JP2003505671A - 粒子感知システムおよび関連する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
な体積空気フローを粒子センサに提供する空気フローシステムを有するシステム
に関する。
下をモニタリングする質量フローセンサまたは圧力センサを利用し、粒子カウン
タの内部の流量を確定する。これらのデバイスは小さく、安価で容易に入手でき
るので、産業界で広く使用されている。
な遠心ブロワを使用した粒子センサおよび関連する空気フローシステムがよく知
られている。’164特許の図1は、この範疇の代表的な従来技術の粒子センサ
10および空気フローシステム12を示す。粒子センサ10は、感知キャビティ
10Aを有し、空気フローシステム12は、ブロワキャビティ12Aを有する。
空気フローシステム12は、感知キャビティ10Aから空気を吸引し、その結果
、空間16からの微粒子含有空気14が、ホース18と空気フロー管20とを通
って感知キャビティ10Aの中へ吸引される。空気フロー管20は、空間16か
らの微粒子含有空気14が感知キャビティ10Aの中の細い単軸フロー22に押
し込まれるように、単一の軸に沿って先細りになっている。
ーザ24は、フロー22を直角に照明するレーザービーム26を発生し、フロー
22の中の微粒子に関数的に依存する散乱エネルギ26Aを生成する。検出器2
8は、散乱エネルギ26Aを検出し、検出器28からの検出信号は、粒子計数電
子回路30によって分析され、フローの中の粒子の数を定量化する(説明の目的
のために、検出器28はビーム26と同じ平面上で散乱エネルギ26Aを集める
ことが示されるが、実際は検出器28は通常、ビーム26とフロー22との両方
に直角に散乱26Aを観察する)。
含む。遠心ブロワ32は、感知キャビティ10Aの中から、フロー22と同一直
線上の中心32Aを直接通って空気を吸引する。ブロワ32からの排気14Aは
、主に、フィルタ36を通る排気14Bとしてブロワキャビティ12Aを出る。
例外として、ブロワ32を通る流量を評価するために、排気14Cとして示され
る排気14Aの一部が管38によって捕捉され、フローセンサ40に導かれる。
ブロワコントローラ42は、信号線44を介して、流量を示す電気信号をセンサ
40から受け取り、その流量に応じてプリセットされた速度でブロワ32を駆動
するために、信号線46を介してモーター34にコマンドを与える。ブロワコン
トローラ42は、このようにして、流量センサ40およびモーター34を介して
、ブロワ32のフィードバック制御において動作する。
状態の正確な体積流量(すなわち、立方フィート毎分、または「CFM」)につ
いての微粒子数を決定することが望ましい。例として、この分野で公知の「クリ
ーンルーム」における粒子センサは、汚染レベルが空気の質量に対してでなく、
空気の体積に対して測定されることを前提とする。なぜなら、空気の所与の体積
の質量は、高度の変化のみによっても20%を超えて変動し得るからである。気
象の前線が、3%までのさらなる体積あたりの質量の差の原因となる。
点は、実際の体積流量が、通常、「海面レベル」である所与の圧力について較正
され、その結果、他の場所における粒子の計数が正確な体積流量を反映しないこ
とである。この誤差を補償するために手動調節がなされ得る。ただし、変化して
いる環境(例えば、高度および気圧計の圧力)条件にわたって精度を保証するた
めには、連続的な手動調節が必要である。
作のために、遠心ブロワ32がフロー22と同軸に配置されていることである。
字義通り、遠心ファンは、ファンの中心を通って空気を吸引する。従って、空気
フローシステム12は、フロー22の軸に沿って細長い形状を有し、例えば携帯
型の粒子感知用途で望まれるような空気フローシステム12のコンパクト性を妨
げている。従って、コンパクト性を改善するために、空気フロー管20は通常、
最適な性能のために望まれるよりも短くされる。
できる感知キャビティ10Aとブロワキャビティ12Aとの間の圧力差の量が限
られており、このため粒子感知の能力が特定の環境に制限されることである。こ
のように、特定の圧力差内での動作に制限されることにより、ブロワ32の後に
存在し得る、汚染を低減するための濾過の量も制限される。より詳細には、フィ
ルタ36は、一般に、高性能な汚染フィルタではあり得ない。なぜなら、そのよ
うなフィルタは、さらなる圧力差を引き起こし得るからである。従来技術の空気
フローシステム12は、従って、通常、粗いフィルタ36を利用し、これは、感
知キャビティ10Aまたは空間14への汚染の可能性を増加する。
する粒子センサおよび空気フローシステムを提供することである。本発明のさら
に他の目的は、粒子センサの場所に関わらず、絶対体積流量に対して粒子を感知
する方法を提供することである。本発明のなお他の目的は、内部の汚染が低減さ
れ、かつ、測定下の環境への外部の汚染が低減されたコンパクトな粒子感知シス
テムを提供することである。これらの、および他の目的は、以下の説明において
明らかになる。
に関する背景情報を提供する。すなわち、米国特許第5,467,189号、米
国特許第5,515,164号、米国特許第5,600,438号、米国特許第
4,571,079号、米国特許第4,984,889号、米国特許第4,59
4,715号、および米国特許第5,825,487号である。
量を制御する方法を提供する。その方法は、周囲の空気を粒子カウンタの中に引
き込むステップと、粒子カウンタを通る空気フローの流量を決定するステップと
、大気圧を決定するステップと、体積流量を空気フローの流量と大気圧との関数
として決定するステップとを包含する。
を決定するステップと、(b)周囲大気圧を決定するステップとを包含する。
限箇所の前後の圧力差を決定するステップを包含してもよい。
囲の空気を感知キャビティ内のフローの中に引き込む再生ブロワとを含む。レー
ザがフローを照明し、フローの中の粒子を示すレーザ放射を生成する。検出器は
、レーザ放射を検出する。粒子感知電子回路は、フローの中の微粒子を評価し、
決定する。
ラとを含む。コントローラは、フローが予め選択された体積流量を有するように
、圧力センサからの信号に従ってブロワの速度を調節する。好適な局面では、そ
の予め選択された体積流量は、1CFMである。
圧力センサと、粒子センサの中の絶対圧力を決定する第2の圧力センサと、セン
サを取り巻く周囲の大気圧を決定する第3の圧力センサとを含む。
気フィルタを含む。
ロー経路を含む。この局面では、空気フロー経路は、感知キャビティとブロワと
の間の少なくとも1つの屈曲部を含む。
続されたエアロゾルマニフォールドを含む。再生ブロワは、マニフォールドから
予め選択された体積流量で空気を吸引し、エアロゾルマニフォールドは、周囲の
大気の空気をその予め選択された体積流量よりも大きい第2のCFM速度でサン
プリングする。1つの実施例では、予め選択された体積流量は、1CFMであり
、第2のCFMは3CFMである。
気を第2のCFM流量でエアロゾルマニフォールドの中に吸引し、粒子カウンタ
からのその予め選択された体積流量の排気を捕捉する。
ンタと、周囲の空気を空気フロー管を介してシステム中のフローに引き込む再生
ブロワと、複数の圧力センサとを含む。そのシステムはまた、圧力センサからの
信号に従ってブロワの速度を調節するブロワ速度電圧コントローラを含む。これ
により、感知キャビティの中に第1の体積流量が達成される。エアロゾルマニフ
ォールドは、流体が伝達するように粒子センサcoに接続し、これにより、周囲
の空気を第1の体積流量で感知キャビティに届ける。大流量マニフォールドポン
プは、再生ブロワおよびマニフォールドからの排気を捕捉し、これにより、マニ
フォールドが周囲の大気の空気を第1の体積流量よりも大きい第2の体積流量で
マニフォールドの中に吸引する。マニフォールドは、マニフォールドへの複数の
取り込み口に対応する複数の位置でのサンプリングを可能にする。
フィルタを含む。
ターボ分子ポンプが、周囲の空気を感知キャビティの中のフローに引き込む。レ
ーザがフローを照明し、フローの中の粒子を示すレーザ放射を発生する。検出器
がレーザ放射を検出し、粒子感知電子回路がフロー中の微粒子を決定する。
除去および改変が、本発明の範囲から逸脱することなく当業者によってなされ得
ることが明らかになる。
101は、エアロゾルマニフォールド104の一部である数個の取り込み口10
2のうちの1つを介して、システム100によって捕捉される(すなわち、「サ
ンプリング」される)。図2Aに示されるように、マニフォールド104は、中
空のピボットアーム104Aを有する。ピボットアーム104Aは、マニフォー
ルド104の中で回転(105)し、1つの取り込み口102に接続する。取り
込み口102は、今度は、管108を介して粒子センサ106に接続する。取り
込み口102、ピボットアーム104Aおよび管108は、従って、周囲空気1
01と粒子センサ106との間の流体伝達の経路を生成する。粒子センサ106
は、空気101の中の絶対体積流量に対する微粒子を測定する。
プリング取り込み口102に3CFMの流量で入る。ピボットアーム104Aお
よび管108の中の体積流量比によって、空気101Aは、粒子センサ106に
、1CFMの体積流量(絶対)で入る。このような制御は、以下の説明によって
達成される。
よって集められない空気は、排気107により示されるように、大流量マニフォ
ールド排気114の中に排気される。同様に、粒子センサ106からの排気10
1Bは、マニフォールドコネクタ110と配管112とを通過し、大流量マニフ
ォールド排気114の中に入る。大流量マニフォールドポンプ116は、マニフ
ォールド排気114を介してシステム100から排気101B、107を吸引す
る。各取り込み口102に入る空気101と、ピボットアーム104Aを通って
センサ106に入る空気101Aとの3:1の比により、センサ106の中の連
続したフローが保たれ、隣の取り込み口102との間の混合を制限する。より詳
細には、マニフォールドポンプ116は、マニフォールドサンプリング取り込み
口102から来るそれぞれ3CFMの排気107とともに、再生ブロワ128(
図3)から1CFMの排気101Bを吸引する。もしも、例えばマニフォールド
104が12個の取り込み口102を有する場合、吸引される全体の流量は12
×3CFMプラス1CFM、すなわち、合計37CFMである。従って、マニフ
ォールドポンプ116は、しばしば、「大流量」マニフォールドポンプと呼ばれ
る。
前後の圧力差を測定する空気フローセンサ120と、粒子カウンタ106の内部
の大気圧を測定する絶対内部センサ122と、周囲の空気101の絶対圧力を測
定する絶対圧力センサ124と、図3の再生ブロワ128の回転速度を変化させ
るブロワ速度電圧コントローラ126とを含むことを例示的に示す。センサ12
0、122および124は、全体としてコントローラ126に使用され、粒子セ
ンサ106の中の再生ブロワ128の速度を調整し、正確な体積流量を保証する
。
す。その空気フロー機構は、空気を粒子センサ106の中に、または粒子センサ
106から吸引する再生ブロワ128を含む。図3は、さらに、正確な体積流量
を保証するためにセンサ106によって使用されるセンサ120、122および
124の位置を示す。再生ブロワ128は、流体の伝達のために管108(図2
)に接続された取り込みオリフィス130を介して、空気101Aを粒子センサ
106の中へ吸引し、次いで、空気101Aのフロー138の中の微粒子を評価
する感知キャビティ132の中へ吸引する。粒子センサ106は、好適には、フ
ロー138を生成するために、図1の空気フロー管20のような空気フロー管2
0’を含む。この分野で公知のように、レーザ134は、フロー138を照明す
るレーザービーム136を発生し、その結果、フロー138の粒子を示す散乱エ
ネルギ140が検出器142により検出される。粒子感知電子回路144は、検
出器142からの信号を信号線145を介して評価し、選択された体積流量、例
えば、1CFMについてのこれらの微粒子を定量化する。
て、および空気フローセンサ120および内部大気センサ122を介して、空気
101A’を吸引する。空気フローセンサ120は、図4に関連して説明する制
限箇所の前後の空気101A’の空気フローを測定し、内部大気センサ122は
、センサ106の中の圧力を測定する。ブロワ128は、接続管148を介して
空気101A’を吸引し、接続管150、高効率排気フィルタ152、配管11
2およびマニフォールドコネクタ110を介して空気101Bを排気する。粒子
センサ106からの排気の唯一の出口は、排気101Bを浄化し、図2のシステ
ム100の中の汚染を低減するフィルタ152を通る。
圧力を提供する。ブロワ速度電圧コントローラ126は、センサ120、122
および124からの信号を信号線154を介して受け取り、信号線131を介し
て、再生ブロワ128のDC電圧、従って速度を調整し、粒子センサ106に入
る空気101Aの体積流量を制御する。
内の圧力感知の原理を説明する。サンプル管146内の空気101A’の流量(
分子/秒)は、空気フローセンサ120によって制限オリフィス160の前後で
測定される。圧力センサ122は、サンプル管146の中の空気密度を測定する
。所望の体積フローにおける粒子の数を達成するために、体積フローは、それぞ
れ空気フローセンサ120および圧力センサ122により提供されたそのままの
流量および大気圧によって決定される。圧力センサ122は、システム100の
他の場所に位置し得る。ただし、局所的にセンサ106の中であれば、圧力セン
サ122によってより正確な体積流量が決定され得る。
空気移動デバイスとして使用される。差分空気フロー圧力センサ120は、オリ
フィス160を通る空気フローによって引き起こされるオリフィス160の前後
の差分の圧力降下を測定するために、制限オリフィス160と前後に並んで使用
される。圧力センサ122は、制限オリフィス160のすぐ上流の絶対気圧を測
定するために使用される。絶対圧力センサ124は、周囲の空気101の絶対気
圧を測定するために使用される。ブロワコントローラ126は、圧力センサ12
0、122および124によって提供される情報を解釈し、信号線131上に、
再生ブロワ128の速度を制御する出力信号を導出する。システム100は、こ
のようにして、ブロワ128の閉ループフィードバック制御を提供する。
生源)からサンプリングされた状態の正確に1CFMの体積流量を提供する。シ
ステム100は、海面レベルから10,000フィートまでの範囲の高度で使用
されることを意図する。システム100はまた、好適には、圧力センサ124を
除いてシステム100の全ての部品を、周囲の環境に対して約60インチ水柱の
真空にさらすエアロゾルマニフォールド104と関連して用いられるように設計
される。センサ120によって発生された圧力差信号ΔPは、粒子センサ106
を通る流量に比例する。しかしながら、ベルヌイの式は、実際の体積流量を導出
するためには、センサ120における空気密度が既知であることを要求する。圧
力センサ122は、この空気密度を測定するために使用される。
密度を空気101の周囲の環境における密度とはわずかに異なったものにする。
エアロゾルマニフォールド104に接続された場合、この空気密度は周囲におけ
る密度とはかなり異なる。従って、圧力比(圧力センサ122からの圧力を圧力
センサ124からの圧力で割った値)は、周囲の環境から吸引された1CFMの
体積流量に対応する、空気フローセンサ120において要求される体積流量を維
持するために、解釈される。
高度に起因して変動する空気密度、および環境条件に起因する局所的な気圧変化
を補償した状態の正確に1CFMの体積流量を生成する。
12、大流量マニフォールドポンプ116およびマニフォールド排気114を使
用しなくても、または、それらと接続しなくても動作し得ることに注意するべき
である。しかしながら、これらに接続された場合、マニフォールド104の中の
圧力は、周囲よりも低いことが好ましく、約60インチ水柱である。従って、こ
れが圧力センサ124の目的である。従来技術は、H2O柱の60インチの圧力
におけるマニフォールド104を有する閉ループの中の動作に関連する利点を提
供しない。マニフォールド104なしでは、センサ122、124によって定義
される圧力は、ほぼ同じである。
型粒子センサ200の斜視図である。図2のように、再生ブロワ202が、セン
サ200への空気フローの押し込みおよび引き出しを提供する。内部電子回路(
例えば、図3の電子回路144と同様)および粒子カウンタ208(図2のカウ
ンタ106と同様)は、取り込み開口204に入る周囲の空気のフロー中の微粒
子を決定し、カラーLCDディスプレイ206は、センサ200のユーザに結果
を表示する。内部動作、圧力感知およびセンサ200の中の空気フローは、図2
〜4に関して上述したのと同様に動作する。
、モーターコントローラ(例えば、図3のモーターコントローラ126と同様)
およびセンサ202の中の電力を必要とする他の部品に使用される取り外し可能
なバッテリーパック209を示す。バッテリーパック209は、バッテリーベイ
210にスライドして選択的に付け外しされる。
示す。再生ブロワは、センサの中の都合のよい配置を提供し、取り込み管および
ブロワへの配管の非直線の構成は、さらなるコンパクト性を提供する。一方、図
1の従来技術は、空気フロー管と遠心ブロワとの間の共通の空気フローの軸に沿
って同一直線に並べることを必要とし、最適な空気フロー管を短縮することなく
しては、結果として得られる粒子センサのコンパクト性を低減する。一方、本発
明のシステムは、感知キャビティの中へ取り込み管を伸ばすことを可能にするの
で望ましい。再生ファンはまた、遠心ファンに比較して、そのようなファンを通
る同一量の空気体積を引き込むために、より少ない毎分回転数しか必要としない
ので、使用中により静かである。
ンプ300とターボポンプコントローラ302とがそれぞれ使用されていること
を除いて図3の粒子センサ106と同様である、代替的な粒子センサ106’を
示す。上述した説明と同じ機能は同じ参照番号を有する。ターボポンプは、特に
真空排気量の分野において、他のポンプよりも利点を有する。ターボポンプは、
より高い真空を吸引することができ、他の従来のポンプよりも高い空気フローを
生成することができる。以下の特許は、ターボポンプ動作の有用な背景情報を提
供する。すなわち、米国特許第3,832,084号、米国特許第3,969,
042号、米国特許第4,929,151号、米国特許第4,893,985号
、米国特許第4,764,034号、米国特許第4,734,018号、米国特
許第3,753,623号、米国特許第3,947,193号、米国特許第5,
451,147号、および米国特許第4,180,370号である。
した目的を達成する。本発明の範囲から逸脱することなく上述した方法およびシ
ステムに特定の変更が可能であるので、上記の説明に含まれるかまたは添付の図
面に示される全てのことは、例示的であり、限定的な意味ではないと解釈される
ことが意図される。例えば、当業者は、本発明とともに、AMETEKRのRo
tron Technical Motor DivisionのMINISP
IRALTM再生ブロワ(例えば、MDC部品番号SE12V21−037433
)等のいくつかの再生ブロワが使用可能であることを理解するべきである。
具体的な特徴と、それらの範囲内に入ると文言上言われ得る全ての表現とをカバ
ーするべきであることもまた理解されるべきである。
ロー機構と、離れた外部サンプリングマニフォールドとを含む、粒子感知システ
ムの図である。
ポンプの利用を模式的に示す図である。
点は、実際の体積流量が、通常、「海面レベル」である所与の圧力について較正
され、その結果、他の場所における粒子の計数が正確な体積流量を反映しないこ
とである。この誤差を補償するために手動調節がなされ得る。ただし、変化して
いる環境(例えば、高度および気圧計の圧力)条件にわたって精度を保証するた
めには、連続的な手動調節が必要である。米国特許第5,922,976号は、
フィードバック補償を使用して一定の体積フローを提供するために、圧力変動を
考慮したエアロゾル粒子検出システムを開示する。しかしながら、そのシステム
は、相対的な体積流量を決定するために圧力降下を利用しているので、周囲の環
境からサンプリングされた正確な体積流量についての粒子の数を提供することは
できない。さらに、このシステムは層流の場合のみでしか動作せず、コンパクト
な粒子センサで使用するには差し支えがある。
作のために、遠心ブロワ32がフロー22と同軸に配置されていることである。
字義通り、遠心ファンは、ファンの中心を通って空気を吸引する。従って、空気
フローシステム12は、フロー22の軸に沿って細長い形状を有し、例えば携帯
型の粒子感知用途で望まれるような空気フローシステム12のコンパクト性を妨
げている。従って、コンパクト性を改善するために、空気フロー管20は通常、
最適な性能のために望まれるよりも短くされる。米国特許第5,534,706
号は、粒子カウンタとともに使用されるターボポンプを示すが、組み合わされた
態様では示されていない。
した目的を達成する。当業者は、添付の特許請求の範囲に規定された本発明の範
囲から逸脱することなく、説明された粒子カウンタに変更および追加をなし得る
ことは明らかである。例えば、当業者は、本発明とともに、AMETEKRのR
otron Technical Motor DivisionのMINIS
PIRALTM再生ブロワ(例えば、MDC部品番号SE12V21−03743
3)等のいくつかの再生ブロワが使用可能であることを理解するべきである。
Claims (20)
- 【請求項1】 周囲の大気中の粒子センサ(106)のための体積流量を制
御する方法であって、該方法は、 周囲の空気を該粒子センサに引き込むステップと、 該粒子センサを通る空気フローの流量を決定するステップと を包含し、該方法は、 大気圧を決定するステップと、 空気フローの流量および大気圧の関数として、該体積流量を決定するステップ
と を特徴とする方法。 - 【請求項2】 前記大気圧を決定するステップは、前記粒子センサの中の絶
対圧力を決定するステップと、前記周囲の大気圧を決定するステップとを包含す
ることをさらに特徴とする、請求項1に記載の方法。 - 【請求項3】 前記体積流量を決定するステップは、体積流量を関係: Q=k・[(PAPSO・PDPS)1/2÷PAPSE] のQとして決定するステップを包含することをさらに特徴とし、ここで、 kは実験的に決定される定数であり、 PAPSOは前記粒子センサの中の絶対圧力であり、 PDPSは流量に比例する圧力差であり、 PAPSEは周囲の大気圧である、請求項2に記載の方法。
- 【請求項4】 前記体積流量を決定するステップは、Qの評価に以下の関係
: Q=k・[(2・ΔP)/ρ]1/2 を利用する工程を包含することをさらに特徴とし、ここで、 ΔPは制限箇所の前後における前記粒子センサの中の圧力差であり、 ρはPM/RT(kg/m3)であり、 Pは圧力(kPa)であり、 Mは、空気の分子質量(28.97kg/kmol)であり、 Rは一般気体定数(8.314kJ/kmol・K)であり、 Tは、温度(°K)である、請求項3に記載の方法。 - 【請求項5】 前記空気の流量を決定するステップは、前記粒子センサの中
の制限箇所の前後の圧力差を決定するステップを包含する、請求項1に記載の方
法。 - 【請求項6】 周囲の空気を粒子センサの中のフロー(138)に引き込む
ブロワ(128、300)と、 流量検出器と、 該フローを照明し、該フローの中の個々の粒子を示す放射(140)を生成す
るレーザ(134)と、 該放射を検出する検出器(142)と、 該フローの中の微粒子を決定する粒子感知電子回路(144)と を備えた粒子センサであって、該粒子センサは、 大気圧センサと、 該空気フローの流量検出器および該大気圧センサに応答し、該フローの中の体
積流量を制御するための制御電子回路と を特徴とする、粒子センサ。 - 【請求項7】 前記体積流量は、予め選択された体積流量であることをさら
に特徴とする、請求項6に記載の粒子センサ。 - 【請求項8】 前記予め選択された体積流量は、1CFMであることを特徴
とする、請求項7に記載の粒子センサ。 - 【請求項9】 前記圧力センサは、前記粒子センサの中の圧力を決定する第
1の圧力センサ(122)と、該センサを取り巻く周囲の大気(101)の圧力
を決定する第2の圧力センサ(124)とを特徴とする、請求項7に記載の粒子
センサ。 - 【請求項10】 前記ブロワから排気される空気を濾過する高効率排気フィ
ルタ(152)をさらに特徴とする、請求項6に記載の粒子センサ。 - 【請求項11】 前記ブロワは、再生ブロワを含むことをさらに特徴とする
、請求項6に記載の粒子センサ。 - 【請求項12】 前記センサは、前記レーザが前記フローと交差する領域と
、前記再生ブロワとの間に、空気フロー経路(146、148)を含み、該空気
フロー経路は、該領域と該ブロワとの間に少なくとも1つの屈曲部を有すること
をさらに特徴とする、請求項11に記載の粒子センサ。 - 【請求項13】 流体の伝達のために前記粒子センサの取り込み口(102
)と接続されたエアロゾルマニフォールド(104)をさらに特徴とし、前記再
生ブロワは、該マニフォールドから予め選択された体積流量で空気を吸引し、該
エアロゾルマニフォールドは、周囲の大気(101)の空気を該予め選択された
体積流量よりも大きい第2のCFM流量でサンプリングする、請求項11に記載
の粒子センサ。 - 【請求項14】 前記予め選択された体積流量は1CFMであり、前記第2
のCFM速度は3CFMである、請求項13に記載の粒子センサ。 - 【請求項15】 空気を前記エアロゾルマニフォールドに前記第2のCFM
速度で吸引し、前記粒子センサからの前記予め選択された体積流量の排気(10
1B)を捕捉するために接続された大流量マニフォールドポンプ(116)をさ
らに特徴とする、請求項13に記載の粒子センサ。 - 【請求項16】 前記フローに周囲の空気を届けるためのエアロゾルマニフ
ォールド(104)と、 該マニフォールドに接続され、前記ブロワからの排気(101B)を捕捉し、
該空気フローからの該空気をマニフォールドポンプへ返すように接続された、大
流量マニフォールドポンプ(116)と をさらに特徴とする、請求項6に記載の粒子センサ。 - 【請求項17】 前記ブロワから排気された空気を濾過する高効率排気フィ
ルタ(152)をさらに特徴とし、該排気フィルタは、前記マニフォールドから
の排気と閉ループに流体を伝達している、請求項16に記載の粒子センサ。 - 【請求項18】 前記ブロワは、ターボ分子ポンプ(300)を含むことを
さらに特徴とする、請求項6に記載の粒子センサ。 - 【請求項19】 周囲の空気を前記粒子センサの中のフロー(138)に引
き込むブロワ(128、300)と、 該フローを照明し、該フローの中の粒子を示す放射(140)を生成するレー
ザ(134)と、 該放射を検出する検出器(142)と、 該フローの中の微粒子を決定する粒子感知電子回路(144)と を備えた粒子センサであって、該ブロワは、再生ブロワ(128)を含むこと
を特徴とする、粒子センサ。 - 【請求項20】 複数の圧力センサと、 該圧力センサと前記再生ブロワとの間に接続され、該再生ブロワの動作を制御
する制御電子回路と をさらに備えた、請求項19に記載の粒子センサ。
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