JP2003315128A5 - - Google Patents
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Claims (4)
- ヒータ素子、このヒータ素子を間にして流体の通流方向にそれぞれ設けられた第１および第２のサーモパイル、および基準電圧源を備えた流量センサと、
前記基準電圧源から出力される基準電圧に応じて前記ヒータ素子のヒータ温度を制御するヒータ制御手段と、
前記第１のサーモパイルと前記第２のサーモパイルとの測温温度差から前記流量センサを通流する流体の流量を計測する流量計測手段とを備えたことを特徴とする熱式流量計測装置。 - ヒータ素子、このヒータ素子を間にして流体の通流方向にそれぞれ設けられた第１および第２のサーモパイル、およびその周囲温度を検出する周囲温度測温センサ素子を備えた流量センサと、
前記周囲温度測温センサ素子による測温温度の変化に応じて、前記第１および第２のサーモパイルの測温温度の平均値を前記周囲温度測温センサ素子による測温温度よりも一定温度だけ高く維持するように、前記ヒータ素子のヒータ温度を制御するヒータ制御手段と、
前記第１のサーモパイルと前記第２のサーモパイルとの測温温度差から前記流量センサを通流する流体の流量を計測する流量計測手段とを備えたことを特徴とする熱式流量計測装置。 - 前記ヒータ制御手段は、
前記周囲温度測温センサ素子による測温温度上昇に応じて、前記第１および第２のサーモパイルの測温温度の平均値を、前記周囲温度測温センサ素子による測温温度上昇よりもさらに高く維持するように、前記ヒータ素子のヒータ温度を制御することを特徴とする請求項２に記載の熱式流量計測装置。 - 請求項３に記載の熱式流量計測装置において、
前記周囲温度測温センサ素子は測温抵抗素子であって、この測温抵抗素子に抵抗温度係数設定用抵抗素子が接続されたことを特徴とする熱式流量計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002127059A JP2003315128A (ja) | 2002-04-26 | 2002-04-26 | 熱式流量計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002127059A JP2003315128A (ja) | 2002-04-26 | 2002-04-26 | 熱式流量計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003315128A JP2003315128A (ja) | 2003-11-06 |
| JP2003315128A5 true JP2003315128A5 (ja) | 2005-06-16 |
Family
ID=29541289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002127059A Pending JP2003315128A (ja) | 2002-04-26 | 2002-04-26 | 熱式流量計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003315128A (ja) |
-
2002
- 2002-04-26 JP JP2002127059A patent/JP2003315128A/ja active Pending
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