度に変動が発生するのを防止することである。
【解決手段】機台１上を直線的に移動するステージ２と、該ステージ上に吸着された被処理物１００に所定の液状物２００を塗布する塗布機構３と、一端が前記ステージ２に接続され、他端が固定部４に接続されたケーブル５を支持するケーブル支持手段６とを備え、前記ケーブル支持手段６が、ケーブル５を支持する複数のブロック１４、１６が弾性体１５、１７により接続されていると共に該ブロック１４、１６の外周面部が曲線状に形成された構成にしてある。
【選択図】　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はガラス板あるいは樹脂フィルム等の被処理物にレジスト等の液状物を塗布する塗布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ガラス板あるいは樹脂フィルム等の被塗布物にレジスト等の液状物を塗布する塗布装置は例えばベース上を直線的に移動するステージと、該ステージ上に吸着された被塗布板に液状物を塗布するダイ等の塗布機構と、一端が前記ステージに接続され、他端が固定部に接続された電源を供給するケーブルあるいは信号をやり取りするケーブルあるいは圧縮空気供給用チューブ、真空用チューブを支持するケーブル支持手段とを備えた構成になっている。
【０００３】
該ケーブル支持手段としては例えば特開２０００−１６１４４７号公報に記載されているような長尺体支持装置あるいは特開２０００−１０２１５３号公報に記載されているような可動式電線体が提案されている。
【０００４】
前者の長尺体支持装置は屈曲のための可撓性を有するベルト基部と、屈曲時における外周側に設けられ、互いの当接で屈曲以外はベルト基部を直線状に維持する第１の当接部と、屈曲持における内周側に設けられ互いの当接で円弧形状を維持する第２の当接部と、ケーブル等の長尺体を収容する空間部とを一体形成すると共に前記ベルト基部に対して所定のピッチで設けられた複数の歯部材とにより構成されており、後者の可動式電線体は屈曲のための可撓性を有する可撓基部と、該可撓基部の幅方向に沿うように配設された電線と、屈曲時に外周側となる前記可撓基部に所定ピッチで固定されることで、可撓基部を長手方向に略直線状に維持する外側矯正歯と、屈曲時に内周側となる前記可撓基部に所定ピッチで固定されると共に円弧形状を維持する形状部を有する複数の内側矯正歯とにより構成されている。
【０００５】
上述の長尺体支持装置と可動式電線体はベルト基部あるいは可撓基部によって歯部材あるいは矯正歯が連結され、該歯部材（矯正歯）は一方向にのみ屈曲（「つ」の字状または逆方向の「つ」の字状に連続的に曲がる）し、屈曲時の曲率は互いの部材の一部がぶつかり合うことで決定されるようになっており、他方向に対しては歯部材の一部がぶつかり合うことで屈曲するのを防ぐようになっている。
【０００６】
上述の長尺体支持装置および可動式電線体は騒音を減らすことには有効である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述の塗布装置においてステージ上に載置された被処理物に対し、ダイ等の塗布機構から連続して吐出される液状物を均一に塗布するためにはステージの走行速度が変動しないか変動量を小さくする必要がある。
【０００８】
しかし、上述の長尺体支持装置および可動式電線体の構成では、歯部材が多角形運動すると共に歯部材がそれを支持する支持台から「つ」の字状に順次持ち上がる際、歯部材の外周面と支持台との間に摩擦力が生じ、これが負荷変動の要因となってステージの走行速度に変動が生じて液状物を均一な厚さに塗布することができないという問題がある。
【０００９】
本発明はケーブル支持手段が支持台から「つ」の字状に順次持ち上がる際、または「つ」の字状への繰り返し動作の際に、ブロックの外周面と支持台との間に摩擦力が生じず、ステージの走行速度に変動が発生しないようにすることである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を達成するために本発明の塗布装置は請求項１に記載されているように機台上を直線的に移動するステージと、該ステージ上に吸着された被処理板に所定の液状物を塗布する塗布機構と、一端が前記ステージに接続され、他端が固定部に接続されたケーブルを支持するケーブル支持手段とを備え、前記ケーブル支持手段が、ケーブルを支持する複数のブロックが弾性体により接続されていると共に該ブロックの外周面部が曲線状に形成された構成にしてある。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の塗布装置の構成の一実施形態を示す概略図であり、該塗布装置は機台１上を直線的に移動するステージ２と、該ステージ２上に吸着された被塗布物１００に液状物２００を塗布する塗布機構３と、一端が前記ステージ２の駆動手段（図示せず）等に接続され、他端が中継箱等の固定部４に接続された電源を供給するケーブルあるいは信号をやり取りするケーブル等のケーブル５を支持するケーブル支持手段６とを備えた構成になっている。
【００１２】
上述のステージ２はガラス板、合成樹脂フイルム等の被塗布物を吸着する吸着機能を有するテーブル７と、該テーブルを機台１に形成されたレール１ａに沿って移動させる車輪８と、該車輪８を回転させるサーボモータ、ステッピングモータ等の駆動手段（図示せず）を備えた構成になっている。
【００１３】
該ケーブル支持手段６はブロック連結体１０、１１と、該ブロック連続体１０、１１を所定の間隔寸法をもって連結する上部枠体１２と下部枠体１３によって構成され、図３に示されるように上部枠体１２の凹部１２ａ、１２ｂがブロック１４、１６の凸部１４ｇ、１６ｇに嵌着され、下部枠体１３の凹部１３ａ、１３ｂがブロック１４、１６の凸部１４ｈ、１６ｈに嵌着されて長方形状に形成される。
【００１４】
そして、ブロック１４、１６、上部枠体１２、下部枠体１３で囲まれた長方形内に所定本数のケーブル５が位置するようになっている。
【００１５】
該ブロック１４、１６と上部枠体１２と下部枠体１３とを一つの部材によって形成できることは言うまでもない。
【００１６】
ブロック連結体１０は図２に示されるようにブロック１４−１の一方が該ブロック１４−１に形成されたフック（図示せず）または連結金具（図示せず）によって固定部４に連結され、該ブロック１４−１の他方が弾性体１５−１によってブロック１４−２に連結されている。該ブロック１４−２の他方には弾性体１５−２によってブロック１４−３に連結され，ブロック１４−３の他方には弾性体１５−３によってブロック１４−４に連結されている。該ブロック１４（１４−１〜１４−ｎ）が弾性体１５（１５−１〜１５−ｎ−１）によって順次連結され、端部に位置するブロック１４−ｎが該ブロック１４−ｎに形成されたフック（図示せず）または連結金具（図示せず）によってステージ２に連結された構成になっている。
【００１７】
上述のブロック連結体１１もブロック連結体１０と同様にブロック１６−１の一方が連結金具（図示せず）によって固定部４に連結され、該ブロック１６−１の他方が弾性体１７−１によってブロック１６−２に連結されている。該ブロック１６−２の他方には弾性体１６−２によってブロック１６−３に連結され，ブロック１６−３の他方には弾性体１７−３によってブロック１６−４に連結されている。該ブロック１６（１６−１〜１６−ｎ）が弾性体１７（１７−１〜１７−ｎ−１）によって順次連結され、端部に位置するブロック１６−ｎが連結金具（図示せず）によってステージ２に連結された構成になっている。
【００１８】
上述のブロック１４は図４に示されるように弾性体１５との連結用の凹部１４ａ、１４ｂとスリット１４ｃ、１４ｄが形成され、内周側が「つ」の字状に屈曲可能なように上方に向かって傾斜した台形状４ｅに形状されていると共に「つ」の字状に屈曲したときの屈曲量を制限するストッパ部（図示せず）が形成され、外周側が機台１の支持部１ｂに沿うよう略水平な状態を維持し、ステージ２が往復動作するときに誤って凸状に屈曲しないようにするためのストッパ部（図示せず）が形成されている。また、外周側の外周面が曲線状１４ｆに形成されている。
【００１９】
該外周面は直線の状態から屈曲の状態あるいは屈曲の状態から直線の状態に円滑に移動することができれば良く、一つの円弧、両端部と中央部が異なる円弧の組み合わせ、両端部が円弧で中央部が直線の組み合わせ等任意の曲線状にすることができる。
【００２０】
ブロック１６はブロック１４と対称な形状になっている。
【００２１】
上述のブロック１４、１６に代えて上部ブロック体と下部ブロック体の二つの部材によって形成し、ねじにより一体的に連結した構成にすることができる。
【００２２】
該ブロック１４、１６は軽量で剛性、強度があり、変形せずしかも製作し易いポリアミド樹脂、ポリアセタール樹脂等の合成樹脂等によって形成する。
【００２３】
上述の弾性体１５（１７）は容易に湾曲してブロック連結体１０（１１）が「つ」の字状に屈曲すると共に該ブロック連結体１０（１１）の「つ」の字状部以外の箇所（無負荷状態）においては水平な状態になるような屈曲耐久性と復元性（弾性力）を有する必要があり、ステンレス鋼、バネ鋼板、合成ゴム、ポリアミド樹脂、ポリアセタール樹脂等の合成樹脂等により形成する。
【００２４】
該弾性体１５は図５にような板部１５ａの両端部にブロック１４の凹部１４ａ、１４ｂに嵌合する連結部１５ｂ、１５ｃを有する形状に代えて、図６に示されるような所定長さの帯板１５ｅの所定位置に所定の間隔をもって連結部１５ｆが形成された形状のものを使用することができる。この場合はブロック１４の形状を弾性体１５の帯板１５ｅ部と嵌合部１５ｆに対応できる形状にする必要がある。弾性体１７は上述の弾性体１５と同一の形状のものを使用する。
【００２５】
上述の弾性体１５（１７）に代えて図７、図８のような両端部にねじ挿入用の孔が穿設された板状物にすることができる。
【００２６】
上述の塗布装置においてステージ２が（イ）方向に移動すると、ブロック連結体１０、１１は引っ張られて「つ」の字状の屈曲部がステージ２の移動速度の１／２の速度で（イ）方向に移動される。
【００２７】
このとき、弾性体１５（１７）による反力によって、浮き上がり始めのブロック１４−５（１６−５）は隣接するブロック１４−６（１６−６）に直ちに接触しない。
【００２８】
このため、ブロック１４−５、１６−５における外周側の円弧状１４ｆ部の移動距離が短く、該ブロック１４−５、１６−５と機台１の支持部１ｂとの擦過が少なく、ブロック連結体１０、１１を移動させるときの負荷変動が小さくなり、ステージ２の走行速度に変動が生じず被処理物に所定の液状物を均一に塗布することができた。
【００２９】
【実施例】
上述のケーブル支持手段６を図７、図８に示されるように弾性体１５、１７として厚さ寸法（Ｔ）が０．３ｍｍ、幅寸法（Ｗ）が２０ｍｍのステンレス鋼によって作成し、該弾性体１５−１〜１５−３（１７−１〜１７−３）を使用してポリアセタール樹脂製のブロック１４−２（１６−２）とブロック１４−３（１６−３）とを間隔寸法（Ｐ）が４０ｍｍになるように順次連結して全長（Ｌ）が４０００ｍｍのブロック連結体１０（１１）を形成すると共に、ブロック１４、１６を長さ寸法（Ｈ）が８０ｍｍのポリアセタール樹脂製の上部枠体１２と下部枠体１３によって連結された構成にしてある。
【００３０】
該ブロック１４−２（１６−２）は上部ブロック材１４Ａ−２（１６Ａ−２）と下部ブロック材１４Ｂ−２（１６Ｂ−２）との間に弾性体１５−１（１７−１）の他端部が上側に弾性体１５−２（１７−２）の一端部が下側に位置した状態でねじ１４Ｃ−２（１６Ｃ−２）により一体的に連結され、ブロック１４−３（１６−３）は上部ブロック材１４Ａ−３（１６Ａ−３）と下部ブロック材１４Ｂ−３（１６Ｂ−３）との間に弾性体１５−２（１７−２）の他端部が上側に弾性体１５−３（１７−３）の一端部が下側に位置した状態でねじ１４Ｃ−３（１６Ｃ−３）により一体的に連結された構成になっている。
【００３１】
各弾性体１５−１〜１５−ｎ、１７−１〜１７−ｎは一端部が下側に他端部が上側位置するように取り付けるかあるいは逆の状態に取り付けると屈曲条件、復元条件が同一になるため該この様な状態に配置するのが好ましい。該弾性体１５−１〜１５−ｎ、１７−１〜１７−ｎを両端部が上側あるいは下側に交互に位置するよう配置することは可能である。
【００３２】
該上部ブロック材１４Ａ−２、１４Ａ−３（１６Ａ−２、１６Ａ−３）および下部ブロック材１４Ｂ−２、１４Ｂ−３（１６Ｂ−２、１６Ｂ−３）はそれぞれ高さ寸法（ｈ）が３０ｍｍに加工され、下部ブロック材１４Ｂ−２、１４Ｂ−３（１６Ｂ−２、１６Ｂ−３）は下端面（外周面）が曲線状に加工されている。
【００３３】
該ケーブル支持手段６によってケーブル５を支持した状態で該ブロック連結体１０、１１の一端部をステージ２に連結すると共に他端部固定部４に連結してステージ２をストロークが１５００ｍｍ、ステージの走行速度が５０ｍｍ／ｍｉｎの条件で移動させたところ、走行速度の変動率は±０．２％であった。
【００３４】
【比較例】
実施例における弾性体１５、１７に代えてポリアミド繊維製の帆布に合成ゴムがラミネートされた厚さ寸法（Ｔ）が０．５ｍｍ、幅寸法（Ｗ）が２０ｍｍの可撓性ベルトを使用すると共にブロック１４、１６における下部ブロック材１４ｂ（１６ｂ）の下端面（外周面）が直線状に加工されているものを使用してステージ２を実施例と同一条件で移動させたところ、走行速度の変動率は±０．７％であった。
【００３５】
上述のように本発明の塗布装置によればステージ２の走行速度の変動を非常に小さくすることができ、被処理物に対して液状物を均一な厚さに塗布することができた。
【００３６】
上述のケーブル支持手段６をエッチング装置における可動ステージと中継箱等の固定部との間に設置すると、ステージの走行速度に変動が生じることがないため、ビビリ等を生じず高精密なパターンでも正確にエッチングすることができ、該ケーブル支持手段６を研磨装置における可動ステージと中継箱等の固定部との間に設置すると、ステージの走行速度に変動が生じることがないため、ビビリ等を生じず研磨斑等の発生を防止することができる。
【００３７】
【発明の効果】
本発明の塗布装置は請求項１に記載されているように機台上を直線的に移動するステージと、該ステージ上に吸着された被処理板に所定の液状物を塗布する塗布機構と、一端が前記ステージに接続され、他端が固定部に接続されたケーブルを支持するケーブル支持手段とを備え、前記ケーブル支持手段が、ケーブルを支持する複数のブロックが弾性体により接続されていると共に該ブロックの外周面部が曲線状に形成された構成にしているため、ケーブル支持装置のブロックが支持台から「つ」の字状に順次持ち上がる際、または「つ」の字状への繰り返し動作の際に、ブロックの外周面と支持台との間に摩擦力が生じず、ステージの走行速度に変動が発生するのを確実に防止することができ、被処理物に対して液状物を均一な厚さに塗布することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の塗布装置の構成の一実施の形態を示す概略図である。
【図２】図１におけるケーブル支持手段の構成の一実施の形態を示す概略図である。
【図３】図２のＩ−Ｉ矢視図である。
【図４】ブロックの形状の一実施の形態を示す概略図である。
【図５】弾性体の形状の一実施の形態を示す概略図である。
【図６】弾性体の他の実施形態を示す概略図である。
【図７】実施例におけるブロック連結体の構成を示す概略図である。
【図８】図７におけるＩＩ−ＩＩ矢視図である。
【符号の説明】
１　機台
２　ステージ
３　塗布機構
４　固定部
５　ケーブル
６　ケーブル支持手段
１０、１１　ブロック連結体
１２　上部枠体
１３　下部枠体
１４、１６、１４−１〜１４−ｎ、１６−１〜１６−ｎ　ブロック
１５、１７、１５−１〜１５−ｎ−１、１７−１〜１７−ｎ−１　弾性体
１２ａ、１２ｂ、１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂ　凹部
１４ｃ、１４ｄ　スリット
１４ｅ　台形部
１４ｆ　円弧
１４ｇ、１４ｈ　凸部
１５ａ　板部
１５ｂ、１５ｃ、１５ｆ　連結部
１５ｅ　帯板
１４Ａ、１４Ａ、１６Ａ、１６Ａ　上部ブロック材
１４Ｂ、１４Ｂ、１６Ｂ、１６Ｂ　下部ブロック材
１４Ｃ、１４Ｃ、１６Ｃ、１６Ｃ　ねじ

Claims

機台上を直線的に移動するステージと、該ステージ上に吸着された被処理物に所定の液状物を塗布する塗布機構と、一端が前記ステージに接続され、他端が固定部に接続されたケーブルを支持するケーブル支持手段とを備え、前記ケーブル支持手段が、ケーブルを支持する複数のブロックが弾性体により接続されていると共に該ブロックの外周面部が曲線状に形成されていることを特徴とする塗布装置。