JP2003315255A - 被検体検査面の凹部検出方法及び検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】被検体の検査面に存在する凹部を高精度、且つ
効率的に検出するための凹部検出方法及び検出装置を提
供する。 【解決手段】本発明に係る凹部検出装置１は、被検体３
０の平坦な検査面に凹部が存在するか否かを検出する装
置であって、被検体３０の検査面に当接可能な平坦な当
接面を備え、且つ該当接面に開口する吐出孔を備えたノ
ズル体２０と、吐出孔に通ずる供給路５２を備え、該供
給路５２を介して吐出孔に加圧流体を供給する流体供給
手段５０と、供給路５２内の流体圧を検出する圧力セン
サ５６と、ノズル体２０の当接面を被検体３０の検査面
に押し付ける押圧機構４０と、圧力センサ５６によって
検出された供給路５２内の流体圧データを受信し、受信
した検出流体圧と予め設定された基準圧とを比較して、
検出流体圧が基準圧より低い圧力となったとき、検査面
に凹部が存在すると判定する判定部５７とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被検体の検査面に
凹部が存在するか否かを検出するための方法及び装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】凹部の有無確認が必要な検査対象物の一
例として、ラジアル軸受のシール材を挙げることができ
る。このラジアル軸受（以下、単に「軸受」という）
は、外輪と、外輪の内側に配置される内輪と、これら外
輪，内輪間に配置される転動体などから構成され、外輪
と内輪との間の開口部には、例えば、樹脂からなるシー
ル材が圧入されて、軸受内部が密封されている。尚、シ
ール材は、軸受内に異物が混入するのを防ぐために嵌め
込まれるもので、適宜圧入装置を用いて前記外輪と内輪
との間に圧入される。

【０００３】ところで、圧入装置を用いてシール材を圧
入する場合、圧入時に使用される治具の状態や、治具に
セッティングした際のシール材の姿勢、圧入代といった
諸条件によって、シール材表面に、例えば、図４（ａ）
及び（ｂ）に示すようなへこみやたわみ（以下、「凹
部」と総称する）が生じる場合がある。このような凹部
が生じると、機能的にはさほど問題はないものの、製品
としての外観品質上の問題がある。尚、図４（ａ）及び
（ｂ）では、シール材の横断面形状を示している。

【０００４】そこで、従来、圧入後のシール材表面を目
視検査してその良否を判別し、不良品を排除するように
していた。

【０００５】尚、検査の手法としては、上記目視検査に
代えて、差動トランス機構や画像処理を用いた検査も可
能である。

【０００６】差動トランス機構を用いた検査では、円筒
状に形成された一次及び二次コイルからなり、一次コイ
ルに電圧を印加することによって二次コイルに誘導起電
力が生じるように構成されたコイル体と、シール材表面
に接触する測定子と、コイル体内に配置され、測定子の
変位に連動してコイル体内で変位する磁性体などから成
る検査装置が用いられる。この検査装置は、コイル体内
における磁性体の位置によって二次コイルに生起される
誘導起電力が変化することを利用したものであり、凹部
部分とそうでない部分とで、測定子に連動した磁性体の
位置が変位し、これによってコイルに生じた誘導起電力
が変化するため、かかる誘導起電力を監視することで前
記凹部が検出されるのである。

【０００７】また、画像処理による検査装置は、ＣＣＤ
カメラなどの撮像手段と、この撮像手段によって撮像さ
れたシール材表面の画像を処理して、凹部の有無を検出
する検出手段などから構成され、撮像手段によって撮像
されたシール材表面の濃淡画像が、検出手段によって２
値化処理された後、得られた２値化画像を基に、形状特
徴が抽出され、前記凹部が検出される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した目
視検査では、ヒューマンエラーが起こり易く、また、小
さなへこみや広範囲に渡るたわみを発見し難いといった
問題があり、信頼性の高い検査を行うことができないと
いう問題があった。

【０００９】また、差動トランス機構を用いた検査で
は、シール材の全表面の内、測定子が接触可能な範囲し
か検査することができないため、シール材の全面を検査
するためには、適宜設置した軸受の回りに検査装置を多
数配設したり、或いは１台の検査装置を用いる場合に
は、軸受を回転させる回転駆動機構部を設けて、当該回
転駆動機構部により軸受を回転させて、測定子がシール
材の全表面と摺接し得る構造としなければならず、いず
れにしても検査装置の製造コストが高くなるという問題
がある。また、検査装置を多数配設する構造では、取り
付けスペースの関係上、設置し得る検査装置の個数にお
のずと限界があり、精緻な検査を行うことができないと
いう問題もある。

【００１０】更に、シール材表面に、例えば、製造ロッ
ト番号などの浮き出し文字が形成されている場合、測定
子がこの文字部分に接触すると、正確な測定を行うこと
ができないという問題もある。

【００１１】また、画像処理を用いた検査では、凹部部
分の深さが浅い場合には、凹部部分とそうでない部分と
でその反射光量に差異がないため、得られる濃淡画像に
変化がなく、当該凹部を検出し難いという問題がある。

【００１２】本発明は、以上の実情に鑑みなされたもの
であって、被検体の検査面に存在する凹部を高精度、且
つ高効率に検出し得る凹部検出方法及び検出装置の提供
をその目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段及びその効果】上記目的を
達成するための本発明は、被検体の平坦な検査面に凹部
が存在するか否かを検出する方法であって、前記被検体
の検査面に当接可能な平坦な当接面を備え、且つ該当接
面に開口する吐出孔を備えたノズル体の前記当接面を、
前記被検体の検査面に当接せしめるとともに、前記吐出
孔に、該吐出孔に通ずる供給路を介して加圧流体を供給
した後、前記供給路内の流体圧を計測し、計測された流
体圧が予め設定された基準圧より低い圧力となったと
き、前記検査面に凹部が存在すると判定するようにした
ことを特徴とする被検体検査面の凹部検出方法に係る。

【００１４】そして、この凹部検出方法は、以下の凹部
検出装置によってこれを好適に実施することができる。
即ち、この凹部検出装置は、被検体の平坦な検査面に凹
部が存在するか否かを検出する装置であって、前記被検
体の検査面に当接可能な平坦な当接面を備え、且つ該当
接面に開口する吐出孔を備えたノズル体と、前記吐出孔
に通ずる供給路を備え、該供給路を介して前記吐出孔に
加圧流体を供給する流体供給手段と、前記供給路内の流
体圧を検出する圧力検出手段と、前記ノズル体の当接面
を前記被検体の検査面に押し付ける押圧手段とを備えて
構成される。

【００１５】この検査装置によると、ノズル体の当接面
が押圧手段によって被検体の検査面に押し付けられると
ともに、流体供給手段により、供給路を介して吐出孔に
加圧流体が供給される。そして、供給路内の流体圧が圧
力検出手段によって検出される。

【００１６】被検体の検査面に凹部が存在しない場合に
は、押圧手段によって押し付けられるノズル体の当接面
と被検体の検査面との間に隙間が生じておらず、これら
が相互に密着して吐出孔の開口部が封止された状態とな
る。したがって、吐出孔に供給された加圧流体は、吐出
孔開口部からは吐出されず、この結果、供給路内の内圧
が上昇することになる。

【００１７】一方、被検体の検査面に凹部が存在する場
合には、押圧手段によって押し付けられるノズル体の当
接面と被検体の検査面との間に隙間を生じており、吐出
孔に供給された加圧流体が、吐出孔開口部から吐出され
て前記隙間から漏出することになる。したがって、供給
路内に加圧流体が供給されることによって、その内圧は
上昇するものの、前記隙間からの流体漏出量に応じて、
その上昇圧は低くなる。

【００１８】斯くして、この検出装置では、圧力検出手
段によって検出される供給路内の内圧を、上記検出方法
と同様に、予め設定された所定の基準圧とを比較するこ
とにより、当該検査面に凹部が存在するか否かを検出す
ることができる。尚、前記基準圧は経験的に設定するこ
とができる。

【００１９】前記ノズル体の検査面への当接部は、これ
が環状に形成され、且つ前記吐出孔が環状溝として構成
されたものであっても良い。このようにすれば、例え
ば、ラジアル軸受の外輪と内輪との間に圧入されるシー
ル材のように、被検体の検査面が環状をしたものであっ
ても、その全面を一度に検査することが可能となる。ま
た、被検体が小さなものであっても、難なくこれを検査
することができる。

【００２０】また、上述のように当接部及び吐出孔をそ
れぞれ環状に形成した場合には、環状に形成された当接
部の内面及びノズル体の外面の双方に開口する貫通孔
を、当該ノズル体に穿孔すると良い。

【００２１】被検体の検査面に凹部が存在し、且つノズ
ル体の環状当接面が検査面に当接した際に、当該当接面
の環状内側部分と検査面との間には隙間が生じる一方、
環状外側部分と検査面との間には隙間が生じていないよ
うな場合に、環状当接部の内側が閉塞空間となっている
場合には、前記当接面の環状内側部分と検査面との間に
形成された隙間から環状当接部の内側に加圧流体が漏出
しても、当該環状当接部の内側が閉塞空間となっている
ために、同閉塞空間内の内圧が高まって、ついには同隙
間から加圧流体が漏出されなくなり、結果、供給路内の
内圧が、当接面と検査面との間に隙間がない状態と同じ
圧力に上昇して、基準圧との圧力差による凹部の検出が
できないことになる。

【００２２】この場合、上記のように、環状に形成され
た当接部の内面及びノズル体の外面の双方に開口する貫
通孔をノズル体に穿孔すれば、環状当接部の内側空間に
漏出した流体が、貫通孔を通じてノズル体外に排出され
るため、加圧流体の漏出を拒むまで同内側空間の内圧が
高まることはなく、結果、環状当接部の内側空間に継続
的に加圧流体が漏出され、供給路内の内圧が、当接面と
検査面との間に隙間がない状態に比べて低い圧力とな
り、基準圧との圧力差による凹部の検出が可能となる。

【００２３】また、上記構成に加えて、前記圧力検出手
段によって検出された前記供給路内の流体圧データを受
信し、受信した検出流体圧と予め設定された基準圧とを
比較して、検出流体圧が基準圧より低い圧力となったと
き、前記検査面に凹部が存在すると判定する判定手段を
設ければ、凹部の有無を自動的に検出することができ、
効率的である。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施形態
について添付図面に基づき説明する。図１は、本実施形
態に係る凹部検出装置の概略構成を一部ブロック図で示
した側断面図である。尚、本例の検査対象物は、図２に
示すような、外輪３１と、外輪３１の内側に配置される
内輪３２と、外輪３１，内輪３２間に配置される転動体
３３と、外輪３１と内輪３２との間に圧入されたシール
材３４などから構成されるラジアル軸受３０（以下、単
に「軸受３０」という）であり、本例の凹部検出装置１
は、シール材３４表面（検査面）に存在するへこみやた
わみ（以下、「凹部」と総称する）を検出するように構
成されている。

【００２５】図１に示すように、前記凹部検出装置１
は、基台１０と、基台１０上に配設された支持フレーム
１１と、支持フレーム１１に一定間隔を隔ててそれぞれ
支持された一対のシャフト１２ａ，１２ｂと、シャフト
１２ａ，１２ｂの下端部に固設されたプレート１４と、
プレート１４の下面に固設されたノズル体２０と、ノズ
ル体２０の下方に配設され、検査対象物たる軸受３０が
載置される載置台１５と、載置台１５の下方の基台１０
上に配設され、軸受３０を昇降させる昇降手段４０と、
ノズル体２０内に圧縮空気を供給する供給手段５０と、
シール材３４表面の凹部を検出する検出部５５などから
構成される。

【００２６】前記支持フレーム１１は、垂直辺部１１ａ
と水平辺部１１ｂとを有する鉤状の部材からなり、前記
シャフト１２ａ，１２ｂが水平辺部１１ｂに固設された
軸受１３ａ，１３ｂによってそれぞれ上下動自在に保持
されている。

【００２７】前記載置台１５は、ノズル体２０と昇降手
段４０との間に設けられるもので、支持フレーム１１の
水平辺部１１ｂと平行となるように、その端部が垂直辺
部１１ａに固設されている。また、この載置台１５の軸
受３０が載置される部分には、上下方向に貫通する貫通
孔１６が形成されている。

【００２８】前記昇降手段４０は、油圧シリンダや空圧
シリンダなどから構成され、上下方向（矢示方向）に昇
降可能となった昇降ロッド４１を備え、昇降ロッド４１
の上端面４２には、凸形状をした位置決め部４３が形成
されている。尚、この昇降ロッド４１は載置台１５の貫
通孔１６と同軸に設けられており、当該貫通孔１６に対
して嵌合可能となっている。斯くして、昇降ロッド４１
が下降端位置から上方に移動すると、これが載置台１５
の貫通孔１６に嵌挿された後、その位置決め部４３が軸
受３０の内輪３２内周部に嵌挿され、当該軸受３０が昇
降ロッド４１の前記上端面４２上に載置，支持される。

【００２９】図２及び図３に示すように、前記ノズル体
２０はブロック状の部材からなり、その下面に環状をし
た当接部２３を備えている。この当接部２３は、前記シ
ール材３４表面と当接する平坦な環状の当接面２１、及
びこの当接面２１に開口した環状溝からなる吐出孔２２
を備え、また、ノズル体２０には、吐出孔２２に連通す
る第１供給孔２４、この第１供給孔２４と連通する第２
供給孔２５、この第２供給孔２５に連通し、当該ノズル
体２０の側面に開口する第３供給孔２６が穿孔され、更
にノズル体２０の側面及び環状当接部２３の内側下面の
双方に開口する貫通孔２７が穿孔されている。

【００３０】また、当接部２３の内側のノズル体２０の
下面には、その中心部に位置決めピン２８が設けられて
おり、前記昇降ロッド４１が軸受３０を支持しながら上
昇して上昇端位置に達すると、位置決めピン２８が、軸
受３０の内輪３２内周部に嵌挿されて、軸受３０が当接
部２３に対して位置決めされるとともに、当接面２１と
シール材３４表面とが当接するようになっている。尚、
昇降ロッド４１の上昇端位置は、シール材３４表面が当
接部２３に当接した後、ノズル体２０及びシャフト１２
ａ，１２ｂを所定量だけ上方に押し上げる位置となって
おり、これにより、ノズル体２０及びシャフト１２ａ，
１２ｂの自重がシール材３４に作用して、当接部２３の
当接面２１とシール材３４表面とが相互に押圧され、密
接するようになっている。

【００３１】前記供給手段５０は、コンプレッサなどか
ら構成される圧縮空気供給部５１と、この圧縮空気供給
部５１と前記ノズル体２０の第３供給孔２６とを接続す
る供給管５２と、この供給管５２内を流通する圧縮空気
の空気圧及び流量をそれぞれ調節する圧力制御部５３及
び流量制御部５４などからなる。

【００３２】尚、供給管５２は、圧縮空気供給部５１と
圧力制御部５３とを接続する第１供給管５２ａと、圧力
制御部５３と流量制御部５４とを接続する第２供給管５
２ｂと、流量制御部５４と第３供給孔２６とを接続する
第３供給管５２ｃとからなる。また、圧力制御部５３は
減圧弁などから構成され、流量制御部５４は流量制御弁
などから構成される。

【００３３】斯して、圧縮空気供給部５１から供給管５
２内に供給された空気は、圧力制御部５３及び流量制御
部５４によって所定の圧力及び流量に調節された後、第
３供給孔２６に流入し、前記第２供給孔２５及び第１供
給孔２４内を流通した後、前記吐出孔２２から吐出され
る。

【００３４】前記検出部５５は、第３供給管５２ｃに接
続し、当該第３供給管５２ｃ内の空気圧を検出する圧力
センサ５６と、圧力センサ５６から検出圧信号を受信
し、圧力センサ５６によって検出された空気圧と予め設
定された基準圧とを比較して、検出圧が基準圧よりも低
い圧力となったとき、前記シール材３４表面に凹部が存
在すると判定し、判定結果を図示しない適宜表示手段に
表示する判定部５７とから構成される。尚、判定用の前
記基準圧は経験的に設定される。

【００３５】以上のように構成された本例の凹部検出装
置１によれば、まず、軸受３０が適宜載置台１５上に載
置される。尚、このとき、前記昇降ロッド４１は、下降
端位置に位置している。

【００３６】次に、前記昇降手段４０が作動して昇降ロ
ッド４１が上方に移動すると、この昇降ロッド４１の位
置決め部４３が載置台１５上に載置された軸受３０の内
輪３２内周部に嵌挿され、昇降ロッド４１の上端面４２
に軸受３０が載置，支持された状態で、当該昇降ロッド
４１が上昇端位置に達する。

【００３７】昇降ロッド４１が上昇端位置に達すると、
前記位置決めピン２８が軸受３０の内輪３２内周部に嵌
挿されて、当該軸受３０が当接部２３に対して位置決め
されるとともに、当接面２１とシール材３４表面とが密
接する。

【００３８】また、このとき、前記圧縮空気供給部５１
から前記第１供給管５２ａ，圧力制御部５３，第２供給
管５２ｂ，流量制御部５４，第３供給管５２ｃ，第３供
給孔２６，第２供給孔２５及び第１供給孔２４を順次介
して前記吐出孔２２に、所定圧及び流量に調節された圧
縮空気が供給される。そして、第３供給管５２ｃ内の空
気圧が前記圧力センサ５６によって検出される。

【００３９】シール材３４表面に、例えば図４（ａ）及
び（ｂ）に示すような凹部３４ｂが存在しない場合に
は、当接部２３の当接面２１とシール材３４表面とが密
接して、当接面２１とシール材３４表面との間に隙間が
生じておらず、吐出孔２２の開口部が封止された状態と
なる。したがって、吐出孔２２に供給された圧縮空気
は、吐出孔２２の開口部からは吐出されず、この結果、
第３供給管５２ｃ内の内圧が、前記圧力制御部５３によ
って調節された圧力まで上昇することになる。

【００４０】一方、シール材３４表面に、図４（ａ）及
び（ｂ）に示すような凹部３４ｂが存在する場合には、
当接部２３の当接面２１とシール材３４表面との間に隙
間が生じており、吐出孔２２に供給された圧縮空気が、
吐出孔２２の開口部から吐出され、前記隙間から漏出す
ることになる。したがって、第３供給管５２ｃ内に圧縮
空気が供給されることによって、その内圧は上昇するも
のの、隙間からの漏出量に応じて、その上昇圧は低くな
る。

【００４１】斯くして、前記判定部５７は、圧力センサ
５６によって検出される第３供給管５２ｃ内の内圧を、
予め設定された所定の基準圧とを比較することにより、
シール材３４表面に凹部が存在するか否かを検出するこ
とができる。

【００４２】尚、凹部３４ｂが、図４（ｄ）に示すよう
に、当接面２１及び吐出孔２２によって形成される領域
内に収まるようなものである場合には、当接面２１とシ
ール材３４表面との間に隙間が生じないため、これを検
出することができないが、このような小さな凹みは、品
質上問題になることはない。

【００４３】ところで、図４（ｃ）に示すように、シー
ル材３４表面に凹部３４ｂが存在し、且つノズル体２０
の当接面２１がシール材３４表面に当接した際に、当該
当接面２１の環状内側部分２１ａとシール材３４表面と
の間には隙間が生じる一方、環状外側部分２１ｂとシー
ル材３４表面との間には隙間が生じていないような場合
に、当接部２３の内側空間Ｖが閉塞空間となっている場
合には、当接面２１の環状内側部分２１ａとシール材３
４表面との間に形成された隙間から前記空間Ｖに圧縮空
気が漏出しても、空間Ｖが閉塞空間となっているため
に、同空間Ｖ内の内圧が高まって、ついには同隙間から
圧縮空気が漏出されなくなり、結果、第３供給管５２ｃ
内の内圧が、当接面２１とシール材３４表面との間に隙
間がない状態と同じ圧力に上昇して、基準圧との圧力差
による凹部３４ｂの検出ができないことになる。

【００４４】本例では、上記のように、環状に形成され
た当接部２３の内面及びノズル体２０の外側面の双方に
開口する貫通孔２７をノズル体２０に穿孔しているの
で、環状当接部２３の内側空間Ｖに漏出した圧縮空気
が、貫通孔２７を通じてノズル体２０外に排出されるた
め、圧縮空気の漏出を拒むまで同内側空間Ｖの内圧が高
まることはなく、結果、内側空間Ｖに継続的に圧縮空気
が漏出され、第３供給管５２ｃ内の内圧が、当接面２１
とシール材３４表面との間に隙間がない状態に比べて低
い圧力となり、基準圧との圧力差による凹部３４ｂの検
出が可能となっている。

【００４５】そして、上記のようにしてシール材３４表
面の凹部３４ｂの検出を終了すると、圧縮空気供給部５
１による供給を停止するととともに、昇降ロッド４１を
下降端位置まで降下させる。これにより、軸受３０が再
び載置台１５上に載置される。以後、上記処理を繰り返
すことにより、当該軸受３０の裏面に当たるシール材３
４表面や、新たな軸受３０のシール材３４表面に、凹部
３４ｂが存在するか否かが検査される。

【００４６】このように、本例の凹部検出装置１によれ
ば、当接面２１に開口した吐出孔２２を備えた当接部２
３の前記当接面２１をシール材３４表面に当接せしめ、
吐出孔２２に圧縮空気を供給して、当接面２１とシール
材３４表面との間に隙間があるか否か、即ち、シール材
３４表面に凹部３４ｂが存在するか否かを、吐出孔２２
に圧縮空気を供給するための管路（第３供給管５２ｃ）
内の内圧を基に、その上昇度合いを基準圧と比較するこ
とによって検出するようにしているので、シール材３４
表面に存在する凹部３４ｂを高精度、且つ効率的に検査
することができる。

【００４７】また、当接面２１をシール材３４表面の全
面に渡って当接させるようにしているので、シール材３
４表面の全面を一度に検査することができ、被検体たる
シール材３４が小さなものであっても、難なくこれを検
査することができる。

【００４８】また、凹部３４ｂが存在するか否かの判定
を、前記判定部５７により自動的に行うようにしている
ので、この意味でも効率的な検出が可能である。

【００４９】以上、本発明の一実施形態について説明し
たが、本発明の採り得る具体的な態様は、何らこれに限
定されるものではない。

【００５０】例えば、上例では、軸受３０のシール材３
４表面に存在する凹部３４ｂを検出するように構成した
が、検査対象物はかかるシール材３４に限定されるもの
ではなく、例えば、図５に示したような、上面に凹部６
１が形成された円柱体６０であっても良く、前記凹部検
出装置１が、かかる円柱体６０の上面に凹部６１が形成
されているか否かを検出するように構成されていても良
い。

【００５１】尚、この場合のノズル体６２は、これを、
同図５に示すように、その当接部６５が凹部６１より狭
い幅寸法に形成されるとともに、当接面６３の中心部付
近に吐出孔６４が穿孔され、当接部６５が前記凹部６１
を跨いで円柱体６０の上面に当接するように構成された
ものとすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る凹部検出装置の概略
構成を一部ブロック図で示した側断面図である。

【図２】本実施形態に係るノズル体及びラジアル軸受を
示した断面図である。

【図３】本実施形態に係るノズル体を示した底面図であ
る。

【図４】（ａ），（ｂ），（ｃ）及び（ｄ）は、それぞ
れシール材表面に存在するへこみやたわみを説明するた
めの説明図である。

【図５】本発明の他の実施形態に係るノズル体及び被検
査物を示した斜視図である。

【符号の説明】

１ 凹部検出装置 １５ 載置台 ２０ ノズル体 ２１ 当接面 ２２ 吐出孔 ２３ 当接部 ２４ 第１供給孔 ２５ 第２供給孔 ２６ 第３供給孔 ３０ （ラジアル）軸受 ３４ シール材 ４０ 昇降手段 ４１ 昇降ロッド ５０ 供給手段 ５１ 圧縮空気供給部 ５２ 供給管 ５５ 検出部 ５６ 圧力センサ ５７ 判定部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検体の平坦な検査面に凹部が存在する
   か否かを検出する方法であって、 前記被検体の検査面に当接可能な平坦な当接面を備え、
   且つ該当接面に開口する吐出孔を備えたノズル体の前記
   当接面を、前記被検体の検査面に当接せしめるととも
   に、前記吐出孔に、該吐出孔に通ずる供給路を介して加
   圧流体を供給した後、 前記供給路内の流体圧を計測し、計測された流体圧が予
   め設定された基準圧より低い圧力となったとき、前記検
   査面に凹部が存在すると判定するようにしたことを特徴
   とする被検体検査面の凹部検出方法。
2. 【請求項２】 被検体の平坦な検査面に凹部が存在する
   か否かを検出する装置であって、 前記被検体の検査面に当接可能な平坦な当接面を備え、
   且つ該当接面に開口する吐出孔を備えたノズル体と、 前記吐出孔に通ずる供給路を備え、該供給路を介して前
   記吐出孔に加圧流体を供給する流体供給手段と、 前記供給路内の流体圧を検出する圧力検出手段と、 前記ノズル体の当接面を前記被検体の検査面に押し付け
   る押圧手段とを設けて構成したことを特徴とする被検体
   検査面の凹部検出装置。
3. 【請求項３】 前記ノズル体の前記検査面への当接部を
   環状に形成するとともに、前記吐出孔を環状溝としたこ
   とを特徴とする請求項２記載の被検体検査面の凹部検出
   装置。
4. 【請求項４】 前記環状に形成された当接部の内面及び
   前記ノズル体の外面の双方に開口する貫通孔を、前記ノ
   ズル体に穿孔したことを特徴とする請求項３記載の被検
   体検査面の凹部検出装置。
5. 【請求項５】 前記圧力検出手段によって検出された前
   記供給路内の流体圧データを受信し、受信した検出流体
   圧と予め設定された基準圧とを比較して、検出流体圧が
   基準圧より低い圧力となったとき、前記検査面に凹部が
   存在すると判定する判定手段を、更に設けたことを特徴
   とする請求項２乃至４記載の被検体検査面の凹部検出装
   置。