JP2003347695A - Method of manufacturing printed wiring board - Google Patents
Method of manufacturing printed wiring boardInfo
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- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、積層成形に先だっ
てプリプレグに層間接続用の孔あけ加工を施した後に導
電性ペーストを充填し、成形工程を経て層間の接続をお
こなうプリント配線板の製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a printed wiring board in which a prepreg is subjected to a hole forming process for interlayer connection prior to lamination molding, and then filled with a conductive paste, and the interlayer is connected through a molding process. It is about.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、パソコン、携帯電話、デジタルカ
メラ等の小型、軽量、多機能化等の理由によりプリント
配線板に高密度化の要求が高まっている。2. Description of the Related Art In recent years, there has been an increasing demand for higher density printed wiring boards for reasons such as miniaturization, light weight, and multifunctionality of personal computers, cellular phones, digital cameras, and the like.
【0003】任意の層間でインナービアホール接続が可
能なプリント配線板の製造方法としては、例えば多孔質
で加圧時の収縮性(被圧縮性)が高いアラミド不織布に
熱硬化性樹脂を含浸させて半硬化状態にしたプリプレグ
に、離型フィルムをラミネートし、層間接続用の孔加工
をおこない、その孔に導電性ペーストを充填後、離型フ
ィルムを剥離して接着シートを形成し、この接着シート
の表裏両面に金属箔を重ねて圧縮成型し、写真法で回路
形成を施す方法が知られている。またこのようにして得
られたプリント配線板をコア材とし、これに上記と同様
の接着シートを重ねて成形することにより多層化する方
法も知られている。[0003] As a method of manufacturing a printed wiring board capable of connecting an inner via hole between arbitrary layers, for example, a thermosetting resin is impregnated into a porous aramid nonwoven fabric having high shrinkage (compressibility) when pressed. A release film is laminated on the semi-cured prepreg, holes are formed for interlayer connection, a conductive paste is filled into the holes, and the release film is peeled off to form an adhesive sheet. A method is known in which a metal foil is overlaid on both front and back sides, compression molded, and a circuit is formed by a photographic method. A method is also known in which the printed wiring board obtained in this manner is used as a core material, and an adhesive sheet similar to the above is stacked on the core material and molded to form a multilayer.
【0004】この方法で用いる導電性ペーストは金属粒
子と熱硬化性樹脂からなり、成形時に導電性ペースト中
の熱硬化性樹脂がプリプレグ中に抜けることで金属粒子
が緻密化されて層間の接続が可能となっている。[0004] The conductive paste used in this method comprises metal particles and a thermosetting resin, and the thermosetting resin in the conductive paste escapes into the prepreg during molding, so that the metal particles are densified and the connection between the layers is established. It is possible.
【0005】この時、プリプレグの樹脂が導電性ペース
ト中或いは表裏の金属箔と導電性ペーストとの界面に流
れ込むと、ビアホールにおいて十分な接続が取れなくな
る問題を生ずるが、多孔質であるアラミド不織布を用い
ると、成形時にアラミド不織布の空隙部分にプリプレグ
中の樹脂が保持され、その結果、樹脂が導電性ペースト
中、あるいは金属箔と導電性ペーストとの界面に流れ込
みにくくなり、導通不良の発生が抑制される。またアラ
ミド不織布は被圧縮性が高いことから、成形時に導電性
ペーストが圧縮されてより緻密化されて、層間の接続性
が更に高くなる。At this time, if the resin of the prepreg flows into the conductive paste or into the interface between the metal foil on the front and back and the conductive paste, there occurs a problem that a sufficient connection cannot be established in the via hole. When used, the resin in the prepreg is retained in the voids of the aramid nonwoven fabric during molding, and as a result, the resin is less likely to flow into the conductive paste or into the interface between the metal foil and the conductive paste, thereby suppressing the occurrence of poor conduction. Is done. In addition, since the aramid nonwoven fabric has high compressibility, the conductive paste is compressed and compacted at the time of molding, and the connectivity between layers is further improved.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術では、プリプレグの基材としてアラミド不織布
を用いることにより、プリプレグから形成される絶縁層
と金属箔との間の密着性が弱くなって、層間剥離が発生
しやすいという問題があり、また基板の剛性が弱くなっ
て実装信頼性が低くなるといった問題もあった。またア
ラミド基材はプリント基板用のプリプレグに一般的に用
いられているガラス基材に比較して高価であり、製造コ
ストが増大するという問題もあった。However, in the above prior art, by using an aramid nonwoven fabric as a base material of the prepreg, the adhesion between the insulating layer formed from the prepreg and the metal foil is weakened. There is a problem that delamination is likely to occur, and there is also a problem that the rigidity of the substrate is weakened and the mounting reliability is lowered. Further, the aramid base material is more expensive than a glass base material generally used for a prepreg for a printed circuit board, and there is a problem that the manufacturing cost is increased.
【0007】そこで、アラミド不織布を用いずにガラス
基材を用いることが検討されるが、ガラス基材はアラミ
ド不織布に比べて加圧時の収縮性(被圧縮性)が低くな
って、アラミド不織布を用いる場合よりも成形時におけ
る導電性ペーストの圧縮量が小さく、且つ成形時におけ
るガラス基材の樹脂の保持力はアラミド繊維よりも小さ
くなってしまうことにより、プリプレグの樹脂が導電性
ペースト中或いは表裏の金属箔と導電性ペーストとの界
面に流れ込みやすくなり、このためプリプレグに予め層
間接続用の孔加工と導電性ペーストの充填を行う場合、
成形時における導通信頼性を確保することが困難なもの
であった。Therefore, the use of a glass substrate without using an aramid nonwoven fabric has been considered. However, the glass substrate has a lower shrinkage (compressibility) when pressed than an aramid nonwoven fabric, and the The amount of compression of the conductive paste at the time of molding is smaller than the case where a resin is used, and the holding power of the resin of the glass base material at the time of molding becomes smaller than that of the aramid fiber. When it is easy to flow into the interface between the metal foil on the front and back and the conductive paste, and if the prepreg is previously subjected to hole processing for interlayer connection and filling with the conductive paste,
It has been difficult to ensure conduction reliability during molding.
【0008】本発明は、上記の点に鑑みて為されたもの
であり、ガラス基材を用いて形成されるプリプレグに層
間接続用の孔加工と、この層間接続用の孔への導電性ペ
ーストの充填とを行った後に、成形加工を施すことによ
り配線板を得るにあたり、層間接続信頼性を向上するこ
とができるプリント配線板の製造方法を提供することを
目的とするものである。[0008] The present invention has been made in view of the above points, and a hole is formed in a prepreg formed using a glass substrate for interlayer connection, and a conductive paste is formed in the hole for interlayer connection. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a printed wiring board, which can improve the interlayer connection reliability in obtaining a wiring board by performing a forming process after the filling of the printed wiring board.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
プリント配線板の製造方法は、プリプレグに層間接続用
の孔加工を施し、この孔に導電性ペーストを充填した
後、プリプレグの一面又は両面に金属箔又は回路形成を
施したコア材のいずれかを配置し、加熱加圧成形するこ
とにより積層一体化する配線板の製造方法において、プ
リプレグとしてガラス織布に熱硬化性樹脂組成物を含浸
して作製される、樹脂流れ性が0.1〜10%のものを
用いることを特徴とするものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a printed wiring board, comprising: forming a hole for interlayer connection in a prepreg; filling the hole with a conductive paste; Alternatively, in a method of manufacturing a wiring board in which either a metal foil or a core material having a circuit formed on both surfaces is arranged and laminated and integrated by heating and pressing, a thermosetting resin composition is formed on a glass woven fabric as a prepreg. And a resin having a flowability of 0.1 to 10%.
【0010】また請求項2の発明は、プリプレグの作製
に用いる熱硬化性樹脂組成物として、充填材を含まない
ものを用い、且つプリプレグの130℃における溶融粘
度が10000〜50000psであるものを用いるこ
とを特徴とするものである。According to a second aspect of the present invention, as the thermosetting resin composition used for preparing the prepreg, a thermosetting resin composition containing no filler and having a melt viscosity at 130 ° C. of 10,000 to 50,000 ps is used. It is characterized by the following.
【0011】また請求項3の発明は、プリプレグの作製
に用いる熱硬化性樹脂組成物として、充填材を含むもの
を用い、且つプリプレグの130℃における溶融粘度が
1000〜20000psであるものを用いることを特
徴とするものである。According to a third aspect of the present invention, as the thermosetting resin composition used for preparing the prepreg, one containing a filler and having a melt viscosity at 130 ° C. of 1,000 to 20,000 ps is used. It is characterized by the following.
【0012】また請求項4の発明は、プリプレグの作製
に用いるガラス織布として、通気度25cm3/cm2
/s以下で厚みが0.1mm以下のものを用いることを
特徴とするものである。The invention according to claim 4 provides a glass woven fabric used for producing a prepreg, having an air permeability of 25 cm 3 / cm 2.
/ S or less and a thickness of 0.1 mm or less.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。Embodiments of the present invention will be described below.
【0014】プリプレグは、ガラス織布に対して熱硬化
性樹脂組成物を含浸させ、加熱乾燥することにより熱硬
化性樹脂組成物を半硬化(Bステージ状態)させること
により得られる。The prepreg is obtained by impregnating the glass woven fabric with the thermosetting resin composition and heating and drying the same to semi-cure the thermosetting resin composition (B-stage state).
【0015】ガラス織布としては、配線板用途のプリプ
レグの作製用に用いられる適宜のものを採用できるが、
特に厚み0.1mm以下で、且つ通気度25cm3/c
m2/s以下のガラス織布を用いることが好ましい。通
気度の測定は、JIS R3420に基づき、フラジー
ル型試験機を用いて行うことができる。As the glass woven fabric, an appropriate one used for producing a prepreg for a wiring board can be employed.
In particular, the thickness is 0.1 mm or less, and the air permeability is 25 cm 3 / c.
It is preferable to use a glass woven fabric of m 2 / s or less. The measurement of the air permeability can be performed using a Frazier-type tester based on JIS R3420.
【0016】このようなガラス織布を用いると、プリプ
レグのレーザー加工時に、面内における組成バラツキが
抑えられるため均一な孔加工が可能となり、信頼性の高
い接続を得ることができる。詳しく説明すると、ガラス
織布は繊維を縦横に編み込んだ状態のものであるから、
平面視においては、縦糸と横糸が交差している部分と、
縦糸又は横糸が交差しない状態で存在する部分と、縦糸
と横糸が共に存在せずに空隙となっている部分とが形成
され得るものであり、このためプリプレグの面内におけ
る繊維と樹脂との割合にばらつきが生じて、各部分ごと
に、レーザ加工時の最適な照射条件が異なることとな
り、均一なレーザ加工が困難な場合がある。これに対し
て、ガラス織布を厚み0.1mm以下且つ通気度25c
m3/cm 2/s以下となるようにすると、縦糸と横糸
が共に存在せずに空隙となっている部分の割合が小さく
なって殆ど存在しなくなり、プリプレグの面内における
繊維と樹脂との割合のばらつきが小さくなって、最適な
レーザ加工条件のばらつきを小さくすることができ、よ
り安定した孔あけ加工が可能となるものである。When such a glass woven fabric is used,
In-plane composition variation during laser processing of legs
Suppressed, uniform hole drilling is possible and high reliability
Connection can be obtained. To elaborate, glass
Since the woven fabric is a state where fibers are woven vertically and horizontally,
In a plan view, a portion where the warp and the weft intersect,
A part where the warp or weft does not intersect and the warp
And voids are formed without both wefts
And therefore in the plane of the prepreg
The ratio between the fiber and the resin varies, and each part
In addition, the optimal irradiation conditions during laser processing will differ.
In some cases, uniform laser processing is difficult. In contrast
The glass woven cloth is 0.1 mm or less in thickness and the air permeability is 25 c.
m3/ Cm 2/ S or less, warp and weft
Is small and the proportion of voids is small.
And almost no longer exist, in the plane of the prepreg
The variation in the ratio between fiber and resin is reduced,
Variations in laser processing conditions can be reduced,
This allows for more stable drilling.
【0017】ここで、ガラス織布の厚みの下限は特に制
限されず、薄くなるほどレーザ加工性が向上するが、あ
まりにも薄すぎると、プリプレグに充填可能な導電性ペ
ーストの量が少なくなって層間の電気的接続性を充分に
得ることが困難となる場合があることから、60μm以
上とすることが好ましい。また通気度の下限も特に制限
されず、小さくなるほどレーザ加工性が向上するが、あ
まりにも小さすぎるとガラス不織布に樹脂を含浸させる
場合の含浸性が悪化するおそれがあることから、0.2
cm3/cm2/s以上とすることが好ましい。Here, the lower limit of the thickness of the glass woven fabric is not particularly limited, and the laser workability improves as the glass woven fabric becomes thinner. However, if the thickness is too thin, the amount of the conductive paste that can be filled in the prepreg decreases, and the interlayer becomes thinner. In some cases, it is difficult to sufficiently obtain the electrical connectivity of the above, so that the thickness is preferably 60 μm or more. In addition, the lower limit of the air permeability is not particularly limited, and the laser workability is improved as the air permeability is reduced. However, if the air permeability is too small, the impregnation when the resin is impregnated into the glass nonwoven fabric may be deteriorated.
It is preferably at least cm 3 / cm 2 / s.
【0018】熱硬化性樹脂組成物中のマトリックス樹脂
としては特に制限されず、配線板用途のプリプレグを形
成するために一般的に用いられるものを適用することが
できるが、例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリ
イミド、不飽和ポリエステル樹脂、ポリフェニレンオキ
サイド樹脂、フッ素樹脂等、或いはこれらの樹脂を変性
したものを用いることができる。熱硬化性樹脂組成物
は、このマトリックス樹脂に必要に応じて硬化剤、硬化
促進剤等の添加剤や充填材等を配合して調製される。充
填材を配合する場合には、特に限定されないが、例えば
ガラス繊維、炭素繊維、芳香族ポリアミド繊維、液晶ポ
リマー繊維、チタン酸カリウム、アルミナ、炭化カルシ
ウム、タルク、カオリン、クレー、ガラスパウダー、ガ
ラスバルーン等が挙げられる。これらの充填材の配合量
は適宜設定されるものであり、またこれらの充填材の粒
径の範囲や表面処理の有無等についても適宜設定される
ものであり、特に限定されない。The matrix resin in the thermosetting resin composition is not particularly limited, and those generally used for forming prepregs for wiring boards can be used. Examples thereof include epoxy resins and phenol resins. Polyimide, unsaturated polyester resin, polyphenylene oxide resin, fluororesin, or the like, or a modified version of these resins can be used. The thermosetting resin composition is prepared by adding additives such as a curing agent and a curing accelerator, a filler, and the like to the matrix resin as needed. When the filler is compounded, it is not particularly limited, for example, glass fiber, carbon fiber, aromatic polyamide fiber, liquid crystal polymer fiber, potassium titanate, alumina, calcium carbide, talc, kaolin, clay, glass powder, glass balloon And the like. The compounding amount of these fillers is appropriately set, and the range of the particle diameter of these fillers, the presence or absence of surface treatment, and the like are also appropriately set, and are not particularly limited.
【0019】プリプレグを作製するにあたっては、熱硬
化性樹脂組成物を有機溶剤に分散・溶解させてワニスを
調製し、このワニスをガラス織布に含浸させ、加熱乾燥
させて溶剤を除去するとともに、樹脂を半硬化状態すな
わちBステージ化する。In preparing the prepreg, a varnish is prepared by dispersing and dissolving the thermosetting resin composition in an organic solvent, impregnating the varnish with a glass woven fabric, heating and drying to remove the solvent, The resin is in a semi-cured state, that is, B-staged.
【0020】このようにしてプリプレグを得るにあたっ
ては、その樹脂流れ性が0.1〜10%となるようにプ
リプレグを形成する。プリプレグの樹脂流れ性は、MI
L−P−13949Hに準拠して測定されるものであ
る。In order to obtain a prepreg in this manner, the prepreg is formed such that the resin flowability is 0.1 to 10%. The resin flowability of prepreg is MI
It is measured in accordance with LP-13949H.
【0021】このプリプレグの樹脂流れ性は、例えばプ
リプレグの作製の際に乾燥工程で与える熱量を調節する
ことにより、調整される。また、プリプレグ中の樹脂含
有率を調節したり、充填材の配合量を調節することによ
り、樹脂流れ性を調整することもでき、これらの条件を
適宜変更することにより所望の樹脂流れ性を有するプリ
プレグを得ることができる。The resin flowability of the prepreg is adjusted, for example, by adjusting the amount of heat given in a drying step when preparing the prepreg. Also, by adjusting the resin content in the prepreg, or by adjusting the blending amount of the filler, it is also possible to adjust the resin flowability, and to have a desired resin flowability by appropriately changing these conditions. Prepreg can be obtained.
【0022】このように作製されるプリプレグには、積
層成形に先だって、層間接続用の孔あけ加工と、この孔
への導電性ペーストの充填とが行われる。この工程の一
例を説明すると、まずプリプレグの両面に離型性フィル
ムを圧着する。この離型性フィルムは、スクリーン印刷
法による導電性ペーストの充填時におけるマスキング材
となる。次いで、レーザ光を照射して離型性フィルムご
とプリプレグに孔あけ加工を施す。レーザ光としては、
炭酸ガスレーザ、エキシマレーザ、YAGレーザ等の適
宜のものを使用することができ、加工するプリプレグの
厚みや形成する孔の径によって最適なものを選択すれば
良い。次いで、この孔あけ加工を施したプリプレグに導
電性ペーストを、スクリーン印刷法により離型性フィル
ムを貼着した面から充填した後、フィルムを剥離し、導
電性ペーストが充填されたプリプレグを得ることができ
る。このとき、導電性ペーストは、プリプレグの両面に
おいて、離型性フィルムの厚み分だけ孔から突出した状
態となる。Prior to lamination molding, the prepreg manufactured as described above is subjected to perforation processing for interlayer connection and filling of the holes with a conductive paste. To explain an example of this step, first, a release film is pressure-bonded to both surfaces of the prepreg. This release film serves as a masking material when filling the conductive paste by the screen printing method. Next, the prepreg is punched together with the release film by irradiating a laser beam. As laser light,
An appropriate laser such as a carbon dioxide laser, an excimer laser, a YAG laser or the like can be used, and an optimum laser may be selected according to the thickness of the prepreg to be processed and the diameter of the hole to be formed. Next, after filling the conductive paste into the perforated prepreg from the surface on which the release film is adhered by screen printing, the film is peeled off to obtain a prepreg filled with the conductive paste. Can be. At this time, the conductive paste protrudes from the hole by the thickness of the release film on both surfaces of the prepreg.
【0023】ここで使用する導電性ペーストは金属粒子
と熱硬化性樹脂からなる適宜のものを用いることがで
き、例えば金属粒子としてはAu、Ag、Cu、Sn、
Pbの中から単独あるいは混合して使用することがで
き、熱硬化性樹脂としてはエポキシ樹脂等を使用するこ
とができる。As the conductive paste used here, an appropriate paste composed of metal particles and a thermosetting resin can be used. For example, Au, Ag, Cu, Sn,
Pb can be used alone or as a mixture, and as the thermosetting resin, an epoxy resin or the like can be used.
【0024】このように導電性ペーストが充填されたプ
リプレグを絶縁層形成用の部材として用い、配線板が製
造される。Using the prepreg filled with the conductive paste as a member for forming an insulating layer, a wiring board is manufactured.
【0025】例えばこのプリプレグの両面に銅箔等の金
属箔を配置して、加熱加圧成形を施すことにより積層一
体化して両面金属箔張り積層板を得る。このときプリプ
レグは加熱硬化により絶縁層として形成される。また導
電性ペーストは突出部分が孔内に押し込まれると共に、
導電性ペーストが充填された孔では、導電性ペースト中
の樹脂成分がプリプレグ中へ流動し、孔中では金属粒子
が緻密化され、層間接続用のビアホールが形成される。
そしてこの積層板の両面の金属箔に必要に応じて写真法
等にて回路成形を施すことにより、両面に導体回路が形
成されると共にこの導体回路がビアホールにて接続され
た配線板(プリント配線板)が得られる。For example, a metal foil such as a copper foil is placed on both sides of the prepreg, and the laminate is integrated by applying heat and pressure to obtain a double-sided metal foil-clad laminate. At this time, the prepreg is formed as an insulating layer by heat curing. In addition, the conductive paste is pushed into the hole with the protruding part,
In the hole filled with the conductive paste, the resin component in the conductive paste flows into the prepreg, the metal particles are densified in the hole, and a via hole for interlayer connection is formed.
A circuit is formed on the metal foils on both sides of the laminate by photolithography or the like as necessary, so that a conductor circuit is formed on both sides, and the conductor circuit is connected to the wiring board by a via hole (printed wiring). Board) is obtained.
【0026】また、上記のように形成された配線板をコ
ア材とし、導電性ペーストが充填されたプリプレグを用
いて更に多層の配線板を作製することもできる。例えば
導電性ペーストが充填されたプリプレグの一面に上記の
ように形成されたコア材を、コア材上の回路の所定位置
と導電性ペーストが充填された孔の開口とが重なるよう
に配置し、プリプレグの他面に同様にしてコア材を積層
するか、あるいは銅箔等の金属箔を配置して、加熱加圧
成形を施すものである。このとき、前記の場合と同様
に、プリプレグは加熱硬化により絶縁層として形成され
る。また導電性ペーストは突出部分が孔内に押し込まれ
ると共に、導電性ペーストが充填された孔では、導電性
ペースト中の樹脂成分がプリプレグ中へ流動し、孔中で
は金属粒子が緻密化され層間接続用のビアホールが形成
される。そして更に、外層に回路形成がなされていない
金属箔が配置されている場合には、必要に応じて写真法
等にて回路形成を施す。Further, a multilayer board can be manufactured by using a prepreg filled with a conductive paste with the wiring board formed as described above as a core material. For example, the core material formed as described above on one surface of the prepreg filled with conductive paste is arranged such that a predetermined position of a circuit on the core material and an opening of a hole filled with conductive paste overlap. A core material is laminated on the other surface of the prepreg in the same manner, or a metal foil such as a copper foil is arranged and subjected to heat and pressure molding. At this time, as in the case described above, the prepreg is formed as an insulating layer by heat curing. In addition, the projecting portion of the conductive paste is pushed into the hole, and in the hole filled with the conductive paste, the resin component in the conductive paste flows into the prepreg, and the metal particles are densified in the hole and the interlayer connection is made. Via holes are formed. Further, when a metal foil on which no circuit is formed is disposed on the outer layer, the circuit is formed by a photographic method or the like as necessary.
【0027】また、同様にして、導電性ペーストが充填
されたプリプレグの一面又は両面に、回路形成が施され
た単層又は多層の絶縁層を有するコア材と、金属箔との
いずれかを配置し、加熱加圧成形して積層一体化し、更
に必要に応じて最外層に回路形成を施すことによって、
配線板(プリント配線板)を得ることができる。Similarly, on one or both surfaces of a prepreg filled with a conductive paste, a core material having a single-layer or multilayer insulating layer on which a circuit is formed and a metal foil are disposed. Then, heat and pressure molding, lamination and integration, and further, if necessary, by forming a circuit on the outermost layer,
A wiring board (printed wiring board) can be obtained.
【0028】また、単層又は多層の絶縁層を有するコア
材と、導電性ペーストが充填されたプリプレグとを複数
用い、これらのコア材とプリプレグとを交互に配置し
て、加熱加圧成形により積層一体化することにより、多
層の配線板を得ることもできる。Further, a plurality of core materials having a single-layer or multi-layer insulating layer and a plurality of prepregs filled with a conductive paste are alternately arranged, and these core materials and prepregs are alternately arranged. By laminating and integrating, a multilayer wiring board can be obtained.
【0029】上記の加熱加圧条件は、使用するプリプレ
グ中の樹脂や導電性ペーストの組成、或いは積層する部
材の寸法等により適宜設定されるが、例えば200℃、
3.9MPa(40kg/cm2)で2時間、加熱加圧
成形することができる。The above heating and pressing conditions are appropriately set according to the composition of the resin or conductive paste in the prepreg to be used, the dimensions of the members to be laminated, and the like.
Heat and pressure molding can be performed at 3.9 MPa (40 kg / cm 2 ) for 2 hours.
【0030】このようにして配線板を製造すると、従来
の工法にて層間の接続をおこなう場合のプリプレグの樹
脂流れ性はコア材の回路パターンを樹脂埋めをするため
に通常は11%〜60%に設定されるものであるが、本
発明ではプリプレグの樹脂流れ性を0.1〜10%の範
囲となるようにしていることから、加熱加圧成形時に、
プリプレグ中の樹脂の、導電性ペーストが充填された孔
への侵入や、導電性ペーストと金属箔や導体回路等の導
体層との間への侵入が抑制されて、ビアホールを構成す
る導電性ペーストの金属粒子中や、この金属粒子と導体
層との間等にプリプレグ中の樹脂が侵入して硬化するよ
うな事態が発生することを防止し、ビアホールにより層
間の導通信頼性を向上することができる。When the wiring board is manufactured in this manner, the resin flowability of the prepreg when connecting layers between layers by the conventional method is usually 11% to 60% in order to fill the circuit pattern of the core material with the resin. However, in the present invention, since the resin flowability of the prepreg is in the range of 0.1 to 10%, during hot press molding,
The conductive paste forming via holes is suppressed by preventing the resin in the prepreg from entering the holes filled with the conductive paste and between the conductive paste and conductive layers such as metal foil and conductive circuits. It is possible to prevent a situation in which the resin in the prepreg intrudes into the metal particles or between the metal particles and the conductor layer and hardens, and the via hole improves the reliability of conduction between layers. it can.
【0031】このとき、プリプレグの樹脂流れ性が0.
1%よりも小さくなると、特に回路形成がなされたコア
材との積層成形時に、プリプレグを構成する樹脂にて回
路パターン間を樹脂埋めすることが困難となり、樹脂不
足のためにカスレが発生すると共にこのカスレの影響で
導電性ペーストと導体層との接続が充分に密着されなく
なって接続抵抗値が大きくなったり、ボイドが残るとい
う問題が生じる。また、プリプレグの樹脂流れ性が10
%を超えると、流れた樹脂が導電性ペーストの金属粒子
中や表裏の導体層と導電性ペーストとの界面に流れ込
み、接続抵抗値が大きくなり十分な信頼性のある接続が
得られなくなる。At this time, the resin flowability of the prepreg is 0.1.
If it is less than 1%, it becomes difficult to fill the space between the circuit patterns with the resin constituting the prepreg, particularly at the time of lamination molding with the core material on which the circuit is formed. Due to the influence of the thinness, the connection between the conductive paste and the conductive layer is not sufficiently adhered to each other, resulting in a problem that a connection resistance value increases and a void remains. Also, the resin flowability of the prepreg is 10
%, The flowing resin flows into the metal particles of the conductive paste or into the interface between the conductive layer on the front and back sides and the conductive paste, and the connection resistance value increases, so that sufficient reliable connection cannot be obtained.
【0032】また、特にプリプレグを構成する熱硬化性
樹脂組成物中に充填材を配合しない場合には、プリプレ
グを作製するにあたり、プリプレグ中の樹脂の、130
℃における溶融粘度が、10000〜50000ps
(P)の範囲となるように形成することが好ましい。こ
の溶融粘度は、例えばプリプレグ中から樹脂分を揉み出
してペレット状に加工し、高下式フローテスター(島津
製作所製「CFT−100」)を使用して測定すること
ができる。このようにすると、加熱加圧成形時に、プリ
プレグ中の樹脂の、導電性ペーストが充填された孔への
侵入や、導電性ペーストと金属箔や導体回路等の導体層
との間への侵入が、更に抑制される。In particular, when a filler is not blended in the thermosetting resin composition constituting the prepreg, when preparing the prepreg, 130% of the resin in the prepreg is used.
Melt viscosity at ℃ is 10,000-50,000ps
It is preferable to form so as to fall within the range of (P). This melt viscosity can be measured, for example, by rubbing out the resin component from the prepreg, processing it into a pellet, and using a height type flow tester (“CFT-100” manufactured by Shimadzu Corporation). In this way, at the time of heat and pressure molding, the resin in the prepreg may intrude into the hole filled with the conductive paste or between the conductive paste and the conductive layer such as a metal foil or a conductive circuit. Is further suppressed.
【0033】また、プリプレグを構成する熱硬化性樹脂
組成物中に充填材を配合する場合には、プリプレグ中の
樹脂の、130℃における溶融粘度が、1000〜20
000ps(P)の範囲となるように形成することが好
ましい。このようにすると、加熱加圧成形時に、プリプ
レグ中の樹脂の、導電性ペーストが充填された孔への侵
入や、導電性ペーストと金属箔や導体回路等の導体層と
の間への侵入が、更に抑制される。このとき、充填材を
配合していない場合と比べて、溶融粘度の範囲が低くな
っているのは、充填材が配合されることによりプリプレ
グ中における樹脂の流動が抑制されるためである。When a filler is blended into the thermosetting resin composition constituting the prepreg, the melt viscosity at 130 ° C. of the resin in the prepreg is 1000 to 20.
Preferably, it is formed to have a range of 000 ps (P). In this way, at the time of heat and pressure molding, the resin in the prepreg may intrude into the hole filled with the conductive paste or between the conductive paste and the conductive layer such as a metal foil or a conductive circuit. Is further suppressed. At this time, the reason why the range of the melt viscosity is lower than in the case where the filler is not blended is that the flow of the resin in the prepreg is suppressed by the blending of the filler.
【0034】[0034]
【実施例】以下、本発明を実施例によって詳述する。The present invention will be described below in detail with reference to examples.
【0035】(実施例1〜11、比較例1〜3)基材
に、エポキシ樹脂ワニスを含浸後、乾燥機で170℃で
乾燥を実施してプリプレグを得た。使用した基材、ワニ
ス組成、並びに得られたプリプレグの樹脂流れ性及び1
30℃での溶融粘度は、表1,2に示す通りである。(Examples 1 to 11, Comparative Examples 1 to 3) A prepreg was obtained by impregnating a base material with an epoxy resin varnish and drying it at 170 ° C with a drier. Substrate used, varnish composition, resin flowability of obtained prepreg and 1
The melt viscosity at 30 ° C. is as shown in Tables 1 and 2.
【0036】このプリプレグの両面に離型性フィルム
(ポリエチレンテレフタレート製フィルム、厚み20μ
m)を、110℃、1.96MPa(20kg/c
m2)の条件で1分間加熱加圧することにより圧着させ
た後、炭酸ガスレーザを照射して、層間接続用の孔を形
成した。A release film (polyethylene terephthalate film, 20 μm thick) was formed on both sides of the prepreg.
m) at 110 ° C., 1.96 MPa (20 kg / c
After press-bonding by heating and pressing under the conditions of m 2 ) for 1 minute, carbon dioxide laser was irradiated to form holes for interlayer connection.
【0037】炭酸ガスレーザによるレーザ加工条件は、
基材として厚み0.1mmのガラス織布を用いた実施例
1〜10並びに比較例1,2では、マスク径2.1m
m、加工エネルギー6mJ/P,パルス幅15μs、シ
ョット数5ショットの条件で照射をおこない、直径10
0μmの孔加工を実施した。また基材として厚み0.1
5mmのガラス織布を用いた実施例11では、マスク径
2.1mm、加工エネルギー6mJ/P,パルス幅15
μs、ショット数8ショットの条件で照射をおこない、
直径100μmの孔加工を実施した。また基材として厚
み0.1mmのアラミド不織布を用いた比較例3では、
マスク径2.1mm、加工エネルギー24.2mJ/
P,パルス幅15μs、ショット数1ショットの条件で
照射をおこない、直径100μmの孔加工を実施した。Laser processing conditions using a carbon dioxide laser are as follows:
In Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 and 2 using a glass woven fabric having a thickness of 0.1 mm as the base material, the mask diameter was 2.1 m.
m, processing energy 6 mJ / P, pulse width 15 μs, number of shots 5
Hole processing of 0 μm was performed. Also, as a substrate, a thickness of 0.1
In Example 11 using 5 mm glass woven fabric, the mask diameter was 2.1 mm, the processing energy was 6 mJ / P, and the pulse width was 15 mm.
Irradiation under the conditions of μs and 8 shots,
A hole having a diameter of 100 μm was formed. In Comparative Example 3 using an aramid nonwoven fabric having a thickness of 0.1 mm as the base material,
Mask diameter 2.1mm, processing energy 24.2mJ /
Irradiation was performed under the conditions of P, a pulse width of 15 μs, and the number of shots was 1 shot, and a hole having a diameter of 100 μm was formed.
【0038】次いで、離型性フィルム側から層間接続用
の孔内に、Cu粉末とエポキシ樹脂より成る導電性ペー
ストをスクリーン印刷法で充填した後、離型性フィルム
を剥離し、導電性ペーストが充填されたプリプレグを得
た。このとき導電性ペーストとしては、平均粒径2μm
の球状の銅粒子を85重量%、ビスフェノールA型エポ
キシ樹脂(ジャパンエポキシレジン株式会社製、「エピ
コート828」)を12重量%、アミンアダクト硬化剤
(味の素株式会社製、「MY−24」)を3重量%配合
し、三本ロールにて混練したものを用いた。Next, a conductive paste composed of Cu powder and an epoxy resin is filled into the holes for interlayer connection from the release film side by a screen printing method, and then the release film is peeled off. A filled prepreg was obtained. At this time, the conductive paste has an average particle size of 2 μm.
85% by weight of spherical copper particles, 12% by weight of bisphenol A type epoxy resin ("Epicoat 828", manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), and an amine adduct curing agent ("MY-24", manufactured by Ajinomoto Co., Ltd.) 3% by weight and kneaded with three rolls were used.
【0039】この導電性ペーストが充填されたプリプレ
グの上下に厚さ18μmの銅箔を積層し、200℃、
3.9MPa(40kg/cm2)の条件で2時間、加
熱加圧成形を行い、表裏の最外層の銅箔に写真法により
部分的にエッチング処理を施して回路形成をおこなうこ
とにより、ビアホールにて層間の接続を施したコア材を
得た(サンプル1)。A copper foil having a thickness of 18 μm is laminated above and below the prepreg filled with the conductive paste.
Under pressure of 3.9 MPa (40 kg / cm 2 ), heat and pressure molding is performed for 2 hours, and the outermost copper foil on the front and back surfaces is partially etched by a photographic method to form a circuit, thereby forming a via hole. Thus, a core material having a connection between layers was obtained (sample 1).
【0040】このようにして形成されるコア材2枚と、
前記と同様に形成された導電性ペーストが充填されたプ
リプレグ3枚とを、1枚ごとに交互に重ね、更に表裏の
最外層に厚み18μmの銅箔を積層し、200℃、3.
9MPa(40kg/cm2)の条件で2時間、加熱加
圧成形を行なった後、表裏の銅箔に写真法により部分的
にエッチング処理を施して回路形成をすることで、全て
の絶縁層にインナービアホールが形成された6層のプリ
ント配線板を得た(サンプル2)。The two core members thus formed,
The three prepregs filled with the conductive paste formed in the same manner as described above are alternately stacked on a sheet-by-sheet basis, and a copper foil having a thickness of 18 μm is further laminated on the outermost layers on the front and back sides.
After heating and pressing for 2 hours under the conditions of 9 MPa (40 kg / cm 2 ), the copper foil on the front and back is partially etched by a photographic method to form circuits, thereby forming all the insulating layers. A six-layer printed wiring board having inner via holes was obtained (Sample 2).
【0041】(評価試験)各実施例及び比較例につき、
サンプル1を用いて層間の接続抵抗値を測定した。測定
は、ミリオームメーター(横河ヒューレットパッカード
製、型番「4328A」)を使用し、ビアホールの上下
間の抵抗値を測定することにより行い、測定された抵抗
値が2mΩ以下のものを「○」、2mΩを超え3mΩ以
下のものを「△」、3mΩを超えるもの「×」と判定し
た。(Evaluation Test) For each example and comparative example,
Using Sample 1, the connection resistance between layers was measured. The measurement was performed by using a milliohm meter (manufactured by Yokogawa Hewlett-Packard, model number "4328A") and measuring the resistance value between the upper and lower sides of the via hole. Those exceeding 2 mΩ and 3 mΩ or less were judged as “Δ” and those exceeding 3 mΩ as “X”.
【0042】また、レーザー加工性評価を行った。評価
は、サンプル1の孔内壁の表面粗度を測定することによ
り行い、表面凹凸の高低差が10μm以下のものを
「○」、高低差が10〜30μmのものを「△」、高低
差が30μm以上のものを「×」と判定した。Further, laser workability was evaluated. The evaluation was performed by measuring the surface roughness of the inner wall of the hole of the sample 1. The sample having a height difference of 10 μm or less was evaluated as “「 ”, the sample having a height difference of 10 to 30 μm was evaluated as“ △ ”, Those having a size of 30 μm or more were judged as “×”.
【0043】また、サンプル2の表裏の導体回路をエッ
チング法にて全て除去し、成形性の評価を行った。評価
は目視にて行い、カスレ、ボイドが確認されなかったも
のを「○」、カスレは確認されず、0.5mm2以下の
ボイドが確認されたものを「△」、0.5mm2を超え
るボイドが確認され、あるいはカスレが確認されたもの
を「×」と判定した。Further, the conductor circuits on the front and back of Sample 2 were all removed by an etching method, and the moldability was evaluated. The evaluation was carried out by visual inspection, and “カ ス” indicates that no blur and void were confirmed, and “△” indicates that voids of 0.5 mm 2 or less were confirmed and voids of 0.5 mm 2 or less exceeded 0.5 mm 2 . Those in which voids were confirmed or in which blurring was confirmed were determined to be "x".
【0044】また、サンプル2を用い、銅箔ピール強度
及び曲げ弾性率の測定を、JIS−C6481に準拠し
て行った。Using Sample 2, the copper foil peel strength and the flexural modulus were measured in accordance with JIS-C6481.
【0045】以上の結果を表1,2に併せて示す。The above results are also shown in Tables 1 and 2.
【0046】[0046]
【表1】 [Table 1]
【0047】[0047]
【表2】 [Table 2]
【0048】これらの結果から明らかなように、ガラス
織布を用いた場合に、プリプレグの樹脂流れ性が0とな
った比較例1では接続抵抗値が悪く、且つ成形性が悪化
しており、またプリプレグの樹脂流れ性が大きい比較例
2では接続抵抗値が悪化しているものであった。またア
ラミド不織布を用いた比較例3では、接続抵抗値、レー
ザ加工性、成形性は優れているものの、銅箔ピール強度
と曲げ弾性率が低いものであった。As is apparent from these results, when the glass woven fabric was used, in Comparative Example 1 in which the resin flowability of the prepreg was 0, the connection resistance value was poor and the moldability was poor. In Comparative Example 2 in which the resin flowability of the prepreg was large, the connection resistance value was deteriorated. In Comparative Example 3 using the aramid nonwoven fabric, although the connection resistance value, the laser workability, and the moldability were excellent, the copper foil peel strength and the flexural modulus were low.
【0049】これに対して実施例1乃至11では、接続
抵抗値、レーザ加工性、成形性が充分なレベルに達する
と共に、銅箔ピール強度と曲げ弾性率も高いものであっ
た。On the other hand, in Examples 1 to 11, the connection resistance value, the laser workability and the formability reached a sufficient level, and the copper foil peel strength and the flexural modulus were high.
【0050】また、ガラス織布の厚みが0.1mmを超
える実施例10及びガラス不織布の通気度が25cm3
/cm2/sを超える実施例11に比べて、実施例1乃
至9ではレーザ加工性が特に優れたものとなった。Further, Example 10 in which the thickness of the glass woven fabric exceeds 0.1 mm and the air permeability of the glass nonwoven fabric of 25 cm 3
In Examples 1 to 9, the laser workability was particularly excellent as compared with Example 11 exceeding / cm 2 / s.
【0051】また、プリプレグ中の樹脂の130℃にお
ける溶融粘度が好適範囲よりも低い実施例3及び5と比
べて、他の実施例では接続抵抗値が特に優れたものとな
り、また、プリプレグ中の樹脂の130℃における溶融
粘度が好適範囲よりも高い実施例1及び4と比べて、他
の実施例では成形性が特に優れたものとなった。Further, as compared with Examples 3 and 5 in which the melt viscosity of the resin in the prepreg at 130 ° C. was lower than the preferred range, the connection resistance was particularly excellent in the other examples, and In comparison with Examples 1 and 4 in which the melt viscosity of the resin at 130 ° C. was higher than the preferred range, the moldability was particularly excellent in other Examples.
【0052】[0052]
【発明の効果】上記のように本発明の請求項1に係るプ
リント配線板の製造方法は、プリプレグに層間接続用の
孔加工を施し、この孔に導電性ペーストを充填した後、
プリプレグの一面又は両面に金属箔又は回路形成を施し
たコア材のいずれかを配置し、加熱加圧成形することに
より積層一体化する配線板の製造方法において、プリプ
レグとしてガラス織布に熱硬化性樹脂組成物を含浸して
作製される、樹脂流れ性が0.1〜10%のものを用い
るため、加熱加圧成形時に、プリプレグ中の樹脂の、導
電性ペーストが充填された孔への侵入や、導電性ペース
トと金属箔や導体回路等の導体層との間への侵入が抑制
されて、ビアホールを構成する導電性ペーストの金属粒
子中や、この硬化物と導体層との間等にプリプレグ中の
樹脂が侵入して硬化するような事態が発生することを防
止し、被圧縮性の低いガラス織布を用いているにもかか
わらずビアホールにより層間の導通信頼性を向上するこ
とができると共に、ピール強度及び曲げ弾性率が高いプ
リント配線板を得ることができるものである。As described above, in the method of manufacturing a printed wiring board according to the first aspect of the present invention, a hole is formed in a prepreg for interlayer connection, and the hole is filled with a conductive paste.
Either a metal foil or a core material having a circuit formed on one or both sides of the prepreg is arranged, and the laminate is integrated by heating and pressing. Since a resin having a flowability of 0.1 to 10%, which is produced by impregnating the resin composition, is used, the resin in the prepreg penetrates into the holes filled with the conductive paste during the heat and pressure molding. Intrusion between the conductive paste and the conductive layer such as a metal foil or a conductive circuit is suppressed, so that the conductive paste is formed in the metal particles of the conductive paste forming the via hole or between the cured product and the conductive layer. It is possible to prevent a situation in which the resin in the prepreg enters and hardens, and to improve the conduction reliability between the layers by using the via holes even though the glass fabric having low compressibility is used. With Peel strength and flexural modulus are those which can provide a high printed circuit board.
【0053】また請求項2の発明は、プリプレグの作製
に用いる熱硬化性樹脂組成物として、充填材を含まない
ものを用い、且つプリプレグの130℃における溶融粘
度が10000〜50000psであるものを用いるた
め、加熱加圧成形時に、プリプレグ中の樹脂の、導電性
ペーストが充填された孔への侵入や、導電性ペーストと
金属箔や導体回路等の導体層との間への侵入を、更に抑
制することができ、ビアホールにより層間の導通信頼性
を更に向上することができるものである。According to a second aspect of the present invention, as the thermosetting resin composition used for preparing the prepreg, a thermosetting resin composition containing no filler and having a melt viscosity at 130 ° C. of 10,000 to 50,000 ps is used. Therefore, at the time of heating and pressing, the resin in the prepreg is further suppressed from entering the hole filled with the conductive paste and from entering between the conductive paste and the conductor layer such as a metal foil or a conductor circuit. The via hole can further improve the reliability of conduction between the layers.
【0054】また請求項3の発明は、プリプレグの作製
に用いる熱硬化性樹脂組成物として、充填材を含むもの
を用い、且つプリプレグの130℃における溶融粘度が
1000〜20000psであるものを用いるため、加
熱加圧成形時に、プリプレグ中の樹脂の、導電性ペース
トが充填された孔への侵入や、導電性ペーストと金属箔
や導体回路等の導体層との間への侵入を、更に抑制する
ことができ、ビアホールにより層間の導通信頼性を更に
向上することができるものである。According to a third aspect of the present invention, there is provided a thermosetting resin composition containing a filler and having a melt viscosity at 130 ° C. of 1,000 to 20,000 ps as a thermosetting resin composition used for preparing a prepreg. Further, at the time of heating and pressing, the resin in the prepreg is further suppressed from entering the holes filled with the conductive paste and from entering between the conductive paste and the conductive layer such as a metal foil or a conductive circuit. The reliability of conduction between layers can be further improved by the via holes.
【0055】また請求項4の発明は、プリプレグの作製
に用いるガラス織布として、通気度25cm3/cm2
/s以下で厚みが0.1mm以下のものを用いるため、
プリプレグに対する層間接続用の孔加工をレーザー加工
にて行うにあたり、面内における組成バラツキが抑えら
れるため均一な孔加工が可能となり、信頼性の高い接続
を得ることができるものである。Further, according to the invention of claim 4, the glass woven fabric used for producing the prepreg has an air permeability of 25 cm 3 / cm 2.
/ S or less and a thickness of 0.1 mm or less are used,
When the hole processing for interlayer connection to the prepreg is performed by laser processing, in-plane composition variation is suppressed, so that uniform hole processing is possible, and a highly reliable connection can be obtained.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井原 清暁 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 Fターム(参考) 5E317 AA24 BB02 BB12 CC22 CC25 CD27 CD32 GG09 GG11 5E346 AA02 AA12 AA43 CC04 CC09 CC10 CC12 CC13 CC14 CC32 DD12 DD32 EE09 FF07 FF09 FF18 GG15 HH11 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Kiyoaki Ihara 1048 Kadoma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Works, Ltd. In the formula company F-term (reference) 5E317 AA24 BB02 BB12 CC22 CC25 CD27 CD32 GG09 GG11 5E346 AA02 AA12 AA43 CC04 CC09 CC10 CC12 CC13 CC14 CC32 DD12 DD32 EE09 FF07 FF09 FF18 GG15 HH11
Claims (4)
し、この孔に導電性ペーストを充填した後、プリプレグ
の一面又は両面に金属箔又は回路形成を施したコア材の
いずれかを配置し、加熱加圧成形することにより積層一
体化する配線板の製造方法において、プリプレグとして
ガラス織布に熱硬化性樹脂組成物を含浸して作製され
る、樹脂流れ性が0.1〜10%のものを用いることを
特徴とするプリント配線板の製造方法。A prepreg is subjected to a hole processing for interlayer connection, and after filling the hole with a conductive paste, one of the prepregs is provided with a metal foil or a core material provided with a circuit on one or both surfaces thereof, In a method of manufacturing a wiring board to be laminated and integrated by heat and pressure molding, a resin prepreg prepared by impregnating a glass woven fabric with a thermosetting resin composition and having a resin flowability of 0.1 to 10% A method for manufacturing a printed wiring board, comprising using:
組成物として、充填材を含まないものを用い、且つプリ
プレグの130℃における溶融粘度が10000〜50
000psであるものを用いることを特徴とする請求項
1に記載のプリント配線板の製造方法。2. A thermosetting resin composition used for preparing a prepreg which does not contain a filler and has a melt viscosity at 130 ° C. of 10,000 to 50 ° C.
2. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein the method uses 000 ps.
組成物として、充填材を含むものを用い、且つプリプレ
グの130℃における溶融粘度が1000〜20000
psであるものを用いることを特徴とする請求項1に記
載のプリント配線板の製造方法。3. A thermosetting resin composition used for preparing a prepreg, which contains a filler, and has a melt viscosity at 130 ° C. of 1,000 to 20,000.
2. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein the printed wiring board has a ps.
して、通気度25cm3/cm2/s以下で厚みが0.
1mm以下のものを用いることを特徴とする請求項1乃
至3のいずれかに記載のプリント配線板の製造方法。4. A glass woven fabric used for producing a prepreg, having an air permeability of 25 cm 3 / cm 2 / s or less and a thickness of 0.5 cm 3 / cm 2 / s.
The method for manufacturing a printed wiring board according to any one of claims 1 to 3, wherein one having a thickness of 1 mm or less is used.
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