JP2004003753A - 冷媒の温度制御方法、冷却方法及び冷却装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の冷却装置10は、負荷11に二次冷媒を循環させる循環配管12と、この循環配管12に設けられた冷凍機13とを備え、且つ、冷凍機13の下流側の二次冷媒の一部を上流側に還流させる還流配管14と、この還流配管14に配置され且つ冷凍機13の廃熱を利用して還流する二次冷媒を加熱する熱交換器16とを備えている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、冷媒の温度制御方法、冷却方法及び冷却装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の冷却装置は、例えば図3に示すように、冷凍機1と、冷凍機1の一次冷媒が循環する熱交換器2と、熱交換器2において一次冷媒によって冷却された二次冷媒が冷媒タンク3を循環する第1循環配管4と、冷媒タンク3と負荷5との間で二次冷媒が循環する第2循環配管6とを備えている。冷媒タンク3には温度センサ7が取り付けられ、温度センサ7を介して冷媒タンク3内の二次冷媒の温度を検出する。温度センサ7には温度コントローラ8が接続され、この温度コントローラ8にはヒータ電源9Aを介してヒータ9が接続されている。また、冷凍機1には冷却水が循環する冷却水配管1Aが接続され、冷凍機1において回収した廃熱を伴う冷却水が冷却水配管1Aを循環する間に放熱器1Bを介して冷却される。尚、図3において、4A、6Aはそれぞれ第1、第2循環配管4、5に取り付けられたポンプである。
【0003】
而して、冷媒タンク3内の二次冷媒はポンプ4Aの働きで第1循環配管4を循環する間に冷凍機1及び熱交換器2を介して冷却された後、冷媒タンク3内に還流する。また、冷媒タンク3内の冷却後の二次冷媒はポンプ6Aの働きで第2循環配管6を介して負荷5との間を循環して負荷5を冷却する。
【0004】
ところが、冷凍機1の冷却能力は二次冷媒による負荷5の冷却能力を上回るため、冷凍機1を介して二次冷媒を冷却するだけでは冷媒タンク3内の二次冷媒の温度が徐々に低下し、負荷5の冷却能力が大きくなりすぎる。そこで、冷媒タンク3内の二次冷媒の温度を温度センサ7によって検出し、この検出温度に基づいて温度コントローラ8がヒータ電源9Aを制御してヒータ9の発熱量を調節して冷凍機1によって冷却された二次冷媒を加熱して冷媒タンク3内の二次冷媒の温度を一定に保持するようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の冷却装置及び冷却方法の場合には、冷媒タンク3内の二次冷媒の容量が大きいため、負荷5の冷却に必要な設定温度に二次冷媒の温度を到達させるまでに長時間を要するという課題があった。しかも、冷凍機1によって冷却した二次冷媒をヒータ9で加熱しているため、冷却装置としてのエネルギー効率が低いという課題があった。
【0006】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、エネルギー効率を高めることができると共に二次冷媒を設定温度まで短時間で到達させることができる冷媒の温度制御方法、冷却方法及び冷却装置を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に記載の冷媒の温度制御方法は、冷凍機によって二次冷媒を冷却する際に二次冷媒を所定の温度に制御する方法において、上記二次冷媒の温度に基づいて上記冷凍機の廃熱を上記二次冷媒に伝達させる伝達量を制御することを特徴とするものである。
【0008】
また、本発明の請求項2に記載の冷媒の温度制御方法は、冷凍機によって二次冷媒を冷却する際に二次冷媒を所定の温度に制御する方法において、上記冷凍機の下流側で上記二次冷媒の一部を取り出した後、この二次冷媒の一部を上記冷凍機の廃熱によって加熱して上記冷凍機の上流側の二次冷媒に還流させることを特徴とするものである。
【0009】
また、本発明の請求項3に記載の冷媒の温度制御方法は、請求項2に記載の発明において、記冷凍機の下流側で上記二次冷媒の温度を検出し、この検出温度に基づいて上記冷凍機の上流側に還流する二次冷媒の流量を制御することを特徴とするものである。
【0010】
また、本発明の請求項4に記載の冷却方法は、冷凍機で冷却された二次冷媒を冷却対象に循環させてこの冷却対象を所定の温度まで冷却する方法において、上記二次冷媒の温度に基づいて上記冷凍機の廃熱を上記二次冷媒に伝達させる伝達量を制御することを特徴とするものである。
【0011】
また、本発明の請求項5に記載の冷却方法は、冷凍機で冷却された二次冷媒を冷却対象に循環させてこの冷却対象を所定の温度まで冷却する方法において、上記冷凍機の下流側で上記二次冷媒の一部を取り出した後、この二次冷媒の一部を上記冷凍機の廃熱によって加熱して上記冷凍機の上流側の二次冷媒に還流させることを特徴とするものである。
【0012】
また、本発明の請求項6に記載の冷却方法は、請求項5に記載の発明において、上記冷凍機の下流側で上記二次冷媒の温度を検出し、この検出温度に基づいて上記冷凍機の上流側に還流する二次冷媒の流量を制御することを特徴とするものである。
【0013】
また、本発明の請求項7に記載の冷却方法は請求項5または請求項6に記載の発明において、上記冷却対象が被処理体を保持する保持体であることを特徴とするものである。
【0014】
また、本発明の請求項8に記載の冷却装置は、冷却対象に二次冷媒を循環させる循環配管と、この循環配管に設けられ且つ上記二次冷媒を冷却する冷凍機とを備えた冷却装置において、上記冷凍機の廃熱を上記二次冷媒に伝達させる機構を備え、上記二次冷媒の温度に基づいて上記冷凍機の廃熱を上記二次冷媒に伝達させる伝達量を制御することを特徴とするものである。
【0015】
また、本発明の請求項9に記載の冷却装置は、冷却対象に二次冷媒を循環させる循環配管と、この循環配管に設けられ且つ上記二次冷媒を冷却する冷凍機とを備えた冷却装置において、上記冷凍機の廃熱をその上流側の循環配管内を流れる二次冷媒に伝達させる機構を備え、上記冷凍機の下流側の二次冷媒の温度に基づいて上記廃熱の伝達量を制御することを特徴とするものである。
【0016】
また、本発明の請求項10に記載の冷却装置は、請求項9に記載の発明において、上記機構は、上記冷凍機の上流側の循環配管から分岐し且つ上記二次冷媒が上記循環配管と並列に流れる還流配管を備え、上記冷凍機の廃熱は熱交換器を介して上記還流配管内の二次冷媒へ伝達されることを特徴とするものである。
【0017】
また、本発明の請求項11に記載の冷却装置は、冷却対象に二次冷媒を循環させる循環配管と、この循環配管に設けられた冷凍機とを備えた冷却装置において、上記冷凍機の下流側の二次冷媒の一部を上流側に還流させる還流配管と、この還流配管に配置され且つ上記冷凍機の廃熱を利用して還流冷媒を加熱する熱交換器とを備えたことを特徴とするものである。
【0018】
また、本発明の請求項12に記載の冷却装置は、請求項11に記載の発明において、上記循環配管に上記冷凍機の下流側で二次冷媒の温度を検出する温度センサを設けると共に、上記温度センサの検出温度に基づいて上記還流配管の二次冷媒の流量を制御する制御装置を設けたことを特徴とするものである。
【0019】
また、本発明の請求項13に記載の冷却装置は、請求項11または請求項12に記載の発明において、上記還流配管に逆止弁を設けたことを特徴とするものである。
【0020】
また、本発明の請求項14に記載の冷却装置は、請求項8〜請求項13のいずれか1項に記載の発明において、上記冷却対象が被処理体を保持する保持体であることを特徴とするものである。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、図1、図2に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態の冷却装置10は、例えば図1に示すように、冷却対象となる負荷11に二次冷媒を循環させる循環配管12と、この循環配管12に設けられた冷凍機13とを備え、循環配管12を循環する二次冷媒を冷凍機13で冷却する。循環配管12にはポンプ12Aが設けられ、ポンプ12Aを介して負荷11に対して二次冷媒を循環させて負荷11を所定温度まで冷却する。冷凍機13は、図1に示すように、冷凍機本体13Aと、熱交換器13Bと、放熱器13Cと、冷却水配管13Dとを有している。冷凍機本体13A内では一次冷媒の圧縮、凝縮、膨張、蒸発の相変化で熱移動が発生し、一次冷媒が膨張蒸発する際の吸熱作用で二次冷媒を冷却する。そして、冷却水配管13Dを循環する冷却水によって冷凍機本体13A内で圧縮されて高温、高圧になった一次冷媒を冷却して凝縮させる。この時に冷却水への放熱を従来は廃熱として放出していた。本実施形態ではこの廃熱を二次冷媒の加熱に有効に利用する。尚、一次冷媒としては例えばフロン系ガス、ヘリウム、炭化水素等を二次冷媒の冷却温度に基づいて使い分けて使用することができ、二次冷媒としてはフロリナート、不凍液、エチレングリコール水溶液等を負荷の冷却温度に基づいて使い分けて使用することができる。
【0022】
本実施形態では廃熱を有効利用するために循環配管12に還流配管14が接続されている。この還流配管14の一端は冷凍機13の熱交換器13Bの下流側に接続されていると共に他端は熱交換器13Bの上流側に接続され、循環配管12内の二次冷媒を加温する際に、還流配管14に設けられたポンプ15を介して熱交換器13Bの下流側(二次側)からその上流側(一次側)へ冷却後の二次冷媒の一部を還流させている。また、この還流配管14には第2の熱交換器16が設けられ、例えばこの熱交換器16のシェル側に冷凍機13の冷却水を流すと共にチューブ側に冷凍機13の下流側から二次冷媒の一部を取り出し、熱交換器16において冷凍機13の廃熱を利用して循環配管12から取り出した二次冷媒を加熱するようにしている。そして、熱交換器16を通過した冷却水は放熱器13Cにおいて冷却される。熱交換器16の構造は、シェル、チューブ型に制限されるものではなく、二重管型、ペアチューブ型、プレート型等の種々のものを用いることができる。
【0023】
また、循環配管12には温度センサ17が熱交換器13Bの下流側に位置させて設けられ、冷凍機13によって冷却された二次冷媒の温度を検出するようにしている。この温度センサ17には温度コントローラ18が接続され、この温度コントローラ18にはポンプ駆動回路19を介してポンプ15が接続されている。従って、温度コントローラ18は温度センサ17による検出温度に基づいてポンプ駆動回路19を制御し、ポンプ15による二次冷媒の還流流量を制御している。温度コントローラ18は、設定温度等を記憶する記憶部と、この記憶部からの設定温度と温度センサ17の検出温度とを比較する比較部とを有し、設定温度と温度センサ17の検出温度との比較結果に基づいてポンプ駆動回路19を介してポンプ15の回転量を制御して加熱後の二次冷媒の還流流量を制御するようにしている。
【0024】
更に、還流配管14には逆止弁14Aがポンプ15の下流側に位置させて設けられ、二次冷媒を加温しない時には循環配管12から還流配管14へ二次冷媒が逆流しないようにしてある。尚、二次冷媒の還流流量を制御する手段としては、ポンプ15の回転量制御に制限されるものではなく、ポンプの回転量を一定にして循環配管中に設けられる流量調節弁の開度(流量調節量)を温度コントローラ18で制御するようにしても良い。
【0025】
次に、上記冷却装置10を用いた本発明の二次冷媒の温度制御方法及び冷却方法について説明する。負荷11を所定の温度に冷却する場合には冷凍機13によって二次冷媒を冷却すると共に二次冷媒を所定の温度に制御する。即ち、冷凍機13が始動すると共にポンプ12Aが始動し、二次冷媒が循環配管12を流れて熱交換器13Bに達し、熱交換器13Bにおいて二次冷媒が冷却される。冷却後の二次冷媒は負荷11に到達して負荷11を冷却する。この間、還流配管14では逆止弁14Aが働き、循環配管12から還流配管14への二次冷媒の流入を防止する。二次冷媒は循環配管12において冷凍機13の熱交換器13Bを通過する度毎に冷却され、二次冷媒の温度が急激に低下し、負荷11を過冷却する温度に達する。
【0026】
この段階で冷凍機13の廃熱を利用して循環配管12を循環する二次冷媒を負荷11の冷却に適した所定の温度まで加温、制御する。即ち、還流配管14では逆止弁14Aが開き、冷却後の二次冷媒の一部が循環配管12の冷凍機13の下流側から還流配管14を経由して冷凍機13の上流側で循環配管12へ還流される。この際、二次冷媒は還流配管14において熱交換器16のチューブ側を通過し、シェル側の廃熱を伴った冷却水によって加熱される。加熱された二次冷媒は還流配管14から冷凍機13の直前で循環配管12の二次冷媒と合流し、二次冷媒を加温する。
【0027】
冷凍機13の下流側では温度センサ17によって冷却後の二次冷媒の温度を検出し、検出温度を温度コントローラ18へ出力する。温度コントローラ18では温度センサ17の検出温度を予め設定された設定温度とを比較し、その温度差に即してポンプ駆動回路19を介してポンプ15の回転量を制御し、加熱後の二次冷媒の循環配管12への還流流量を制御し、循環配管12を流れる二次冷媒の温度を制御する。
【0028】
以上説明したように本実施形態によれば、負荷11に二次冷媒を循環させる循環配管12と、この循環配管12に設けられた冷凍機13とを備え、且つ、冷凍機13の下流側で二次冷媒の一部を冷凍機13の上流側に還流させる還流配管14と、この還流配管14に配置され且つ冷凍機13の廃熱を利用して還流させる二次冷媒を加熱する熱交換器16とを備えた冷却装置10を用い、循環配管12を循環する二次冷媒の一部を冷凍機13の下流側で循環配管12から還流配管14に取り出した後、還流配管14の熱交換器16において冷凍機13の廃熱によって二次冷媒の一部を加熱して循環配管12の冷凍機の上流側に還流させて二次冷媒の温度を制御するようにしたため、冷凍機13の廃熱を利用して負荷11に到達する二次冷媒の温度を制御することができ、廃熱の有効利用により冷凍機13のエネルギー効率を高めることができる。しかも、本実施形態では従来のように二次冷媒を貯める冷媒タンクを必要とせず、負荷11の冷却に使用する二次冷媒の使用量を格段に低減することができ、延いては二次冷媒を設定温度まで短時間で到達させることができる。
【0029】
また、本実施形態によれば、冷凍機13の下流側で二次冷媒の温度を検出する温度センサ17を設けると共に、この温度センサ17の検出温度に基づいて還流配管14を還流する二次冷媒の流量を制御する温度コントローラ18を設け、温度センサ17を用いて冷凍機13の下流側で二次冷媒の温度を検出し、この検出温度に基づいて温度コントローラ18の制御下で冷凍機13の上流側に還流する二次冷媒の還流流量を制御するようにしたため、負荷11に到達する二次冷媒を所定の温度に正確且つ確実に制御することができる。
【0030】
また、図2は上記冷却装置10を検査装置20に適用した例を示す図である。本実施形態の検査装置20は、図2に示すように、ローダ室21、プローバ室22及び制御装置23を備え、100℃以上の高温検査及び0℃以下の低温検査を行なえるように構成されている。また、ローダ室21内には搬送機構(図示せず)が配設され、搬送機構を介してローダ室21内のカセットとプローバ室22間でウエハWを搬送する。また、ローダ室21内にサブチャック(図示せず)が配設され、ローダ室21からプローバ室22へウエハWを搬送する間にサブチャックによってオリフラまたはノッチを介してウエハWのプリアライメントを行う。プローバ室22内には昇降可能なメインチャック24が配設され、このメインチャック24はXYテーブル25を介してX及びY方向に水平移動すると共に回転機構(図示せず)を介して軸方向に所定角度だけ正逆回転する。また、メインチャック24は温度調節機構を有し、ウエハWの高温検査時にはウエハWを加熱し、低温検査時にはウエハWを冷却する。このメインチャック24の上方にはプローブカード26が配置され、このプローブカード26はインサートリング27及びパフォーマンスボード(図示せず)を介してテストヘッド28と電気的に接続されている。インサートリング27はヘッドプレート29に形成された孔に装着されている。また、ヘッドプレート29の内面にはクランプ機構(図示せず)が孔を囲んで固定され、クランプ機構を介してプローブカード26を着脱するようになっている。
【0031】
また、ウエハの検査時にはアライメント機構30とXYテーブル25が協働してメインチャック24上のウエハWとプローブカード26のプローブ26Aとをアライメントした後、メインチャック24はXYテーブル25を介してウエハWのインデックス送りを行った後、Z方向に上昇し、ウエハWの電極パッドとプローブ26Aとを電気的に接触させ、テスタ(図示せず)からの複数の検査用信号に基づいてウエハの電気的特性検査を行なう。このアライメント機構30は、ウエハWを撮像する上カメラ30Aと、プローブカード26を撮像する下カメラ30Bとを備えている。上カメラ30Aはプローバ室22の上方の左右に配置された一対のガイドレール30C、30C間に架設されたアライメントブリッジ30Dに固定され、アライメントブリッジ30Dを介してガイドレール30C、30Cに従って移動する。
【0032】
而して、メインチャック24内には冷媒流路(図示せず)が形成され、この冷媒流路に冷却装置10の循環配管12が接続されている。そして、低温検査時には冷却装置10を介してメインチャック24を例えばヘリウムを一次冷媒として使用した場合には−70℃程度まで冷却することができる。
【0033】
次に、検査装置2を用いて低温検査を行なう場合の動作について説明する。まず、ローダ室21内では搬送機構を介してカセット内から一枚のウエハWを取り出した後、ウエハWをサブチャック上に載置する。サブチャックはオリフラまたはノッチを介してウエハWのプリアライメントを行う。その後、再び搬送機構を介してサブチャックからウエハWを受け取ってプローバ室22内で待機するメインチャック24上にウエハWを載置する。この時点でメインチャック24は冷却装置10を介して所定の温度(例えば、約−70℃)まで冷却されている。
【0034】
然る後、メインチャック24、XYテーブル25及びアライメント機構30が協働してウエハWとプローブ26Aのアライメントを行った後、メインチャック24が初期位置まで移動すると昇降機構を介してZ方向に上昇してウエハWの電極パッドとプローブ26Aとが接触し、更にオーバードライブしてウエハWの電気的特性検査を行なう。
【0035】
低温検査時にウエハWからの発熱によってメインチャック24が加熱されても循環配管12では温度センサ17の働きで二次冷媒の還流流量を調節してメインチャック24を一定の温度に制御し、低温検査を所定の温度で確実に行なうことができる。
【0036】
また、ウエハWの低温検査を終了した後、メインチャック24がローダ室21側へ移動すると、ローダ室21内では搬送機構を介してメインチャック24上のウエハWを受け取ってカセット内の元の場所へ戻す。これら一連の動作を全てのウエハWについて繰り返し行なって低温検査を行なう。
【0037】
以上説明したように本実施形態によれば、冷却装置10によってメインチャック24を冷却し、メインチャック24上のウエハWを常に一定の低温状態に維持し、信頼性の高い低温検査を確実に行なうことができる。
【0038】
また、図3は本発明の冷却装置の他の実施形態を示す図で、同図では図1と同一部分または相当部分には同一符号を付し、本実施形態の特徴について説明する。本実施形態の冷却装置10Aでは、還流配管14に両端がいずれも冷凍機13の熱交換器13Bの上流側に相前後して接続され、しかも図1に示す冷却装置10の逆止弁14Aが還流配管14から省略されている。従って、ポンプ15の取付形態によって還流配管14を流れる二次冷媒の向きが逆になる。同図に示す場合には、還流配管14の循環配管12との下流側の接続点12Bが二次冷媒の分流点になると共に上流側の接続点12Cが二次冷媒の合流点になる。従って、冷凍機13の廃熱を利用して循環配管12を流れる二次冷媒を加熱する場合には、ポンプ15を介して循環配管12との下流側の接続点12Bから分流して還流配管14を還流し、循環配管12の上流側の接続点12Cで合流する。そして、二次冷媒は還流途中で熱交換器16を介して冷凍機13の廃熱を得て温度が高くなる。ポンプ15が図3とは逆向きに二次冷媒を送る場合には、還流配管14における二次冷媒の流れ方向も逆になり、循環配管12との上流側の接続点12Cが二次冷媒の分流点になると共に循環配管12との下流側の接続点12Bが二次冷媒の合流点になる。
【0039】
本実施形態によれば、負荷11に二次冷媒を循環させる循環配管12と、この循環配管12に設けられ且つ二次冷媒を冷却する冷凍機13とを備え、冷凍機13の廃熱を二次冷媒に伝達させる熱伝達機構(還流配管14、熱交換器16)を有し、二次冷媒の温度に基づいて冷凍機13の廃熱を二次冷媒に伝達させる伝達量を制御するようにしたため、上記実施形態と同様の作用効果を期することができると共に、逆止弁14Aを省略して熱伝達機構を簡素化することができる。
【0040】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではない。要は、冷凍機によって冷却された冷媒を所定の温度に制御し、この冷媒を用いて冷却対象を冷却する場合には、二次冷媒の温度に基づいて冷凍機の廃熱を二次冷媒に伝達させる伝達量を制御するようにしたものであれば良い。例えば、冷凍機の上流側で冷媒の一部を取り出した後、冷凍機の廃熱によって冷媒の一部を加熱して冷凍機の更に上流側に還流させるようにしたもの、あるいは冷凍機の下流側で冷媒の一部を取り出した後、冷凍機の廃熱によって冷媒の一部を加熱して冷凍機の上流側に還流させるようにしたものなどであれば良い。また、上記実施形態では冷却装置10を検査装置10に適用した場合について説明したが、検査装置に制限されるものではなく、半導体製造装置のウエハW等の被処理体を保持する保持体に広く適用することができる。
【0041】
【発明の効果】
本発明の請求項1〜請求項14に記載の発明によれば、エネルギー効率を高めることができると共に二次冷媒を設定温度まで短時間で到達させることができる冷媒の温度制御方法、冷却方法及び冷却装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の冷却装置の一実施形態を示す構成図である。
【図2】図1に示す冷却装置を適用した検査装置の一例を示す構成図である。
【図3】本発明の冷却装置の他の実施形態を示す構成図である。
【図4】従来の冷却装置の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
10 冷却装置
11 負荷(冷却対象)
12 循環配管
13 冷凍機
14 還流配管
16 熱交換器
17 温度センサ
18 温度コントローラ(制御装置)
24 メインチャック(冷却対象)
W ウエハ(被検査体)
Claims (14)
- 冷凍機によって二次冷媒を冷却する際に二次冷媒を所定の温度に制御する方法において、上記二次冷媒の温度に基づいて上記冷凍機の廃熱を上記二次冷媒に伝達させる伝達量を制御することを特徴とする冷媒の温度制御方法。
- 冷凍機によって二次冷媒を冷却する際に二次冷媒を所定の温度に制御する方法において、上記冷凍機の下流側で上記二次冷媒の一部を取り出した後、この二次冷媒の一部を上記冷凍機の廃熱によって加熱して上記冷凍機の上流側の二次冷媒に還流させることを特徴とする冷媒の温度制御方法。
- 上記冷凍機の下流側で上記二次冷媒の温度を検出し、この検出温度に基づいて上記冷凍機の上流側に還流する二次冷媒の流量を制御することを特徴とする請求項2に記載の冷媒の温度制御方法。
- 冷凍機で冷却された二次冷媒を冷却対象に循環させてこの冷却対象を所定の温度まで冷却する方法において、上記二次冷媒の温度に基づいて上記冷凍機の廃熱を上記二次冷媒に伝達させる伝達量を制御することを特徴とする冷却方法。
- 冷凍機で冷却された二次冷媒を冷却対象に循環させてこの冷却対象を所定の温度まで冷却する方法において、上記冷凍機の下流側で上記二次冷媒の一部を取り出した後、この二次冷媒の一部を上記冷凍機の廃熱によって加熱して上記冷凍機の上流側の二次冷媒に還流させることを特徴とする冷却方法。
- 上記冷凍機の下流側で上記二次冷媒の温度を検出し、この検出温度に基づいて上記冷凍機の上流側に還流する二次冷媒の流量を制御することを特徴とする請求項5に記載の冷却方法。
- 上記冷却対象が被処理体を保持する保持体であることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の冷却方法。
- 冷却対象に二次冷媒を循環させる循環配管と、この循環配管に設けられ且つ上記二次冷媒を冷却する冷凍機とを備えた冷却装置において、上記冷凍機の廃熱を上記二次冷媒に伝達させる機構を備え、上記二次冷媒の温度に基づいて上記冷凍機の廃熱を上記二次冷媒に伝達させる伝達量を制御することを特徴とする冷却装置。
- 冷却対象に二次冷媒を循環させる循環配管と、この循環配管に設けられ且つ上記二次冷媒を冷却する冷凍機とを備えた冷却装置において、上記冷凍機の廃熱をその上流側の循環配管内を流れる二次冷媒に伝達させる機構を備え、上記冷凍機の下流側の二次冷媒の温度に基づいて上記廃熱の伝達量を制御することを特徴とする冷却装置。
- 上記機構は、上記冷凍機の上流側の循環配管から分岐し且つ上記二次冷媒が上記循環配管と並列に流れる還流配管を備え、上記冷凍機の廃熱は熱交換器を介して上記還流配管内の二次冷媒へ伝達されることを特徴とする請求項9に記載の冷却装置。
- 冷却対象に二次冷媒を循環させる循環配管と、この循環配管に設けられた冷凍機とを備えた冷却装置において、上記冷凍機の下流側の二次冷媒の一部を上流側に還流させる還流配管と、この還流配管に配置され且つ上記冷凍機の廃熱を利用して還流冷媒を加熱する熱交換器とを備えたことを特徴とする冷却装置。
- 上記循環配管に上記冷凍機の下流側で二次冷媒の温度を検出する温度センサを設けると共に、上記温度センサの検出温度に基づいて上記還流配管の二次冷媒の流量を制御する制御装置を設けたことを特徴とする請求項11に記載の冷却装置。
- 上記還流配管に逆止弁を設けたことを特徴とする請求項11または請求項12に記載の冷却装置。
- 上記冷却対象が被処理体を保持する保持体であることを特徴とする請求項8〜請求項13のいずれか1項に記載の冷却装置。
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