JP2003502564A - ピエゾアクチュエータ - Google Patents

ピエゾアクチュエータ

Info

Publication number
JP2003502564A
JP2003502564A JP2001505071A JP2001505071A JP2003502564A JP 2003502564 A JP2003502564 A JP 2003502564A JP 2001505071 A JP2001505071 A JP 2001505071A JP 2001505071 A JP2001505071 A JP 2001505071A JP 2003502564 A JP2003502564 A JP 2003502564A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezo
piezo element
casing
spring
stabilizing member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001505071A
Other languages
English (en)
Inventor
シュテックライン ヴォルフガング
ベッキング フリードリッヒ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of JP2003502564A publication Critical patent/JP2003502564A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M63/00—Other fuel-injection apparatus having pertinent characteristics not provided for in groups F02M39/00 - F02M57/00 or F02M67/00; Details, component parts, or accessories of fuel-injection apparatus, not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M39/00 - F02M61/00 or F02M67/00; Combination of fuel pump with other devices, e.g. lubricating oil pump
    • F02M63/0012—Valves
    • F02M63/0014—Valves characterised by the valve actuating means
    • F02M63/0015—Valves characterised by the valve actuating means electrical, e.g. using solenoid
    • F02M63/0026—Valves characterised by the valve actuating means electrical, e.g. using solenoid using piezoelectric or magnetostrictive actuators
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
    • H10N30/886—Mechanical prestressing means, e.g. springs

Abstract

(57)【要約】 操作部材に引っ張り力または押圧力を供給するための少なくとも１つのピエゾ素子（２；２１；３１；４１，４２）を備えているピエゾアクチュエータが提案される。更に、ピエゾ素子（２；２１；３１；４１，４２）に対して平行に配置されている安定化部材（９；２２）を備え、該ピエゾ素子および安定化部材の間にはフレキシブルな中間層（１１）が設けられている。ピエゾ素子（２；２１；３１；４１，４２）および安定化部材（９；２２）は作用方向を横断する方向（ｘ，ｙ方向）における幅に比べて作用方向（ｚ軸）において大きな長さを有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 本発明は、独立請求項の上位概念に記載の構成による、例えば、弁または類似
のもののような機械的な部材を操作するためのピエゾアクチュエータに関する。
【０００２】 一般に、いわゆるピエゾ効果を利用して、適当な結晶構造を有する材料から成
るピエゾ素子を形成することは公知である。外部の電圧を印加すると、結晶構造
および電圧の印加領域に依存して前以て決めることができる方向における押圧力
または引っ張り力を表している、ピエゾ素子の機械的な応答が生じる。
【０００３】 弁の位置決めの際に、上述したピエゾアクチュエータがしばしば使用される。
その際ここで殊に、例えば弁棒を操作するためのストローク能力は力が比較的大
きい場合には比較的小さいことに注目すべきである。それ故に有効ストロークを
拡大するために一部では普通、機械的なまたはハイドロリックな距離変換を行う
ようにしている。しかしこの種の機械的なまたはハイドロリックな距離変換シス
テムにより一層大きな手間がかかることになり、従って手間がかかればかかるほ
どコストが高くなることになる。
【０００４】 発明の利点 冒頭に述べたピエゾアクチュエータは有利にも、操作部材に引っ張りまたは押
圧力を供給するのに適している少なくとも１つのピエゾ素子を有している。本発
明によれば、ピエゾ素子に対して平行に配置されている安定化部材を備え、該両
素子および部材間にはフレキシブルな中間層が設けられていて、ここでピエゾ素
子および安定化部材は作用方向を横断する方向（ｘ，ｙ方向）における幅に比べ
て作用方向（ｚ軸）において大きな長さを有している。有利なオーダは例えば、
大体５：１ないし５０：１の、長さ（ｚ方向）対幅（ｘ，ｙ方向）比である。
【０００５】 第１の有利な実施形態において、安定化部材は鋼から成っておりかつピエゾア
クチュエータのケーシングに堅固に緊締されている基本または支持プレートとケ
ーシングにおける固定縁との間に保持されている。ケーシングはここでは普通は
同様に鋼から作成されている。その際ピエゾ素子は基本プレートとばね受けとの
間に保持されており、該ばね受けはバイアスばねを介して同様にケーシングに当
接されておりかつ操作部材をガイドする。
【０００６】 本発明によって、簡単な手法で、機械的に比較的敏感でない、例えば自動車の
機関室に使用された場合の振動の影響を受けにくい長い細いピエゾアクチュエー
タが提供されることになる。長く細い構造に基づいた大きなストロークによって
、ストローク変換を省略することができ、その際このピエゾアクチュエータによ
って基本的に引っ張りまたは押圧力を発生することができる。
【０００７】 安定化部材とピエゾ素子との間にフレキシブルな中間層、例えばポリマーまた
は類似のもののような合成樹脂が設けられていることによって、ピエゾ素子と安
定化部材との間の相対運動である長手方向の運動を可能にできるのである。しか
しその場合にｘ方向またはｙ方向にピエゾ素子が振動するのを回避することがで
きる。このようにして簡単な手法でピエゾ素子における曲げ応力を妨げることが
できる。曲げ応力は場合よってはピエゾアクチュエータの破壊を招くおそれがあ
るものである。
【０００８】 今ここに述べた実施の形態では下方向に向かう押圧力が供給され、温度は補償
されるようにはなっていない。第２の実施形態では、ピエゾ素子および安定化部
材はセラミック材料から成っており、該セラミック材料は実質的に同じ温度膨張
係数を有しているので、この実施形態は温度補償されている。安定化部材は基本
または支持プレートとケーシングにおける固定縁との間に保持されているが、基
本プレートはばねを介してケーシングに当接している。
【０００９】 安定化部材は今述べた実施形態では、ピエゾ素子および安定化部材の温度に規
定されて生じる膨張の作用方向が打ち消されて、操作部材の位置が変わらない、
すなわち零点ドリフトが発生しないようにピエゾ素子と機械的に連結されている
。ピエゾ素子は、基本プレートとばね受けとの間に保持されており、該ばね受け
はバイアスばねを介して同様にケーシングに当接されておりかつ操作部材をガイ
ドする。この場合バイアスばねの力は基本プレートにかかるばねの力より著しく
高く、ケーシングとピエゾ素子の材料との間のいずれの温度膨張もばねを介して
補償されるようでなければならない。これまでハイドロリックな結合によって度
々使用されてきたような温度補償の付加的な措置はここではもはや必要ない。
【００１０】 ピエゾ素子は本発明では横断方向に積層されているピエゾ層から形成されてお
り、従って操作部材に対して押圧力を及ぼすものであってよいが、長手方向に積
層されているピエゾ層から形成されており、従って操作部材に対して引っ張り力
を及ぼすものであってもよい。
【００１１】 別の有利な実施形態によれば、安定化部材は、ピエゾ素子の層構造に対してそ
の都度垂直方向に位置しているピエゾ層から成っており、該ピエゾ層はピエゾ素
子と同じ手法で電圧によって制御される。この実施形態では、安定化部材の付加
的なストロークによって温度補償に対して更に有効ストロークが延長される。そ
の際ピエゾ層のコンタクト形成は中間層で行われるようにできるが、外部であっ
てもよい、 別の有利な実施形態では、２つのピエゾ素子は操作部材を表している引っ張り
棒に対して対称的に、中間層によって取り囲まれてピエゾアクチュエータのケー
シングに配置されている。ここでピエゾ素子は引っ張り棒に連結されている支持
プレートとケーシングの固定縁との間に保持されておりかつ支持プレートはばね
を介してケーシングに当接している。
【００１２】 本発明の有利な発展形態の今述べたおよびその他の特徴は従属請求項の記載か
らの他に、明細書の説明および図面から明らかであり、その際個々の特徴は単独
でもまたは組み合わされた形においても本発明の実施例におよびその他の分野に
て実現することができかつ有利な並びにそれ自体、ここで保護権利を請求する保
護されるに値する実施形態を表すものである。
【００１３】 図面 例えば弁を位置決めするための、構造が細長いタイプの、本発明のピエゾアク
チュエータの実施例を図面に基づいて説明する。その際： 図１は、鋼から成る安定化エレメントを備えた温度補償されていないピエゾアク
チュエータを断面にて示し、 図２は、ピエゾ素子の第１のコンタクト態様を備えた、図１の切断線Ａ−Ａで沿
った一部を詳細を示し、 図３は、ピエゾ素子の第２のコンタクト態様を備えた、図１の切断線Ａ−Ａで沿
った一部を詳細を示し、 図４は、セラミックから成る安定化エレメントを備えたピエゾアクチュエータの
温度補償されている、横断面が示されているピエゾ素子を断面にて示し、 図５は、セラミックから成る安定化エレメントを備えたピエゾアクチュエータの
温度補償されている、縦断面が示されているピエゾ素子を断面にて示し、 図６は、ピエゾ素子の第１のコンタクト態様を備えた、図５の切断線Ａ−Ａで沿
った一部を詳細を示し、 図７は、ピエゾ素子の第２のコンタクト態様を備えた、図５の切断線Ａ−Ａで沿
った一部を詳細を示し、 図８は、引っ張り棒の両側に配置されている２つのピエゾ素子を備えている温度
補償されていないピエゾアクチュエータを断面にて示す。
【００１４】 実施例の説明 図１にはピエゾ素子２を有しているピエゾアクチュエータ１が示されている。
ピエゾ素子はそれ自体公知の手法で、適当な結晶構造を備えた石英材料のピエゾ
シートから成っているので、いわゆる圧電効果を利用して電極３および４に外部
から電圧をかけると力Ｆｎｕｔｚの形のピエゾアクチュエータ１の機械的な応答
が行われる。図１の実施例は温度補償されておらずかつ押圧力Ｆｎｕｔｚを供給
する。
【００１５】 比較的長くかつ薄いピエゾ素子２はバイアスばね６およびその上に配置されて
いるばね受け７によって下端部が押圧されて上端部が基本または支持プレート８
に圧着される。支持プレート８はピエゾ素子に対して両側で対称形に配置されて
いる安定化部材９によって固定される。安定化部材はピエゾアクチュエータ１の
ケーシング１０に上側および下側で支えられている。安定化部材９とピエゾ素子
２との間に中間層１１としてフレキシブルな合成樹脂、例えばポリマーが長手方
向に存在している。フレキシブルな中間層１１は、長手方向の運動、すなわちピ
エゾ素子２と安定化部材９との間の相対運動ができるようにするが、ｘ方向また
はｙ方向でのピエゾ素子の振動運動が妨げられるようにするという役目を持って
いる。
【００１６】 図２および図３から、ピエゾ素子２のコンタクト３および４の接続の態様が略
示されている。接続はｘ方向かまたはｙ方向において行うことができ、その際中
間層１１またはその外側で行われるようにしてもよい。
【００１７】 ピエゾアクチュエータ２０の第２の実施例が図４に示されており、ここでは同
じ作用をする部材には図１と同じ参照番号が付されている。図４の装置では、１
つのピエゾ素子２１および、ピエゾ素子２１と近似的に同じ温度膨張係数を有す
るセラミック材料から作成されている安定化部材２２が存在している。支持プレ
ート８はここでは、ばね２３を介してケーシング１０にばねバイアスされており
、その際ばね２３のバイアス力は、ケーシング１０とピエゾ素子２１との間の異
なっている温度膨張がばね２３を介して補償されることができるように、バイア
スばね６のバイアス力より著しく高いようになければならない。しかしばね２３
を省略することもできる。その場合ピエゾ素子２１は図１の場合と似通って、上
側の支持プレート８および場合によっては下側の支持プレートによって結合保持
されるということになる。上側の支持プレート８は、図１に示されているように
、ケーシング１０の肩状部に当接されることになる。ばね２３によって、安定化
部材２２がピエゾ素子のバイアス力によって生じる可能性がある引っ張り力を受
けるのが妨げられる。このバイアス力はばね６によって与えられる。
【００１８】 ピエゾアクチュエータ２０が操作されると、この実施例においても、ピエゾ素
子２１は軸方向に伸張され、従ってバイアスばね６のバイアス力に抗して押圧力
Ｆｎｕｔｚが生じる。ここでもピエゾ素子２１および安定化部材２２は実質的に
同じ温度膨張係数を有しているので、ピエゾ素子２１および安定化部材２２が温
度に規定されて伸張すると、上に説明したように機械的に取り付けられている場
合には、両エレメント２１および２２の影響が相殺される方向に作用する。従っ
て、ピエゾ素子２１のばねプレート７に連結されている操作部材の位置は変わら
ないようにすることができる。
【００１９】 ピエゾアクチュエータ３０の第３の実施例が図５に示されており、ここでも同
じ作用をするエレメントには図１または図４に基づいて説明したものと同じ参照
番号が付されている。図５の装置では、ピエゾ素子３１が図４の装置とは異なっ
て、長手方向に積層されているピエゾ層配置を備えている。ピエゾアクチュエー
タ３０が操作されると、この実施例では、ピエゾ素子３１は軸線方向に縮小され
、ひいては操作部材に作用する引っ張り力Ｆｎｕｔｚが生じる。
【００２０】 図６および図７においてここでも、ピエゾ素子３１のコンタクト３および４の
接続の態様が示されている。接続はｘ方向かまたはｙ方向において行うことがで
き、その際中間層１１またはその外側で行われるようにしてもよい。
【００２１】 図８からピエゾアクチュエータ４０の別の実施例が示されており、ここでも同
じ作用をする素子には図１、図４または図５と同じ参照番号が付されている。図
８の装置では、２つのピエゾ素子４１および４２が操作部材を表している引っ張
り棒４３に対して対称的に配置されている。ピエゾ素子４１および４２および引
っ張り棒４３は中間層１１によって取り囲まれてピエゾアクチュエータ４０のケ
ーシング１０に配置されている。ピエゾ素子４１および４２はここでは更に引っ
張り棒に連結されている支持プレート８およびばね２３を介してケーシング１０
における上側の固定炎およびケーシング１０における下側の固定縁に保持される
。この装置は力Ｆｎｕｔｚとして引っ張り力を供給するものであるが、温度補償
されていない。
【図面の簡単な説明】
【図１】 鋼から成る安定化エレメントを備えた温度補償されていないピエゾアクチュエ
ータの断面図である。
【図２】 ピエゾ素子の第１のコンタクト態様を備えた、図１の切断線Ａ−Ａで沿った一
部の詳細である。
【図３】 ピエゾ素子の第２のコンタクト態様を備えた、図１の切断線Ａ−Ａで沿った一
部の詳細である。
【図４】 セラミックから成る安定化エレメントを備えたピエゾアクチュエータの温度補
償されている、横断面が示されているピエゾ素子の断面図である。
【図５】 セラミックから成る安定化エレメントを備えたピエゾアクチュエータの温度補
償されている、縦断面が示されているピエゾ素子の断面図である。
【図６】 ピエゾ素子の第１のコンタクト態様を備えた、図５の切断線Ａ−Ａで沿った一
部の詳細である。
【図７】 ピエゾ素子の第２のコンタクト態様を備えた、図５の切断線Ａ−Ａで沿った一
部の詳細である。
【図８】 引っ張り棒の両側に配置されている２つのピエゾ素子を備えている温度補償さ
れていないピエゾアクチュエータの断面図である。
【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成１３年５月３０日（２００１．５．３０）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 操作部材に引っ張り力または押圧力を供給するための少なく
    とも１つのピエゾ素子（２；２１；３１；４１，４２）を備え、 該ピエゾ素子（２；２１；３１；４１，４２）に対して平行に配置されている安
    定化部材（９；２２）を備え、該ピエゾ素子および安定化部材の間にはフレキシ
    ブルな中間層（１１）が設けられていて、ここでピエゾ素子（２；２１；３１；
    ４１，４２）および安定化部材（９；２２）は作用方向を横断する方向（ｘ，ｙ
    方向）における幅に比べて作用方向（ｚ軸）において大きな長さを有している ピエゾアクチュエータ。
  2. 【請求項２】 長さ（ｚ方向）対幅（ｘ，ｙ方向）の比は大体５：１ないし
    ５０：１である 請求項１記載のピエゾアクチュエータ。
  3. 【請求項３】 安定化部材（９）は鋼から成っておりかつピエゾアクチュエ
    ータ（１）のケーシング（１０）に堅固に緊締されている基本または支持プレー
    ト（８）とケーシング（１０）における固定縁との間に保持されておりかつ ピエゾ素子（２；２１；３１；４１，４２）は基本プレート（８）とばね受け（
    ７）との間に保持されており、該ばね受けはバイアスばね（６）を介して同様に
    ケーシング（１０）に当接されておりかつ操作部材をガイドする 請求項１または２記載のピエゾアクチュエータ。
  4. 【請求項４】 ピエゾ素子（２１；３１）および安定化部材（２２）はセラ
    ミック材料から成っており、該セラミック材料は実質的に同じ温度膨張係数を有
    しており、ここで安定化部材（２２）は基本または支持プレート（８）とケーシ
    ング（１０）における固定縁との間に保持されており、かつ ピエゾ素子（２１；３１）は基本プレート（８）とばね受け（７）との間に保持
    されており、該ばね受けはバイアスばね（６）を介して同様にケーシング（１０
    ）に当接されておりかつ操作部材をガイドし、ここで ピエゾ素子（２１；３１）および安定化部材（２２）の温度に規定されて生じる
    膨張が作用方向において打ち消されて操作部材の位置が維持されるように、安定
    化部材（２２）はピエゾ素子（２１；３１）に機械的に連結されている 請求項１または２記載のピエゾアクチュエータ。
  5. 【請求項５】 基本プレート（８）はばね（２３）を介してケーシング（１
    １）に当接している 請求項１記載のピエゾアクチュエータ。
  6. 【請求項６】 ピエゾ素子（２１）は横断方向に積層されているピエゾ層か
    ら形成されており、従って該ピエゾ素子は操作部材に対して押圧力を及ぼす 請求項３，４または５のいずれか１項記載のピエゾアクチュエータ。
  7. 【請求項７】 ピエゾ素子（３１）は長手方向に積層されているピエゾ層か
    ら形成されており、従って該ピエゾ素子は操作部材に対して引っ張り力を及ぼす
    請求項３，４または５のいずれか１項記載のピエゾアクチュエータ。
  8. 【請求項８】 安定化部材（２２）は、ピエゾ素子（２１；３１）の層構造
    に対してその都度垂直方向に位置しているピエゾ層から成っており、該ピエゾ層
    はピエゾ素子（２１；３１）と同じ手法で電圧によって制御される 請求項６または７記載のピエゾアクチュエータ。
  9. 【請求項９】 ２つのピエゾ素子（４１；４２）は操作部材を表している引
    っ張り棒（４３）に対して対称的に、中間層（１１）によって取り囲まれてピエ
    ゾアクチュエータ（４０）のケーシング（１０）に配置されており、ここで該ピ
    エゾ素子（４１；４２）は引っ張り棒（４３）に接続されている支持プレート（
    ４４）とケーシング（１０）の固定縁との間に保持されておりかつ支持プレート
    （４４）はばね（２３）を介してケーシング（１０）に当接している 請求項１または２記載のピエゾアクチュエータ。
JP2001505071A 1999-06-19 2000-05-24 ピエゾアクチュエータ Pending JP2003502564A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19928185.8 1999-06-19
DE19928185A DE19928185B4 (de) 1999-06-19 1999-06-19 Piezoaktor
PCT/DE2000/001671 WO2000079606A2 (de) 1999-06-19 2000-05-24 Piezoaktor mit elementen zur bewegungsstabilisierung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003502564A true JP2003502564A (ja) 2003-01-21

Family

ID=7911887

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001505071A Pending JP2003502564A (ja) 1999-06-19 2000-05-24 ピエゾアクチュエータ

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6617766B1 (ja)
EP (1) EP1198850A2 (ja)
JP (1) JP2003502564A (ja)
KR (1) KR20020023236A (ja)
CN (1) CN1735979A (ja)
DE (1) DE19928185B4 (ja)
HU (1) HUP0201752A2 (ja)
WO (1) WO2000079606A2 (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19928179B4 (de) * 1999-06-19 2008-07-31 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor
DE10149915A1 (de) * 2001-10-10 2003-04-24 Bosch Gmbh Robert Brennstoffeinspritzventil
DE10260465B3 (de) * 2002-12-21 2004-02-12 Mtu Aero Engines Gmbh Reibschweißvorrichtung
US7125727B2 (en) * 2003-01-29 2006-10-24 Protedyne Corporation Sample handling tool with piezoelectric actuator
US20060272267A1 (en) * 2005-01-31 2006-12-07 Javier Mentado-Duran Concrete truss
DE102006043027A1 (de) 2006-09-13 2008-03-27 Epcos Ag Verspannelement und Piezoaktor mit dem Verspannelement
DE102007022093A1 (de) * 2007-05-11 2008-11-13 Epcos Ag Piezoelektrisches Vielschichtbauelement
DE102009014069A1 (de) 2009-03-20 2010-09-23 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
DE102010060736B4 (de) 2010-11-23 2015-04-02 Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktors
US8544338B2 (en) 2011-02-21 2013-10-01 Fracturelab, Llc Fatigue crack growth test apparatus
TWI722376B (zh) * 2018-01-30 2021-03-21 日商新川股份有限公司 致動器以及打線接合裝置
CN109578367B (zh) * 2018-11-27 2020-05-01 江苏大学 一种预紧式压电堆致套筒多模态振动的低摩擦气缸

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3030378C2 (de) * 1980-08-11 1983-01-20 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Piezoelektrisch betätigtes, steuerbares Einspritzventil
DE3037078C2 (de) * 1980-10-01 1982-08-12 Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart Elektrisch angesteuertes Stellglied
US4550744A (en) * 1982-11-16 1985-11-05 Nippon Soken, Inc. Piezoelectric hydraulic control valve
JPS63260087A (ja) * 1986-12-26 1988-10-27 Olympus Optical Co Ltd 積層型圧電アクチュエータ
US4899076A (en) * 1987-03-06 1990-02-06 Citizen Watch Co., Ltd. Piezoelectric oscillator
DE3850641T2 (de) * 1987-12-02 1994-10-27 Nec Corp Struktur zur Versiegelung eines elektrostriktiven Elements.
CA1331313C (en) * 1988-07-08 1994-08-09 Akio Yano Printing head of wire-dot impact printer
US4958101A (en) * 1988-08-29 1990-09-18 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Piezoelectric actuator
US5004945A (en) * 1988-09-26 1991-04-02 Nippondenso Co., Ltd. Piezoelectric type actuator
DE19538791C2 (de) * 1995-10-18 1998-04-09 Daimler Benz Ag Piezosteuerventil für Kraftstoffeinspritzanlagen von Brennkraftmaschinen
FR2743225B1 (fr) * 1995-12-28 1998-02-06 Ebauchesfabrik Eta Ag Resonateur piezoelectrique
DE19653555C2 (de) * 1996-12-20 2002-10-31 Siemens Ag Piezoelektrischer Aktor
EP0869278B1 (de) * 1997-04-04 2004-03-24 Siemens Aktiengesellschaft Einspritzventil mit Mitteln zur Kompensation der thermischen Längenänderung eines Piezoaktors
DE19715488C1 (de) * 1997-04-14 1998-06-25 Siemens Ag Piezoaktor mit neuer Kontaktierung und Herstellverfahren
DE19715487C2 (de) * 1997-04-14 2002-06-13 Siemens Ag Piezoelektrischer Aktor mit einem Hohlprofil
DE19818068A1 (de) * 1998-04-22 1999-10-28 Siemens Ag Piezoelektronischer Aktor für einen Stellantrieb
DE19856185A1 (de) * 1998-12-05 2000-06-15 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Antrieb
US6313568B1 (en) * 1999-12-01 2001-11-06 Cummins Inc. Piezoelectric actuator and valve assembly with thermal expansion compensation
JP2001189499A (ja) * 1999-12-28 2001-07-10 Taiheiyo Cement Corp 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN1735979A (zh) 2006-02-15
HUP0201752A2 (en) 2002-09-28
DE19928185B4 (de) 2006-05-24
US6617766B1 (en) 2003-09-09
DE19928185A1 (de) 2001-01-04
KR20020023236A (ko) 2002-03-28
WO2000079606A2 (de) 2000-12-28
WO2000079606A3 (de) 2001-05-03
EP1198850A2 (de) 2002-04-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2003502564A (ja) ピエゾアクチュエータ
US8810113B2 (en) Electromechanical transducer and method for manufacturing the same
JP4763238B2 (ja) 燃料噴射弁
KR100943777B1 (ko) 열적으로 유도된 진동수 변동을 보상하는 방법, 초소형 기계식 공진기를 제조하는 방법, 및 초소형 기계식 공진기
CA2491232C (en) Temperature compensating insert for a mechanically leveraged smart material actuator
JP2003502998A (ja) 圧電アクチュエータ
US20050146248A1 (en) Integral thermal compensation for an electro-mechanical actuator
US7521841B2 (en) Strain energy shuttle apparatus and method for vibration energy harvesting
JP5210618B2 (ja) エネルギ取入れ装置および方法
US7663292B2 (en) Ultrasonic actuator
JP3253553B2 (ja) 高度に動的な圧電ドライブ
US20100320870A1 (en) Temperature compensating flextensional transducer
JP2002528673A (ja) 燃料噴射弁
US6633108B1 (en) Piezo-actuator comprising a temperature compensator
Breguet et al. Monolithic piezoceramic flexible structures for micromanipulation
US20070247031A1 (en) Piezoelectric actuator
US20060125353A1 (en) Piezo actuator
US9496478B2 (en) Method of damping actuator with translation mechanism and actuator
JP2861919B2 (ja) 圧電アクチュエータ
KR102363206B1 (ko) 정밀 복원 액츄에이터
JP5727781B2 (ja) 圧電素子の変位拡大機構
JP2003502565A (ja) 機械素子を操作する圧電アクチュエータ
JPH03261561A (ja) 印字ヘッド用アクチュエータのフレーム
JPH03240563A (ja) 運動変換装置