JP2003327666A - Epoxy resin composition and semiconductor sealed device - Google Patents

Epoxy resin composition and semiconductor sealed device

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JP2003327666A
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Saeko Suzuki
佐江子 鈴木
Osamu Matsuda
理 松田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an epoxy resin composition which particularly excels in storage stability, and to provide a semiconductor sealed device sealed by using the same. <P>SOLUTION: The epoxy resin composition comprises (A) an epoxy resin, (B) a phenol resin as the curing agent, (C) an inorganic filler, and (D) a urea compound represented by the formula as the curing accelerator, and the semiconductor sealed device is provided by sealing a semiconductor chip with the cured product of the composition. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、常温で保存安定性
に優れたエポキシ樹脂組成物およびそれを用いて封止し
てなる半導体封止装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an epoxy resin composition having excellent storage stability at room temperature and a semiconductor encapsulation device which is encapsulated with the epoxy resin composition.

【0002】[0002]

【従来の技術】エポキシ樹脂組成物には、エポキシ樹脂
と硬化剤との反応性を高めるために、硬化促進剤が一般
に配合される。硬化促進剤には一般に、トリフェニルホ
スフィン等のリン系触媒、1,8−ジアザビシクロ
[5,4,0]ウンデセン−7(略称:DBU)、イミ
ダゾール類等が利用されてきた。トリフェニルホスフィ
ンは触媒活性が低く、硬化性を上げるためにエポキシ樹
脂組成物中に多量に配合する必要があり、室温でも反応
が進行し、樹脂組成物の粘度が上昇し、保存安定性が悪
くなる。また、イミダゾール類やDBUは、リン系触媒
に比べると保存安定性は良いが、室温での反応が進行し
てしまうため、10℃以下の環境下で保存する必要があ
る。
2. Description of the Related Art An epoxy resin composition generally contains a curing accelerator in order to enhance the reactivity between the epoxy resin and the curing agent. Generally, phosphorus-based catalysts such as triphenylphosphine, 1,8-diazabicyclo [5,4,0] undecene-7 (abbreviation: DBU), and imidazoles have been used as the curing accelerator. Triphenylphosphine has a low catalytic activity and needs to be mixed in a large amount in the epoxy resin composition in order to improve the curability, the reaction proceeds even at room temperature, the viscosity of the resin composition increases, and the storage stability becomes poor. Become. In addition, imidazoles and DBU have better storage stability than phosphorus-based catalysts, but since the reaction proceeds at room temperature, they need to be stored under an environment of 10 ° C or lower.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の欠点
を解消するためになされたもので、良好な硬化性を有
し、かつ成形性、保存安定性に優れたエポキシ樹脂組成
物およびそれを用いて封止してなる半導体封止装置を提
供しようとするものである。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned drawbacks, and an epoxy resin composition having good curability, moldability and storage stability, and the same. An object of the present invention is to provide a semiconductor encapsulation device that is encapsulated by using.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的を達成しようと鋭意研究を重ねた結果、硬化促進剤に
特定のウレア系化合物の触媒を使用することにより、良
好な硬化性を有し、かつ、成形性、保存安定性に優れた
エポキシ樹脂組成物が得られることを見いだし、本発明
を完成したものである。
Means for Solving the Problems As a result of intensive studies aimed at achieving the above-mentioned objects, the present inventors have found that by using a catalyst of a specific urea compound as a curing accelerator, good curability is obtained. It was found that an epoxy resin composition having the above-mentioned properties and excellent in moldability and storage stability can be obtained, and the present invention has been completed.

【0005】即ち、本発明は、(A)エポキシ樹脂、
(B)硬化剤としてフェノール樹脂、(C)無機充填材
および(D)硬化促進剤として次式に示すウレア系化合
That is, the present invention relates to (A) epoxy resin,
(B) Phenolic resin as a curing agent, (C) an inorganic filler, and (D) a urea compound represented by the following formula as a curing accelerator:

【化2】 を含有してなることを特徴とするエポキシ樹脂組成物で
あり、またこのエポキシ樹脂組成物の硬化物によって、
半導体が封止されてなることを特徴とする半導体封止装
置である。
[Chemical 2] An epoxy resin composition characterized by containing, and by a cured product of this epoxy resin composition,
A semiconductor encapsulation device characterized in that a semiconductor is encapsulated.

【0006】以下、本発明を詳細に説明する。The present invention will be described in detail below.

【0007】本発明に用いる(A)エポキシ樹脂として
は、1分子中にエポキシ基を2個以上有するモノマー、
オリゴマー、ポリマー全般をいう。例えば、オルソクレ
ゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラッ
ク型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹
脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポキシ樹
脂、トリアジン核含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジ
エン変性エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、ビ
スフェノール型エポキシ化合物等が挙げられ、これらは
単独もしくは2種以上混合して用いることができる。エ
ポキシ樹脂の軟化点、融点、エポキシ当量に関しては特
に制限しない。
The (A) epoxy resin used in the present invention is a monomer having two or more epoxy groups in one molecule,
Refers to all oligomers and polymers. For example, orthocresol novolac type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, triphenol methane type epoxy resin, alkyl modified triphenol methane type epoxy resin, triazine nucleus-containing epoxy resin, dicyclopentadiene modified epoxy resin, stilbene type epoxy resin, bisphenol Type epoxy compounds and the like, and these may be used alone or in combination of two or more. There are no particular restrictions on the softening point, melting point, or epoxy equivalent of the epoxy resin.

【0008】本発明に用いる(B)フェノール樹脂硬化
剤としては、1分子中に前記(A)エポキシ樹脂と反応
し得るフェノール性水酸基を2個以上有するモノマー、
オリゴマー、ポリマー全般をいう。例えば、フェノール
ノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ジシクロ
ペンタジエン変性フェノール樹脂、キシリレン変性フェ
ノール樹脂、トリフェノールメタン型フェノール樹脂等
が挙げられる。また、これらのフェノール樹脂は、軟化
点、融点、水酸基当量に関しては特に制限されるもので
はなく、単独もしくは2種以上混合して用いる。
As the (B) phenol resin curing agent used in the present invention, a monomer having two or more phenolic hydroxyl groups capable of reacting with the (A) epoxy resin in one molecule,
Refers to all oligomers and polymers. For example, phenol novolac resin, cresol novolac resin, dicyclopentadiene modified phenol resin, xylylene modified phenol resin, triphenol methane type phenol resin, etc. may be mentioned. Further, these phenolic resins are not particularly limited in terms of softening point, melting point and hydroxyl group equivalent, and may be used alone or in combination of two or more kinds.

【0009】本発明に用いる(C)無機充填材として
は、一般に封止材料として用いられているものを広く使
用することができる。例えば、溶融シリカ粉末、結晶シ
リカ粉等が挙げられ、これらは単独もしくは2種以上混
合して用いることができる。また、無機充填材の形状は
破砕状でも球状でも特に問題はない。
As the inorganic filler (C) used in the present invention, those generally used as a sealing material can be widely used. Examples thereof include fused silica powder and crystalline silica powder, which can be used alone or in combination of two or more. Further, the shape of the inorganic filler may be crushed or spherical, and there is no particular problem.

【0010】本発明に用いる(D)硬化促進剤として
は、前記の式化2で示されるトルエンビスジメチルウレ
アを使用するものである。硬化促進剤の配合割合は、全
体の樹脂組成物に対して0.1〜5.0重量%の割合で
含有することが望ましい。その割合が0.1重量%未満
では、硬化剤として機能せず、また、5.0重量%を超
えると硬化速度が速すぎるため実用に適さず好ましくな
い。また、一般にエポキシ基とフェノール性水酸基との
反応を促進させるために使用されている1,8−ジアザ
ビシクロ[5,4,0]ウンデセン−7(DBU)、ト
リフェニルホスフィン、ジメチルベンジルアミン、2−
メチルイミダゾール等の硬化促進剤と混合して用いても
よい。これらの硬化促進剤は、樹脂組成物中にドライブ
レンドされても、溶融ブレンドされても、または両者の
併用でもかまわない。
As the (D) curing accelerator used in the present invention, toluenebisdimethylurea represented by the above formula 2 is used. It is desirable that the curing accelerator be contained in an amount of 0.1 to 5.0% by weight based on the total resin composition. If the proportion is less than 0.1% by weight, it will not function as a curing agent, and if it exceeds 5.0% by weight, the curing rate will be too fast, which is not suitable for practical use and is not preferable. In addition, 1,8-diazabicyclo [5,4,0] undecene-7 (DBU), triphenylphosphine, dimethylbenzylamine, 2-which are generally used to accelerate the reaction between an epoxy group and a phenolic hydroxyl group,
You may use it, mixing with hardening accelerators, such as methyl imidazole. These curing accelerators may be dry blended in the resin composition, melt blended, or a combination of both.

【0011】本発明の樹脂組成物は、前述した(A)〜
(D)成分を必須成分とするが、本発明の目的に反しな
い限度において、また必要に応じて、シランカップリン
グ剤、ブロム化エポキシ樹脂、酸化アンチモン等の難燃
剤、カーボンブラック等の着色剤、天然ワックス類、合
成ワックス類、エステル類等の離型剤およびシリコーン
オイル、シリコーンゴム等の低応力化のための成分等を
適宜、添加配合することができる。
The resin composition of the present invention comprises the above-mentioned (A) to (A).
Although the component (D) is an essential component, a silane coupling agent, a brominated epoxy resin, a flame retardant such as antimony oxide, and a colorant such as carbon black are used as long as they do not deviate from the object of the present invention. Release agents such as natural waxes, synthetic waxes and esters, and components for reducing stress such as silicone oil and silicone rubber can be appropriately added and blended.

【0012】本発明のエポキシ樹脂組成物を成形材料と
して調製する場合の一般的な方法としては、前述したエ
ポキシ樹脂、フェノール樹脂硬化剤、無機充填材、ウレ
ア系硬化促進剤、その他成分を配合し、ミキサー等によ
って十分均一に混合した後、さらに熱ロールによる溶融
混合処理又はニーダ等による混合処理を行い、次いで冷
却固化させ、適当な大きさに粉砕して成形材料とするこ
とができる。こうして得られた成形材料は、半導体装置
をはじめとする半導体あるいは電気部品の封止、被覆、
絶縁等に適用すれば、優れた特性と信頼性を付与させる
ことができる。
As a general method for preparing the epoxy resin composition of the present invention as a molding material, the above-mentioned epoxy resin, phenol resin curing agent, inorganic filler, urea curing accelerator, and other components are blended. After sufficiently uniform mixing with a mixer or the like, melt mixing treatment with a hot roll or mixing treatment with a kneader or the like is further performed, followed by cooling and solidification, and pulverization into an appropriate size to obtain a molding material. The molding material thus obtained is used for sealing and covering semiconductors such as semiconductor devices or electrical parts.
When applied to insulation or the like, excellent characteristics and reliability can be imparted.

【0013】本発明の半導体封止装置は、上記のように
して得られた封止用樹脂を用いて、半導体チップを封止
することにより容易に製造することができる。封止の最
も一般的な方法としては、低圧トランスファー成形法が
あるが、射出成形、圧縮成形、注型等による封止も可能
である。封止用樹脂組成物を封止の際に加熱して硬化さ
せ、最終的にはこの組成物の硬化物によって封止された
半導体封止装置が得られる。加熱による硬化は、150
℃以上に加熱して硬化させることが望ましい。封止を行
う半導体としては、例えば半導体素子に挙げられる、集
積回路、大規模集積回路、トランジスタ、サイリスタ、
ダイオード、コンデンサおよび光半導体等で特に限定さ
れるものではない。
The semiconductor encapsulation device of the present invention can be easily manufactured by encapsulating a semiconductor chip using the encapsulating resin obtained as described above. The most general method of sealing is a low-pressure transfer molding method, but sealing by injection molding, compression molding, casting or the like is also possible. The encapsulating resin composition is heated and cured during encapsulation, and finally a semiconductor encapsulating device encapsulated with the cured product of the composition is obtained. Curing by heating is 150
It is desirable to heat it to ℃ or above to cure it. As the semiconductor for sealing, for example, an integrated circuit, a large-scale integrated circuit, a transistor, a thyristor, which is given as a semiconductor element,
The diode, the capacitor, the optical semiconductor, etc. are not particularly limited.

【0014】[0014]

【作用】本発明のエポキシ樹脂組成物および半導体封止
装置は、エポキシ樹脂成分の硬化促進剤として特定のウ
レア系化合物を用いたことによって、目的とする特性が
得られるものである。即ち、そのウレア系化合物の使用
によりは、硬化性がよく、成形性、保存安定性の優れた
ものとすることができる。
The epoxy resin composition and the semiconductor encapsulation device of the present invention have desired characteristics by using a specific urea compound as a curing accelerator for the epoxy resin component. That is, depending on the use of the urea compound, the curability is good, and the moldability and storage stability can be excellent.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】次に本発明を実施例によって具体
的に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定
されるものではない。以下の実施例および比較例におい
て「%」とは「重量%」を意味する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, the present invention will be specifically described with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples. In the following examples and comparative examples, “%” means “% by weight”.

【0016】実施例1 クレゾールノボラック型エポキシ樹脂のESCN−19
5XL(住友化学工業社製、商品名)16%、テトラブ
ロモビスフェノールA型エポキシ樹脂AER−8029
(旭チバ社製、商品名)2%、フェノールノボラック樹
脂BRG−556(昭和高分子社製、商品名)9%、溶
融破砕状シリカ粉末(最大粒径105μm、平均粒径2
5μm)70%、前記の式化2に示したトルエンビスジ
メチルウレア0.2%、三酸化アンチモン2%、カーボ
ンブラック0.2%、カルナバワックス0.2%、カッ
プリング剤0.4%を配合し、常温で混合し、さらに9
0〜100℃で混練、これを冷却粉砕して封止用樹脂組
成物を製造した。
Example 1 ESCN-19 of cresol novolac type epoxy resin
5XL (Sumitomo Chemical Co., Ltd., trade name) 16%, tetrabromobisphenol A type epoxy resin AER-8029
(Asahi Ciba, product name) 2%, phenol novolac resin BRG-556 (Showa Polymer Co., Ltd., product name) 9%, fused crushed silica powder (maximum particle size 105 μm, average particle size 2
5 μm) 70%, toluenebisdimethylurea 0.2% shown in the above formula 2, antimony trioxide 2%, carbon black 0.2%, carnauba wax 0.2%, coupling agent 0.4% Blend, mix at room temperature, then 9
Kneading was performed at 0 to 100 ° C., and the mixture was cooled and ground to produce a sealing resin composition.

【0017】こうして製造した樹脂組成物を用いてスパ
イラルフロー、高化式フロー粘度、ガラス転移点、成形
硬度、保存安定性および耐湿性の試験をしたので、その
結果を表2に示す。
The resin composition thus produced was tested for spiral flow, elevated flow viscosity, glass transition point, molding hardness, storage stability and moisture resistance. The results are shown in Table 2.

【0018】実施例2、比較例1〜3 表1に示した各組成により、実施例1と同様の方法によ
って封止用樹脂組成物を製造した。また、この樹脂組成
物を用いてスパイラルフロー、高化式フロー粘度、ガラ
ス転移点、成形硬度、保存安定性および耐湿性の試験を
したので、その結果を表2に示す。
Example 2, Comparative Examples 1 to 3 By using the respective compositions shown in Table 1, a sealing resin composition was produced in the same manner as in Example 1. Further, using this resin composition, a spiral flow test, a Koka type flow viscosity test, a glass transition point test, a molding hardness test, a storage stability test and a moisture resistance test were conducted. The results are shown in Table 2.

【0019】[0019]

【表1】 [Table 1]

【表2】 *1:175℃、 *2:175℃、荷重10kg(島津フローテスターC
FT−500型)、 *3:175℃、熱板上、 *4:175℃,90sで14pin−DIPを成形
し、カル部の熱時硬度をバーコール硬度計で測定、 *5:30℃の恒温槽で168h保管後のスパイラルフ
ロー。175℃、 *6:成形材料を用いて2本以上のアルミニウム配線を
有するシリコン製チプ(テスト用素子)を、14pin
−DIPフレーム175℃、2分間トランスファー成形
し、175℃で8時間ポストキュアした。このパッケー
ジを127℃/2.5気圧の飽和水蒸気中でPCTを行
い、アルミニウム腐食により断線したパッケージ数を調
べた。
[Table 2] * 1: 175 ° C, * 2: 175 ° C, load 10kg (Shimadzu Flow Tester C
FT-500 type), * 3: 175 ° C, on a hot plate, * 4: 175 ° C, 14spin-DIP was molded at 90s for 90s, and the hot hardness of the cal portion was measured with a Barcol hardness tester. * 5: 30 ° C Spiral flow after 168 h storage in a constant temperature bath. 175 ° C., * 6: A silicon chip (test element) having two or more aluminum wirings made of a molding material is used for 14 pins.
-DIP frame 175 ° C, transfer molding was performed for 2 minutes, and post-curing was performed at 175 ° C for 8 hours. This package was subjected to PCT in saturated steam at 127 ° C./2.5 atm, and the number of packages broken due to aluminum corrosion was examined.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上の説明および表2から明らかなよう
に、本発明のエポキシ樹脂組成物および半導体封止装置
によれば、特定構造の硬化触媒を使用したため、硬化性
がよく、成形性、保存安定性、生産性に優れたものとす
ることができる。
As is clear from the above description and Table 2, the epoxy resin composition and the semiconductor encapsulation device of the present invention use a curing catalyst having a specific structure, and thus have good curability, moldability, It can be excellent in storage stability and productivity.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4J036 AA01 DC03 DC10 DC25 DC41 DC46 DD07 FA05 FB06 FB07 FB08 JA07 4M109 AA01 BA01 CA21 EA02 EB03 EB04 EB12 EC14 EC20    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F term (reference) 4J036 AA01 DC03 DC10 DC25 DC41                       DC46 DD07 FA05 FB06 FB07                       FB08 JA07                 4M109 AA01 BA01 CA21 EA02 EB03                       EB04 EB12 EC14 EC20

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤とし
てフェノール樹脂、(C)無機充填材および(D)硬化
促進剤として次式に示すウレア系化合物 【化1】 を含有してなることを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
1. A urea compound represented by the following formula as (A) epoxy resin, (B) curing agent as phenol resin, (C) inorganic filler and (D) curing accelerator: An epoxy resin composition comprising:
【請求項2】 請求項1記載のエポキシ樹脂組成物の硬
化物により、半導体チップが封止されてなることを特徴
とする半導体封止装置。
2. A semiconductor encapsulation device, wherein a semiconductor chip is encapsulated with the cured product of the epoxy resin composition according to claim 1.
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