KR102434175B1 - 매니폴드형 파티클 측정장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 매니폴드형 파티클 측정장치에 관한 것으로, 파티클 측정기 1대로클린룸 내 다수의 지점 중 원하는 지점의 실내공기를 실시간, 원하는 시간간격으로 흡입시켜 측정부를 통하여 파티클 유무를 측정가능하도록 구성함으로써, 비용의 절감과 클린룸 내에서의 효률적이고 효과적인 파티클 관리가 가능하도록 구성된다.
Description
본 발명은 매니폴드형 파티클 측정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 클린룸 내의 여러 곳에 실내공기를 각각 흡입시켜 측정부를 통하여 파티클 유무를 측정가능하도록 구성함으로써, 클린룸 내에서 파티클이 어디에서 발생하고 있는지를 신속하고 정확하게 측정할 수 있도록 한 매니폴드형 파티클 측정장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체, LCD와 같이 고정밀도를 요하는 제조 공정들이 산업 전반에 걸쳐 증가하고 있다.
이런 고정밀도 공정은 제조 공정에서의 고정밀도 제어도 중요하지만, 미세 먼지와 같은 이물에 의한 제품의 오염을 막기 위해 고청정의 작업 환경을 유지하는 것도 매우 중요하다.
이를 위해, 외부 먼지 차단 및 작업 공간의 공기 순환에 관한 여러 지침이 마련되어 있다.
반면, 이런 제조 공정에 사용되는 장비들은 실제 작업 공정이 이루어지는 공간에 가장 가까이 위치하고 있으나, 고청정 환경에 대한 및 평가 방법은 마련되어 있지 않으며, 이를 위한 명확한 해결 방법이 제시되어 있지 않다.
그 결과, 이런 장비에서 발생하는 미세 이물질은 제품 수율에 직접적인 영향을 끼칠 수 있고, 이를 해결하지 않으면 지속적으로 이물 기인 제품 불량을 야기하는 문제점이 있다.
특히, 이와 같은 장비 중 모터를 구동해 샤프트를 왕복 운동시키면서 작동하는 공정에 사용되는 장비의 경우, 샤프트를 지지하는 베어링에서 샤프트와 마찰이 일어나고 이로 인해 미세 이물질이 발생한다.
이 미세 이물질은 샤프트가 작업하는 공간을 오염시켜서, 제품의 수율을 떨어뜨린다.
이러한 점을 감안하여 특허출원번호 10-2012-0054016호에 이물질 측정장치가 제안된 바 있다.
살펴보면 종래의 일반적인 이물질 측정장치는, 검사 대상물과, 상기 검사 대상물의 이물질 발생 정도를 파악하기 위해 상기 검사 대상물을 구동시켜 상기 검사 대상물의 이물질을 발생시키는 구동부와, 상기 검사 대상물을 회전시키는 모터부와, 상기 구동부와 연결되어 상기 검사 대상물로부터 발생하는 이물질을 수집하는 이물질 수집관 및 상기 이물질 수집관과 연결되어 상기 이물질 수집관으로부터 수집된 이물질을 흡입하여 상기 검사 대상물의 이물질 발생 정도를 파악하는 파티클 카운터를 포함하고, 상기 구동부는 상기 검사 대상물을 고정하고 상기 검사 대상물과 상기 모터부 사이를 연결하는 구동축과, 상기 검사 대상물의 회전 시에 일정 하중을 인가하기 위한 추 및 상기 구동축에 고정된 검사 대상물 외부에 배치되고 상기 추와 상기 검사 대상물을 연결하는 하우징을 포함하며, 상기 파티클 카운터는 일정시간 동안 발생하는 상기 이물질의 크기 및 개수를 파악하는 것을 특징으로 하고 있다.
그러나, 이와 같이 구성된 종래의 일반적인 이물질 측정장치는, 상기한 바와 같이 클린룸(Clean-room)에서 사용되는 장비의 자체 이물질 발생 정도를 사전에 파악하여 이물질 발생을 최소화하는 재질을 선택하여 장비를 설계하여 클린룸(Clean-room) 내에서 발생하는 이물질을 최소화하여 제품의 수율을 향상시킬 수 있으나, 클린룸과 연결된 출입구, 자재 반입구, 작업자의 이동중 이물이 유입되거나 발생되는 경우에는 제대로 적용을 할 수 없다는 단점이 있다.
또한, 종래의 일반적인 이물질 측정장치를 통한 측정방식은 목표 지점의 파티클을 측정하기 위해 목표지점 1곳마다 측정장비 1대를 이용하고 있으며 측정장비 1대로 다수의 목표지점을 측정할 수는 있지만 다수의 목표지점을 순차적으로 측정해야 하며 다수의 목표지점을 측정하기 위해 파티클 측정장비와 다수의 목표지점으로 연결된 관(호스)들 사이에 빈 공간이 존재해 데이터의 신뢰성이 낮을 수 밖에 없는 단점이 있다.
이에, 본 발명은 상술한 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 파티클 측정기 1대로클린룸 내 다수의 지점 중 원하는 지점의 실내공기를 실시간, 원하는 시간간격으로 흡입시켜 측정부를 통하여 파티클 유무를 측정가능하도록 구성함으로써, 비용의 절감과 클린룸 내에서의 효률적이고 효과적인 파티클 관리가 가능하도록 한 매니폴드형 파티클 측정장치를 제공하는 것에 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적들은 기술이 진행되면서 명확해질 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 클린룸의 선택된 구역의 파티클을 흡입펌프의 구동에 의해 내측으로 흡입시켜 파티클측정부(20)에서 파티클의 양을 측정가능하도록 구성된 매니폴드형 파티클 측정장치로서, 상부가 개구되고, 바닥면에는 설치홀(110a)이 형성되어 구비되는 챔버(110)와, 상기 챔버(110) 내측 상부에 기밀유지되도록 고정되되, 중앙부에는 홀(120a)이 형성되고, 상기 홀(120a) 주변에는 클린룸의 측정하고자 하는 구역에 일단이 설치된 파티클 흡입호스의 타단과 각각 연결되는 중공의 포트부(121)가 방사방향으로 복수 개 형성되어 구비되는 매니폴드부(120)와, 상기 매니폴드부(120)의 홀(120a)에 구동축(131)을 관통시켜 고정 설치됨에 따른 상기 포트부(121)가 디스플레이되는 디스플레이부(11)를 갖는 제어부(10)의 제어에 대응되게 구동가능하게 구비되는 구동모터(130)와, 상기 매니폴드부(120)의 저면 중앙부에 고정되되, 중앙부는 상기 구동모터(130)의 구동축(131)을 관통시킬 수 있도록 형성되어 제어부(10)의 제어에 대응되게 자석의 성질을 띠도록 구비되는 전자석(140)과, 상기 구동축(131)에 일단이 고정 연결된 연결편(151)의 타단을 중앙 내측으로 삽입시키는 것에 의해 상기 연결편(151)을 따라 상,하방향으로 슬라이드 이동가능하게 설치되는 이동편(152)으로 구성된 연결수단(150)과, 상기 연결수단(150)의 이동편(152)을 중앙부로 삽입시켜 고정 연결되는 것에 의해 상기 전자석(140) 하부에 위치되게 판상으로 형성되되, 판상에는 안내홀(160a)이 형성되어 상기 제어부(10)의 디스플레이부(11)를 통하여 포트부(121)를 선택하는 것에 대응되게 상기 제어부(10)에 의해 구동하는 상기 구동모터(130)에 의해 회전된 후, 상기 전자석(140)에 부착됨에 따른 선택된 상기 포트부(121)와 안내홀(160a)이 기밀유지되게 연통되도록 구비되는 회전체(160)와, 상기 챔버(110)의 저면에 일단이 기밀유지되게 고정되고, 타단은 설치홀(110a)을 관통하여 회전력전달부재(170)를 매개로 상기 연결수단(150)과 회전가능하게 연결되되, 외주면은 상기 회전체(160)의 안내홀(160a)을 통하여 유입되는 클린룸의 파티클을 파티클측정부(20)측으로 안내호스(H)를 통하여 안내가능하도록 구비되는 안내수단(180)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기한 매니폴드부(120)의 상면에는 상기 홀(120a)을 수용하여 고정돌출부(122)가 형성되고, 저면에는 상기 전자석(140)을 수용할 수 있도록 수용홈(120c)이 형성되며, 상기 고정돌출부(122)에는 전자석전원선 배선용홀이 상기 수용홈(120c)과 연통되게 형성되며, 상기 홀(120a) 주변에는 상기 수용홈(120c)측으로 수용된 상기 전자석(140)을 고정시킬 수 있도록 전자석 고정홀이 형성되어 구비된 것을 특징으로 한다.
상기한 바와 같이 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치에 따르면, 클린룸 내의 선택된 곳의 실내공기를 각각 흡입시켜 측정부를 통하여 파티클 유무를 측정가능하도록 구성, 특정 포인트만의 데이터를 신속하고 정확하게 측정할 수 있을 뿐만 아니라 전자석이 매니폴더부 저면에 고정 설치되므로 파티클 측정장치를 소형화할 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기한 바와 같이 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치에 따르면, 회전체가 전자석에 부착되는 것에 의해 매니폴드부의 포트부와 회전체의 안내홀이 기밀유지되게 연통되므로, 외부의 파티클이 유입됨 없이 클린룸 내의 측정하고자 하는 곳의 파티클을 측정할 수 있어서 정확도를 높일 수 있고, 데이터 값을 안정적으로 얻을 수 있으며, 데이터의 이상시 이상원인의 파악을 신속하게 할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치가 설치된 상태를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치를 도시한 분해도이다.
도 4는 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치를 도시한 사진도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치의 매니폴드부를 도시한 사진도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치의 매니폴드부에 전자석이 설치된 상태를 도시한 사진도면이다.
도 7은 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치의 회전체를 도시한 사진도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치의 안내수단을 도시한 사진도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치를 도시한 분해도이다.
도 4는 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치를 도시한 사진도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치의 매니폴드부를 도시한 사진도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치의 매니폴드부에 전자석이 설치된 상태를 도시한 사진도면이다.
도 7은 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치의 회전체를 도시한 사진도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치의 안내수단을 도시한 사진도면이다.
이하에서는, 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치의 일실시 예를 들어 상세하게 설명한다.
우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호를 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
도시된 바와 같이 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치(100)는, 클린룸의 선택된 구역의 파티클을 흡입펌프(미도시함)의 구동에 의해 내측으로 흡입시켜 파티클측정부(20)에서 파티클의 양을 측정가능하도록 상부가 개구되고, 바닥면에는 설치홀(110a)이 형성되어 구비되는 챔버(110)와, 상기 챔버(110) 내측 상부에 기밀유지되도록 고정되되, 중앙부에는 홀(120a)이 형성되고, 상기 홀(120a) 주변 에는 클린룸의 측정하고자 하는 구역에 일단이 설치된 파티클 흡입호스(미도시함)의 타단과 각각 연결되는 중공의 포트부(121)가 방사방향으로 복수 개 형성되어 구비되는 매니폴드부(120)와, 상기 매니폴드부(120)의 홀(120a)에 구동축(131)을 관통시켜 고정 설치됨에 따른 상기 포트부(121)가 디스플레이되는 디스플레이부(11)를 갖는 제어부(10)의 제어에 대응되게 구동가능하게 구비되는 구동모터(130)와, 상기 매니폴드부(120)의 저면 중앙부에 고정되되, 중앙부는 상기 구동모터(130)의 구동축(131)을 관통시킬 수 있도록 형성되어 제어부(10)의 제어에 대응되게 자석의 성질을 띠도록 구비되는 전자석(140)과, 상기 구동축(131)에 일단이 고정 연결된 연결편(151)의 타단을 중앙 내측으로 삽입시키는 것에 의해 상기 연결편(151)을 따라 상,하방향으로 슬라이드 이동가능하게 설치되는 이동편(152)으로 구성된 연결수단(150)과, 상기 연결수단(150)의 이동편(152)을 중앙부로 삽입시켜 고정 연결되는 것에 의해 상기 전자석(140) 하부에 위치되게 판상으로 형성되되, 판상에는 안내홀(160a)이 형성되어 상기 제어부(10)의 디스플레이부(11)를 통하여 포트부(121)를 선택하는 것에 대응되게 상기 제어부(10)에 의해 구동하는 상기 구동모터(130)에 의해 회전된 후, 상기 전자석(140)에 부착됨에 따른 선택된 상기 포트부(121)와 안내홀(160a)이 기밀유지되게 연통되도록 구비되는 회전체(160)와, 상기 챔버(110)의 저면에 일단이 기밀유지되게 고정되고, 타단은 설치홀(110a)을 관통하여 회전력전달부재(170)를 매개로 상기 연결수단(150)과 회전가능하게 연결되되, 외주면은 상기 회전체(160)의 안내홀(160a)을 통하여 유입되는 클린룸의 파티클을 파티클측정부(20)측으로 안내호스(H)를 통하여 안내가능하도록 구비되는 안내수단(180)을 포함하여 이루어진다.
또한, 상기한 매니폴드부(120)에는 상기 회전체(160)에 형성된 기준점 세팅용홀(191)을 센싱하여 이를 제어부(10)측으로 인가하는 것에 의해 장치의 최초 기준을 세팅시키기 위한 기준점세팅용 센서(190)가 더 구비된다.
이하에서, 상기한 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치를 첨부된 도면 도 1 내지 도 8을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기한 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치의 챔버(110)는, 상부가 개구된 "U"자 형상의 단면으로 형성되되, 바닥면에는 상기 안내수단(180)의 타단을 관통시킬 수 있도록 설치홀(110a)이 형성되어 구비된다.
또한, 상기한 챔버(110)의 내주면 상부에는 상기 매니폴드부(120)가 수용됨에 따른 걸림 안착시킬 수 있도록 안착용 단턱부(110b)가 형성되어 구비된다.
또한, 상기한 챔버(110)의 외주면 상부에는 상기 안착용 단턱부(110b)에 안착된 상기 매니폴드부(120)를 고정스크류로 고정시킬 수 있도록 방사방향으로 일정 간격 복수 개의 매니폴드부용 고정홀(110c)이 더 형성되어 구비된다.
그리고, 상기한 설치홀(110c) 주변에는 상기 안내수단(180)의 일단을 고정스크류로 고정시킬 수 있도록 방사방향으로 복수 개의 안내수단용 고정홀(110d)이 더 형성되어 구비된다.
상기한 매니폴드부(120)는 상기 챔버(110) 내측으로 삽입되는 것에 의해 안착용 단턱부(110b)에 안착되어 고정 설치가능하도록 원형의 판상으로 형성되되, 중앙부에는 홀(120a)이 형성되며, 상기 홀(120a) 주변으로 상면에는 클린룸의 측정하고자 하는 구역에 일단이 설치된 파티클 흡입호스의 타단과 각각 연결되도록 중공의 포트부(121)가 방사방향으로 복수 개 형성되어 구비된다.
또한, 상기한 매니폴드부(120)의 상면에는 상기 홀(120a)을 수용하여 돌출되되, 돌출된 부분의 상면에는 상기 구동모터(130)를 고정시킬 수 있도록 구동모터용 고정홀(도면부호 생략)이 복수 개 형성된 고정돌출부(122)가 더 형성되어 구비된다.
또한, 상기한 고정돌출부(122) 일측 판상에는 상기 기준점세팅용 센서(190)를 고정시킬 수 있도록 센서고정홀(도면부호 생략)이 더 형성되어 구비된다.
또한, 상기한 매니폴드부(120)의 외측면에는 고정스크류를 매개로 상기 챔버(110)에 고정될 수 있도록 고정 나사홈(120b)이 일정 간격으로 복수 개의 더 형성되어 구비된다.
또한, 상기한 매니폴드부(120)의 저면에는 상기 전자석(140)을 수용할 수 있도록 수용홈(120c)이 형성되고, 상기 고정돌출부(122)에는 전자석전원선 배선용홀(도면부호 생략)이 상기 수용홈(120c)과 연통되게 형성되며, 상기 홀(120a) 주변에는 상기 수용홈(120c)측으로 수용된 상기 전자석(140)을 복수 개의 고정스크류로 고정시킬 수 있도록 전자석 고정홀(도면부호 생략)이 더 형성되어 구비된다.
상기한 구동모터(130)는 구동축(131)이 매니폴드부(120)의 홀(120a)을 관통되게 상기 매니폴드부(120)의 고정돌출부(122)에 일단이 안착 고정되어 복수 개의 고정스크류를 매개로 고정됨에 따른 제어부(10)의 제어에 대응되게 전원이 인가되는 것에 의해 상기 구동축(131)이 구동가능하게 구비된다.
또한, 상기한 구동모터(130)의 구동축(1121) 일단면에는 상기 연결수단(150)의 연결편(151) 일단이 나사방식으로 결합가능하도록 나사홈(도면부호 생략)이 형성되어 구비된다.
상기한 전자석(140)은 상기 매니폴드부(120)의 저면 중앙부에 고정되되, 중앙부는 상기 구동모터(130)의 구동축(131)을 관통시킬 수 있도록 형성되어 제어부(10)의 제어에 대응되게 자석의 성질을 띠어 상기 회전체(160)를 부착시킬 수 있도록 구비된다.
즉, 상기한 전자석(140)은 상기 매니폴드부(120)의 저면에 형성된 수용홈(120c)에 삽입가능하도록 원판상으로 형성되되, 중앙부는 상기 구동모터의 구동축이 삽입될 수 있도록 삽입용 홀(140a)이 형성되고, 일면에는 상기 삽입용 홀(140a) 주변으로 상기 매니폴드부(120)에 복수 개의 고정스크류를 매개로 고정되도록 고정나사홈(140b)이 형성되어 전원선(141)을 통하여 전원이 공급되는 것에 의해 자석의 성질을 띠어 상기 회전체(160)를 부착시킬 수 있도록 구비된다.
상기한 연결수단(150)은 상기 회전체(160)를 구동모터(130)의 구동축(131)에 연결시켜 상기 구동모터(130)가 구동하는 것에 의해 상기 회전체(160)가 회전될 수 있도록 상기 구동축(131)에 일단이 고정 연결된 연결편(151)과, 상기 연결편(151)의 타단을 중앙 내측으로 삽입시키는 것에 의해 상기 연결편(151)을 따라 일방향 및 타방향으로 슬라이드 이동가능하게 설치되는 이동편(152)으로 구성된다.
여기서, 상기한 연결편(151)은 원형의 단면으로 형성되되, 외주면 일단은 상기 구동모터(130)의 구동축(131)에 형성된 나사홈에 나사 방식으로 결합되도록 나사부(151a)가 형성되고, 나머지 외주면에는 길이방향으로 요홈(151b)이 일정 간격 형성되며, 전면에는 회전력전달부재(170)를 고정스크류로 고정 연결시킬 수 있도록 고정연결용 나사홈(151c)이 형성되어 구비된다.
또한, 상기한 이동편(152)은 상기 회전체(160)의 중앙부로 삽입가능하도록 원통형으로 형성되어 구비되는 연결용 삽입편(152a)과, 상기 연결용 삽입편(152a)에 내설되어 상기 연결편(151)의 타단이 내측으로 삽입되는 것에 의해 요홈(151b)에 일부가 삽입되어 상기 연결편(151)을 따라 일방향 및 타방향으로 이동가능하도록 방사방향으로 복수 개의 이동용 볼(152b)이 길이방향으로 일정 간격 설치된 가이드부(152c)와, 상기 연결용 삽입편(152a)의 외주면에 고정되어 상기 회전체(160)의 중앙부로 상기 연결용 삽입편(152a)이 삽입됨에 따른 상기 회전체(160)와 연결됨에 따른 상기 구동모터(130)의 구동에 대응되게 회전력을 전달시켜 상기 회전체(160)가 회전될 수 있도록 구비되는 연결용 키(152d)로 구성된다.
상기한 회전체(160)는 상기 연결수단(150)의 이동편(152)을 중앙부로 삽입시켜 연결용 키(152d)와 고정볼트로 고정 연결되는 것에 의해 상기 전자석(140) 하부에 위치되도록 판상으로 형성되되, 판상에는 안내홀(160a)이 형성되어 상기 제어부(10)의 디스플레이부(11)를 통하여 포트부(121)를 선택하는 것에 대응되게 상기 제어부(10)에 의해 구동하는 상기 구동모터(130)에 의해 회전되어 선택된 상기 포트부(121)와 안내홀(160a)이 일치됨에 따른 상기 전자석(140)에 부착가능하게 구비된다.
즉, 상기한 회전체(160)는 원형의 판상으로 형성되되, 중앙부에는 부착부재용 설치홀(도면부호 생략)이 형성되고, 상기 부착부재용 설치홀 일측에는 안내홀(160a)이 형성되어 구비되는 회전판(161)과, 상기 회전판(161)이 부착부재용 설치홀에 일단이 삽입되어 돌출되되, 중앙부에는 상기 연결수단(150)의 이동편(152)이 삽입될 수 있도록 수용홀(162a)이 형성되고, 상기 수용홀(162a) 내주면에는 연결용 키(152d)를 수용가능하게 수용홈(162b)이 형성된 삽입편(162)과, 상기 삽입편(162)의 타단에 확경되게 형성되어 상기 회전판(161) 상면에 걸림 안착됨에 따른 복수 개의 고정스크류로 고정되어 상기 전자석(140)이 자석의 성질을 띠는 것에 의해 부착되는 부착편(163)으로 구성된 부착부재(164)와, 상기 회전판(161)에 형성된 안내홀(160a)에 일단이 삽입 돌출되어 고정되고, 타단은 상기 회전판(161) 상면에 안착되도록 "T"자 형상의 단면으로 형성되되, 중앙부에는 관통홀(165a)이 형성되어 구비되는 연결포트부(165)로 구성된다.
또한, 상기한 부착부재(164)의 삽입편(162) 외주면에는 고정스크류를 매개로 삽입된 이동편(152)의 외주면을 가압고정시킬 수 있도록 가압고정용 홀(162c)이 더 형성되어 구비된다.
상기한 안내수단(180)은 상기 챔버(110)의 저면에 일단이 기밀유지되게 고정되고, 타단은 설치홀(110a)을 관통하여 회전력전달부재(170)를 매개로 상기 연결수단(150)과 회전가능하게 연결되되, 외주면은 상기 회전체(160)의 안내홀(160a)을 통하여 유입되는 클린룸의 파티클을 파티클측정부(20)측으로 안내호스를 통하여 안내가능하도록 구비된다.
즉, 상기한 안내수단(180)은 상기 챔버(110)의 저면에 설치홀(110a)을 수용시켜 복수 개의 고정스크류를 매개로 고정되되, 상면에는 중앙부에 안내고정홀(181b)이 관통된 안내용 돌출부(181a)가 돌출 형성되어 구비되는 안내고정부재(181)와, 상기 안내고정부재(181)의 안내용 돌출부(181a)를 저면 내측으로 회전가능하게 수용하는 것에 의해 설치홀(110a)을 관통하여 상기 챔버(110) 내부에 위치되도록 저면에는 안내 회전용 수용홈(182a)이 형성되고, 상면에는 회전력전달부재(170)를 안착시킬 수 있도록 안착연결용 돌출부(182b)가 형성되며, 외주면에는 상기 회전체(160)의 연결포트부(165)에 일단이 연결된 안내호스(H)의 타단을 연결시킬 수 있도록 연결홈(182c)이 형성되되, 상기 연결홈(182c)과 안내 회전용 수용홈(182a)은 "ㄱ"자 형상의 회전안내홀(182d)에 의해 연통가능하게 구비되는 안내용 회전부재(182)와, 상기 안내용 회전부재(182)의 연결홈(182c)에 일단이 복수 개의 고정스크류를 매개로 고정되고 타단은 상기 회전체(160)의 연결포트부(165)에 일단이 연결된 안내호스(H)의 타단과 연결되도록 "ㅓ"자 형상의 단면으로 형성되되, 중앙부에는 관통구멍(183a)이 형성되어 구비되는 안내용연결포트부(183)로 구성된다.
여기서, 상기한 회전력전달부재(170)는 상기 연결수단(150)에 안내수단(180)을 연결시켜 구동모터(130)가 구동하는 것에 의해 상기 회전체(160)가 회전함에 따른 상기 안내용 회전부재(182)가 회전될 수 있도록 하여 안내호스(H)가 꼬이는 것을 방지할 수 있도록 구비된다.
즉, 상기한 회전력전달부재(170)는 저면에 상기 안내수단(180)의 안내용 회전부재(182) 상면에 돌출된 안착연결용 돌출부(182b)를 수용가능하도록 회전력전달용 수용홈(170a)이 형성되고, 상기 회전력전달용 수용홈(170a)의 천장면에는 상기 연결수단(150)의 연결편(151)에 형성된 고정연결용 나사홈(151c)과 고정스크류를 매개로 고정 연결가능하도록 회전력전달용 고정홀(170b)이 형성되어 구비된다.
이와 같이 이루어진 본 발명에 따른 매니폴드형 파티클 측정장치를 이용하여 클린룸의 파티클을 측정하고자 할 경우, 첨부된 도면 도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이 먼저, 매니폴더부에 형성된 8개의 포트부(121)에 고정 연결된 파티클 흡입호스를 클린룸의 천장 모서리에 1번부터 4번까지 그리고 바닥 5번부터 8번까지 각각 설치한다.
상기와 같이 파티클 흡입호스를 클린룸의 천장 모서리와 바닥에 각각 설치된 상태에서 천장 모서리 4번에 설치된 파티클 흡입호스에 해당되는 번호를 제어부(10)의 디스플레이부(11)를 통하여 선택한다.
상기 제어부(10)의 디스플레이부(11)를 통하여 4번이 선택되는 것에 의해 제어부의 제어 신호에 의해 구동모터(130)가 구동하게 된다.
상기 구동모터(130)의 구동으로 연결수단(150)을 통하여 회전판(161)의 회전과 함께 안내수단(180)의 안내용 회전부재(182)가 회전하게 된다.
이때, 상기한 구동모터(130)의 구동은 제어부(10)의 제어에 의해 상기 회전판(161)의 회전으로 안내홀(160a)이 매니폴드부(120)의 4번 포트부(121)와 일치되는 만큼만 구동하게 된다.
상기와 같이 구동모터(130)의 구동으로 회전판(161)의 안내홀(160a)이 매니폴드부(120)의 4번 포트부(121)와 일치되면, 제어부(10)의 제어에 의해 매니폴드부(120) 저면에 고정된 전자석(140)으로 전원이 인가됨에 따른 상기 전자석(140)은 자석의 성질을 띠게 된다.
그로 인해, 부착부재(164)의 부착편(163)이 상기 전자석(140)에 부착된다.
상기 부착부재(164)의 부착편(163)이 상기 전자석(140)에 부착되는 것에 의해 안내홀(160a)이 매니폴드부(120)의 4번 포트부(121)와 서로 연통되게 접촉된다.
이후, 파티클측정부(20)와 연결된 흡입펌가 제어부에 의해 구동하는 것에 의해 클린룸의 천장 서리에 설치된 4번 파티클 흡입호스를 통하여 실내 공기가 흡입된다.
상기 4번 파티클 흡입호스를 통하여 흡입된 실내공기는 매니폴드부(120)의 4번 포트부(121)와 회전체(160)의 연결포트부(165) 그리고, 상기 연결포트부(165)에 일단이 연결된 안내호스(H) 및 상기 연결호스(H)의 타단과 연결된 회전체(180)를 통하여 파티클측정부(20)측으로 유입된다.
실내공기가 상기 파티클측정부(20)측으로 유입되면, 상기 파티클측정부(20)는 실내공기에 포함된 파티클의 양을 측정하고, 측정된 양을 디스플레이부에 표시하므로 인해 작업자는 클린룸의 천장 4번 모서리에 파티클이 얼마나 있는지를 알 수 있다.
한편, 클린룸의 바닥 8번 구역의 파티클 양을 측정하고자 할 경우, 설치된 파티클 흡입호스에 해당되는 번호 즉, 8번을 제어부(10)의 디스플레이부(11)를 통하여 선택한다.
그로 인해, 상기 클린룸 4번 모서리의 파티클 측정과 동일하게 장치가 구동하는 것에 의해 8번 파티클 흡입호스를 통하여 흡입된 실내공기는 파티클측정부(20)측으로 유입된다.
8번 파티클 흡입호스를 통하여 실내공기가 상기 파티클측정부(20)측으로 유입되면, 상기 파티클측정부(20)는 실내공기에 포함된 파티클의 양을 측정하고, 측정된 양을 디스플레이부에 표시하므로 인해 작업자는 클린룸의 바닥 8번에 파티클이 얼마나 있는지를 알 수 있다.
이와 같이 매니폴드형 파티클 측정장치를 이용하게 되면, 클린룸 내의 여러 곳에 실내공기를 각각 흡입시켜 파티클측정부를 통하여 파티클 양을 측정가능하므로, 클린룸 내에서 파티클이 어디에서 발생하고 있는지를 신속하게 찾아낼 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
H ; 안내호스 10 ; 제어부
20 ; 파티클측정부 100 ; 매니폴드형 파티클 측정장치
110 ; 챔버 120 ; 매니폴드부
130 ; 구동모터 140 ; 전자석
150 ; 연결수단 160 ; 회전체
170 ; 회전력전달부재 180 ; 안내수단
190 ; 기준점세팅용 센서
20 ; 파티클측정부 100 ; 매니폴드형 파티클 측정장치
110 ; 챔버 120 ; 매니폴드부
130 ; 구동모터 140 ; 전자석
150 ; 연결수단 160 ; 회전체
170 ; 회전력전달부재 180 ; 안내수단
190 ; 기준점세팅용 센서
Claims (7)
- 클린룸의 선택된 구역의 파티클을 흡입펌프의 구동에 의해 내측으로 흡입시켜 파티클측정부(20)에서 파티클의 양을 측정가능하도록 구성된 매니폴드형 파티클 측정장치는,
상부가 개구되고, 바닥면에는 설치홀(110a)이 형성되어 구비되는 챔버(110)와;
상기 챔버(110) 내측 상부에 기밀유지되도록 고정되되, 중앙부에는 홀(120a)이 형성되고, 상기 홀(120a) 주변에는 클린룸의 측정하고자 하는 구역에 일단이 설치된 파티클 흡입호스의 타단과 각각 연결되는 중공의 포트부(121)가 방사방향으로 다수 개 형성되어 구비되는 매니폴드부(120)와;
상기 매니폴드부(120)의 홀(120a)에 구동축(131)을 관통시켜 고정 설치됨에 따른 상기 포트부(121)가 디스플레이되는 디스플레이부(11)를 갖는 제어부(10)의 제어에 대응되게 구동가능하게 구비되는 구동모터(130)와;
상기 매니폴드부(120)의 저면 중앙부에 고정되되, 중앙부는 상기 구동모터(130)의 구동축(131)을 관통시킬 수 있도록 형성되어 제어부(10)의 제어에 대응되게 자석의 성질을 띠도록 구비되는 전자석(140)과;
상기 구동축(131)에 일단이 고정 연결된 연결편(151)의 타단을 중앙 내측으로 삽입시키는 것에 의해 상기 연결편(151)을 따라 상,하방향으로 슬라이드 이동가능하게 설치되는 이동편(152)으로 구성된 연결수단(150)과;
상기 연결수단(150)의 이동편(152)을 중앙부로 삽입시켜 고정 연결되는 것에 의해 상기 전자석(140) 하부에 위치되게 판상으로 형성되되, 판상에는 안내홀(160a)이 형성되어 상기 제어부(10)의 디스플레이부(11)를 통하여 포트부(121)를 선택하는 것에 대응되게 상기 제어부(10)에 의해 구동하는 상기 구동모터(130)에 의해 회전된 후, 상기 전자석(140)에 부착됨에 따른 선택된 상기 포트부(121)와 안내홀(160a)이 기밀유지되게 연통되도록 구비되는 회전체(160)와;
상기 챔버(110)의 저면에 일단이 기밀유지되게 고정되고, 타단은 설치홀(110a)을 관통하여 회전력전달부재(170)를 매개로 상기 연결수단(150)과 회전가능하게 연결되되, 외주면은 상기 회전체(160)의 안내홀(160a)을 통하여 유입되는 클린룸의 파티클을 파티클측정부(20)측으로 안내호스(H)를 통하여 안내가능하도록 구비되는 안내수단(180)을 포함하고,
상기 매니폴드부(120)에는 상기 회전체(160)에 형성된 기준점 세팅용홀(191)을 센싱하여 이를 제어부(10)측으로 인가하는 것에 의해 장치의 최초 기준을 세팅시키기 위한 기준점세팅용 센서(190)를 더 포함하며,
상기 연결수단(150)의 연결편(151)은, 상기 구동모터(130)의 구동축(131)에 형성된 나사홈에 나사 방식으로 결합되도록 외주면 일단은 나사부(151a)가 형성되고, 나머지 외주면에는 길이방향으로 요홈(151b)이 일정 간격 형성되며, 전면에는 회전력전달부재(170)를 고정 연결시킬 수 있도록 고정연결용 나사홈(151c)이 형성되어 구비되고,
상기 이동편(152)은, 상기 회전체(160)의 중앙부로 삽입가능하도록 원통형으로 형성되어 구비되는 연결용 삽입편(152a)과, 상기 연결용 삽입편(152a)에 내설되어 상기 연결편(151)의 타단이 내측으로 삽입되는 것에 의해 요홈(151b)에 일부가 삽입되어 상기 연결편(151)을 따라 일방향 및 타방향으로 이동가능하도록 방사방향으로 복수 개의 이동용 볼(152b)이 길이방향으로 일정 간격 설치된 가이드부(152c)와, 상기 연결용 삽입편(152a)의 외주면에 고정되어 상기 회전체(160)의 중앙부로 상기 연결용 삽입편(152a)이 삽입됨에 따른 상기 회전체(160)와 연결됨에 따른 상기 구동모터(130)의 구동에 대응되게 회전력을 전달시켜 상기 회전체(160)가 회전될 수 있도록 구비되는 연결용 키(152d)로 구성되며,
상기 회전체(160)는, 원형의 판상으로 형성되되, 중앙부에는 부착부재용 설치홀이 형성되고, 상기 부착부재용 설치홀 일측에는 안내홀(160a)이 형성되어 구비되는 회전판(161)과, 상기 회전판(161)이 부착부재용 설치홀에 일단이 삽입되어 돌출되되, 중앙부는 중앙부에는 상기 연결수단(150)의 이동편(152)이 삽입될 수 있도록 수용홀(162a)이 형성되고, 상기 수용홀(162a) 내주면에는 연결용 키(152d)를 수용가능하게 수용홈(162b)이 형성된 삽입편(162)과, 상기 삽입편(162)의 타단에 확경되게 형성되어 상기 회전판(161) 상면에 안착 고정되어 전자석(140)이 자석의 성질을 띠는 것에 의해 부착되는 부착편(163)으로 구성된 부착부재(164)와, 상기 회전판(161)에 형성된 안내홀(160a)에 일단이 삽입 돌출되어 고정되고, 타단은 상기 회전판(161) 상면에 안착되도록 형성되되, 중앙부에는 관통홀(165a)이 형성되어 구비되는 연결포트부(165)로 구성된 것을 특징으로 하는 매니폴드형 파티클 측정장치.
- 제1항에 있어서,
상기 매니폴드부(120)의 상면에는 상기 홀(120a)을 수용하여 고정돌출부(122)가 형성되고, 저면에는 상기 전자석(140)을 수용할 수 있도록 수용홈(120c)이 형성되며, 상기 고정돌출부(122)에는 전자석전원선 배선용홀이 상기 수용홈(120c)과 연통되게 형성되며, 상기 홀(120a) 주변에는 상기 수용홈(120c)측으로 수용된 상기 전자석(140)을 고정시킬 수 있도록 전자석 고정홀이 형성되어 구비된 것을 특징으로 하는 매니폴드형 파티클 측정장치.
- 제2항에 있어서,
상기 전자석(140)은, 상기 매니폴드부(120)의 저면에 형성된 수용홈(120c)에 삽입가능하도록 원판상으로 형성되되, 중앙부는 삽입용 홀(140a)이 형성되고, 일면에는 상기 삽입용 홀(140a) 주변으로 상기 매니폴드부(120)에 고정되도록 고정나사홈(140b)이 형성되어 전원선(141)을 통하여 전원이 공급되는 것에 의해 자석의 성질을 띠어 회전체(160)를 부착시킬 수 있도록 구비된 것을 특징으로 하는 매니폴드형 파티클 측정장치.
- 삭제
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 안내수단(180)은, 상기 챔버(110)의 저면에 설치홀(110a)을 수용시켜 고정되되, 상면에는 중앙부에 안내고정홀(181b)이 관통된 안내용 돌출부(181a)가 돌출 형성되어 구비되는 안내고정부재(181)와, 상기 안내고정부재(181)의 안내용 돌출부(181a)를 저면 내측으로 회전가능하게 수용하는 것에 의해 설치홀(110a)을 관통하여 상기 챔버(110) 내부에 위치되도록 저면에는 안내 회전용 수용홈(182a)이 형성되고, 상면에는 회전력전달부재(170)를 안착시킬 수 있도록 안착연결용 돌출부(182b)가 형성되며, 외주면에는 안내호스(H)의 타단을 연결시킬 수 있도록 연결홈(182c)이 형성되되, 상기 연결홈(182c)과 안내 회전용 수용홈(182a)은 회전안내홀(182d)에 의해 연통가능하게 구비되는 안내용 회전부재(182)와, 상기 안내용 회전부재(182)의 연결홈(182c)에 일단이 고정되고, 타단은 회전체(160)의 연결포트부(165)에 일단이 연결된 안내호스(H)의 타단과 연결되도록 형성되되, 중앙부에는 관통구멍(183a)이 형성되어 구비되는 안내용연결포트부(183)로 구성된 것을 특징으로 하는 매니폴드형 파티클 측정장치.
- 제1항 또는 제6항에 있어서,
상기 회전력전달부재(170)는 저면에 상기 안내수단(180)의 타단을 수용가능하도록 회전력전달용 수용홈(170a)이 형성되고, 상기 회전력전달용 수용홈(170a)의 천장면에는 연결수단(150)의 연결편(151)에 형성된 고정연결용 나사홈(151c)과 고정 연결가능하도록 회전력전달용 고정홀(170b)이 형성되어 구비된 것을 특징으로 하는 매니폴드형 파티클 측정장치.
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| KR1020210110064A KR102434175B1 (ko) | 2021-08-20 | 2021-08-20 | 매니폴드형 파티클 측정장치 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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