JP2003516489A - ポンピング方法及びポンプ装置 - Google Patents

ポンピング方法及びポンプ装置

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JP2003516489A JP2000572507A JP2000572507A JP2003516489A JP 2003516489 A JP2003516489 A JP 2003516489A JP 2000572507 A JP2000572507 A JP 2000572507A JP 2000572507 A JP2000572507 A JP 2000572507A JP 2003516489 A JP2003516489 A JP 2003516489A
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フィヒト ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コー． カーゲー
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高圧下において液体媒体を計量された量だけ脈動ポンピングする方法及び装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 本発明では、往復動ポンプの電磁駆動アーマチュア部材８０の蓄積された運動エネルギーの結果として生じる急増圧力が、閉鎖部材１７を介し噴霧装置に接続された圧力空間内の使用液体１６４に伝達され、予め定めた量の使用液体１６４が噴霧ユニット２９へ送られる。アーマチュア部材８０の蓄積された運動エネルギーは、最初に圧力空間の上流側に設けられた圧力蓄積空間４ａの作動用液体１６１に急激に伝達され、急増圧力を誘発し、その急増圧力は拡大する作動用液体１６１により閉鎖部材１７へ伝達され、閉鎖部材１７から使用液体１６４へ伝達される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高圧下において少量の液体を計量して送出するためのポンピング方
法（pumping method: ポンプ方法）及びポンプ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種のポンピング方法及びポンプ装置は、例えば、WO93/18296、EP-A-62926
5及びWO96/34196に開示されている。脈動する方法により作動するこれらポンプ
装置のアーマチュア部材に蓄積された運動エネルギーは、アーマチュアを介して
直接的に、またはタペットや弁座部材を介して間接的に、送出される液体媒体に
作用する。これらの部材は液体媒体により包囲されている。いずれの場合でも、
運動エネルギーは、剛体を介して、送出される液体に急激かつ直接に伝達される
。これは、実際に、いくつかの応用例では、計量される液体における好ましくな
い圧力波の広がりをもたらし、その結果、満足な精度の計量を行うことができな
い。
【０００３】 ドイツ国特許明細書第213472号は、弾性体から成る可動ダイアフラムによりア
ーマチュア空間部材を送出空間からシールすることを開示している。このダイア
フラムは、タペット近傍にまで達するとともに、アーマチュアにより作動される
。
【０００４】 ドイツ国特許明細書第157428号は、燃料及び／又は潤滑油又はアルコール又は
水を計量して噴霧するための一般的なポンプ装置について開示している。この装
置では、電磁駆動部がダイアフラムの形態の閉鎖部材により液体導通空間から分
離されている。この電磁駆動部のアーマチュア、すなわち脈動（パルス）発生部
材は、ダイアフラムに衝突して、液体導通空間に存在する噴霧される液体にその
蓄積された運動エネルギーを伝達する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述した２つのポンプ装置はダイアフラムを有しており、そのダイアフラムは
ポンプ装置内における空間のシールを確実にしているが、それは運動エネルギー
の相当な予期せぬ損失の原因になっている。この損失は、例えば、アーマチュア
やタペットの運動エネルギーを液体へ伝達する際に生じるタペットとダイアフラ
ムとの間の摩擦及び／又はダイアフラムの変形の結果として生じるものである。
【０００６】 本発明の目的は、エネルギー蓄積原理に従って作動し、蓄積された運動エネル
ギーの予期せぬ損失を発生させることなく最良の計量を可能とするポンピング方
法及びポンプ装置を提供することである。また、本発明の他の目的は、エネルギ
ー伝達の際に予期せぬエネルギー損失を発生させることなく、電磁駆動手段とア
ーマチュア及び／又はタペットを、計量される液体によって妨げられないように
することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
これらの目的は、請求項１及び請求項２２の特徴により達成される。本発明の
他の特徴は、これらの請求項に従属する従属項において明らかにされている。
【０００８】 本発明によれば、計量する液体を含む急増圧力利用空間（以下、「圧力空間」
とする）は、急増圧力伝達液体を含む急増圧力発生及び蓄積空間（以下、「圧力
蓄積空間」とする）からダイアフラムによって分離されている。蓄積された運動
エネルギーは、最初に圧力蓄積空間内の急増圧力伝達液体へ急激に伝達され、発
生した急増圧力波はこの液体内で広がり、この液体によりダイアフラムへ伝達さ
れ、また該ダイアフラムにより圧力空間内の液体へ伝達される。
【０００９】 圧力蓄積空間内に存在する急増圧力伝達液体内の急増圧力波の拡大速度とエネ
ルギーは、前記液体の特性に依存する。そのため、この液体を適切に選択するこ
とにより、エネルギーの伝達に特別な方法で影響を与えることができる。さらに
、ダイアフラムの材質や大きさを選択することにより、圧力空間内における計量
すべき液体に対するエネルギー伝達に特別かつより広範囲な方法で影響を与える
ことが可能になる。例えば、弾性的伸長性、圧縮性及び衝撃吸収性のあるダイア
フラムや、非圧縮性のダイアフラムを用いることにより、それらの材質特性によ
って、エネルギーを減少しないようにしたりあるいはエネルギーを減少させるこ
とができる。
【００１０】 それぞれの場合において、圧力空間内の液体が電磁駆動手段に接触しないよう
にするために、ダイアフラムは圧力空間から圧力蓄積空間を分離する。その結果
、本発明に係る方法と本発明に係るポンプ装置を用いることにより、腐蝕性又は
攻撃性(aggressive)の液体を計量することができる。電磁駆動手段に対して腐蝕
性や攻撃性を持たず、該駆動手段に接触するようになっている液体は、急増圧力
伝達液体として用いられる。計量される腐蝕性や攻撃性の液体と接触する圧力空
間内の少数の部品だけを、材質の点において適当な耐性のある材料から成るもの
から形成すればよい。
【００１１】 ダイアフラムによって圧力蓄積空間から隔てられている圧力空間は、計量され
る液体の送出装置に接続されること必要である。圧力蓄積空間及び／又は圧力蓄
積空間の上流側に位置する流体空間は、液体で満たされ、かつ例えば同じ液体を
含む平衡容器に連結されていることが好ましい。この結果、ポンプ動作及び復帰
ストローク中に、液体を平衡容器外へ吸い上げたり平衡容器内へ押し戻すことが
できる。さらに、圧力蓄積空間及び／又は流体空間の中で当該液体を連続的又は
断続的に再循環させることが好ましく、それにより比較的低温の液体が循環する
ことになる。その結果、必要であれば、圧力空間内の噴霧される液体をも冷却さ
れ、気泡の発生を少なくとも最大可能限度まで阻止することができる。 本発明は、下記の実施例と参照図面により詳細に説明される。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明に係るポンプ装置１（図１）は、圧力蓄積空間シリンダー２を備えてお
り、このシリンダー２は中心軸３の周囲に段状貫通孔４を備えている。
【００１３】 噴射装置５は、送出側において、軸方向に、圧力蓄積空間シリンダー２の上流
側に配設されており、駆動側において、電磁駆動ユニット６がその下流側に配設
されている。前記貫通孔４は、圧力蓄積空間４ａを実質的に形成するものであり
、噴射側すなわち送出側の端部領域において２段階に縮径して第１環状段部７と
第２環状段部８を形成している。圧縮スプリング９は環状段部８に着座している
。この圧縮スプリング９は、貫通孔４の駆動側領域内に延在し、その先端は貫通
孔４の駆動側開口１０を覆うボール１１を押圧している。このボール１１は、さ
らに詳しく説明されるボールバルブ装置１２を構成している。
【００１４】 圧力蓄積空間シリンダー２の駆動側端面１３は平坦になっている。圧力蓄積空
間シリンダー２の噴射側端面１４は、駆動側方向に窪んでおり、例えば、断面に
おいて凹状に湾曲するようにへこんでおり、かつその外縁に環状支持面１５を有
している。この窪みによって形成された空洞１６は、ダイアフラム１７として設
計され、支持面１５に対して支持される閉鎖部材により覆われている。
【００１５】 圧力蓄積空間シリンダー２は、ダイアフラム側において環状ウエブ１８を有し
ており、該環状ウェブ１８は送出側においてダイアフラム１７用の環状支持面１
５を形成している。
【００１６】 この圧力蓄積空間シリンダー２は、その駆動側領域において、ストッパ部材に
突き当たっている。すなわち、該駆動側領域は、外ねじ２０を有する連結シリン
ダー１９に嵌入固定されている。この連結シリンダー１９は、対応する内ねじを
有する噴射装置５のシリンダー領域２２によって、噴射側すなわち送出側から、
ねじ込み式に覆われている。このシリンダー領域２２には、支持面１５の反対側
に位置する環状段部２４が設けられており、ダイアフラム１７が該支持面１５と
該環状段部２４とによって適切にクランプされている。
【００１７】 上記構造は、ボールバルブ装置１２のボール１１とダイアフラム１７との間に
圧力蓄積空間４ａを規定することになり、この圧力蓄積空間４ａは、実質的に、
前記貫通孔４と前記窪みによって形成された空洞１６とを有している。
【００１８】 この噴射装置５は、送出ハウジング２５を有し、そのハウジング２５の駆動側
に前記シリンダー領域２２が形成されている。軸３に沿って延在するとともに噴
射側に相当数の段部を有するように拡径する軸方向圧力室孔２６が、シリンダー
領域２２から送出ハウジング２５内に形成されている。このシリンダー領域２２
に隣接して、圧力室孔２６内に開口する流入孔２７が圧力室孔２６に対して放射
方向に設けられている。この流入孔２７は、送出ハウジングの外側方向に２つの
段部を介して拡径するように設計され、外側領域においてニップル型の供給装置
２８を伴っている。使用液体(working fluid)噴霧装置２９は、圧力室孔２６の
噴射側の最後の段部内に配設されている。送出ハウジング２５の駆動側端面２５
ａは、その周縁に前記環状段部２４を有しており、該環状段部２４の領域である
開始部分は、圧力室孔２６に至るまで送出側方向に窪んでおり、例えば、断面に
おいて凹状に湾曲して窪むように設計されている。この凹部により形成されてい
る空洞３０は、駆動側において、ダイアフラム１７により覆われている。
【００１９】 前記供給装置２８は既知の一方向バルブとして設計されている。この供給装置
２８は、球状バルブ体３３に対向する円錐形弁座３２を有する結合分岐路３１を
有している。この球体バルブ体３３は、送出ハウジング２５内の流入孔２７の環
状段部に支持されている圧縮スプリング３４により押圧されている。従って、一
方向バルブは、圧力室孔２６への噴射する液体（以下「使用液体」と呼ぶ）の流
入を可能とし、外部への使用液体の流出を阻止する。
【００２０】 使用液体噴霧装置２９は、好ましくは、ノズルニードル３５と、ジェット型区
ゾーン３６（ノズル本体の自由端に見られる）と、ノズル本体の円錐形弁座３６
ａと対応するノズルニードル３５の円錐台形領域３６ｂとにより形成されている
閾値圧力バルブとを有する。この円錐台形領域３６ｂと円錐形弁座３６ａは、バ
ルブディスク３７と圧縮スプリング３７ａとを介して、プレストレスがかけられ
た状態で、圧迫支持されるようになっている。
【００２１】 上記構成は、圧力室孔２６とともに空洞３０が圧力空間３９を形成することに
なる。この圧力空間３９は、駆動側をダイアフラム１７により仕切られ、また噴
射側を噴霧装置２９と供給装置の一方向バルブとにより仕切られている。
【００２２】 また、連結シリンダー１９は、駆動端側において、放射方向外側に広がるとと
もに断面においてＬ字型形状の環状ウエブ４０を有している。この環状ウエブ４
０の外側ケーシング面には、外ねじ４１が設けられている。また、この環状ウエ
ブ４０の駆動側端面には、駆動側に延在する環状ウエブ４２が設けられている。
【００２３】 この環状ウエブ４０の駆動側には、ポンプハウジング４４が配設されている。
このポンプハウジング４４は、駆動ユニット６の全ての基本的な部品を収容する
ように設けられている。この駆動ユニット６は本質的に公知であり、固体にエネ
ルギーを蓄積する原理に従って作動する。
【００２４】 ポンプハウジング４４は、カップ底部４５と円筒形ケーシング４５ａとを備え
たほぼカップ型の部品である。このポンプハウジング４４の中央シリンダー軸は
、圧力蓄積空間シリンダー２の軸３と一直線になるように整列されている。ポン
プハウジング４４の内部輪郭は、カップ底部領域において段差が設けられた小径
部を有し、その結果としてめくら穴形状の凹部４６をなしており、また環状段部
４８を介して円筒形ケーシング４５ａと一体になっている。
【００２５】 このポンプハウジング４４の送出側開口には、内ねじ４３が設けられており、
この内ねじ４３が前記環状ウエブ４０の外ねじ４１と螺合している。
【００２６】 カップ底部４５の領域には、放射方向に延出する穴４９が設けられており、こ
の穴４９はポンプハウジング４４を貫通しており、ここに接続用分岐路５０が嵌
合している。この分岐路５０の中央孔５１は、ポンプハウジング４４の外部に設
けられている平衡容器５２へ駆動ユニット６の内部が接続可能なように設けられ
ている。
【００２７】 カップ底部４５の領域におけるポンプハウジング４４の凹部４６と連結シリン
ダー１９の円筒形内部４６ａとは、軸が一直線になるように配設されるとともに
同じ直径を有している。アーマチュアシリンダー５３は、凹部４６内及び内部４
６ａ内に嵌合した状態で保持されている。このアーマチュアシリンダーは、カッ
プ底部領域から連結シリンダー１９内へと延在している。
【００２８】 アーマチュアシリンダー５３は、複数の部分から構成されており、軸上に連続
して、カップ底部側の円筒形アーマチュアスリーブ５４と、環状部材５５と、送
出側の円筒形アーマチュアスリーブ５６とを備えている。これらのアーマチュア
スリーブ５４及び５６は、それらの間に配設されている環状部材５５により離間
して配設されている。
【００２９】 第１案内シリンダー５７は、送出側においてアーマチュアスリーブ５６内にぴ
ったりと嵌合している。第２案内シリンダー５８は、カップ底部側においてアー
マチュアスリーブ５４内にぴったりと嵌合している。この二つの案内シリンダー
５６、５８は、夫々互いの軸が一直線になる軸貫通孔５９、６０を有している。
従って、アーマチュアシリンダー５３と案内シリンダー５７、５８は、アーマチ
ュア空間７２として後述されるほぼ円筒状の空洞を区画形成している。
【００３０】 送出側案内シリンダー５７は、送出側の外側円周に、環状ウエブ６２を有し、
このウエブ６２はアーマチュアシリンダー５３の軸方向ストッパ部材として当該
シリンダー５３を支持している。案内シリンダー５７の送出側端面６３は、当接
部をなす圧力蓄積空間シリンダー２の端面１３に対して支持されている。軸貫通
孔５９は、その送出側において、軸方向の円筒形の環状凹部６４で終っている。
この凹部の環状底部には、複数のリブ６５が円周方向に配設されている。これら
のリブ６５は、縦断面において送出側から見ると、ほぼ傾斜した形状をなしてお
り、それらの噴射側端面はそれぞれスプリングで押圧されるボール１１用のスト
ッパ面を形成している。後述するように、ボール１１が押圧されると、リブ６５
間に存在する間隙は、圧力蓄積空間シリンダー２の貫通孔４と駆動側の流入空間
との間の流体的結合をなす。
【００３１】 第２案内シリンダー５８のカップ底部側には、環状ウエブ６７が一体に形成さ
れている。この環状ウェブの外側直径は、凹部４６の内部直径よりも幾分小さく
、そのため、環状間隙６８がポンプハウジング４４と第２案内シリンダー５８と
の間に形成されている。軸貫通孔６０のカップ底部側である案内シリンダー５８
の領域が、めくら穴状に放射方向に広がり、底部空洞６９が形成されている。こ
の底部空洞６９からオーバーフロー孔７０が中心軸３と平行に延在し、案内シリ
ンダー５８を貫通して環状空間７２内へ達している。さらに、環状ウエブ６７に
は、放射方向オーバーフロー孔７１が形成され、環状間隙６８内へと延出してい
る。
【００３２】 中空の円筒状であってアーマチュアを支持するように伸びている管（アーマチ
ュア支持管）６１の円筒状空洞は、液体用の貫通空間６６をなしている。この管
６１は、貫通孔５９、６０に嵌合するとともに軸方向にスライド可能に取り付け
られている。
【００３３】 このアーマチュア支持管６１は、底部空洞６９内に突出すると共に、底部空洞
６９から凹部６４内の貫通孔５９開口直前まで延在している。アーマチュア支持
管６１の送出側端は、貫通空間６６の方向へ中空の円錐形状になるように面取り
されている。この面取り部７３は、後述するポンプ装置１の始動位置において、
ボール１１から軸方向の距離Ｓｖだけ離れた距離に位置するようになっている。
【００３４】 このアーマチュア支持管６１の面取り部７３は、ボールバルブ装置１２のボー
ル１１用の弁座をなし、ボールバルブ装置１２はポンプ装置１の始動位置におい
て開放されている。
【００３５】 アーマチュア空間７２のカップ底部側部分では、案内シリンダー５８の上流側
において、円筒形アーマチュア７４がアーマチュア支持管６１に固定されている
。このアーマチュア７４は、ケーシング表面７５と、カップ底部側の端面７６と
、送出側端面７７とを有し、アーマチュア空間７２の軸方向の半分の長さに略対
応する軸方向の長さを有している。
【００３６】 アーマチュア７４のケーシング表面７５とアーマチュアスリーブ５４、５６の
内面との間には僅かな遊びがあり、アーマチュア７４がアーマチュアスリーブ５
４、５６の内面に接触することなく、アーマチュア７４とアーマチュア７４に固
定的に結合されているアーマチュア支持管６１とが前後方向へ移動可能となって
いる。アーマチュア７４は、例えば、ケーシング表面７５の領域において実質的
円形断面形状を有している（図２）。さらに、縦軸方向に連続する少なくとも一
つの比較的幅広で平坦な溝７８を有している。アーマチュア支持管６１が通る連
続孔７９は、アーマチュア７４の縦軸方向において同芯状に配設されている。
【００３７】 アーマチュア支持管６１は、アーマチュア７４に圧入結合されている。このア
ーマチュア支持管６１とアーマチュア７４から成るユニットは、以下において、
アーマチュア部材８０として示される。このアーマチュア部材８０は、一つの部
品あるいは又は一体化した設計とすることが可能である。
【００３８】 環状段部を有する段付きリング８１は、軸方向の送出側であるアーマチュア７
４の上流側に配設されている。第２案内シリンダー５８方向にアーマチュア部材
８０を押圧する圧縮スプリング８２は、段付きリング８１とそれから離れた第１
案内シリンダー５７との間に設けられている。アーマチュア７４の端面７６は、
第２の案内シリンダー５８の上流側（軸方向の送出側）に配設された環状部材８
３に対して支持されるようになっている。
【００３９】 アーマチュアシリンダー５３の外側表面とポンプハウジング４４の円筒形ケー
シング４５ａとは、環状空間８４をなしている。この空間は、基本的に断面にお
いて環状シリンダー形態であり、環状段部４８によりカップ底部側で閉鎖されて
いる。この環状空間８４内には、コイルユニット８５が配設されており、アーマ
チュアシリンダー５３にぴったりと嵌合している。前記コイルユニットは、少な
くとも一つのコイル８６とコイル支持円筒部８７とから成り、この円筒部８７は
、互いに離間されていると共にポンプハウジング４４のケーシング４５ａの範囲
において外側に放射状に延在する二つのフランジリング８８、８９を有している
。カップ底部側の軸方向において、コイル支持円筒部８７は環状ウエブ９０を有
し、このウエブ９０は環状段部４８に対して支持されるように軸方向に平行に延
在している。また、このコイルユニットの送出側では、コイル支持円筒部８７の
フランジリング８８の上流側にディスク形状の環状部材９１が配設されている。
【００４０】 連結シリンダー１９の駆動側端面の一部であって放射方向において環状ウエブ
４２の内側に位置する部分と、前記環状部材９１の送出側端面の一部であって前
記環状ウエブ４２の内面と対向する形状で位置する部分と、アーマチュアスリー
ブ５６の外側表面部分とは、環状室９２を規定し、この環状室９２の内部には、
Ｏ−リングのようなシール用リング９３が設けられている。
【００４１】 図３に示す第２実施例にかかるポンプ装置１は、基本的に上記ポンプ装置１と
同様の構成を有している。このため、同様の空間的形状及び同様の機能を備えた
部品は、同様の参照番号で示してある。
【００４２】 第１の実施例と対比すると、第２の実施例のポンプ装置１は、アーマチュア空
間７２を通って連続的に作動用液体が流れることを可能とするとともに、断続的
に液体を圧力蓄積空間４ａに流入させることを可能にする装置を備えている。
【００４３】 この目的のために、第１実施例の圧力蓄積空間シリンダー２と、ねじ４１と環
状ウエブ４２とを備えたＬ字型環状ウエブ４０を有する連結シリンダー１９とが
一体に形成され、実質的に円筒形のバルブ支持部材９４をなしている。このバル
ブ支持部材９４には、逆止弁９６を備えた液体供給装置９５が、その外側ケーシ
ング領域において放射状に設けられている。
【００４４】 バルブ支持部材９４は、中央貫通孔９７を有し、当該貫通孔９７は噴射側にお
いて一度縮径し、当該縮径部分における環状段部９８が圧縮スプリング９を支持
している。噴射側では、貫通孔９７は放射方向に二度拡径し、それにより環状段
部９９と噴射側における環状段部９９の上流に位置する環状段部１００を形成し
ている。これらの段部は、互いに短い軸方向の間隔で配置されている。ダイアフ
ラム１７は環状段部１００に対して支持されており、環状段部９９とダイアフラ
ムとの間に生じた空洞１０１内へ貫通孔４が開口し、当該空洞１０１は耐液体性
のダイアフラム１７により噴射側が封鎖されている。また、この空洞１０１の放
射方向外側領域において、流入孔１０２がバルブ支持部材９４の内部に形成され
ており、前記流入孔は縦軸に平行に走り駆動側で放射方向外側に曲げられ、空洞
１０１を逆止弁９６に流体的に結合している。また、噴射側において、環状段部
１００の外側領域に軸環状ウエブ１００ａが一体に形成され、該軸環状ウエブは
噴射装置５の部品を支持する役割を果たすようになっている。さらに、バルブ支
持部材９４のケーシング表面のポンプ側には、外ねじ２０が設けられている。
【００４５】 案内シリンダー５７は、駆動端側において、その噴射側端面６３をバルブ支持
部材９４の環状端面副領域１０３に対して支持している。この端面副領域１０３
には、環状溝１０４が円をなすように設けられており、この溝が案内シリンダー
５７の端面６３とともに環状室１０５を区画形成している。
【００４６】 バルブ支持部材９４内に挿入された領域において、供給装置９５は逆止弁９６
を有し、液体分岐装置は逆止弁９６の放射状外側領域に形成された環状小室１０
７を有している。この環状小室１０７は、横断流入孔１０６とバルブ支持部材９
４の端面１０３における環状室１０５と案内シリンダー５７内の一又はそれ以上
の軸方向平行流入孔１０８とを介して、アーマチュア空間７２へ接続されている
。これらの供給装置９５、環状小室１０７、流入孔１０８、アーマチュア空間７
２、オーバーフロー孔７０、底部側空洞６９、オーバーフロー孔７１、環状間隙
６８、及び連結分岐路５０は、連続的に液体を流すことができる液体用の流通経
路Ｉを形成する。この流通経路Ｉを通る液体の連続的な流れは、主として駆動部
品の潤滑と、ポンプ装置１の駆動ユニット５から熱を除去することに用いられる
。
【００４７】 供給装置９５、逆止弁９６、流入孔１０２、圧力蓄積空間４ａ、リブ６５間の
間隙、貫通空間６６、底部側空洞６９、オーバーフロー孔７１、環状間隙６８、
及び連結分岐路５０は、ボール１１が面取り部７３から多少離れた所にある間、
開通する流通経路IIを形成する。動作中は、流通経路IIは、圧力蓄積空間４ａを
介した断続的な流れを可能とする。そして、それは、圧力蓄積空間４ａ内のキャ
ビテーション現象（cavitation phenomena）を基本的に防止する。
【００４８】 噴射装置５は、概略、環状ダイアフラム支持部材１１２と円筒形ポンプハウジ
ング２５とを有している。この噴射装置５には、その駆動側において静圧バルブ
１２２が、またその噴射側において使用液体噴霧装置２９が、さらに放射状外側
領域において使用液体導入装置１２４が挿入されている。外ねじ２０に螺合され
ている結合ナット１２０は、バルブ支持部材９４に噴射装置５を固定するために
用いられる。
【００４９】 前記環状ダイアフラム支持部材１１２は、ダイアフラム１７の上流側（噴射側
）に同軸上に配設され、環状段部１００に対してダイアフラム１７をクランプす
るようにして固定する駆動側端面１１３を有している。このダイアフラム支持部
材１１２は、ダイアフラム１７により駆動側がシールされている円筒形内部空間
１１４を放射状に規定している。
【００５０】 ダイアフラム支持部材１１２の噴射側では、同軸上に、円筒形ポンプハウジン
グ２５が続いている。このポンプハウジング２５は、そのケーシング表面の駆動
側において、環状ウェブ１１５を有しており、この環状ウェブ１１５の駆動側端
面１１７がダイアフラム支持部材１１２を支持している。このポンプハウジング
２５は、縦軸方向に延出する中央圧力室孔２６を有し、この孔２６は、駆動側か
らの全て段部の最初の段部をなしている環状段部１１８で縮径し、さらに噴射側
の方では数回に渡り拡径している。圧力室孔２６と空洞１１４とは、ともに噴射
装置５の圧力空間３９を形成している。空洞１１４内のポンプハウジング２５の
駆動側端面１１７には、スプリング圧力静圧バルブ１２２が位置している。この
バルブ１２２は、圧力室孔２６の上流側に配設され、圧力室孔２６の領域におい
て、空洞１１４よりも高いレベルの圧力を維持する。
【００５１】 放射方向において静圧バルブ１２２とダイアフラム支持部材１１２との間には
、流入孔１２３がポンプハウジング２５内に縦軸と平行になるように形成されて
おり、空洞１１４と使用液体流入装置１２４を流体的に結合している。この装置
１２４は、ポンプハウジング２５に対して放射方向に固定されるとともに、逆止
弁を有している。
【００５２】 噴射側において、液体噴霧装置２９が数回にわたって拡径した貫通孔２６内に
配設されている。
【００５３】 以上のような構成の結果、使用液体流入装置１２４、流入孔１２３、駆動側を
ダイアフラムにより密封された内部空間１１４、静圧バルブ１２２、貫通孔２６
、及び噴霧装置２９は、使用液体用の流通経路IIIを形成する。
【００５４】 ダイアフラム支持部材１１２とポンプハウジング２５とは、結合ナット１２０
により軸方向に固定されており、この結合ナット１２０は、環状ウエブ１１５の
周囲に係合するとともに、外ねじ２０に螺合されている。このねじ結合は、ダイ
アフラム１７が適切にクランプされることを確実にし、その結果、圧力蓄積空間
４ａは液体を通さないように圧力空間３９から分離される。
【００５５】 図４は、図１に示すポンプ装置を適用した一例を概念的に図示したものである
。このポンプ装置１は、連結分岐路５０へ取り付けられた平衡ライン１６０を介
して平衡容器５２へ接続されており、この平衡容器５２には作動用液体(operati
ng fluid)１６１が満たされている。ポンプ装置１の駆動ユニット６の電気エネ
ルギーは、制御装置１６２に接続されている電気供給線１６３により確保される
。ポンプ作用の対象となる使用液体(working fluid)１６４は、供給タンク１６
５内に存在し、このタンク１６５は供給ライン１６６を介して供給装置２８に接
続されている。使用液体１６４は、加圧下でポンプ装置１へ向かい、使用液体噴
霧装置２９を介して霧化され、燃料電池などの使用対象１６７へ供給される。必
要がある場合には、噴射装置５と使用対象１６７との間に液体接続ラインを設け
てもよい。
【００５６】 図５は、図３に示すポンプ装置を適用した一例を概念的に図示したものである
。
【００５７】 噴射側において、使用液体１６４を保有する供給タンク１６５と、供給装置１
２４へ接続されている供給ライン１６６と、使用対象１６７に結合されているポ
ンプ装置５とから成る構成であり、当該構成は図４の対応する構成と一致する。
同様に、図４に関する適用の一例として、駆動ユニット６は、制御装置１６２と
電気供給線１６３とを介して電気駆動エネルギーが供給される。アーマチュア空
間７２（図３参照）の継続的な流れと圧力蓄積空間４ａ（図３参照）の断続的な
流れを確実にするために、ポンプ装置１の駆動ユニット６は、流入ライン１６８
と戻りライン１６９とを介して、作動用液体１６１が存在する供給容器１７０に
接続されている。流入ライン１６８に取り付けられている循環ポンプ１７１は、
好ましくは電気的に駆動され、流入ライン１６８内に、流通経路Ｉ、II（図３参
照）に沿った流れが生じるようにするための充分な圧力と流体容積を発生させる
。ポンプ装置１のポンプ能力が高い場合、作動用液体１６１の冷却にも有利とな
る。この目的のために、例えば、熱交換器１７２のような液体冷却装置を戻りラ
イン１６９に設けてもよい。
【００５８】 以下、図１に示す本発明に係るポンプ装置１の動作を参照しつつ本発明のポン
ピング方法について説明する。
【００５９】 以下の説明においては、圧力蓄積空間４ａ、貫通空間６６、アーマチュア空間
７２、オーバーフロー孔７０、７１、底部空洞６９、環状溝６８、及び連結分岐
路５０の中央孔５１を組み合わせたものを「流体空間」とする。
【００６０】 コイル８６への通電が停止されると、ポンプ装置１は、アーマチュア部材８０
が圧縮スプリング８２によって駆動側端部へ移動した始動位置となり、その結果
、アーマチュア７４の底部側端面７７が環状部材８３に対して支持される。従っ
て、アーマチュア支持管６１は、その始動位置に存在するとともに、その噴射側
端はボール１１から軸方向にＳｖの間隔を隔てて配置される。
【００６１】 ボール１１は、圧縮スプリング９によりその始動位置へ運ばれ、リブ６５に対
して支持される。この始動位置において、流体空間と圧力蓄積空間４ａとは気泡
がない状態の作動用液体１６１によって満たされるとともに、開放状態のボール
バルブ装置１２を介して流体的に結合されている。この始動位置における噴射側
では、圧力空間３９は、同様に気泡がない状態の使用液体１６４によって満たさ
れている。この場合、供給装置２８の逆止弁は閉鎖されている。さらに、使用液
体噴霧装置２９の閾値圧力バルブは閉鎖され、噴射方向における圧力空間をシー
ルしている。
【００６２】 コイル８６に電流が供給されると、アーマチュア部材８０は磁力を受ける。こ
の磁力は、圧縮スプリング８２の小さな圧力に対抗して、アーマチュア部材８０
を事実上抵抗がない状態で距離Ｓｖに渡り加速させる。この過程において、アー
マチュア部材８０は運動エネルギーを吸収するとともに蓄積する。加速段階の間
、アーマチュア７４の前方及びアーマチュア支持管６１とボール１１との間に存
在する作動用液体１６１の液体容量は、アーマチュア部材８０により強制的に移
動させられ、溝７８と貫通空間６６とを介して流れる。従って、アーマチュア部
材８０に対し圧力抵抗は一切生じない。故に、距離Ｓｖに渡る加速段階の間、送
出側と流体空間の駆動側領域との間では圧力及び容量の一定の平衡が生じる。従
って、平衡容器５２には、作動用液体１６１が流入することも流出することもな
い。そして、アーマチュア部材８０の面取り部７３がボール１１に対して衝突す
ると、アーマチュア部材８０の運動エネルギーは急速にボール１１へ伝達される
。同時に、前記ボールは面取り部７３を経由して貫通空間６６へ通じるオーバー
フロー区域を封鎖する。従って、圧力波が圧力蓄積空間４ａ内に誘発され、該圧
力波は、作動用液体１６１の特性により決まる拡大速度で圧力蓄積空間４ａ内に
広がり、ダイアフラム１７に対して衝突する。ダイアフラム１７に対して衝突し
た圧力波は、ダイアフラム１７の材質特性の機能に従って圧力空間３９に伝達さ
れ、そして圧力空間３９内の閾値圧力バルブの開放圧力の一定値を越える場合に
は、この閾値圧力バルブは開放され、使用液体１６４が噴霧される。
【００６３】 適切な場合には、電流の供給が急増した圧力の生成後も維持される。その結果
、希望する量の使用液体が噴霧されるまでアーマチュア部材８０は移動を継続す
る。コイル８６への電流供給が遮断されると、圧縮スプリング８２はアーマチュ
ア部材を再度始動位置へと押し戻す。同時に、ボール１１は伸びたコイルスプリ
ング９により始動位置へ移動する。さらに、この復帰ストロークの間、作動用液
体１６１が非圧縮性であることは、ボールの移動が吸引効果でダイアフラム１７
へ伝達されることを意味する。その結果として負圧が圧力空間３９に発生し、当
該負圧が供給装置２８内の逆止弁の特性である開放圧力を下回る場合には、負圧
は逆止弁を開放し、使用液体１６４は再度圧力空間３９へ流入することができる
。
【００６４】 アーマチュア部材８０及びボール１１の相互の前後移動の時間の間、流体空間
は平衡状態となる。この時間の間、作動用液体１６１は最初に平滑容器５２から
移動し（噴霧作動行程）、そして、復帰ストロークの間、再供給される。その結
果、ポンプ装置１の作動の間、連結分岐路５０に振動する液体の柱状体が形成さ
れる。
【００６５】 本発明に係るポンピング方法によれば、駆動ユニット６の部品が動作中に使用
液体に触れることなく、使用液体１６４へのポンプ作用が可能となる。従って、
本発明に係るポンピング方法は、強い腐蝕性の使用液体、特に、超高純水などを
計量してポンプで送出するのに適している。このため、少ない部品（送出ハウジ
ング２５、ダイアフラム１７、供給装置２８、及び使用液体噴霧装置２９）だけ
を腐蝕性の使用液体が要求する材質条件に適合させればよい。作動用液体１６１
及びダイアフラム１７の材質を適宜選択することで、圧力蓄積空間４ａと圧力空
間３９との間の圧力伝達変数（圧力蓄積空間内の急増圧力の拡大速度、ダイアフ
ラムによる急増圧力の減衰）を要求に合うように設定することができる。
【００６６】 使用液体１６４が駆動部品を腐蝕しない液体である場合、当該液体を作動用液
体１６１として使用することも可能である。駆動部品を腐蝕しない液体は、好ま
しくは作動用液体１６１として使用される。好ましくは駆動部のスライドする部
品のための潤滑性組成物を含んだ炭化水素合成物がこの目的に特に適合する。さ
らに、作動用液体及び使用液体は、濃度が異なる液体とすることができる。本発
明に係るポンプ装置１の作動中、ポンプ装置１の外部の作動用液体を冷却し、ま
た冷却された作動用液体１６１が圧力蓄積空間４ａに断続的に流入することは、
キャビテーション現象を阻止する手段になる。高負荷の際には、適切な排熱除去
を確保するために、アーマチュア空間７２へ冷却された作動用液体１６１を連続
的に流入することが望ましい。
【００６７】 合成樹脂や金属性材料が、ダイアフラムの材質として用いるのに好適である。
この場合、圧縮不可能な（非圧縮性の）材料や圧縮可能な（圧縮性の）材料（例
えば、複合材）を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は、本発明に係るポンプ装置の第１実施例の縦断面図である。
【図２】 図２は、図１に示すポンプ装置のアーマチュアの断面図である。
【図３】 図３は、本発明に係るポンプ装置の第２実施例の縦断面図である。
【図４】 図４は、図１に示すポンプ装置の利用例を示す説明図である。
【図５】 図５は、図３に示すポンプ装置の利用例を示す説明図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ０２Ｍ 61/06 Ｆ０４Ｂ 17/04 Ｆ０４Ｂ 17/04 23/02 Ｅ 23/02 43/06 Ａ 53/10 21/04 Ｚ 53/14 21/02 Ｇ (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ )，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ， ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ， ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，Ｃ Ｒ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ， ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，Ｋ Ｚ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ， ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，Ｓ Ｌ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ Ｆターム(参考） 3G066 AA07 AB02 BA05 BA08 BA12 BA17 BA18 BA36 CA05U CC06T CC17 CD14 CD17 CE12 CE22 CE23 3H069 AA01 AA03 AA06 AA09 BB01 CC04 DD15 EE05 EE06 EE07 EE14 EE33 3H071 AA01 AA04 AA07 BB01 CC17 CC47 DD04 DD14 DD42 3H077 AA01 BB10 CC02 CC07 DD09 DD15 EE01 EE15 FF01 FF06 FF12 FF14 FF21 FF34 FF45

Claims (51)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 高圧化において液体媒体を計量された量だけ脈動ポンピング
    する方法であって、 往復動ポンプの電磁駆動アーマチュア部材８０の蓄積された運動エネルギーか
    ら生じた急増圧力は、往復動ポンプの閉鎖部材１７を介して、噴霧装置２９へ接
    続されている圧力空間内３９に格納された使用液体１６４へ伝達され、使用液体
    １６４の予め定めた量が噴霧ユニット外に送出される方法において、 アーマチュア部材８０の蓄積された運動エネルギーは、最初に圧力空間３９の
    上流側に配設されている圧力蓄積空間４ａ内の作動用液体１６１へ急激に伝達さ
    れ、該作動用液体１６１内において閉鎖部材へ拡大しつつ伝達される急増圧力を
    誘発し、当該急増圧力は閉鎖部材１７から使用液体１６４へ伝達されることを特
    徴とする本ピング方法。
  2. 【請求項２】 前記使用液体の予め定めた量が噴射された後、使用液体１６
    ４が再度圧力空間３９内へ吸引される請求項１に記載のポンピング方法。
  3. 【請求項３】 前記作動用液体は冷却されている請求項１又は２に記載のポ
    ンピング方法。
  4. 【請求項４】 前記冷却のために、少なくとも圧力蓄積空間４ａは低温の作
    動用液体１６１が流されている請求項３に記載のポンピング方法。
  5. 【請求項５】 前記作動用液体１６１は、少なくともポンプ作用のストロー
    ク中、往復動ポンプと接続されるととも作動用液体１６１を収納した平衡容器１
    ７０内へ強制的に移動させられる請求項１ないし４の何れかに記載のポンピング
    方法。
  6. 【請求項６】 前記使用液体１６４に耐性がある材質は、少なくとも使用液
    体１６４と接触することになる圧力空間３９の内壁面に用いられている請求項１
    ないし５の何れかに記載のポンピング方法。
  7. 【請求項７】 前記使用液体１６４が一般的な構成の往復動ポンプの内壁に
    用いられる非腐蝕性物質であり、作動用液体１６１として用いられる請求項１な
    いし６の何れかに記載のポンピング方法。
  8. 【請求項８】 前記作動用液体１６１は、好ましくはポンプ装置１のスライ
    ドする部品のための潤滑性生成物を含む炭化水素合成物である請求項７に記載の
    ポンピング方法。
  9. 【請求項９】 前記使用液体１６４と作動用液体１６１とは同一の液体であ
    る請求項１ないし８の何れかに記載のポンピング方法。
  10. 【請求項１０】 前記使用液体１６４として用いられる液体と作動用液体１
    ６１として用いられる液体は異なる液体である請求項１ないし８の何れかに記載
    のポンピング方法。
  11. 【請求項１１】 前記両液体は異なる濃度である請求項１０に記載のポンピ
    ング方法。
  12. 【請求項１２】 前記閉鎖部材１７はダイアフラム１７である請求項１ない
    し１１の何れかに記載のポンピング方法。
  13. 【請求項１３】 前記ダイアフラム１７は合成樹脂製である請求項１２に記
    載のポンピング方法。
  14. 【請求項１４】 前記ダイアフラム１７は金属製である請求項１２に記載の
    ポンピング方法。
  15. 【請求項１５】 前記ダイアフラム１７は非圧縮性物質を用いて作られてい
    る請求項１２ないし１４の何れかに記載のポンピング方法。
  16. 【請求項１６】 前記ダイアフラム１４は圧縮可能な物質を用いて作られて
    いる請求項１２ないし１４の何れかに記載のポンピング方法。
  17. 【請求項１７】 圧力蓄積空間４ａはキャビテーション現象を阻止するため
    に断続的に作動用液体１６１が流れている請求項４に記載のポンピング方法。
  18. 【請求項１８】 前記作動用液体１６１は、潤滑、冷却、及び、放熱の目的
    のために流入空間に連続的に流れている請求項１に記載のポンピング方法。
  19. 【請求項１９】 前記閉鎖部材１７は耐液体の方法で圧力空間３９と圧力蓄
    積空間４ａとを互いに隔てている請求項１２に記載のポンピング方法。
  20. 【請求項２０】 前記圧力空間３９内において一定の閾値圧力を越えた場合
    、使用液体の噴霧装置２９内に設けられている閾値圧力バルブが開放され、使用
    液体１６４が噴射される請求項１に記載のポンピング方法。
  21. 【請求項２１】 前記アーマチュア部材８０は事実上距離Ｓｖにわたり何ら
    の抵抗を受けることなく加速される請求項１に記載のポンピング方法。
  22. 【請求項２２】 固体エネルギー蓄積原理によって作動される電磁駆動往復
    動ポンプとして設計され、事実上抵抗を受けることなく加速するストローク中運
    動エネルギーを吸収蓄積する少なくとも一つのアーマチュア部材８０とを備えた
    ポンプ装置であって、 さらに、ポンプ作用を受ける使用液体１６４で満たされている圧力空間３９を
    形成し、供給装置２８、使用液体噴霧装置２９、及び閉鎖部材１７が配設されて
    いる噴射装置５を有し、 前記閉鎖部材１７はアーマチュア部材８０の運動エネルギーを一側方において
    受ける圧力空間３９を覆い、該エネルギーは急激な移動から急増圧力に変換され
    、運動エネルギーは急増圧力を使用液体１６４へ伝達し、 請求項１ないし２２のいずれかに記載された方法を実行するために、閉鎖部材
    １７により覆われるとともに作動用液体１６１により満たされている圧力蓄積空
    間シリンダー２が閉鎖部材１７の上流側に配設され、 アーマチュア部材８０は急激な方法で作動用液体１６４に蓄積運動エネルギー
    伝達するように設けられていることを特徴とするポンプ装置。
  23. 【請求項２３】 前記閉鎖部材１７は、ダイアフラム１７として設計され、
    圧力空間３９は耐液体の方法でダイアフラム１７により圧力蓄積空間４ａから隔
    てられている請求項２２に記載のポンプ装置。
  24. 【請求項２４】 前記使用液体１６４と作動用液体１６１とは異なる液体で
    ある請求項２２又は２３に記載のポンプ装置。
  25. 【請求項２５】 前記使用液体１６４と作動用液体１６１とは同一の液体で
    ある請求項２２又は２３に記載のポンプ装置。
  26. 【請求項２６】 前記噴射装置５の少なくとも内壁面は、使用液体１６４に
    耐性が有るステンレス、エナメル又は合成樹脂製である請求項２２ないし２５の
    何れかに記載のポンプ装置。
  27. 【請求項２７】 前記作動用液体１６１は、好ましくは駆動ユニット６のス
    ライドする部品のための潤滑を行う炭化水素合成物又は炭化水素合成物の混合物
    である請求項２２ないし２６の何れかに記載のポンプ装置。
  28. 【請求項２８】 前記噴射装置５は、圧力蓄積空間シリンダー２の軸方向送
    出側上流に配設され、電磁駆動ユニット６は駆動側の下流に配設されている請求
    項２２に記載のポンプ装置。
  29. 【請求項２９】 前記圧力蓄積空間シリンダー２は、中央軸３の周囲に配設
    された段付き貫通孔４を有し、実質的に圧力蓄積空間４ａを形成する請求項２８
    に記載のポンプ装置。
  30. 【請求項３０】 前記貫通孔４は、噴射側又は送出側の端部領域において２
    度縮径されて第1環状段部７と圧縮スプリング９を支持する第２環状段部８を形
    成し、当該圧縮スプリングは貫通孔４の領域内へ延在し、圧縮スプリングの駆動
    側は、貫通孔４の駆動側開口１０を覆うとともにボールバルブ装置１２の一部分
    をなすボール１１を押圧している請求項２８または２９に記載のポンプ装置。
  31. 【請求項３１】 前記圧力蓄積空間シリンダー２の駆動側端面１３は平坦で
    あり、圧力蓄積空間シリンダー２の噴射側端面１４は駆動側に窪んでおり、特に
    、断面において凹状に湾曲するようにへこませるように設計され、その外縁に環
    状支持面１５を有し、当該窪みは支持面１５に対して支持されるダイアフラム１
    ７として設計された閉鎖部材により覆われる空洞１６を形成した請求項２８に記
    載のポンプ装置。
  32. 【請求項３２】 前記ダイアフラム１７用の支持面１５は、圧力蓄積空間シ
    リンダー２のダイアフラム側に配設されている環状ウエブ１８に固定されている
    請求項３１に記載のポンプ装置。
  33. 【請求項３３】 前記圧力蓄積空間シリンダー２は、ストッパ部材に突き当
    たるように、結合シリンダー１９の形状がぴったりと一致する方法でその駆動側
    領域において固定されており、当該結合シリンダー１９は外ねじ２０を有し、噴
    射装置５のシリンダー領域２２により噴射側又は送出側から螺合方法で重なって
    おり、当該領域は外ねじ２２と対応する内ねじ２１を有する請求項２８に記載の
    ポンプ装置。
  34. 【請求項３４】 前記シリンダー領域２２には、支持面１５と対向する環状
    段部２４が配設され、ダイアフラム１７は支持面１５と環状段部２４とによりク
    ランプされている請求項３３に記載のポンプ装置。
  35. 【請求項３５】 前記圧力蓄積空間４ａは、実質的に貫通孔４と空洞１６か
    らなり、空洞１６はボールバルブ装置１２のボール１１とダイアフラム１７との
    間に形成された凹部により形成されている請求項２８に記載のポンプ装置。
  36. 【請求項３６】 前記圧力蓄積空間シリンダー２は、逆止弁９６を備えたニ
    ップル型供給装置９５を有するバルブ支持部材９４として設計されている請求項
    ２８に記載のバルブ装置。
  37. 【請求項３７】 前記圧力蓄積空間４ａは流入孔１０２と逆止弁９６を介し
    て供給装置９５に接続されている請求項３６に記載のポンプ装置。
  38. 【請求項３８】 前記圧力蓄積空間４ａは断続的に作動用液体１６１が流れ
    ることができるようになっている請求項３７に記載のポンプ装置。
  39. 【請求項３９】 前記噴射装置５は送出ハウジング２５を有し、その自由端
    に使用燃料噴霧装置２９が配設され、放射方向に供給装置２８が配設され、前記
    装置２９、２８は、互いに圧力室孔２６と流入孔２７を介して接続されている請
    求項２２に記載のポンプ装置。
  40. 【請求項４０】 前記供給装置２８は逆止弁を含み、当該逆止弁は使用液体
    １６４の圧力空間３９内への流入を可能とし、使用液体１６４が圧力空間３９か
    ら流出することを停止する請求項３９に記載のポンプ装置。
  41. 【請求項４１】 前記圧力室孔２６の領域において、使用液体噴霧装置２９
    の上流側に、静圧バルブ１２２が液体的に直接的に配設されている請求項３９に
    記載のポンプ装置。
  42. 【請求項４２】 前記使用液体噴霧装置２９は閾値圧力バルブを有し、圧力
    空間３９内で一定の閾値圧力を超えた場合に使用液体１６４が噴射されるように
    なっている請求項３９に記載のポンプ装置。
  43. 【請求項４３】 前記駆動ユニット６の全ての基本的な部品を収納するため
    のポンプハウジング４４は、圧力蓄積空間シリンダー２の軸方向上流側に配設さ
    れ、基本的にカップ型に設計され、その底部領域は圧力蓄積空間シリンダー２と
    離間して対面し、放射方向に縮径するように設計されている請求項２２に記載の
    ポンプ装置。
  44. 【請求項４４】 中空の円筒形コイルユニット８５は少なくとも一つのコイ
    ル８６を有し、アーマチュアシリンダー５３と、アーマチュア支持管６１及びア
    ーマチュア７４を有するアーマチュア部材８０とは、ポンプハウジング４４の外
    側から内側に向けて放射方向に配設されている請求項４３に記載のポンプ装置。
  45. 【請求項４５】 前記アーマチュアシリンダー５３内に案内シリンダー５８
    が軸状に底部側に固定されることで底部空洞６９をなし、案内シリンダー５７が
    軸状に送出側に固定されることでアーマチュア７４がその内部に位置しているア
    ーマチュア空間７２をなしている請求項４４に記載のポンプ装置。
  46. 【請求項４６】 案内シリンダー５７と案内シリンダー５８とは、夫々、中
    央孔５８、６０を有し、これら孔５８、６０は軸が一直線になるように配設され
    るとともに、アーマチュア部材８０のアーマチュア支持管６１を軸方向にずれる
    ように支持している請求項４５に記載のポンプ装置。
  47. 【請求項４７】 前記アーマチュア空間７２、軸方向オーバーフロー孔７０
    、底部小室６９、放射方向オーバーフロー孔７１、及びポンプハウジング４４の
    底部領域に放射方向に配設されている連結用分岐路５０は、ポンプ装置１の外部
    に設けられている平衡容器に接続されている流体空間を形成している請求項４５
    に記載のポンプ装置。
  48. 【請求項４８】 作動用液体１６１は連続的に前記流体空間へ流入可能とな
    っている請求項４７に記載のポンプ装置。
  49. 【請求項４９】 前記案内シリンダー５８の方向にアーマチュア部材８０を
    押圧する圧縮スプリング８２は、案内シリンダー５７とアーマチュア７４との間
    に配設されている請求項４３ないし４７の何れかに記載のポンプ装置。
  50. 【請求項５０】 前記ポンプ装置１は、燃料電池にその作動に必要な使用液
    体１６４を供給するために使用される請求項２２ないし４９の何れかに記載のポ
    ンプ装置。
  51. 【請求項５１】 前記ポンプ装置１は、高圧化において計量された少量の液
    体を送出するために用いられる請求項２２ないし５０の何れかに記載のポンプ装
    置。
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