JP2003502858A - オープンアシスト特性を有した耐公差性且つ真空対応性のドアヒンジ - Google Patents

オープンアシスト特性を有した耐公差性且つ真空対応性のドアヒンジ

Info

Publication number
JP2003502858A
JP2003502858A JP2001505043A JP2001505043A JP2003502858A JP 2003502858 A JP2003502858 A JP 2003502858A JP 2001505043 A JP2001505043 A JP 2001505043A JP 2001505043 A JP2001505043 A JP 2001505043A JP 2003502858 A JP2003502858 A JP 2003502858A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hatch
sleeve
port
hinge
movement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001505043A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4593043B2 (ja
Inventor
ラーソン・ディーン・ジェイ
サットン・トーマス・アール．
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Lam Research Corp
Original Assignee
Lam Research Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lam Research Corp filed Critical Lam Research Corp
Publication of JP2003502858A publication Critical patent/JP2003502858A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4593043B2 publication Critical patent/JP4593043B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05D—HINGES OR SUSPENSION DEVICES FOR DOORS, WINDOWS OR WINGS
    • E05D11/00—Additional features or accessories of hinges
    • E05D11/08—Friction devices between relatively-movable hinge parts
    • E05D11/082—Friction devices between relatively-movable hinge parts with substantially radial friction, e.g. cylindrical friction surfaces
    • E05D11/084—Friction devices between relatively-movable hinge parts with substantially radial friction, e.g. cylindrical friction surfaces the friction depending on direction of rotation or opening angle of the hinge
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05D—HINGES OR SUSPENSION DEVICES FOR DOORS, WINDOWS OR WINGS
    • E05D3/00—Hinges with pins
    • E05D3/02—Hinges with pins with one pin
    • E05D3/022—Hinges with pins with one pin allowing an additional lateral movement, e.g. for sealing
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
    • E05Y2999/00—Subject-matter not otherwise provided for in this subclass

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Hinges (AREA)
  • Closures For Containers (AREA)
  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
  • Pivots And Pivotal Connections (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ポートを開閉するために、真空チャンバのカバー内で定義されたポートに対してハッチを搭載するための、ヒンジアセンブリおよび方法を開示すること。 【解決手段】 ポートとハッチの間に搭載されたねじり棒は、ポートを開こうとする動きを補助するために、ポートに対してハッチが閉位置にあるときはねじりの状態にある。スリーブはねじり棒を取り囲んでおり、ハッチとともに移動可能である。カバーとスリーブの間の摩擦ヒンジ構造と、ハッチと第２のスリーブの間の摩擦ヒンジ構造は、対応するスリーブとの間に摩擦係合関係を有する。各摩擦ヒンジ構造は、摩擦バネと対応するスリーブの間の相対運動に高抵抗性を付与する。ポートを開こうとする動きの最中には、摩擦バネが、このような相対運動に低抵抗性を付与する。ヒンジ構造は、ヒンジ搭載板とハッチの間の相対的な運動を可能とすることによって、耐公差性および真空対応性を提供する。真空排気中、ヒンジはＯリングを、Ｏリングの予加重位置から中間位置、そして最終位置へと移動させることにより、予加重された０リングが動作上の０リング圧縮を圧縮するようにする。ヒンジが、真空動作に先立って且つ全ての製造公差に対してＯリングの予加重位置の存在を可能とすることから、板とハッチの間の相対運動が最大範囲で可能となり、シール面が耐公差性且つ真空対応性な形で密着される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は一般に、半導体処理設備のモジュールのためのドアに関し、特に、オ
ープンアシスト特性を有した耐公差性且つ真空対応性のドアヒンジに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造では、処理チャンバを相互に接続させて、例えば接続さ
れたチャンバ間でウエハまたは基板を移送できるようにする。このような移送は
、例えば、接続されたチャンバの隣接した側壁に提供されたスロットまたはポー
トを通してウエハを移送する、搬送モジュールによって行われる。搬送モジュー
ルは、一般に、半導体エッチングシステム、材料堆積システム、フラットパネル
ディスプレイエッチングシステムを含む、種々のウエハ処理モジュールとの連携
のもとで使用される。清浄度および高処理精度への要求が増すにつれて、処理工
程中および処理工程間における人間の介入を減らす必要が増してきている。この
必要は、中間的な移送装置として作動する搬送モジュール（通常は、例えば真空
状態などの減圧状態に維持される）の実装によって、部分的に解決されてきた。
搬送モジュールは、例えば、基板が保管される１つまたはそれ以上のクリーンル
ーム保管設備と、基板が実際に処理される、すなわちエッチングされたり堆積を
施されたりする複数の基板処理モジュールとの間に、物理的に設置される。この
ように、基板の処理が必要な場合には、搬送モジュール内に設置されたロボット
アームを利用し、選択された基板を保管設備から取り出して、それを複数の処理
モジュールの１つに配置する。
【０００３】 当業者に周知のように、複数の保管設備および処理モジュールの間で基板を「
移送する」搬送モジュールの配置は、「クラスタツール構造」システムと称され
ることが多い。図１Ａは、半導体工程における代表的なクラスタ構造１００を示
した図であり、搬送モジュール１０６に接続された様々なチャンバが描かれてい
る。搬送モジュール１０６は、様々な組立て工程実行用にそれぞれ最適化された
、３つの処理モジュール１０８ａ〜１０８ｃに結合された状態で示されている。
例えば、処理モジュール１０８ａ〜１０８ｃは、変圧器結合プラズマ（ＴＣＰ）
基板エッチング、層の堆積、および／またはスパッタリングを実行するための実
装とすることができる。
【０００４】 搬送モジュール１０６には、基板を搬送モジュール１０６に導入するために実
装されたロードロック１０４が接続されている。ロードロック１０４は、基板が
保管されるクリーンルーム１０２に結合される。ロードロック１０４は、取り出
しおよび供給の機構である以外に、搬送モジュール１０６とクリーンルーム１０
２の間における可変圧インタフェースとしても機能する。従って、クリーンルー
ム１０２を大気圧に保持する一方で、搬送モジュール１０６を定圧（例えば真空
）に維持することができる。修理員は、搬送モジュール１０６のカバー１０９を
通して搬送モジュール１Ｏ６にアクセスする必要があるが、処理モジュール１０
８ａ〜１０８ｃは一般に、搬送モジュール１０６に非常に接近して配置されてい
るため、搬送モジュール１０６への物理的アクセスが妨げられることが多い。つ
まり、隣接している処理モジュール１０８ａ〜１０８ｃから搬送モジュール１０
６にかけては細い通路しか存在しないことが多い。その結果、ハッチ１１１を開
ける等しようとしても、オペレータがカバー１０９のハッチ１１１に加えること
ができる力には、制限がある。人間工学に基づく仕様では、修理員は、ハッチを
開くために３０ポンドの力を加え得ることを想定しているため、通路が狭い場合
には、機械的または他の非人的な補助なしでハッチを開くことは非常に困難であ
る。
【０００５】 図１Ｂには、固定ヒンジ１１４上に取り付けられたハッチ１１１を備えるタイ
プのカバー１０９が示されている。ハッチ１１１は、カバーシール面１１７に平
行なときに密着するように設計された、ハッチシール面１１６を有する。ハッチ
１１１はピン１１８上で回転するが、様々な製造公差に依存よって、最終的に得
られるハッチ１１１の回転運動は、ハッチシール面１１６をカバーシール面１１
７に平行に配置するものとは限らない。したがって、角度Ｘが原因となって、ハ
ッチ１１１とカバーシール面１１７の間にある０リング１１９が不均等に圧縮さ
れる結果が生じ得る。カバー１０９によって閉じられる真空チャンバが真空に引
かれ、ハッチ１１１がカバー１０９にさらに接近するのに伴って、角度Ｘが増大
するため、結果としてシール不良となる。
【０００６】 シール面１１６、１１７の非平行に伴う問題を回避し、人間工学に基づく仕様
に対応する試みとして、カバー１０９から離したりカバー１０９に密着させたり
するようハッチ１１１を上げたり下げたりする空気圧または水圧シリンダ１２１
を使用して、シール面１１６をカバーシール面１１７に平行に保つ試みがなされ
た。上述したように、人間工学に基づく仕様によれば、重さが３０ポンド以上の
ハッチ１１１を開くためには、機械的または他の非人的な補助が必要となる。し
たがって、シリンダ１２１は、ハッチ１１１を開くために人間が加えるべき力を
３０ポンド未満まで減少させれば、これらの仕様を満足させることができる。し
かしながら、図１Ｃに示されるように、シリンダ１２１は、ハッチ１１１に接近
して備えられるのが一般的であり、ハッチ１１１がいったん開かれると、ポート
１２２へのアクセスおよび真空チャンバ内部へのアクセスを妨げる。また、これ
らのシリンダ１２１は高価な傾向にあり、ハッチ１１１だけよりもむしろ、カバ
ー１０９全体を持ち上げたい場合に使用されるのが通常である。さらに、安全対
策として、シリンダ１２１の動作中に、修理員の両手がハッチ１１１から離れて
いる必要がある。ハッチ１１１は３５ポンドまたは５０ポンドの重さであるため
、例えば、ハッチ１１１がいったん開かれると、安全面から、ハッチ１１１が突
然閉じるのを防ぐためのラッチを使用する必要がある。
【０００７】 このようなシリンダ１２１の限界を回避するために、例えば図１Ｄで示される
ように、カバー１０９全体を旋回可能に備える試みがなされた。しかしながら、
ハッチ１１１より重いカバー１０９（例えば、５００ポンド）を動かさなければ
ならない上に、カバー１０９のサイズは大きいため、例えば電気パネル１２３へ
のアクセスは妨げられ易い。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
以上からわかるように、耐公差性且つ真空対応性でオープンアシスト特性を有
するヒンジで取り付けられた半導体処理設備のモジュールカバー用のハッチが必
要とされている。
【０００９】
【発明の概要】
概して本発明は、耐公差性且つ真空対応性でオープンアシスト特性を有するヒ
ンジで取り付けられた半導体処理設備のモジュールカバー用のハッチを提供する
ことによって、これらのニーズを満たすものである。耐公差性は、製造公差にか
かわらず、ハッチのシール面をカバーシール面に密着させる真空対応性の接続に
よって、ヒンジボディをハッチから切り離すことで提供され得る。さらに、オー
プンアシスト特性は、カバー内に設けられたポートに関連してハッチを取り付け
るヒンジボディによって得られる。
【００１０】 本発明のこれらの態様は、ポートとハッチの間に搭載されたねじり棒によって
提供され得る。ねじり棒は、ハッチがポートに対して閉位置にあるときは、ポー
トを開くハッチの動作を補助するようねじり状態にある。また、例えば、スリー
ブがねじり棒をとり囲み、ハッチとともに移動可能となっている。カバーとスリ
ーブの間には摩擦ヒンジ構造が存在し、このヒンジ構造は、このスリーブとの間
に摩擦係合関係を有することによって、ポートを閉じようとするハッチの動きに
抵抗する。別のスリーブは、ロッドをとり囲んでカバーに固定されている。ハッ
チとこの別のスリーブの間にも摩擦ヒンジ構造が存在し、これらのヒンジ構造は
、上記別のスリーブとの間に摩擦係合関係を有することによって、ポートを閉じ
ようとするハッチの動きに抵抗する。
【００１１】 本発明の別の態様は、真空チャンバのカバー内に定義されているポートに対し
てハッチを搭載するための、ヒンジアセンブリを作成する方法によって提供され
得る。この方法においては、ハッチがポートに対して閉位置にあるときにねじり
の状態となることでポートを開こうとするハッチの動きを補助するねじり棒を、
ポートとハッチの間に搭載する工程を含めることができる。また、ロッドを取り
囲むスリーブを搭載し、さらに、ポートを閉じようとするハッチの動きに抵抗す
るための摩擦係合関係をこのスリーブとの間に有する少なくとも１つの摩擦ヒン
ジ構造を、カバーとスリーブの間に配置する工程を含めても良い。また、ハッチ
と他のスリーブの間に追加の摩擦ヒンジ構造を搭載する工程を含めても良い。追
加のヒンジ構造は、ポートを閉じようとするハッチの動きにさらに抵抗するため
に、他のスリーブとの間にも摩擦係合関係を有する。
【００１２】 耐公差性を有する結果として、ハッチが閉じられてハッチのシール面がカバー
シール面に接近する際に、製造公差にかかわらず、ハッチシール面はカバーシー
ル面に平行な状態を維持し得る。この様にして、Ｏリングは、チャンバ内が真空
に引かれるまで均等に圧縮される。したがって、真空対応性という特徴は、真空
下において０リングがさらに圧縮され、それぞれのシール面が適切に密着される
ことによって達成される。
【００１３】 こうして、耐公差性且つ真空対応性でオープンアシスト特性を有した本発明に
おけるヒンジによって、固定ヒンジ上にハッチが備えられた図１Ｂのカバーに見
られるような上記短所を、回避できることがわかる。特に、公差対応性の接続に
よって、製造公差にかかわらずにハッチのシール面をカバーシール面に密着させ
ることが可能なため、Ｏリングに向かって移動してＯリングを圧縮する際に、ハ
ッチシール面はカバーシール面に平行となる。さらに、このような平行な位置決
めは、従来技術における位置的な短所、コスト面の短所、そして安全面の短所を
伴うことなく達成することができる。また、本発明の利点によって、旋回可能に
搭載された図１Ｄのカバーによる制約を回避することができる。
【００１４】 本発明の原理を例示した添付図面との関連で行う以下の詳細な説明から、本発
明のその他の態様および利点が明らかになる。
【００１５】 本発明は、添付図面を用いた以下の詳細な説明によって、容易に理解される。
なお、この添付図面においては、同様の構成要素には同様の番号体型が与えられ
ている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明は、真空チャンバのポートへのアクセスを提供するハッチを支持するも
のとして説明され、このハッチ支持は、オープンアシスト特性を有するとともに
耐公差性且つ真空対応性を有している。本発明は、半導体処理設備のモジュール
のためのハッチに関して説明され、特に、耐公差性且つ真空対応性であるととも
にハッチを開く動作を補助するようなヒンジによって支持されるハッチに関する
。しかしながら，当業者には明らかなように，本発明は，これらの項目の一部ま
たは全てを特定しなくても実施することが可能である．そのほか，本発明が不明
瞭となるのを避けるため，周知の工程動作の説明は省略した．
【００１７】 図２を参照すると、本発明は、搬送モジュール２０２と、ロードロック２０３
と、処理モジュール２０６ａとを有した半導体工程クラスタ構造２００を含むも
のとして一般に記述されており、搬送モジュール２０２のカバー２０４には、搬
送モジュール２０２内部へのアクセスを容易にするために、ハッチ２０７が提供
されている。図２を平面図と考えると、搬送モジュール２０２のハッチ２０７へ
のアクセスは、ロードロック２０３および処理モジュール２０６ａのサイズおよ
び位置決めによる制限を受けることがわかる。このようなサイズおよび位置決め
は、モジュール２０２のハッチ２０７へのアクセス方法以外の事項を主に考慮し
て行われることがわかる。個々のハッチ２０７には、耐公差性且つ真空対応性で
あると同時にハッチ２０７の開動作を補助するように設計されたヒンジアセンブ
リ２０８が提供されている。ヒンジアセンブリ２０８は、例えば、構造２００の
モジュール２０２の修理員が加えなければならない力を最小化する。その結果、
例えば、モジュール２０２の修理に必要な力は、個々のモジュール２０２、２０
３、または２０６ａのサイズおよび位置による影響をほとんど受けなくなる。
【００１８】 図３は、噛合クランプ２０６と、搬送モジュール２０２内部へのアクセスを可
能とするために本発明のヒンジアセンブリ２０８によって搭載された２つのハッ
チ２０７と、を有したカバー２０４が提供された、搬送モジュール２０２を示し
ている。例えば修理員が修理を行う際に跪けるような比較的滑らかな表面を提供
するため、カバー２０４およびハッチ２０７の上面は、図中に示されるように同
一平面内にある。ヒンジアセンブリ２０８が反対方向に方向付けられているため
、以下の説明は、図３の左側に示されたヒンジアセンブリ２０８を参照して行う
が、これらの説明が、搬送モジュール２０２の左側から見た場合にはもう一方の
ヒンジアセンブリ２０８にも適用可能であることを、理解しておく必要がある。
【００１９】 ハッチ２０７は、図３および４Ｄではポート２０９を閉じる閉位置で示されて
おり、搬送モジュール２０２の真空チャンバの内部は、ハッチ２０７が開いてい
る際にポート２０９を経てアクセスされる。ハッチ２０７の動きは、ヒンジアセ
ンブリ２０８によって促進される。各ヒンジアセンブリ２０８は、チャンバの真
空条件下において、製造公差にかかわらずにハッチ２０７をカバー２０４に密着
させることを可能とする耐公差性且つ真空対応性の接続またはコネクタ２１１を
含む。また、各ヒンジアセンブリ２０８のオープンアシスト特性は、ねじり棒２
１３に取り付けられたヒンジボディ２１２との関連のもとで提供される。ハッチ
２０７が図３および図４Ｄに示される閉位置にある場合は、ねじり棒２１３は、
図４Ａに示される開位置に至るまでの、ポートを開くハッチ２０７の動きを補助
するために、ねじりの状態にある。
【００２０】 図４Ｂおよび４Ｄに示されるように、ねじり棒２１３の一端（図４Ｂで見られ
る右端と、図４Ｄで見られる左端）は、ハッチ２０７が閉位置に向けてまたは閉
位置から離れて移動する際に、ねじり棒２１３の一端が回転しないように、第１
の棒クランプ２１４によってカバー２０４に固定され保持されている。ねじり棒
２１３のもう一端（図４Ｂ見られる左端と、図４Ｄで見られる右端）は、ハッチ
２０７が閉位置に向けてまたは閉位置から離れて移動する際に、ねじり棒２１３
のそのもう一端が回転しないように、第２の棒クランプ２１７によってハッチ搭
載中板２１６に固定されて保持されている。ハッチ２０７が図３および図４Ｄに
示されるような閉位置にある際に、ねじり棒２１３をポート２０９に対してねじ
りの状態におくためには、第２の棒クランプ２１７をねじり棒２１３に対して緩
く配置して、ハッチ２０７を開位置（図４Ａ）に移動させる。そして、第２の棒
クランプ２１７をねじり棒２１３に対して締め付けて、ハッチ２０７が開位置（
図４Ａ）から閉位置（図４Ｄ）まで移動するのに伴って、ねじり棒２１３が捻ら
れてねじりの状態に至るようにする。ねじり棒２１３は、ねじり棒２１３の縦軸
上でハッチ２０７の角度位置に対して線形であるような、ねじりの力（開位置に
向かうハッチ２０７の動きを促進し、閉位置に向かうハッチ２０７の復帰動作に
抵抗する）を供給するように設計される。
【００２１】 図４Ａおよび図４Ｂに示されるように、各ヒンジアセンブリ２０８は、スリー
ブ２１８および摩擦ヒンジ構造２１９をも含む。１つのスリーブ（ハッチスリー
ブ２１８Ｈと称されて図４Ｂの左側に示されている）は、ねじり棒２１３の左部
分を取り囲む。ハッチスリーブクランプ２２１は、ハッチ２０７を伴う動きに備
えてスリーブ２１８Ｈをハッチ２０７に固定する。１つの摩擦ヒンジ構造２１９
Ｃは、１つのスリーブ２１８Ｈとの間に摩擦係合関係を有するように、カバー２
０４とその１つのスリーブ２１８Ｈの間でカバー２０４に固定される。スリーブ
２１８Ｈがハッチ２０７とともに回転する（すなわち、図４Ｂおよび図４Ｈで矢
印Ａ１で示されるように時計回りに回転する）のに伴って、摩擦係合関係は、ポ
ートを閉じようとするハッチ２０７の動きに抵抗する。
【００２２】 別のスリーブ２１８（カバースリーブ２１８Ｃと称されて、図４Ｂの右側およ
び図４Ｇに示されている）は、ねじり棒２１３を取り囲んでおり、カバースリー
ブクランプ２２２と称される別のクランプによって、カバー２０４に固定され保
持されている。ハッチ２０７と別のスリーブ２１８Ｃの間でハッチ搭載中板２１
６ａ上には、追加の摩擦ヒンジ構造２１９Ｈが搭載されており、その別のスリー
ブ２１８Ｃとの間にやはり摩擦係合関係を有している。追加の摩擦ヒンジ構造２
１９Ｈが、ハッチ２０７とともに固定スリーブ２１８Ｃに対して回転する（すな
わち、図４Ｂおよび図４Ｇにおいて矢印Ａ２で示される時計回りの回転）のに伴
って、摩擦係合関係は、ポートを閉じようとするハッチ２０７の時計回りの動き
（矢印Ａ２）にさらに抵抗する。
【００２３】 図および説明を明瞭化するため、図４Ｂ、４Ｃ、４Ｅ、および４Ｆでは、スリ
ーブ２１８Ｃおよび２１８Ｈが、それぞれのカバースリーブクランプ２２２およ
びハッチスリーブクランプ２２１から互いに向って延びるように示されている。
この様にして、スリーブ２１８Ｈとスリーブ２１８Ｃの区別が明確に示される。
実際には、各スリーブが、それぞれのクランプ２２２および２２１のそれぞれの
エッジ２２２Ｅおよび２２１Ｅからそれぞれのクランプ２１４および２１７に向
かうことが理解できる。
【００２４】 図４Ｇは、ねじり棒２１３上に搭載されたスリーブ２１８Ｃを含むものとして
の摩擦ヒンジ構造２１９Ｈを、詳細に示したものである。摩擦バネ２２３Ｈは、
螺旋形状となるよう、スリーブ２１８Ｃに少なくとも部分的に巻きつくことによ
って、スリーブ２１８Ｃの外面のかなりの部分と係合する。バネ２２３Ｈは、ス
リーブ２１８Ｃの外径よりわずかに小さい直径を有するように、予備形成される
。バネのハウジング２２４Ｈは、バネ２２３Ｈを保持する。バネ２２３Ｈのつま
み２２６は、ハウジング２２４Ｈのスロット２２７で受けられる。ファスナ２２
８は、ハッチ搭載中板２１６ａおよびハッチ搭載板２１６にハウジング２２４Ｈ
を固定する。スロット２２７は、バネ２２３Ｈがスリーブ２１８Ｃに完全に巻き
付くのを防ぐ。このように完全に巻き付く状態は、例えば、ハウジング２２４Ｈ
およびハッチ２０７が、ハッチ２０７の閉じ動作中にスリーブ２１８Ｃに対して
時計回りに回転するのに伴って生じる。バネ２２３Ｈがこのように部分的に巻き
付いた状態で保持されると、バネ２２３Ｈは、図４Ｂで示されるハッチ２０７の
時計回りの回転中（すなわちハッチ２０７のポートを閉じる動作中）において有
効となり、こうして、上述した摩擦係合関係が、スリーブ２１８Ｃに対する上記
動作に高抵抗性を付与するようになる。このときスリーブ２１８Ｃは、カバース
リーブクランプ２２２によってカバー２０４上に静止状態で保持される。反対に
、ハッチ２０７のポートを開く動作中において、摩擦バネ２２３Ｈは、バネのハ
ウジング２２４Ｈおよびハッチ２０７の反時計回りの動きに低抵抗性を付与する
。
【００２５】 図４Ｈは、ねじり棒２１３上に搭載されたスリーブ２１８Ｈを含むものとして
の摩擦ヒンジ構造２１９Ｃを、詳細に示したものである。摩擦バネ２２３Ｃは、
螺旋形状を定義するために、スリーブ２１８Ｈに少なくとも部分的に巻きつくこ
とによって、スリーブ２１８Ｈの外面のかなりの部分と係合する。バネのハウジ
ング２２４Ｃは、バネ２２３Ｃを保持する。バネ２２３Ｃのつまみ２２６は、ハ
ウジング２２４Ｃのスロット２２７で受けられる。ファスナ２２８は、ハッチ搭
載中板２１６ｂおよびハッチ境界板２１６ｃにハウジング２２４Ｃを固定する。
スロット２２７は、バネ２２３Ｃがスリーブ２１８Ｈに完全に巻き付くのを防ぐ
。このように完全に巻き付く状態は、例えば、ハッチ２０７およびスリーブ２１
８Ｈが、ハッチ２０７の閉じ動作中にバネ２２３Ｃに対して時計回り（矢印Ａ１
）に回転するのに伴って生じる。バネ２２３Ｃがこのように部分的に巻き付いた
状態で保持されると、バネ２２３Ｃは、図４Ｈで示されるスリーブ２１８Ｈおよ
びハッチ２０７の時計回り（矢印Ａ１）の回転中（すなわちハッチ２０７のポー
トを閉じる動作中）において有効となり、こうして、上述した摩擦係合関係が、
バネ２２３Ｃに対するハッチ／スリーブの動作に高抵抗性を付与するようになる
。このときハウジング２２４Ｃおよびバネ２２３Ｃは、板２１６ｂおよび２１６
ｃによってカバー２０４上に静止状態で保持される。反対に、ハッチ２０７のポ
ートを開く動作中において、摩擦バネ２２３Ｃは、スリーブ２１８Ｈおよびハッ
チ２０７の反時計回りの動きに低抵抗性を付与する。
【００２６】 オープンアシスト特性には、矢印Ａ１およびＡ２と反対の方向に（すなわち、
修理員を補助する開きの方向に）ひねりの力を供給することによって、ハッチ２
０７が開くのをねじり棒２１３が補助するという、１つの態様が存在することが
わかる。オープンアシスト特性にはさらに、ハッチを閉じる上述した相対的な動
きに高抵抗性を付与する上記摩擦係合関係は、ハッチ２０７が自身の重さの下で
ポート２０９を閉じる傾向に抵抗するという、別の態様が存在する。摩擦係合関
係によって、ハッチ２０７を、オペレータの補助なしで開閉間の任意の角度で保
持することができる。
【００２７】 図４Ｅは、上記相対運動に追加の抵抗が提供され得るような、本発明の別の実
施形態を示している。特に、図４Ｃに示される１つの摩擦ヒンジ構造２１９Ｃを
、図４Ｅに示される第２の摩擦ヒンジ構造２１９Ｃ−２とともに使用して、上記
相対運動に追加の抵抗を提供しても良い。代替あるいは追加の態様として、図４
Ｃに示されるタイプの摩擦ヒンジ構造２１９Ｈの第２の摩擦ヒンジ構造２１９Ｈ
−２を、摩擦ヒンジ構造２１９Ｈ（図４Ｅの破線を参照のこと）に隣接するよう
に提供して、上記相対運動に追加の抵抗を付与してもよい。
【００２８】 図５Ａ〜５Ｄは、ハッチ搭載中板２１６との関連のもとでヒンジボディ２１２
を示した図である。ここで、ハッチ搭載中板２１６は、ハッチ２０７を、カバー
２０４内で定義されたポート２０９に対してポート２０９を開閉できるように搭
載するための、耐公差性且つ真空対応性のヒンジ２２９を提供するものである。
カバー２０４は、カバーシール面２３１を提供された状態で示されている。ヒン
ジ２２９は、ねじり棒２１３の縦軸上での回転のために搭載されたヒンジボディ
２１２を含んでもよく、例えばボディ２１２は、ハッチ搭載中板２１６に固定さ
れたクランプ２１７の形で示されている。軸は、寸法２３２だけカバーシール面
２３１から離れている。寸法２３２は０．０３２でよく、例えば約±０．０１７
の製造公差を有してよい。公差対応性のヒンジ２２９はさらに、ハッチ２０７に
ヒンジボディ２１７を接続するように示された、ハッチ搭載中板２１６を含んで
もよい。ハッチ２０７には、０リング２３１およびカバーシール面２３１と協調
するハッチシール面２３３が提供される。以下で説明されるように、ヒンジボデ
ィ２１７とハッチ２０７の間のヒンジ２２９は、以下で説明される製造公差にも
かかわらず、ハッチシール面２３３がカバーシール面２３１に密着することを可
能とする。
【００２９】 ハッチ搭載中板２１６には、ファスナ軸２３７を有した第１の穴２３６と、フ
ァスナ軸２３７と同心のサラ穴２３８とが提供される。サラ穴２３８は、ハッチ
搭載板２１６に至る深さ寸法Ｄを有した肩２３９を有する。深さ寸法Ｄの値は例
えば約０．７０５でよく、例えば約±０．００３の製造公差を有してもよい。第
１の穴２３６は、サラ穴２３８の直径より小さい直径を有する。ネジ穴２４１は
、ファスナ２４２を固定するために、ファスナ軸２３７と連携したハッチ２０７
内に提供されて、ハッチ搭載中板２１６に搭載されたハッチ２０７を保持する。
ファスナ２４２のヘッドは、肩２３９に向かって作用し、バネ２４６で構成され
るバネアセンブリ２４４を圧縮する。
【００３０】 ヒンジ２２９の他の製造公差は、ハッチ２０７の重心からハッチ２０７の左端
までの距離Ｇに関連し、距離Ｇは、例えば約±０．２５０の公差を有してよい。
また、ハッチ２０７の左端からハッチ２０７のファスナ軸２３７までの距離Ａが
提供される。距離Ａは、例えば約±０．０５０の製造公差を有してよい。ファス
ナ２４２の厚さＦＡは、例えば約±０．００１の製造公差を有してよい。また、
バネアセンブリ２４４の厚さＳは、例えば約±０．００７の製造公差を有してよ
い。さらに、０リング２３４の緩やかな（relaxed）直径０は、例えば約±０．
０１０の製造公差を有してよい。また、ハッチ搭載板２１６の厚さＨは、例えば
約±０．０１０の製造公差を有してよい。最後に、ハッチ２０７の左端から、以
下で説明されるように、ハッチ２０７を板２１６に対して動かすようハッチ２０
７に力ＦＴを加える点に至る、距離ＦＤを提供してもよい。距離ＦＤは、例えば
約±０．０１０の製造公差を有してよい。
【００３１】 ヒンジ２２９を使用するにあたり、オペレータは、チャンバの真空動作に先立
ってハッチ２０７を図３の閉位置に移動させる。このような初期の閉じ動作は、
図５Ａ〜５Ｄで示される側である０リング２３４の内側に負荷を及ぼし、このと
き板２１６とハッチ２０７の間に角度は存在しない（図５Ｄおよび５Ｃに示され
たそれぞれの角度Ｔ２およびＴ１と比べて）。板２１６とハッチ２０７の間に角
度がない状況は、非真空対応性のヒンジ、例えばハッチ２０７と板２１６の間で
どんな相対運動も不可能であるようなヒンジに対応する。このような状況は、０
リング２３４にかかる負荷が均等でないため望ましくない。
【００３２】 オペレータが力ＦＴをハッチ２０７に加えるのに伴って、板２１６とハッチ２
０７の間に角度Ｔ２（図５Ｄ）が形成される。角度Ｔ２の形成に伴って、０リン
グ２３４の外周全体に均等に負荷がかかる。このような均等な負荷の量は、バネ
アセンブリ２４４のバネ２４６の数およびサイズの関数であり、０リング２３４
の予加重と呼ばれる。均等な加重を保持するため、噛合クランプ２０６（図３に
示される）は、ヒンジ２２９と反対の側でハッチ２０７のエッジを固定するよう
に締められる。クランプ２０６は、オペレータに代わって力ＦＴを働かせる。
【００３３】 このときハッチ２０７は、図５Ｄに示されるような閉じ状態になる。ここでは
、シール面２３１および２３３が平行であり、板２１６とハッチ２０７の間に角
度Ｔ２が提供される。真空動作に先立って、図５Ｂに関連して説明される様々な
公差のすべてに対し、ヒンジ２２９は、角度Ｔ２が存在することを可能とする。
【００３４】 真空動作は、０リング２３４の側面に均等な負荷がかかるとスタートする。真
空動作中は、シール面２３１と２３３が完全に接触するまで０リング２３４が圧
縮される。チャンバが大気圧から真空まで排気されるのに伴って、ヒンジ２２９
は、ハッチ２０７を、図５Ｄに示される位置（板２１６に対して角度Ｔ２にある
位置）から図５Ａおよび図５Ｂに示される中間位置へ、そして図５Ｃに示される
最終的な位置（板２１６に対して角度Ｔ１の位置）へと移動させる。この遷移は
、予加重されたＯリング２３４（図５Ｄに示される）が動作上の０リング圧縮（
図５Ｃ）を完全に圧縮し、シール面２３１と２３３がカバー２０４を取り囲んで
完全に接触している場合に生じる。ヒンジ２２９が、真空動作に先立ち且つ図５
Ｂに関連して説明される様々な公差のすべてに対して角度Ｔ２の存在を可能とす
るため、板２１６とハッチ２０７の相対運動の最大範囲を、角度のＴ２からＴ１
への変化で示される範囲で可能とすることによって、シール面２３１と２３３を
、耐公差性且つ真空対応性の方法で密着させることが可能となる。
【００３５】 以上から、ヒンジ２２９は、ハッチ２０７が板２１６（図５Ａ）と平行になる
ようにハッチ２０７に作用するのが通常であり、さらに板２１６とハッチ２０７
の相対運動をも可能とするため、例えばハッチシール面２３３が、上記製造公差
およびチャンバの真空動作にかかわらず、カバーシール面２３１に平行に位置決
めされる（図５Ｃおよび５Ｄ）ことがわかる。
【００３６】 以上では，理解を明確にする目的で本発明を詳細に説明したが，添付した特許
請求の範囲の範囲内で，一定の変更および修正を加えられることは明らかである
．したがって，上述した実施形態は，例示を目的としたものであって限定的では
なく，本発明は，本明細書で取り上げた項目に限定されず，添付した特許請求の
範囲の範囲および同等物の範囲内で変更され得る。
【図面の簡単な説明】
【図１Ａ】 従来技術による、代表的な半導体工程のクラスタ構造を示した図であり、搬送
モジュールに接続された種々のチャンバが描かれている。
【図１Ｂ】 固定ヒンジ上に搭載されたハッチを有する、チャンバカバーの１タイプを示し
た図である。
【図１Ｃ】 カバーから離すまたはカバーに密着させるためにハッチを上げるまたは下げる
ような、従来技術による空気または水圧シリンダによって、カバーシール面に平
行に維持された、ハッチのシール面を示した図である。
【図１Ｄ】 真空チャンバのカバー全体を、従来技術によって旋回可能に搭載した状態を示
した図であり、閉じた状態のカバーが破線で示されており、例えば電気パネルへ
のアクセスを妨げる開いた状態のカバーが実線で示されている。
【図２】 モジュールのカバーのためにハッチが提供された搬送モジュールを含んだ、ク
ラスタツール構造の概要図であり、ハッチは、耐公差性且つ真空対応性でオープ
ンアシスト特性を有した本発明によるヒンジによって搭載されている。
【図３】 モジュールのカバーのために２つのハッチが提供された搬送モジュールの透視
図であり、図中のそれぞれのハッチは本発明のヒンジによって搭載されている。
【図４Ａ】 図３に示されたハッチの１つをより詳細に示した透視図であり、摩擦ヒンジ構
造の補助によって開位置に保持されているハッチと、ハッチが閉位置にある場合
はねじりの状態にあるねじり棒とが示されている。
【図４Ｂ】 図４Ｄを線分４Ｂ−４Ｂに沿って見た詳細な透視図であり、２つの摩擦ヒンジ
構造とねじり棒とが示されている。
【図４Ｃ】 ねじり棒上に搭載されたスリーブと係合している、摩擦ヒンジ構造の１つを拡
大した透視図である。
【図４Ｄ】 摩擦ヒンジ構造とハッチの間の中板を示した透視図である。
【図４Ｅ】 図４Ｄを線分４Ｅ−４Ｅに沿って見た透視図であり、ねじり棒の一端に２つの
摩擦ヒンジ構造を有した実施形態が示されている。
【図４Ｆ】 図４Ｅと同様の図であり、ねじり棒の一端における２つの摩擦ヒンジ構造の下
側が示されている。
【図４Ｇ】 摩擦ヒンジ構造物の１つを示した横断面図であり、ねじり棒上に搭載されたス
リーブに係合している摩擦バネが示されている。
【図４Ｈ】 別の摩擦ヒンジ構造物を示した横断面図であり、ねじり棒上に搭載された別の
スリーブに係合している別の摩擦バネが示されている。
【図５Ａ】 本発明による耐公差性且つ真空対応性の接続を内部に有するような、摩擦ヒン
ジ構造の１つを示した横断面図である。
【図５Ｂ】 図５Ａと同様の図であり、製造公差を有した耐公差性且つ真空対応性な接続の
寸法が示されている。
【図５Ｃ】 本発明によるヒンジの耐公差性および真空対応性の特性がともに示された、図
５Ａと同様の横断面図であり、耐公差性且つ真空対応性の接続によって、ハッチ
とカバーのシール面を、チャンバ内の真空下で平行に接触させることができる。
【図５Ｄ】 図５Ｃと同様の横断面図であり、ハッチが、真空動作に先だって予加重された
Ｏリングとともに示されている。
【符号の説明】
２００…半導体工程クラスタ構造 ２０２…搬送モジュール ２０３…ロードロック ２０４…カバー ２０６ａ…処理モジュール ２０６…噛合クランプ ２０７…ハッチ ２０８…ヒンジアセンブリ ２０９…ポート ２１１…コネクタ ２１２…ヒンジボディ ２１３…棒 ２１４…クランプ ２１６…ハッチ搭載板 ２１６ａ…ハッチ搭載中板 ２１６ｂ…ハッチ搭載中板 ２１６ｃ…ハッチ境界板 ２１７…クランプ ２１８…スリーブ ２１８Ｃ…スリーブ ２１８Ｈ…スリーブ ２１９…摩擦ヒンジ構造 ２１９Ｃ…摩擦ヒンジ構造 ２１９Ｃ−２…第２の摩擦ヒンジ構造 ２１９Ｈ−２…第２の摩擦ヒンジ構造 ２２１…ハッチスリーブクランプ ２２２…カバースリーブクランプ ２２２Ｅ…エッジ ２２３Ｃ…摩擦バネ ２２３Ｈ…摩擦バネ ２２４Ｃ…ハウジング ２２４Ｈ…ハウジング ２２７…スロット ２２８…ファスナ ２２９…ヒンジ ２３１…カバーシール面 ２３２…寸法 ２３３…ハッチシール面 ２３６…第１の穴 ２３７…ファスナ軸 ２３８…サラ穴 ２３９…肩 ２４１…ネジ穴 ２４２…ファスナ ２４４…バネアセンブリ ２４６…バネ
【手続補正書】
【提出日】平成１３年３月１日（２００１．３．１）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】 図５Ａ〜５Ｄは、ハッチ搭載中板２１６との関連のもとでヒンジボディ２１２
を示した図である。ここで、ハッチ搭載中板２１６は、ハッチ２０７を、カバー
２０４内で定義されたポート２０９に対してポート２０９を開閉できるように搭
載するための、耐公差性且つ真空対応性のヒンジ２２９を提供するものである。
カバー２０４は、カバーシール面２３１を提供された状態で示されている。ヒン
ジ２２９は、ねじり棒２１３の縦軸上での回転のために搭載されたヒンジボディ
２１２を含んでもよく、例えばボディ２１２は、ハッチ搭載中板２１６に固定さ
れたクランプ２１７の形で示されている。軸は、寸法２３２だけカバーシール面
２３１から離れている。寸法２３２は０．０３２でよく、例えば約±０．０１７
の製造公差を有してよい。公差対応性のヒンジ２２９はさらに、ハッチ２０７に
ヒンジボディ２１２を接続するように示された、ハッチ搭載中板２１６を含んで
もよい。ハッチ２０７には、０リング２３１およびカバーシール面２３１と協調
するハッチシール面２３３が提供される。以下で説明されるように、ヒンジボデ
ィ２１２とハッチ２０７の間のヒンジ２２９は、以下で説明される製造公差にも
かかわらず、ハッチシール面２３３がカバーシール面２３１に密着することを可
能とする。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ， ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ， ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，Ｃ Ｎ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＥＥ，ＥＳ ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ， ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，Ｋ Ｒ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ， ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，Ｓ Ｉ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ (72)発明者 サットン・トーマス・アール． アメリカ合衆国 カリフォルニア州94536 フリモント，ダンタ・プレイス，35609 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 MA06 MA32 NA10 【要約の続き】 ようにする。ヒンジが、真空動作に先立って且つ全ての 製造公差に対してＯリングの予加重位置の存在を可能と することから、板とハッチの間の相対運動が最大範囲で 可能となり、シール面が耐公差性且つ真空対応性な形で 密着される。

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 真空チャンバのカバー内に設けられたポートに対し、該ポー
    トを開閉できるようにハッチを取り付けるための、ヒンジアセンブリであって、 前記ポートと前記ハッチの間に設けられたねじり棒であって、前記ハッチが前
    記ポートに対して閉位置にある場合は、ポートを開こうとする前記ハッチの動き
    を補助するねじり状態となるねじり棒と、 前記ねじり棒を取り囲み、前記ハッチとともに移動可能である、少なくとも１つ
    のスリーブと、 前記カバーと前記少なくとも１つのスリーブの間の摩擦ヒンジ構造であって、
    ポートを閉じようとする前記ハッチの動きに抵抗するよう前記少なくとも１つの
    スリーブと摩擦係合関係にある摩擦ヒンジ構造と を備える、ヒンジアセンブリ。
  2. 【請求項２】 請求項１記載のヒンジアセンブリであって、さらに、 少なくとも１つの摩擦バネを備える前記摩擦ヒンジ構造であって、前記少なく
    とも１つの摩擦バネは、前記少なくとも１つのスリーブの少なくとも一部を第１
    の方向に取り巻くことにより、ポートを閉じようとする前記ハッチの動きの最中
    に、前記少なくとも１つのスリーブと前記少なくとも１つの摩擦バネの相対運動
    に高抵抗性を付与し、ポートを開こうとする前記ハッチの動きの最中に、前記少
    なくとも１つのスリーブと前記少なくとも１つの摩擦バネの前記相対運動に低抵
    抗性を付与する、前記摩擦ヒンジ構造を備える、ヒンジアセンブリ。
  3. 【請求項３】 請求項２記載のヒンジアセンブリであって、さらに、 前記ねじり棒の第１端を、前記カバーに対する回転に抗するように固定するた
    めに、前記ねじり棒の前記第１端を前記カバーに取り付ける、第１のクランプブ
    ロックと、 ポートを開こうとする前記ハッチの動きの最中およびポートを閉じようとする
    前記ハッチの動きの最中における、前記第１端に対する回転のために、前記ねじ
    り棒の第２端を前記ハッチに取り付ける、第２のクランプブロックと を備える、ヒンジアセンブリ。
  4. 【請求項４】 請求項３記載のヒンジアセンブリであって、前記少なくとも
    １つのスリーブは第１および第２のスリーブを備え、さらに、 前記第１のスリーブを、前記カバーに対する回転に抗するように取り付ける、
    第３のクランプブロックと、 ポートを開こうとする前記ハッチの動きの最中およびポートを閉じようとする
    前記ハッチの動きの最中における、前記ねじり棒に対する回転のために、前記第
    ２のスリーブを前記ハッチに取り付ける、第４のクランプブロックと を備え、前記摩擦ヒンジ構造はさらに、 前記第１のスリーブを少なくとも部分的に前記第１の方向に取り巻く第１の摩
    擦バネであって、そうすることにより、ポートを閉じようとする前記ハッチの動
    きの最中に、前記第１のスリーブと前記第１の摩擦バネの相対運動に高抵抗性を
    付与し、ポートを開こうとする前記ハッチの動きの最中に、前記第１および前記
    第１の摩擦バネの前記相対運動に低抵抗性を付与する、第１の摩擦バネと、 前記第２のスリーブを少なくとも部分的に前記第１の方向と反対の第２の方向
    に取り巻く第２の摩擦バネであって、そうすることにより、ポートを閉じようと
    する前記第２のスリーブの動きの最中に、ポートを閉じようとする前記第２のス
    リーブの動きに高抵抗性を付与し、ポートを開こうとする前記ハッチの動きの最
    中に、ポートを開こうとする前記第２のスリーブの動きに低抵抗性を付与する、
    第２の摩擦バネと を備える、ヒンジアセンブリ。
  5. 【請求項５】 請求項４記載のヒンジアセンブリであって、さらに、 前記ハッチに取り付けられた前記第１の摩擦バネを備える、ヒンジアセンブリ
    。
  6. 【請求項６】 請求項４記載のヒンジアセンブリであって、さらに、 前記カバーに取り付けられた前記第２の摩擦バネを備える、ヒンジアセンブリ
    。
  7. 【請求項７】 請求項１記載のヒンジアセンブリであって、さらに、 前記ねじり棒上に取り付けられた第１および第２のスリーブを備える前記少な
    くとも１つのスリーブであって、前記第１のスリーブは前記ハッチに固定され、
    前記第２のスリーブは前記カバーに固定される、前記少なくとも１つのスリーブ
    を備え、 前記摩擦ヒンジ構造はさらに、 前記第１のスリーブを少なくとも部分的に前記第１の方向に取り巻く第１の摩
    擦バネであって、そうすることにより、ポートを閉じようとする前記ハッチの動
    きの最中に、前記第１のスリーブの前記対応する動きに高抵抗性を付与し、ポー
    トを開こうとする前記ハッチの動きの最中に、前記第１のスリーブの前記対応す
    る動きに低抵抗性を付与する、第１の摩擦バネと、 前記第２のスリーブを少なくとも部分的に前記第１の方向と反対の第２の方向
    に取り巻く第２の摩擦バネであって、そうすることにより、ポートを閉じようと
    する前記第２のスリーブの動きの最中に、前記第２のスリーブの前記対応する動
    きに高抵抗性を付与し、ポートを開こうとする前記ハッチの動きの最中に、前記
    第２のスリーブの前記対応する動きに低抵抗性を付与する、第２の摩擦バネと を備える、ヒンジアセンブリ。
  8. 【請求項８】 真空チャンバのカバー内で定義されたポートに対して、該ポ
    ートを開閉するためのハッチを取り付けるためのヒンジアセンブリを製造する方
    法であって、 前記ポートと前記ハッチの間にねじり棒を取り付ける動作であって、該ねじり
    棒を、前記ハッチが前記ポートに対して閉位置にある場合に、ポートを開こうと
    する前記ハッチの動きを補助するようなねじり状態にして取り付ける工程と、 前記ねじり棒を取り囲む少なくとも１つのスリーブを取り付けるる工程と、 ポートを閉じようとする前記ハッチの動きに抵抗するために、前記少なくとも
    １つのスリーブと摩擦係合関係にある、少なくとも１つの摩擦ヒンジ構造を、前
    記カバーと前記少なくとも１つのスリーブの間に配置する工程と を備える、方法。
  9. 【請求項９】 請求項８記載の方法であって、さらに、 前記第１のスリーブを少なくとも部分的に前記第１の方向に取り巻くことによ
    って、ポートを閉じようとする前記ハッチの動きの最中に、前記少なくとも１つ
    のスリーブの前記対応する動きに高抵抗性を付与し、ポートを開こうとする前記
    ハッチの動きの最中に、前記少なくとも１つのスリーブの前記対応する動きに低
    抵抗性を付与する、少なくとも１つの摩擦バネを備える、前記摩擦ヒンジ構造を
    提供することを備える、方法。
  10. 【請求項１０】 請求項９記載の方法であって、さらに、 前記ねじり棒の第１端を、前記カバーに対する回転に抗するように固定するた
    めに、前記ねじり棒の前記第１端を前記カバーに取り付ける、第１のクランプブ
    ロックを、前記摩擦ヒンジ構造にさらに提供し、 ポートを開こうとする前記ハッチの動きの最中およびポートを閉じようとする
    前記ハッチの動きの最中における、前記第１端に対する回転のために、前記ねじ
    り棒の第２端を前記ハッチに取り付ける、第２のクランプブロックを、前記摩擦
    ヒンジ構造にさらに提供すること を備える、方法。
  11. 【請求項１１】 請求項１０記載の方法であって、さらに、 第１および第２のスリーブの形で前記少なくとも１つのスリーブを提供し、 前記第１のスリーブを、前記カバーに対する回転に抗するように取り付ける、
    第３のクランプブロックを提供し、 ポートを開こうとする前記ハッチの動きの最中およびポートを閉じようとする
    前記ハッチの動きの最中における、前記ねじり棒に対する回転のために、前記第
    ２のスリーブを前記ハッチに取り付ける、第４のクランプブロックを提供し、 前記第１のスリーブを少なくとも部分的に前記第１の方向に取り巻くことによ
    って、ポートを閉じようとする前記ハッチの動きの最中に、前記第１のスリーブ
    の前記対応する動きに高抵抗性を付与し、ポートを開こうとする前記ハッチの動
    きの最中に、前記第１のスリーブの前記対応する動きに低抵抗性を付与する、前
    記摩擦ヒンジ構造の第１の摩擦バネを提供し、 前記第２のスリーブを少なくとも部分的に前記第１の方向と反対の第２の方向
    に取り巻くことによって、ポートを閉じようとする前記第２のスリーブの動きの
    最中に、前記第２のスリーブの前記対応する動きに高抵抗性を付与し、ポートを
    開こうとする前記ハッチの動きの最中に、前記第２のスリーブの前記対応する動
    きに低抵抗性を付与する、前記摩擦ヒンジ構造の第２の摩擦バネを提供すること を備える、方法。
  12. 【請求項１２】 請求項１１記載の方法であって、さらに、 前記第１の摩擦バネを前記ハッチに取り付けることを備える、方法。
  13. 【請求項１３】 請求項１１記載の方法であって、さらに、 前記第２の摩擦バネを前記カバーに取り付けることを備える、方法。
  14. 【請求項１４】 請求項８記載の方法であって、さらに、 前記ねじり棒に搭載された第１および第２のスリーブからなる、前記少なくと
    も１つのスリーブを提供し、 前記第１のスリーブを前記ハッチに固定し、 前記第２のスリーブを前記カバーに固定し、 前記第１のスリーブを少なくとも部分的に前記第１の方向に取り巻くことによ
    って、ポートを閉じようとする前記ハッチの動きの中に、前記第１のスリーブの
    前記対応する動きに高抵抗性を付与し、ポートを開こうとする前記ハッチの動き
    の最中に、前記第１のスリーブの前記対応する動きに低抵抗性を付与する、第１
    の摩擦バネの形で、前記摩擦ヒンジ構造を提供し、 前記第２のスリーブを少なくとも部分的に前記第１の方向と反対の第２の方向
    に取り巻くことによって、ポートを閉じようとする前記第２のスリーブの動きの
    最中に、前記第２のスリーブの前記対応する動きに高抵抗性を付与し、ポートを
    開こうとする前記ハッチの動きの最中に、前記第２のスリーブの前記対応する動
    きに低抵抗性を付与する、第２の摩擦バネの形で、前記摩擦ヒンジ構造を提供す
    ること を備える、方法。
  15. 【請求項１５】 真空チャンバのカバー内で定義されたポートに対して、ハ
    ッチがポートを開閉できるようにハッチを搭載するための、耐公差性且つ真空対
    応性のヒンジであって、前記カバーにはカバーシール面が提供されており、前記
    ヒンジは、 前記カバーシール面から離れたヒンジ軸上における回転のために搭載された、
    ヒンジボディであって、前記ヒンジ軸は製造公差を有する、ヒンジボディと、 前記ヒンジボディと前記ハッチの間の耐公差性且つ真空対応性のコネクタであ
    って、前記ヒンジ軸の製造公差および前記真空チャンバ内の真空動作にかかわら
    ず、前記ハッチが前記カバーシール面に密着することを可能とするための、コネ
    クタと、 を備える、ヒンジ。
  16. 【請求項１６】 請求項１５記載のヒンジであって、さらに、 ハッチシール面を有した前記ハッチと、 前記ヒンジボディと前記ハッチの間のコネクタボディと、 前記コネクタボディの製造公差に関わらず、前記ハッチシール面が前記カバー
    の前記シール面に平行に位置決めされるように、前記ハッチを前記コネクタボデ
    ィに向かって作用させるとともに、前記コネクタボディと前記ハッチの相対運動
    を可能とするための、バネアセンブリと を備える、ヒンジ。
  17. 【請求項１７】 請求項１５記載のヒンジであって、さらに、 前記コネクタは、 ファスナ軸を提供された第１の穴と、前記ファスナ軸と同心のサラ穴と、を
    有したコネクタボディであって、前記サラ穴は、前記コネクタボディ内の一定の
    深さに肩を１つ有し、前記深さは製造公差を有する、コネクタボディと、 前記ファスナ軸と同心のネジ穴と、シール面と、を提供された前記ハッチと
    、 前記コネクタボディを前記ハッチに接続するために前記ネジ穴内に通された
    ファスナであって、製造公差を有した深さに肩を１つ有する、ファスナと、 ファスナとサラ穴の肩の間のスラスト座金と、 前記製造公差および前記真空動作に関わらず、前記ハッチの前記シール面が
    前記カバーの前記シール面に平行に位置決めされるように、前記ハッチを前記コ
    ネクタボディに向かって作用させるとともに、前記コネクタボディと前記ハッチ
    の相対運動を可能とするための、前記ファスナ上で前記座金と前記肩の間に位置
    するバネアセンブリと を備えるヒンジ。
  18. 【請求項１８】 真空チャンバのカバー内で定義されたポートに対して、ハ
    ッチがポートを開閉できるようにハッチを搭載するための、耐公差性且つ真空対
    応性のヒンジであって、前記カバーにはカバーシール面が提供されており、前記
    ヒンジは、 前記ポートと前記ハッチの間でヒンジ軸上に搭載されたねじり棒であって、前
    記ハッチが前記ポートに対して閉位置にある場合は、ポートを開こうとする前記
    ハッチの動きを補助するために、ねじりの状態にある、ねじり棒と、 前記ねじり棒を取り囲み、前記ハッチとともに移動可能である少なくとも１つ
    のスリーブと、 前記カバーと前記少なくとも１つのスリーブの間の摩擦ヒンジ構造であって、
    ポートを閉じようとする前記ハッチの動きに抵抗するために、前記少なくとも１
    つのスリーブと摩擦係合関係にある、摩擦ヒンジ構造と、 前記カバーシール面から離れた前記ヒンジ軸上における回転のために搭載され
    た、ヒンジボディであって、前記ヒンジ軸は製造公差を有する、ヒンジボディと
    、 前記ヒンジボディおよび前記コネクタの製造公差に関わらず、ポートを閉じよ
    うとする前記ハッチの動きの終了時に、前記ハッチを前記カバーシール面に密着
    させるための、前記ヒンジボディと前記ハッチの間の耐公差性且つ真空対応性の
    コネクタと を備える、ヒンジ。
  19. 【請求項１９】 請求項１８記載のヒンジであって、前記公差対応性のコネ
    クタはさらに、 前記ヒンジボディと前記ハッチの間のコネクタボディと、 前記製造公差および前記真空動作に関わらず、前記ハッチの前記シール面が前
    記カバーの前記シール面に平行に位置決めされるように、前記ハッチを前記コネ
    クタボディに向かって作用させるとともに、前記コネクタボディと前記ハッチの
    相対運動を可能とするための、バネアセンブリと を備える、ヒンジ。
  20. 【請求項２０】 真空チャンバのカバー内で定義されたポートに対して、ハ
    ッチがポートを開閉できるようにハッチを搭載するためのヒンジであって、前記
    カバーにはカバーシール面が提供されており、前記ヒンジは、 前記カバーシール面から離れ且つ製造公差を有したヒンジ軸を定義するために
    、前記カバー上に搭載された棒と、 回転のために前記棒上に搭載されたヒンジボディと、 ファスナ軸を提供された第１の穴と、前記ファスナ軸と同心のサラ穴と、を有
    したコネクタボディであって、前記サラ穴は、前記コネクタボディ内の一定の深
    さに肩を１つ有し、前記深さは製造公差を有する、コネクタボディと、 前記ファスナ軸と同心のネジ穴と、シール面と、を提供された前記ハッチと、 前記コネクタボディを前記ハッチに接続するために前記ネジ穴内に通されたフ
    ァスナであって、製造公差を有した深さに肩を１つ有する、ファスナと、 前記製造公差および前記真空チャンバ内の前記真空動作に関わらず、前記ハッ
    チの前記シール面が前記カバーの前記シール面に平行に位置決めされるように、
    前記ハッチを前記コネクタボディに向かって作用させるとともに、前記コネクタ
    ボディと前記ハッチの相対運動を可能とするための、前記ファスナ上で前記ファ
    スナの前記肩と前記サラ穴の前記肩の間に位置するバネアセンブリと を備える、ヒンジ。
JP2001505043A 1999-06-22 2000-05-30 ヒンジアセンブリおよびヒンジアセンブリを製造する方法 Expired - Fee Related JP4593043B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/338,008 1999-06-22
US09/338,008 US6263542B1 (en) 1999-06-22 1999-06-22 Tolerance resistant and vacuum compliant door hinge with open-assist feature
PCT/US2000/014735 WO2000079571A2 (en) 1999-06-22 2000-05-30 Vacuum compliant door hinge

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003502858A true JP2003502858A (ja) 2003-01-21
JP4593043B2 JP4593043B2 (ja) 2010-12-08

Family

ID=23323006

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001505043A Expired - Fee Related JP4593043B2 (ja) 1999-06-22 2000-05-30 ヒンジアセンブリおよびヒンジアセンブリを製造する方法

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6263542B1 (ja)
EP (1) EP1145280B1 (ja)
JP (1) JP4593043B2 (ja)
KR (1) KR100730824B1 (ja)
AU (1) AU5170600A (ja)
DE (1) DE60027693T2 (ja)
TW (1) TW436577B (ja)
WO (1) WO2000079571A2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012038876A (ja) * 2010-08-06 2012-02-23 Ulvac Japan Ltd 真空処理装置

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10042185B4 (de) * 2000-07-10 2006-02-16 Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo Piezoelektrischer elektroakustischer Wandler
US6776848B2 (en) * 2002-01-17 2004-08-17 Applied Materials, Inc. Motorized chamber lid
GB2396397A (en) * 2002-12-20 2004-06-23 Gencorp Property Inc A spring assembly including at least one torsion bar for controlling the movement of closure members
US20040265167A1 (en) * 2003-06-30 2004-12-30 Todd Morrison Sterilization vacuum chamber door closure
JP4458342B2 (ja) * 2004-05-17 2010-04-28 イーグル工業株式会社 ゲートバルブ
DE102004027752A1 (de) * 2004-06-08 2006-01-05 Leybold Optics Gmbh Schleusenvorrichtung
EP1799876B1 (en) * 2004-10-18 2009-02-18 Bekaert Advanced Coatings Flat end-block for carrying a rotatable sputtering target
PT1856303E (pt) * 2005-03-11 2009-02-27 Bekaert Advanced Coatings Bloco de extremidade individual em ângulo recto
TWI396766B (zh) * 2005-03-11 2013-05-21 Soleras Advanced Coatings Nv 用於支承可旋轉濺射目標的扁平端塊
US20090193619A1 (en) * 2008-02-04 2009-08-06 Robert Irwin Door hinge with a hidden closure system
KR101066033B1 (ko) * 2009-07-28 2011-09-20 엘아이지에이디피 주식회사 화학기상 증착장치 및 기판 처리장치
US8634183B2 (en) * 2010-12-22 2014-01-21 Intel Corporation Automatic hinge opening assembly for electronic device
CN106930631A (zh) * 2015-12-31 2017-07-07 中微半导体设备(上海)有限公司 一种用于真空腔盖启闭的铰链及其真空处理装置
US11670490B2 (en) 2017-09-29 2023-06-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Integrated circuit fabrication system with adjustable gas injector
WO2020038660A1 (en) * 2018-08-24 2020-02-27 Evatec Ag Vacuum processing apparatus

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999003135A1 (en) * 1997-07-11 1999-01-21 Applied Materials, Inc. Lid assembly
JPH11101345A (ja) * 1997-09-30 1999-04-13 Tokyo Electron Ltd 真空処理装置の開閉蓋ヒンジ機構

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3789875A (en) 1972-05-15 1974-02-05 Gray Tool Co Fluid pressure actuated valve operator
US4355937A (en) 1980-12-24 1982-10-26 International Business Machines Corporation Low shock transmissive antechamber seal mechanisms for vacuum chamber type semi-conductor wafer electron beam writing apparatus
US4483654A (en) 1981-02-13 1984-11-20 Lam Research Corporation Workpiece transfer mechanism
US4340462A (en) 1981-02-13 1982-07-20 Lam Research Corporation Adjustable electrode plasma processing chamber
SU1093854A1 (ru) 1983-01-11 1984-05-23 Специальное Проектно-Конструкторское И Технологическое Бюро Электротермического Оборудования Саратовского Завода Электротермического Оборудования Вакуумный шиберный затвор
US4593915A (en) 1984-11-28 1986-06-10 Grove Valve And Regulator Co. Orifice plate seal ring
US4753417A (en) 1985-01-28 1988-06-28 The Boc Group, Inc. Gate valve for vacuum processing apparatus
US4650207A (en) * 1986-03-19 1987-03-17 Caterpillar Inc. Pin retainer assembly
US4715764A (en) 1986-04-28 1987-12-29 Varian Associates, Inc. Gate valve for wafer processing system
US4917556A (en) 1986-04-28 1990-04-17 Varian Associates, Inc. Modular wafer transport and processing system
US4747577A (en) 1986-07-23 1988-05-31 The Boc Group, Inc. Gate valve with magnetic closure for use with vacuum equipment
US4721282A (en) 1986-12-16 1988-01-26 Lam Research Corporation Vacuum chamber gate valve
DE3776118D1 (de) 1986-12-22 1992-02-27 Siemens Ag Transportbehaelter mit austauschbarem, zweiteiligem innenbehaelter.
US4795299A (en) 1987-04-15 1989-01-03 Genus, Inc. Dial deposition and processing apparatus
JP2539447B2 (ja) 1987-08-12 1996-10-02 株式会社日立製作所 枚葉キャリアによる生産方法
JPH081511B2 (ja) * 1988-11-26 1996-01-10 三田工業株式会社 自動原稿送り装置の開閉機構
US5076205A (en) 1989-01-06 1991-12-31 General Signal Corporation Modular vapor processor system
US5002255A (en) 1989-03-03 1991-03-26 Irie Koken Kabushiki Kaisha Non-sliding gate valve for high vacuum use
US5120019A (en) 1989-08-03 1992-06-09 Brooks Automation, Inc. Valve
JPH0478377A (ja) 1990-07-20 1992-03-12 Tokyo Electron Ltd トグル式ゲート
DE4024973C2 (de) 1990-08-07 1994-11-03 Ibm Anordnung zum Lagern, Transportieren und Einschleusen von Substraten
US5072257A (en) * 1990-09-21 1991-12-10 Stoesser Industries Vacuum frame hinge
US5697749A (en) 1992-07-17 1997-12-16 Tokyo Electron Kabushiki Kaisha Wafer processing apparatus
US5295522A (en) 1992-09-24 1994-03-22 International Business Machines Corporation Gas purge system for isolation enclosure for contamination sensitive items
US5383338A (en) 1993-12-17 1995-01-24 Emerson Electric Co. In-line sight indicator
KR960002534A (ko) 1994-06-07 1996-01-26 이노우에 아키라 감압·상압 처리장치
US5667197A (en) 1996-07-09 1997-09-16 Lam Research Corporation Vacuum chamber gate valve and method for making same
US5902088A (en) 1996-11-18 1999-05-11 Applied Materials, Inc. Single loadlock chamber with wafer cooling function
US5771540A (en) * 1997-01-22 1998-06-30 Torqmaster, Inc. Equilibrated hinge with variable frictional torque
US5787549A (en) * 1997-05-20 1998-08-04 Reell Precision Manufacturing Corporation Torsion rod hinge with friction dampening

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999003135A1 (en) * 1997-07-11 1999-01-21 Applied Materials, Inc. Lid assembly
JPH11101345A (ja) * 1997-09-30 1999-04-13 Tokyo Electron Ltd 真空処理装置の開閉蓋ヒンジ機構

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012038876A (ja) * 2010-08-06 2012-02-23 Ulvac Japan Ltd 真空処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2000079571A3 (en) 2001-12-20
TW436577B (en) 2001-05-28
JP4593043B2 (ja) 2010-12-08
DE60027693D1 (de) 2006-06-08
EP1145280A2 (en) 2001-10-17
EP1145280B1 (en) 2006-05-03
WO2000079571A2 (en) 2000-12-28
EP1145280A3 (en) 2002-04-10
KR100730824B1 (ko) 2007-06-20
US6263542B1 (en) 2001-07-24
KR20010072841A (ko) 2001-07-31
DE60027693T2 (de) 2007-05-10
AU5170600A (en) 2001-01-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2003502858A (ja) オープンアシスト特性を有した耐公差性且つ真空対応性のドアヒンジ
JP3196218B2 (ja) ウエハ搬送装置とウエハ搬送方法
EP1166333B1 (en) Multi-stage single-drive foup door opening system
TW447067B (en) Wafer cassette load station
US5275303A (en) Valve closure mechanism for semiconductor deposition apparatus
US20080056854A1 (en) Substrate-processing apparatus with buffer mechanism and substrate-transferring apparatus
JPH0656222B2 (ja) 真空スリットバルブ
US20010036393A1 (en) Three chamber load lock apparatus
JPH02185971A (ja) 半導体ウェハの真空処理装置
EP1052692A1 (en) Container
US20040013499A1 (en) Semiconductor substrate damage protection system
EP1105605B1 (en) Pod door to port door retention system
CN1993530A (zh) 车辆门锁装置
CN109997217A (zh) 配备具有两个凸轮轮廓的闩锁机构的衬底容器
US20020149209A1 (en) Laterally floating latch hub assembly
US20080257095A1 (en) Adjustable wrist design for robotic arm
US7927058B2 (en) Pod clamping unit load port equipped with pod clamping unit and mini environment system including pod and load port
WO2020163384A1 (en) Aircraft hinge apparatus and related methods for the same
US6430877B1 (en) Pod door alignment device
US6652212B2 (en) Cylinder, load port using it, and production system
US6338604B1 (en) Lid latch mechanism for clean box
US11948820B1 (en) Latching guide structure
JP2000337546A (ja) ゲートバルブ
KR101023728B1 (ko) 스퍼터의 로드부
KR20030066853A (ko) 웨이퍼카세트 고정구조가 개선된 반도체 제조 설비용로드락챔버

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070518

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100202

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20100428

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20100511

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100802

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100817

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100915

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130924

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees