JP2003329716A - 電磁妨害波測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁界を測定する対象物が大きくても測定操作
が容易で、利便性の高い電磁妨害波測定装置を提供す
る。 【解決手段】 電磁妨害波測定装置であって、対象物４
０の磁界を測定する磁界プローブ２２と、磁界プローブ
２２の位置判定の基準となる２つ以上の基準部材（３
１、３２）と、磁界プローブ２２を搭載して対象物４０
上を走査しながら、磁界プローブ２２と基準部材（３
１、３２）および測定対象物４０との距離を計測するレ
ーザ変位計２１と、磁界プローブ２２が上記走査位置で
測定する対象物の磁界の周波数分析を行うスペクトラム
アナライザ２０と、中央制御装置１０とを備え、中央制
御装置１０は、上記計測距離に基づく磁界プローブ２２
の位置およびその位置での磁界の周波数分析情報を表示
する表示手段１３を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電磁妨害波測定装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、電子機器の高機能化、高クロック
化にともない電子機器における電磁波障害が問題となっ
てきている。電磁波障害の対策にはまず現象の的確な把
握が重要である。そのために、例えば特開２０００−１
９２０４号公報に開示されているように、電磁界センサ
を直線ステージで移動して磁界を測定する発明がある。
しかしこの発明は、測定対象物が大きくなると必然的に
直線ステージも大きくなり、取り回し、利便性が悪くな
ると言う問題点があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】したがって本発明は上
記問題点に鑑みてなされ、その目的は、磁界を測定する
対象物が大きくても取り回しが容易で利便性の高い電磁
妨害波測定装置を提供することである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、対象
物の磁界を測定する磁界プローブと、前記磁界プローブ
の位置判定の基準となる２つ以上の基準部材と、前記磁
界プローブを搭載して前記対象物上を走査しながら、前
記磁界プローブと基準部材および測定対象物との距離を
計測するレーザ変位計と、前記磁界プローブが上記走査
位置で測定する前記対象物の磁界の周波数分析を行うス
ペクトラムアナライザと、上記計測された磁界プローブ
の距離に基づく前記磁界プローブの位置およびその位置
での前記スペクトラムアナライザによる磁界の周波数分
析情報をデータ処理する中央制御装置と、該データ処理
された情報を表示する表示装置とを備えたことを特徴と
する電磁妨害波測定装置である。この構成によって、レ
ーザ変位計を用いて磁界プローブの距離計測を行うの
で、磁界の測定対象物が大きくても従来型のような直線
ステージを用いることなく、操作が容易で利便性の高い
電磁妨害波測定装置を提供できる。

【０００５】請求項２の発明は、請求項１に記載の電磁
妨害波測定装置において、前記表示手段上には、前記測
定対象物の測定される面によって設定される格子状の測
定メッシュと前記磁界プローブの位置とを表示すること
を特徴とする。この構成によって、磁界の測定中に磁界
測定メッシュと磁界プローブとの位置関係が分かり易く
視認でき、利便性の高い電磁妨害波測定装置を提供でき
る。

【０００６】請求項３の発明は、請求項１または２に記
載の電磁妨害波測定装置において、さらにカメラを備
え、前記カメラによる上記測定対象物の映像を、前記表
示手段上にさらにスーパーインポーズして表示すること
を特徴とする。この構成によって、磁界の測定中に測定
対象物と、磁界測定メッシュと、磁界プローブとの位置
関係を分かり易く表示することにより利便性の高い電磁
妨害波測定装置を提供できる。

【０００７】請求項４の発明は、請求項１乃至３のいず
れかに記載の電磁妨害波測定装置において、装前記磁界
プローブによる磁界の測定時には、前記レーザ変位計に
よる距離計測を停止することを特徴とする。この構成に
よって、レーザ変位計からの電磁波ノイズの発生の影響
を断つことにより、磁界プローブの測定データが乱れる
問題点を解決でき、正確なデータを測定できる電磁妨害
波測定装置を提供できる。

【０００８】請求項５の発明は、請求項２乃至４のいず
れかに記載の電磁妨害波測定装置において、前記中央制
御装置は、前記測定メッシュに基づく磁界測定点での測
定前に、あらかじめ上記測定点から選び出された粗な選
択測定点において磁界を測定し、その磁界プローブの位
置およびその磁界の周波数分析情報を、前記表示手段に
表示することを特徴とする。この構成によって、磁界の
測定の前または初期において、磁界の分布の概略を知る
ことができる利便性の高い電磁妨害波測定装置を提供で
きる。

【０００９】請求項６の発明は、請求項２乃至５のいず
れかに記載の電磁妨害波測定装置において、前記測定対
象物の測定する面上の異なる領域に対して、それぞれ異
なる測定メッシュが設定可能であり、前記異なる測定メ
ッシュに基づいて前記磁界を測定することを特徴とす
る。この構成によって、磁界強度の変動に応じて測定の
ためのメッシュによる分割数を増減して測定点の密度を
増減することにより、より精密かつ能率的に磁界測定が
可能な電磁妨害波測定装置を提供できる。

【００１０】請求項７の発明は、請求項１乃至６のいず
れかに記載の電磁妨害波測定装置において、前記磁界プ
ローブが、上記磁界測定対象との距離を一定に保ちなが
ら測定することを特徴とする。この構成によって、測定
対象物の測定面に段差がある場合でもプローブとの距離
を一定に保つことにより、より正確に磁界の測定が可能
な電磁妨害波測定装置を提供できる。

【００１１】請求項８の発明は、請求項１乃至７のいず
れかに記載の電磁妨害波測定装置において、前記中央制
御装置がさらに、１以上の周波数を入力する入力手段
と、データを記憶する記憶手段とを有し、前記磁界プロ
ーブの測定においては、入力された１以上の周波数に基
づいて測定と周波数分析とを行い、そのデータを前記記
憶手段が記憶し、上記入力された１以上の周波数に基づ
いて前記表示手段に表示することを特徴とする。この構
成によって、１つの測定点を複数の解析周波数で測定し
分析する場合でも、１回の走査と測定動作によって行う
ことができる利便性の高い電磁妨害波測定装置を提供で
きる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図を参照しながら本実施の
形態を説明する。図１は本発明の実施の形態による電磁
妨害波測定装置の模式的斜視図である。図１において、
中央制御装置１０には表示手段１３、スペクトラムアナ
ライザ２０、記憶手段１２、入力手段１１、およびレー
ザ変位計２１が電気的に接続しており、磁界プローブ２
２のケーブルがスペクトラムアナライザ２０に接続す
る。また測定対象物４０の前面（図中磁界プローブ側の
面）側には基準部材（基準面）３１、基準部材（基準
面）３２が備えられている。図１では、基準部材は２つ
描かれているが、３次元での距離計測などのために３以
上であっても良い。

【００１３】まず、レーザ変位計２１による距離計測に
ついて説明する。図２は図１の電磁妨害波測定装置を、
図１に記されたｚ軸の正の方向から見た平面図である。
レーザ変位計は、第１基準部材３１からの距離ｘ１およ
び第２基準部材３２からの距離ｙ１を計測する。図３
は、図１の電磁妨害波測定装置を図１に記されたｘ軸の
負の方向から見た平面図である。即ち、測定対象物４０
の測定する面（前面）から磁界プローブ２２までの距離
ｚ１を計測する。

【００１４】磁界の測定について説明する。まず入力手
段１１で測定開始の指示がなされると磁界プローブ２２
を手で測定対象４０の第１〜第３基準点４１、４２、お
よび４３に移動して、それらの位置を計測し、記憶手段
１２に記憶させる。次に入力手段１１でｘ軸方向の分割
数、ｙ軸方向の分割数を入力し、測定点メッシュの位置
を算出し、記憶手段１２に記憶させる。次に磁界プロー
ブ２２が測定対象物４０をなぞる様に、手で移動し、常
時、測定時の磁界プローブの位置を計測して、表示手段
１３上で確認しながら磁界プローブ２２が測定点の位置
に来た時に、あらかじめ入力手段１１から入力された測
定周波数によりスペクトラムアナライザ２０で測定周波
数成分を抽出して、記憶手段１２に記憶させる。全ての
測定点で測定し終わると、測定結果を表示手段１３に表
示する。このようにして、従来例のように、測定対象物
４０が大きい場合は、磁界プローブの移動のためにそれ
に応じた直線ステージが必要となって測定機器の取り回
し、利便性が悪くなる問題点があったが、その問題点を
解決する事ができる。また、測定結果の表示は、全ての
測定点の測定が終了する前であっても良い。

【００１５】図４は、本実施の形態による表示手段が、
磁界測定中に磁界測定メッシュと磁界プローブの位置と
を表示することを示す説明図である。これにより磁界測
定中に磁界測定メッシュ５４と、磁界プローブ２２との
位置関係が分かり易く表示される。

【００１６】ここで、カメラ（不図示）が付加されて、
磁界測定前に測定対象物４０の測定面を撮影して記憶手
段１３に記憶させ、そして磁界測定中に表示手段１３上
に測定対象物の映像（不図示）を表示し、その上に磁界
測定メッシュ５４と測定中の磁界プローブ２２の位置を
スーパーインポーズして表示してもよい。これにより、
磁界測定中に測定対象物と、磁界測定メッシュと、磁界
プローブとの位置関係が、表示手段１３上にて容易に認
識可能になる。

【００１７】ここで、磁界測定の場合、磁界プローブの
測定時には、電磁波ノイズを測定する瞬間において、レ
ーザ変位計のレーザ出力とデータで伝達を行わないよう
にすることができる。これにより、レーザ変位計２１か
らの電磁波ノイズで磁界プローブ２２での測定データが
乱れることを防止することができる。

【００１８】またここで、第１〜３基準点４１〜４３に
よって決められる測定予定点で測定する前に、粗くいく
つかの測定点を選択して磁界の測定を行ってもよく、そ
の粗い測定結果を表示手段上で表示しても良い。これに
よって、対象物の磁界測定を開始する前、あるいは初期
の段階で、磁界の分布の概略を容易に判断・視認するこ
とができる。

【００１９】図５は、測定対象物の測定面とその測定メ
ッシュの設定を示す説明図であり、（ａ）は対象物の測
定面を示し、（ｂ）は測定面に対応する測定メッシュを
示している。ここで、測定点の座標を入力する時は、図
５に示すように面Ａ４５の第１〜３基準点４１〜４３
と、面Ｂ５０の第１〜３基準点５１〜５３との位置座
標、および面Ａ４５と面Ｂ５０によって設定される測定
メッシュのための分割数を入力する。これにより図５の
（ａ）および（ｂ）に示すように、測定面Ａの部分領域
である面Ｂの測定メッシュでは、測定点の分割数を面Ａ
における分割数と異ならせるように、例えば増加させる
ように、変更できる。面Ａであって面Ｂを含まない領域
における測定メッシュが符号５５で表され、面Ｂにおけ
る測定メッシュが符号６０で表される。このようにし
て、磁界強度の変動の多少に応じて、測定領域での測定
の分割数を増減して測定点の密度を変化させて、能率的
で精密な測定とその表示が可能となる。

【００２０】図６は、厚みが一定でない測定対象物を示
す模式的斜視図である。ここで、磁界測定を行う時にレ
ーザ変位計で測定対象物との距離を計測し、測定対象物
と等距離を一定に保ちながら磁界測定を行うことが可能
である。その際、基準部材を１以上追加してもよい（不
図示）。こうして、図６のように面Ａ４５および面Ｂ５
０のような段差のある面でも、より正確な磁界測定が可
能となる。

【００２１】また、あらかじめ入力手段１１から１以上
の解析周波数を入力しておき、磁界測定時は一つの測定
点において、その１以上の周波数において測定し、また
スペクトラムアナライザでその１以上の解析周波数での
強度を測定し、記憶手段１２に記憶する。そして全ての
測定点で測定できれば、入力手段１１の入力に応じた上
記１以上の解析周波数での測定結果を表示手段１３で表
示する。これにより１以上の解析周波数で測定する場合
でも、何回も繰り返し測定動作を行うことなく、１通り
の走査動作によって、１以上の解析周波数における磁界
測定データを得ることができる。

【００２２】

【発明の効果】請求項１の発明によると、レーザ変位計
を用いて磁界プローブの位置計測を行うので、測定対象
物が大きい場合であっても、操作が容易で利便性の高い
電磁妨害波測定装置を提供できる。請求項２の発明によ
ると、磁界測定中に磁界測定メッシュと磁界プローブと
の位置関係が分かり易いため、利便性の高い電磁妨害波
測定装置を提供できる。請求項３の発明によると、磁界
測定中に測定対象物と、磁界測定メッシュと、磁界プロ
ーブとの位置関係を表示することにより利便性の高い電
磁妨害波測定装置を提供できる。請求項４の発明による
と、ノイズ発生の影響を押さえて、測定精度の高い電磁
妨害波測定装置を提供できる。請求項５の発明による
と、測定の初期において磁界の分布の概略を知ることが
できる利便性の高い電磁妨害波測定装置を提供できる。
請求項６の発明によると、磁界の変動の強弱に応じて測
定点の密度を変化させることができる精密で能率的な電
磁妨害波測定装置を提供できる。請求項７の発明による
と、測定対象物の測定面に高低差がある場合でも、より
正確に測定可能な電磁妨害波測定装置を提供できる。請
求項８の発明によると、複数の解析周波数で測定する場
合でも、１通りの測定動作によって測定できる利便性の
高い電磁妨害波測定装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態による電磁妨害波測定装置
の模式的斜視図である。

【図２】図１の電磁妨害波測定装置を、図１に記された
ｚ軸の正の方向から見た平面図である。

【図３】図１の電磁妨害波測定装置を、図１に記された
ｘ軸の負の方向から見た平面図である。

【図４】本実施の形態の表示手段が、磁界測定メッシュ
と磁界プローブの位置とを表示することを示す説明図で
ある。

【図５】測定対象物の測定面とその測定メッシュの設定
を示す説明図であり、（ａ）は対象物の測定面を示し、
（ｂ）は測定面に対応する測定メッシュを示している。

【図６】厚みが一定でない測定対象物を示す模式的斜視
図である。

【符号の説明】

１０……中央制御装置 １１……入力手段 １２……記憶手段 １３……表示手段 ２０……スペクトラムアナライザ ２１……レーザ変位計 ２２……磁界プローブ ３１、３２……基準部材（基準面） ４０……測定対象物 ４１、４２、および４３……面Ａの第１〜第３基準点 ４５……面Ａ ５０……面Ｂ ５１〜５３……面Ｂの第１〜３基準点 ５４……磁界測定メッシュ ５５……面Ａに対応する測定メッシュ ６０……面Ｂに対応する測定メッシュ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対象物の磁界を測定する磁界プローブ
   と、 前記磁界プローブの位置判定の基準となる２つ以上の基
   準部材と、 前記磁界プローブを搭載して前記対象物上を走査しなが
   ら、前記磁界プローブと基準部材および測定対象物との
   距離を計測するレーザ変位計と、 前記磁界プローブが上記走査位置で測定する前記対象物
   の磁界の周波数分析を行うスペクトラムアナライザと、 上記計測された磁界プローブの距離に基づく前記磁界プ
   ローブの位置およびその位置での前記スペクトラムアナ
   ライザによる磁界の周波数分析情報をデータ処理する中
   央制御装置と、 該データ処理された情報を表示する表示装置と、 を備えたことを特徴とする電磁妨害波測定装置。
2. 【請求項２】 前記表示手段上には、前記測定対象物の
   測定される面によって設定される格子状の測定メッシュ
   と前記磁界プローブの位置とを表示することを特徴とす
   る請求項１に記載の電磁妨害波測定装置。
3. 【請求項３】 さらにカメラを備え、前記カメラによる
   上記測定対象物の映像を、前記表示手段上にさらにスー
   パーインポーズして表示することを特徴とする請求項１
   または２に記載の電磁妨害波測定装置。
4. 【請求項４】 前記磁界プローブによる磁界の測定時に
   は、前記レーザ変位計による距離計測を停止することを
   特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の電磁妨害
   波測定装置。
5. 【請求項５】 前記中央制御装置は、前記測定メッシュ
   に基づく磁界測定点での測定前に、あらかじめ上記測定
   点から選び出された粗な選択測定点において磁界を測定
   し、その磁界プローブの位置およびその磁界の周波数分
   析情報を、前記表示手段に表示することを特徴とする請
   求項２乃至４のいずれかに記載の電磁妨害波測定装置。
6. 【請求項６】 前記測定対象物の測定する面上の異なる
   領域に対して、それぞれ異なる測定メッシュが設定可能
   であり、前記異なる測定メッシュに基づいて前記磁界を
   測定することを特徴とする請求項２乃至５のいずれかに
   記載の電磁妨害波測定装置。
7. 【請求項７】 前記磁界プローブが、上記磁界測定対象
   との距離を一定に保ちながら測定することを特徴とする
   請求項１乃至６のいずれかに記載の電磁妨害波測定装
   置。
8. 【請求項８】 前記中央制御装置がさらに、１以上の周
   波数を入力する入力手段と、データを記憶する記憶手段
   とを有し、 前記磁界プローブの測定においては、入力された１以上
   の周波数に基づいて測定と周波数分析とを行い、そのデ
   ータを前記記憶手段が記憶し、上記入力された１以上の
   周波数に基づいて前記表示手段に表示することを特徴と
   する請求項１乃至７のいずれかに記載の電磁妨害波測定
   装置。