JP2003518394A - 線型あるいは曲線型の超音波変換器とその接続技術 - Google Patents

線型あるいは曲線型の超音波変換器とその接続技術

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ダグラス スティーヴ
慎二 小河
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プロソニック カンパニー リミテッド
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Abstract

(57)【要約】 両面フレキシブル回路が、圧電超音波変換器配列との相互作用をもたらすために使用される。超音波結晶は間に絶縁間隙を有する第1及び第2の電極層に被覆されている。その後、フレキシブル回路材料が第1及び第2の電極層と接着されることで、両面フレキシブル回路の片側が変換電極の1つの組合せと接続し、フレキシブル回路の他方側が変換電極の第2の組合せと接続する。超音波変換器は水より高い音響速度を有する凹型音響レンズを有することが望ましい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は線型あるいは曲線型の超音波変換器とその接続技術に係り、特に医用
イメージングに使用される線型あるいは曲線型の超音波変換器とその接続技術に
関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、超音波イメージングは医用分野において利用されている。線型あるいは
曲線型の超音波変換器は、患者体内の特徴を示す視覚イメージを作成するのに使
用されている。このような超音波イメージングの変換器は、他の分野でも使用さ
れている。しかしながら、医用イメージングが、恐らくこのような変換器の最も
知られた用途である。
【0003】 一般に、体内の特徴を示す視覚イメージを作成するための超音波変換器は超音
波素子の配列を含んでいる。この超音波素子は、励起状態により駆動され、及び
又は、関心領域のさまざまな特徴から得られた超音波反射を受信する。
【0004】 技術が進歩するにつれて、高い解像度の超音波イメージを作成する必要が増大
している。もちろん、より良いイメージが得られるだけでなく、優れた信頼性及
び製造の容易さを呈する、超音波変換器を作成する必要もある。
【0005】 典型的な超音波反射変換器の配列において、圧電結晶は第1及び第2の圧電電
極に印加される電圧により駆動される。このような超音波変換器は、通常、電極
結晶アセンブリを形成するための第1及び第2の圧電電極を備えた圧電結晶によ
って形成される。この電極結晶アセンブリは、裏支持部に固定され、圧電結晶は
接続された圧電電極と共に横方向に切断され、縦方向に伸びる個々の電極素子に
分割される。
【0006】 このような圧電超音波変換器の製造を制限する要因の一つは、変換素子の大き
さが減少するにつれて、変換器に配線される接続点を付ける困難が増大すること
である。
【0007】
【発明の概要】
本願によれば、両面フレキシブル回路、フレキシブル回路、コネクタは、圧電
結晶内部の振動を駆動及び検知する電極の両方に接続される。本願によれば、第
1及び第2の圧電電極は、フレキシブル両面回路及びコネクタと接続されている
。その接続法は、フレキシブル両面コネクタと圧電電極とをハンダ付けすること
により、あるいは異方性の電導性接合剤を使用することにより行われる。フレキ
シブル両面コネクタが圧電電極と接続されるとき、接続物の切片は、強化コネク
タが使用される。物質をハンダ付けする場合には、この切片はもちろんハンダで
ある。しかし、この切片は、画面描写法、あるいは他の方法によって電導性エポ
キシが次第に形作られる。異方性の電導性接合剤は変換器をフレキシブルコネク
タと接続するのにも使用される。
【0008】 望ましい実施の形態の1つについて、第1及び第2のコネクタ導体の1つは、
一般に第1及び第2の圧電電極と接続される一般導体である。しかしこの場合、
第2のコネクタ導体は、個々の圧電変換素子をそれぞれ接続する個々の導体の大
部分から構成される。この代わりに、個々の接地は、それぞれの圧電変換素子か
ら個々に駆動あるいは検知することにより、使用及びアクセスされる。このため
、フレキシブル両面コネクタの両方の面は、それぞれの圧電素子を接続する個々
の電極を含んでいる。
【0009】 更に他の実施の形態について、2面からの圧電結晶からなる圧電電極を接続す
るフレキシブル両面コネクタを2つ利用することにより、圧電変換器の密度を増
加させることができる。これにより、フレキシブル両面コネクタのそれぞれのコ
ネクタ導体は、全ての他の圧電変換素子とだけアクセスすることができる。その
ため、それぞれのフレキシブル両面コネクタの上の個々の導体の高さを減少する
ことができるフレキシブル両面コネクタの上に設けられた電導導線の間隔又は高
さを増加させる。従って、変換素子に例えられるそれぞれのコネクタ導線の相対
的間隔は増加する。これは、2つの方法により実現することができる。単独の圧
電素子の2つの接触部が単独のフレキシブル回路又は両面コネクタからのアドレ
スにより、第1及び第2の電導接触部間の記憶を維持することができる。あるい
は、単独のフレキシブル両面コネクタについての第1及び第2の面を互いに並置
し、それによって、それぞれの回路素子は第1のフレキシブル両面コネクタを使
用して接続され、第2の端子は第2のフレキシブル両面コネクタを用いて接触さ
れるようにすることが望ましい。
【0010】 本願によれば、一致した個々の接地を使用することを通じて、圧電素子は、圧
電結晶の反対の面で接地することが望ましい。これにより、例えば採用する駆動
システムによって、ノイズを減らすことができる。
【0011】 本願において、変換器を進歩させた結果、さまざまな特徴が現れる。実質的に
水より大きい伝播速度を持つ凹レンズは、特に横方向について、変換器の焦点を
定めるのに使用される。望ましい実施の形態について、このレンズは毎秒170
0メートルより大きい伝播速度を持つエポキシから構成される。これに対して、
水は、毎秒約1500メートルの伝播速度を持つ。遮蔽層は、整合層と音響レン
ズからなる圧電結晶の外側に溶着されることが望ましい。この遮蔽層は、センサ
から患者を電気的に遮蔽するのと同時に、電磁干渉を減少する。遮蔽層を適切な
厚さにすることにより、実質的に超音波感度を減衰することなしに、電磁放射干
渉を減衰する。望ましくは、この遮蔽層は、変換器の上表面と横壁面によって1
00%覆われることにより、蒸着される。本願の変換器は、音響素子の膨張した
部分を含み、この音響素子は、圧電結晶と裏支持部層及び整合層との接合部分を
含み、間の溶接個所を保護するための圧電結晶と整合層の壁面を拡張する遮蔽層
と保護層である。
【0012】 前後において、望ましい実施の形態からの本発明の特徴及び利得を説明するこ
とは明白であり、これは本発明の典型的な実施の形態を示す後述の明細書、及び
添付した図面によって理解されるものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
図2は複数の超音波変換素子10a〜10kを含む線型の超音波変換器の概略
表示図である。本図は、本願の明細書を通じて用いられる縦方向及び横方向とい
う用語を定義するために、本願明細書に提供されている。縦という用語が、線型
又は曲線型の超音波変換器10の長さ方向に沿った方向を説明するために用いら
れるのに対し、横方向はこれに直交する方向である。なお本図は線型の超音波変
換器を表示しているが、本願の思想の範囲において、変換器は曲線配列をもたら
す横又は縦方向のいずれかに曲がっていてもよい。
【0014】 ここで本願図1を参照すると、圧電結晶12は電導被覆14を成す適切な電導
材、例えば銅、によって被覆されている。この電導被覆14は、第1の圧電電極
18及び第2の圧電電極20へ形成され、第1及び第2の圧電電極18、20に
挟まれた圧電結晶12をもたらしている。絶縁間隙16は電導被覆14を第1及
び第2の圧電電極18、20に区分するために設けられている。絶縁間隙16及
び17は、ダイシング又はエッチングを含む任意の適切な処理によって形成して
もよい。
【0015】 図1の実施の形態において、第1及び第2の圧電電極18、20は、圧電結晶
12の四面を、縦方向の両端部においてのみ分離され第1及び第2の絶縁間隙1
6、17で区分された電導体で完全に被覆する任意の代替処理によって形成され
る。その代わりに、図3に示すように、単一の絶縁間隙16のみを用い、絶縁間
隙を設けるために電導被覆を片側19で省略して、第1及び第2の電極を分離し
てもよい。
【0016】 本願の示唆するところによると、フレキシブル両面回路であるコネクタ22を
用いて、圧電変換素子10a〜10kを当業者が想到し得る適切な駆動又は感知
回路構成に接続する。図5〜図7においてより良好に観察できるが、圧電結晶1
2及びその電導被覆14は、通常ダイスされてダイシング間隙15が形成され、
これが変換器10の縦軸に沿って並ぶ複数の変換素子10a〜10kをもたらす
ことになる。この技術は本技術分野において既によく知られており、通常は、電
導被覆された圧電結晶12が接着剤31によって裏支持部30にあるいは整合層
32、33に接合された後に行われる。
【0017】 本願の示唆するところによると、電導被覆された圧電結晶を裏支持部へと接合
する前に、後述するようにフレキシブル両面コネクタ22を圧電結晶12及びそ
の電極18、20に付ける。この接続工程が完了してから、適切な接着剤31を
用いて圧電結晶12を裏支持部30に接合する。
【0018】 本願の変換器の構造は更に内側整合層32と外側整合層33とを含む。音響集
束素子34が更に設けられ、この音響集束素子34は、内側及び外側整合層32
と電導被覆された圧電結晶12と裏支持部30の全体あるいは一部分との縁部周
囲に伸延する接合保護部34Pを含んでいる。このように、音響集束素子34の
接合保護部分34Pは機械的な保護及び湿気からの保護を変換器の構造にもたら
し、それによって層の分離を防止している。
【0019】 本願の音響集束素子34は水よりも大きい音響速度を有する凹レンズである。
好ましい実施の形態において、音響集束素子34はエポキシ又はウレタンで形成
された凹レンズで、毎秒1700メートルより大きく好ましくは毎秒約2000
メートルの伝播速度を有している。これを水の通常の音響伝播速度である毎秒1
500mと比較する。凹レンズの音響伝播速度が水のそれよりも速いことから、
凹レンズは凹レンズの曲率によって決定される焦点に音響エネルギーを集束させ
る効果を有することになる。
【0020】 本願の示唆するところによると、遮蔽層36が、変換器配列の頂面側の壁と端
壁上に適切な金属性の電磁遮蔽を蒸着することによって設けられる。この遮蔽層
36は、電磁干渉に対する変換器の感度を低下させることによって測定の精緻性
を向上させ、更に患者を変換器配列から隔離する。また遮蔽層36は、効果的な
水分バリアをもたらすことによって、変換器層構造の層間剥離や他の水分に関係
する損傷を防止する。
【0021】 保護カバー38が、遮蔽層36を更に覆っている。この保護カバー38も変換
器の層を被覆し、更に水分及び機械的な保護をもたらしている。
【0022】 本願の示唆によって用いられるフレキシブル両面コネクタの詳細は図4を参照
するとより良好に表示されており、図4は図1の構造の部分拡大図である。好ま
しくは、フレキシブル両面コネクタ又は回路22は、好ましい実施の形態におい
てE.I.Dupont Co.によってKaptonの商標の下で流通されているようなポリイミド
製フイルム又は同等のフイルムであるフレキシブル絶縁基板24で形成される。
適切な第1のコネクタ導体26及び第2のコネクタ導体28がフレキシブル絶縁
基板24の各面に設けられている。好ましい実施の形態においては、明細書に更
に詳細に後述される適切な配線パターンがこのフレキシブル両面コネクタの片面
又は両面に設けられている。
【0023】 フレキシブル両面コネクタ22を電導被覆された圧電結晶12に固定する前に
、フレキシブル両面コネクタ22の端部は、第1のコネクタ導体26、フレキシ
ブル絶縁基板24及び第2のコネクタ導体28に段を付けてこれらの層のそれぞ
れの一部分がフレキシブル両面コネクタ22の片面に現れるようにすることによ
り、接続の準備がなされる。図4から窺えるように、第2のコネクタ導体28の
一部分は第1のコネクタ導体26及びフレキシブル絶縁基板24の両方を越えて
伸延し、露出した第2の接触部28Eを形成している。同様に、第2のコネクタ
導体28に沿ったフレキシブル絶縁基板24は第1のコネクタ導体26を越えて
伸延し、露出した間隙絶縁部分24Iを形成している。当然、第1のコネクタ導
体26の一部分も依然露出しており露出した第1の接触部26Eを形成している
【0024】 そして、フレキシブル両面コネクタ22は、任意の適切な電導性接合材料によ
って第1及び第2の圧電電極18、20に電導性をもって接続される。これは露
出した間隙絶縁部分24Iを絶縁間隙16の一つに位置合わせすることによって
実現される。露出した第1の接触部26Eはこの時、第1の電導性接触接合部4
0で第1の圧電電極18に接合される一方、露出した第2の接触部28Eは第2
の電導性接触接合部41で第2の圧電電極20に接合される。
【0025】 本願の好ましい一実施の形態によると、第1及び第2の電導性接触接合部40
、41は、金属性のハンダによって実現される。しかし本願の別の実施の形態に
よると、異方性をもつ電導性接着剤を用いて第1及び第2の電導性接触接合部4
0、41をもたらすこともできる。ハンダ付け構成において第1の電導性接触接
合部40が、電導被覆された圧電結晶12の側壁の少なくとも主要部分まで伸延
する接続強化切片42を含んでいることが好ましいことに留意すべきである。こ
の切片はフレキシブル両面コネクタ22と電導被覆14との間の接続強化を提供
する。
【0026】 フレキシブル両面コネクタ22は通常、装置の残余部の組み立てを行う前に電
導被覆された圧電結晶に接続される。圧電結晶はその後適切な接着剤31によっ
て裏支持部30に取り付けられ、それから当業者が想到し得るように変換器の残
余部が形成される。線型の超音波変換器の形成においては勿論、図1に示すよう
な複数の超音波変換素子10a〜10kの構成が必要とされる。典型的な場合、
これは圧電結晶を裏支持部に装着してからダイス切断することによってもたらさ
れる。よって、第1又は第2のコネクタ導体の一部として形成される個々の電極
は位置合わせを行うことによって特定の超音波変換素子10a〜10kに接続さ
れる。ダイシングは通常フレキシブル両面コネクタ22が取り付けられてから行
われれる。よって、両面フレキシブルコネクタ22の端部も通常ダイス切断され
る。
【0027】 フレキシブル両面コネクタ22の使用は、線型の超音波変換器10への接続が
配置される方法についてかなりの柔軟性をもたらす。図5は、フレキシブル両面
コネクタ22の使用を通じた個々の超音波変換素子10a〜10dの接続の第1
の例を表示している。図5、図6、及び図7は電導被覆された圧電結晶の下方側
面と、フレキシブル両面コネクタ22とその個々の導体がフレキシブル両面コネ
クタ22に接続される方法を表示している。
【0028】 図5の例において、第1のコネクタ導体26は超音波変換素子10a〜10d
の全てに第1の共通又は接地導体26Cとして接続され、続いて第1の変換素子
電極18a〜18dの各々へと接続される。よって、本実施において、第1の変
換素子電極18a〜18dは共通に接続されている。第2のコネクタ導体28は
その後個々の第2の個別コネクタ導体28a〜28dを用いて第2の変換電極素
子20a〜20dに接続する。絶縁間隙16はフレキシブル絶縁基板24の露出
した絶縁部分24Iによって橋絡されていることに留意する。この方法において
、個々の第2の変換電極素子20a〜20dは個別にアクセスされる一方、第1
の変換素子電極18a〜18dが共通に接続されている。この配置は勿論本願の
示唆によって逆転させることも可能で、個々の第1の変換素子電極28a〜28
dを用いて第1の変換素子電極18a〜18dにアクセスできる一方、共通接地
導体を用いて第2の変換素子電極20a〜20dに集合的に接触することもでき
る。
【0029】 図5の実施の形態は、フレキシブル両面コネクタ22が超音波変換器にその縁
部からアクセスし、接続強化切片42の生成を可能にすることを意図している。
但し、本願の示唆の範囲内において、フレキシブル両面コネクタ22を他方向即
ち変換配列の中心の方向から間隙16に接近させることも可能である。
【0030】 図6は他の実施の形態の一つを表示しており、ここでは第1及び第2の個別コ
ネクタ導体26a〜26d、28a〜28dが個々に個別第1及び第2の変換素
子電極18a〜18d、20a〜20dに各々接触している。よってある有利な
理由により図6の実施の形態において共通電極は使用されていない。その点以外
は図6の実施の形態は図5の実施の形態と略同一である。
【0031】 図7は本願の変換器接続のまた別の他の実施の形態を表示している。図7にお
いて第1及び第2のフレキシブル両面コネクタ22a、22bは集合的に用いら
れて個々の超音波変換素子20a〜20eにアクセスする。個々の超音波変換器
の寸法が減少していることから、個々のコネクタ導体26a〜26k、28a〜
28kの寸法は、コネクタ版の縮小化のみならず表裏合わせ問題による増加傾向
の問題点を引き起こす。これら問題点は、単一のフレキシブル両面導体22a又
は22bを用いて超音波変換素子に一つおきに接続するだけで顕著に低下させる
ことができる。よって、図7の実施の形態において、第1の両面導体22aの第
1コネクタ導体26は奇数番に該当する第1の個々のコネクタ導体26a、26
c、26eだけに接続し、一方第1の両面導体22aの第2のコネクタ導体28
は偶数番に該当する第1の個々のコネクタ導体26b及び26dだけに接続する
。同様に、第2の両面導体22bの第1のコネクタ導体26は偶数番に該当する
第1の個々のコネクタ導体26b、26dだけに接続し、一方第2の両面導体2
2bの第2のコネクタ導体28は奇数番に該当する第1の個々のコネクタ導体2
6a、26c、26eだけに接続する。
【0032】 2つの両面電導体の実施の形態には2つの主要な代替例がある。図7の実施の
形態において、第2のコネクタ導体は第1のコネクタ導体26による接続とは異
なる超音波変換素子に接続する。よって、第1のフレキシブル両面導体22aの
第1のコネクタ導体26が奇数番に該当する超音波変換素子10a、10c、1
0eに接続するのに対し、図7の実施の形態における第2のコネクタ導体は偶数
番に該当する変換素子10b及び10dに接続する。第2のフレキシブル両面コ
ネクタ22bも同じく、第2のコネクタ導体28は偶数番に該当する第2の個々
のコネクタ導体28a、28c、28eに接続する。第1及び第2のコネクタ導
体26、28間の関係は、勿論本願の示唆によって逆転してもよく、それによっ
て第1のフレキシブル両面コネクタ28aは、両者共偶数番に該当する超音波電
導素子10a、10c、10eに接続した第1及び第2のコネクタ導体26、2
8を有し、一方、対応する第2のフレキシブル両面電導体28bの第1及び第2
のコネクタ導体26、28は偶数番に該当する超音波変換素子10b、10dに
接続する。いずれの解決方法も変換素子の密度を増加するという顕著な利点を提
供し、これによって解像度の増加が可能となる。
【0033】 図8は本願の更なる別の実施の形態を表す。ここで第1のコネクタ導体26及
び第2のコネクタ導体28は交互に逆極性の超音波変換素子を駆動し、一つの極
性を有する第1の変換素子電極18a、18c、18eを駆動するとともに、逆
極性を有する第1の変換素子電極18b、18dを駆動する。これは装置全体に
おいて雑音の低下という結果をもたらす。
【0034】 簡素化に努めるため、本願に例示された実施の形態は、線型で一次元配列であ
るが、本願の基本構想はそれ以外の曲線型変換器に適用してもよい。そのような
曲線型変換器は当業者が想到し得るものとして縦方向又は横方向に湾曲してよく
、それによってあらゆる焦点目的を達成する。但し、本願の基本構想はそのよう
な曲線型変換配列に対して平等に適用することが可能である。
【0035】 以上の記載から、出願人が向上型変換器配列を発明したことは明白である。以
上から当業者の意図する範囲内において創られ得るあらゆる改良が存在すること
は明白である。本願の範囲はそのような改良を含み、また添付の請求項によって
本質的に定義されるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の典型的な変換器の断面を示す図
【図2】 このようなデバイスにおいて用いられた名称を説明するために用いられた線型
の超音波変換器を示す概略図
【図3】 他の実施の形態の圧電結晶及び圧電電極の構成図
【図4】 本発明のフレキシブル両面コネクタと圧電結晶との接触部を示す拡大図
【図5】 フレキシブル両面コネクタの接触部の一例を表示し、圧電結晶及び圧電電極を
下方から見た図
【図6】 他の実施の形態における圧電結晶及び圧電結晶素子とフレキシブル両面コネク
タとの接触部を示す図
【図7】 フレキシブル両面コネクタ22の圧電結晶とその関連素子とへの接触部の更に
他の実施の形態であり、本実施の形態において、隣接コネクタ同士の配線間の高
さ又は距離を増加させるように、2つのフレキシブル両面コネクタが利用される
ことを示す図
【図8】 第1のコネクタ導体の複数の導線に接続する複数の圧電結晶変換素子、更に各
圧電結晶変換素子の第1及び第2の圧電電極へと供給された複数の電位を示す概
略図
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G047 EA04 EA11 GA02 GB02 GB16 GB21 GB25 GB28 GB32 GB36 GF24 GF27 4C301 EE04 EE12 GA02 GB04 GB05 GB19 GB21 GB27 GB33 GB37 JA12 JA17 JA19 4C601 EE02 EE10 GA01 GA02 GB01 GB02 GB03 GB04 GB19 GB24 GB25 GB32 GB33 GB41 GB42 GB45 GD11 GD12 GD18 5D019 BB19 BB25 BB28 BB30

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一次元に沿って伸延している複数の素子に区分された圧電結
    晶と、 前記圧電結晶を挟み、前記複数の素子の各々と相互作用して超音波を変換する
    第1及び第2の電極層と、 前記圧電結晶の片面に形成された電極層接触部を各々有する前記第1及び第2
    の電極層と、 前記片面上で前記第1の素子接触部と第2の素子接触部との間に設けられた絶
    縁間隙と、 非電導フレキシブル基板の両面に設けられた第1及び第2の電導配線を有し、
    前記フレキシブル回路の接続端は前記第1及び第2の素子層接触部と接続してい
    る、両面フレキシブル回路と、 を備え、 前記接続端において、前記非電導フレキシブル基板が前記第1の電導配線を越
    えて伸延し、前記第2の電導配線が前記非電導フレキシブル基板を越えて伸延す
    ることで、前記接続端が前記第1の電導配線を有し、前記非電導フレキシブル基
    板と前記第2のフレキシブル基板とは前記両面フレキシブル基板の第1の片面上
    に露出された前記電導配線の両方と共に段状端部構造を集合的に形成し、 前記両面フレキシブル基板の段状端部構造は前記第1及び第2の電極層に接続
    され、前記第1の電導配線は前記第1の素子層接触部と接続され、前記第2の電
    導配線は前記第2の層接触部と接続され、前記非電導層は前記絶縁間隙を覆って
    いる、 ことを特徴とする超音波変換器。
  2. 【請求項2】 前記第1及び第2の電導配線が前記複数の素子各々への接続
    を有していることを特徴とする請求項1に記載の超音波変換器。
  3. 【請求項3】 前記第1の電導配線は前記複数の素子各々に独立した接続を
    有しているが、前記第2の電導配線は前記複数の素子全てに共通であることを特
    徴とする請求項1に記載の超音波変換器。
  4. 【請求項4】 2つの絶縁間隙が設けられ、 前記両面フレキシブル回路板は第1及び第2の両面フレキシブル回路板を有し
    、前記第1及び第2のフレキシブル回路板の各々は前記2つの絶縁間隙の1つを
    越えて接続し、前記複数の全ての素子が前記両面フレキシブル回路板の一方と接
    続するように、前記両面フレキシブル回路板両方の前記第1及び第2の電導配線
    が前記複数の素子の一方と選択的に接続することを特徴とする請求項1に記載の
    超音波変換器。
  5. 【請求項5】 前記変換器は線型又は曲線型であることを特徴とする請求項
    1に記載の超音波変換器。
  6. 【請求項6】 第一の方向に沿って伸延している複数の素子に区分された圧
    電結晶と、 前記圧電結晶を挟み、前記複数の素子の各々と相互作用して超音波を変換する
    第1及び第2の電極層と、 前記第1の方向と直交する横方向に凹形状を有し、水よりも高い音響速度を有
    する凹型音響レンズで、集束点において前記圧電結晶から放出されたエネルギー
    を集束する前記音響レンズと、 を備えたことを特徴とする超音波変換器。
  7. 【請求項7】 前記凹型音響レンズの音響速度が毎秒1700mより大きい
    ことを特徴とする請求項6に記載の超音波変換器。
  8. 【請求項8】 前記凹型音響レンズはエポキシ又はウレタン材でできている
    ことを特徴とする請求項7に記載の超音波変換器。
  9. 【請求項9】 少なくとも1つの音響整合層が前記圧電結晶と前記凹型音響
    レンズとの間に設けられていることを特徴とする請求項8に記載の超音波変換器
  10. 【請求項10】 前記変換器は線型又は曲線型であることを特徴とする請求
    項1に記載の超音波変換器。
  11. 【請求項11】 裏支持部と、 前記裏支持部上に形成された層構造、 該層構造は、 第一の方向に伸延している複数の素子に区分された圧電結晶と、 前記圧電結晶を挟み、前記複数の素子の各々と相互作用して超音波を変換す
    る第1及び第2の電極層と、 音響レンズと、を含む、と、 前記層構造全体を実質的に被覆して前記裏支持部上に伸延し、前記層構造に機
    械的な保護及び湿気からの保護をもたらす遮蔽層と、 を備えたことを特徴とする超音波変換器。
  12. 【請求項12】 前記音響レンズは前記層構造の残余部全てを実質的に被覆
    しており、前記層構造の残余部に対して機械的な保護及び湿気からの保護をもた
    らすために前記裏支持部上まで伸延していることを特徴とする請求項10に記載
    の超音波変換器。
  13. 【請求項13】 前記変換器は線型又は曲線型であることを特徴とする請求
    項1に記載の超音波変換器。
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