JP2004010456A - 光学素子製造方法、および光学素子 - Google Patents

光学素子製造方法、および光学素子 Download PDF

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Abstract

【課題】高NA光学素子の機能面には、急傾斜面が要望され、成形用素材の曲率半径が光学素子自体の曲率半径より大きくなってしまい、金型との間に密閉された空間ができ、光学素子にエア溜まりとして残ってしまう。また、撮像光学系などに用いられるIRカット、ローパスフィルター機能等を有する光学素子を安価に製造することは非常に困難であった。
【解決手段】第1と第2の一対の型と胴型により第1の光学素子素材を加熱加圧して第1の光学素子を成形し、第1の型と胴型と第1の光学素子は分解せず、第2の型を取り外して、第2の光学素子素材と第3の型を載置して加熱加圧して成形することで光学素子を製造する。また、第2の成形時に、第3の機能ガラスを間に挟み成形することで、多機能光学素子が安価に製造できる。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ピックアップや撮像レンズ等の光学系に使用される光学素子とその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、光学素子の高精度且つ安価な製造法として、特開昭62−292636のようなプレス成形法が実用化されている。前記製造方法は、光学素子の光学機能面を超精密加工で形成された形状を有する一対の押圧型の間に光学素子材料を配置し、それをブロックとし、光学素子材料が変形可能な温度まで加熱する予備加熱(以降予熱と称する)ステージ、加圧変形させ金型の光学有効面を転写するプレスステージ、転写を保ちながらガラス転移点以下まで冷却させる冷却ステージへと順次搬送し、光学素子を成形する方法である。
【0003】
また、光ディスク装置における、高密度化の動向により、光源の短波長化やこれらに用いられる光学素子にも高精度化が要望されてきている。特に対物レンズにおいては、高NA化が必須とされ、各社2枚組の構成等で所望の光学性能を満たしている。
【0004】
また、単レンズで高NA化を達成するには、第1の光学機能面の曲率半径が小さくなり、構成面の傾斜角度が大きくなる。また、焦点距離や作動距離などの関係では、中心厚みも大きくなることもある。
【0005】
さらに、撮像光学系においては、集光機能や色補正機能、波長選択機能を持たせるため様々な種類の素子材料を組合せ使用されている。従来から、2種以上のレンズやプリズムを接合した光学素子は、予め研削、研磨加工やプレス成形によって仕上げられた光学素子を紫外線硬化型に代表される接着剤によって接合して製造されている。
【0006】
しかしながら、この方法では、それぞれの光学素子を製造する工程、2種の光学素子を高い精度で位置決めして配置する工程、接着剤をむら無く気泡も無く均一に塗布して硬化する工程が必要であり生産効率の上がらない要因となっている。
【0007】
これに対して、位置決め工程と接着工程を無くすことを目的に、第1の光学素子と成形用型の間に素材を配置して加熱加圧して第2の光学素子を成形すると共にこれを第1の光学素子に一体化する工程を用いた製造方法が、特開昭60−67118(登録特許1629426)で提案されている。
【0008】
この方法は、すでに加工完成された光学素子を用いて、これをホルダー上に載置し、その上に第2の素材と成形用型を順次載置して加熱加圧して複合された光学素子を製造するものである。また、特開平11−130448において、接合工程を安価に、精度良く行う製造方法、金型および接合された光学素子を示した。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
図9は従来所望の光学素子と成形用金型の一部を示す断面図、および、従来の光学素子を成形により製造する工程の概念図である。図9における所望の光学素子39を成形による製造方法にて作製するためには、胴型36内に入り、第1の金型35の光学機能面曲率半径より小さな曲率を有する光学素子素材37を用い、成形を行う。第2の金型38を第1の金型35、胴型36、光学素子素材37の上に載置し、これを成形ブロックとして、予熱、加圧、冷却の各工程を経て光学素子39として成形される。
【0010】
光ディスク装置に用いられる高NA対物レンズに代表されるような、光学有効面の曲率半径が小さいレンズにおいては、図10に示すように、所望の光学素子43を満たすための光学素子素材42のボール直径が、所望の光学素子43外径より大きくなり、結果として胴型41内に素材が入らないという課題が生じる。
【0011】
また、図11に示すように、所望の光学素子47の光学有効面の曲率半径が小さいため、光学素子素材46の曲率半径の方が大きくなるため、第1の金型44の転写面との間に密閉された空間ができ、その後の成形工程により成形された光学素子48はエア溜まりの残る光学素子として作製されてしまうという課題を有している。
【0012】
また、撮像光学系において、従来例として、接着による接合方法と同様に加工された第1の光学素子を持ってきて、第2の光学素子との接着工程を省いた製造方法がある。この場合、第1の光学素子を加工した後、別工程へ移載するため、第1の光学素子表面に異物混入や、第2の光学素子との付着力不足が生じて不良品が生じやすい。また第1の光学素子をホルダー治具に載置する際には、偏心が生じないように、かつホルダーに当たってチッピングしないように配慮しながら挿入配置しなければならず、実施が容易ではない。このため生産効率においても大きな向上は果たせない。
【0013】
また既に加工した光学素子をホルダーに挿入するために、工業上光学素子外径よりホルダー内径を大きくし、隙間を作っておかなければならないために、第1の光学素子とホルダーとの偏心が生じやすく、最終的には第1の光学素子と第2の光学素子との偏心となって、光学性能不良を生じてしまう。これらの課題を克服するために、特開平11−130448に示した方法があるが、この方法は、異なる2種類以上の光学素子素材を接合する方法で、特に第2の光学素子成形時に課題が残っていた。
【0014】
その課題は、第1の光学素子成形後、第2の光学素子素材を供給するが、成形の際、接触面積が小さいため熱的に不安定であることや、第3型との間に密閉空間が出来てしまうことでエア残りが多発すること、また、第2光学素子素材の載置の時、斜めに投入され、結果として偏心が生じてしまう。
【0015】
本発明は、上記課題を鑑みて高精度に且つ効率よく安価に、光ディスク等に使われる光学素子を成形したり、撮像光学系に用いられる多機能光学素子を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明では、第1と第2の一対の押圧型と胴型により第1の光学素子素材を加熱加圧して第1の光学素子を成形し、少なくともどちらか一方の型を取り外して第2の光学素子素材を載置し、再度第2の押圧型で加熱加圧して光学素子を成形することにより製造する。
【0017】
また、第2の光学素子材料の他に、第3の光学素子材料としての波長選択機能素材を配置し、成形することで撮像光学系に用いられる機能光学素子が成形できる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【0019】
図1は、本発明の光学素子の製造方法を示す図である。第1の光学素子5の光学面形状を有する第1型1の上に第1の光学素子素材4を配置し、胴型3および第2型2がその上に載置され、一つのブロックを構成する。この組み立てられたブロックを予備加熱、プレス、冷却の各ステージに搬送し、第1の光学素子5が成形される。
【0020】
その後、一旦ブロックを分解し、図2のように第3型6および第2の光学素子素材7を胴型3とともに、成形された第1の光学素子5上に載置し、予熱、プレス、冷却の各ステージを経て、所望の光学素子8を得ることができる。
【0021】
本実施形態の第1の光学素子素材には、ホウ珪酸ガラス(ガラス転移点516℃、ガラス屈伏点553℃)を用い、窒素雰囲気中で予熱600℃約2分行い、プレス圧力80MPa/mmで温度530℃設定で冷却しながら約1分成形を行い、350℃まで約2分間冷却し、第1の光学素子を得ることが出来た。
【0022】
その後、第2の光学素子素材7としては同じホウ珪酸ガラス(ガラス転移点516℃、ガラス屈伏点553℃)を用い、非球面加工された第3型6を用いて、再び第1の光学素子成形と同じ条件で成形を行うことで、互いに溶着しており、透過波面収差で観察する限り、欠陥のないことが確認できた。
【0023】
図2は第1の光学素子5を成形した後、再び第2の光学素子素材7を載置する際に、第2の成形工程での熱分布を配慮し反転させた場合の配置である。この場合、下からの熱伝導が高いため光学素子素材7の変形が図2に比べて早く、より第1の光学素子5との密着性が高まる効果がある。本実施形態以外に第2の光学素子素材7の配置、形状はいろいろ考えられるが、図4に示すように、第2型10の形状を凸にし、第1の光学素子13の一面が凹となるよう成形することで、第2の光学素子素材14を第1の光学素子13上に配置にすることで、より安定に所望の光学素子16を成形することが可能である。
【0024】
図5は本発明の第2の実施形態を表す状態断面図である。第1の光学素子21の光学面形状を有する第1型17の上に第1の光学素子素材20を配置し、胴型19および第2型18がその上に載置され、一つのブロックを構成する。
【0025】
この組み立てられたブロックを予備加熱、プレス、冷却の各ステージに搬送し、第1の光学素子21が成形され、ここまでは第1の実施形態とほぼ同じである。
【0026】
その後、一旦第2型18を取り外し、成形された第1の光学素子21上に第2の光学素子素材22および第3の光学素子素材23を載置し、第3型24を胴型19に嵌合し、第1の光学素子と同様に成形を行う。その結果、所望の光学素子25が成形される。
【0027】
本実施形態では、第1の光学素子素材20にはホウ珪酸ガラス(ガラス転移点520℃、ガラス屈伏点556℃)を用い、予熱温度590℃約3分、プレス90MPa/mmで、設定温度575℃で冷却しながら約1分で光学性能面を転写し、その後冷却ステージにて350℃までブロックを冷却し、さらに常温まで水冷盤上で冷却した後、転写面が平面加工された第2型18を取り外し、IRカット機能を有したフツリン酸系ガラスの円盤22を成形された第1の光学素子21上に載置、さらに、ガラス転移点、ガラス屈伏点が、前記IRカット機能を有した第2の光学素子素材22に近いフツリン酸系ガラスの玉23を盤上に乗せ、その上に非球面加工された転写面を有する第3型24を組み込み再び、予熱、プレス、冷却のステージで成形することで、IRカット機能を有する撮像系非球面レンズ25が得られる。
【0028】
本実施形態では、第3の光学素子素材23に第2の光学素子素材22(IRカット機能を有するフツリン酸系ガラス)にガラス転移点、ガラス屈伏点のよく似たガラスを用いたが、他のガラスでも何ら問題ない。ただし、熱膨張特性の類似した材料の方が望ましい。
【0029】
図6は本発明の第3の実施形態を表す状態断面図である。第1の光学素子30の光学面形状を有する第1型26の上に第1の光学素子素材29を配置し、胴型28および第2型27がその上に載置され、一つのブロックを構成する。
【0030】
この組み立てられたブロックを予備加熱、プレス、冷却の各ステージに搬送し、第1の光学素子30が成形される。第1の実施形態と異なる点は、第2型27の成形面は、すでに最終光学素子32の転写面に加工されている点である。
【0031】
この金型を用い、一旦成形した後、300℃近傍まで冷却した状態で、第2型27を取り外し、溶融された第2の光学素子素材31を供給し、再び加熱成形することで、所望の光学素子32が得られる。本実施形態における特徴は、金型費が安価にでき、第1の光学素子30成形時の転写面を再び成形することで、より転写性を向上することができるため、第1の成形を短時間で行うことができる点にある。
【0032】
本実施形態では、第1の光学素子素材29と第2の光学素子素材31は同じ、ホウ珪酸ガラスを用いたが、第2の光学素子素材31には、第1の光学素子素材よりガラス転移点、ガラス屈伏点の高い材料を用いても良い。また、図7のように、第2の光学素子素材33として小さなボール研磨ガラス、または、図8のように第1の実施形態で成形されたような第2の光学素子素材34を使っても同様な効果が得られる。
【0033】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明により、光学素子素材が、所望の光学素子成形用の金型に供給されにくい形状の場合、第1の光学素子と第2の光学素子を一連の工程で成形し、かつ接合することで容易に得ることができる。この際、第1の光学素子と第2の光学素子の光学的境界面はなく、光ディスク装置などに用いられる光学素子として充分安価に製造できる。
【0034】
また、IRカット機能などのガラスを第3の光学素子素材として用いることで、撮像系などに用いられる機能付き光学素子として生産することが可能となる。また、複数枚の光学素子の位置合わせ、接着工程は不要であり、光学機器の組み立て時にも、高精度で効率よく生産することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一連の製造工程における、光学素子成形の状態を示す断面図
【図2】本発明の第1の実施形態における、製造工程途中の光学素子成形型の状態を示す断面図
【図3】本発明の第1の実施形態における、製造工程途中の光学素子成形型の第2の状態を示す断面図
【図4】本発明の第1の実施形態における、第2の形態での一連の製造工程中の光学素子成形の状態を示す断面図
【図5】本発明の第2の実施形態における、一連の製造工程中の光学素子成形の状態を示す断面図
【図6】本発明の第3の実施形態における、一連の製造工程中の光学素子成形の状態を示す断面図
【図7】本発明の第3の実施形態における、製造工程途中の光学素子成形型の第2の状態を示す断面図
【図8】本発明の第3の実施形態における、製造工程途中の光学素子成形型の第3の状態を示す断面図
【図9】従来の光学素子の製造工程図と、金型の一部断面図
【図10】従来の光学素子の成形金型断面図と、所望の光学素子の概念図
【図11】従来の光学素子の成形金型断面図と、所望の光学素子の概念図、および成形後の光学素子の概念図
【符号の説明】
1 第1型
2 第2型
3 胴型
4 第1の光学素子素材
5 第1の光学素子
6 第3型
7 第2の光学素子素材
8 本発明の成形光学素子
9 第1型
10 第2型
11 胴型
12 第1の光学素子素材
13 第1の光学素子
14 第2の光学素子素材
15 第3型
16 本発明の成形光学素子
17 第1型
18 第2型
19 胴型
20 第1の光学素子素材
21 第1の光学素子
22 第2の光学素子素材
23 第3の光学素子素材
24 第3型
25 本発明の成形光学素子
26 第1型
27 第2型
28 胴型
29 第1の光学素子素材
30 第1の光学素子
31 第2の光学素子素材
32 所望の光学素子
33 第2の光学素子素材
34 第2の光学素子素材
35 第1の金型
36 胴型
37 光学素子素材
38 第2の金型
39 成形された光学素子
40 第1の金型
41 胴型
42 光学素子素材
43 所望の光学素子
44 第1の金型
45 胴型
46 光学素子素材
47 所望の光学素子
48 成形された光学素子

Claims (12)

  1. 第1と第2の一対の押圧型と胴型により第1の光学素子素材を加熱加圧して第1の光学素子を成形し、少なくともどちらか一方の押圧型を取り外して第2の光学素子素材を載置し、取り外した押圧型、もしくは第3の押圧型で再度加熱加圧して成形することを特徴とする光学素子製造方法。
  2. 第1と第2の光学素子素材は、同じ種類の素材を用いることを特徴とする請求項1記載の光学素子製造方法。
  3. 第2の押圧型は、平面もしくは凸面であることを特徴とする請求項1記載の光学素子製造方法。
  4. 所望の光学素子成形面の曲率半径RLとその光学素子成形素材の曲率半径RGとの関係が、RL<RGなるとき、光学素子素材と第1の押圧型、もしくは/かつ第2の押圧型との間に密閉された空間ができる構成の成形金型であることを特徴とする請求項1記載の光学素子成形方法。
  5. 第2の光学素子素材は、第1の光学素材よりガラス軟化温度が低いことを特徴とする請求項1記載の光学素子製造方法。
  6. 第1と第2の一対の押圧型と胴型により第1の光学素子素材を加熱加圧して第1の光学素子を成形し、少なくともどちらか一方の押圧型を取り外して第2の光学素子素材を載置、さらに異なる種類の第3の光学素材を載置し、取り外した押圧型、もしくは第3の押圧型で再度加熱加圧して成形することを特徴とする光学素子製造方法。
  7. 第1と第2の一対の押圧型と胴型により第1の光学素子素材を加熱加圧して第1の光学素子を成形し、少なくともどちらか一方の型を取り外し、同じ種類の第2の光学素子素材を載置し、取り外した押圧型、もしくは第3の押圧型で再度加熱加圧して成形されることを特徴とする光学素子。
  8. 成形された第1と第2の光学素子は、光学的境界面を有さないことを特徴とする請求項7記載の光学素子。
  9. 第1と第2の一対の押圧型と胴型により第1の光学素子素材を加熱加圧して第1の光学素子を成形し、少なくともどちらか一方の型を取り外し、少なくとも第1の光学素子素材の軟化温度より低い軟化温度の第2の光学素子素材を載置し、取り外した押圧型、もしくは第3の押圧型で再度加熱加圧して成形されることを特徴とする光学素子。
  10. 第2の光学素材は、波長選択機能を有することを特徴とする請求項9記載の光学素子。
  11. 第1と第2の一対の押圧型と胴型により第1の光学素子素材を加熱加圧して第1の光学素子を成形し、少なくともどちらか一方の押圧型を取り外して第2の光学素子素材を載置、さらに異なる種類の第3の光学素材を載置し、取り外した押圧型、もしくは第3の押圧型で再度加熱加圧して成形されることを特徴とする光学素子。
  12. 第2の光学素材は、波長選択機能を有することを特徴とする請求項11記載の光学素子。
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