CN212617271U - 支撑装置以及多面体光学元件的面型检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及多面体光学元件检测设备技术领域，尤其是涉及一种支撑装置以及多面体光学元件的面型检测装置。支撑装置更适用于对非规则形状多面体光学元件的夹持，其中，支撑装置包括支撑构件、吸附构件以及调节构件，在实际应用过程中，所述支撑构件具有容纳空间，所述吸附构件位于所述容纳空间内，并通过所述调节构件设置在所述支撑构件上，所述吸附构件用于固定所述多面体光学元件。并利用吸附构件的吸附端吸附多面体光学元件，以此达到固定所述多面体光学元件的作用。

Description

支撑装置以及多面体光学元件的面型检测装置

技术领域

本申请涉及多面体光学元件检测设备技术领域，尤其是涉及一种支撑装置以及多面体光学元件的面型检测装置。

背景技术

多面体光学元件各个组成面的面型的加工中需通过使用干涉仪测量每个面的面型值来辅助完成面型加工，通常规则六面体光学元件检测每个面的面型方法是将待测件放置在三维调整载物台上使待检测面几何中心靠近干涉仪出光口光路中心轴上，再通过简单调整三维载物台上待检测面位置与干涉仪出光窗口面倾角，使干涉仪出光窗口面与待检测面的平行，找到最佳干涉纹效果后测量得出面型值。

然而在实际检测过程中，多面体光学元件多数呈非规则形状，当将非规则形状的多面体光学元件放置在三维调整载物台上时，无法保证待检测面与干涉仪出光窗口面平行，最终导致面型值测试结果有误差。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种支撑装置以及多面体光学元件的面型检测装置，在一定程度上解决了现有技术中因无法保证非规则形状的多面体光学元件的待检测面与干涉仪出光窗口平行的技术问题。

本申请提供了一种支撑装置，包括：支撑构件、吸附构件以及调节构件；

所述支撑构件具有容纳空间，所述容纳空间用于放置多面体光学元件；

所述吸附构件位于所述容纳空间内，并通过所述调节构件设置在所述支撑构件上，所述调节构件能够改变所述吸附构件相对所述多面体光学元件的位置，以使所述吸附构件能够固定所述多面体光学元件。

在上述技术方案中，进一步地，所述支撑构件包括第一支撑部以及第二支撑部；

所述第一支撑部为筒状结构，所述第二支撑部设置在所述第一支撑部的一端，以使所述第一支撑部与所述第二支撑部围设有所述容纳空间。

在上述技术方案中，进一步地，所述第一支撑部的轴向方向的第一端朝向第二端呈渐缩状；

所述第二支撑部设置在所述第一支撑部的第二端。

在上述技术方案中，进一步地，所述第一支撑部与所述第二支撑部上均间隔设置有多个所述吸附构件。

在上述技术方案中，进一步地，所述调节构件包括第一调节部以及第二调节部；

所述第一调节部穿过所述支撑构件并朝向所述容纳空间延伸形成有所述第二调节部。

在上述技术方案中，进一步地，所述所述支撑构件上开设有通孔，所述通孔的内侧壁上设置有内螺纹；所述第一调节部的外侧壁上设置有外螺纹；

所述内螺纹与所述外螺纹相适配；

旋转位于所述容纳空间外的所述第一调节部的部分，以改变位于所述容纳空间内的所述第一调节部的部分的长度。

在上述技术方案中，进一步地，所述吸附构件还包括转动部；所述转动部转动设置在所述第二调节部上，所述吸附部通过连接件设置在所述转动部上，以使所述吸附部能够相对所述第二调节部旋转。

在上述技术方案中，进一步地，所述吸附构件还包括转动部；

所述转动部设置在所述第二调节部上，所述吸附部通过连接件设置在所述转动部上；

所述转动部能够在所述第二调节部上旋转，通过所述连接件以使所述吸附部旋转。

本申请还提供一种多面体光学元件的面型检测装置，包括光准直器、干涉仪、调整机构、上述的支撑装置；

所述支撑装置设置在所述调整机构的驱动端，驱动所述调整机构，以带动所述支撑装置转动；

所述光准直器和所述干涉仪沿第一方向间隔排布；

所述光准直器的发射信号垂直于所述多面体光学元件的待检测面且用于对所述多面体光学元件的待检测面找平校准；

所述干涉仪的发射信号垂直于找平校准后的所述多面体光学元件的待检测面，且用于检测所述待检测面的面型值。

在上述技术方案中，进一步地，所述调整机构为五维度调整架，所述五维度调整架的型号为CM-920504M。

与现有技术相比，本申请的有益效果为：

本申请提供的支撑装置尤其适用于对非规则形状多面体光学元件的夹持(如果是规则形状的多面体光学元件，那么直接放置在三维载物台上即可)，其中，支撑装置包括支撑构件、吸附构件以及调节构件，在实际应用过程中，所述支撑构件具有容纳空间，所述吸附构件位于所述容纳空间内，并通过所述调节构件设置在所述支撑构件上，当所述吸附构件用于吸附和固定非规则形状多面体光学元件时，通过所述调节构件，调整所述吸附构件的吸附端的位置，以使吸附构件的吸附端准确固定非规则形状多面体光学元件的端面。

本申请还提供一种多面体光学元件的面型检测装置，包括光准直器、干涉仪、调整机构、上述的支撑装置；

所述支撑装置设置在所述调整机构的驱动端，驱动所述调整机构，以带动所述支撑装置转动；

所述光准直器的发射信号垂直于所述多面体光学元件的待检测面且用于对所述多面体光学元件的待检测面找平校准；

所述干涉仪的发射信号垂直于找平校准后的所述多面体光学元件的待检测面，且用于检测所述待检测面的面型值。

基于上述对所述支撑装置的分析可知，所述多面体光学元件的面型检测装置在实际的检测过程中，第一步：需要对多面体光学元件的其中一个待检测面进行找平校准，在对待检测面进行找平校准时，首先利用支撑装置将多面体光学元件固定起来，并大致保证所述光准直器发射的信号垂直于所述待检测面，然后光准直器向待检测面发射信号，如果所述光准直器的反馈信号不是90°，那么通过所述调节构件，调整所述吸附构件的吸附端的位置，进而实现对待检测面位置的微调，然后，再次通过光准直器进行找平校准，直到光准直器的反馈信号是90°；第二步，调整干涉仪出光窗口面平行于第一步调整后的待检测面进而测出待检测面的面型值。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例一提供的支撑装置的结构示意图；

图2为本申请实施例一提供的支撑装置上设置的吸附构件以及调节构件结构示意图；

图3为本申请实施例二提供的多面体光学元件的面型检测装置的结构示意图。

附图标记：

100-支撑构件；101-吸附构件；102-调节构件；103-容纳空间；104-多面体光学元件；105-第一支撑部；106-第二支撑部；107-第一调节部；108-第二调节部；109-通孔；110-吸附部；111-转动部；112-连接件；113-调整机构；114-驱动端。

具体实施方式

下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。

通常在此处附图中描述和显示出的本申请实施例的组件可以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。

基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

实施例一

参见图1和图2所示，本申请一种支撑装置，包括：支撑构件100、吸附构件101以及调节构件102；

所述支撑构件100具有容纳空间103，所述容纳空间103用于放置多面体光学元件104；

所述吸附构件101位于所述容纳空间103内，并通过所述调节构件102设置在所述支撑构件100上，所述吸附构件101用于固定所述多面体光学元件104。

具体地，本申请提供的支撑装置更适用于对非规则形状多面体光学元件104的夹持(如果是规则形状的多面体光学元件104，那么直接放置在三维载物台上即可)，其中，支撑装置包括支撑构件100、吸附构件101以及调节构件102，在实际应用过程中，所述支撑构件100具有容纳空间103，所述吸附构件101位于所述容纳空间103内，并通过所述调节构件102设置在所述支撑构件100上，当所述吸附构件101用于吸附和固定非规则形状多面体光学元件时，通过所述调节构件102，调整所述吸附构件101的吸附端的位置，以使吸附构件101的吸附端准确固定非规则形状多面体光学元件的端面，进一步地，当需要调整待检测面的水平度或者是竖直度时，通过调节所述调节构件102，在通过所述吸附端带动所述待检测面，实现对待检测面的水平度或竖直度的微调。

在该实施例中，所述支撑构件100包括第一支撑部105以及第二支撑部106，所述第一支撑部105为筒状结构。

第一种优选的方式，所述第一支撑部105为直筒状结构，即所述第一支撑部105的直径处处相同，所述第二支撑部106位于所述第一支撑部105的一端，所述第一支撑部105与所述第二支撑部106围设有所述容纳空间103，所述第一支撑部105的另一端为开口端，所述多面体光学元件104通过所述开口端放置在所述容纳空间103内。

第二种优选的方式，所述第一支撑部105的轴向方向的第一端朝向第二端呈渐缩状，即所述第一支撑部105直径处处不相同，为了方便将所述多面体光学元件104放置在所述容纳空间103内，即所述第二支撑部106设置在直径较小的那端。

具体地，不论是上述哪种优选方式，所述第二支撑部106与所述第一支撑部105能够构成筒状结构。

更具体地，在实际的应用过程中，首先将支撑装置放置在调整机构113上(这面所提及的调整机构113是现有技术，本领域的技术人员能够理解)，然后利用光准直器实现对多面体光学元件104的待检测面进行水平校准，对待检测面校准之后，最后利用干涉仪对待检测面进行面型测试，在利用光准直器以及干涉仪时，所述光准直器以及所述干涉仪位于支撑构件100的开口端，所述第二支撑部106起到背光的作用。

在该实施例中，考虑到本申请提供的支撑装置用于固定形状不规则的多面体光学元件104，为了保证对形状不规则的多面体光学元件104的稳定固定，所述第一支撑部105与所述第二支撑部106上均间隔设置有多个所述吸附构件101，使得各个形状不规则的多面体光学元件104的面均能够利用吸附构件101固定。

具体地，考虑到形状不规则的多面体光学元件104的各个面之间呈一定夹角，为了保证规则的多面体光学元件104的各个面均能够被稳定固定，相邻所述吸附构件101之间呈预设角度，所述预设角度设置在0-180°之间，每一相邻所述吸附构件101之间的夹角根据相邻两个多面体光学元件104的面决定。

在该实施例中，考虑到，形状不规则的多面体光学元件104其大小也不相同，为了保证所述支撑装置能够固定大小不同的形状不规则的多面体光学元件104，所述调节构件102包括第一调节部107以及第二调节部108；

第一种优选地，所述第一支撑部105和所述第二支撑部106上均设置有第一调节107，从而实现对非规则形状多面体光学元件的多个侧面进行夹持，夹持效果更好，更加稳定。

第二种优选地，所述第一支撑部105上设置第一调节107。

具体地，所述第一支撑部105和/或所述第二支撑部106上开设有通孔109，所述通孔109的内侧壁上设置有内螺纹；所述第一调节部107的外侧壁上设置有外螺纹；所述内螺纹与所述外螺纹相适配。

在实际的调节过程中，当形状不规则的多面体光学元件104的某一个面相对于多面体光学元件104的几何中心偏高或偏低时候，旋转位于所述容纳空间103外的所述第一调节部107，以改变位于所述容纳空间103内的所述第一调节部107的长度，进而保证位于第二调节部108上的所述吸附构件101能够抵接到多面体光学元件104的各个面。

在该实施例中，所述吸附构件101包括吸附部110，所述吸附部110设置在所述第二调节部108上，所述吸附部110用于吸附所述多面体光学元件104。

具体地，考虑到不同的多面体光学元件104的各个面之间所呈的角度不同，为了使得所述吸附部110能够适应相邻角度不同的多面体光学元件104，所述吸附构件101还包括转动部111；所述转动部111设置在所述第二调节部108上，所述吸附部110通过连接件112设置在所述转动部111上；所述转动部111能够在所述第二调节部108上旋转，通过所述连接件112以使所述吸附部110旋转，调整了吸附部110的吸附角度，从而适应了相邻角度不同的多面体光学元件104。

具体地，优选地，所述连接件112为连接杆。

优选地，所述吸附部110为自吸式手动按压吸头。

实施例二

该实施例二是在上述实施例基础上的改进，上述实施例中公开的技术内容不重复描述，上述实施例中公开的内容也属于该实施例二公开的内容。

结合图3所示，本申请还提供一种多面体光学元件104的面型检测装置，包括光准直器、干涉仪、调整机构113、上述的支撑装置；

所述支撑装置设置在所述调整机构113的驱动端114，驱动所述调整机构113，以带动所述支撑装置转动；

所述光准直器和所述干涉仪沿第一方向间隔排布；所述光准直器的发射信号垂直于所述多面体光学元件104的待检测面且用于对所述多面体光学元件的待检测面找平校准；所述干涉仪的发射信号垂直于找平校准后的所述多面体光学元件的待检测面，且用于检测所述待检测面的面型值。

在实际的检测过程中，第一步：需要对多面体光学元件104的其中一个待检测面进行找平校准，在对待检测面进行找平校准时，首先利用支撑装置将多面体光学元件104固定起来，并大致保证所述光准直器发射的信号垂直于所述待检测面，然后光准直器向待检测面发射信号，如果所述光准直器的反馈信号不是90°，那么通过所述调节构件102，调整所述吸附构件101的吸附端的位置，进而实现对待检测面位置的微调，然后，再次通过光准直器进行找平校准，直到光准直器的反馈信号是90°；第二步，调整干涉仪出光窗口面平行于第一步调整后的待检测面进而测出待检测面的面型值。

优选地，所述第一方向为多面体光学元件104的面型检测装置正常工作时的水平方向。

优选地，所述光准直器的为10W的He-Ne光准直器。

在该实施例中，所述调整机构113为五维度调整架，所述五维度调整架的型号为CM-920504M，对于所述调整机构113的结构以及工作原理，在这里不做阐述，其是一种现有技术，本领域的技术人员能够理解。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种支撑装置，其特征在于，包括：支撑构件、吸附构件以及调节构件；

所述支撑构件具有容纳空间，所述容纳空间用于放置多面体光学元件；

所述吸附构件位于所述容纳空间内，并通过所述调节构件设置在所述支撑构件上，所述调节构件能够改变所述吸附构件相对所述多面体光学元件的位置，以使所述吸附构件能够固定所述多面体光学元件。

2.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑构件包括第一支撑部以及第二支撑部；

所述第一支撑部为筒状结构，所述第二支撑部设置在所述第一支撑部的一端，以使所述第一支撑部与所述第二支撑部围设有所述容纳空间。

3.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述第一支撑部的轴向方向的第一端朝向第二端呈渐缩状；

所述第二支撑部设置在所述第一支撑部的第二端。

4.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述第一支撑部与所述第二支撑部上均间隔设置有多个所述吸附构件。

5.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述调节构件包括第一调节部以及第二调节部；

所述第一调节部穿过所述支撑构件并朝向所述容纳空间延伸形成有所述第二调节部。

6.根据权利要求5所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑构件上开设有通孔，所述通孔的内侧壁上设置有内螺纹；所述第一调节部的外侧壁上设置有外螺纹；

所述内螺纹与所述外螺纹相适配；

旋转位于所述容纳空间外的所述第一调节部的部分，以改变位于所述容纳空间内的所述第一调节部的部分的长度。

7.根据权利要求5所述的支撑装置，其特征在于，所述吸附构件包括吸附部，所述吸附部设置在所述第二调节部上，所述吸附部用于吸附所述多面体光学元件。

8.根据权利要求7所述的支撑装置，其特征在于，所述吸附构件还包括转动部；

所述转动部转动设置在所述第二调节部上，所述吸附部通过连接件设置在所述转动部上，以使所述吸附部能够相对所述第二调节部旋转。

9.一种多面体光学元件的面型检测装置，其特征在于，包括光准直器、干涉仪、调整机构、权利要求1至8中任一项所述的支撑装置；

所述支撑装置设置在所述调整机构的驱动端，驱动所述调整机构，以带动所述支撑装置转动；

所述光准直器和所述干涉仪沿第一方向间隔排布；

所述光准直器的发射信号垂直于所述多面体光学元件的待检测面且用于对所述多面体光学元件的待检测面找平校准；

所述干涉仪的发射信号垂直于找平校准后的所述多面体光学元件的待检测面，且用于检测所述待检测面的面型值。

10.根据权利要求9所述的多面体光学元件的面型检测装置，其特征在于，所述调整机构为五维度调整架，所述五维度调整架的型号为CM-920504M。

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