JP2003344740A - 光学装置及び光学部品の接着方法 - Google Patents

光学装置及び光学部品の接着方法

Info

Publication number
JP2003344740A
JP2003344740A JP2002157644A JP2002157644A JP2003344740A JP 2003344740 A JP2003344740 A JP 2003344740A JP 2002157644 A JP2002157644 A JP 2002157644A JP 2002157644 A JP2002157644 A JP 2002157644A JP 2003344740 A JP2003344740 A JP 2003344740A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adhesive
elastic
elastic adhesive
optical component
lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002157644A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3836401B2 (ja
Inventor
Norihiko Masuda
紀彦 益田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anritsu Corp
Original Assignee
Anritsu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Anritsu Corp filed Critical Anritsu Corp
Priority to JP2002157644A priority Critical patent/JP3836401B2/ja
Publication of JP2003344740A publication Critical patent/JP2003344740A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3836401B2 publication Critical patent/JP3836401B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Lens Barrels (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】互いに熱膨張率が異なるレンズとホルダを接着
剤で一体化した光学装置において、耐熱性と耐衝撃性を
両立させ、光学部品を精密に位置決めする。 【構成】レンズ1とホルダ2の接着において、非弾性接
着部3をレンズ1の長手方向の中央に設け、これを挟む
二つの両端に弾性接着部4を設ける。非弾性接着部3は
ねじり変位を許容しない固定端となり、弾性接着部4は
ある程度のねじり変位を許容しうるローラ端となる。非
弾性接着剤Rと弾性接着剤Eが混ざらないように各部の
間のホルダ2にはスリット5が形成される。熱膨張によ
って壊れにくいレンズ1の中央部を非弾性接着部3と
し、その面積を熱膨張に耐えられる大きさに抑え、両端
を弾性接着部4としたので、全体としては支点の数が増
えて接着面積が増大して接着力が向上し、衝撃時の応力
が分散して耐衝撃性が向上した。光学部品を精密に位置
決めすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レンズのような光
学部品を被取り付け体に接着剤で接着してなる光学装置
と、レンズのような光学部品を被取り付け体に接着剤で
接着する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】通信や計測に用いられる精密な光学部品
を有する光学装置においては、光学部品を装置内の所定
位置に固定するために、当該光学部品を保持部材に対し
て接着剤で接着して固定する手法を採用する場合があ
る。
【0003】例えば、図5に本願の出願人が特願平11
−112572号で提案した光学装置である変位測定装
置を示す。この変位測定装置は、測定対象面10上に照
射された光で形成される照射点を一定の間隔で走査させ
ることにより、前記測定対象面10の変位量を非接触で
測定する装置である。
【0004】変位測定装置1の投光手段2は、レーザダ
イオード等の光源3と、偏向装置4と、収束レンズ5で
概略構成される。光源3は、偏向装置4にレーザ光を出
射する。偏向装置4は、入射したレーザ光を偏向させ、
一定のストロークでレーザ光を走査する。収束レンズ5
は、偏向装置4により扇形に走査されるレーザ光を平行
に収束させる。受光手段6は集光レンズアレイCと結像
レンズアレイFと受光素子群Pで構成される。集光レン
ズアレイCには光軸廻りに均等な結像特性を有する複数
の集光レンズC1〜Cnが照射光の走査方向に沿って構
成され、測定光を収束させる。結像レンズアレイFは光
軸廻りに均等な結像特性を有する複数の結像レンズ部F
1〜Fm(この例ではF1,F2の二つ)が、照射光の
走査方向に沿って所定数(この例では6)の集光レンズ
部C1〜C6ごとに構成される。結像レンズアレイF
は、収束された測定光を受光素子群Pの受光面P1a〜
Pma上に結像させる。受光素子群Pは結像レンズ部F
1〜Fmごとに受光素子P1〜Pmを有する。
【0005】上記構成によれば、結像レンズ部F1〜F
mが照射光の走査方向に沿って所定数の集光レンズ部C
1〜C6ごとにアレイ状に構成されているので、照射点
の走査幅が拡大され、測定対象に対して高精度で高速か
つ短時間の変位測定が可能となる。
【0006】この変位測定装置は、上述のように光学部
品として収束レンズ5、集光レンズアレイC、結像レン
ズアレイFを有しているが、これらのレンズは装置の筐
体内に配置された図示しない板状のホルダに接着剤で取
り付けられている。
【0007】図6(a)は、これらのレンズのホルダに
対する接着による取り付け構造を模式的に示したもので
あり、細長いレンズLの略中央部分の一箇所をホルダH
に非弾性接着剤Aで接着している。図6(b)はその取
り付け構造の力学的状態を示す図であり、略中央の固定
部分に対してその細長い形状の両端が自由端になってい
る。
【0008】このような接着構造にしたのは、次の理由
による。即ち、レンズLはガラス等からなるものである
のに対し、ホルダHはアルミニウム等の金属からなるも
のであり、両者は熱膨張率が相違する。このため、温度
差の生じる使用環境では接着面を許容応力に耐えうる最
小面積に抑えて部品の重心付近に集中させ、伸びによる
接着剤の剥離が起こりにくいようにする必要があるため
である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、本願発
明者は、その提案に係る前記変位測定装置で採用した光
学部品としてのレンズの接着構造において、次のような
解決すべき課題を見出すにいたった。即ち、上記レンズ
の接着構造によれば、耐熱性と耐衝撃性の両立が難し
い。つまり、前記レンズの接着方法であると、接着部分
が略中央部の1箇所だけであるため耐衝撃性が弱い。耐
衝撃性を強くするために熱膨張に強い弾性接着剤を使っ
て広い面積で支持した場合であっても、接着剤の変形に
より精密な位置決めができない。
【0010】そこで本発明は、互いに熱膨張率が異なる
光学部品と被取り付け体を接着剤で一体化した構造を有
する光学装置において、耐熱性と耐衝撃性を両立させ、
光学部品を精密に位置決めできるようにすることを目的
としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載された光
学装置は、通信や計測に用いられる精密な光学部品1,
11と、該光学部品1,11を互いの接着面7,8で接
着剤により保持する保持部材2とを有し、前記光学部品
1,11と前記保持部材2は、互いに熱膨張率が異なる
ような光学装置において、前記接着剤は、前記光学部品
1,11と前記保持部材2を固定で保持するための非弾
性接着剤R及び前記光学部品1,11と前記保持部材2
を弾性力を持って保持するとともに外部要因による両者
の位置ずれを吸収するための弾性接着剤Eであり、前記
それぞれの接着面に、前記非弾性接着剤Rを使用する一
つの非弾性接着部3と前記弾性接着剤Eを使用する一つ
以上の弾性接着部4を有することを特徴としている。
【0012】請求項2に記載された光学装置は、請求項
1記載の光学装置において、前記非弾性接着部3を挟む
二つの位置に前記弾性接着部4を設けたことを特徴とす
る。
【0013】請求項3に記載された光学装置は、請求項
1記載の光学装置において、前記光学部品の接着面上に
おける前記光学部品1の重心の位置に、前記非弾性接着
部3を配置したことを特徴とする。
【0014】請求項4に記載された光学装置は、請求項
1記載の光学装置において、前記非弾性接着部3と前記
弾性接着部4の間において、前記保持部材2に接着部分
離領域5,6を形成したことを特徴とする。
【0015】請求項5に記載された光学装置は、請求項
4記載の光学装置において、前記接着部分離領域が、前
記保持部材2に形成したスリット5又は溝6であること
を特徴とする。
【0016】請求項6に記載された光学部品の接着方法
は、熱膨張率が異なる光学部品1と保持部材2を、非弾
性接着剤Rを用いて一箇所で接着するとともに、該非弾
性接着剤Rと混ざらないように所定間隔をあけて弾性接
着剤Eを用いて一個所以上で接着したことを特徴とす
る。
【0017】請求項7に記載された光学部品の接着方法
は、請求項6記載の方法において、前記非弾性接着剤R
による一の接着位置3を挟む二つの接着位置4,4で前
記弾性接着剤Eを用いて接着したことを特徴とする。
【0018】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の一例を図1
〜図3を参照して説明する。これらの例では、光学部品
としてのレンズは前述した変位測定装置における集光レ
ンズアレイCのような細長い形状(長手形状)であるも
のとする。ここで、細長い形状(長手形状)とは、互い
に交差する縦・横・長さの3つの方向についてレンズ形
状を見た場合、縦及び横方向の寸法に比して長さ方向の
寸法が相対的に大きく、長さ方向と直交する断面形状が
長さ方向について一定か、又は長さ方向について規則的
に変化する形状であることを意味するものとする。ま
た、各例において、レンズが接着される非取り付け体と
してのホルダは、例えばアルミニウム等の材質からなる
板材である。
【0019】図1(a)は第1の例を示す。本発明によ
る光学部材の接着構造によれば、非弾性接着剤Rと弾性
接着剤Eをそれぞれ別々に使用して、それぞれ一以上の
位置でレンズ1とホルダ2を接着したものであるが、特
に本例では、非弾性接着部3をレンズ1の重心位置に対
応する長手方向の中央に設け、これを挟む二つの両端の
位置に弾性接着部4を設けたものである。
【0020】非弾性接着剤Rには、例えばアクリル系、
ウレタン系、エポキシ系等の各接着剤があり、当該接着
剤が固化した後にはレンズ1とホルダ2の非弾性接着部
3はねじり変位を許容しない固定端としての性質を呈す
る。
【0021】弾性接着剤Eには、例えばシリコン系等の
接着剤があり、当該接着剤が固化した後にはレンズ1と
ホルダ2の弾性接着部4はある程度のねじり変位を許容
しうるローラ端としての性質を呈する。
【0022】従って、本例の力学的状態を示す図1
(b)に示すように、中央の非弾性接着部3はねじりが
許容されない固定部分となり、その両端はねじりが許容
されるローラ端としての弾性接着部4になっている。
【0023】本例では、中央の前記非弾性接着部3と両
端の2つの前記弾性接着部4は、レンズ1の長手方向に
ついて並べて配置されているが、各部の間のホルダ2に
は接着部分離領域としてのスリット5が形成され、非弾
性接着剤Rと弾性接着剤Eが混ざらないようになってい
る。
【0024】これは2種類の接着剤の混合および接着面
に塗布した前処理剤の流入による接着力の低下を防ぐた
めである。すなわち、非弾性接着剤Rで接着するには、
接着面に前処理剤を塗布する場合があるが、この前処理
剤はシリコン系等の弾性接着剤Eを剥離しやすくするか
らである。
【0025】非弾性接着部3と弾性接着部4の間隔を十
分取れるのであれば、ホルダ2の同一平面上に接着部分
離領域であるスリット5を設けることなく両部を接着し
てもよいが、本例のように3つの接着部4,3,4を二
本のスリット5,5で分ければ2種類の接着剤R,Eの
混合の問題は確実に回避でき、接着工程での作業も簡単
になる。また中央の非弾性接着部3のレンズ1の長手方
向についての長さを一定に設定できるので、熱膨張に耐
えられる面積を安定して確保し、接着力を一定に管理で
きる。なお、両側の弾性接着剤Eの場合は熱に比較的強
いので、接着長さの管理は中央の非弾性接着剤Rに比べ
てさほど重要ではない。
【0026】本例のように長手形状のレンズ1を熱膨張
率の異なるホルダ2に固定した場合には、熱膨張によっ
て壊れやすいのはレンズ1を両端で固定した場合であ
り、中央で固定した場合には比較的壊れにくい。そこ
で、本例ではレンズ1の長手方向に関する重心位置であ
る中央部を非弾性接着部3とし、しかもその面積は熱膨
張に耐えられる大きさに抑え、両端を弾性接着部4とし
た。これによって全体としては支点の数が増えて接着面
積が増大して接着力が向上し、衝撃時の応力が分散して
耐衝撃性が向上した。また、各接着部3,4はスリット
5によって分離されているので、ホルダ2の熱膨張に対
して各接着部3,4が追随しうる自由度が向上する。従
って、本例によれば、耐熱性と耐衝撃性が両者共に高い
レベルで両立し、光学部品を精密に位置決めすることが
できる。
【0027】図2は第2の例を示す。本例では、ホルダ
2に設けた接着部分離領域が溝6であり、その他の点は
第1の例と同じである。なお、非弾性接着部3と弾性接
着部4を分ける接着部分離領域は、切り欠き5や溝6の
他、ホルダ2の表面に段差を介して設けた凸面部であっ
てもよい。この場合、相対的に低いホルダ2の表面と、
相対的に高い凸面部の表面に、非弾性接着部3又は弾性
接着部4が設けられる。さらに、ホルダ2の同一平面内
に設けた非弾性接着部3と弾性接着部4の間を仕切るよ
うに、接着部分離領域としてホルダ2の表面に凸状を設
けてもよい。
【0028】図3は第3の例を示す。本例では、ホルダ
2にスリット5や溝6等の接着部分離領域を設けず、板
状のホルダ2の平坦な面にレンズ1を接着したものであ
る。その他の点は第1の例と同じであるが、非弾性接着
部3と2つの弾性接着部4の間隔は十分であり、非弾性
接着剤Rと弾性接着剤Eが混ざるおそれはない。
【0029】図4は第4の例を示す。例1〜例3におい
てホルダ2に接着されるレンズ1は、長手方向に直交す
る面での断面が一定の矩形状である一様な細長い棒状で
あったが、この第4の例では、レンズ11は結像レンズ
アレイである。結像レンズアレイは、前述したように本
発明者が提案した変位測定装置でも用いられたレンズで
あって、本例では2個の結像レンズ部を走査方向となる
一方向についてアレイ状に連続させた形状のレンズであ
る。
【0030】本例では、結像レンズアレイの2つの結像
レンズ部の各一縁部に接着面となる平坦面をそれぞれ形
成し、この2つの接着面にてホルダ2の面と接着した。
1つが非弾性接着部3、他方が弾性接着部4である。
【0031】従って、本例の力学的状態を示す図4
(b)に示すように、一つの接着部分はねじりが許容さ
れない非弾性接着部3となり、他の一つの接着部分はね
じりが許容される弾性接着部4となる。
【0032】なお、本例においては、結像レンズアレイ
の2つの結像レンズ部ごとに1つの非弾性接着部3又は
1つの弾性接着部4を設けたが、図4(c)に示すよう
な構成とすることもできる。この構成では、各結像レン
ズ部ごとに非弾性接着部3及び弾性接着部4を一箇所ず
つ設け、いずれの結像レンズ部においても非弾性接着部
3を内側、弾性接着部4を外側にする。この構成によれ
ばさらに好ましい効果が得られる
【0033】以上第2〜第4の例によるレンズ1,11
の接着による取り付け構造によっても、第1の例と略同
様の作用・効果が得られる。
【0034】
【発明の効果】本発明によれば、互いに熱膨張率が異な
る光学部品と保持部材を接着剤で一体化した構造を有す
る光学装置において、一の非弾性接着部と、一以上の弾
性接着部を有しており、さらに好ましくは非弾性接着部
を挟む二つの位置に弾性接着部を設けたので、耐熱性と
耐衝撃性が両立し、光学部品を精密に位置決めすること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】分図(a)は本発明の実施の形態の第1の例を
示す斜視図であり、分図(b)は同例における力学的状
態を示す模式図である。
【図2】本発明の実施の形態の第2の例を示す斜視図で
ある。
【図3】本発明の実施の形態の第3の例を示す斜視図で
ある。
【図4】分図(a)は本発明の実施の形態の第4の例を
示す斜視図であり、分図(b)は同例における力学的状
態を示す模式図であり、分図(c)は同例の他の態様に
おける力学的状態を示す模式図である。
【図5】本願出願人が提案している光学装置としての変
位測定装置の光学部品を中心とした構成を示す説明図で
ある。
【図6】分図(a)は従来の光学部品の接着方法ないし
構造を示す斜視図であり、分図(b)は同例における力
学的状態を示す模式図である。
【符号の説明】
1…光学部品としてのレンズ、2…保持部材としてのホ
ルダ、3…非弾性接着部、4…弾性接着部、5…接着部
分離領域としてのスリット、6…接着部分離領域として
の溝、R…非弾性接着剤、E…非弾性接着剤。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 通信や計測に用いられる精密な光学部品
    (1,11)と、該光学部品を互いの接着面(7,8)
    で接着剤により保持する保持部材(2)とを有し、前記
    光学部品と前記保持部材は、互いに熱膨張率が異なるよ
    うな光学装置において、 前記接着剤は、前記光学部品と前記保持部材を固定で保
    持するための非弾性接着剤(R)及び前記光学部品と前
    記保持部材を弾性力を持って保持するとともに外部要因
    による両者の位置ずれを吸収するための弾性接着剤
    (E)であり、 前記それぞれの接着面に、前記非弾性接着剤を使用する
    一つの非弾性接着部(3)と前記弾性接着剤を使用する
    一つ以上の弾性接着部(4)を有することを特徴とする
    光学装置。
  2. 【請求項2】 前記非弾性接着部(3)を挟む二つの位
    置に前記弾性接着部(4)を設けたことを特徴とする請
    求項1記載の光学装置。
  3. 【請求項3】 前記光学部品の接着面上における前記光
    学部品(1)の重心の位置に、前記非弾性接着部(3)
    を配置したことを特徴とする請求項1記載の光学装置。
  4. 【請求項4】 前記非弾性接着部(3)と前記弾性接着
    部(4)の間において、前記保持部材(2)に接着部分
    離領域(5,6)を形成したことを特徴とする請求項1
    記載の光学装置。
  5. 【請求項5】 前記接着部分離領域が、前記保持部材
    (2)に形成したスリット(5)又は溝(6)である請
    求項4記載の光学装置。
  6. 【請求項6】 熱膨張率が異なる光学部品(1)と保持
    部材(2)を、非弾性接着剤(R)を用いて一箇所で接
    着するとともに、該非弾性接着剤と混ざらないように所
    定間隔をあけて弾性接着剤(E)を用いて一個所以上で
    接着したことを特徴とする光学部品の接着方法。
  7. 【請求項7】 前記非弾性接着剤(R)による一の接着
    位置(3)を挟む二つの接着位置(4,4)で前記弾性
    接着剤(E)を用いて接着したことを特徴とする請求項
    6記載の光学部品の接着方法。
JP2002157644A 2002-05-30 2002-05-30 光学装置 Expired - Fee Related JP3836401B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002157644A JP3836401B2 (ja) 2002-05-30 2002-05-30 光学装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002157644A JP3836401B2 (ja) 2002-05-30 2002-05-30 光学装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003344740A true JP2003344740A (ja) 2003-12-03
JP3836401B2 JP3836401B2 (ja) 2006-10-25

Family

ID=29773413

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002157644A Expired - Fee Related JP3836401B2 (ja) 2002-05-30 2002-05-30 光学装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3836401B2 (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006132265A1 (ja) * 2005-06-07 2006-12-14 Sharp Kabushiki Kaisha 集光型太陽光発電ユニットおよび集光型太陽光発電装置、ならびに集光レンズ、集光レンズ構造体、および集光レンズ構造体の製造方法
JP2006344698A (ja) * 2005-06-07 2006-12-21 Sharp Corp 集光型太陽光発電ユニットおよび集光型太陽光発電装置
JP2007108195A (ja) * 2005-10-11 2007-04-26 Mitsutoyo Corp レンズユニット
JP2013205525A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Kyocera Document Solutions Inc 光走査装置及びこれを備えた画像形成装置
CN103547206A (zh) * 2011-06-07 2014-01-29 富士胶片株式会社 电子内窥镜装置及其制造方法
JP2020034729A (ja) * 2018-08-30 2020-03-05 日本ルメンタム株式会社 光サブアセンブリ及び光モジュール
WO2023148908A1 (ja) * 2022-02-04 2023-08-10 三菱電機株式会社 光モジュール

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006132265A1 (ja) * 2005-06-07 2006-12-14 Sharp Kabushiki Kaisha 集光型太陽光発電ユニットおよび集光型太陽光発電装置、ならびに集光レンズ、集光レンズ構造体、および集光レンズ構造体の製造方法
JP2006344698A (ja) * 2005-06-07 2006-12-21 Sharp Corp 集光型太陽光発電ユニットおよび集光型太陽光発電装置
JP4732015B2 (ja) * 2005-06-07 2011-07-27 シャープ株式会社 集光型太陽光発電ユニットおよび集光型太陽光発電装置
US8237044B2 (en) 2005-06-07 2012-08-07 Sharp Kabushiki Kaisha Concentrating solar power generation unit, concentrating solar power generation apparatus, concetrating lens, concentrating lens structure, and method of manufacturing concentrating lens structure
JP2007108195A (ja) * 2005-10-11 2007-04-26 Mitsutoyo Corp レンズユニット
CN103547206A (zh) * 2011-06-07 2014-01-29 富士胶片株式会社 电子内窥镜装置及其制造方法
JP2013205525A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Kyocera Document Solutions Inc 光走査装置及びこれを備えた画像形成装置
JP2020034729A (ja) * 2018-08-30 2020-03-05 日本ルメンタム株式会社 光サブアセンブリ及び光モジュール
JP7153507B2 (ja) 2018-08-30 2022-10-14 日本ルメンタム株式会社 光サブアセンブリ及び光モジュール
WO2023148908A1 (ja) * 2022-02-04 2023-08-10 三菱電機株式会社 光モジュール
JP7395080B1 (ja) 2022-02-04 2023-12-08 三菱電機株式会社 光モジュール

Also Published As

Publication number Publication date
JP3836401B2 (ja) 2006-10-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6638151B2 (ja) 撮像装置
CN110312944B (zh) 用于光扫描仪的mems扫描模块
US20060162447A1 (en) Piezoelectric vibration gyro element, structure for supporting the piezoelectric vibration gyro element and gyro sensor
US8503837B2 (en) Compact fiber optic positioner with wide frequency bandwidth
KR20070117487A (ko) 진동자 장치, 광 편향기 및 그를 이용한 광학기기
KR101030847B1 (ko) 진동자 장치의 제조 방법
US10989896B2 (en) Adjustable mirror assembly with leaf spring element
EP1251382A1 (en) Vibrator and manufacturing method thereof
JP2003344740A (ja) 光学装置及び光学部品の接着方法
EP2916154A1 (en) Projector
EP0154473A2 (en) Fine adjustment apparatus for optical system lens
US6762492B2 (en) Semiconductor device, image scanning unit and image forming apparatus
US5913244A (en) Vibrator
JP5267370B2 (ja) 光スキャナ
CN108121047B (zh) 一种反射棱镜装置
JP3178137B2 (ja) 振動子の支持構造
JP7477159B2 (ja) 光偏向装置、光走査装置及び光走査式測距装置
US20200072607A1 (en) Sensor device and electronic apparatus
US9195059B2 (en) Optical scanner
US20130327930A1 (en) Optical encoder and lens fixing mechanism thereof
KR101667598B1 (ko) 탄화규소 반사경 체결 장치
JP2006243438A (ja) 光学装置のミラー保持具及びミラー保持構造
JP2004347896A (ja) 光学部品の固定構造、および光ヘッド装置
WO2019044697A1 (ja) センサ素子および角速度センサ
JP6944865B2 (ja) 圧電素子積層体およびそれを用いた振動発電デバイス

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050301

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060214

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060414

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060711

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060726

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090804

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100804

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110804

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110804

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120804

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120804

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130804

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees