JP2003337055A - 流量計測装置 - Google Patents
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/66—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は流量計測装置において、振動子の電
極間容量が温度によって大きく変化した場合であって
も、精度良く伝搬時間を測定し、正確な流量測定を課題
とするものである。 【解決手段】 振動子２の出力を受けるインピーダンス
を振動子２の電極間容量がもつインピーダンスに対し十
分小さくしてある。このため受信信号のタイミング遅延
への影響が振動子２のインピーダンス変化に比べ振動子
２の出力を受けるインピーダンスのほうが支配的とな
り、振動子２のインピーダンス変化が受信信号のタイミ
ング遅延へ及ぼす影響を低減し、伝搬時間測定の精度が
向上し正確な流量測定ができる。
極間容量が温度によって大きく変化した場合であって
も、精度良く伝搬時間を測定し、正確な流量測定を課題
とするものである。 【解決手段】 振動子２の出力を受けるインピーダンス
を振動子２の電極間容量がもつインピーダンスに対し十
分小さくしてある。このため受信信号のタイミング遅延
への影響が振動子２のインピーダンス変化に比べ振動子
２の出力を受けるインピーダンスのほうが支配的とな
り、振動子２のインピーダンス変化が受信信号のタイミ
ング遅延へ及ぼす影響を低減し、伝搬時間測定の精度が
向上し正確な流量測定ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流量計測装置に関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の流量計測装置は図６に示
すように流体管路１に設けられ超音波信号を送受信する
第１の振動子２及び第２の振動子３とを流れの方向に相
対して設け、駆動手段４によって第１の振動子２を駆動
し超音波を送信する。この超音波を第２の振動子３で受
信し、受信した信号から受信検知手段７で受信タイミン
グを決定する。計時手段８は駆動手段４が第１の振動子
２を駆動してから受信検知手段７が受信タイミングを決
定するまでの時間を計測することによって伝搬時間を測
定する。また切替手段６によって超音波を送受する方向
を変え逆方向の超音波の伝搬時間を測定し、両方向の伝
搬時間の逆数差より流量を流量演算手段９によって演算
し求めていた。
すように流体管路１に設けられ超音波信号を送受信する
第１の振動子２及び第２の振動子３とを流れの方向に相
対して設け、駆動手段４によって第１の振動子２を駆動
し超音波を送信する。この超音波を第２の振動子３で受
信し、受信した信号から受信検知手段７で受信タイミン
グを決定する。計時手段８は駆動手段４が第１の振動子
２を駆動してから受信検知手段７が受信タイミングを決
定するまでの時間を計測することによって伝搬時間を測
定する。また切替手段６によって超音波を送受する方向
を変え逆方向の超音波の伝搬時間を測定し、両方向の伝
搬時間の逆数差より流量を流量演算手段９によって演算
し求めていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の流量計測装置の受信側振動子は、等価回路を示す図２
のように、超音波振動を電気信号に変換する信号源１１
と、振動子の内部インピーダンス１２（値をＺｏとす
る。）と、振動子の電極間容量１３（値をＣとする）か
らなっており、前記振動子から出力される信号は超音波
の振動に対し、内部インピーダンス１２と電極間容量１
３で決まるタイミングだけ遅れて電気信号として出力さ
れる。つまり遅延時間は（Ｃ×Ｚｏ）の値に比例した値
となり、その遅延量はＣやＺｏが大きいほど大きくな
る。
の流量計測装置の受信側振動子は、等価回路を示す図２
のように、超音波振動を電気信号に変換する信号源１１
と、振動子の内部インピーダンス１２（値をＺｏとす
る。）と、振動子の電極間容量１３（値をＣとする）か
らなっており、前記振動子から出力される信号は超音波
の振動に対し、内部インピーダンス１２と電極間容量１
３で決まるタイミングだけ遅れて電気信号として出力さ
れる。つまり遅延時間は（Ｃ×Ｚｏ）の値に比例した値
となり、その遅延量はＣやＺｏが大きいほど大きくな
る。
【０００４】そして、温度変動があると電極間容量１３
の値が大きく変化し、出力信号の遅延量が変わるので正
確な時間測定ができない。このため温度が変化した場合
であっても精度良く伝搬時間を測定し、正確な流量測定
値を得ることが課題であった。
の値が大きく変化し、出力信号の遅延量が変わるので正
確な時間測定ができない。このため温度が変化した場合
であっても精度良く伝搬時間を測定し、正確な流量測定
値を得ることが課題であった。
【０００５】また、受信検知手段７の入力インピーダン
スは、大きくしたほうが信号電圧を大きくとることがで
きるので、一般的には大きなインピーダンスの回路で振
動子の出力を受けるのが普通であった。また振動子の電
極間容量１３、電極間容量１３の温度変動等による変化
と振動子の出力を受ける回路のインピーダンスとの関係
と、測定精度の向上を明確にしたものはなかった。
スは、大きくしたほうが信号電圧を大きくとることがで
きるので、一般的には大きなインピーダンスの回路で振
動子の出力を受けるのが普通であった。また振動子の電
極間容量１３、電極間容量１３の温度変動等による変化
と振動子の出力を受ける回路のインピーダンスとの関係
と、測定精度の向上を明確にしたものはなかった。
【０００６】さらに一対の振動子の特性が揃っていれ
ば、いずれが受信側になっても（Ｃ×Ｚｏ）の値も同じ
でタイミング遅延量が同じになるので、流量計測のため
の重要な要素である伝搬時間に誤差が生じない。ところ
が一対の振動子の特性が揃っていなかった場合、第１の
振動子２と第２の振動子３とで（Ｃ×Ｚｏ）が異なり、
第１の振動子２が受信側になる場合と第２の振動子３が
受信側になる場合とで、振動子の出力信号のタイミング
遅延量が異なってしまい、計時手段８によって受信側、
送信側を逆にして測定される伝搬時間を正確に測定でき
なくなるため、流量演算手段１９で求める流量計測値に
も誤差が生じてしまう。
ば、いずれが受信側になっても（Ｃ×Ｚｏ）の値も同じ
でタイミング遅延量が同じになるので、流量計測のため
の重要な要素である伝搬時間に誤差が生じない。ところ
が一対の振動子の特性が揃っていなかった場合、第１の
振動子２と第２の振動子３とで（Ｃ×Ｚｏ）が異なり、
第１の振動子２が受信側になる場合と第２の振動子３が
受信側になる場合とで、振動子の出力信号のタイミング
遅延量が異なってしまい、計時手段８によって受信側、
送信側を逆にして測定される伝搬時間を正確に測定でき
なくなるため、流量演算手段１９で求める流量計測値に
も誤差が生じてしまう。
【０００７】このような事情から、従来の流量計測装置
では、超音波振動子は特性の揃ったものを用いないと計
測精度を確保できないという問題があり、しかも図３に
示すように、温度変動による電極間容量の変化が振動子
によって一様ではないため、温度変化を与えてその内部
インピーダンスの変化や電極間容量の変化を測定し同特
性のものを揃えるベアリング作業が必要であり、手間ど
るという問題があった。
では、超音波振動子は特性の揃ったものを用いないと計
測精度を確保できないという問題があり、しかも図３に
示すように、温度変動による電極間容量の変化が振動子
によって一様ではないため、温度変化を与えてその内部
インピーダンスの変化や電極間容量の変化を測定し同特
性のものを揃えるベアリング作業が必要であり、手間ど
るという問題があった。
【０００８】本発明は、振動子の電極間容量１３と振動
子の出力を受ける回路のインピーダンスとの関係または
振動子の電極間容量１３の温度変動等による変化と振動
子の出力を受ける回路のインピーダンスとの関係を明確
に規定し流量測定精度の向上を実現することを目的とす
る。
子の出力を受ける回路のインピーダンスとの関係または
振動子の電極間容量１３の温度変動等による変化と振動
子の出力を受ける回路のインピーダンスとの関係を明確
に規定し流量測定精度の向上を実現することを目的とす
る。
【０００９】また本発明は、特性の異なる振動子をペア
にして用いても、計測精度を確保することができる流量
計測装置を提供することを目的とする。
にして用いても、計測精度を確保することができる流量
計測装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため、受信側振動子の出力を低入力部で受け、その
入力インピーダンスを振動子の内部インピーダンスより
も低く設定している。この構成により、低入力部の低い
入力インピーダンスが受信信号のタイミング遅延量を支
配するようになる。その結果、振動子の電極間容量の変
化が受信信号のタイミング遅延へ及ぼす影響を低減し、
伝搬時間測定の精度が向上するものである。
するため、受信側振動子の出力を低入力部で受け、その
入力インピーダンスを振動子の内部インピーダンスより
も低く設定している。この構成により、低入力部の低い
入力インピーダンスが受信信号のタイミング遅延量を支
配するようになる。その結果、振動子の電極間容量の変
化が受信信号のタイミング遅延へ及ぼす影響を低減し、
伝搬時間測定の精度が向上するものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１、７、８にかか
る流量計測装置は、受信側振動子のインピーダンスに対
し十分に小さい入力インピーダンスで前記振動子の受信
出力を受ける低入力部を有する。
る流量計測装置は、受信側振動子のインピーダンスに対
し十分に小さい入力インピーダンスで前記振動子の受信
出力を受ける低入力部を有する。
【００１２】この構成により、低入力部の低い入力イン
ピーダンスが受信信号のタイミング遅延量を支配するよ
うになる。その結果、振動子の電極間容量の変化が受信
信号のタイミング遅延へ及ぼす影響を低減し、伝搬時間
測定の精度が向上するものである。そして伝搬時間測定
の精度が向上し、振動子のインピーダンスが温度、経過
時間、湿度などの影響によって変化した場合であって
も、あるいは特性の異なる振動子をペアとして用いてい
る場合であっても、時間を正確に測定することができ、
高精度の流量計測装置を実現できる。
ピーダンスが受信信号のタイミング遅延量を支配するよ
うになる。その結果、振動子の電極間容量の変化が受信
信号のタイミング遅延へ及ぼす影響を低減し、伝搬時間
測定の精度が向上するものである。そして伝搬時間測定
の精度が向上し、振動子のインピーダンスが温度、経過
時間、湿度などの影響によって変化した場合であって
も、あるいは特性の異なる振動子をペアとして用いてい
る場合であっても、時間を正確に測定することができ、
高精度の流量計測装置を実現できる。
【００１３】本発明の請求項２にかかる流量計測装置
は、受信側振動子のインピーダンスの１／２以下の入力
インピーダンスで前記振動子の受信出力を受ける低入力
部を有するものであり、具体的な低い入力値で受信信号
のタイミング遅延をより支配でき、振動子の電極間容量
の変化が受信信号のタイミング遅延へ及ぼす影響をより
低減し、伝搬時間測定の精度が向上するものである。そ
して伝搬時間測定の精度が向上し、振動子のインピーダ
ンスが温度、経過時間、湿度などの影響によって変化し
た場合であっても、時間を正確に測定することができ、
高精度の流量計測装置を実現できる。
は、受信側振動子のインピーダンスの１／２以下の入力
インピーダンスで前記振動子の受信出力を受ける低入力
部を有するものであり、具体的な低い入力値で受信信号
のタイミング遅延をより支配でき、振動子の電極間容量
の変化が受信信号のタイミング遅延へ及ぼす影響をより
低減し、伝搬時間測定の精度が向上するものである。そ
して伝搬時間測定の精度が向上し、振動子のインピーダ
ンスが温度、経過時間、湿度などの影響によって変化し
た場合であっても、時間を正確に測定することができ、
高精度の流量計測装置を実現できる。
【００１４】本発明の請求項３、９にかかる流量計測装
置は、必要な時間精度をｔ、振動子の電極間容量の変化
量、例えば装置使用温度範囲の最高温度と最低温度との
間における変化量をΔＣ１、低入力部の入力インピーダ
ンスをＺとしたとき、それぞれの関係がｔ＞ΔＣ１×Ｚ
となるようＺを設定したものである。こうすることによ
り、遅延時間変動がほぼΔＣ１×Ｚとなり、振動子のイ
ンピーダンスが温度、経過時間、湿度などの影響によっ
て変化した場合であっても、遅延時間の変化が許容精度
内となり、時間を正確に測定することができるので、高
精度量計測装置を実現できる。
置は、必要な時間精度をｔ、振動子の電極間容量の変化
量、例えば装置使用温度範囲の最高温度と最低温度との
間における変化量をΔＣ１、低入力部の入力インピーダ
ンスをＺとしたとき、それぞれの関係がｔ＞ΔＣ１×Ｚ
となるようＺを設定したものである。こうすることによ
り、遅延時間変動がほぼΔＣ１×Ｚとなり、振動子のイ
ンピーダンスが温度、経過時間、湿度などの影響によっ
て変化した場合であっても、遅延時間の変化が許容精度
内となり、時間を正確に測定することができるので、高
精度量計測装置を実現できる。
【００１５】本発明の請求項４、１０にかかる流量計測
装置は、必要な時間精度をｔ、一対の振動子間の電極間
容量の差の変化量、例えば装置使用温度範囲の最高温度
と最低温度との間における変化量をΔＣ２、低入力部の
入力インピーダンスをＺとし、ｔ、ΔＣ２、Ｚの関係
を、ｔ＞ΔＣ２×Ｚとなるよう設定したものである。そ
して、Ｚをこのように設定すると、２つの振動子間のイ
ンピーダンス差が温度、経過時間、湿度などの影響によ
って変化した場合であっても、時間差の変動は最大でΔ
Ｃ２×Ｚとなる。このため、請求項３、９で述べたＺと
比べ、請求項４、１０のＺを大きな値とすることがで
き、より容易に測定精度を満足する入力インピーダンス
を設定することができる。流量演算は伝搬時間の逆数差
より求めているため、高精度量計測装置を実現できる。
装置は、必要な時間精度をｔ、一対の振動子間の電極間
容量の差の変化量、例えば装置使用温度範囲の最高温度
と最低温度との間における変化量をΔＣ２、低入力部の
入力インピーダンスをＺとし、ｔ、ΔＣ２、Ｚの関係
を、ｔ＞ΔＣ２×Ｚとなるよう設定したものである。そ
して、Ｚをこのように設定すると、２つの振動子間のイ
ンピーダンス差が温度、経過時間、湿度などの影響によ
って変化した場合であっても、時間差の変動は最大でΔ
Ｃ２×Ｚとなる。このため、請求項３、９で述べたＺと
比べ、請求項４、１０のＺを大きな値とすることがで
き、より容易に測定精度を満足する入力インピーダンス
を設定することができる。流量演算は伝搬時間の逆数差
より求めているため、高精度量計測装置を実現できる。
【００１６】本発明の請求項５にかかる流量計測装置
は、低入力部を、低抵抗器と増幅器によって構成するの
で、簡単な構成で容易に精度の高い低入力部を実現する
ことができる。
は、低入力部を、低抵抗器と増幅器によって構成するの
で、簡単な構成で容易に精度の高い低入力部を実現する
ことができる。
【００１７】本発明の請求項６にかかる流量計測装置
は、低入力部を、インピーダンス変換器によって構成す
るので、簡単な構成で容易に精度の高い低入力部を実現
することができる。
は、低入力部を、インピーダンス変換器によって構成す
るので、簡単な構成で容易に精度の高い低入力部を実現
することができる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を用いて
説明する。
説明する。
【００１９】図１は本発明の実施例の流量計測装置を示
す全体のブロック図である。図２は本発明の振動子の等
価回路である。図３は本発明の第１および第２の振動子
の電極間容量の温度特性を示すグラフである。
す全体のブロック図である。図２は本発明の振動子の等
価回路である。図３は本発明の第１および第２の振動子
の電極間容量の温度特性を示すグラフである。
【００２０】図１において、１は流体管路であり内部を
測定流体が流れる。２、３は第１の振動子及び第２の振
動子であり超音波信号を送受信する。４は駆動手段であ
り、前記振動子を駆動する。５は低入力部であり、振動
子２、３の出力信号を低インピーダンスで受ける。６は
切替え手段であり振動子２、３と駆動手段４、低入力部
５との接続を切替える。７は受信検知手段であり低入力
部５の出力信号から、受信タイミングを検知し出力す
る。８は計時手段であり、スタート信号が入力されてか
ら受信検知手段７の出力を受けるまでの時間を測定す
る。９は流量演算手段であり、計時手段８の出力より演
算によって流量を求める。１０は制御部であり、切替手
段６を設定した後に駆動手段４と計時手段８にスタート
信号を出力する。
測定流体が流れる。２、３は第１の振動子及び第２の振
動子であり超音波信号を送受信する。４は駆動手段であ
り、前記振動子を駆動する。５は低入力部であり、振動
子２、３の出力信号を低インピーダンスで受ける。６は
切替え手段であり振動子２、３と駆動手段４、低入力部
５との接続を切替える。７は受信検知手段であり低入力
部５の出力信号から、受信タイミングを検知し出力す
る。８は計時手段であり、スタート信号が入力されてか
ら受信検知手段７の出力を受けるまでの時間を測定す
る。９は流量演算手段であり、計時手段８の出力より演
算によって流量を求める。１０は制御部であり、切替手
段６を設定した後に駆動手段４と計時手段８にスタート
信号を出力する。
【００２１】以下動作を説明する。まず制御部１０が伝
搬時間を測定する方向に切替手段６を制御する。ここで
は第１の振動子２から第２の振動子３への伝搬時間を測
定するので、第１の振動子２と駆動手段４とを、第２の
振動子３と低入力部５とをそれぞれ接続する。次に制御
部１０から駆動手段４と計時手段８とにスタート信号を
出力し、駆動手段４は第１の振動子２を駆動する信号を
出力し、計時手段８は計時を開始する。駆動された第１
の振動子２からは超音波が送信される。そして第２の振
動子３によって受信した受信信号を低入力部５で受け、
受信検知手段７によって受信検知し、計時手段８の計時
を停止させる。計時手段８は流量演算手段９に計時結果
を出力する。次に制御部１０は切り替え手段６を制御し
逆方向の伝搬時間を測定するよう切替手段６の接続を設
定する。以下同様に逆方向の測定を実施し、測定結果を
演算手段９に出力する。流量演算手段９では、両方向の
伝搬時間の逆数差に定数を乗ずることによって流量を求
める。
搬時間を測定する方向に切替手段６を制御する。ここで
は第１の振動子２から第２の振動子３への伝搬時間を測
定するので、第１の振動子２と駆動手段４とを、第２の
振動子３と低入力部５とをそれぞれ接続する。次に制御
部１０から駆動手段４と計時手段８とにスタート信号を
出力し、駆動手段４は第１の振動子２を駆動する信号を
出力し、計時手段８は計時を開始する。駆動された第１
の振動子２からは超音波が送信される。そして第２の振
動子３によって受信した受信信号を低入力部５で受け、
受信検知手段７によって受信検知し、計時手段８の計時
を停止させる。計時手段８は流量演算手段９に計時結果
を出力する。次に制御部１０は切り替え手段６を制御し
逆方向の伝搬時間を測定するよう切替手段６の接続を設
定する。以下同様に逆方向の測定を実施し、測定結果を
演算手段９に出力する。流量演算手段９では、両方向の
伝搬時間の逆数差に定数を乗ずることによって流量を求
める。
【００２２】図２は振動子の等価回路であり、受信した
信号を電気信号に変換し出力する信号源１１と、内部イ
ンピーダンス１２（値をＺｏとする）と、電極間容量１
３（値をＣとする）よりなる。出力する信号はインピー
ダンス１２と電極間容量１３で決まる時間遅延して出力
され、インピーダンス１２と電極間容量１３が大きいほ
ど遅延量は大きくなる。なお、振動子は周知のように、
一対の電極間に圧電素子を配し、一方の電極に振動板を
固着して、一対の電極間に電圧を印加することにより圧
電素子を振動させて超音波を送信できるように構成さ
れ、また前記振動板に超音波を受信したとき、これを圧
電素子により電圧に変換できるように構成されている。
信号を電気信号に変換し出力する信号源１１と、内部イ
ンピーダンス１２（値をＺｏとする）と、電極間容量１
３（値をＣとする）よりなる。出力する信号はインピー
ダンス１２と電極間容量１３で決まる時間遅延して出力
され、インピーダンス１２と電極間容量１３が大きいほ
ど遅延量は大きくなる。なお、振動子は周知のように、
一対の電極間に圧電素子を配し、一方の電極に振動板を
固着して、一対の電極間に電圧を印加することにより圧
電素子を振動させて超音波を送信できるように構成さ
れ、また前記振動板に超音波を受信したとき、これを圧
電素子により電圧に変換できるように構成されている。
【００２３】図３に示すように電極間容量１３および、
電極間容量１３の温度による変化は一般的に振動子によ
って個体差があり、その個体差によって、前述したよう
に振動子が出力する信号の遅延時間が異なり測定誤差と
なる。
電極間容量１３の温度による変化は一般的に振動子によ
って個体差があり、その個体差によって、前述したよう
に振動子が出力する信号の遅延時間が異なり測定誤差と
なる。
【００２４】本発明では、受信側振動子の出力信号を、
受信側振動子の電極間容量１３がもつインピーダンス１
２に比べ小さな値の低入力部５で受けている。そして振
動子が出力する信号の遅延時間は、電極間容量１３と低
入力部５の値で決まるが、低入力部５のインピーダンス
を、小さくすることによって、電極間容量１３のばらつ
きや変動の影響を低減し、伝搬時間測定の精度が向上
し、振動子の電極間容量１３が温度、経過時間、湿度な
どの影響によって変化した場合であっても、時間を正確
に測定することができ、高精度の流量計測装置を実現で
きる。
受信側振動子の電極間容量１３がもつインピーダンス１
２に比べ小さな値の低入力部５で受けている。そして振
動子が出力する信号の遅延時間は、電極間容量１３と低
入力部５の値で決まるが、低入力部５のインピーダンス
を、小さくすることによって、電極間容量１３のばらつ
きや変動の影響を低減し、伝搬時間測定の精度が向上
し、振動子の電極間容量１３が温度、経過時間、湿度な
どの影響によって変化した場合であっても、時間を正確
に測定することができ、高精度の流量計測装置を実現で
きる。
【００２５】また、低入力部５の入力インピーダンスを
受信側振動子の内部インピーダンス１２と電極間容量１
３の並列接続から成るインピーダンスの１／２以下の入
力インピーダンスとすることによって、受信側振動子が
出力する信号の遅延量が、振動子の電極間容量１３のに
よる変化に比べ振動子の出力を受ける低入力部５のほう
がより支配的となり、電極間容量１３の変化が受信信号
のタイミング遅延へ及ぼす影響を低減する。そして、伝
搬時間測定の精度が向上し、振動子の電極間容量１３が
温度、経過時間、湿度などの影響によって変化した場合
であっても、時間を正確に測定することができ、高精度
の流量計測装置を実現できる。
受信側振動子の内部インピーダンス１２と電極間容量１
３の並列接続から成るインピーダンスの１／２以下の入
力インピーダンスとすることによって、受信側振動子が
出力する信号の遅延量が、振動子の電極間容量１３のに
よる変化に比べ振動子の出力を受ける低入力部５のほう
がより支配的となり、電極間容量１３の変化が受信信号
のタイミング遅延へ及ぼす影響を低減する。そして、伝
搬時間測定の精度が向上し、振動子の電極間容量１３が
温度、経過時間、湿度などの影響によって変化した場合
であっても、時間を正確に測定することができ、高精度
の流量計測装置を実現できる。
【００２６】図２に仮想線で示すように、受信側の振動
子にインピーダンスＺの低入力部５が接続され、例えば
前記Ｚが振動子のインピーダンスＺｏの１／１０の場合
には、ＺとＺｏとが並列関係にあるため、接続後の全体
としてのインピーダンスＺ’は次式に示される。
子にインピーダンスＺの低入力部５が接続され、例えば
前記Ｚが振動子のインピーダンスＺｏの１／１０の場合
には、ＺとＺｏとが並列関係にあるため、接続後の全体
としてのインピーダンスＺ’は次式に示される。
【００２７】
【数１】
【００２８】従って、低入力部５を備えない従来例の遅
延時間に対し、低入力部５を備えた本発明の遅延時間は
１／１１となるので、この場合、第１の振動子２と第２
の振動子３との間に電極間容量１３の差があっても、こ
れが伝搬時間測定の精度に及ぼす悪影響を、従来例に比
較し１／１１に低下させることができる。
延時間に対し、低入力部５を備えた本発明の遅延時間は
１／１１となるので、この場合、第１の振動子２と第２
の振動子３との間に電極間容量１３の差があっても、こ
れが伝搬時間測定の精度に及ぼす悪影響を、従来例に比
較し１／１１に低下させることができる。
【００２９】また必要な時間精度（計測時間に対して許
容される時間精度）をｔ、第１の振動子あるいは第２の
振動子２、３の電極間容量の変化量をΔＣ１、低入力部
５の入力インピーダンスをＺｉ１とし、ｔ、ΔＣ１、Ｚ
ｉ１の関係を、ｔ＞ΔＣ１×Ｚｉ１となるようＺを設定
することによって、遅延時間変動はほぼΔＣ・Ｚｉ１と
なり、振動子の電極間容量１３が温度、経過時間、湿度
などの影響によって変化した場合であっても、必要な時
間精度内の遅延時間で超音波の伝搬時間を測定すること
ができ、高精度量計測装置を実現できる。
容される時間精度）をｔ、第１の振動子あるいは第２の
振動子２、３の電極間容量の変化量をΔＣ１、低入力部
５の入力インピーダンスをＺｉ１とし、ｔ、ΔＣ１、Ｚ
ｉ１の関係を、ｔ＞ΔＣ１×Ｚｉ１となるようＺを設定
することによって、遅延時間変動はほぼΔＣ・Ｚｉ１と
なり、振動子の電極間容量１３が温度、経過時間、湿度
などの影響によって変化した場合であっても、必要な時
間精度内の遅延時間で超音波の伝搬時間を測定すること
ができ、高精度量計測装置を実現できる。
【００３０】上記ΔＣ１を図３を参照してより詳細に説
明すると、例えば第２の振動子３の電極間容量が図３に
示すような温度特性を有しているので、装置の使用が予
定されている所定温度範囲Ｔ1〜Ｔ2（一般に使用可能最
低温度Ｔ1を−２５℃、使用可能最高温度Ｔ2を６０℃と
していることが多い。）における最高使用温度Ｔ2と最
低使用温度Ｔ1とでは、電極間容量において図３にΔＣ
１に示すような差が生じる。この電極間容量の変化量Δ
Ｃ１と、遅延時間の変化に対して許容される時間精度ｔ
とから、上記の関係式を満足するように低入力部５のイ
ンピーダンスＺｉ１を定めている。
明すると、例えば第２の振動子３の電極間容量が図３に
示すような温度特性を有しているので、装置の使用が予
定されている所定温度範囲Ｔ1〜Ｔ2（一般に使用可能最
低温度Ｔ1を−２５℃、使用可能最高温度Ｔ2を６０℃と
していることが多い。）における最高使用温度Ｔ2と最
低使用温度Ｔ1とでは、電極間容量において図３にΔＣ
１に示すような差が生じる。この電極間容量の変化量Δ
Ｃ１と、遅延時間の変化に対して許容される時間精度ｔ
とから、上記の関係式を満足するように低入力部５のイ
ンピーダンスＺｉ１を定めている。
【００３１】また、流量を求める演算では、伝搬時間の
逆数差に定数を乗じているため、両方向への振動子出力
信号の遅延時間の絶対値の変動に対し、遅延時間の差の
変動が精度に与える影響が支配的である。そのため必要
な時間精度をｔ、第１の振動子と第２の振動子間の電極
間容量差の変化量をΔＣ２、低入力部１２の入力インピ
ーダンスをＺｉ２とし、ｔ、ΔＣ２、Ｚｉ２の関係を、
ｔ＞ΔＣ２×Ｚｉ２となるよう設定することによって、
２つの振動子間の電極間インピーダンス１３のインピー
ダンス差が温度、経過時間、湿度などの影響によって変
化した場合であっても、遅延時間変動差はほぼΔＣ２・
Ｚｉ２となる。ここで、ΔＣ２とΔＣ１の関係はΔＣ２
＜ΔＣ１、許容遅延時間は同じなので、Ｚ２＞Ｚ１とす
ることができ、より容易に低入力部５を実現することが
できる。また必要な時間精度内の遅延時間で伝搬時間を
正確に測定することができ、高精度量計測装置を実現で
きる。
逆数差に定数を乗じているため、両方向への振動子出力
信号の遅延時間の絶対値の変動に対し、遅延時間の差の
変動が精度に与える影響が支配的である。そのため必要
な時間精度をｔ、第１の振動子と第２の振動子間の電極
間容量差の変化量をΔＣ２、低入力部１２の入力インピ
ーダンスをＺｉ２とし、ｔ、ΔＣ２、Ｚｉ２の関係を、
ｔ＞ΔＣ２×Ｚｉ２となるよう設定することによって、
２つの振動子間の電極間インピーダンス１３のインピー
ダンス差が温度、経過時間、湿度などの影響によって変
化した場合であっても、遅延時間変動差はほぼΔＣ２・
Ｚｉ２となる。ここで、ΔＣ２とΔＣ１の関係はΔＣ２
＜ΔＣ１、許容遅延時間は同じなので、Ｚ２＞Ｚ１とす
ることができ、より容易に低入力部５を実現することが
できる。また必要な時間精度内の遅延時間で伝搬時間を
正確に測定することができ、高精度量計測装置を実現で
きる。
【００３２】上記ΔＣ２を図３を参照してより詳細に説
明すると、図３に示す例の場合、温度Ｔｘにおいて、第
１の振動子２の電極間容量と第２の振動子３の電極間容
量との間には電極間容量差ΔＣｘがある。このΔＣｘは
温度によって変化しており、最高使用温度Ｔ2のときΔ
Ｃ’2、最低使用温度Ｔ1のときΔＣ’1とすると、前記
ΔＣ２は、ΔＣ２＝ΔＣ’2−ΔＣ’1で表わされる。こ
の電極間容量差の変化量ΔＣ２と、遅延時間の変化に対
して許容される時間精度ｔとから、上記の関係式を満足
するように低入力部５のインピーダンスＺｉ２を定めて
いる。
明すると、図３に示す例の場合、温度Ｔｘにおいて、第
１の振動子２の電極間容量と第２の振動子３の電極間容
量との間には電極間容量差ΔＣｘがある。このΔＣｘは
温度によって変化しており、最高使用温度Ｔ2のときΔ
Ｃ’2、最低使用温度Ｔ1のときΔＣ’1とすると、前記
ΔＣ２は、ΔＣ２＝ΔＣ’2−ΔＣ’1で表わされる。こ
の電極間容量差の変化量ΔＣ２と、遅延時間の変化に対
して許容される時間精度ｔとから、上記の関係式を満足
するように低入力部５のインピーダンスＺｉ２を定めて
いる。
【００３３】また図４（ａ）、図４（ｂ）は、低入力部
の詳細な構成を示す図である。図４（ａ）は低入力部５
を、低抵抗器１４と増幅器１５によって構成し、入力信
号を低抵抗器１４で受けるので、入力インピーダンスＺ
はほぼ低抵抗器１４の抵抗値で決まる。その電圧信号を
増幅器１５で必要な一定レベルの電圧に増幅し出力する
ので、簡単な構成で必要な入出力特性をもつ低入力部を
実現することができる。
の詳細な構成を示す図である。図４（ａ）は低入力部５
を、低抵抗器１４と増幅器１５によって構成し、入力信
号を低抵抗器１４で受けるので、入力インピーダンスＺ
はほぼ低抵抗器１４の抵抗値で決まる。その電圧信号を
増幅器１５で必要な一定レベルの電圧に増幅し出力する
ので、簡単な構成で必要な入出力特性をもつ低入力部を
実現することができる。
【００３４】また、図４（ｂ）は低入力部５を、インピ
ーダンス変換器であるトランス１６によって実現してい
る。そのため、入力インピーダンスは入力側の巻き線１
７と、出力側巻き線１８の巻き数比と、出力側巻き線１
８に接続された抵抗１９とで決めることができるので、
出力簡単な構成で容易に低入力部５を実現することがで
きる。
ーダンス変換器であるトランス１６によって実現してい
る。そのため、入力インピーダンスは入力側の巻き線１
７と、出力側巻き線１８の巻き数比と、出力側巻き線１
８に接続された抵抗１９とで決めることができるので、
出力簡単な構成で容易に低入力部５を実現することがで
きる。
【００３５】図５に示す本発明の実施例は、繰り返し手
段２０、遅延手段２２を備えている外は、図１に示す実
施例と同様に構成されている。従って、図１に示す各要
素と同一符号の要素についての説明は原則として省略す
る。
段２０、遅延手段２２を備えている外は、図１に示す実
施例と同様に構成されている。従って、図１に示す各要
素と同一符号の要素についての説明は原則として省略す
る。
【００３６】前記繰り返し手段２０は、受信検知手段７
の比較手段７ａから出力があると繰り返し信号をトリガ
手段２１に出力する。前記遅延手段２２は、トリガ手段
２１から出力があると、所定の遅延時間を設定する。
の比較手段７ａから出力があると繰り返し信号をトリガ
手段２１に出力する。前記遅延手段２２は、トリガ手段
２１から出力があると、所定の遅延時間を設定する。
【００３７】駆動手段４は、トリガ手段２１から出力が
あり、遅延手段２２の遅延時間終了の信号を受けてか
ら、切替手段６を介して振動子を駆動する。計時手段８
は、スタート手段２４から計測開始信号が出力されてか
ら、低入力部５からの受信タイミング信号を受けるまで
の時間を測定する。流量演算手段９は、計時手段８の測
定時間と遅延手段２２の遅延時間により流量演算を行
う。
あり、遅延手段２２の遅延時間終了の信号を受けてか
ら、切替手段６を介して振動子を駆動する。計時手段８
は、スタート手段２４から計測開始信号が出力されてか
ら、低入力部５からの受信タイミング信号を受けるまで
の時間を測定する。流量演算手段９は、計時手段８の測
定時間と遅延手段２２の遅延時間により流量演算を行
う。
【００３８】以上のように構成された流量計測装置につ
いて、以下その動作、作用について説明する。
いて、以下その動作、作用について説明する。
【００３９】まずスタート手段２４から計測開始信号を
出力すると、繰り返し手段２０は切替手段６を動作させ
て、第１の振動子２を送信に、第２の振動子３を受信に
する。すなわち、第１の振動子２を駆動手段４に、第２
の振動子３を低入力部５の低インピーダンス受信手段１
４にそれぞれ接続することになり、流れの方向に対して
上流側から下流側に超音波信号が伝搬されることにな
る。
出力すると、繰り返し手段２０は切替手段６を動作させ
て、第１の振動子２を送信に、第２の振動子３を受信に
する。すなわち、第１の振動子２を駆動手段４に、第２
の振動子３を低入力部５の低インピーダンス受信手段１
４にそれぞれ接続することになり、流れの方向に対して
上流側から下流側に超音波信号が伝搬されることにな
る。
【００４０】次に、繰り返し手段２０の値を初期値にし
て計時手段８が時間計測を開始する。また、繰り返し手
段２０はトリガ手段２１を動作させ、遅延手段２２はト
リガ手段２１のトリガ信号によって、遅延時間を計測開
始する。駆動手段４は、トリガ手段２１から出力があ
り、遅延手段２２の計時終了時に第１の振動子２を駆動
し、流路１内に超音波信号を送信させる。
て計時手段８が時間計測を開始する。また、繰り返し手
段２０はトリガ手段２１を動作させ、遅延手段２２はト
リガ手段２１のトリガ信号によって、遅延時間を計測開
始する。駆動手段４は、トリガ手段２１から出力があ
り、遅延手段２２の計時終了時に第１の振動子２を駆動
し、流路１内に超音波信号を送信させる。
【００４１】流体管路１内を超音波信号が伝搬し、第２
の振動子３に所定の伝搬時間後に到達する。受信信号は
前記低入力部５に出力され、低入力部５は低インピーダ
ンス受信手段１４で入力し、低入力部５からの出力信号
を受信検知手段７で受信タイミング検知する。
の振動子３に所定の伝搬時間後に到達する。受信信号は
前記低入力部５に出力され、低入力部５は低インピーダ
ンス受信手段１４で入力し、低入力部５からの出力信号
を受信検知手段７で受信タイミング検知する。
【００４２】なお、受信信号は増幅器１５で所定のレベ
ルまで増幅された後に、受信検知手段７の比較手段７ａ
に出力され、内蔵する基準値と比較され、それ以上であ
ると増幅信号は繰り返し手段２０に出力される。
ルまで増幅された後に、受信検知手段７の比較手段７ａ
に出力され、内蔵する基準値と比較され、それ以上であ
ると増幅信号は繰り返し手段２０に出力される。
【００４３】繰り返し手段２０は再びトリガ手段２１を
動作させると共に、遅延手段２２を動作させる。遅延手
段２２で所定の時間計時すると、トリガ手段２１は駆動
手段４を動作させて第１の振動子２を駆動し、再度超音
波信号を送信させる。以降、繰り返し手段２０の繰り返
し回数が設定値に達するまで、送信⇒受信⇒遅延を繰り
返す。
動作させると共に、遅延手段２２を動作させる。遅延手
段２２で所定の時間計時すると、トリガ手段２１は駆動
手段４を動作させて第１の振動子２を駆動し、再度超音
波信号を送信させる。以降、繰り返し手段２０の繰り返
し回数が設定値に達するまで、送信⇒受信⇒遅延を繰り
返す。
【００４４】繰り返しが終了すると、計時手段８の計時
を停止し、流量演算手段９は計時手段８の値を読み込
む。測定時間をＴ、遅延手段２２の設定値をＴｄとする
と、第１の振動子２から第２の振動子３へ超音波信号を
伝搬する伝搬時間Ｔ１は、繰り返し回数をＮとするとＴ
１＝（Ｔ−Ｔｄ×Ｎ）／Ｎとなり、この値を流量演算手
段９に記憶する。
を停止し、流量演算手段９は計時手段８の値を読み込
む。測定時間をＴ、遅延手段２２の設定値をＴｄとする
と、第１の振動子２から第２の振動子３へ超音波信号を
伝搬する伝搬時間Ｔ１は、繰り返し回数をＮとするとＴ
１＝（Ｔ−Ｔｄ×Ｎ）／Ｎとなり、この値を流量演算手
段９に記憶する。
【００４５】次に再びスタート手段１４が計測を開始さ
せ、繰り返し手段２０と計時手段８の値を初期値にす
る。そして切替手段６を動作させて、第１の振動子２を
低入力部５に接続し、第２の振動子３を駆動手段４に接
続する。上記と同様にして今度は下流側から上流側に超
音波信号が伝搬されることになる。
せ、繰り返し手段２０と計時手段８の値を初期値にす
る。そして切替手段６を動作させて、第１の振動子２を
低入力部５に接続し、第２の振動子３を駆動手段４に接
続する。上記と同様にして今度は下流側から上流側に超
音波信号が伝搬されることになる。
【００４６】第２の振動子３から第１の振動子２への超
音波信号の伝搬時間はＴ２となるが、流体管路１に流れ
があれば下流側から上流側への伝搬時間は長くなるので
Ｔ１＞Ｔ２となり、Ｔ１とＴ２の逆数差を流量演算手段
９で求め、さらに流路１の断面積や流れの状態等を考慮
して流量値を演算する。
音波信号の伝搬時間はＴ２となるが、流体管路１に流れ
があれば下流側から上流側への伝搬時間は長くなるので
Ｔ１＞Ｔ２となり、Ｔ１とＴ２の逆数差を流量演算手段
９で求め、さらに流路１の断面積や流れの状態等を考慮
して流量値を演算する。
【００４７】
【発明の効果】以上説明したように本発明の流量計測装
置は振動子の内部インピーダンスに比べ、小さなインピ
ーダンスで振動子の出力を受けているので、振動子の電
極間容量が温度、経過時間、湿度などの影響によって変
化した場合であっても、あるいは特性の異なる振動子を
ペアとして用いる場合であっても、振動子出力信号の遅
延時間変化が小さく、超音波の伝搬時間を正確に測定す
ることができ、高精度量計測装置を実現できるという効
果がある。
置は振動子の内部インピーダンスに比べ、小さなインピ
ーダンスで振動子の出力を受けているので、振動子の電
極間容量が温度、経過時間、湿度などの影響によって変
化した場合であっても、あるいは特性の異なる振動子を
ペアとして用いる場合であっても、振動子出力信号の遅
延時間変化が小さく、超音波の伝搬時間を正確に測定す
ることができ、高精度量計測装置を実現できるという効
果がある。
【図１】本発明の実施例における流量計測装置のブロッ
ク図。
ク図。
【図２】同流量計測装置の振動子部分の等価回路図。
【図３】同流量計測装置の振動子の振動子の電極間容量
の温度特性図。
の温度特性図。
【図４】（ａ）（ｂ）は本発明の低入力部の詳細な構成
を示す一例図。
を示す一例図。
【図５】本発明の他の実施例における流量計測装置のブ
ロック図。
ロック図。
【図６】従来の流量計測装置のブロック図。
１ 流体管路
２ 振動子
３ 振動子
４ 駆動手段
５ 低入力部
６ 切替手段
７ 受信検知手段
８ 計時手段
９ 流量演算手段
１３ 電極間容量
１４ 低抵抗器
１５ 増幅器
１６ インピーダンス変換機
Claims (14)
- 【請求項１】 流体管路に設けられ超音波信号を送受信
する一対の振動子と、前記振動子の送受信の切替え手段
と、前記振動子の受信出力を受ける低入力部と、前記低
入力部の出力から超音波の受信を検知する受信検知手段
と、前記振動子を駆動する駆動手段と、前記振動子間の
超音波の伝搬時間を計測する計時手段と、前記計時手段
の計時値に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備
え、前記低入力部が、前記振動子のインピーダンスより
も低い入力インピーダンスである超音波流量計。 - 【請求項２】 低入力部は、入力インピーダンスが入信
側振動子の１／２以下のインピーダンスである請求項１
記載の流量計測装置。 - 【請求項３】 必要な時間精度をｔ、振動子の電極間容
量の変化量をΔＣ１、低入力部の入力インピーダンスを
Ｚとし、ｔ、ΔＣ１、Ｚの関係が、 ｔ＞ΔＣ１×Ｚ の関係となるように設定されている請求項１または２記
載の流量計測装置。 - 【請求項４】 必要な時間精度をｔ、一対の振動子の電
極間容量差の変化量をΔＣ２、低入力部の入力インピー
ダンスをＺとし、ｔ、ΔＣ２、Ｚの関係が、 ｔ＞ΔＣ２×Ｚ の関係となるように設定されている請求項１または２記
載の流量計測装置。 - 【請求項５】 低入力部を、低抵抗器と増幅器によって
構成する請求項１から４のいずれかに記載の流量計測装
置。 - 【請求項６】 低入力部を、インピーダンス変換器によ
って構成する請求項１から４のいずれかに記載の流量計
測装置。 - 【請求項７】 流体管路に設けられ超音波信号を送受信
する一対の振動子と、前記振動子の受信出力を受ける低
入力部と、前記低入力部の出力から超音波の受信を検知
する受信検知手段と、前記振動子を駆動する駆動手段
と、前記振動子間の超音波の伝搬時間を計測する計時手
段と、前記計時手段の計時値に基づいて流量を算出する
流量演算手段と、一方の振動子を送信側の前記駆動手段
に、他方の振動子を受信側の前記低入力部にそれぞれ接
続すると共に送受信を切替える切替え手段とを備え、前
記低入力部が前記振動子のインピーダンスに対し、並列
でかつ低いインピーダンスを有するものである超音波流
量計。 - 【請求項８】 一対の振動子として、特性が異なる第１
の振動子と第２の振動子とを用いる請求項７記載の流量
計測装置。 - 【請求項９】 一対の振動子のいずれかの電極間容量の
所定範囲温度における最高温度と最低温度との間におけ
る変化量をΔＣ１、計時時間に対して許容される時間精
度をｔとしたとき、低入力部の入力インピーダンスＺ
が、 ｔ＞ΔＣ１×Ｚ の関係となるように設定されている請求項７または８記
載の流量計測装置。 - 【請求項１０】 一対の振動子の電極間容量の差の所定
範囲温度における最高温度と最低温度との間における変
化量をΔＣ２、計時時間に対して許容される時間精度を
ｔとしたとき、低入力部の入力インピーダンスＺが、 ｔ＞ΔＣ２×Ｚ の関係となるように設定されている請求項７または８記
載の流量計測装置。 - 【請求項１１】 流体管路に設けられた一対の振動子間
で超音波の送受信を行い、前記超音波の伝搬時間を計測
し、前記計測した結果に基づいて流体管路を流れる流体
の流量を測定する流量測定方法であって、前記振動子の
電極間容量の変化による超音波伝搬時間の計測ズレを抑
制しながら超音波の伝搬時間の計測を行う流量測定方
法。 - 【請求項１２】 流体管路に設けられた一対の振動子間
で超音波の送受信を行い、前記送信側の振動子から出力
される送信開始信号と前記受信側の振動子から出力され
る受信終了信号とから前記超音波の伝搬時間を計測し、
前記計測した結果に基づいて流体管路を流れる流体の流
量を測定する流量測定方法であって、前記振動子の電極
間容量が変化しても受信側の振動子から出力される信号
の遅延時間を抑制しながら超音波の伝搬時間の計測を行
う流量測定方法。 - 【請求項１３】 振動子の電極間容量の変化は温度、経
過時間、湿度により生じる請求項１１または１２記載の
流量測定方法。 - 【請求項１４】 流体管路に設けられ超音波信号を送受
信する一対の振動子と、前記振動子間の超音波の伝搬時
間を計測する計時手段と、前記計時手段の計測結果に基
づいて前記流体管路内の流体の流量を算出する流量演算
手段と、前記振動子の電極間容量の変化による超音波伝
搬時間の計測ズレを抑制する抑制手段とを備えた流量計
測装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002255248A JP3585476B2 (ja) | 2002-03-15 | 2002-08-30 | 流量計測装置 |
| CNB031200648A CN1237330C (zh) | 2002-03-15 | 2003-03-12 | 流量计量装置 |
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| KR1020030015959A KR100776111B1 (ko) | 2002-03-15 | 2003-03-14 | 유량 계측 장치 |
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| EP03005819.2A EP1345012B1 (en) | 2002-03-15 | 2003-03-14 | Flow meter |
| HK04101707A HK1058964A1 (en) | 2002-03-15 | 2004-03-09 | Flow meter |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002071904 | 2002-03-15 | ||
| JP2002071156 | 2002-03-15 | ||
| JP2002-71904 | 2002-03-15 | ||
| JP2002-71156 | 2002-03-15 | ||
| JP2002255248A JP3585476B2 (ja) | 2002-03-15 | 2002-08-30 | 流量計測装置 |
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|---|---|---|---|
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| Country | Link |
|---|---|
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| EP (1) | EP1345012B1 (ja) |
| JP (1) | JP3585476B2 (ja) |
| KR (1) | KR100776111B1 (ja) |
| CN (1) | CN1237330C (ja) |
| HK (1) | HK1058964A1 (ja) |
| TW (1) | TWI258004B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI500908B (zh) * | 2013-06-19 | 2015-09-21 | Ind Tech Res Inst | 超音波流量計及超音波流量測量方法 |
Families Citing this family (15)
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|---|---|---|---|---|
| KR100519481B1 (ko) * | 2003-05-17 | 2005-10-06 | (주)씨엠엔텍 | 음속측정장치 및 이를 이용한 초음파 유량계에서의지연시간 측정방법 및 유체내 초음파 진동자간 거리측정방법 |
| US7117104B2 (en) * | 2004-06-28 | 2006-10-03 | Celerity, Inc. | Ultrasonic liquid flow controller |
| DE102005037458B4 (de) * | 2005-08-09 | 2016-06-02 | Robert Bosch Gmbh | Ultraschall-Strömungssensor mit Driftkompensation |
| WO2007021883A1 (en) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Celerity, Inc. | Ultrasonic flow sensor |
| US7152490B1 (en) * | 2005-08-15 | 2006-12-26 | Daniel Measurement And Control, Inc. | Methods for determining transducer delay time and transducer separation in ultrasonic flow meters |
| US7366625B1 (en) * | 2006-10-04 | 2008-04-29 | Cameron International Corporation | Method, apparatus and computer medium for correcting transient flow errors in flowmeter proving data |
| US8132469B2 (en) * | 2010-01-06 | 2012-03-13 | Daniel Measurement And Control, Inc. | Ultrasonic flow meter with transducer assembly having a rotatable receptacle and elbow connector |
| EP2383550A1 (en) | 2010-04-28 | 2011-11-02 | Miitors ApS | Ultrasonic flow meter |
| EP2581715A1 (en) | 2011-10-13 | 2013-04-17 | Miitors ApS | Ultrasonic flow meter |
| CN104864923A (zh) * | 2014-02-24 | 2015-08-26 | 通用电气公司 | 传送和接收超声信号的电路组件及使用该电路组件的系统和方法 |
| CN106871980B (zh) * | 2017-02-13 | 2019-03-26 | 合肥工业大学 | 基于相邻峰值最大差值的气体超声流量计间歇式激励和信号处理方法和系统 |
| DE102017006181A1 (de) * | 2017-06-29 | 2019-01-03 | Diehl Metering Gmbh | Messeinrichtung und Verfahren zur Ermittlung einer Fluidgröße |
| DE102017006909A1 (de) * | 2017-07-20 | 2019-01-24 | Diehl Metering Gmbh | Messmodul zur Ermittlung einer Fluidgröße |
| CN111366204B (zh) * | 2020-02-28 | 2022-03-08 | 龙芯中科(金华)技术有限公司 | 流量测量电路和方法 |
| CN115586738A (zh) * | 2022-11-25 | 2023-01-10 | 成都千嘉科技股份有限公司 | 一种超声波流量计的开关电路及其控制方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1602185A (en) * | 1977-06-03 | 1981-11-11 | Standard Telephones Cables Ltd | Measuring fluid flow |
| GB2017914B (en) * | 1978-03-29 | 1982-08-25 | Flowmetering Instr Ltd | Ultrasonic flowmeters |
| DE3633306A1 (de) * | 1986-09-30 | 1988-03-31 | Siemens Ag | Schaltungsanordnung fuer ultraschall-durchflussmesser |
| US4788981A (en) * | 1986-10-16 | 1988-12-06 | Olympus Optical Co., Ltd. | Pulse compression apparatus for ultrasonic image processing |
| GB2237639B (en) | 1989-10-31 | 1994-07-06 | British Gas Plc | Measurement system |
| GB9301873D0 (en) * | 1993-01-30 | 1993-03-17 | Cambridge Consultants | Method and apparatus for fluid flow metering |
| US5394732A (en) * | 1993-09-10 | 1995-03-07 | Cobe Laboratories, Inc. | Method and apparatus for ultrasonic detection of air bubbles |
| DE19810798A1 (de) * | 1997-03-14 | 1998-09-24 | Siemens Ag | Schaltungsanordnung zur Steuerung und Auswertung für Ultraschall-Volumenstrommeßgeräte |
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-
2004
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Cited By (1)
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