JP2004014766A - 熱電モジュール - Google Patents
熱電モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004014766A JP2004014766A JP2002165497A JP2002165497A JP2004014766A JP 2004014766 A JP2004014766 A JP 2004014766A JP 2002165497 A JP2002165497 A JP 2002165497A JP 2002165497 A JP2002165497 A JP 2002165497A JP 2004014766 A JP2004014766 A JP 2004014766A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermoelectric
- thermoelectric module
- resistivity
- plating film
- electroless plating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims abstract description 32
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 63
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 8
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 6
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 17
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 9
- 229910018104 Ni-P Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910018536 Ni—P Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 4
- QMMFVYPAHWMCMS-UHFFFAOYSA-N Dimethyl sulfide Chemical compound CSC QMMFVYPAHWMCMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UORVGPXVDQYIDP-UHFFFAOYSA-N borane Chemical compound B UORVGPXVDQYIDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L nickel sulfate Chemical compound [Ni+2].[O-]S([O-])(=O)=O LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910000363 nickel(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 5-[3-(trifluoromethyl)phenyl]-2h-tetrazole Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC(C2=NNN=N2)=C1 KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000521 B alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002909 Bi-Te Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005679 Peltier effect Effects 0.000 description 1
- 229910007116 SnPb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006913 SnSb Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229910000085 borane Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L palladium(II) chloride Chemical compound Cl[Pd]Cl PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001379 sodium hypophosphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】熱電モジュール1は、上基板6aと下基板6bとの間に、熱電素子3を挟んで構成され、熱電素子3は、上基板6aの下面に形成された上部電極2aと、下基板6bの上面に形成された下部電極2bとに対し、はんだ4a、4bにより、接合されている。熱電素子3の接合端面には、Niメッキ膜5a、5bがNiの無電解メッキにより形成されている。このメッキ膜5a、5bの抵抗率は10乃至60μΩ・cmである。これにより、ニッケル無電解メッキ膜5a、5bの抵抗による発熱を低減し、熱電モジュール1の熱電特性を向上させることができる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の熱電素子を複数の上部電極及び複数の下部電極により、直列又は並列に接続した熱電モジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】
図4は、従来の熱電モジュール10を示す図である。上基板12と下基板13との間に、複数個のP型及びN型の熱電素子11が、一方向について交互に配置されている。上基板12の下面には複数個の上部電極14が形成されており、下基板13の上面には複数個の下部電極16が形成されている。そして、1個の下部電極16上にP型の熱電素子11とN型の熱電素子11とが配置され、一の下部電極16上のP型熱電素子11と、前記一の下部電極16に隣接する下部電極16上に配置された隣接するN型熱電素子11とを、その上部で、1個の上部電極14により接続するというような態様で、各熱電素子11と上部電極14及び下部電極16とを配置し、各熱電素子11と上部電極14及び下部電極16とを夫々はんだ15,17により接合して、熱電モジュール10が組み立てられている。これにより、P型及びN型の熱電素子が、上部電極14及び下部電極16により交互に直列に接続されている。
【0003】
このP型及びN型の熱電素子が交互に直列に接続された熱電モジュールに、電流を流すと、異種金属の接続部でペルチェ効果により発熱又は吸熱が生じ、例えば、上基板12が発熱側、下基板13吸熱側となる熱電モジュールが構成される。
【0004】
熱電素子11の電極との接合端面には、はんだ15,17が熱電素子11に拡散してしまうことを防止し、長時間の使用による熱電素子の劣化を防止すると共に、熱電素子のはんだ付け性を向上させるために、ニッケル合金メッキ膜が形成されている。このニッケル合金メッキ膜は、一般的に、Ni−P系合金又はNi−B系合金を無電解メッキすることにより、形成されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の従来の熱電モジュールにおいては、はんだの拡散を防止するために、Ni−P系又はNi−B系合金の無電解メッキ膜が熱電素子と電極との間に形成されており、この無電解メッキ膜の抵抗率が高いために、各熱電素子に通電した場合に、このメッキ膜において、抵抗発熱が生じ、吸熱側でも発熱する結果、熱電モジュールとしての性能が熱電素子の材料の物性から決まる理論値よりも低下してしまうという問題点がある。また、無電解メッキ膜の抵抗率が高いために、熱電素子の直列接続体に通電した場合に、所定の電圧を直列接続体の端部の電極間に印加しても、無電解メッキ膜における電圧降下により、各熱電素子に印加する電位差が低くなり、その結果各熱電素子に通電する電流の効率が低下する。これらの要因により、従来の熱電モジュールは得られる熱電特性が低いという問題点がある。
【0006】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、熱電素子の電極接合端面の電気抵抗が低く、電流効率が高い熱電モジュールを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る熱電モジュールは、複数の熱電素子を複数の上部電極及び複数の下部電極により、直列又は並列に接続した熱電モジュールにおいて、前記熱電素子と前記上部電極又は前記下部電極とははんだにより接合されており、前記熱電素子の接合面には、抵抗率が10乃至60μΩ・cmのニッケル無電解メッキ膜が形成されていることを特徴とする。
【0008】
この熱電モジュールにおいて、前記ニッケル無電解メッキ膜は、例えば、リン含有ニッケル系合金又はボロン含有ニッケル系合金である。また、前記ニッケル無電解メッキ膜は、温度が80乃至90℃、塩基度pHが5乃至6のニッケル無電解メッキ溶液中で形成することが好ましい。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について添付の図面を参照して具体的に説明する。図1は本発明の実施の形態に係る熱電モジュール1の熱電素子の部分を拡大して示す。なお、熱電モジュールの構造自体は、図4等に示す従来の熱電モジュールと同様である。即ち、この熱電モジュール1は、上基板6aと下基板6bとの間に、熱電素子3を挟んで構成されている。上基板6aの下面には、上部電極2aが形成されており、下基板6bの上面には、下部電極2bが形成されている。そして、1個の上部電極2a及び1個の下部電極2bに対して夫々2個の熱電素子3(P型熱電素子とN型熱電素子)が配置される。この熱電素子3と上部電極2a及び下部電極2bとの配置態様は、例えば、図4と同様に、各熱電素子3がP型とN型とが交互に直列に接続されるように配置される。
【0010】
そして、各熱電素子3の電極接合端面には、夫々Niメッキ膜5a、5bが形成されており、このメッキ膜5a、5bと夫々上部電極2a及び下部電極2bとの間は、夫々はんだ4a、4bにより接合されている。このメッキ膜5a、5bは、熱電モジュールの組み立て時又は使用時に、はんだ4a、4bの成分が熱電素子3に拡散してしまうことを防止すると共に、熱電素子3のはんだ付け性を向上させるものである。
【0011】
熱電素子3の構成材料としては、例えば、Bi−Te系(ビスマス−テルル系)、Bi−Te−Sb(ビスマス−テルル−アンチモン系)等がある。また、上基板6a、下基板6bは、セラミックス基板等の絶縁性基板を使用することができる。このセラミックス基板としては、アルミナ(Al2O3)又は窒化アルミニウム(AlN)等がある。更に、はんだ4a、4bとしては、SnSb又はSnPb等がある。
【0012】
而して、本実施形態においては、Niメッキ膜5a、5bは、Niの無電解メッキにより形成されたものである。そして、このメッキ膜5a、5bの抵抗率は10乃至60μΩ・cmである。従来のNiメッキ膜は抵抗率が70乃至100μΩであったために、このNiメッキ膜を含む接合部における抵抗発熱が大きく、熱電特性を劣化させていたが、本発明においては、このメッキ膜5a、5bにおける抵抗率が10乃至60μΩ・cmであるので、このメッキ膜5a、5bを含む接合部における抵抗発熱の影響を回避することができる。
【0013】
このような低抵抗率の無電解メッキ膜5a、5bは、Ni無電解メッキ液の温度及びpHを適切に設定することにより、形成することができる。この熱電素子3の接合端面にNi無電解メッキ膜5a、5bを形成する場合は、先ず、熱電素子3をアルカリ溶液により脱脂し、水洗した後、例えば、10%塩酸水溶液により酸洗する。その後、水洗し、熱電素子3の表面に、触媒として、塩化スズ又は塩化パラジウムの希塩酸溶液を交互に付着させる。その後、水洗し、ニッケル無電解メッキ液中に浸漬して、Niメッキ処理する。このNi無電解メッキ液は、例えば、リン含有ニッケル系合金の場合は、硫酸ニッケルと次亜リン酸ナトリウムを主成分とするものであり、ボロン含有ニッケル系合金の場合は、硫酸ニッケルと、ジメチルアミンボランを主成分とするものである。この場合に、従来は、メッキ液の温度が70〜80℃、塩基度pHが4〜5の条件であり、この条件でメッキ処理して得られたメッキ膜の抵抗率が70〜100μΩ・cmであったところ、本実施形態では、従来より高温度及び高pHの処理条件、即ち、温度が80〜90℃、塩基度pHが5〜6の条件で、Niを無電解メッキする。このように、メッキ液の温度及び塩基度pHを調節することにより、得られるメッキ膜の抵抗率を10〜60μΩ・cmにすることができる。
【0014】
次に、このNi無電解メッキ膜の抵抗率の測定方法について説明する。ガラス基板上に、メッキの核となるNi膜をスパッタリングにより厚さ0.1μm程度で成膜する。その後、Ni無電解メッキにより前記Ni膜上にNi無電解メッキ膜を形成する。このNi無電解メッキ膜の厚さは4μm程度である。そして、このNi無電解メッキ膜の抵抗率を4端子法により測定する。これにより、そのNi無電解メッキ処理条件(メッキ液の温度及び塩基度pH等)におけるメッキ膜の抵抗率が求まる。
【0015】
そこで、熱電素子のメッキに際しては、上述のようにして求めた抵抗率が10〜60μΩ・cmとなるメッキ条件で、Niを無電解メッキする。これにより、所望の抵抗率の無電解メッキ膜5a、5bを熱電素子3の接合端面に形成することができる。
【0016】
なお、純Niの場合は抵抗率が最も低いが、純Niを無電解メッキにより形成することができない。Ni膜を無電解メッキにより形成しようとすると、P及びB等の不純物又は成分が入ってきてしまう。この不純物として混入するP及びBが多いと、従来のように、抵抗率が70μΩ・cmを超えてしまう。しかし、本発明のような条件で無電解メッキすることにより、抵抗率が10〜60μΩ・cmのNi無電解メッキ膜を形成することができる。
【0017】
図2は、横軸に熱電素子の接合端面に形成されたNi無電解メッキ膜の抵抗率(μΩ・cm)をとり、縦軸にこの熱電素子を組み込んだ熱電モジュールのΔTmaxをとって、両者の関係を示すグラフ図である。○はリン含有ニッケル系(Ni−P系)のNiメッキ膜を形成した場合、■はボロン含有ニッケル系(Ni−B系)のNiメッキ膜を形成した場合のものである。メッキ膜の厚さは双方とも4μmである。なお、ΔTmaxの測定に際しては、熱電モジュールへの通電により発生した温度差が最大になるように電流を通電した。但し、熱電モジュールの低温側の端部は27±0.1℃に保持した。また、この熱電モジュールの大きさは、幅が6mm、長さが10.2mm、厚さが1.65mmであり、アルミナ基板上に29対の熱電素子を配置したものである。この熱電素子の大きさは、1辺長が0.64mmの断面正方形であり、厚さ(高さ)が0.8mmである。
【0018】
この図2に示すように、抵抗率が60μΩ・cm以下の場合に、ΔTmaxが70.0K以上となり、極めて優れた熱電特性を示している。これに対し、従来のように、抵抗率が70μΩ・cm以上では、70.0K以上のΔTmaxは得られない。
【0019】
なお、図3は横軸にNiメッキ膜の厚さをとり、縦軸にΔTmaxをとって、両者の関係を示すグラフ図である。メッキ膜はNi−P系メッキ膜であり、メッキ膜の抵抗率は、膜厚が4μmのときに30μΩ・cmであるものと、同様に膜厚が4μmのときに85μΩ・cmであるものと、2種類の熱電素子を用意した。メッキ処理条件は、抵抗率が30μΩ・cmの4個のデータについて同一であり、また抵抗率が85μΩ・cmの4kのデータについても同一である。そして、この熱電素子を組み込んだ熱電モジュールについて、ΔTmaxを測定した。なお、熱電モジュール及び熱電素子の大きさ等は図2の場合と同一である。
【0020】
この図3に示すように、抵抗率が30及び85μΩ・cmのいずれの場合も、Niメッキ膜の厚さによらず、ΔTmaxはほぼ一定であった。このように、ΔTmaxに対するNiメッキ膜の厚さによる依存性が認められない(メッキ膜厚が最も薄い場合に、ΔTmaxが若干高い)のは、熱電特性に対し、メッキ膜自体の抵抗よりも、熱電素子とメッキ膜との間の界面抵抗及びメッキ膜とはんだとの間の界面抵抗の方が影響が大きいためと考えられる。なお、四端子法により測定した抵抗率にも、結果として、界面抵抗の影響が含まれる。
【0021】
以上のように、Ni無電解メッキ膜と熱電素子及びはんだとの間の界面抵抗を低減した結果、本実施形態の熱電モジュールは、ΔTmaxを高めることができ、熱電特性を向上させることができる。
【0022】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の熱電モジュールによれば、熱電素子の接合端面にはんだの拡散を防止すると共にはんだ付け性を向上させるために形成されるNi無電解メッキ膜の抵抗率に着目し、この抵抗率を低く抑制することにより、熱電特性を向上させることができたものであり、熱電特性、特に、ΔTmaxの向上に著しい効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の熱電モジュールにおける熱電素子の部分を示す図である。
【図2】抵抗率とΔTmaxとの関係を示すグラフ図である。
【図3】Niメッキ膜の厚さと、ΔTmaxとの関係を示すグラフ図である。
【図4】従来の熱電モジュールの構造を示す図である。
【符号の説明】
1、10:熱電モジュール、2a、2b、14,16:電極、3、11:熱電素子、4a、4b、15,17:はんだ、5a、5b:Ni無電解メッキ膜、10:熱電モジュール
Claims (2)
- 複数の熱電素子を複数の上部電極及び複数の下部電極により、直列又は並列に接続した熱電モジュールにおいて、前記熱電素子と前記上部電極又は前記下部電極とははんだにより接合されており、前記熱電素子の接合面には、抵抗率が10乃至60μΩ・cmのニッケル無電解メッキ膜が形成されていることを特徴とする熱電モジュール。
- 前記ニッケル無電解メッキ膜は、リン含有ニッケル系合金又はボロン含有ニッケル系合金であることを特徴とする請求項1に記載の熱電モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002165497A JP3617506B2 (ja) | 2002-06-06 | 2002-06-06 | 熱電モジュール及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002165497A JP3617506B2 (ja) | 2002-06-06 | 2002-06-06 | 熱電モジュール及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004014766A true JP2004014766A (ja) | 2004-01-15 |
JP3617506B2 JP3617506B2 (ja) | 2005-02-09 |
Family
ID=30433321
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002165497A Expired - Lifetime JP3617506B2 (ja) | 2002-06-06 | 2002-06-06 | 熱電モジュール及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3617506B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100721925B1 (ko) * | 2005-12-21 | 2007-05-28 | 주식회사 포스코 | 열전모듈의 제조 방법 |
KR101266449B1 (ko) | 2006-12-21 | 2013-05-23 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 열전모듈의 제조방법 |
US10224472B2 (en) | 2013-08-30 | 2019-03-05 | Kelk Ltd. | Thermoelectric power module |
-
2002
- 2002-06-06 JP JP2002165497A patent/JP3617506B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100721925B1 (ko) * | 2005-12-21 | 2007-05-28 | 주식회사 포스코 | 열전모듈의 제조 방법 |
KR101266449B1 (ko) | 2006-12-21 | 2013-05-23 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 열전모듈의 제조방법 |
US10224472B2 (en) | 2013-08-30 | 2019-03-05 | Kelk Ltd. | Thermoelectric power module |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3617506B2 (ja) | 2005-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5429680A (en) | Thermoelectric heat pump | |
JP4728745B2 (ja) | 熱電素子デバイス及び熱電モジュール | |
US8101847B2 (en) | Thermoelectric module | |
JP5377753B2 (ja) | 熱電素子及び熱電モジュール | |
JP2001196646A (ja) | 熱電デバイス | |
CN104508846A (zh) | 热电转换模块 | |
JP2009129968A (ja) | 熱電モジュール | |
JP2008141027A (ja) | 熱電変換素子の接合構造及び熱電変換モジュール | |
JP2008112806A (ja) | 熱電モジュールおよびメタライズ基板 | |
JP2007048916A (ja) | 熱電モジュール | |
JPH09293906A (ja) | 熱電変換素子 | |
JP2007067231A (ja) | 熱電モジュール | |
JP5713526B2 (ja) | 熱電変換モジュールならびに冷却装置、発電装置および温度調節装置 | |
JP2003338641A (ja) | 熱電素子 | |
JP2881332B2 (ja) | 熱電装置の製造方法 | |
JP2004014766A (ja) | 熱電モジュール | |
US10833237B2 (en) | Thermoelectric module | |
JP2008085309A (ja) | 熱電変換モジュールおよびその製造方法ならびに熱電変換モジュールに用いられる熱電変換材料 | |
JP2005136075A (ja) | 熱電変換モジュール及びその製造方法 | |
WO2021019891A1 (ja) | 熱電モジュール及び熱電モジュールの製造方法 | |
WO2016136856A1 (ja) | 熱電モジュール | |
JP2004140064A (ja) | 熱電素子およびその製造方法 | |
JP2002043637A (ja) | 熱電デバイス | |
JP2003347607A (ja) | 熱電変換モジュール用基板及び熱電変換モジュール | |
JP3552704B2 (ja) | 熱電変換モジュール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040409 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040413 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040614 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040803 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040908 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041019 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041101 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3617506 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071119 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081119 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081119 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091119 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101119 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101119 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111119 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111119 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121119 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121119 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 9 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |