JP2003313655A5 - 製造装置および発光装置の作製方法 - Google Patents
製造装置および発光装置の作製方法 Download PDFInfo
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
成膜室を有する製造装置であって、
被蒸着物が配置される前記成膜室には、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源が設置される蒸着源ホルダと、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、前記被蒸着物を回転させる手段とを有し、
前記蒸着源ホルダを移動させ、且つ、前記被蒸着物を回転させて蒸着を行うことを特徴とする製造装置。
【請求項２】
成膜室を有する製造装置であって、
被蒸着物が配置される前記成膜室には、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源が設置される蒸着源ホルダと、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、前記被蒸着物を回転させる手段とを有し、
前記蒸着源ホルダをＸ方向およびＹ方向に移動させ、且つ、前記被蒸着物を回転させて蒸着を行うことを特徴とする製造装置。
【請求項３】
成膜室を有する製造装置であって、
被蒸着物が配置される前記成膜室には、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源が設置される蒸着源ホルダと、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、前記被蒸着物を回転させる手段とを有し、
前記蒸着源ホルダを二次元平面において、前記被蒸着物の一端から他端までＸ方向に平行に移動させたあと、前記他端から前記一端までＸ軸方向およびＹ軸方向に対して斜めに移動させ、且つ、前記被蒸着物を回転させて蒸着を行うことを特徴とする製造装置。
【請求項４】
成膜室を有する製造装置であって、
被蒸着物が配置される前記成膜室には、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源が設置される蒸着源ホルダと、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、前記被蒸着物を回転させる手段とを有し、
前記蒸着源ホルダをジグザグに移動させ、且つ、前記被蒸着物を回転させて蒸着を行うことを特徴とする製造装置。
【請求項５】
成膜室を有する製造装置であって、
被蒸着物が配置される前記成膜室には、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源が設置される蒸着源ホルダと、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、前記被蒸着物を回転させる手段とを有し、
前記蒸着源ホルダを二次元平面において弧を描くように移動させ、且つ、前記被蒸着物を回転させて蒸着を行うことを特徴とする製造装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一において、前記蒸着源と前記被蒸着物との間隔が、３０ｃｍ以下であることを特徴とする製造装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一において、前記成膜室は、前記成膜室内を真空にする真空排気処理室が連結していることを特徴とする製造装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一において、前記蒸着材料は有機化合物材料であることを特徴とする製造装置。
【請求項９】
被蒸着物が配置される成膜室が、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源を移動する手段と、前記被蒸着物を回転する手段とを有する製造装置を用いた発光装置の作製方法であって、
前記成膜室において、前記被蒸着物に対向して配置された前記蒸着源を移動させながら、前記被蒸着物を回転させて、前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１０】
被蒸着物が配置される成膜室が、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源を移動する手段と、前記被蒸着物を回転する手段とを有する製造装置を用いた発光装置の作製方法であって、
前記成膜室において、前記被蒸着物に対向して配置された前記蒸着源をＸ方向およびＹ方向に移動させながら、前記被蒸着物を回転させて、前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１１】
被蒸着物が配置される成膜室が、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源を移動する手段と、前記被蒸着物を回転する手段とを有する製造装置を用いた発光装置の作製方法であって、
前記成膜室において、前記被蒸着物に対向して配置された前記蒸着源を、二次元平面において、前記被蒸着物の一端から他端までＸ方向に平行に移動させたあと、前記他端から前記一端までＸ軸方向およびＹ軸方向に対して斜めに移動させることを繰り返しながら、前記被蒸着物を回転させて、前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１２】
被蒸着物が配置される成膜室が、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源を移動する手段と、前記被蒸着物を回転する手段とを有する製造装置を用いた発光装置の作製方法であって、
前記成膜室において、前記被蒸着物に対向して配置された前記蒸着源を、ジグザグに移動させながら、前記被蒸着物を回転させて、前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１３】
被蒸着物が配置される成膜室が、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源を移動する手段と、前記被蒸着物を回転する手段とを有する製造装置を用いた発光装置の作製方法であって、
前記成膜室において、前記被蒸着物に対向して配置された前記蒸着源を、二次元平面において弧を描くように移動させながら、前記被蒸着物を回転させて、前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１４】
被蒸着物が配置される成膜室が、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源を移動する手段と、前記被蒸着物を回転する手段とを有する製造装置を用いた発光装置の作製方法であって、
前記成膜室において、前記被蒸着物に対向して配置された前記蒸着源を並列に複数並べて被蒸着物が設けられる基板と同じ長さの蒸着源ホルダに設置し、前記蒸着源ホルダをＸ方向またはＹ方向に移動させながら、前記被蒸着物を回転させて、前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１５】
被蒸着物が配置される成膜室が、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源を移動する手段と、前記被蒸着物を回転する手段とを有する製造装置を用いた発光装置の作製方法であって、
前記成膜室において、前記被蒸着物に対向して配置された前記蒸着源を複数並べて矩形状の蒸着源ホルダに設置し、前記蒸着源ホルダを二次元平面において、前記被蒸着物の一端から他端までＸ方向に平行に移動させたあと、前記他端から前記一端までＸ軸方向およびＹ軸方向に対して斜めに移動させることを繰り返しながら、前記被蒸着物を回転させて、前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１６】
請求項９乃至請求項１５のいずれか一において、前記蒸着材料は有機化合物材料であることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１】
成膜室を有する製造装置であって、
被蒸着物が配置される前記成膜室には、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源が設置される蒸着源ホルダと、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、前記被蒸着物を回転させる手段とを有し、
前記蒸着源ホルダを移動させ、且つ、前記被蒸着物を回転させて蒸着を行うことを特徴とする製造装置。
【請求項２】
成膜室を有する製造装置であって、
被蒸着物が配置される前記成膜室には、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源が設置される蒸着源ホルダと、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、前記被蒸着物を回転させる手段とを有し、
前記蒸着源ホルダをＸ方向およびＹ方向に移動させ、且つ、前記被蒸着物を回転させて蒸着を行うことを特徴とする製造装置。
【請求項３】
成膜室を有する製造装置であって、
被蒸着物が配置される前記成膜室には、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源が設置される蒸着源ホルダと、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、前記被蒸着物を回転させる手段とを有し、
前記蒸着源ホルダを二次元平面において、前記被蒸着物の一端から他端までＸ方向に平行に移動させたあと、前記他端から前記一端までＸ軸方向およびＹ軸方向に対して斜めに移動させ、且つ、前記被蒸着物を回転させて蒸着を行うことを特徴とする製造装置。
【請求項４】
成膜室を有する製造装置であって、
被蒸着物が配置される前記成膜室には、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源が設置される蒸着源ホルダと、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、前記被蒸着物を回転させる手段とを有し、
前記蒸着源ホルダをジグザグに移動させ、且つ、前記被蒸着物を回転させて蒸着を行うことを特徴とする製造装置。
【請求項５】
成膜室を有する製造装置であって、
被蒸着物が配置される前記成膜室には、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源が設置される蒸着源ホルダと、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、前記被蒸着物を回転させる手段とを有し、
前記蒸着源ホルダを二次元平面において弧を描くように移動させ、且つ、前記被蒸着物を回転させて蒸着を行うことを特徴とする製造装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一において、前記蒸着源と前記被蒸着物との間隔が、３０ｃｍ以下であることを特徴とする製造装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一において、前記成膜室は、前記成膜室内を真空にする真空排気処理室が連結していることを特徴とする製造装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一において、前記蒸着材料は有機化合物材料であることを特徴とする製造装置。
【請求項９】
被蒸着物が配置される成膜室が、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源を移動する手段と、前記被蒸着物を回転する手段とを有する製造装置を用いた発光装置の作製方法であって、
前記成膜室において、前記被蒸着物に対向して配置された前記蒸着源を移動させながら、前記被蒸着物を回転させて、前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１０】
被蒸着物が配置される成膜室が、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源を移動する手段と、前記被蒸着物を回転する手段とを有する製造装置を用いた発光装置の作製方法であって、
前記成膜室において、前記被蒸着物に対向して配置された前記蒸着源をＸ方向およびＹ方向に移動させながら、前記被蒸着物を回転させて、前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１１】
被蒸着物が配置される成膜室が、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源を移動する手段と、前記被蒸着物を回転する手段とを有する製造装置を用いた発光装置の作製方法であって、
前記成膜室において、前記被蒸着物に対向して配置された前記蒸着源を、二次元平面において、前記被蒸着物の一端から他端までＸ方向に平行に移動させたあと、前記他端から前記一端までＸ軸方向およびＹ軸方向に対して斜めに移動させることを繰り返しながら、前記被蒸着物を回転させて、前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１２】
被蒸着物が配置される成膜室が、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源を移動する手段と、前記被蒸着物を回転する手段とを有する製造装置を用いた発光装置の作製方法であって、
前記成膜室において、前記被蒸着物に対向して配置された前記蒸着源を、ジグザグに移動させながら、前記被蒸着物を回転させて、前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１３】
被蒸着物が配置される成膜室が、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源を移動する手段と、前記被蒸着物を回転する手段とを有する製造装置を用いた発光装置の作製方法であって、
前記成膜室において、前記被蒸着物に対向して配置された前記蒸着源を、二次元平面において弧を描くように移動させながら、前記被蒸着物を回転させて、前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１４】
被蒸着物が配置される成膜室が、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源を移動する手段と、前記被蒸着物を回転する手段とを有する製造装置を用いた発光装置の作製方法であって、
前記成膜室において、前記被蒸着物に対向して配置された前記蒸着源を並列に複数並べて被蒸着物が設けられる基板と同じ長さの蒸着源ホルダに設置し、前記蒸着源ホルダをＸ方向またはＹ方向に移動させながら、前記被蒸着物を回転させて、前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１５】
被蒸着物が配置される成膜室が、蒸着材料を有する蒸着源と、前記蒸着源を移動する手段と、前記被蒸着物を回転する手段とを有する製造装置を用いた発光装置の作製方法であって、
前記成膜室において、前記被蒸着物に対向して配置された前記蒸着源を複数並べて矩形状の蒸着源ホルダに設置し、前記蒸着源ホルダを二次元平面において、前記被蒸着物の一端から他端までＸ方向に平行に移動させたあと、前記他端から前記一端までＸ軸方向およびＹ軸方向に対して斜めに移動させることを繰り返しながら、前記被蒸着物を回転させて、前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１６】
請求項９乃至請求項１５のいずれか一において、前記蒸着材料は有機化合物材料であることを特徴とする発光装置の作製方法。
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| JP2003313655A5 true JP2003313655A5 (ja) | 2006-03-30 |
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| JP2003047805A Expired - Fee Related JP4439827B2 (ja) | 2002-02-25 | 2003-02-25 | 製造装置および発光装置の作製方法 |
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