JP2003517375A - 工作物の表面から物質を除去するための方法および装置 - Google Patents
工作物の表面から物質を除去するための方法および装置Info
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Abstract
Description
の方法および装置に関する。表面加工方法はDE4209933より知られてい
る。
を除去するための方法がある。この場合、生成されたキャビティが最終的に所望
の完成品となり得るか(例えば成形品の場合)、または残りの物質が製造すべき
部分に相当し得るかのいずれかである。特に微細構造の物質除去の1つのタイプ
はレーザビームによって実行されるものである。
固定式または移動可能な工作物台14が設けられている。工作物11内にキャビ
ティまたは穴10を生成するためにレーザビーム12を照射するレーザヘッド1
3もコラム16に固定されている。物質の除去は、現在接近可能な工作物の面/
表面からそれぞれ行われる。比較的高いエネルギーのレーザビームが現在接近可
能な工作物表面に照射され、そこで工作物物質の気化や融解が生じる。物質の除
去は一般に層方向に行われる。レーザビームは、レーザビームガイダンスにより
走査するように工作物表面上で案内され、例えば工作物表面を曲がりくねって走
査し、その時に所望の限界または境界に従って融解および気化することにより層
を除去するよう案内される。
り抜けて下方に突出している。除去すべき層は、z軸上の異なる位置でほぼx−
y平面にそれぞれ位置決めされている。
ムを限りなく遠くまで案内させたり偏位させたりすることはできない。これは図
1の下部に概略的に示されている。符号13はレーザ光源を示す。符号12a、
12bはそれぞれレーザビームがx方向へ(例えばミラーを用いて)できる限り
遠くまで偏位した様子を示している。その後レーザビームは領域Bxをx方向に
最大限走査する。相当する考察がy方向にも当てはまる。したがって装置は、一
般に矩形に限定されx方向にBx、y方向にByの寸法を有する加工区域Bを有
している。
つの層の除去後に加工区域で工作物11とレーザヘッド13との相対位置を変化
させることが原則として可能である。それにより、工作物上の加工区域の位置が
、今度は工作物の他の区域を加工できるように適してずらされる。
面図および横断面図である。4本の柱を残す平皿を例として挙げる。裏側の形は
大きなボタンに似ている。符号21〜24は装置の加工区域に関する4つの位置
を示している。それらは互いに直接隣接し、結合した際に所望の区域を覆うよう
選択される。各加工区域の寸法はBxおよびByである。これにより、工作物1
1のレーザヘッド13に対する相対位置の変化が必要となる第1の基準が生じる
。これは、大きすぎて装置の加工区域により完全に覆うことのできない工作物表
面を加工できるように、工作物に対して加工区域をずらす必要があることに相当
する。
20は上記の平面図で示されているキャビティの形状を示している。しかし、よ
り小さい、例えば破線20’で示されるようなキャビティを想定した場合、この
ような工作物部分は装置の加工区域Bx、Byにより十分に覆われる。それにも
かかわらず、ある部分がレーザ光に対して遮断され得ることにより問題が生じる
。これは図2の横断面図において、光源がキャビティ上の中心に配置されること
を想定した場合に部分26aに生じる。他の部分26bはおそらく、斜めに当た
りすぎて規定された除去率をそれ以上設定できなくなる交差部の下で、レーザ光
を受ける。したがって「小さい」キャビティの場合でも相対位置を変化させてキ
ャビティの壁でレーザ光が遮断されることを避け、および/またはレーザ光の適
宜の衝突角または入射角を得ることが望ましい。再び図1の下部に戻ると、この
ことが、工作物の一定の加工位置が加工区域Bx、Byの一定の一部の区域にあ
ることが望ましいため相対位置を変化させることが望ましい、という点で別様に
現されている。例えば、柱の左壁とそれによりキャビティ底部に形成される角に
は、図1の下部に示す円錐の右部分が比較的十分に接近でき、形成される柱の右
壁とそれによりキャビティ底部に形成される角には、図1の下部に示す円錐の左
部分が有利に到達できる。
い区域と比較的垂直な壁を有する、図2で示すキャビティを製造する際に、互い
に組み合わせて必要となり得る。
作物の一定の加工部位が常に装置の加工区域の同じ部分に配置されるという問題
が生じる。そこで加工特性および特に精度は、加工区域Bx、By全体について
均等ではないと一般に想定できる。特に縁部はここで何らかの途切れが生じた場
合に、レーザビームのスイッチが切り換えられるため、すなわち、例えばx方向
の動きが止まりy方向の動きが始まるため、重要である。これらの途切れの結果
、キャビティの層方向生成中に累積することがあることが不利である製造不正確
さが生じる。
止できる、工作物の表面から物質を除去するための方法および装置を提供するこ
とである。
態に向けられている。
両方に加え、加工区域の限界が、同じ加工部位に関して(x、y座標に対して)
工作物表面の異なる部分に位置するように設定される。
上に配置される。加工区域内で起こり得る途切れはこの方法では防止できない。
しかし、途切れは合わず、一方で境界のずれにより平均化され、他方では制御技
術により制限され得る。
方法および装置に関する2件の別の出願、すなわち、出願番号「深さ測定等」お
よび「分離手段」を提出していることに明確に留意すべきである。これらの出願
の内容全体についてここで言及している。
(図示せず)に導入することにより、これに適用できる。レーザヘッド13と工
作物11との相対位置は、原則として、例えば工作物11を可動式工作物台14
に配置することにより変化させることができる。工作物台14の位置はx、y方
向に制御できる。この代わりにまたはこれに加えて、レーザヘッド13もコラム
16に対しx、y方向にずれるよう制御できる。
ずらす必要がある場合(装置の加工区域Bx、Byに完全には嵌入しない工作物
をつくるため、および/または工作物壁でレーザビーム12が遮断されたりレー
ザビーム12の不利な衝突角が生じたりすることを避けるため)、相対位置がさ
らに設定されるので、加工区域の境界が、異なる層で工作物表面の異なる部分に
配置されるようになる。
する。破線で示す構成31、32、33はキャビティの異なる層の加工区域境界
をそれぞれ示している。位置決めは、例えば以下のように行うことができる。
より、加工区域の各位置31a、31b、31c、31dに従って4つの相対位
置が生じる。これらは互いに直に隣接するよう選択されることが好ましい。31
a〜dによる個々の相対位置は連続して制御または設定される。
が行われる。
加工区域内で菱形模様にマークされた35においてのみ除去されるようにする。
レーザビームは例えば表面上で曲がりくねって案内され、境界はレーザビームを
用いて走査することにより、および/またはレーザビームの案内を限定すること
により除去される模様に従って設定できる。
。原則として上記の操作がここで繰り返される。その後、最後の加工区域である
と想定される加工区域31dが設定される。そして1つの層の除去が完了する。
別の限界が得られるように、相対位置が選択される。この境界位置決めによりキ
ャビティも完全に時間とともに覆われる。しかし境界は、下の層と上の層とで異
なる位置に位置決めされる。したがって加工区域の境界は、同じ加工位置に対し
て一層ごとに前の層とは異なる(x、y方向、例えば図3の34)。
がって、例えば境界が層ごとに位置31〜33の間でずれるような交互手法を選
択することができる。境界はすべての層についてずらす必要はない。例えばいく
つかの層が境界位置31と、いくつかの層が境界位置32と、いくつかの層が境
界位置33と連動する等とすることができる。境界位置決めは、上記の基準の1
つまたは両方のそれぞれの考察に基づいて、層ごとに系統的にまたは不規則にず
らされる。
キャビティを概略的に示している。それにもかかわらず、切り立った壁44、4
8が生成され、タペットによりキャビティ底部が遮断される。したがって相対位
置の移動がこの場合にも必要になる。この移動は上記の第2の基準に相当する。
1つの層を除去するため、例えば相対位置が41a〜dに対応して設定され、4
1aと41bは互いに境界40に沿って、41cと41dは境界45に沿って隣
接している。このような境界位置決めにより、それぞれタペットの壁に一定の区
域が到達でき、また有利な角で加工できる。相対位置41a〜dの設定後、1つ
の層の加工が完了する。
してずらすことができる。41aと41bの間の「継ぎ目」40の代わりに、他
の位置、例えば線45に沿った位置やそれより後の線44に沿った位置を「継ぎ
目」として選択することができる。同じことが「継ぎ目」42、43についても
類似して当てはまる。このように、加工区域での途切れ加工特性の累積作用も防
止される。
前記同じ加工部位46に関し、異なる加工区域境界40〜45がキャビティの進
行と共に設定される。
12で示されている。レーザビームは現在の加工位置に集束される光の束である
ため、一般に円錐形のツールとして形に現される。円錐は境界51、52により
示されている。符号53はその中心軸を示している。11は工作物を示し、10
a、10bは生成されたキャビティ、55、56はキャビティの完成状態の壁を
示し、一方54は現在の底部を示している。キャビティ壁55、56は破線55
a、56aに従って続き、キャビティが下ヘ駆動されると現れる。壁をできる限
り規定通りに生成することができるように、レーザビームの衝突角が壁55に沿
って交差しすぎないようにすることが望ましい。加工部位上の壁の接面とレーザ
ビームの中心軸53との間の角である角βが示されている。工作物と加工ヘッド
との相対位置決めは、角βが10°より大きく、好ましくは15°より大きくな
るようにすべきである。図5の例では、壁56が現在の相対位置決めに全く接近
できない。壁56は遮断され、相対位置が変化した際にレーザビームが到達でき
るのみである。
交互して一般に行われる。それにもかかわらず、1つの層で相対位置の変化と物
質の除去とを同時に行う解決法が可能である。
除去が層方向に行われる場合に、ツールの加工区域内の同じ域が必ずしも工作物
の同じ加工位置に配置されるわけではない、と一般に言うことができる。したが
って、累積誤差を避けることができ、高品質のキャビティを生成することができ
る。
1mm以下、好ましくは100μm以下、YAGレーザの場合には好ましくは1
0μm以下のCO2レーザを用いて行われる。レーザヘッド13と工作物11と
の隙間は一般に200mm以下、好ましくは150mm以下である。加工区域の
形状は一般に矩形であり、辺Bx、Byの長さは一般に100mm以下となって
いる。工作物11のx、y方向の寸法は、上記の第1の基準によるずらしが許容
される場合は原則として任意である。キャビティ深さは数μm〜数mmに生成す
ることができる。最近(1998年)の比較的良好な加工ステップでは、YAG
レーザ、特にネオジウムYAGレーザまたはQスイッチYAGレーザが好ましい
。CO2レーザは厚さの大きい、例えば100μm以上の層に現在適している。
枢動可能なミラーにより行うことができる。2つのミラーを、それらの相対運動
により光点がx、y方向に動くよう配置する。通常の制御により、加工区域の光
点による走査が可能になる。
自動的に制御される。
Claims (18)
- 【請求項1】 工作物の表面から物質を除去する方法であって、加工ヘッド
からのレーザビームを工作物表面の加工部位に照射することにより物質の除去が
層方向に行われ、工作物表面上でレーザを案内するレーザビームガイダンスを用
いて、装置により規定される加工区域内で層方向の除去が達成され、物質除去の
開始後、加工区域の境界が、同じ加工部位について、工作物表面の異なる区域に
位置するように、工作物と加工ヘッドとの相対位置を第1および/または第2の
基準に従って変化させ、調節することを特徴とする方法。 - 【請求項2】 第1の基準が、装置の加工区域よりも大きい加工すべき工作
物の区域を覆うように相対位置を変化させることであることを特徴とする請求項
1に記載の方法。 - 【請求項3】 1つの層の加工区域の境界位置が他の層の前記位置に対して
ずらされるように、相対位置決めが行われることを特徴とする請求項2に記載の
方法。 - 【請求項4】 異なる相対位置での加工区域の境界が互いに隣接するように
、1つの層内で相対位置決めが行われることを特徴とする請求項3に記載の方法
。 - 【請求項5】 第2の基準が、加工区域の特定の一部の区域で工作物の特定
の加工部位を加工するように相対位置を変化させることであることを特徴とする
前記請求項のいずれか一項に記載の方法。 - 【請求項6】 第2の基準の下で、加工部位へのレーザビームの入射角(β
)および/または加工部位に対して起こり得るレーザビームの遮断が考慮される
ことを特徴とする請求項5に記載の方法。 - 【請求項7】 位置決めが、入射角(β)が前記の物質除去により形成され
る穴の表面に対して少なくとも10°、好ましくは15°となるよう行われるこ
とを特徴とする請求項6に記載の方法。 - 【請求項8】 位置決めステップと除去とが交互に行われることを特徴とす
る請求項1から請求項7までのいずれか一項に記載の方法。 - 【請求項9】 位置決めステップと前記除去とが同時に行われることを特徴
とする請求項1から請求項7までのいずれか一項に記載の方法。 - 【請求項10】 レーザビームが回転可能なミラーを用いて案内されること
を特徴とする前記請求項のいずれか一項に記載の方法。 - 【請求項11】 特に前記請求項のいずれか一項に記載の方法を実行するた
めの、工作物(11)の表面から物質を除去するための装置であって、加工ヘッ
ド(13)からのレーザビーム(12)を工作物表面の加工部位(34、46)
に照射することにより物質の除去が行われ、加工区域(Bx、By、31a〜d
、41a〜d)内で工作物(11)の表面上でレーザビームを案内するレーザビ
ームガイダンスを含んでおり、物質除去の開始後、加工区域(Bx、By、31
a〜d、41a〜d)の境界(31〜33、40〜45)が、同じ加工部位(3
4、46)について、工作物表面の異なる区域に位置するように、工作物(11
)と加工ヘッド(13)との相対位置を第1および/または第2の基準に従って
変化させ、調節することを特徴とする装置。 - 【請求項12】 第1の基準が、装置の加工区域(Bx、By、31a〜d
、41a〜d)よりも大きい加工すべき工作物(11)の区域を覆うように相対
位置を変化させることであることを特徴とする請求項11に記載の装置。 - 【請求項13】 第2の基準が、加工区域(41a〜d)の特定の一部の区
域で工作物(11)の特定の加工部位を加工するように相対位置を変化させるこ
とであることを特徴とする請求項11または請求項12に記載の方法。 - 【請求項14】 レーザビームガイダンスが回転可能なミラーを用いて達成
されることを特徴とする請求項11から請求項13までのいずれか一項に記載の
方法。 - 【請求項15】 加工区域(Bx、By、31a〜d、41a〜d)が矩形
であることを特徴とする請求項11から請求項14までのいずれか一項に記載の
方法。 - 【請求項16】 位置決め手段が、スタンド(16)に対して移動可能な工
作物台(14)からなることを特徴とする請求項11から請求項15までのいず
れか一項に記載の方法。 - 【請求項17】 位置決め手段が、スタンド(16)に対して移動可能なレ
ーザヘッド(13)からなることを特徴とする請求項11から請求項16までの
いずれか一項に記載の方法。 - 【請求項18】 レーザがYAGレーザまたはCO2レーザであることを特
徴とする請求項11から請求項17までのいずれか一項に記載の方法。
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---|---|---|---|
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Publications (3)
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---|---|
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009502357A (ja) * | 2005-07-27 | 2009-01-29 | パワー メディカル インターヴェンションズ インコーポレーテッド | 外科用ステープラのステープルポケットを形成するシステムおよび方法 |
KR20180079445A (ko) * | 2013-09-05 | 2018-07-10 | 자우어 게엠바하 레이저텍 | 레이저 빔과 레이저 툴과 레이저 장치와 제어 장치를 이용한 피가공물 가공 방법 및 툴 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10032981A1 (de) * | 2000-07-10 | 2002-01-24 | Alltec Angewandte Laser Licht | Verfahren zur Materialbearbeitung mittels Laser |
DE10228743B4 (de) * | 2002-06-27 | 2005-05-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum Glätten und Polieren von Oberflächen durch Bearbeitung mit Laserstrahlung |
US7060932B2 (en) * | 2003-03-18 | 2006-06-13 | Loma Linda University Medical Center | Method and apparatus for material processing |
US7286223B2 (en) | 2003-03-18 | 2007-10-23 | Loma Linda University Medical Center | Method and apparatus for detecting embedded rebar within an interaction region of a structure irradiated with laser light |
US7880116B2 (en) * | 2003-03-18 | 2011-02-01 | Loma Linda University Medical Center | Laser head for irradiation and removal of material from a surface of a structure |
US7379483B2 (en) * | 2003-03-18 | 2008-05-27 | Loma Linda University Medical Center | Method and apparatus for material processing |
US7057134B2 (en) * | 2003-03-18 | 2006-06-06 | Loma Linda University Medical Center | Laser manipulation system for controllably moving a laser head for irradiation and removal of material from a surface of a structure |
US7038166B2 (en) * | 2003-03-18 | 2006-05-02 | Loma Linda University Medical Center | Containment plenum for laser irradiation and removal of material from a surface of a structure |
DE10317322B4 (de) * | 2003-04-15 | 2007-01-25 | Lasertec Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der Abtragsleistung eines Laserstrahls und zur Herstellung eines Gesenks in einem Werkstück |
DE10317579B4 (de) * | 2003-04-16 | 2016-04-14 | Lasertec Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Gesenks in einem Werkstück |
DE10324439B4 (de) * | 2003-05-28 | 2008-01-31 | Lasertec Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Gesenks |
DE10352402B4 (de) * | 2003-11-10 | 2015-12-17 | Lasertec Gmbh | Laserbearbeitungsmaschine und Laserbearbeitungsverfahren |
DE102004013475B4 (de) * | 2004-03-18 | 2007-01-25 | Lasertec Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Abtragen von Material |
DE102007012816B4 (de) | 2007-03-16 | 2009-12-03 | Sauer Gmbh Lasertec | Verfahren und Vorrichtung zur Werkstückbearbeitung |
CN104275552A (zh) * | 2013-07-10 | 2015-01-14 | 苏州矽微电子科技有限公司 | 激光器去除集成电路塑封膜的用途 |
CN103769749B (zh) * | 2013-12-30 | 2016-10-19 | 德中(天津)技术发展有限公司 | 一种在覆金属箔绝缘基板上制作导电图案的方法 |
DE102014220525A1 (de) * | 2014-10-09 | 2016-04-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Abtragstrategie beim Lasern |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03114688A (ja) * | 1989-07-14 | 1991-05-15 | Maho Ag | レーザ光線を用いて加工品に凹所を形成する方法および装置 |
JPH0487294U (ja) * | 1990-12-12 | 1992-07-29 | ||
JPH06304769A (ja) * | 1993-04-20 | 1994-11-01 | Iida Kogyo Kk | レーザ彫刻加工方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4154530A (en) * | 1977-12-22 | 1979-05-15 | National Semiconductor Corporation | Laser beam error correcting process |
US5095190A (en) * | 1987-03-03 | 1992-03-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus |
US4914270A (en) | 1988-11-08 | 1990-04-03 | University Of Southern California | Method and apparatus for shaping articles using a laser beam |
US5140128A (en) * | 1990-05-03 | 1992-08-18 | General Electric Company | Method and system for providing elements of composite objects |
JPH04100689A (ja) * | 1990-08-14 | 1992-04-02 | Tsubakimoto Chain Co | レーザ加工機用5軸テーブル |
JP2798530B2 (ja) * | 1991-07-26 | 1998-09-17 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工機 |
DE4209933C2 (de) | 1992-03-27 | 1994-08-11 | Foba Formenbau Gmbh | Verfahren für den Formabtrag an einem Werkstück durch Laserstrahlverdampfung des Werkstoffes mit einem cw-Nd:YAG-Laser |
JP3077539B2 (ja) * | 1994-12-22 | 2000-08-14 | 松下電器産業株式会社 | レーザ加工方法 |
JPH10242617A (ja) * | 1997-02-28 | 1998-09-11 | Murata Mfg Co Ltd | セラミックグリーンシートの加工方法及びレーザ加工装置 |
-
1998
- 1998-09-30 DE DE59810296T patent/DE59810296D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-09-30 US US09/806,353 patent/US6670575B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-09-30 ES ES98952674T patent/ES2212364T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1998-09-30 JP JP2000572045A patent/JP4156805B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1998-09-30 EP EP98952674A patent/EP1117503B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-09-30 WO PCT/EP1998/006217 patent/WO2000018535A1/de active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03114688A (ja) * | 1989-07-14 | 1991-05-15 | Maho Ag | レーザ光線を用いて加工品に凹所を形成する方法および装置 |
JPH0487294U (ja) * | 1990-12-12 | 1992-07-29 | ||
JPH06304769A (ja) * | 1993-04-20 | 1994-11-01 | Iida Kogyo Kk | レーザ彫刻加工方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009502357A (ja) * | 2005-07-27 | 2009-01-29 | パワー メディカル インターヴェンションズ インコーポレーテッド | 外科用ステープラのステープルポケットを形成するシステムおよび方法 |
KR20180079445A (ko) * | 2013-09-05 | 2018-07-10 | 자우어 게엠바하 레이저텍 | 레이저 빔과 레이저 툴과 레이저 장치와 제어 장치를 이용한 피가공물 가공 방법 및 툴 |
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