JP2003315254A

JP2003315254A - 腐食環境監視装置

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Publication number: JP2003315254A
Application number: JP2002121592A
Authority: JP
Inventors: Kazumi Fujii; 和美藤井; Isao Ueno; 勲上野; Kenichi Minami; 顕一南; Tadahiko Hashimoto; 忠彦橋本; Masahiro Shikayama; 昌宏鹿山
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 2002-04-24
Filing date: 2002-04-24
Publication date: 2003-11-06

Abstract

(57)【要約】【課題】大気中における金属の腐食量、および、腐食性
物質の種類とその濃度を簡便に監視できる腐食環境監視
装置を提供すること。【解決手段】複数個の圧電素子表面に、該圧電素子毎に
異なる種類の金属薄膜を形成し、前記金属薄膜を形成し
た各圧電素子を発振回路によりそれぞれ発振させて、前
記各圧電素子から出力される周波数の変化を測定し、前
記環境中の腐食性物質または腐食性ガスの種類と濃度お
よび／または前記金属薄膜の腐食量を検出できるように
構成した腐食環境監視装置において、前記圧電素子を納
めたホルダー部を装置本体から分離独立させて、センサ
ホルダー部のみを測定環境中に配置することを特徴とす
る。【効果】センサホルダー部のみを監視対象となる環境に
設置できるので、簡便に腐食環境を評価できる監視装置
を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、腐食環境中におけ
る金属の腐食量、並びに、その腐食性物質の種類と濃度
を同時に監視する腐食環境監視装置、特に大気の腐食環
境監視装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】各種機器の製造工程、あるいは、その使
用中における腐食の発生は、機器の外観を損なうだけで
なく、誤作動の原因となる。特に、容易に修理や交換の
できない機器においては、その誤作動により機器の信頼
性を損なうだけでなく、修理や交換、さらには不意の機
器停止等により莫大な費用の支出が発生する。

【０００３】一方、電子デバイスの製造工程では、僅か
な腐食の発生が電子デバイスの特性劣化を引き起こし、
製造歩留まりの低下につながる。

【０００４】大気中では、大気に含まれる酸素や水蒸気
（湿度）に加えて、亜硫酸ガス，硫化水素，塩素等のガ
スが金属の腐食を加速させる。こうした腐食性ガスとし
ては、製鉄工場における亜硫酸ガス，窒素酸化物，硫化
水素等のガス，上下水処理場において殺菌処理に用いら
れる塩素系ガスやオゾン，処理水中から発生するアンモ
ニアや硫化水素等の還元性硫化物ガス，化学工場におい
ては、製造工程で発生する亜硫酸ガスや塩素ガス，半導
体等のデバイス製造工場では使用される塩酸，硫酸，硝
酸，フッ化水素などの酸性ガスが挙げられる。

【０００５】大気中における腐食速度を求める方法とし
ては特開昭６３−８３６５９号公報に記載のように、供
試材料を絶縁薄膜を介して積層した電極積層体を結露さ
せ、この時の電極間に流れる電流を計測することにより
供試材料の腐食速度を求める方法や、１９９４年腐食防
食協会発行，材料と環境，第４３号，第５５０頁記載の
ように、炭素鋼板上に絶縁ペーストを部分的に塗布し、
該絶縁ペースト上に導電ペーストを塗布，積層したもの
を用い、炭素鋼板と導電ペーストとの間に流れる電流を
計測することにより、その上に付着した海塩粒子等の付
着量を計測する方法が知られている。

【０００６】一方、大気中に存在するガスの濃度を測定
する方法として、日本では「大気汚染防止法」に公定法
として定められている湿式法や、紫外線吸収により励起
したＳＯ₂ 分子から発生する蛍光強度や、ＮＯとＯ₃ が
反応するときに発生する化学発光強度を測定することに
より、それらのガス濃度を検出する方法が知られてい
る。

【０００７】また、腐食環境中に存在する腐食性物質の
種類と、環境中の金属の腐食量を同時に監視できる装置
としては、特開２００１−０９９７７７号公報に記載の
ような腐食環境監視装置が知られている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】前記腐食環境監視装置
では、測定環境中で圧電素子を発振回路により発振させ
て、周波数の時間的な変化を連続的に計測するので、発
振回路を動作させるためには、常に電気を供給しなけれ
ばならず、エネルギー消費量が大きく、かつ、電気が供
給できる場所でしか測定できないという問題点がある。
あるいは、電気を供給する装置が必要となり、装置全体
としては大がかりになるという問題点がある。

【０００９】本発明の目的は、腐食環境中に存在する腐
食性物質の種類とその濃度、および／または、環境中の
金属の腐食量を表示する時を除き、装置に電気の供給が
不要な腐食環境測定装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明の要旨は、次の通りである。

【００１１】（ｉ）複数個の圧電素子表面に、該圧電素
子毎に異なる種類の金属薄膜が形成された各圧電素子を
発振回路によりそれぞれ発振させて、前記各圧電素子か
ら出力される周波数の変化を測定し、環境中の腐食性物
質または腐食性ガスの種類と濃度および／または前記金
属薄膜の腐食量を検出できるように構成した腐食環境監
視装置において、前記圧電素子を納めたセンサホルダー
部を装置本体から分離独立させて、該センサホルダー部
のみを測定環境中に配置したことを特徴とする腐食環境
監視装置。

【００１２】（ii）複数個の圧電素子の基板面に導電性
薄膜が形成され、該導電性薄膜面に圧電素子毎に異なる
種類の金属薄膜が堆積され、前記金属薄膜が成された各
圧電素子を発振回路によりそれぞれ発振させ、大気中の
腐食性物質または腐食性ガスについてその種類と濃度お
よび／または金属薄膜の腐食量を、発振周波数の変化か
ら計測できるように構成した腐食環境監視装置におい
て、前記圧電素子を納めたセンサホルダー部を装置本体
から分離独立させて該センサホルダー部のみを測定環境
中に配置したことを特徴とする腐食環境監視装置。

【００１３】(iii）前記圧電素子が、水晶振動子または
弾性表面波デバイスで構成されている前記（ｉ）あるい
は（ii）に記載の腐食環境監視装置。

【００１４】（iv）前記（ｉ）あるいは（ii）に記載の
腐食環境監視装置において、大気中からの付着物量を計
測する付着物量計測手段を備えたことを特徴とする腐食
環境監視装置。

【００１５】（ｖ）前記付着物量計測手段が、基板面に
腐食性物質とは反応しない導電性薄膜が形成された圧電
素子であって、該圧電素子を発振回路により発振させ
て、その発振周波数の変化に基づき付着物量を計測する
前記（iv）に記載の腐食環境監視装置。

【００１６】（vi）前記圧電素子の発振周波数の変化に
基づき計測された計測結果に基づき大気中の腐食性物質
または腐食性ガスについてその種類と濃度および／また
は前記金属薄膜の腐食量を、予め入力されたデータに基
づき推定する演算処理装置と、該演算処理装置による各
演算結果を表示する表示装置を備えた前記（ｉ）あるい
は（ii）に記載の腐食環境監視装置。

【００１７】(vii）前記演算処理装置による各推定演算
値が所定の値に到達すると警報を発する警発発生手段を
備えている前記（vi）に記載の腐食環境監視装置。

【００１８】（viii）前記圧電素子の発振周波数の変化
に基づき計測された計測結果とこれに基づき推定した金
属薄膜の腐食量，腐食性物質または腐食性ガスの種類と
濃度の少なくとも１項目以上をグラフまたは数値データ
として画面上に表示する前記（vi）に記載の腐食環境監
視装置。

【００１９】（ix）前記圧電素子の発振周波数の変化に
基づき計測された計測結果に基づき大気中の腐食性物質
または腐食性ガスについてその種類と濃度および／また
は前記金属薄膜の腐食量を予め入力されたデータに基づ
き推定する演算処理装置、該演算処理装置による各演算
結果および／または計測結果を記録する記録装置を備え
た前記（ｉ）あるいは（ii）に記載の腐食環境監視装
置。

【００２０】（ｘ）複数個の圧電素子を納めたセンサホ
ルダー部ごとに、計測結果および／または演算結果を記
録するために、測定者が任意の名称で登録できる登録領
域および／または記録されている情報を測定者が任意に
選択してそれぞれのデータを表示させるための選択領域
を表示装置の画面上に表示する前記（ix）に記載の腐食
環境監視装置。

【００２１】前記のように複数の圧電素子基板に異なる
種類の金属薄膜をそれぞれ堆積させた圧電素子で構成さ
れたセンサホルダー部を測定環境中に配置し、測定配置
の前後でセンサホルダー部を発振回路に接続して各圧電
素子を発振させ、各素子の配置前後の周波数変化量を計
測することにより達成される。なお、上記および下記の
記載において、「および／または」は、いずれか一方又
は両方を含むものを意味する。

【００２２】本発明の原理を圧電素子として水晶振動子
を用いて説明する。金属薄膜を堆積させた水晶振動子基
板を発振回路により発振させると、堆積させた金属の質
量に比例して、一定の周波数で発振する。

【００２３】この金属薄膜が腐食すると、腐食生成物の
形成により堆積させた金属の質量が変化する。この質量
変化は式〔１〕に従って、水晶振動子の振動数変化と関
係付けられる。

【００２４】

【数１】 Δｆ＝−ｋｆ₀ ²(Δｗ／Ａ) …〔１〕ここで、ｆ₀ は水晶振動子の初期周波数、Δｆは周波数
変化量、Δｗは質量変化量、Ａは金属薄膜を堆積させた
面積、ｋは定数である。

【００２５】例えば、初期周波数１０ＭＨｚの水晶振動
子を用いると、腐食により金属薄膜が２ｎｇ／cm² 質量
の増加を１Ｈｚの感度で測定できる。

【００２６】さらに、水晶基板に異なる種類の金属を堆
積させた複数個の水晶振動子を用いることにより、その
金属の種類毎の腐食量を計測することができる。

【００２７】金属の腐食感受性は、腐食性ガスに対して
それぞれ異なる特性を示す。例えば、ＡｇやＣｕはＨ₂
Ｓガスでは両金属とも容易に腐食するが、ＨＣｌガス
の場合には、Ｃｕに比べてＡｇは腐食しにくいという特
性がある。

【００２８】また、Ｆｅは大気中の相対湿度の増加によ
り腐食速度が増大するが、ＡｇやＡｌは相対湿度が増加
しても殆ど腐食速度に変化がない。

【００２９】本発明ではこうした特性を利用して、金属
の腐食量と同時に大気中の腐食性ガスの種類、および、
その濃度を測定する。即ち、複数の金属を堆積した振動
子を大気中に暴露し、各金属の腐食量を前記式〔１〕に
記載の方法で連続計測する。

【００３０】この各金属の腐食変化量の比を、予め求め
た標準データと比較することにより、金属の腐食量と同
時に大気中の腐食性ガス成分の種類と濃度とが決定でき
る。

【００３１】さらに本発明の方法では、予め標準データ
を収集しておくことにより、想定していなかった腐食性
ガスの測定も可能となる。

【００３２】以上のように、本測定方法は、基本的に水
晶振動子の周波数を測定する方法であり、この水晶振動
子を測定環境中に配置する前後の周波数変化量から腐食
量等を計測でき、演算処理装置やデータ記録装置等を併
設することにより、腐食性ガスの種類や濃度の推定も可
能となる。

【００３３】また、直接、腐食性物質とは反応しない導
電性薄膜を圧電素子に形成し、大気中の湿分を吸収する
ことにより腐食を加速させる塵埃等の付着物質量や、付
着物質中に吸収した湿分量も計測できる。例えば、Ａｕ
のように大気中で腐食しない金属を堆積させた水晶振動
子を用い、その振動数の変化を計測することにより、金
属に付着した付着物質量や付着物質中に吸収した湿分量
が計測できる。

【００３４】さらにまた、上記の方法で計測した金属の
腐食量，腐食性ガスの成分、および、その濃度，塵埃等
の付着物質量や付着物質中に吸収された湿分量を演算処
理することで推定し、予め定めた機器の使用限界値デー
タと比較する。それが所定値を超えたときに警報を発す
る警報装置を併設することにより、機器が腐食により誤
作動や停止する前に、機器の修理や交換を行うことが可
能となる。また、電子デバイスの製造工程では、大量の
不良品を発生させることなく、装置や空調設備の点検修
理を行うことが可能となる。

【００３５】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例である
腐食環境監視装置センサホルダー部の模式構成図であ
る。該監視装置センサホルダー部は、圧電素子を用いた
腐食量センサ１と、圧電素子を固定して、計測装置と腐
食量センサを接続するためのコネクタ台２，腐食量セン
サの破損を防止するためのカバー３を備えている。

【００３６】図２は、図１で用いた腐食量センサの模式
構成図である。直径８mm，基準振動数１０ＭＨｚの水晶
基板４の両面に直径４.５mm，厚さ約０.５μｍの金属薄
膜５を蒸着し、この金属薄膜にニッケルが分散した導電
性接着剤でリード線６を取り付けた水晶振動子を腐食量
センサとして用いた。金属薄膜は両面とも平面形状は同
じものであり、側面端部にお互い反対側より両面に金属
薄膜に接続した発振用または検出用のリード線６が設け
られる。

【００３７】ここで腐食量センサとしては、アルミニウ
ム，銀，コバルト，銅，鉄，ニッケルの６種類をスパッ
タリング法により蒸着したセンサを用いることを標準と
して採用した。しかし、高感度な測定が必要な場合は、
圧電基板としてタンタル酸リチウムなどの弾性表面波デ
バイスを用いる、腐食を監視する金属に応じてその他の
金属を蒸着したセンサを用いる、塵埃等が付着する量を
測定する場合には大気中で腐食しない金を蒸着したセン
サを用いる、シリコンウエハ上での有機物等による汚染
を監視する場合にはシリコンを蒸着したセンサを用いる
など、測定対象となる材料や環境に応じて、圧電基板の
種類やその数、基板上に蒸着する金属の種類を任意に選
択することで、高精度の計測が可能になる。

【００３８】図３は、図１に示した腐食環境監視装置セ
ンサホルダー部と計測装置との接続方式を示す断面図で
ある。水晶基板４を接続したリード線６は、コネクタ台
２の内部でコネクタ７に接続される。一方計測装置８に
は、発振回路等を含む回路基板９が挿入ピン１０と接続
されており、挿入ガイド１１により容易にセンサホルダ
ー部と計測装置を接続することが出来る。上記のように
センサホルダー部と計測装置を接続した状態で各水晶振
動子を回路基板内の発振回路で発振させることにより腐
食量などを計測できる。

【００３９】図４には腐食環境監視装置の外観図を、図
５には内部機能構成の模式図を示す。腐食環境監視装置
は、複数の圧電素子センサから構成されるセンサホルダ
ー部１２（但し、図４ではカバーを省略。）を挿入した
計測装置８と計測装置の制御とデータの収集と解析を実
行するためのノート型パーソナルコンピュータ１３から
構成される。ここで、計測装置とパーソナルコンピュー
タの間は、ＲＳ−232Cの規格に基づいた転送方式に基づ
き、データ転送を行った。また、計測装置の制御とデー
タの収集・解析を実行するためのＣＰＵや記憶素子，液
晶モニタの様な表示デバイス，計測装置との接続が可能
なインターフェースを具備していれば、ノート型パーソ
ナルコンピュータに限ることなく使用することが出来
る。

【００４０】計測装置は、圧電素子を安定に発振させる
ために圧電素子センサ各々に接続するための発振回路，
発振周波数を計測するための周波数カウンタ，複数のセ
ンサの発振周波数を任意に選択するためのシグナルスキ
ャナ，発振周波数をデジタル信号に変換してパーソナル
コンピュータ（ＰＣ）に転送するための信号装置を備え
ている。

【００４１】次に本実施例におけるデータの解析方法を
示す。図６は、図４に示した腐食環境監視装置における
データ解析方法を示すフロー図である。

【００４２】ステップ１：水晶振動子を用いた腐食量セ
ンサの発振周波数を計測し、これを測定開始時の初期値
として以降の演算処理に用いる。

【００４３】ステップ２：センサホルダー部を取り外
し、監視対象となる場所にセンサホルダー部のみを設置
する。

【００４４】ステップ３：一定時間（ｔ）が経過した後
に、設置されているセンサホルダー部を回収し、時間ｔ
経過後の腐食量センサの発振周波数を計測する。

【００４５】ステップ４：時間ｔにおける測定値と初期
値を比較して、センサの発振周波数の変化量を求め、こ
の変化量の関数として腐食量センサ上の金属の腐食量
や、予め求めておいた各種金属の腐食速度から設置環境
中の腐食性ガス種類とその平均濃度を換算する演算処理
を実行する。

【００４６】ステップ５：演算結果を表示し、センサホ
ルダー部を再び監視対象となる場所に設置し、監視を継
続する。

【００４７】上記の測定結果に基づき、腐食量や大気中
に存在する腐食性物質量等が、所定の値以上になった時
に警報を発生させるためには、予め、腐食量や腐食性物
質等の限界値を入力し、演算処理の結果と比較する演算
処理をステップ５からステップ２へのループの間に挿入
し、所定の値を超えた場合に、併設した警報発生手段に
より、腐食量や腐食性物質等が限界値を超えたことを告
知するようにすれば、当該監視としての機能が向上す
る。

【００４８】上記実施例に示すように、金属の腐食量や
大気中の腐食性ガス等の大気腐食に関する情報を簡便に
監視できる監視装置を得ることができる。

【００４９】次に、本発明の他の実施例である腐食環境
監視装置の外観模式図を図７に示す。腐食環境監視装置
は、複数の圧電素子センサから構成されるセンサホルダ
ー部１２（但し、図中ではカバーを省略。）を挿入した
腐食環境計測装置１４から構成される。腐食環境計測装
置には、種々のデータを入力するための入力キー１５，
データ解析の一連の作業を実行するためのファンクショ
ンキー１６，入力データや演算処理結果等を表示するた
めの液晶ディスプレイ１７が具備されている。また、フ
ラッシュメモリーデバイスなどの記録デバイス１８を該
計測装置に挿入することにより、計測データを保存する
ことができる。

【００５０】図８は、図７に示す腐食環境監視装置の内
部機能構成の模式図である。該計測装置は、圧電素子を
安定に発振させるために圧電素子センサ各々に接続する
ための発振回路，発振周波数を計測するための周波数カ
ウンタ，複数のセンサの発振周波数を任意に選択するた
めのシグナルスキャナ，発振周波数をデジタル信号に変
換して所定の演算を実行するための演算装置，演算結果
や入力データを表示するため、液晶ディスプレイなどに
よる表示装置，計測データに様々なデータを付加するた
めのキーを有するデータ入力装置，計測結果等を保存す
るためのフラッシュメモリーデバイス等の記録装置を備
えている。

【００５１】本装置を用いて図６に示したデータ解析す
ることにより、パーソナルコンピュータを用いることな
く、腐食環境の監視することが可能になるため、金属の
腐食量や大気中の腐食性ガス等の大気腐食に関する情報
を監視できるハンディー型の可搬式監視装置を得ること
ができる。

【００５２】図９は腐食環境監視装置に内蔵されるデー
タ収集ソフトの画面の一実施例である。メニューバー１
９のファイルメニューにより、新規の測定か、あるいは
測定中ファイルの選択を行う。新規の場合はファイル名
とサンプル名称を入力することで、サンプル名称表示欄
２０にサンプル名称が表示できる。

【００５３】センサ情報の表示領域２１では各圧電素子
に形成されている金属薄膜の材料名を任意に入力するこ
とができる。これにより、各圧電素子の状況が容易に把
握できる。また、必要に応じて計測するチャンネルを選
択することが可能なチェックボックスも有している。本
実施例では６チャンネルまでの構成例を示しているが、
チャンネル数は６チャンネルに限るものではない。

【００５４】測定間隔の入力領域２２では測定する時間
間隔、または、測定回数を測定者が任意に入力すること
ができる。

【００５５】アラームリミットの入力領域２３では警報
を発するための上限及び下限値を各チャンネルごとに個
別に設定し、警報を発することができる。

【００５６】上記の設定を行った後、測定開始ボタン２
７を押すと、初期の周波数値を取得して初期周波数表示
領域２４に表示し、そのデータを登録したファイル名で
保存する。また、温湿度表示領域２６には、測定時の温
度および湿度を表示することもできる。

【００５７】動作状況の表示領域２８には、測定中，待
機中等の動作状況を表示することにより、測定者は容易
に計測状況を把握することができる。

【００５８】センサの暴露後の周波数を測定する場合
は、メニューバー１９のファイルメニューにより既に登
録したファイルを選択することにより、予め登録したサ
ンプル名称や各設定等が画面に表示できる。測定開始ボ
タン２７を押すことにより、圧電素子の周波数データを
取得し、グラフ表示領域２９にグラフとして表示する。
このグラフは上には、計測した周波数変化Δｆに換え
て、演算処理により腐食量変化に換算した質量変化Δｗ
を切り替えて表示することもできる。また、測定データ
の表示領域２５には周波数変化Δｆと質量変化Δｗを数
値で表示する。さらに、図中には示していないが、演算
処理の結果得られた腐食性ガス種類および／またはその
平均濃度を換算した値を画面に表示することもできる。

【００５９】本実施例により、腐食環境の計測状況を容
易に把握できる画面を有する腐食環境監視装置を提供で
きる。

【００６０】

【発明の効果】本発明によれば、圧電素子を用いて腐食
環境中の金属の腐食量と、大気中に存在する腐食性物質
の種類とその濃度を同時に監視するときに、センサホル
ダー部のみを評価対象となる環境に設置できるので、簡
便に腐食環境を評価できる監視装置を得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である腐食環境監視装置セン
サホルダー部の模式構成図である。

【図２】図１で使用した腐食量センサの模式構成図であ
る。

【図３】図１における腐食環境監視装置センサホルダー
部と計測装置との接続方式を示す断面図である。

【図４】本発明の一実施例である腐食環境監視装置の外
観図である。

【図５】図４の内部機能構成を示す模式図である。

【図６】腐食環境監視装置におけるデータ解析方法を示
すフロー図である。

【図７】本発明の他の実施例である腐食環境監視装置の
外観図である。

【図８】図７の内部機能構成を示す模式図である。

【図９】腐食環境監視装置に内蔵されるデータ収集ソフ
トの画面の一実施例である。

【符号の説明】

１…腐食量センサ、２…コネクタ台、３…カバー、４…
水晶基板、５…金属薄膜、６…リード線、７…コネク
タ、８…計測装置、９…回路基板、１０…挿入ピン、１
１…挿入ガイド、１２…センサホルダー部、１３…ノー
ト型パーソナルコンピュータ、１４…腐食環境計測装
置、１５…入力キー、１６…ファンクションキー、１７
…液晶ディスプレイ、１８…記録デバイス、１９…メニ
ューバー、２０…サンプル名称表示欄、２１…センサ情
報の表示領域、２２…測定間隔の入力領域、２３…アラ
ームリミットの入力領域、２４…初期周波数表示領域、
２５…測定データの表示領域、２６…温湿度表示領域、
２７…測定開始ボタン、２８…動作状況の表示領域、２
９…グラフ表示領域。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者南顕一茨城県日立市大みか町七丁目１番１号株式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者橋本忠彦茨城県日立市大みか町五丁目２番１号株式会社日立製作所情報制御システム事業部内 (72)発明者鹿山昌宏茨城県日立市大みか町五丁目２番１号株式会社日立製作所情報制御システム事業部内Ｆターム(参考） 2G050 AA01 BA04 BA05 CA01 DA02 EA06 EB02 EC05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数個の圧電素子表面に、該圧電素子毎に
異なる種類の金属薄膜が形成され、前記金属薄膜を形成
した各圧電素子を発振回路によりそれぞれ発振させて、
前記各圧電素子から出力される周波数の変化を測定し、
測定環境中の腐食性物質または腐食性ガスの種類と濃度
および／または前記金属薄膜の腐食量を検出できるよう
に構成した腐食環境監視装置において、前記圧電素子を
納めたセンサホルダー部を装置本体から分離独立させ
て、該センサホルダー部のみを測定環境中に配置したこ
とを特徴とする腐食環境監視装置。
【請求項２】複数個の圧電素子の基板面に導電性薄膜が
形成され、該導電性薄膜面に圧電素子毎に異なる種類の
金属薄膜が堆積され、前記金属薄膜を形成した各圧電素
子を発振回路によりそれぞれ発振させ、大気中の腐食性
物質または腐食性ガスについてその種類と濃度および／
または金属薄膜の腐食量を、発振周波数の変化から計測
できるように構成した腐食環境監視装置において、前記
圧電素子を納めたセンサホルダー部を装置本体から分離
独立させ、該センサホルダー部のみを測定環境中に配置
したことを特徴とする腐食環境監視装置。
【請求項３】前記圧電素子が、水晶振動子または弾性表
面波デバイスで構成されている請求項１あるいは２のい
ずれかに記載の腐食環境監視装置。
【請求項４】請求項１あるいは２のいずれかに記載の腐
食環境監視装置において、大気中からの付着物量を計測
する付着物量計測手段を備えたことを特徴とする腐食環
境監視装置。
【請求項５】前記付着物量計測手段が、基板面に腐食性
物質とは反応しない導電性薄膜が形成された圧電素子で
あって、該圧電素子を発振回路により発振させて、その
発振周波数の変化に基づき付着物量を計測する請求項４
に記載の腐食環境監視装置。
【請求項６】前記圧電素子の発振周波数の変化に基づき
計測された計測結果に基づき大気中の腐食性物質または
腐食性ガスについてその種類と濃度および／または前記
金属薄膜の腐食量を予め入力されたデータに基づき推定
する演算処理装置と、該演算処理装置による各演算結果
を表示する表示装置を備えた請求項１あるいは２のいず
れかに記載の腐食環境監視装置。
【請求項７】前記演算処理装置による各推定演算値が所
定の値に到達すると警報を発する警報発生手段を備えて
いる請求項６に記載の腐食環境監視装置。
【請求項８】前記圧電素子の発振周波数の変化に基づき
計測された計測結果に基づき推定した前記金属薄膜の腐
食量、あるいは大気中の腐食性物質または腐食性ガスの
種類と濃度の少なくとも１項目以上を、グラフまたは数
値データとして表示装置の画面上に表示することを特徴
とする請求項６に記載の腐食環境監視装置。
【請求項９】前記圧電素子の発振周波数の変化に基づき
計測された計測結果に基づき大気中の腐食性物質または
腐食性ガスについてその種類と濃度および／または前記
金属薄膜の腐食量を予め入力されたデータに基づき推定
する演算処理装置、該演算処理装置による各演算結果お
よび／または計測結果を記録する記録装置を備えた請求
項１あるいは２のいずれかに記載の腐食環境監視装置。
【請求項１０】複数個の圧電素子を納めたセンサホルダ
ー部ごとに、計測結果および／または演算結果を記録す
るために、測定者が任意の名称で登録できる登録領域お
よび／または記録されている情報を測定者が任意に選択
してそれぞれのデータを表示させるための選択領域を表
示装置の画面上に表示することを特徴とした請求項９に
記載の腐食環境監視装置。