JP2003344635A

JP2003344635A - カラーフィルタの製造方法

Info

Publication number: JP2003344635A
Application number: JP2002147548A
Authority: JP
Inventors: Susumu Sugiyama; 享杉山
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 2002-05-22
Filing date: 2002-05-22
Publication date: 2003-12-03

Abstract

(57)【要約】【課題】多色画像（画素）が形成された基板の非形成
面側から露光して画素間に遮光像を形成するセルフアラ
イメント法による場合に、既設画素への黒着色を回避
し、鮮明で色相の良好なカラーフィルタを作製するカラ
ーフィルタの製造方法を提供する。【解決手段】複数の着色感光性樹脂組成物を用いて基
板上に多色画像を形成する多色画像形成工程と、多色画
像形成工程後に熱処理を行なう工程と、熱処理後に基板
の画像形成面側に遮光性感光性樹脂組成物を設ける工程
と、基板の画像非形成面側から非画像領域の遮光性感光
性樹脂組成物を露光硬化する工程と、露光後の遮光性感
光性樹脂組成物を現像して非画像領域に遮光像を形成す
る工程とを含むカラーフィルタの製造方法であって、前
記着色感光性樹脂組成物がトリハロメチル基含有化合物
若しくはアクリジン系化合物を含み、あるいは２２０℃
以上で３０分以上の熱処理を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板の赤色(Ｒ)、
緑色(Ｇ)、青色(Ｂ)の画像（画素）が設けられていない
側から露光し、ＲＧＢ画素をマスクとして画素間に黒色
の遮光像を形成するセルフアライメント法を利用したカ
ラーフィルタの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】感光性樹脂組成物を用いた画像形成法
は、印刷配線板、印刷版、ＩＣ回路、カラープルーフ、
カラーフィルタの作製など広い分野で用いられており、
その用途、形態に応じて種々の方法があるが、いずれの
場合においても、基体上に感光性樹脂層を設ける工程、
画像様に光照射する工程、現像する工程を含むものが一
般的である。そのうち、現像工程においては、代表的な
現像液として有機溶剤系、アルカリ性水溶液または水系
に大別され、近年、作業環境、大気および水質汚濁等の
観点から、アルカリ性水溶液または水で現像可能な感光
性樹脂組成物が主流になってきている。

【０００３】感光性樹脂組成物を用いて画像（例えばカ
ラーフィルタ）を作製する場合、赤色(Ｒ)、緑色(Ｇ)、
青色(Ｂ)の各色に着色された感光性樹脂組成物を用い
て、基板上にＲＧＢパターン（画素）を形成した後、Ｒ
ＧＢパターンが形成された側に更に黒色の感光性樹脂組
成物を溶液塗布法や転写（ラミネート）法等により層状
に設け、この黒色の組成物を基板のＲＧＢ画素が形成さ
れていない裏面側から全面に均一露光し、ＲＧＢ画素自
体をマスクとしてパターン間に黒色の遮光像を形成する
ことができる（いわゆるセルフアライメント法）。

【０００４】この方法においては、ＲＧＢパターン（画
素）形成のために行なう紫外線露光や、現像処理後に硬
度を高めて各種耐性を向上させるために行なうポスト露
光（紫外線露光）を経た後であっても、感光性樹脂組成
物中に露光時の重合反応に寄与しなかった光重合開始剤
や開始剤由来のラジカルが残存している。この状態で、
上記のように基板のＲＧＢパターンを有する側におい
て、特にＲＧＢパターンを覆うように設けた黒色の感光
性樹脂組成物を露光、現像してパターン間に遮光像を形
成しようとすると、ＲＧＢパターン上に重なった黒色の
感光性樹脂組成物の一部が残存する光重合開始剤等の影
響を受けて硬化し、パターン（画素）上に残留してしま
うといった問題があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようなセルフアライメント法を利用してＲＧＢパターン
（画素）間に黒色の遮光像を形成する場合に、各色のパ
ターン上に黒着色を伴うことなく、黒色の遮光像を形成
することが可能な技術は、確立されるに至っていないの
が現状である。この黒着色は、作製されるカラーフィル
タなどの、画像のコントラストや鮮明性、明るさ等を低
下させる一因となる。

【０００６】上記事情に鑑みて、本発明は下記目的を達
成することを課題とする。即ち、本発明は、基板の多色
パターン（画素）が形成された側に更に黒色の感光性樹
脂組成物を設け、多色画素の非形成側から基板を通して
露光し多色画素間に黒色の遮光像を形成するセルフアラ
イメント法による場合に、既設の多色画素への黒着色を
回避し、鮮明で色相の良好なカラーフィルタを作製し得
るカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、セルフア
ライメント法を利用したカラーフィルタの製造技術に関
する検討を重ねた結果、各色画素に現れる黒着色の問題
の解消には、多色画像を形成する画像形成工程を完了し
た後において、画素（組成物）中に光重合開始剤やラジ
カルが存在しないようにすること、即ち画像形成工程後
に所定の熱処理（ベーク処理）を行なって残存する光重
合開始剤や開始剤由来のラジカルを熱重合で消費するこ
とが、製造コスト、工程の簡易化の観点からも有効であ
るとの知見を得た。かかる知見、並びに熱処理の温度、
時間は低く短い方が望ましいこと等に基づいて、本発明
は、黒着色の程度や工程負荷のバランスを考慮して達成
されたものである。

【０００８】前記課題を解決するための具体的手段は以
下の通りである。＜１＞着色感光性樹脂組成物を基板上に設け、該着色
感光性樹脂組成物を画像様に露光し、現像する画像形成
工程を、互いに異なる色相に着色された複数の着色感光
性樹脂組成物を用いて繰り返し、多色画像を形成する多
色画像形成工程と、前記基板の多色画像が形成された側
に、更に遮光性感光性樹脂組成物を層状に設ける遮光性
層形成工程と、前記基板の多色画像が形成されていない
側から、多色画像が設けられていない領域の前記遮光性
感光性樹脂組成物を露光し、硬化する裏面露光工程と、
露光後の遮光性感光性樹脂組成物を現像し、前記領域に
遮光像を形成する遮光像形成工程と、を含むカラーフィ
ルタの製造方法において、前記着色感光性樹脂組成物
が、トリハロメチル基含有化合物およびアクリジン系化
合物の少なくとも一種を含有し、かつ前記多色画像形成
工程と遮光性層形成工程との間に熱処理を行なう熱処理
工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方
法である。

【０００９】＜２＞熱処理温度が１８０℃以上であ
り、熱処理時間が２０分以上である前記＜１＞に記載の
カラーフィルタの製造方法である。＜３＞熱処理温度が２２０℃以上であり、熱処理時間
が４０分以上である前記＜１＞に記載のカラーフィルタ
の製造方法である。＜４＞着色感光性樹脂組成物が、多官能性モノマー、
バインダー、顔料、並びに紫外線吸収剤及び／又は紫外
線吸収剤前駆体を更に含む前記＜１＞〜＜３＞のいずれ
か１項に記載のカラーフィルタの製造方法である。

【００１０】＜５＞着色感光性樹脂組成物を基板上に
設け、該着色感光性樹脂組成物を画像様に露光し、現像
する画像形成工程を、互いに異なる色相に着色された複
数の着色感光性樹脂組成物を用いて繰り返し、多色画像
を形成する多色画像形成工程と、前記基板の多色画像が
形成された側に、更に遮光性感光性樹脂組成物を層状に
設ける遮光性層形成工程と、前記基板の多色画像が形成
されていない側から、多色画像が設けられていない領域
の前記遮光性感光性樹脂組成物を露光し、硬化する裏面
露光工程と、露光後の遮光性感光性樹脂組成物を現像
し、前記領域に遮光画像を形成する遮光像形成工程と、
を含むカラーフィルタの製造方法において、前記多色画
像形成工程と遮光性層形成工程との間に、温度２２０℃
以上で３０分以上の熱処理を行なう熱処理工程を有する
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。

【００１１】＜６＞着色感光性樹脂組成物が、光重合
開始剤、多官能性モノマー、バインダー、顔料、並びに
紫外線吸収剤及び／又は紫外線吸収剤前駆体を含む前記
＜５＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。

【発明の実施の形態】本発明のカラーフィルタの製造方
法は、多色画像形成後の遮光性層形成前に所定の熱処理
を施すことを特徴とし、好ましくは、多色画像の形成に
用いる着色感光性樹脂組成物がトリハロメチル基含有化
合物及び／又はアクリジン系化合物を含有する。以下、
本発明のカラーフィルタの製造方法ついて詳細に説明す
る。

【００１２】−第一の態様− 本発明のカラーフィルタの製造方法の第一の態様は、ト
リハロメチル基含有化合物およびアクリジン系化合物の
少なくとも一種を含有する着色感光性樹脂組成物を複数
種用いて基板上に多色画像を形成する多色画像形成工程
と、多色画像形成工程の後に熱処理を行なう熱処理工程
と、熱処理した後、前記基板の多色画像が形成された側
（以下、画像形成面側ともいう。）に更に遮光性感光性
樹脂組成物を層状に設ける遮光性層形成工程と、前記基
板の多色画像が形成されていない側（以下、画像非形成
面側ともいう。）から、多色画像が設けられていない領
域（以下、非画像部ともいう。）の遮光性感光性樹脂組
成物を露光し、硬化する裏面露光工程と、露光後の遮光
性感光性樹脂組成物を現像し、非画像部に遮光像を形成
する遮光像形成工程と、を含んで構成したものである。

【００１３】〈多色画像形成工程〉多色画像形成工程に
おいては、トリハロメチル基含有化合物およびアクリジ
ン系化合物の少なくとも一種を含有する着色感光性樹脂
組成物を基板上に設け、該着色感光性樹脂組成物を画像
様に露光し、現像する画像形成工程を、互いに異なる色
相に着色された複数の着色感光性樹脂組成物を用いて繰
り返し、多色画像を形成する。

【００１４】着色感光性樹脂組成物は、カラーフィルタ
の形成用材料として好適であり、基板上に着色感光性樹
脂組成物の溶液（塗布液）を塗布、乾燥して設ける方法
のほか、予め仮支持体上に着色感光性樹脂組成物を層状
に設けてなる層（感光性樹脂層）を有する感光性転写材
料の該感光性樹脂層を転写する方法により設けることが
できる。中でも、工程の安定性、膜厚の均一性等の観点
から、転写する方法が好ましい。着色感光性樹脂組成物
についての詳細は後述する。

【００１５】赤色、緑色、青色等の顔料、染料等の着色
材料を添加し着色された着色感光性樹脂組成物を用い
て、画像形成工程、即ち透明性の基板上に着色感光性樹
脂組成物を層状に設け、該層に対して露光、現像する工
程を施すことにより着色画像（画素）を形成することが
できる。現像は、重合硬化されていない領域を適当なア
ルカリ現像液で洗い去ることによって行われる。このと
き、互いに色相の異なる複数の着色感光性樹脂組成物を
用いて、上記の画像形成工程を色相分だけ繰り返し行な
うことによって複数色からなる多色画像（カラーフィル
タ）を形成することができる。

【００１６】着色感光性樹脂組成物は、透明性の基板上
に二種以上の画像（画素）を形成した後、基板の前記画
素の形成されていない側から露光する方法により前記画
素を遮光マスクとして利用することができる。この場
合、全面露光する場合にはマスクの位置合わせの工程が
不要となり、これらの位置ズレ等の不安が解消される。
そして、前記多色画素が形成されていない部分の全て
を、画素間に隙間なく硬化させることが可能である。

【００１７】即ち、赤、緑、青等に着色された着色感光
性樹脂組成物を用いて上記同様に画像形成工程を複数回
繰り返し、赤色(Ｒ)、緑色(Ｇ)、青色(Ｂ)等の画素を形
成する。その後、以下で詳細に説明するように、形成さ
れたＲＧＢ画素上の全面に、例えば黒色の顔料、染料等
を添加した遮光性感光性樹脂組成物を更に設ける。これ
に、ＲＧＢ画素が設けられていない側の基板面から、例
えば全面に一様の露光を施すことで、ＲＧＢ画素間に黒
色の遮光像を隙間なく形成することができる。

【００１８】本態様では、着色感光性樹脂組成物には、
トリハロメチル基含有化合物およびアクリジン系化合物
の少なくとも一種が含有される。従来から、これらを光
重合開始剤として含む着色感光性樹脂組成物を用いてＲ
ＧＢ画素を形成した場合、形成されたＲＧＢ画素上には
特に黒着色が生じ易く、カラーフィルタの基本的性能
（鮮明性、色層等）を損なう要因となっていたが、本態
様では、後述の熱処理工程を導入することで最終的にＲ
ＧＢ画素への黒着色のないカラーフィルタを作製するこ
とができる。

【００１９】カラーフィルタを構成する基板としては、
金属性支持体、金属張り合わせ支持体、ガラス、セラミ
ック、合成樹脂フィルム等を使用することができる。特
に、透明性で寸度安定性の良好なガラスや合成樹脂フィ
ルムが好ましい。また、携帯性及び強度の観点からはプ
ラスチック製基板が好ましく、例えば、ポリエステルフ
ィルム、ポリアリレートフィルム、ポリカーボネートフ
ィルム、ポリイミドフィルム、アクリレート樹脂フィル
ム、ポリエステルサルフォンフィルム等で、膜厚が５０
〜２５０μｍのものが好適である。

【００２０】前記着色感光性樹脂組成物を基板上に層状
に設ける場合、設けられた感光性樹脂層の層厚として
は、通常０．１〜５０μｍであり、特に好ましくは１〜
５μｍである。

【００２１】以下、感光性転写材料を用いたカラーフィ
ルタの製造例を示す。着色感光性樹脂組成物が、仮支持
体の上に直接、または酸素遮断層、剥離層、若しくは剥
離層及び酸素遮断層や、アルカリ可溶性の熱可塑性樹脂
層及び中間層を介在して層状に設けられ、更に該層上に
カバーシートが積層された感光性転写材料を用意する
（感光性転写材料の詳細は後述する。）。まず、カバー
シートを剥離除去した後、露出した感光性樹脂層の表面
を永久支持体（基板）上に貼り合わせ、ラミネータ等を
通して加熱、加圧して積層する。ラミネータには、従来
公知のラミネーター、真空ラミネーター等の中から適宜
選択したものが使用でき、より生産性を高めるには、オ
ートカットラミネーターも使用可能である。

【００２２】次いで、酸素遮断層、剥離層等があるとき
にはそれらの層と仮支持体との間で、剥離層及び酸素遮
断層があるときには剥離層と酸素遮断層との間で、剥離
層も酸素遮断層もないときには仮支持体と感光性樹脂層
との間で剥離し、仮支持体を除去する。続いて、仮支持
体除去後の除去面の上方に所望のフォトマスクを配置
し、光源より紫外線を照射し、照射後所定の処理液を用
いて現像処理する。現像処理に用いる現像液としては、
アルカリ性物質の希薄水溶液が用いられるが、更に水と
混和性の有機溶剤を少量添加したものでもよい。

【００２３】適当なアルカリ性物質としては、アルカリ
金属水酸化物類（例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カ
リウム）、アルカリ金属炭酸塩類（例えば、炭酸ナトリ
ウム、炭酸カリウム）、アルカリ金属重炭酸塩類（例え
ば、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム）、アルカ
リ金属ケイ酸塩類（例えば、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸
カリウム）、アルカリ金属メタケイ酸塩類（例えば、メ
タケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム）、トリエタ
ノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールア
ミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒド
ロキシド類（例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロ
キシド）、燐酸三ナトリウム、等が挙げられる。アルカ
リ性物質の濃度は、０．０１〜３０質量％が好ましく、
ｐＨは８〜１４が好ましい。

【００２４】前記「水と混和性の有機溶剤」としては、
例えば、メタノール、エタノール、２−プロパノール、
１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコー
ル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレン
グリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモ
ノｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセト
ン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプ
ロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミ
ド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミ
ド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ
−メチルピロリドン等が好適に挙げられる。水と混和性
の有機溶剤の濃度は０．１〜３０質量％が好ましい。更
に、公知の界面活性剤を添加することもでき、該界面活
性剤の濃度としては０．０１〜１０質量％が好ましい。

【００２５】前記現像液は、浴液としても、あるいは噴
霧液としても用いることができる。感光性樹脂層の未硬
化部分を除去する場合、現像液中で回転ブラシや湿潤ス
ポンジで擦るなどの方法を組合わせることができる。現
像液の液温度は、通常室温付近から４０℃が好ましい。
現像時間は、着色感光性樹脂組成物の種類、現像液のア
ルカリ性や温度、有機溶剤を添加する場合にはその種類
と濃度、等に依るが、通常１０秒〜２分程度である。短
すぎると非露光部の現像が不十分となると同時に紫外線
の吸光度も不十分となることがあり、長すぎると露光部
もエッチングされることがある。現像処理の後に水洗工
程を入れることも可能である。

【００２６】画像様の光照射に用いる光源としては、中
圧〜超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドラ
ンプ等が挙げられる。

【００２７】以上のようにして、単色の画像を基板上に
形成することができ、同様の操作を色相の異なる感光性
転写材料を用いて繰り返すことにより所望の色相数から
なるカラーフィルタを形成することができる。尚、本例
は、感光性転写材料を用いた態様であるが、着色感光性
樹脂組成物を基板上に直接塗布等して層状に設ける場合
も同様に行なうことができる。

【００２８】〈熱処理工程〉熱処理工程においては、少
なくとも前記多色画像形成工程で形成された多色画像の
熱処理を行なう。基板上に形成された多色画像が、特に
光重合開始剤としてトリハロメチル基含有化合物やアク
リジン系化合物を含有する組成物を用いて形成された場
合でも、後述するように遮光像を形成するにあたって多
色画像上が黒着色するのを効果的に防止することができ
る。また同時に、紫外線吸収剤前駆体を含むときには、
該紫外線吸収剤前駆体を分解して紫外線吸収剤に変化さ
せる。

【００２９】また、本工程は、形成された画像（画素）
上に黒色の着色感光性樹脂組成物を設ける前に設けられ
ばよく、多色画像形成後に他の工程が介在してもよい。

【００３０】熱処理するときの条件は、黒着色の程度と
生産時間や処理温度等の工程負荷などとのバランスを考
慮して定めることが望ましい。具体的には、温度１８０
℃以上かつ２０分間以上であることが好ましく、温度２
２０℃以上かつ４０分間以上であることがより好まし
い。前記温度が１８０℃未満であったり、処理時間が２
０分未満であると、熱重合が不完全で遮光像を形成した
ときの黒着色を防止できないことがある。一方、あまり
過酷な条件では、生産性、製造コスト、工程設備等の点
で望ましくないため、温度２８０℃未満かつ１５０分間
未満とすることが好ましい。

【００３１】また、前記「多色画像形成工程」での露光
前における感光性樹脂層の３６５ｎｍの透過率Ｔ^fと、
上記の熱処理後における３６５ｎｍの透過率Ｔ^aとの比
（Ｔ^f：Ｔ^a）としては、１：０．９９〜１：０．０００
０１が好ましく、１：０．５〜１：０．００００１がよ
り好ましく、１：０．１〜１：０．００００１が特に好
ましい。また、最終的に熱処理後の画素の３６５ｎｍに
おける透過率は、２％以下であることが好ましい。２％
を超えると後の「裏面露光工程」におけるフォトマスク
としての機能が低下することがある。したがって、紫外
線吸収剤及び／又は紫外線吸収剤前駆体を含有する場
合、前記透過率が２％以下となるよう添加することが好
ましい。

【００３２】熱処理する手段としては、コンベクション
オーブン、ホットプレート、赤外線ヒーター等の公知の
加熱可能な機器を適宜選択して使用することができる。

【００３３】本工程により、遮光性感光性樹脂組成物が
多色画像上に設けられる前に、予め多色画像中に存在す
る光重合開始剤や開始剤由来のラジカルを更に熱重合さ
せて消費するので、後に遮光像が形成された後において
も多色画像への黒着色を防止することができる。しか
も、更に重合が促進される結果、膜強度や耐薬品性等の
諸耐性をも向上させることができる。

【００３４】〈遮光性層形成工程〉遮光性層形成工程に
おいては、前記基板の多色画像が形成された側に、更に
遮光性感光性樹脂組成物を層状に設ける。遮光性感光性
樹脂組成物は、基本的に黒色系に着色されること以外は
前記着色感光性樹脂組成物とほぼ同様に構成することが
でき、その詳細については後述する。

【００３５】遮光性感光性樹脂組成物は、基板上に遮光
性感光性樹脂組成物の溶液（塗布液）を塗布、乾燥して
設ける方法のほか、予め仮支持体上に遮光性感光性樹脂
組成物を層状に設けてなる層（黒色感光性樹脂層）を有
する感光性転写材料の該黒色感光性樹脂層を転写する方
法により設けることができる。塗布よる場合、スピナ
ー、ホワイラー、ローラーコーター、カーテンコータ
ー、ナイフコーター、ワイヤーバーコーター、エクスト
ルーダー等を用いて行なえる。

【００３６】具体的には、前記多色画像形成工程で形成
された多色画像を有する基板の画像形成面側において、
例えば多色画像の上から覆うようにして遮光性感光性樹
脂組成物を積層して設け、黒色感光性樹脂層を形成す
る。この黒色感光性樹脂層の層厚としては、前記多色画
像形成の際に用いた着色感光性樹脂組成物を層状に形成
する場合と同様に、通常０．１〜５０μｍであり、特に
好ましくは１〜５μｍである。

【００３７】〈裏面露光工程〉裏面露光工程において
は、前記基板の多色画像が形成されていない画像非形成
面側から、多色画像が設けられていない領域（非画像
部）の遮光性感光性樹脂組成物を露光し、硬化する。

【００３８】露光は、画像非形成面側から均一に行える
態様であれば、全面に一括して行なってもよいし、複数
に分割して行なってもよい。ここで用いる光源として
は、超高圧水銀灯、キセノン灯、カーボンアーク灯、ア
ルゴンレーザー等が好適に挙げられる。また、特願平４
−１５０６９１号公報に記載の、４００ｎｍ以上の波長
の光透過率が２％以下である光学フィルター等を併用し
てもよい。

【００３９】基板の非画像部では、多色画像が形成され
た基板の画像非形成面側から、その多色画像をマスクと
して、画像形成面側において多色画像を介在せず基板表
面に直に設けられた遮光性感光性樹脂組成物への露光が
基板を通して行なわれる。このとき、多色画像を介在し
て多色画像上に設けられた遮光性感光性樹脂組成物は、
多色画像で光吸収されることによって露光、硬化されな
い。

【００４０】これにより、非画像部における遮光性感光
性樹脂組成物は、重合硬化して画素間の遮光像として機
能する。一方、多色画像上の組成物は、後の現像により
除去される。

【００４１】〈遮光像形成工程〉遮光像形成工程におい
ては、露光後の遮光性感光性樹脂組成物を現像し、多色
画像が設けられていない領域（非画像部）に遮光像を形
成する。本工程では、既述の多色画像形成工程で使用可
能なものと同様の現像液を用いて、多色画像上に設けら
れた遮光性感光性樹脂組成物を現像除去する。

【００４２】これにより、画素間となる非画像部に黒色
の遮光像を隙間なく形成することができる。このとき、
既述の熱処理工程によって既設の多色画像中の光重合開
始剤や開始剤由来のラジカルは消費されているため、多
色画像上に黒着色が生ずることもない。

【００４３】−第二の態様− 本発明のカラーフィルタの製造方法の第二の態様は、既
述の第一の態様と同様の多色画像形成工程と、多色画像
形成工程の後に、温度２２０℃以上で３０分以上の熱処
理を行なう熱処理工程と、熱処理した後、画像形成面側
に更に遮光性感光性樹脂組成物を層状に設ける遮光性層
形成工程と、前記基板の画像非形成面側から非画像部の
遮光性感光性樹脂組成物を露光し、硬化する裏面露光工
程と、露光後の遮光性感光性樹脂組成物を現像し、非画
像部に遮光像を形成する遮光像形成工程と、を含んで構
成したものである。

【００４４】〈熱処理工程〉本態様の熱処理工程におい
ては、少なくとも多色画像形成工程で形成された多色画
像の熱処理を、温度２２０℃以上で３０分以上の条件で
行なう。熱処理は、前記第一の態様と同様の手段を用い
て行うことができる。

【００４５】前記条件が上記範囲にないと、熱重合が不
完全で遮光像を形成したときの黒着色を防止することが
できない。特に、温度２２０℃以上かつ４０分間以上と
することが好ましい。一方、あまり過酷な条件では、生
産性、製造コスト、工程設備等の点で望ましくないた
め、温度２８０℃未満かつ１５０分間未満とすることが
好ましい。

【００４６】また、本態様における多色画像形成工程、
遮光性層形成工程、裏面露光工程、及び遮光像形成工程
についての詳細は、既述の第一の態様と同様である。

【００４７】−感光性樹脂組成物− 次に、本発明に係る着色感光性樹脂組成物、遮光性感光
性樹脂組成物について説明する。尚、着色材料を除いて
は、基本的に着色感光性樹脂組成物と遮光性感光性樹脂
組成物は同様に構成することができる（以下、両者を総
じて、単に「感光性樹脂組成物」ということがあ
る。）。

【００４８】感光性樹脂組成物は、光重合開始剤と多官
能性モノマーとバインダーと着色材料と紫外線吸収剤及
び／又は紫外線吸収剤前駆体とを少なくとも含んで構成
することができ、必要に応じて他の成分を含んでいても
よい。以下、各成分について詳述する。

【００４９】〈光重合開始剤〉光重合開始剤としては、
可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、Ｘ線等の放射線
の照射（露光ともいう）により、後述の多官能性モノマ
ーの重合を開始する活性種を発生し得る化合物であり、
公知の光重合開始剤若しくは光重合開始剤系の中から適
宜選択することができる。

【００５０】例えば、トリハロメチル基含有化合物、ア
クリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダ
ゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化
合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合
物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ
系化合物、等を挙げることができる。

【００５１】具体的には、特開２００１−１１７２３０
公報に記載の、トリハロメチル基が置換したトリハロメ
チルオキサゾール誘導体又はｓ−トリアジン誘導体、米
国特許第４２３９８５０号明細書に記載のトリハロメチ
ル−ｓ−トリアジン化合物、米国特許第４２１２９７６
号明細書に記載のトリハロメチルオキサジアゾール化合
物などのトリハロメチル基含有化合物；

【００５２】９−フェニルアクリジン、９−ピリジルア
クリジン、９−ピラジニルアクリジン、１，２−ビス
（９−アクリジニル）エタン、１，３−ビス（９−アク
リジニル）プロパン、１，４−ビス（９−アクリジニ
ル）ブタン、１，５−ビス（９−アクリジニル）ペンタ
ン、１，６−ビス（９−アクリジニル）ヘキサン、１，
７−ビス（９−アクリジニル）ヘプタン、１，８−ビス
（９−アクリジニル）オクタン、１，９−ビス（９−ア
クリジニル）ノナン、１，１０−ビス（９−アクリジニ
ル）デカン、１，１１−ビス（９−アクリジニル）ウン
デカン、１，１２−ビス（９−アクリジニル）ドデカン
等のビス（９−アクリジニル）アルカン、などのアクリ
ジン系化合物；

【００５３】６−（ｐ−メトキシフェニル）−２，４−
ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、６−〔ｐ
−（Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミ
ノ）フェニル〕−２，４−ビス（トリクロロメチル）−
ｓ−トリアジンなどのトリアジン系化合物；そのほか、
９，１０−ジメチルベンズフェナジン、ミヒラーズケト
ン、ベンゾフェノン／ミヒラーズケトン、ヘキサアリー
ルビイミダゾール／メルカプトベンズイミダゾール、ベ
ンジルジメチルケタール、チオキサントン／アミン、
２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，
４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダ
ゾールなどが挙げられる。

【００５４】上記のうち、トリハロメチル基含有化合
物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビ
イミダゾール系化合物、トリアジン系化合物から選択さ
れる少なくとも一種が好ましく、特に既述の第一の態様
においては、トリハロメチル基含有化合物およびアクリ
ジン系化合物から選択される少なくとも一種を含有す
る。トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物
は、汎用性でかつ安価である点でも有用である。第一の
態様では、更に上記の他の光重合開始剤を併用してもよ
い。

【００５５】特に好ましいのは、トリハロメチル基含有
化合物としては、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−ス
チリルスチリル）−１，３，４−オキサジアゾールであ
り、アクリジン系化合物としては、９−フェニルアクリ
ジンであり、更に、６−〔ｐ−（Ｎ，Ｎ−ビス（エトキ
シカルボニルメチル）アミノ）フェニル〕−２，４−ビ
ス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−
ブトキシスチリル）−５−トリクロロメチル−１，３，
４−オキサジアゾールなどのトリハロメチル基含有化合
物、及びミヒラーズケトン、２，２’−ビス（２，４−
ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェ
ニル−１，２’−ビイミダゾールである。

【００５６】前記光重合開始剤は、単独で用いてもよい
し、２種以上を併用してもよい。前記光重合開始剤の感
光性樹脂組成物における総量としては、感光性樹脂組成
物の全固形分（質量）の０．１〜２０質量％が好まし
く、０．５〜１０質量％が特に好ましい。前記総量が、
０．１質量％未満であると、組成物の光硬化の効率が低
く露光に長時間を要することがあり、２０質量％を越え
ると、形成された画像の下部に削れが生じやすくなるこ
とがある。

【００５７】前記光重合開始剤は、水素供与体を併用し
て構成されてもよい。該水素供与体としては、感度をよ
り良化することができる点で、以下で定義するメルカプ
タン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。ここでの
「水素供与体」とは、露光により前記ビイミダゾール系
化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与
することができる化合物をいう。

【００５８】前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環
あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメル
カプト基を１個以上、好ましくは１〜３個、更に好まし
くは１〜２個有する化合物（以下、「メルカプタン系水
素供与体」という）である。また、前記アミン系化合物
は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直
接結合したアミノ基を１個以上、好ましくは１〜３個、
更に好ましくは１〜２個有する化合物（以下、「アミン
系水素供与体」という）である。尚、これらの水素供与
体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有していても
よい。

【００５９】上記のメルカプタン系水素供与体の具体例
としては、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メル
カプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミ
ダゾール、２，５−ジメルカプト−１，３，４−チアジ
アゾール、２−メルカプト−２，５−ジメチルアミノピ
リジン、等が挙げられる。これらのうち、２−メルカプ
トベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾー
ルが好ましく、特に２−メルカプトベンゾチアゾールが
好ましい。

【００６０】上記のアミン系水素供与体の具体例として
は、４、４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノ
ン、４、４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノ
ン、４−ジエチルアミノアセトフェノン、４−ジメチル
アミノプロピオフェノン、エチル−４−ジメチルアミノ
ベンゾエート、４−ジメチルアミノ安息香酸、４−ジメ
チルアミノベンゾニトリル等が挙げられる。これらのう
ち、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノ
ン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン
が好ましく、特に４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベ
ンゾフェノンが好ましい。

【００６１】前記水素供与体は、単独でまたは２種以上
を混合して使用することができ、形成された画像（画
素）が現像時に基板から脱落し難く、かつ強度および感
度も向上させ得る点で、１種以上のメルカプタン系水素
供与体と１種以上のアミン系水素供与体とを組合せて使
用することが好ましい。

【００６２】前記メルカプタン系水素供与体とアミン系
水素供与体との組合せの具体例としては、２−メルカプ
トベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジメチルアミ
ノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾチアゾール
／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、
２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス
（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベ
ンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）
ベンゾフェノン等が挙げられる。より好ましい組合せ
は、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス
（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベ
ンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）
ベンゾフェノンであり、特に好ましい組合せは、２−メ
ルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチル
アミノ）ベンゾフェノンである。

【００６３】前記メルカプタン系水素供与体とアミン系
水素供与体とを組合せた場合の、メルカプタン系水素供
与体（Ｍ）とアミン系水素供与体（Ａ）との重量比
（Ｍ：Ａ）は、通常１：１〜１：４が好ましく、１：１
〜１：３がより好ましい。前記水素供与体の感光性樹脂
組成物における総量としては、感光性樹脂組成物の全固
形分（質量）の０．１〜２０質量％が好ましく、０．５
〜１０質量％が特に好ましい。

【００６４】〈多官能性モノマー〉多官能性モノマーと
しては、下記化合物を単独で又は他のモノマーとの組合
わせて使用することができる。具体的には、ｔ−ブチル
（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）
アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリ
レート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、２−エチル−２−ブチル−プロパンジオールジ（メ
タ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）
アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）ア
クリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）ア
クリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）ア
クリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパ
ントリ（メタ）アクリレート、トリス（２−（メタ）ア
クリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、１，４−
ジイソプロペニルベンゼン、１，４−ジヒドロキシベン
ゼンジ（メタ）アクリレート、デカメチレングリコール
ジ（メタ）アクリレート、スチレン、ジアリルフマレー
ト、トリメリット酸トリアリル、ラウリル（メタ）アク
リレート、（メタ）アクリルアミドまたはキシリレンビ
ス（メタ）アクリルアミドが含まれる。

【００６５】また、２−ヒドロキシエチル（メタ）アク
リレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレー
ト、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート
等のヒドロキシル基を有する化合物とヘキサメチレンジ
イソシアネート、トルエンジイソシアネート、キシレン
ジイソシアネート等のジイソシアネートとの反応物も使
用できる。

【００６６】これらのうち、特に好ましいのは、ペンタ
エリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリ
トールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペ
ンタアクリレート、トリス（２−アクリロイルオキシエ
チル）イソシアヌレートである。

【００６７】前記多官能性モノマーの感光性樹脂組成物
における含有量としては、感光性樹脂組成物の全固形分
（質量）に対して、５〜８０質量％が好ましく、１０〜
７０質量％が特に好ましい。前記含有量が、５質量％未
満であると、組成物の露光部でのアルカリ現像液への耐
性が劣ることがあり、８０質量％を越えると、感光性樹
脂層としたときのタッキネスが増加してしまい、取扱い
性に劣ることがある。

【００６８】〈バインダー〉バインダーとしては、顔料
分散性が良く、また、前記多官能性モノマーおよび光重
合開始剤との相溶性が良く、アルカリ現像液溶解性、塗
布液調製時の有機溶剤溶解性、強度、軟化温度等が適当
であるものが好ましい。例えば、（メタ）アクリル酸と
（メタ）アクリル酸エステルとの共重合体、スチレン／
無水マレイン酸共重合体、及び該共重合体とアルコール
類との反応物等が好適に挙げられる。その中でも、（メ
タ）アクリル酸と（メタ）アクリル酸エステルとの共重
合体等のアクリレート系樹脂がより好ましい。分子量と
しては、５０００〜２０００００が好ましい。バインダ
ーの着色感光性樹脂組成物における含有量としては、全
固形分の２０〜８０質量％が好ましい。

【００６９】〈顔料〉顔料は、感光性層中に均一に分散
されており、５μｍ以下の粒径のものが好ましく、粒径
が１μｍ以下のものがより好ましく、０．５μｍ以下の
粒径のものが特に好ましい。

【００７０】前記顔料の具体例としては、ビクトリア・
ピュアーブルーＢＯ（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、オーラミ
ン（Ｃ．Ｉ．４１０００）、ファット・ブラックＨＢ
（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、モノライト・イエローＧＴ
（Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２）、パーマネント・
イエローＧＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１７）、
パーマネント・イエローＨＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・イ
エロー８３）、パーマネント・カーミンＦＢＢ（Ｃ．
Ｉ．ピグメント・レッド１４６）、ホスターバームレッ
ドＥＳＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット１９）、
パーマネント・ルビーＦＢＨ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レ
ッド１１）ファステル・ピンクＢスプラ（Ｃ．Ｉ．ピグ
メント・レッド８１）モナストラル・ファースト・ブル
ー（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５）、モノライト・
ファースト・ブラックＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラッ
ク１）、及びカーボンが好適に挙げられる。

【００７１】黄色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイ
エロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２４、Ｃ．
Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエ
ロー８６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９３、Ｃ．Ｉ．
ピグメントイエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロ
ー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１７、Ｃ．
Ｉ．ピグメントイエロー１２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイ
エロー１３７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメン
トイエロー１４７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４
８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントイエロー、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５４、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメン
トイエロー１６８等が好ましい。

【００７２】オレンジ顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメン
トオレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５１、Ｃ．Ｉ．ピグメント
オレンジ５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５９、Ｃ．
Ｉ．ピグメントオレンジ６１等が好ましい。

【００７３】赤色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレ
ッド９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２
３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメント
レッド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１５、Ｃ．
Ｉ．ピグメントレッド２１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッ
ド２１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２０、Ｃ．Ｉ．
ピグメントレッド２２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２
２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２６、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントレッド２２７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２
８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４０、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントレッド４８：１等が好ましい。

【００７４】バイオレット顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレ
ット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９、Ｃ．
Ｉ．ピグメントバイオレット３０、Ｃ．Ｉ．ピグメント
バイオレット３７、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット４
０、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット５０等が好まし
い。

【００７５】青色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブ
ルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．
Ｉ．ピグメントブルー２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー
６０、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６４等が好ましい。緑
色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．
Ｉ．ピグメントグリーン３６等が好ましい。ブラウン顔
料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．
Ｉ．ピグメントブラウン２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラ
ウン２６等が好ましい。黒色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントブラック７等が好ましい。

【００７６】前記顔料は、単独で使用しても、混合して
使用してもよく、その含有量は、着色感光性樹脂組成物
の全固形分に対して、０〜７０質量％が好ましく、０〜
５０質量％がより好ましい。

【００７７】〈紫外線吸収剤及び／又は紫外線吸収剤前
駆体〉紫外線吸収剤としては、下記一般式（Ｉ）で表さ
れるクマリン系化合物を用いることが好ましい。下記一
般式（Ｉ）で表されるクマリン系化合物は、光吸収性が
良好で、着色感光性組成物の光重合を阻害することがな
い。

【００７８】

【化１】

【００７９】前記一般式（Ｉ）において、Ｒ¹は、少な
くとも１つのヒドロキシアルキル基で置換されたアミノ
基、又は前記一般式（II）で表される基を表す。Ｒ
²は、水素原子、アルキル基、アラルキル基、アリール
基、アルコキシ基、アラルキルオキシ基、アリールオキ
シ基、ハロゲン原子、アミノ基、又は前記Ｒ¹で表され
る基を表す。Ｒ²が、Ｒ¹で表される少なくとも１つのヒ
ドロキシアルキル基で置換されたアミノ基である場合に
は、Ｒ¹及びＲ²は同一であっても、異なっていてもよ
い。Ｒ³は、置換基を有してもよいアルキレン基を表
す。Ｒ⁴は、水素原子、アルキル基、アラルキル基、ア
リール基、アルコキシアルキル基、アラルキルオキシア
ルキル基、アリールオキシアルキル基又は、ＨＯ−Ｒ³
−で表される基を表す。Ｒ³及びＲ⁴は、窒素原子を含ん
だ５員又は６員のヘテロ環を形成していてもよい。

【００８０】前記紫外線吸収剤の具体例としては、前記
一般式（Ｉ）で表されるクマリン系化合物例として、特
開平７−２２５３１３号公報に記載の化合物が挙げられ
る。但し、これらに限定されるものではない。

【００８１】また、着色感光性樹脂組成物に含有できる
紫外線吸収剤前駆体とは、通常の状態では紫外線吸収能
が比較的低いが、過熱処理により紫外線吸収剤としての
機能を発揮し得る化合物をいい、下記一般式（III）で
表される化合物が好適に挙げられる。

【００８２】

【化２】

【００８３】前記一般式（III）において、Ａは、前記
一般式（IV）で表される基を表す。前記一般式（IV）中
のＲ⁵は、置換若しくは無置換のアルキルカルボニル
基、置換若しくは無置換のアラルキルカルボニル基、置
換若しくは無置換のアリールカルボニル基、又は置換若
しくは無置換のアルコキシカルボニル基を表す。一般式
（IV）中のＲ⁶は、水素原子、置換若しくは無置換のア
ルキルカルボニル基、置換若しくは無置換のアラルキル
カルボニル基、置換若しくは無置換のアリールカルボニ
ル基、又は置換若しくは無置換のアルコキシカルボニル
基を表し、Ｒ⁷は、水素原子又は低級アルキル基を表
す。

【００８４】カルボニル基の炭素原子を除き、前記アル
キル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基とし
ては、炭素数１〜１５が好ましく、１〜７がより好まし
い。置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、低
級アルキルオキシ基アリールオキシ基が好ましい。

【００８５】前記一般式（III）で表される紫外線吸収
剤前駆体の具体例としては、特開平０９−２５３６０号
公報に記載の化合物が挙げられる。但し、これらに限定
されるものではない。

【００８６】紫外線吸収剤及び紫外線吸収剤前駆体の着
色感光性樹脂組成物における総含有量としては、該組成
物の全固形分に対して、０．１〜３０質量％が好まし
く、０．１〜２５質量％がより好ましい。この際、種類
の異なる化合物を２種以上混合して使用してもよい。

【００８７】上記のほか、着色感光性樹脂組成物には、
必要に応じて、更に公知の添加剤、例えば、可塑剤、充
填剤、安定化剤、重合禁止剤、界面活性剤、溶剤、密着
促進剤等の他の成分を含有させることができる。

【００８８】例えば、エチレングリコールモノメチルエ
ーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロ
ピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリ
コールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ
メチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル等のいわゆるセロソルブ類、およびこれらの酢酸エス
テル、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸ｉ−プロピ
ル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸ｉ−ブチル等の酢酸エステル
類、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素
類、メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチル
ケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類、エタノー
ル、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロ
ヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコ
ール、グリセリン等のアルコール類等の溶剤が挙げられ
る。

【００８９】また、感光性樹脂層は少なくとも１５０℃
以下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好まし
く、熱可塑性であることが好ましい。かかる観点から
は、相溶性の可塑剤を添加することで改質することがで
きる。

【００９０】感光性樹脂組成物を基板上に設ける場合、
予め仮支持体上に着色感光性樹脂組成物を層状に設けて
なる層（感光性樹脂層）を有する感光性転写材料を用い
てもよい。仮支持体上に感光性樹脂組成物を設ける場
合、この組成物を溶液状に調製した塗布液を、スピンコ
ーター、バーコーターなどを用いた公知の塗布方法によ
り仮支持体上に塗布する等の方法により好適に行える。

【００９１】感光性転写材料の構成として、具体的に
は、特開平４−２０８９４０号公報に開示された、仮支
持体への接着力が小さい分離層及び感光性樹脂層を有す
る転写材料、特開平５−１７３３２０号公報に開示され
た、仮支持体上に熱可塑性樹脂層、中間層及び感光性樹
脂層を有し、該仮支持体と熱可塑性樹脂層の間の接着力
が最も小さい感光性転写材料、特開平５−７２７２４号
公報に開示された熱可塑性樹脂層、分離層及び感光性樹
脂層を有し、該熱可塑性樹脂層と分離層の間の接着力が
最も小さい転写材料、特開平５−８０５０３号公報に開
示された仮支持体の上に熱可塑性樹脂層、中間層及び感
光性樹脂層を有し、該仮支持体と熱可塑性樹脂層の間の
接着力が最も小さい感光性転写材料、等が適用できる。

【００９２】前記遮光性感光性組成物としては、特開平
０７−２８２３６号公報に記載の遮光性感光性樹脂組成
物が好ましく、これに含有される光重合開始剤、付加重
合性モノマー、バインダー、着色剤等については該公報
にも詳しく記載がある。仮支持体上に遮光性感光性樹脂
組成物が設けられた感光性転写材料を用いることもで
き、例えば、特開平４−２０８９４０号、特開平５−７
２７２４号、特開平５−８０５０３号、特開平５−１７
３３２０号に記載の材料がある。

【００９３】感光性転写材料には、熱可塑性樹脂層を設
けることができる。熱可塑性樹脂層は、アルカリ可溶性
であって、少なくとも樹脂成分を含んで構成され、該樹
脂成分としては、実質的な軟化点が８０℃以下であるこ
とが好ましい。軟化点が８０℃以下のアルカリ可溶性の
熱可塑性樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル
共重合体のケン化物、スチレンと（メタ）アクリル酸エ
ステル共重合体のケン化物、ビニルトルエンと（メタ）
アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ（メタ）
アクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸ブチルと酢酸
ビニル等の（メタ）アクリル酸エステル共重合体などの
ケン化物、等が挙げられる。

【００９４】熱可塑性樹脂層には、上記の熱可塑性樹脂
の少なくとも一種を適宜選択して用いることができ、更
に「プラスチック性能便覧」（日本プラスチック工業連
盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査
会発行、１９６８年１０月２５日発行）による、軟化点
が約８０℃以下の有機高分子のうちアルカリ水溶液に可
溶なものを使用することができる。

【００９５】また、軟化点が８０℃以上の有機高分子物
質についても、その有機高分子物質中に該高分子物質と
相溶性のある各種可塑剤を添加することで、実質的な軟
化点を８０℃以下に下げて用いることもできる。また、
これらの有機高分子物質には、仮支持体との接着力を調
節する目的で、実質的な軟化点が８０℃を越えない範囲
で、各種ポリマーや過冷却物質、密着改良剤あるいは界
面活性剤、離型剤、等を加えることもできる。

【００９６】好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプ
ロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオク
チルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタ
レート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェ
ニルフォスフェートビフェニルジフェニルフォスフェー
トを挙げることができる。

【００９７】前記アルカリ可溶とは、下記のアルカリ物
質の水溶液、又はこれに水と混和性のある有機溶媒を混
合したものに可溶であることをいう。後述する感光性樹
脂層についても同様である。アルカリ性物質、及び水と
混和性のある適当な有機溶剤としては、既述の現像液に
用いられるものと同様のアルカリ性物質、既述の「水と
混和性の有機溶剤」と同様のものを挙げることができ
る。

【００９８】熱可塑性樹脂層の厚みは６μｍ以上が好ま
しい。該厚みが６μｍ未満であると、１μｍ以上の下地
の凹凸を完全に吸収することが不可能となることがあ
る。また、上限については、転写の際感光性樹脂層側に
残留した場合の現像性、製造適性等から約１００μｍ以
下、好ましくは約５０μｍ以下である。

【００９９】仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設ける場
合、溶液状に調製した熱可塑性樹脂層形成用の塗布液
を、スピンコーター、バーコーター等を用いた公知の塗
布法を用いて仮支持体上に塗布する等の方法により好適
に行える。

【０１００】感光性転写材料には、中間層を設けること
もできる。中間層には、上記した層を重層塗布する際の
混合防止、これらの層の間の密着力の調整、転写の際に
感光性樹脂層側に残留して酸素遮断の機能を発揮するも
の、等の種々の機能を持たせることができる。例えば、
酸素遮断機能を有するものとしては、水またはアルカリ
水溶液に分散または溶解し、低い酸素透過性を示すもの
の中から公知のものを適用できる。特開昭４６−２１２
１号や特公昭５６−４０８２４号の各公報に記載の、ポ
リビニルエーテル／無水マレイン酸重合体、カルボキシ
アルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロースエー
テル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポリビニ
ルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポリアク
リルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリアクリル
酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重合体、
各種の澱粉およびその類似物からなる群の水溶性塩、ス
チレン／マレイン酸の共重合体、マレイネート樹脂、及
びこれらの二種以上の組合せ等が挙げられる。

【０１０１】特に好ましいのは、ポリビニルアルコール
とポリビニルピロリドンの組合せである。ポリビニルア
ルコールは鹸化率が８０％以上であるものが好ましく、
ポリビニルピロリドンの含有量は中間層固形分の１〜７
５質量％が好ましく、より好ましくは１〜６０質量％で
ある。中間層の厚みは、非常に薄く設けられ、約０．１
〜５μｍが好ましく、０．５〜２μｍが特に好ましい。

【０１０２】前記仮支持体としては、化学的および熱的
に安定であって、可撓性の物質で構成されるものから適
宜選択することができる。具体的には、テフロン
（Ｒ）、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネー
ト、ポリエチレン、ポリプロピレン等、薄いシート若し
くはこれらの積層体が好ましい。仮支持体の厚みとして
は、５〜３００μｍが適当であり、好ましくは２０〜１
５０μｍである。

【０１０３】

【実施例】以下に、本発明の実施例を説明するが、本発
明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。
尚、以下の実施例において、特に断りのない限り「％」
及び「部」はいずれも質量基準である。

【０１０４】（実施例１） −感光性転写材料の作製− 仮支持体として、厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタ
レートベースフィルム（ＰＥＴベースフィルム）を準備
し、該フィルム上に、下記組成を混合して得た熱可塑性
樹脂層用塗布液をスピンコーターにより塗布し、１２０
℃のオーブン内で５分間乾燥し、ＰＥＴベースフィルム
上に層厚１５μｍの熱可塑性樹脂層を形成した。

【０１０５】〔熱可塑性樹脂層用塗布液の組成〕・ベンジルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体・・・４．５部（共重合比：４．５／１１．７／５５／２８．８，重量平均分子量８００００）・スチレン／アクリル酸共重合体・・・１５部（共重合比：６０／４０，重量平均分子量８０００）・２，２−ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニルプロパン］・・・７部・Ｆ−１７６ＰＦ・・・１．５部（フッ素系界面活性剤、大日本インキ（株）製）・プロピレングリコールモノメチルエーテル・・・２８部・メチルエチルケトン・・・２７部

【０１０６】次に、下記組成を混合して中間層用塗布液
を調製し、前記熱可塑性樹脂層上に、スピンコーターに
より更に中間層用塗布液を塗布した。その後、１００℃
のオーブンで２分間乾燥し、熱可塑性樹脂層上に層厚
１．６μｍの中間層を形成した。〔中間層用塗布液の組成〕・ポリビニルアルコール（ＰＶＡ−２０５，（株）クラレ製）・・・１３部・ポリビニルピロリドン・・・６部（ＰＶＰ−Ｋ３０，五協産業（株）製）・メタノール・・・１７３部・イオン交換水・・・２１１部

【０１０７】次に、上記のように熱可塑性樹脂層及び中
間層が設けられたＰＥＴベースフィルムを３枚用意する
と共に、下記組成を混合して、赤色、緑色および黒色の
感光性樹脂層用塗布液を調製した。そして、各々のＰＥ
Ｔベースフィルム上の中間層上に赤色、緑色または黒色
の感光性樹脂層用塗布液をそれぞれスピンコーターによ
り塗布した。その後、１００℃のオーブンで２分間乾燥
し、各々厚み２μｍの感光性樹脂層を形成した。更に、
各々の感光性樹脂層上にカバーフィルムとして１２μｍ
厚のポリプロピレンフィルムを室温下でラミネートし、
ＰＥＴベースフィルム上に熱可塑性樹脂層、中間層、赤
色，緑色又は黒色感光性樹脂層、及びカバーフィルムが
この順に積層されてなる、赤色画素形成用、緑色画素形
成用、及び黒色画素形成用の３種の感光性転写材料を得
た。

【０１０８】〔赤色感光性樹脂層用塗布液の組成〕・ＲＴ−１０７・・・２１．６５部（Ｃ．Ｉ．ＰＲ２５４分散液、富士フイルムアーチ（株）製）・ＭＭＰＧ−ＡＣ・・・３１．２０部（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）・メチルエチルケトン・・・３４．９６部・界面活性剤・・・０．０６部（メガファックＦ−１７６ＰＦ、大日本インキ（株）製）・フェノチアジン・・・０．００１２部・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体・・・４．９７部（共重合比：７２／２８、分子量３００００）・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート・・・４．９２部・９−フェニルアクリジン・・・０．２０部・２−メルカプト−５−メチルメルカプト−１，３，４−チアジアゾール・・・０．１３部・７−[〔４−（ジエチルアミノ）−６−（３−ヒドロキシメチルピペリジノ）−ｓ−トリアジニル（２）〕−アミノ]−３−フェニルクマリン・・・１．５０部・２，４，６−トリス〔２，４−ビス（メトキシカルボニルオキシ）フェニル〕−１，３，５−トリアジン・・・０．３７部

【０１０９】〔緑色感光性樹脂層用塗布液の組成〕・ＧＴ−２・・・１５．８６部（Ｃ．Ｉ．ＰＧ３６分散液、富士フイルムアーチ（株）製）・ＹＴ−１２３・・・１１．０６部（Ｃ．Ｉ．ＰＹ１３８分散液、富士フイルムアーチ（株）製）・ＭＭＰＧ−ＡＣ・・・１０．２５部（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）・メチルエチルケトン・・・５１．４９部・界面活性剤・・・０．１９部（メガファックＦ−１７６、大日本インキ（株）製）・フェノチアジン・・・０．００４部・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体・・・４．４７部（共重合比：７２：２８、分子量３００００）・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート・・・５．２７部・９−フェニルアクリジン・・・０．１２部・２−メルカプト−５−メチルメルカプト−１，３，４−チアジアゾール・・・０．０８部・７−[〔４−（ジエチルアミノ）−６−（３−ヒドロキシメチルピペリジノ）−ｓ−トリアジニル（２）〕−アミノ]−３−フェニルクマリン・・・１．２６部

【０１１０】〔黒色感光性樹脂層用塗布液の組成〕・ＣＦＰ−ＦＦ−７７５Ｂ・・・６．３７部（Ｃ．Ｉ．ＰＢ１５：６分散液、富士フイルムアーチ（株）製）・ＣＦＰ−ＦＦ−２９３Ｙ・・・４．７８部（Ｃ．Ｉ．ＰＹ１３９分散液、富士フイルムアーチ（株）製）・ＣＦＰ−ＦＦ−８０２Ｖ・・・５．９０部（Ｃ．Ｉ．ＰＶ２３分散液、富士フイルムアーチ（株）製）・ＣＦＰ−ＦＦ−９４９Ｋ・・・１６．８８部（カーボンブラック分散液、富士フイルムアーチ（株）製）・ＭＭＰＧ−ＡＣ・・・２７．１７部（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）・メチルエチルケトン・・・７４．００部・界面活性剤・・・０．１４部（メガファックＦ−１７６ＰＦ、大日本インキ（株）製）・ヒドロキノンモノメチルエーテル・・・０．００３２部・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート・・・６．８９部・ビス〔４−〔Ｎ−〔４−（４，６−ビストリクロロメチル−ｓ−トリアジン −２−イル）フェニル〕カルバモイル〕フェニル〕セバケート・・・０．１９３部

【０１１１】−画像形成− ガラス基板をシランカップリング剤溶液（ＫＢＭ−６０
３；１％希釈液）に３分間浸漬し、１０秒間水洗し、エ
アガンで水切りした後、１１０℃のオーブンで５分間乾
燥してシランカップリング処理ガラス基板を得た。上記
より得た赤色画素形成用の感光性転写材料からカバーフ
ィルムを除去し、除去後に露出した感光性樹脂層の表面
と前記シランカップリング処理ガラス基板の表面とが接
するように重ね合わせ、ラミネータ（ファーストラミネ
ータ８ｂ−５５０−８０、大成ラミネータ（株）製）を
用いて、圧力２ｋｇ／ｍ²、ラミネートローラ温度１３
０℃、送り条件０．２ｍ／ｍｉｎにて貼り合わせた。

【０１１２】続いて、ＰＥＴベースフィルム（仮支持
体）を熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除
去した。そして、アライナーＭＡＰ−１２００Ｌ（大日
本スクリーン（株）製）を用い、フォトマスクを介して
超高圧水銀灯（２ｋＷ）により熱可塑性樹脂層表面の上
方６０ｃｍの距離から赤色感光性樹脂層に対して３秒間
露光を行なった（照射エネルギー２０ｍＪ／ｃｍ²）。
次いで、所定の処理液Ｔ−ＰＤ２（富士写真フイルム
（株）製）の１０倍希釈液を用いて熱可塑性樹脂層及び
中間層を現像除去した。更に、処理液Ｔ−ＣＤ１（富士
写真フイルム（株）製）の５倍希釈液を用いて赤色感光
性樹脂層を現像して未露光部を除去し、また更に処理液
Ｔ−ＳＤ１（富士写真フイルム（株）製）の１０倍希釈
液にてブラシをかけながら現像残膜を除去した。以上の
ようにして、シランカップリング処理ガラス基板上に赤
色画像を形成した。

【０１１３】次に、緑色画素形成用の感光性転写材料の
カバーフィルムを除去し、この感光性転写材料の緑色感
光性樹脂層の表面と、赤色画像を有するガラス基板の赤
色画像が設けられている側の表面とが接するように重ね
合わせ、上記同様にして貼り合わせ、更に露光、現像し
て緑色画像を形成した（以上、多色画像形成工程）。そ
の後、赤色および緑色画像の硬化を進めるために、アラ
イナーにて基板の両面から基板全面を５００ｍＪ／ｃｍ
²でポスト露光し、２２０℃のオーブンで２０分間焼成
した（熱処理工程）。

【０１１４】続いて、黒色画素形成用の感光性転写材料
からカバーフィルムを除去し、この感光性転写材料の黒
色感光性樹脂層の表面と、赤色および緑色画像を有する
ガラス基板の赤色および緑色画像が設けられている側の
表面とが接するように重ね合わせ、上記同様にしてラミ
ネータを用いて貼り合わせた。引き続き、ＰＥＴベース
フィルム（仮支持体）を黒色感光性樹脂層との界面で剥
離し、仮支持体を除去した（遮光性層形成工程）。そし
て、アライナーＭＡＰ−１２００Ｌ（大日本スクリーン
（株）製）を用いて、赤色および緑色画像を有しない画
像非形成面側から超高圧水銀灯（２ｋＷ）により７０ｍ
Ｊ／ｃｍ²で露光を行ない（裏面露光工程）、更に赤色
画像等の場合と同様にして現像して、赤色画像および緑
色画像を有しない非画像部に黒色の遮光像を形成した
（遮光像形成工程）。以上のようにして、赤色画像およ
び緑色画像とこれらの間に形成された黒色の遮光像とか
らなるカラーフィルタを得た。

【０１１５】−評価− 上記より得た赤色画像および緑色画像の表面を目視によ
り観察し、黒色感光性樹脂層の残膜（黒着色）の程度を
下記基準にしたがって評価した。評価結果を下記表１に
示す。〔基準〕 ○ ：黒着色は認められなかった。 ○△：一部僅かに黒着色が認められた。 △×：一部に中程度の黒着色が認められた。 × ：一部に濃い黒着色が認められた。 ××：ほぼ全面に黒着色が認められた。

【０１１６】（実施例２）実施例１において、赤色画像
および緑色画像形成後の熱処理（２２０℃、２０分）に
代えて、２２０℃、４０分の熱処理を行なったこと以
外、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、
更に同様の評価を行なった。

【０１１７】（実施例３）実施例１において、赤色感光
性樹脂層用塗布液の調製に用いた９−フェニルアクリジ
ン（０．２０部）を２−トリクロロメチル−５−（ｐ−
スチリルスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール
（０．３０部）に代え、かつ緑色感光性樹脂層用塗布液
の調製に用いた９−フェニルアクリジン（０．１２部）
を２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スチリルスチリ
ル）−１，３，４−オキサジアゾール（０．１８部）に
代えたこと以外、実施例１と同様にして、カラーフィル
タを作製し、更に同様の評価を行なった。

【０１１８】（実施例４）実施例１において、赤色感光
性樹脂層用塗布液の調製に用いた９−フェニルアクリジ
ン（０．２０部）を、２，２’−ビス（２，４−ジクロ
ロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−
１，２’−ビイミダゾール（０．５０部）及び４，４’
−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２５
部）に代え、かつ緑色感光性樹脂層用塗布液の調製に用
いた９−フェニルアクリジン（０．１２部）を、２，
２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，
５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール
（０．２０部）及び４，４’−ビス（ジエチルアミノ）
ベンゾフェノン（０．１０部）に代え、さらに赤色画像
および緑色画像形成後の熱処理（２２０℃、２０分）を
２２０℃、３０分の熱処理に代えたこと以外、実施例１
と同様にして、カラーフィルタを作製し、更に同様の評
価を行なった。

【０１１９】（比較例１）実施例１において、赤色画像
および緑色画像形成後の熱処理（２２０℃、２０分）を
行なわなかったこと以外、実施例１と同様にして、カラ
ーフィルタを作製し、更に同様の評価を行なった。

【０１２０】（比較例２）実施例３において、赤色画像
および緑色画像形成後の熱処理（２２０℃、２０分）を
行なわなかったこと以外、実施例３と同様にして、カラ
ーフィルタを作製し、更に同様の評価を行なった。

【０１２１】（比較例３）実施例４において、赤色画像
および緑色画像形成後の熱処理（２２０℃、３０分）に
代えて、１５０℃、３０分の熱処理を行なったこと以
外、実施例４と同様にして、カラーフィルタを作製し、
更に同様の評価を行なった。

【０１２２】（比較例４）実施例４において、赤色画像
および緑色画像形成後の熱処理（２２０℃、３０分）に
代えて、２２０℃、１０分の熱処理を行なったこと以
外、実施例４と同様にして、カラーフィルタを作製し、
更に同様の評価を行なった。

【０１２３】

【表１】

【０１２４】上記表１の結果から、多色画像形成工程と
遮光性層形成工程との間に所定の熱処理を行なった実施
例では、黒着色を防止することができ、鮮明で色相の良
好なカラーフィルタを得ることができた。一方、所定の
熱処理を行なわなかった比較例では、黒着色を効果的に
防止できず、比較例３及び４のようにトリハロメチル基
含有化合物又はアクリジン系化合物を含有しない系にお
いては、熱処理を施しても温度２２０℃以上かつ３０分
以上に達しない条件下ではやはり黒着色を防止できず、
カラーフィルタの鮮明性、色相が損なわれてしまった。

【０１２５】

【発明の効果】本発明によれば、基板の多色パターン
（画素）が形成された側に更に黒色の感光性樹脂組成物
を設け、多色画素の非形成面側から基板を通して露光し
多色画素間に黒色の遮光像を形成するセルフアライメン
ト法による場合に、既設の多色画素への黒着色を回避
し、鮮明で色相の良好なカラーフィルタを作製し得るカ
ラーフィルタの製造方法を提供することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2H025 AA04 AA13 AB13 AC01 AD01 BC13 BC42 CA14 CA28 FA29 FA39 2H048 BA02 BA11 BA45 BA48 BB02 BB42 2H096 AA30 BA05 HA01 HA30

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】着色感光性樹脂組成物を基板上に設け、
該着色感光性樹脂組成物を画像様に露光し、現像する画
像形成工程を、互いに異なる色相に着色された複数の着
色感光性樹脂組成物を用いて繰り返し、多色画像を形成
する多色画像形成工程と、前記基板の多色画像が形成された側に、更に遮光性感光
性樹脂組成物を層状に設ける遮光性層形成工程と、前記基板の多色画像が形成されていない側から、多色画
像が設けられていない領域の前記遮光性感光性樹脂組成
物を露光し、硬化する裏面露光工程と、露光後の遮光性感光性樹脂組成物を現像し、前記領域に
遮光像を形成する遮光像形成工程と、を含むカラーフィ
ルタの製造方法において、前記着色感光性樹脂組成物が、トリハロメチル基含有化
合物およびアクリジン系化合物の少なくとも一種を含有
し、かつ前記多色画像形成工程と遮光性層形成工程との
間に熱処理を行なう熱処理工程を有することを特徴とす
るカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】熱処理温度が１８０℃以上であり、熱処
理時間が２０分以上である請求項１に記載のカラーフィ
ルタの製造方法。
【請求項３】熱処理温度が２２０℃以上であり、熱処
理時間が４０分以上である請求項１に記載のカラーフィ
ルタの製造方法。
【請求項４】着色感光性樹脂組成物が、多官能性モノ
マー、バインダー、顔料、並びに紫外線吸収剤及び／又
は紫外線吸収剤前駆体を更に含む請求項１〜３のいずれ
か１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】着色感光性樹脂組成物を基板上に設け、
該着色感光性樹脂組成物を画像様に露光し、現像する画
像形成工程を、互いに異なる色相に着色された複数の着
色感光性樹脂組成物を用いて繰り返し、多色画像を形成
する多色画像形成工程と、前記基板の多色画像が形成された側に、更に遮光性感光
性樹脂組成物を層状に設ける遮光性層形成工程と、前記基板の多色画像が形成されていない側から、多色画
像が設けられていない領域の前記遮光性感光性樹脂組成
物を露光し、硬化する裏面露光工程と、露光後の遮光性感光性樹脂組成物を現像し、前記領域に
遮光像を形成する遮光像形成工程と、を含むカラーフィ
ルタの製造方法において、前記多色画像形成工程と遮光性層形成工程との間に、温
度２２０℃以上で３０分以上の熱処理を行なう熱処理工
程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方
法。
【請求項６】着色感光性樹脂組成物が、光重合開始
剤、多官能性モノマー、バインダー、顔料、並びに紫外
線吸収剤及び／又は紫外線吸収剤前駆体を含む請求項５
に記載のカラーフィルタの製造方法。