JP2003507754A - 複数のセグメントからなる中空部材によるマッハツェンダー干渉計 - Google Patents

複数のセグメントからなる中空部材によるマッハツェンダー干渉計

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Abstract

(57)【要約】 複数の光ファイバに光学機能を実行させるマッハツェンダー干渉計を開示する。干渉計は、光ファイバを囲繞する第1中空セグメントを含んでいる。第1中空セグメントは、第1光学カップリング領域を形成する。干渉計は、光ファイバを囲繞する第2中空セグメントも含んでいる。第2中空セグメントは、第2光学カップリング領域を形成する。光ファイバを露出させてなる位相シフト領域は、第1中空セグメントと第2中空セグメントの間の離間部分により形成される。光ファイバは、第1中空セグメントと第2中空セグメントの間の位相シフト領域内で懸架されている。基板は、位相シフト領域内で光ファイバを支持するように設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信システムに利用されるマッハツェンダー干渉計に関する。特
に、本発明は、複数のセグメントからなる中空部材構造から形成されるマッハツ
ェンダー干渉計に関しており、製造工程中に構成要素の光ファイバにアクセスす
ることができる。
【0002】
【技術背景】
狭波長帯域の波長多重化(WDM)カプラ及びフィルタが新たに必要とされて
いる。当該光学装置は、エルビウムファイバ増幅器の利得スペクトルを変更する
1550nmの窓に必要とされる。これらの装置は、ファイバから加入者への通
信構成のみならず中継線にも幅広く使用されている。これらの用途に使用される
場合、当該光学装置は、環境面において安定であり、大なる温度変化には影響さ
れず、且つ信頼性が高いことが必要とされる。
【0003】 波長整調が可能な光学装置及び波長が固定された光学装置の双方が必要とされ
ている。例えば、全てが光学系で構成されているネットワークにおいて、該光学
装置は、望ましい入力信号を検出するように受信機端にて整調可能である。別の
手法(場合)において、整調が可能なレーザが、複数の信号の送信に使用され、
且つ所望の信号が固定フィルターを有する受信機を利用して検出されている。送
信システムは、固定レーザとフィルターとを共に使用することもできる。当該シ
ステムにおけるフィルターの波長選別能力は、数10nmから1nm未満のオー
ダであることが必要である。
【0004】 マッハツェンダー干渉計は、狭波長帯域の波長選択能力を有していることが知
られている。1nmもの狭い通過帯域を有するフィルタは、2つのエバネッセン
ト(evanescent)カプラが相互間の光路長が同一でない状態で接続す
ることにより形成されている。しかしながら、当該接続ファイバは温度変化及び
不規則な曲げ圧力等の外部からの不安定状態に影響される故に、この装置により
量産性及び環境安定性を達成することは困難である。
【0005】 マッハツェンダー干渉計を安定化させる1つの技術が、米国特許第5,295
,205号に開示されており、当該特許は本明細書の1部として組み込まれ且つ
本発明の譲受人(出願人)により所有されている。当該特許によると、マッハツ
ェンダー干渉計は、連続するガラスチューブの中心開口部中を互いに異なる第1
光ファイバ及び第2光ファイバを貫通させて形成されている。チューブは、真空
(負圧)にされ且つファイバの上にコラプスされるように加熱される。チューブ
は、更に加熱され、2つの光ファイバにより結合される2つのカプラを形成する
ように2つの離間した位置において引張られる。
【0006】 作成されたマッハツェンダー構造は、光学装置の環境安定性を改善するとはい
え、当該構造は、それでもなお熱的な不安定性を有する。加えて、当該構造は、
2つのカップリング領域間の領域、つまり位相シフト領域として知られる領域に
おいて光ファイバにアクセス出来ない。公知のマッハツェンダー干渉計における
上記の制限を考慮して、大なる温度変化にほとんど影響されないか若しくは断熱
化されていて、更に干渉計の位相シフト領域内において光ファイバに物理的にア
クセスできるマッハツェンダー干渉計を実現するような構造が望まれている。
【0007】
【発明の概要】
本発明において、複数の光ファイバに光学機能を実行させるようなマッハツェ
ンダー干渉計が開示されている。干渉計は、光ファイバを囲繞する第1中空セグ
メントを含んでいる。第1中空セグメントは、第1光学カップリング領域を形成
する。干渉計は、光ファイバを囲繞する第2中空セグメントも含んでいる。第2
中空セグメントは、第2光学カップリング領域を形成する。光ファイバを露出さ
せてなる位相シフト領域は、第1及び第2中空セグメントの間の離間部分に形成
される。光ファイバは、第1及び第2中空セグメントの間の位相シフト領域内で
懸架されている。基板は、位相シフト領域内で光ファイバを支持するように設け
られている。
【0008】 先の概略的な記載及び下記の詳細な説明の双方は、本発明の単なる例示に過ぎ
ず、本発明の概観又は基本的な構成を示すことを企図したものであって、特許が
請求される本発明の本質並びに特性を理解するようにしている。添付した図面は
、本発明の理解を更に深め、且つ本明細書に組み込まれて本明細書の1部を構成
している。図面は、本発明の様々な特徴と実施例を図示し、更に詳細な説明と共
に本発明の原理及び動作を説明する。
【0009】 本発明の様々な利点は、本明細書のこれ以降の記載及び特許請求の範囲の記載
を読むこと並びに添付した図面を参照することにより、当業者に明確になるであ
ろう。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下の詳細な説明は、本発明の好ましい実施例を詳細に示し、実施例の幾つか
は、添付図面中に示されている。可能な限り、同じ参照番号が、図面を通して同
一又は類似の部分を示すように使用されている。 図1を参照すると、本発明の好ましい実施例であるマッハツェンダー干渉計の
部分断面図が示されている。マッハツェンダー干渉計10は、様々な光学干渉機
能を実行するように設計可能である。図示の如く、干渉計10は、第1カプラ領
域12と、第2カプラ領域14と、第1カプラ領域12及び第2カプラ領域14
の間に形成された位相シフト領域16と、を含んでいる。光ファイバ18及び2
0は、干渉計10の長手方向に亘って独立し且つ連続している光学導波路を設け
ている。従来技術のマルチクラッド(Multi−clad)マッハツェンダー
構造において、光ファイバは、中空部材と呼ばれる母材ガラスの単一チューブ内
に形成された中心開口部に挿入されている。しかしながら、実施例の干渉計10
の構造によると、2つのガラス中空セグメントの各々が、カップリング領域12
、14を形成している。従って、製造工程中、各光ファイバ18、20は、各中
空セグメント22、24の中心開口部26を通して挿入される。その後、各中空
セグメント22、24は、コラプスされるように加熱され且つ光ファイバ18、
20の周囲に中空部材を形成するガラス材料が溶融するように加熱される。溶融
工程の後、各中空セグメント22、24は、更に公知の引張り装置にて加熱及び
処理され、カップリングテーパ28を形成するように各中空セグメント22、2
4の中心部分が引き伸ばされる。各中空部材22、24中の光ファイバ18、2
0は、加熱され且つ引き伸ばされると、各ファイバのクラッディング領域34は
結合され、且つ光ファイバのコア領域36は光学的に結合される。1つの実施例
として、各中空セグメント22、24の最終的な光学カプラは、平衡化されたマ
ッハツェンダー干渉計用の3dBカプラとされ得る。しかしながら、当該光学カ
ップリング構造が3dBカプラ以外の装置を使用し得ることを、当業者は理解す
るであろう。
【0011】 各カップリングテーパ28が形成された後、第1及び第2中空セグメント22
、24は、中空セグメント22、24の外径よりも僅かに大きい内径を有してい
る途切れていない外側中空部材30の中心開口部(穴)32内に配置されている
。第1及び第2中空セグメント22、24は、位相シフト領域16内で光ファイ
バ18、20を引張るように予め決められた張力が加えられた状態で分離しても
よい。第1及び第2中空セグメント22、24は、数ヶ所の取り付け位置38に
おいて外側中空部材30に設置される。取り付けは、部分熱処理、エポキシ樹脂
、又はガラスフリットを含む様々な方法により達成され得る。後述の記載で理解
されるであろうが、外側中空部材30は、中空セグメント22、24を構造上支
持するように且つ固定するように設けられていて、位相シフト領域16内の光フ
ァイバ18、20の移動を防止している。外側中空部材30は、熱的効果を干渉
計に発生させるように正の熱膨張特性を有する材料から形成され得る。その代替
例として、もし断熱化された干渉計が望まれる場合、外側中空部材30は、ゼロ
近辺又は負の熱膨張特性を有する材料から形成され得る。
【0012】 中空部材30内に設置された中空セグメント22の断面図が、図2に示されて
いる。中空セグメント22は、光ファイバ18、20の周囲にコラプスされてい
て、第3光学材料として作用する。それ故に、各中空セグメント22、24の屈
折率は、各ファイバのクラッディング領域34の屈折率よりも低いことが好まし
い。各光ファイバ18、20は、中空セグメント22内の固定位置に保持されて
いることも図示されている。しかしながら、光ファイバ18、20は、隔離され
ており、その結果各々のクラッディング領域34は相互作用しない。
【0013】 位相シフト領域16の断面図が図3に示されている。特に重要な部分は、外側
中空部材30の中心開口部32内の空間であって、その中で光ファイバ18、2
0が懸架されている。よって、位相シフト領域16は、第1中空セグメント22
と第2中空セグメント24との間の不連続部により形成される。光ファイバ18
、20は、更に互いに隔離されており、その結果各々のクラッディング領域34
は相互作用しない。
【0014】 マッハツェンダー干渉計10を形成するこの構造の特徴は、位相シフト領域1
6内で各光ファイバ18、20にアクセス出来ることである。光ファイバ18、
20が懸架され且つ露出した状態のままである故、干渉計10の光学機能を変更
するように更に処理され得る。例えば、回折格子等の格子は、光刻印又はエッチ
ング等の様々な処理により光ファイバ18、20に形成され得る。通常、格子は
中空セグメント22、24が外側中空部材30内に設置される前に光ファイバに
形成される。例えば、当該格子は、ファイバブラッグ回折格子(FBGs)とし
てもよく、マッハツェンダー干渉計を波長選択4入出力口(4−port)フィ
ルタとして機能させる。この種類のフィルタは、波長選択アド/ドロップ(ad
d/drop)フィルタとして呼ばれる。
【0015】 中空セグメント24のカップリングテーパ28の断面図が図4に示されている
。外側中空部材30は、中空セグメント22、24の端部よりも小なる直径を有
するカップリングテーパ28に構造上の支持及び補強を提供する。図4は、各光
ファイバ18、20のクラッディング領域34がカップリングテーパ28の中で
共通クラッディング領域を形成していることを示し、且つ各光ファイバ18、2
0のコア領域36が光学カップリングを促進するように隣接されていることを更
に示している。
【0016】 マッハツェンダー干渉計は、ファイバブラッグ格子(FBGs)と共に使用さ
れた場合に、中空セグメント22、24を支持するように使用されている外側中
空部材30は、アド/ドロップ(add/drop)フィルタの熱的応答のパッ
シブコントロールするときに用いることができる。例えば、もし大なる熱的応答
が望まれるのであれば、外側中空部材30は、正の熱膨張材料、例えばホウ珪酸
塩ガラス等から製造され得る。その代替例として、もし低い熱的応答が望まれる
のであれば、負の熱膨張材料が使用可能である。従って、マッハツェンダー干渉
計は、β−ユークリプタイト基板を利用するファイバブラッグ回折格子(FBG
s)のパッシブ方式の断熱化と同様の方法で、外側中空部材30内で軸方向に張
力がかけられた状態で取付ける必要がある。当該パッシブ方式の断熱化について
は、例えば1997年1月16日出願の米国特許出願第08/785,336号
及び国際公開公報第WO97/26572号に記載されていて、共に本明細書の
1部として組み込まれ、且つ本発明の譲受人(出願人)により共に所有されてい
る。
【0017】 光ファイバ18、20の各々は、コア領域36を有し、コア領域36の屈折率
よりも低い屈折率のクラッディング領域34により囲繞されていることが好まし
い。各ファイバコア36は、同一又は異なる屈折率n1及びn1’を有し得、ファ
イバクラッディング領域34は、同一又は異なる屈折率n2及びn2’を有し得る
。光ファイバ18、20を取り囲む各中空セグメント22、24の屈折率n3
、何れのファイバのファイバクラッディング領域34の最も低い屈折率nよりも
低いことが好ましい。加えて、各中空セグメント22、24の開口部は、光ファ
イバの挿入を容易にするように各端部において円錐形の漏斗状の窪み(図6)を
設けてもよい。中空セグメントとファイバとを組合わせたものは、カプラプリフ
ォームと呼ばれる。カプラプリフォームは、従来から知られている光ファイバの
引張り装置にて更に処理され得る。
【0018】 図5及び6を参照すると、マッハツェンダー干渉計40は、本発明の変形例と
して示されている。干渉計40の構造は、図1の干渉計10の構造に類似してい
る。しかしながら、干渉計40の光ファイバ18、20は、負の熱膨張基板42
に固定されている。光ファイバ18、20は、ガラスフリット44の小塊を利用
して2ヶ所で基板42に設置される。ガラスフリットを使用することが好ましい
とはいえ、様々な方法がファイバを基板に設置するように使用され得る。図6に
最も明確に示されている如く、光ファイバ18、20は、ガラスフリット44に
より基板42の表面の上方に支持されている。
【0019】 干渉計40の構造によれば、製造工程中に光ファイバ18、20にアクセスす
ることを可能にする。結果的に、ファイバ格子54が、ガラスフリット取り付け
位置44の間に形成された位相シフト領域16中のファイバ18、20に直接形
成され得る。格子54は、位相シフト領域内の光ファイバに屈折率の周期的な変
化を付与する。格子54は、広い波長帯域のマッハツェンダーフィルタを狭い波
長帯域の波長選択フィルタに変換する機能がある。
【0020】 干渉計40のカプラプリフォーム46は、上述の如く形成される。カプラプリ
フォーム46は、両端部に円錐形の漏斗状の窪み48を含んでいて、テーパリン
グの前に光ファイバ18、20を中空セグメントに挿入することを補助している
。各カプラプリフォーム46は、上述の如きテーパリング工程中に形成されるカ
ップリングテーパ50を有するように示されている。溝52は、基板42の長手
方向軸に沿って各端部に形成される。各最終カプラプリフォーム46の一方の端
部は、溝52内に配置され、且つエポキシ樹脂又はガラスフリット等により恒久
的に固定される。その後に、組立てられたマッハツェンダー干渉計40は、更に
支持されるように大なる周囲構造の中に取付けてもよい。
【0021】 干渉計40の特徴は、ファイバ格子が負の熱膨張基板42に直接取付けること
にある。その結果、ファイバ格子は、カプラ中空セグメント46の各々から構造
上隔離され、且つカプラ中空セグメント46の熱膨張による影響は受けない。 図7Aから図7Lを参照すると、位相シフト領域内に形成されたブラッグ格子
を有する断熱化されたマッハツェンダー干渉計を製造するステップが示されてい
る。当該ステップ中に図示されている干渉計60は、上述の複数のセグメントか
らなる中空部材構造を利用して製作された干渉計フィルタである。この製造方法
の目的は、格子を有するファイバ18、20の1部分を負の膨張基板42上に取
付けることであって、その結果、温度の変化が格子の動作に影響を及ぼすことは
ない。その後に、カプラプリフォーム46及び断熱化した格子基板42は、さら
に支持されるように外部中空部材内に取付けてもよい。実施例の干渉計を製造す
る好ましいステップが示されるものの、他の製造方法が、適用可能であり且つ本
発明の範囲内であることを、当業者は理解できる。
【0022】 図7Aは、完全な保護コーティング62に覆われた2本の光ファイバ18、2
0を示している。ファイバは、参照番号がSMF−28、CS980を含む様々
な光ファイバ若しくは高デルタ(high−delta)光ファイバであって、
何れもコーニング社製のものが使用され得る。更に、特に記載されていない他の
光ファイバも使用され得、本発明の工程は特定の種類の光ファイバには限定され
ない。図7Aに示されたステップの一部として、光ファイバに水素を注入する。
水素を注入するステップは、構成している光ファイバの感光性を上昇するように
使用される1つの方法である。
【0023】 図7Bは、望ましい長さに亘って光ファイバ18、20の両方の保護コーティ
ング62を除去するステップを示している。保護コーティングは、最終的に干渉
計60内に含まれ得る光ファイバの中央部分に亘って除去される。図7Cにおい
て、光ファイバ18、20は、互いに隔離された2つのカプラ中空セグメント2
2、24の中心開口部分を通して挿入されるように示されている。カプラ中空セ
グメント22、24の間の距離は、個々の干渉計の格子長さに依存している。各
カプラ中空セグメントの長さは、干渉計の用途に依存する。各中空セグメント2
2、24の中心開口部分は、略265μmの内径を有し、且つ外径は略2.65
mmを有することが好ましい。各中空セグメント22、24は、各端部において
円錐形の漏斗状の窪み48を含むように図示されている。
【0024】 図7Dは、ガラスフリット44の単一の小塊を使用して負の膨張基板42のA
側に光ファイバ18、20の双方を設置するステップを示している。本発明の干
渉計用に使用される好ましい負の熱膨張基板42は、所望の負の熱膨張特性を有
しているβ−ユークリプタイトから形成される。図7Eのステップにおいて、2
本の光ファイバは、僅かに引張られ、後段の工程においてもこの引張りは維持さ
れる。
【0025】 図7Fのステップにおいて、同一の格子54は、格子作成工程の1回だけの繰
返し法を使用して光ファイバ18、20の両方に同時に作成される。図7Fに示
された格子54は、両方のファイバを同時に横切るようにして図示され、各ファ
イバに沿って格子の位置が同一となっていることを示している。図7Gは、光フ
ァイバ18、20の2つの格子54の張力を調整するステップと、ガラスフリッ
ト44の別の小塊を使用して負の膨張基板42のB側で光ファイバを取り付ける
ステップと、を示している。光ファイバ18、20は、ガラスフリット44によ
り基板表面の僅かに上方に維持されていることを注記しておく。従って、ガラス
フリット44の小塊は、光ファイバ18、20を支持する構造を形成する。図7
Hのステップにおいて、上記ステップまでに形成された集合体は、加熱工程によ
りアニールされ、様々な光学部品を形成する石英内に僅かに残余している水素を
追い出すようにしている。
【0026】 図7Iのステップにおいて、各カプラ中空セグメント22、24は、加熱され
、且つ干渉計光学カップリングテーパ28となるように所定の位置にテーパを付
けられる。カップリングテーパ28は、登録商標マルチ−クラッド(Multi
−CladTM)カプラ引張り技術を使用して形成され得る。通常、カップリング
テーパは、中空セグメント22、24の中心部分を加熱し且つ中空セグメントの
端部を引張ることによって、形成される。図7Jは、カプラ中空セグメントの双
方と基板が支持ガラス管30内に挿入されて構成されるアセンブリを示している
。図7Kのステップにおいて、支持ガラス管30は、様々な取り付け位置38に
おいて上述の複数の取り付け方法を使用して、カプラ中空セグメント22、24
に取付けられる。最終的に、図7Lのステップにおいて、干渉計60の光学特性
は、個々の光ファイバの光路長をUV仕上げ(UV trimming)により
、最適化され得る。従って、最終的に生成された干渉計60は、中空セグメント
22、24により形成された第1及び第2カップリング領域12、14と、中空
セグメント22、24の間に配置された断熱化された格子54を有する位相シフ
ト領域16と、を更に含んでいる。
【0027】 本発明のマッハツェンダー干渉計10、40、60は、エルビウムドープファ
イバ増幅器用の利得平坦化フィルタ及び波長選択アド/ドロップ(add/dr
op)フィルタを含む様々な光学装置に使用可能である。その上、幾つかの干渉
計が、様々な光学機能を達成し又は実行するように互いに縦続に接続され得る。
より多くの機能を得るように、カップリング領域12、14の間で構成光ファイ
バをアクセス可能にすることが望まれ、その結果、例えば光誘導格子を作成する
こと等により、光ファイバが変更され得る。従って、当業者は、ここに示された
マッハツェンダー干渉計10を用いれば、製造工程中に位相シフト領域16内に
おいて光ファイバへのアクセスが可能となることにより、上記した方法が可能と
なることを、理解するであろう。
【0028】 上述の内容は、本発明の具体例としての実施例を開示し、且つ記載したもので
ある。当業者は、詳細な説明の記載及び添付図面、特許請求の範囲から本発明が
容易に理解され、様々な変形、変更及び修正が特許請求の範囲内に規定された発
明の精神及び範囲から逸脱することなく発明が実施可能であることも理解される
であろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の好ましい実施例による複数のセグメントからなる中空部材マ
ッハツェンダー干渉計の概略図である。
【図2】 図1の2−2線にて切断された複数のセグメントからなる中空部材領
域の断面図である。
【図3】 図1の3−3線にて切断された位相シフト領域の断面図である。
【図4】 図1の4−4線にて切断されたカップリング領域の断面図である。
【図5】 本発明の好ましい変形例による複数のセグメントからなる中空部材マ
ッハツェンダー干渉計の斜視図である。
【図6】 図5の干渉計の拡大側面図である。
【図7A】 本発明の方法による複数のセグメントからなる中空部材干渉計を製
造するステップを図示する概略図である。
【図7B】 本発明の方法による複数のセグメントからなる中空部材干渉計を製
造するステップを図示する概略図である。
【図7C】 本発明の方法による複数のセグメントからなる中空部材干渉計を製
造するステップを図示する概略図である。
【図7D】 本発明の方法による複数のセグメントからなる中空部材干渉計を製
造するステップを図示する概略図である。
【図7E】 本発明の方法による複数のセグメントからなる中空部材干渉計を製
造するステップを図示する概略図である。
【図7F】 本発明の方法による複数のセグメントからなる中空部材干渉計を製
造するステップを図示する概略図である。
【図7G】 本発明の方法による複数のセグメントからなる中空部材干渉計を製
造するステップを図示する概略図である。
【図7H】 本発明の方法による複数のセグメントからなる中空部材干渉計を製
造するステップを図示する概略図である。
【図7I】 本発明の方法による複数のセグメントからなる中空部材干渉計を製
造するステップを図示する概略図である。
【図7J】 本発明の方法による複数のセグメントからなる中空部材干渉計を製
造するステップを図示する概略図である。
【図7K】 本発明の方法による複数のセグメントからなる中空部材干渉計を製
造するステップを図示する概略図である。
【図7L】 本発明の方法による複数のセグメントからなる中空部材干渉計を製
造するステップを図示する概略図である。
【符号の説明】
10、40、60 マッハツェンダー干渉計 12 第1カップリング領域 14 第2カップリング領域 16 位相シフト領域 18、20 光ファイバ 22 第1中空セグメント 24 第2中空セグメント 28 カップリングテーパ 30 外側中空部材 34 クラッディング領域 36 コア領域 38 取り付け位置 42 基板 44 ガラスフリット 54 格子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,CY, DE,DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,I T,LU,MC,NL,PT,SE),AE,AL,A M,AT,AU,AZ,BA,BB,BG,BR,BY ,CA,CH,CN,CU,CZ,DE,DK,EE, ES,FI,GB,GD,GE,GH,GM,HR,H U,ID,IL,IN,IS,JP,KE,KG,KP ,KR,KZ,LC,LK,LR,LS,LT,LU, LV,MD,MG,MK,MN,MW,MX,NO,N Z,PL,PT,RO,RU,SD,SE,SG,SI ,SK,SL,TJ,TM,TR,TT,UA,UG, UZ,VN,YU,ZA,ZW (72)発明者 ミラー ウィリアム ジェイ. アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14845 ホースヘッズ ブリードハロウ 638 (72)発明者 モレル マーク エル. アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14845 ホースヘッズ バークシャードライブ 126 Fターム(参考) 2H038 AA22 BA25 CA52 4G061 AA02 AA06 AA20 BA07 CA01 CA02 CB13 CC03 CD05 DA24

Claims (23)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の光ファイバに対して光学的作用を及ぼす光干渉計であって
    、 第1光学カップリング領域を形成し且つ光ファイバを囲繞する第1中空セグメ
    ントと、 第2光学カップリング領域を形成し且つ光ファイバを囲繞する第2中空セグメ
    ントと、 前記第1中空セグメントと前記第2中空セグメントとの間の不連続部により形
    成された、前記光ファイバを露出してなる位相シフト領域と、を含み、 前記光ファイバは、前記第1中空セグメントと前記第2中空セグメントとの間
    の位相シフト領域内で懸架されている、 ことを特徴とする干渉計。
  2. 【請求項2】 前記位相シフト領域内において前記光ファイバを支持する基板を
    更に含むことを特徴とする請求項1記載の干渉計。
  3. 【請求項3】 前記光ファイバは、第1取り付け位置及び第2取り付け位置にお
    いて前記基板に固定されることを特徴とする請求項2記載の干渉計。
  4. 【請求項4】 前記第1取り付け位置及び前記第2取り付け位置は、前記光ファ
    イバを囲繞するガラスフリットにより形成されることを特徴とする請求項3記載
    の干渉計。
  5. 【請求項5】 前記光ファイバは、前記第1取り付け位置及び前記第2取り付け
    位置の間で引張られていることを特徴とする請求項3記載の干渉計。
  6. 【請求項6】 前記第1中空セグメントと、前記第2中空セグメントと、前記位
    相シフト領域と、前記基板と、を囲繞する外側中空部材が前記干渉計を構造上完
    全に形成するように更に含まれることを特徴とする請求項2記載の干渉計。
  7. 【請求項7】 前記位相シフト領域内の前記光ファイバにブラッグ格子が作成さ
    れることを特徴とする請求項1記載の干渉計。
  8. 【請求項8】 前記第1中空セグメント及び第2中空セグメントは、各中空セグ
    メントの中心部分に形成されたカップリングテーパを含むことを特徴とする請求
    項1記載の干渉計。
  9. 【請求項9】 前記カップリングテーパは、3dB光学カプラを形成することを
    特徴とする請求項8記載の干渉計。
  10. 【請求項10】 前記第1中空セグメント及び前記第2中空セグメントは、前記
    位相シフト領域と軸方向に整列されていることを特徴とする請求項1記載の干渉
    計。
  11. 【請求項11】 前記基板は、負の熱膨張材料であることを特徴とする請求項2
    記載の干渉計。
  12. 【請求項12】 前記基板は、β−ユークリプタイトであることを特徴とする請
    求項2記載の干渉計。
  13. 【請求項13】 第1光ファイバと、 第2光ファイバと、 前記第1光ファイバと前記第2光ファイバとを囲繞し、且つ中央部分にカップ
    リングテーパが形成されている第1カップリング領域と、 前記第1光ファイバと前記第2光ファイバとを囲繞し、且つ中央部分にカップ
    リングテーパが形成されている第2カップリング領域と、 前記第1カップリング領域と前記第2カップリング領域との間に配置された位
    相シフト領域と、 前記第1カップリング領域と前記第2カップリング領域と前記位相シフト領域
    とを取り囲む外側中空部材部分と、を含み、 前記外側中空部材部分は、前記第1第カップリング領域及び前記第2カップリ
    ング領域と前記位相シフト領域との間の軸方向の整列を維持する、 ことを特徴とするマッハツェンダー干渉計。
  14. 【請求項14】 前記位相シフト領域内の前記光ファイバにブラッグ格子が作成
    されていることを特徴とする請求項13記載の干渉計。
  15. 【請求項15】 前記位相シフト領域は、前記第1カップリング領域と前記第2
    カップリング領域との間の離間部分により形成されていることを特徴とする請求
    項13記載の干渉計。
  16. 【請求項16】 前記カップリングテーパの少なくとも一方は、3dB光学カプ
    ラを形成していることを特徴とする請求項13記載の干渉計。
  17. 【請求項17】 前記外側中空部材部分は、β−ユークリプタイトで形成される
    ことを特徴とする請求項13記載の干渉計。
  18. 【請求項18】 少なくとも第1光ファイバ及び第2光ファイバを有する干渉計
    の製造方法であって、 前記光ファイバを囲繞する第1光学カップリング領域を形成するステップと、 前記光ファイバを囲繞する第2光学カップリング領域を形成するステップと、 前記第1カップリング領域と前記第2カップリング領域との間に位相シフト領
    域を形成するステップと、 前記光ファイバを基板に固定するステップと、 を含むことを特徴とする干渉計の製造方法。
  19. 【請求項19】 前記位相シフト領域内の前記光ファイバに格子を形成するステ
    ップを更に含むことを特徴とする請求項18記載の方法。
  20. 【請求項20】 前記第1カップリング領域と前記第2カップリング領域とを形
    成するステップは、各カップリング領域の中央部分にテーパ部分を形成するステ
    ップを更に含むことを特徴とする請求項18記載の方法。
  21. 【請求項21】 前記第1光学カップリング領域と、前記第2光学カップリング
    領域と、前記位相シフト領域と、を外側基板内に封入するステップを更に含むこ
    とを特徴とする請求項18記載の方法。
  22. 【請求項22】 前記光ファイバに水素を注入するステップを更に含むことを特
    徴とする請求項18記載の方法。
  23. 【請求項23】 前記光ファイバを前記基板に固定するステップは、ガラスフリ
    ットからなる要素を前記基板の表面に設け且つ前記ガラスフリットからなる要素
    内に光学ファイバを配置することを含むことを特徴とする請求項18記載の方法
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