JP2004012210A - 微粒子検出装置 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 16
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 2
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
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- Optical Measuring Cells (AREA)
Abstract
【解決手段】光源１からの光がフローセル３を流れる試料流体に照射され、試料流体による透過光が受光部４に導かれる微粒子検出装置において、スリット８をコーティングにより表面上に形成した透明基板５，６を、フローセル３の照射側と受光側の両面に接合した。
【選択図】 図１
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光源からの光がフローセルに入射され、フローセルからの透過光が受光部に導かれる微粒子検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、微粒子検出装置に用いるスリットは、薄い金属板を抜き加工（プレス加工、フォトエッチング加工など）やフォトフォーミング加工（電鋳）などにより作製されている。そして、図４に示すように、スリット１００を形成した部材１０１は、フローセル１０２に密着または近接している。なお、１０３は光源、１０４は集光レンズ、１０５は受光部である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、これらの加工方法によってスリット１００の形状精度を上げるためには、部材１０１の板厚を薄くする必要があり、その結果、スリット１００を形成した部材１０１を取扱う時にスリット１００を変形させ易いという問題があった。
また、スリット１００を形成した部材１０１をフローセル１０２に密着または近接させるとフローセル１０２を流れる試料流体の温度の影響を敏感に受けスリット１００の形状が変化し易く、更に、外力によってもスリット１００の形状変化や位置ずれが生じ易いという問題があった。
【０００４】
本発明は、従来の技術が有するこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、取扱い時にスリットを変形させることがなく、フローセルを流れる試料流体の温度の影響を受け難く、外力を受けてもスリットの形状変化や位置ずれが生じ難い微粒子検出装置を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく請求項１に係る発明は、光源からの光がフローセルを流れる試料流体に照射され、試料流体による透過光が受光部に導かれる微粒子検出装置において、スリットをコーティングにより表面上に形成した透明基板を、前記フローセルの照射側と受光側の両方又はいずれか一方の面に接合した。
【０００６】
請求項２に係る発明は、光源からの光がフローセルを流れる試料流体に照射され、試料流体による透過光が受光部に導かれる微粒子検出装置において、スリットをコーティングにより前記フローセルの照射側と受光側の両方又はいずれか一方の表面上に形成した。
【０００７】
請求項３に係る発明は、請求項１又は２記載の微粒子検出装置において、前記透明基板及びフローセルに合成石英を用いた。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明の第１の実施の形態に係る微粒子検出装置の概略構成図、図２はスリットを表面に形成した基板の射視図、図３は本発明の第２の実施の形態に係る微粒子検出装置の概略構成図である。
【０００９】
本発明の第１の実施の形態に係る光遮断式の微粒子検出装置は、図１に示すように、半導体レーザなどの一定波長の光を発する光源１と、光源１が発する光を扁平にして集光する集光レンズ２と、集光レンズ２により集光された光が照射されるフローセル３と、フローセル３を透過した光を受光する受光部４を備えている。
【００１０】
更に、フローセル３の照射側の外面にはスリットを形成した照射側スリット基板５が接合され、受光側の外面にもスリットを形成した受光側スリット基板６が接合されている。
【００１１】
各スリット基板５，６の表面は、図２に示すように、コーティングが施されているコーティング面７，７と、マスキングによりコーティングが施されていない部分からなり、コーティングが施されていない部分をスリット８，８としている。
【００１２】
コーティングには、真空蒸着法やスパッタリング法などが用いられ、またコーティング面７，７には遮光性が要求されるため使用される材料として、例えばクロム（Ｃｒ）などが用いられる。
【００１３】
照射側スリット基板５は、コーティング面７がフローセル３の照射側の外面に接して位置決めされた後、接着等により接合される。同様に、受光側スリット基板６もコーティング面７がフローセル３の受光側の外面に接して位置決めされた後、接着等により接合される。接合で接着剤を使用する場合には、例えば光透過性のよい紫外線硬化樹脂の接着剤が用いられる。
【００１４】
フローセル３、照射側スリット基板５、受光側スリット基板６は、透明性のある材料で作製され、例えば合成石英が用いられる。
【００１５】
以上のように構成した第１の実施の形態に係る光遮断式の微粒子検出装置の作用について説明する。
スリット基板５，６を厚くすることができるので、スリット基板５，６を取扱う時にスリット８，８が変形するなどの不具合が発生することなく、スリット基板５，６がフローセル３の外面に接合される。
【００１６】
そして、集光レンズ２により集光された光源１が発する光が、照射側スリット基板５に形成されたスリット８を通過すると、スリット８により光源１が発する光のうち一様な光強度分布を有する部分が選択され、成形されてフローセル３に入射される。
【００１７】
フローセル３中の粒子検出領域を通過した光が、受光側スリット基板６に形成されたスリット８を通過することにより、粒子検出領域が限定されると共に、フローセル３と試料流体の境界で発生する反射光・散乱光が除かれる。
そして、フォトダイオード等の受光素子からなる受光部４で粒子による透過光の減衰光量が検出され、その減衰光量によって粒子の大きさが分かり、またパルスとして得られる光量変化の回数によって粒子数が分かる。
【００１８】
また、フローセル３、照射側スリット基板５、受光側スリット基板６を、同じ材料、例えば合成石英で形成するので、熱膨張率が金属や樹脂などに比べて小さいため、フローセル３を流れる試料流体の温度によってスリット８，８の位置ずれや形状変化が生じ難い。
【００１９】
本発明の第２の実施の形態に係る光遮断式の微粒子検出装置は、図３に示すように、フローセル１０の照射側の外面に直接コーティングを施すことによりスリット１１を形成し、受光側の外面にも直接コーティングを施すことによりスリット１１を形成した。
【００２０】
フローセル１０の照射側の外面と受光側の外面は、コーティングが施されているコーティング面１２と、マスキングによりコーティングが施されていない部分からなり、コーティングが施されていない部分をスリット１１としている。他の構成は、図１に示す第１の実施の形態と同様なので説明を省略する。
【００２１】
以上のように構成した第２の実施の形態に係る光遮断式の微粒子検出装置の作用について説明する。
スリット１１が直接フローセル１０の照射側の外面と受光側の外面に形成されるので、スリット８が変形するなどの不具合が発生せず、しかもスリットを形成する基板が不要となるため、部品点数を削減することができる。その他の作用効果は、図１に示す第１の実施の形態と同様なので説明を省略する。
【００２２】
なお、本発明の実施の形態では、フローセル３，１０、照射側スリット基板５、受光側スリット基板６の材料は、合成石英の場合について説明したが、透明性のある材料であれば、サファイアやアクリル樹脂などであってもよい。但し、熱膨張の影響を考慮すると、全て同じ材料が望ましい。
【００２３】
また、本発明の実施の形態では、フローセルの照射側と受光側の両方にスリットを設けた場合について説明したが、どちらか一方のみに設けてもよい。
更に、本発明の実施の形態では、本発明を光遮断式の微粒子検出装置に適用した場合について説明したが、光散乱式の微粒子検出装置にも適用できる。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１に係る発明によれば、スリットを形成した基板を厚くすることができるので、取扱い時にスリットを変形させることがなく、外力によってもスリットの位置ずれや形状変化が生じ難い。
【００２５】
請求項２に係る発明によれば、スリットをフローセルの表面上に形成したので、取扱い時にスリットを変形させることがなく、外力によってもスリットの位置ずれや形状変化が生じ難く、更に部品点数が少なくなる。
また、フローセルにスリットを形成した基板を接合する必要がなくなるので、工数低減が図れる。
【００２６】
請求項３に係る発明によれば、合成石英は熱膨張率が金属や樹脂などに比べて小さいため、取扱い時にスリットを変形させることがないだけでなく、フローセルを流れる試料流体の温度の影響を受け難く、外力によってもスリットの位置ずれや形状変化が生じ難い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る微粒子検出装置の概略構成図
【図２】スリットを表面に形成した基板の射視図
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る微粒子検出装置の概略構成図
【図４】従来の微粒子検出装置の概略構成図
【符号の説明】
１…光源、２…集光レンズ、３，１０…フローセル、４…受光部、５…照射側スリット基板、６…受光側スリット基板、７，１２…コーティング面、８，１１…スリット。
Claims (3)
- 光源からの光がフローセルを流れる試料流体に照射され、試料流体による透過光が受光部に導かれる微粒子検出装置において、スリットをコーティングにより表面上に形成した透明基板を、前記フローセルの照射側と受光側の両方又はいずれか一方の面に接合したことを特徴とする微粒子検出装置。
- 光源からの光がフローセルを流れる試料流体に照射され、試料流体による透過光が受光部に導かれる微粒子検出装置において、スリットをコーティングにより前記フローセルの照射側と受光側の両方又はいずれか一方の表面上に形成したことを特徴とする微粒子検出装置。
- 前記透明基板及びフローセルに合成石英を用いた請求項１又は２記載の微粒子検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002163791A JP3751263B2 (ja) | 2002-06-05 | 2002-06-05 | 微粒子検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002163791A JP3751263B2 (ja) | 2002-06-05 | 2002-06-05 | 微粒子検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004012210A true JP2004012210A (ja) | 2004-01-15 |
| JP3751263B2 JP3751263B2 (ja) | 2006-03-01 |
Family
ID=30432117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002163791A Expired - Fee Related JP3751263B2 (ja) | 2002-06-05 | 2002-06-05 | 微粒子検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3751263B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009014702A (ja) * | 2007-06-06 | 2009-01-22 | Hitachi Ltd | 微粒子検出装置及び微粒子検出方法 |
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|---|---|---|---|---|
| JP2009014702A (ja) * | 2007-06-06 | 2009-01-22 | Hitachi Ltd | 微粒子検出装置及び微粒子検出方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3751263B2 (ja) | 2006-03-01 |
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Legal Events
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101216 Year of fee payment: 5 |
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