JP2003307614A - 半透過型カラーフィルタ、感放射線性組成物およびカラー液晶表示素子 - Google Patents
半透過型カラーフィルタ、感放射線性組成物およびカラー液晶表示素子Info
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- JP2003307614A JP2003307614A JP2003013549A JP2003013549A JP2003307614A JP 2003307614 A JP2003307614 A JP 2003307614A JP 2003013549 A JP2003013549 A JP 2003013549A JP 2003013549 A JP2003013549 A JP 2003013549A JP 2003307614 A JP2003307614 A JP 2003307614A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 着色層の光反射領域における突出値および光
透過領域における突出値を小さくすることが可能で、バ
ックライト使用時と反射型として使用するときとの間で
色純度をほぼ同等とすることができ、特にバックライト
使用時の色純度を高めることができる半透過型カラーフ
ィルタを提供する。 【解決手段】 基板上に突起部および着色層を形成して
なり、該突起部が光反射層を有し、かつ該着色層が該突
起部および残りの基板表面を被覆するように形成された
ことを特徴とする半透過型カラーフィルタ。該着色層の
光反射領域における突出値および光透過領域における突
出値は0.1μm以下であることが好ましい。
透過領域における突出値を小さくすることが可能で、バ
ックライト使用時と反射型として使用するときとの間で
色純度をほぼ同等とすることができ、特にバックライト
使用時の色純度を高めることができる半透過型カラーフ
ィルタを提供する。 【解決手段】 基板上に突起部および着色層を形成して
なり、該突起部が光反射層を有し、かつ該着色層が該突
起部および残りの基板表面を被覆するように形成された
ことを特徴とする半透過型カラーフィルタ。該着色層の
光反射領域における突出値および光透過領域における突
出値は0.1μm以下であることが好ましい。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半透過型カラーフ
ィルタ、該半透過型カラーフィルタにおける着色層の形
成に用いられる感放射線性組成物、該半透過型カラーフ
ィルタにおける突起部の形成に用いられる感放射線性組
成物、および該半透過型カラーフィルタを具備してなる
カラー液晶表示素子に関する。
ィルタ、該半透過型カラーフィルタにおける着色層の形
成に用いられる感放射線性組成物、該半透過型カラーフ
ィルタにおける突起部の形成に用いられる感放射線性組
成物、および該半透過型カラーフィルタを具備してなる
カラー液晶表示素子に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶ディスプレイは従来、均一な画面輝
度を確保するためバックライトを具備したものが主流で
あったが、近年における携帯用端末の普及などに伴い、
別途の光源を要しない反射型の液晶ディスプレイが増加
してきた。しかし、これらの液晶ディスプレイは、使用
できる環境がそれぞれ限られている。すなわち、バック
ライトを具備した液晶ディスプレイは、室内や夜間の使
用には適するが、昼間の屋外などの外界からの光が多い
場所で使用すると画面が見づらくなり、一方反射型の液
晶ディスプレイは、昼間の屋外などの外界からの光が十
分な場所で使用するには適するが、室内や夜間では十分
な輝度が得られず、やはり画面が見づらくなる。これに
対し近年、使用環境に応じて適度な画面輝度を提供する
ことができる液晶ディスプレイの方式として、暗所では
バックライトにより輝度を確保できるとともに、十分な
光がある環境では反射型ディスプレイとしても機能す
る、いわゆる「半透過型」の液晶ディスプレイが提案さ
れている。しかし、半透過型の液晶ディスプレイについ
ては、バックライト使用時と外界からの光を利用する反
射型として使用するときとで、画面の輝度や色純度が異
なるという問題があり、このような問題を解決しうるカ
ラーフィルタ、当該カラーフィルタを製造する方法、お
よびそれらに好適に使用することができる放射線硬化型
着色組成物は未だ知られていない。また、デジタルカメ
ラなどに半透過型液晶ディスプレイを用いる場合、屋外
での撮影時などでは、一般に撮影対象の構図が確認でき
れば十分であるため、色純度はさほど問題にならず、明
るさ重視となるが、撮影した映像を見る際には、屋内で
バックライトを使用することが多く、撮影時よりも高い
色純度が要求されることになる。したがって、このよう
な場合も考慮すると、画面の輝度や色純度をほぼ同水準
に保つ以外にも、バックライト使用時と反射型として使
用するときとの間で色純度等を任意に調整でき、特にバ
ックライト使用時の色純度を高めることも求められるよ
うになっているが、従来の半透過型の液晶ディスプレイ
では、このような要求も十分達成することができなかっ
た。
度を確保するためバックライトを具備したものが主流で
あったが、近年における携帯用端末の普及などに伴い、
別途の光源を要しない反射型の液晶ディスプレイが増加
してきた。しかし、これらの液晶ディスプレイは、使用
できる環境がそれぞれ限られている。すなわち、バック
ライトを具備した液晶ディスプレイは、室内や夜間の使
用には適するが、昼間の屋外などの外界からの光が多い
場所で使用すると画面が見づらくなり、一方反射型の液
晶ディスプレイは、昼間の屋外などの外界からの光が十
分な場所で使用するには適するが、室内や夜間では十分
な輝度が得られず、やはり画面が見づらくなる。これに
対し近年、使用環境に応じて適度な画面輝度を提供する
ことができる液晶ディスプレイの方式として、暗所では
バックライトにより輝度を確保できるとともに、十分な
光がある環境では反射型ディスプレイとしても機能す
る、いわゆる「半透過型」の液晶ディスプレイが提案さ
れている。しかし、半透過型の液晶ディスプレイについ
ては、バックライト使用時と外界からの光を利用する反
射型として使用するときとで、画面の輝度や色純度が異
なるという問題があり、このような問題を解決しうるカ
ラーフィルタ、当該カラーフィルタを製造する方法、お
よびそれらに好適に使用することができる放射線硬化型
着色組成物は未だ知られていない。また、デジタルカメ
ラなどに半透過型液晶ディスプレイを用いる場合、屋外
での撮影時などでは、一般に撮影対象の構図が確認でき
れば十分であるため、色純度はさほど問題にならず、明
るさ重視となるが、撮影した映像を見る際には、屋内で
バックライトを使用することが多く、撮影時よりも高い
色純度が要求されることになる。したがって、このよう
な場合も考慮すると、画面の輝度や色純度をほぼ同水準
に保つ以外にも、バックライト使用時と反射型として使
用するときとの間で色純度等を任意に調整でき、特にバ
ックライト使用時の色純度を高めることも求められるよ
うになっているが、従来の半透過型の液晶ディスプレイ
では、このような要求も十分達成することができなかっ
た。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、着色
層の光反射領域における突出値〔I〕および光透過領域
における突出値〔II〕を小さくすることが可能で、バッ
クライト使用時と反射型として使用するときとの間で色
純度をほぼ同等とすることができ、特にバックライト使
用時の色純度を高めることができる半透過型カラーフィ
ルタ、当該半透過型カラーフィルタにおける突起部ある
いは着色層の形成に使用される感放射線性組成物、並び
に当該半透過型カラーフィルタを具備するカラー液晶表
示素子を提供することにある。
層の光反射領域における突出値〔I〕および光透過領域
における突出値〔II〕を小さくすることが可能で、バッ
クライト使用時と反射型として使用するときとの間で色
純度をほぼ同等とすることができ、特にバックライト使
用時の色純度を高めることができる半透過型カラーフィ
ルタ、当該半透過型カラーフィルタにおける突起部ある
いは着色層の形成に使用される感放射線性組成物、並び
に当該半透過型カラーフィルタを具備するカラー液晶表
示素子を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、前記課
題は、第一に、基板上に突起部および着色層を形成して
なり、該突起部が光反射層を有し、かつ該着色層が該突
起部および残りの基板表面を被覆するように形成された
ことを特徴とする半透過型カラーフィルタ、によって達
成される。
題は、第一に、基板上に突起部および着色層を形成して
なり、該突起部が光反射層を有し、かつ該着色層が該突
起部および残りの基板表面を被覆するように形成された
ことを特徴とする半透過型カラーフィルタ、によって達
成される。
【0005】本発明によれば、前記課題は、第二に、
(イ)(a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和
多価カルボン酸無水物とエポキシ基含有不飽和モノマー
と前記以外の不飽和モノマーとの共重合体並びに(b
1)1,2−キノンジアジド化合物を含有する感放射線
性組成物、並びに(ロ)(a2)不飽和カルボン酸およ
び/または不飽和多価カルボン酸無水物とエポキシ基含
有不飽和モノマーと前記以外の不飽和モノマーとの共重
合体、(b2)感放射線性重合開始剤並びに(c2)不
飽和モノマーを含有する感放射線性組成物の群から選ば
れる少なくとも1種からなることを特徴とする、前記半
透過型カラーフィルタにおける突起部の形成に用いられ
る感放射線性組成物、によって達成される。
(イ)(a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和
多価カルボン酸無水物とエポキシ基含有不飽和モノマー
と前記以外の不飽和モノマーとの共重合体並びに(b
1)1,2−キノンジアジド化合物を含有する感放射線
性組成物、並びに(ロ)(a2)不飽和カルボン酸およ
び/または不飽和多価カルボン酸無水物とエポキシ基含
有不飽和モノマーと前記以外の不飽和モノマーとの共重
合体、(b2)感放射線性重合開始剤並びに(c2)不
飽和モノマーを含有する感放射線性組成物の群から選ば
れる少なくとも1種からなることを特徴とする、前記半
透過型カラーフィルタにおける突起部の形成に用いられ
る感放射線性組成物、によって達成される。
【0006】本発明によれば、前記課題は、第三に、
(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官
能性モノマー、(D)感放射線性重合開始剤および
(E)溶媒を含有することを特徴とする、前記半透過型
カラーフィルタにおける着色層の形成に用いられる感放
射線性組成物、によって達成される。
(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官
能性モノマー、(D)感放射線性重合開始剤および
(E)溶媒を含有することを特徴とする、前記半透過型
カラーフィルタにおける着色層の形成に用いられる感放
射線性組成物、によって達成される。
【0007】本発明によれば、前記課題は、第四に、基
板上に突起部および着色層を形成してなり、該突起部が
光反射層を有し、かつ該着色層が該突起部および残りの
基板表面を被覆するように形成されたことを特徴とする
半透過型カラーフィルタを具備してなるカラー液晶表示
素子、によって達成される。
板上に突起部および着色層を形成してなり、該突起部が
光反射層を有し、かつ該着色層が該突起部および残りの
基板表面を被覆するように形成されたことを特徴とする
半透過型カラーフィルタを具備してなるカラー液晶表示
素子、によって達成される。
【0008】以下に、本発明について詳細に説明する。半透過型カラーフィルタ
本発明の半透過型カラーフィルタは、基板上に突起部お
よび着色層を形成してなり、該突起部が光反射層を有
し、かつ該着色層が該突起部および残りの基板表面を被
覆するように形成されたことを特徴とするものである。
本発明の半透過型カラーフィルタにおいて、突起部にお
ける光反射層は、該突起部の表面に形成しても底部(即
ち、突起部と基板との間)に形成してもよい。光反射層
が突起部の表面に形成される場合、当該突起部は透明、
半透明あるいは不透明の何れでもよいが、光反射層が突
起部の底部に形成される場合、当該突起部は透明でなけ
ればならない。また、着色層は、突起部を被覆し、かつ
該突起部を形成した領域以外の基板表面を被覆するよう
に形成されている。本発明の半透過型カラーフィルタに
おける突起部は、後述する突起用感放射線性組成物を用
いて形成することができ、また着色層は、後述する着色
感放射線性組成物を用いて形成することができる。
よび着色層を形成してなり、該突起部が光反射層を有
し、かつ該着色層が該突起部および残りの基板表面を被
覆するように形成されたことを特徴とするものである。
本発明の半透過型カラーフィルタにおいて、突起部にお
ける光反射層は、該突起部の表面に形成しても底部(即
ち、突起部と基板との間)に形成してもよい。光反射層
が突起部の表面に形成される場合、当該突起部は透明、
半透明あるいは不透明の何れでもよいが、光反射層が突
起部の底部に形成される場合、当該突起部は透明でなけ
ればならない。また、着色層は、突起部を被覆し、かつ
該突起部を形成した領域以外の基板表面を被覆するよう
に形成されている。本発明の半透過型カラーフィルタに
おける突起部は、後述する突起用感放射線性組成物を用
いて形成することができ、また着色層は、後述する着色
感放射線性組成物を用いて形成することができる。
【0009】以下、これらの組成物について説明する。突起用感放射線性組成物
本発明の半透過型カラーフィルタにおける突起部の形成
に用いられる感放射線性組成物(以下、「突起用感放射
線性組成物」という。)としては、基板との密着性、強
度、耐熱性、耐溶剤性、形状のコントロール性等に優
れ、かつ着色層の形成時に突起部が膨潤したり変形した
りすることがないものが望ましい。突起用感放射線性組
成物としては、下記(イ)突起用感放射線性組成物並び
に(ロ)突起用感放射線性組成物の群から選ばれる少な
くとも1種からなるものが好ましい。 (イ) (a1)不飽和カルボン酸および/または不飽
和多価カルボン酸無水物とエポキシ基含有不飽和モノマ
ーと前記以外の不飽和モノマーとの共重合体(以下、
「(a1)共重合体」という。)並びに(b1)1,2
−キノンジアジド化合物を含有する感放射線性組成物
(以下、「(イ)突起用感放射線性組成物」とい
う。)。 (ロ) (a2)不飽和カルボン酸および/または不飽
和多価カルボン酸無水物とエポキシ基含有不飽和モノマ
ーと前記以外の不飽和モノマーとの共重合体(以下、
「(a2)共重合体」という。)、(b2)感放射線性
重合開始剤並びに(c2)重合性不飽和モノマーを含有
する感放射線性組成物(以下、「(ロ)突起用感放射線
性組成物」という。)。 また、本発明においては、後述する着色感放射線性組成
物を突起部の形成に使用することもできる。
に用いられる感放射線性組成物(以下、「突起用感放射
線性組成物」という。)としては、基板との密着性、強
度、耐熱性、耐溶剤性、形状のコントロール性等に優
れ、かつ着色層の形成時に突起部が膨潤したり変形した
りすることがないものが望ましい。突起用感放射線性組
成物としては、下記(イ)突起用感放射線性組成物並び
に(ロ)突起用感放射線性組成物の群から選ばれる少な
くとも1種からなるものが好ましい。 (イ) (a1)不飽和カルボン酸および/または不飽
和多価カルボン酸無水物とエポキシ基含有不飽和モノマ
ーと前記以外の不飽和モノマーとの共重合体(以下、
「(a1)共重合体」という。)並びに(b1)1,2
−キノンジアジド化合物を含有する感放射線性組成物
(以下、「(イ)突起用感放射線性組成物」とい
う。)。 (ロ) (a2)不飽和カルボン酸および/または不飽
和多価カルボン酸無水物とエポキシ基含有不飽和モノマ
ーと前記以外の不飽和モノマーとの共重合体(以下、
「(a2)共重合体」という。)、(b2)感放射線性
重合開始剤並びに(c2)重合性不飽和モノマーを含有
する感放射線性組成物(以下、「(ロ)突起用感放射線
性組成物」という。)。 また、本発明においては、後述する着色感放射線性組成
物を突起部の形成に使用することもできる。
【0010】以下、(イ)突起用感放射線性組成物およ
び(ロ)突起用感放射線性組成物について説明する。 〈(イ)突起用感放射線性組成物〉 −(a1)共重合体− (イ)突起用感放射線性組成物における(a1)共重合
体において、不飽和カルボン酸としては、例えば、(メ
タ)アクリル酸、クロトン酸等の不飽和モノカルボン酸
類;マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン
酸、イタコン酸等の不飽和ジカルボン酸等を挙げること
ができる。これらの不飽和カルボン酸は、単独でまたは
2種以上を混合して使用することができる。また、不飽
和多価カルボン酸無水物としては、例えば、無水マレイ
ン酸、無水シトラコン酸、無水イタコン酸等を挙げるこ
とができる。これらの不飽和多価カルボン酸無水物は、
単独でまたは2種以上を混合して使用することができ
る。
び(ロ)突起用感放射線性組成物について説明する。 〈(イ)突起用感放射線性組成物〉 −(a1)共重合体− (イ)突起用感放射線性組成物における(a1)共重合
体において、不飽和カルボン酸としては、例えば、(メ
タ)アクリル酸、クロトン酸等の不飽和モノカルボン酸
類;マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン
酸、イタコン酸等の不飽和ジカルボン酸等を挙げること
ができる。これらの不飽和カルボン酸は、単独でまたは
2種以上を混合して使用することができる。また、不飽
和多価カルボン酸無水物としては、例えば、無水マレイ
ン酸、無水シトラコン酸、無水イタコン酸等を挙げるこ
とができる。これらの不飽和多価カルボン酸無水物は、
単独でまたは2種以上を混合して使用することができ
る。
【0011】(a1)共重合体における不飽和カルボン
酸および不飽和多価カルボン酸無水物としては、アクリ
ル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸等が、共重合反応
性、アルカリ現像液に対する溶解性および入手が容易で
ある点から好ましい。
酸および不飽和多価カルボン酸無水物としては、アクリ
ル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸等が、共重合反応
性、アルカリ現像液に対する溶解性および入手が容易で
ある点から好ましい。
【0012】(a1)共重合体において、不飽和カルボ
ン酸および/または不飽和多価カルボン酸無水物からな
る構成単位の含有率は、好ましくは5〜40重量%、特
に好ましくは10〜30重量%である。この場合、該構
成単位の含有率が5重量%未満では、得られる共重合体
のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があ
り、一方40重量%を超えると、得られる共重合体のア
ルカリ現像液に対する溶解性が過大となる傾向がある。
ン酸および/または不飽和多価カルボン酸無水物からな
る構成単位の含有率は、好ましくは5〜40重量%、特
に好ましくは10〜30重量%である。この場合、該構
成単位の含有率が5重量%未満では、得られる共重合体
のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があ
り、一方40重量%を超えると、得られる共重合体のア
ルカリ現像液に対する溶解性が過大となる傾向がある。
【0013】また、エポキシ基含有不飽和モノマーとし
ては、例えば、(メタ)アクリル酸グリシジル、α−エ
チルアクリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル
酸グリシジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、
(メタ)アクリル酸3, 4−エポキシブチル、(メタ)
アクリル酸6, 7−エポキシヘプチル、α−エチルアク
リル酸6, 7−エポキシヘプチル、(メタ)アクリル酸
β―メチルグリシジル、(メタ)アクリル酸β―エチル
グリシジル、(メタ)アクリル酸β―(n−プロピル)
グリシジル、α−エチルアクリル酸β―メチルグリシジ
ル、(メタ)アクリル酸3―メチル−3,4−エポキシ
ブチル、(メタ)アクリル酸3−エチル−3,4−エポ
キシブチル、(メタ)アクリル酸4−メチル−4,5−
エポキシペンチル、(メタ)アクリル酸5−メチル−
5,6−エポキシへキシル、(メタ)アクリル酸3−エ
チルオキセタニル、o−ビニルベンジルグリシジルエー
テル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビ
ニルベンジルグリシジルエーテル等を挙げることができ
る。これらのエポキシ基含有不飽和モノマーは、単独で
または2種以上を混合して使用することができる。
ては、例えば、(メタ)アクリル酸グリシジル、α−エ
チルアクリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル
酸グリシジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、
(メタ)アクリル酸3, 4−エポキシブチル、(メタ)
アクリル酸6, 7−エポキシヘプチル、α−エチルアク
リル酸6, 7−エポキシヘプチル、(メタ)アクリル酸
β―メチルグリシジル、(メタ)アクリル酸β―エチル
グリシジル、(メタ)アクリル酸β―(n−プロピル)
グリシジル、α−エチルアクリル酸β―メチルグリシジ
ル、(メタ)アクリル酸3―メチル−3,4−エポキシ
ブチル、(メタ)アクリル酸3−エチル−3,4−エポ
キシブチル、(メタ)アクリル酸4−メチル−4,5−
エポキシペンチル、(メタ)アクリル酸5−メチル−
5,6−エポキシへキシル、(メタ)アクリル酸3−エ
チルオキセタニル、o−ビニルベンジルグリシジルエー
テル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビ
ニルベンジルグリシジルエーテル等を挙げることができ
る。これらのエポキシ基含有不飽和モノマーは、単独で
または2種以上を混合して使用することができる。
【0014】(a1)共重合体におけるエポキシ基含有
不飽和モノマーとしては、メタクリル酸グリシジル、メ
タクリル酸6, 7−エポキシヘプチル、o−ビニルベン
ジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジ
ルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等
が、共重合反応性、得られる突起部の強度等の観点から
好ましい。
不飽和モノマーとしては、メタクリル酸グリシジル、メ
タクリル酸6, 7−エポキシヘプチル、o−ビニルベン
ジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジ
ルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等
が、共重合反応性、得られる突起部の強度等の観点から
好ましい。
【0015】(a1)共重合体において、エポキシ基含
有不飽和モノマーからなる構成単位の含有率は、好まし
くは10〜70重量%、特に好ましくは20〜60重量
%である。この場合、該構成単位の含有率が10重量%
未満では、得られる突起部の強度が低下する傾向があ
り、一方70重量%を超えると、得られる共重合体の保
存安定性が低下する傾向がある。
有不飽和モノマーからなる構成単位の含有率は、好まし
くは10〜70重量%、特に好ましくは20〜60重量
%である。この場合、該構成単位の含有率が10重量%
未満では、得られる突起部の強度が低下する傾向があ
り、一方70重量%を超えると、得られる共重合体の保
存安定性が低下する傾向がある。
【0016】また、前記以外の不飽和モノマー(以下、
「他の不飽和モノマー」という。)としては、例えば、
(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチ
ル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリ
ル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、
(メタ)アクリル酸sec−ブチル、(メタ)アクリル
酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸n−ドデシル等の
(メタ)アクリル酸アルキルエステル類;(メタ)アク
リル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸2−メチル
シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸トリシクロ[5.
2.1.02,6]デカン−8−イル(以下では、トリシク
ロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルを「ジシクロ
ペンタニル」という。)、(メタ)アクリル酸2−ジシ
クロペンタニルオキシエチル、(メタ)アクリル酸イソ
ボロニル等の(メタ)アクリル酸環状エステル類;(メ
タ)アクリル酸フェニル、(メタ)アクリル酸ベンジル
等の(メタ)アクリル酸アリールエステル類;(メタ)
アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸
2−ヒドロキシプロピル等の(メタ)アクリル酸ヒドロ
キシアルキルエステル類;マレイン酸ジエチル、フマル
酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等の不飽和ジカルボン
酸ジエステル類や、スチレン、α−メチルスチレン、m
−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−メトキシ
スチレン、(メタ)アクリロニトリル、塩化ビニル、塩
化ビニリデン、(メタ)アクリルアミド、酢酸ビニル、
1, 3−ブタジエン、イソプレン、2, 3−ジメチル−
1, 3−ブタジエン、N−フェニルマレイミド、N−シ
クロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N
−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N
−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−
スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−
スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N
−(9−アクリジニル)マレイミド等を挙げることがで
きる。これらの他の不飽和モノマーは、単独でまたは2
種以上を混合して使用することができる。
「他の不飽和モノマー」という。)としては、例えば、
(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチ
ル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリ
ル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、
(メタ)アクリル酸sec−ブチル、(メタ)アクリル
酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸n−ドデシル等の
(メタ)アクリル酸アルキルエステル類;(メタ)アク
リル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸2−メチル
シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸トリシクロ[5.
2.1.02,6]デカン−8−イル(以下では、トリシク
ロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルを「ジシクロ
ペンタニル」という。)、(メタ)アクリル酸2−ジシ
クロペンタニルオキシエチル、(メタ)アクリル酸イソ
ボロニル等の(メタ)アクリル酸環状エステル類;(メ
タ)アクリル酸フェニル、(メタ)アクリル酸ベンジル
等の(メタ)アクリル酸アリールエステル類;(メタ)
アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸
2−ヒドロキシプロピル等の(メタ)アクリル酸ヒドロ
キシアルキルエステル類;マレイン酸ジエチル、フマル
酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等の不飽和ジカルボン
酸ジエステル類や、スチレン、α−メチルスチレン、m
−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−メトキシ
スチレン、(メタ)アクリロニトリル、塩化ビニル、塩
化ビニリデン、(メタ)アクリルアミド、酢酸ビニル、
1, 3−ブタジエン、イソプレン、2, 3−ジメチル−
1, 3−ブタジエン、N−フェニルマレイミド、N−シ
クロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N
−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N
−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−
スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−
スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N
−(9−アクリジニル)マレイミド等を挙げることがで
きる。これらの他の不飽和モノマーは、単独でまたは2
種以上を混合して使用することができる。
【0017】(a1)共重合体における他の不飽和モノ
マーとしては、メタクリル酸t−ブチル、メタアクリル
酸n−ドデシル、メタクリル酸2−メチルシクロヘキシ
ル、メタクリル酸ジシクロペンタニル、スチレン、p−
メトキシスチレン、1, 3−ブタジエン、N−シクロへ
キシルマレイミド等が、共重合反応性、共重合体(a
1)のアルカリ現像液に対する溶解性等の点から好まし
い。
マーとしては、メタクリル酸t−ブチル、メタアクリル
酸n−ドデシル、メタクリル酸2−メチルシクロヘキシ
ル、メタクリル酸ジシクロペンタニル、スチレン、p−
メトキシスチレン、1, 3−ブタジエン、N−シクロへ
キシルマレイミド等が、共重合反応性、共重合体(a
1)のアルカリ現像液に対する溶解性等の点から好まし
い。
【0018】(a1)共重合体において、他の不飽和モ
ノマーからなる構成単位の含有率は、好ましくは10〜
70重量%、特に好ましくは20〜50重量%である。
この場合、該構成単位の含有率が10重量%では、得ら
れる共重合体の保存安定性が低下する傾向があり、一方
70重量%を超えると、得られる共重合体のアルカリ現
像液に対する溶解性が低下する傾向がある。
ノマーからなる構成単位の含有率は、好ましくは10〜
70重量%、特に好ましくは20〜50重量%である。
この場合、該構成単位の含有率が10重量%では、得ら
れる共重合体の保存安定性が低下する傾向があり、一方
70重量%を超えると、得られる共重合体のアルカリ現
像液に対する溶解性が低下する傾向がある。
【0019】好ましい(a1)共重合体の具体例として
は、メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル/スチレン
/メタクリル酸ジシクロペンタニル共重合体、メタクリ
ル酸/メタクリル酸グリシジル/p−ビニルベンジルグ
リシジルエーテル/メタクリル酸ジシクロペンタニル/
スチレン共重合体、メタクリル酸/メタクリル酸グリシ
ジル/スチレン/メタクリル酸ジシクロペンタニル/
1,3−ブタジエン/N−シクロヘキシルマレイミド共
重合体、メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル/p−
ビニルベンジルグリシジルエーテル/メタクリル酸ジシ
クロペンタニル/メタクリル酸n−ドデシル共重合体、
メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル/スチレン/
1,3−ブタジエン/メタクリル酸ジシクロペンタニル
共重合体等を挙げることができ、さらに好ましくは、メ
タクリル酸/メタクリル酸グリシジル/スチレン/メタ
クリル酸ジシクロペンタニル共重合体、メタクリル酸/
メタクリル酸グリシジル/p−ビニルベンジルグリシジ
ルエーテル/メタクリル酸ジシクロペンタニル/スチレ
ン共重合体、メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル/
p−ビニルベンジルグリシジルエーテル/メタクリル酸
ジシクロペンタニル/メタクリル酸n−ドデシル共重合
体等である。
は、メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル/スチレン
/メタクリル酸ジシクロペンタニル共重合体、メタクリ
ル酸/メタクリル酸グリシジル/p−ビニルベンジルグ
リシジルエーテル/メタクリル酸ジシクロペンタニル/
スチレン共重合体、メタクリル酸/メタクリル酸グリシ
ジル/スチレン/メタクリル酸ジシクロペンタニル/
1,3−ブタジエン/N−シクロヘキシルマレイミド共
重合体、メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル/p−
ビニルベンジルグリシジルエーテル/メタクリル酸ジシ
クロペンタニル/メタクリル酸n−ドデシル共重合体、
メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル/スチレン/
1,3−ブタジエン/メタクリル酸ジシクロペンタニル
共重合体等を挙げることができ、さらに好ましくは、メ
タクリル酸/メタクリル酸グリシジル/スチレン/メタ
クリル酸ジシクロペンタニル共重合体、メタクリル酸/
メタクリル酸グリシジル/p−ビニルベンジルグリシジ
ルエーテル/メタクリル酸ジシクロペンタニル/スチレ
ン共重合体、メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル/
p−ビニルベンジルグリシジルエーテル/メタクリル酸
ジシクロペンタニル/メタクリル酸n−ドデシル共重合
体等である。
【0020】(a1)共重合体のポリスチレン換算重量
平均分子量(以下、「Mw」という。)は、通常、2,
000〜100,000、好ましくは5,000〜5
0,000である。この場合、(a1)共重合体のMw
が2,000未満では、組成物の現像性、パターン形
状、残膜率等が低下したり、また得られる突起部の耐熱
性が低下したりする傾向があり、一方100,000を
超えると、突起を形成する際の感度、パターン形状等が
低下する傾向がある。(イ)突起用感放射線性組成物に
おいて、(a1)共重合体は、単独でまたは2種以上を
混合して使用することができる。
平均分子量(以下、「Mw」という。)は、通常、2,
000〜100,000、好ましくは5,000〜5
0,000である。この場合、(a1)共重合体のMw
が2,000未満では、組成物の現像性、パターン形
状、残膜率等が低下したり、また得られる突起部の耐熱
性が低下したりする傾向があり、一方100,000を
超えると、突起を形成する際の感度、パターン形状等が
低下する傾向がある。(イ)突起用感放射線性組成物に
おいて、(a1)共重合体は、単独でまたは2種以上を
混合して使用することができる。
【0021】−(b1)1, 2−キノンジアジド化合物
− (イ)突起用感放射線性組成物における(b1)1, 2
−キノンジアジド化合物としては、例えば、1, 2−ベ
ンゾキノンジアジドスルホン酸エステル、1,2−ナフ
トキノンジアジドスルホン酸エステル、1, 2−ベンゾ
キノンジアジドスルホン酸アミド、1, 2−ナフトキノ
ンジアジドスルホン酸アミド等を挙げることができ、具
体的には、2, 3, 4−トリヒドロキシベンゾフェノン
−1, 2−ナフトキノンアジド−4−スルホン酸エステ
ル、2, 3, 4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,
2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、
2, 4, 6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−
ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,
4, 6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフ
トキノンジアジド−5−スルホン酸エステル等のトリヒ
ドロキシベンゾフェノンの1, 2−ナフトキノンジアジ
ドスルホン酸エステル類;
− (イ)突起用感放射線性組成物における(b1)1, 2
−キノンジアジド化合物としては、例えば、1, 2−ベ
ンゾキノンジアジドスルホン酸エステル、1,2−ナフ
トキノンジアジドスルホン酸エステル、1, 2−ベンゾ
キノンジアジドスルホン酸アミド、1, 2−ナフトキノ
ンジアジドスルホン酸アミド等を挙げることができ、具
体的には、2, 3, 4−トリヒドロキシベンゾフェノン
−1, 2−ナフトキノンアジド−4−スルホン酸エステ
ル、2, 3, 4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,
2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、
2, 4, 6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−
ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,
4, 6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフ
トキノンジアジド−5−スルホン酸エステル等のトリヒ
ドロキシベンゾフェノンの1, 2−ナフトキノンジアジ
ドスルホン酸エステル類;
【0022】2, 2’, 4, 4’−テトラヒドロキシベ
ンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−ス
ルホン酸エステル、2, 2’, 4, 4’−テトラヒドロ
キシベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジアジド−
5−スルホン酸エステル、2,3, 4, 3’−テトラヒ
ドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジアジ
ド−4−スルホン酸エステル、2, 3, 4, 3’−テト
ラヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジ
アジド−5−スルホン酸エステル、2, 3, 4,4’−
テトラヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノ
ンジアジド−4−スルホン酸エステル、2, 3, 4,
4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフ
トキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2, 3,
4, 2’−テトラヒドロキシ−4’−メチルベンゾフェ
ノン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸
エステル、2, 3, 4, 2’−テトラヒドロキシ−4’
−メチルベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジアジ
ド−5−スルホン酸エステル、2, 3, 4, 4’−テト
ラヒドロキシ−3’−メトキシベンゾフェノン−1, 2
−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、
2, 3, 4, 4’−テトラヒドロキシ−3’−メトキシ
ベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジアジド−5−
スルホン酸エステル等のテトラヒドロキシベンゾフェノ
ンの1, 2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル
類;
ンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−ス
ルホン酸エステル、2, 2’, 4, 4’−テトラヒドロ
キシベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジアジド−
5−スルホン酸エステル、2,3, 4, 3’−テトラヒ
ドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジアジ
ド−4−スルホン酸エステル、2, 3, 4, 3’−テト
ラヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジ
アジド−5−スルホン酸エステル、2, 3, 4,4’−
テトラヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノ
ンジアジド−4−スルホン酸エステル、2, 3, 4,
4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフ
トキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2, 3,
4, 2’−テトラヒドロキシ−4’−メチルベンゾフェ
ノン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸
エステル、2, 3, 4, 2’−テトラヒドロキシ−4’
−メチルベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジアジ
ド−5−スルホン酸エステル、2, 3, 4, 4’−テト
ラヒドロキシ−3’−メトキシベンゾフェノン−1, 2
−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、
2, 3, 4, 4’−テトラヒドロキシ−3’−メトキシ
ベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジアジド−5−
スルホン酸エステル等のテトラヒドロキシベンゾフェノ
ンの1, 2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル
類;
【0023】2, 3, 4, 2’, 6’−ペンタヒドロキ
シベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4
−スルホン酸エステル、2, 3, 4, 2’, 6’−ペン
タヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジ
アジド−5−スルホン酸エステル等のペンタヒドロキシ
ベンゾフェノンの1, 2−ナフトキノンジアジドスルホ
ン酸エステル;2, 4, 6, 3’, 4’, 5’−ヘキサ
ヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジア
ジド−4−スルホン酸エステル、2, 4, 6,3’,
4’, 5’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン−1, 2
−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、
3, 4, 5, 3’, 4’, 5’−ヘキサヒドロキシベン
ゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−スル
ホン酸エステル、3, 4, 5, 3’, 4’, 5’−ヘキ
サヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジ
アジド−5−スルホン酸エステル等のヘキサヒドロキシ
ベンゾフェノンの1, 2−ナフトキノンジアジドスルホ
ン酸エステル類;
シベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4
−スルホン酸エステル、2, 3, 4, 2’, 6’−ペン
タヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジ
アジド−5−スルホン酸エステル等のペンタヒドロキシ
ベンゾフェノンの1, 2−ナフトキノンジアジドスルホ
ン酸エステル;2, 4, 6, 3’, 4’, 5’−ヘキサ
ヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジア
ジド−4−スルホン酸エステル、2, 4, 6,3’,
4’, 5’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン−1, 2
−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、
3, 4, 5, 3’, 4’, 5’−ヘキサヒドロキシベン
ゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−スル
ホン酸エステル、3, 4, 5, 3’, 4’, 5’−ヘキ
サヒドロキシベンゾフェノン−1, 2−ナフトキノンジ
アジド−5−スルホン酸エステル等のヘキサヒドロキシ
ベンゾフェノンの1, 2−ナフトキノンジアジドスルホ
ン酸エステル類;
【0024】ビス(2, 4−ジヒドロキシフェニル)メ
タン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸
エステル、ビス(2, 4−ジヒドロキシフェニル)メタ
ン−1, 2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エ
ステル、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,
2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、
ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1, 2−ナフ
トキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、トリ(p
−ヒドロキシフェニル)メタン−1, 2−ナフトキノン
ジアジド−4−スルホン酸エステル、トリ(p−ヒドロ
キシフェニル)メタン−1, 2−ナフトキノンジアジド
−5−スルホン酸エステル、1, 1, 1−トリ(p−ヒ
ドロキシフェニル)エタン−1, 2−ナフトキノンジア
ジド−4−スルホン酸エステル、1, 1, 1−トリ(p
−ヒドロキシフェニル)エタン−1, 2−ナフトキノン
ジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(2, 3, 4
−トリヒドロキシフェニル)メタン−1, 2−ナフトキ
ノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,
3, 4−トリヒドロキシフェニル)メタン−1, 2−ナ
フトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2, 2
−ビス(2, 3, 4−トリヒドロキシフェニル)プロパ
ン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エ
ステル、2, 2−ビス(2, 3, 4−トリヒドロキシフ
ェニル)プロパン−1, 2−ナフトキノンジアジド−5
−スルホン酸エステル、1, 1, 3−トリス(2, 5−
ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプ
ロパン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン
酸エステル、
タン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸
エステル、ビス(2, 4−ジヒドロキシフェニル)メタ
ン−1, 2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エ
ステル、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,
2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、
ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1, 2−ナフ
トキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、トリ(p
−ヒドロキシフェニル)メタン−1, 2−ナフトキノン
ジアジド−4−スルホン酸エステル、トリ(p−ヒドロ
キシフェニル)メタン−1, 2−ナフトキノンジアジド
−5−スルホン酸エステル、1, 1, 1−トリ(p−ヒ
ドロキシフェニル)エタン−1, 2−ナフトキノンジア
ジド−4−スルホン酸エステル、1, 1, 1−トリ(p
−ヒドロキシフェニル)エタン−1, 2−ナフトキノン
ジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(2, 3, 4
−トリヒドロキシフェニル)メタン−1, 2−ナフトキ
ノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,
3, 4−トリヒドロキシフェニル)メタン−1, 2−ナ
フトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2, 2
−ビス(2, 3, 4−トリヒドロキシフェニル)プロパ
ン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エ
ステル、2, 2−ビス(2, 3, 4−トリヒドロキシフ
ェニル)プロパン−1, 2−ナフトキノンジアジド−5
−スルホン酸エステル、1, 1, 3−トリス(2, 5−
ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプ
ロパン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン
酸エステル、
【0025】1, 1, 3−トリス(2, 5−ジメチル−
4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−
1, 2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステ
ル、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフ
ェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]
ビスフェノール−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−
スルホン酸エステル、4, 4’−[1−[4−[1−
[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェ
ニル]エチリデン]ビスフェノール−1, 2−ナフトキ
ノンジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(2, 5
−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキ
シフェニルメタン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4
−スルホン酸エステル、ビス(2, 5−ジメチル−4−
ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン
−1, 2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エス
テル、3, 3, 3’, 3’−テトラメチル−1, 1’−
スピロビインデン−5, 6, 7, 5’, 6’, 7’−ヘ
キサノール−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−スル
ホン酸エステル、3, 3, 3’, 3’−テトラメチル−
1, 1’−スピロビインデン−5, 6, 7, 5’,
6’, 7’−ヘキサノール−1, 2−ナフトキノンジア
ジド−5−スルホン酸エステル、2, 2, 4−トリメチ
ル−7, 2’, 4’−トリヒドロキシフラバン−1, 2
−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、
2, 2, 4−トリメチル−7, 2’, 4’−トリヒドロ
キシフラバン−1, 2−ナフトキノンジアジド−5−ス
ルホン酸エステル等の(ポリヒドロキシフェニル)アル
カンの1, 2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステ
ル類等を挙げることができる。
4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−
1, 2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステ
ル、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフ
ェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]
ビスフェノール−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−
スルホン酸エステル、4, 4’−[1−[4−[1−
[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェ
ニル]エチリデン]ビスフェノール−1, 2−ナフトキ
ノンジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(2, 5
−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキ
シフェニルメタン−1, 2−ナフトキノンジアジド−4
−スルホン酸エステル、ビス(2, 5−ジメチル−4−
ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン
−1, 2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エス
テル、3, 3, 3’, 3’−テトラメチル−1, 1’−
スピロビインデン−5, 6, 7, 5’, 6’, 7’−ヘ
キサノール−1, 2−ナフトキノンジアジド−4−スル
ホン酸エステル、3, 3, 3’, 3’−テトラメチル−
1, 1’−スピロビインデン−5, 6, 7, 5’,
6’, 7’−ヘキサノール−1, 2−ナフトキノンジア
ジド−5−スルホン酸エステル、2, 2, 4−トリメチ
ル−7, 2’, 4’−トリヒドロキシフラバン−1, 2
−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、
2, 2, 4−トリメチル−7, 2’, 4’−トリヒドロ
キシフラバン−1, 2−ナフトキノンジアジド−5−ス
ルホン酸エステル等の(ポリヒドロキシフェニル)アル
カンの1, 2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステ
ル類等を挙げることができる。
【0026】好ましい(b1)1,2−キノンジアジド
化合物は、1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エ
ステルであり、特に、1,2−ナフトキノンジアジド−
5−スルホン酸エステル好ましい。前記1,2−ナフト
キノンジアジド−5−スルホン酸エステルの具体例とし
ては、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−
1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステ
ル、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノ
ン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エ
ステル、1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−
ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2
−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、
4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニ
ル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビス
フェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スル
ホン酸エステル、2,6−ビス{ビス(4−ヒドロキシ
−3−メチルフェニル)メタン}−4−メチルフェノー
ル−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エ
ステル等を挙げることができる。(イ)突起用感放射線
性組成物において、(b1)1, 2−キノンジアジド化
合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用すること
ができる。
化合物は、1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エ
ステルであり、特に、1,2−ナフトキノンジアジド−
5−スルホン酸エステル好ましい。前記1,2−ナフト
キノンジアジド−5−スルホン酸エステルの具体例とし
ては、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−
1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステ
ル、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノ
ン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エ
ステル、1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−
ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2
−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、
4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニ
ル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビス
フェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スル
ホン酸エステル、2,6−ビス{ビス(4−ヒドロキシ
−3−メチルフェニル)メタン}−4−メチルフェノー
ル−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エ
ステル等を挙げることができる。(イ)突起用感放射線
性組成物において、(b1)1, 2−キノンジアジド化
合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用すること
ができる。
【0027】(イ)突起用感放射線性組成物における
(b1)1, 2−キノンジアジド化合物の使用量は、
(a1)共重合体100重量部に対して、好ましくは5
〜100重量部、特に好ましくは10〜50重量部であ
る。この場合、(b1)1, 2−キノンジアジド化合物
の使用量が5重量部未満では、露光によって生成する酸
の量が少なくなり、露光部と未露光部とのアルカリ現像
液に対する溶解度の差が小さく、パターン形成が困難と
なったり、エポキシ基の反応に関与する酸の量が少なく
なり、十分な耐熱性および耐溶剤性が得られ難くなる傾
向があり、一方100重量部を超えると、露光時間が短
いとき、未反応の1, 2−キノンジアジド化合物の残存
量が多くなり、露光部のアルカリ現像液に対する溶解性
が低下して現像が困難となるおそれがある。
(b1)1, 2−キノンジアジド化合物の使用量は、
(a1)共重合体100重量部に対して、好ましくは5
〜100重量部、特に好ましくは10〜50重量部であ
る。この場合、(b1)1, 2−キノンジアジド化合物
の使用量が5重量部未満では、露光によって生成する酸
の量が少なくなり、露光部と未露光部とのアルカリ現像
液に対する溶解度の差が小さく、パターン形成が困難と
なったり、エポキシ基の反応に関与する酸の量が少なく
なり、十分な耐熱性および耐溶剤性が得られ難くなる傾
向があり、一方100重量部を超えると、露光時間が短
いとき、未反応の1, 2−キノンジアジド化合物の残存
量が多くなり、露光部のアルカリ現像液に対する溶解性
が低下して現像が困難となるおそれがある。
【0028】−添加剤−
(イ)突起用感放射線性組成物には、さらに、感熱性酸
生成化合物、重合性不飽和モノマー(以下、「(c1)
重合性不飽和モノマー」という。)、エポキシ樹脂、後
述する特定メラミン誘導体、接着助剤、界面活性剤等の
種々の添加剤を配合することができる。前記感熱性酸生
成化合物は、加熱により酸を発生する化合物からなり、
突起部の耐熱性や硬度をさらに向上させる作用を有する
成分であり、その例としては、フッ化アンチモン類挙げ
ることができ、市販品としては、サンエイドSI−L8
0、同−L110、同−L150(以上、三新化学工業
(株)製)等を挙げることができる。これらの感熱性酸
生成化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用す
ることができる。
生成化合物、重合性不飽和モノマー(以下、「(c1)
重合性不飽和モノマー」という。)、エポキシ樹脂、後
述する特定メラミン誘導体、接着助剤、界面活性剤等の
種々の添加剤を配合することができる。前記感熱性酸生
成化合物は、加熱により酸を発生する化合物からなり、
突起部の耐熱性や硬度をさらに向上させる作用を有する
成分であり、その例としては、フッ化アンチモン類挙げ
ることができ、市販品としては、サンエイドSI−L8
0、同−L110、同−L150(以上、三新化学工業
(株)製)等を挙げることができる。これらの感熱性酸
生成化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用す
ることができる。
【0029】(イ)突起用感放射線性組成物において、
感熱性酸生成化合物の配合量は、(a1)共重合体10
0重量部に対して、通常、20重量部以下、好ましくは
5重量部以下である。この場合、感熱性酸生成化合物の
配合量が20重量部を超えると、析出物が発生し易くな
り、パターン形成が困難となるおそれがある。
感熱性酸生成化合物の配合量は、(a1)共重合体10
0重量部に対して、通常、20重量部以下、好ましくは
5重量部以下である。この場合、感熱性酸生成化合物の
配合量が20重量部を超えると、析出物が発生し易くな
り、パターン形成が困難となるおそれがある。
【0030】また、(c1)重合性不飽和モノマーとし
ては、例えば、単官能(メタ)アクリル酸エステル類、
2官能能(メタ)アクリル酸エステル類、3官能以上の
(メタ)アクリル酸エステル類等が好ましい。前記単官
能(メタ)アクリル酸エステル類としては、例えば、
(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)ア
クリル酸カルビトール、(メタ)アクリル酸イソボロニ
ル、(メタ)アクリル酸3−メトキシブチル、2−(メ
タ)アクリロイルオキシエチル−2−ヒドロキシプロピ
ルフタレートや、市販品として、アロニックスM−10
1、同−111、同−114(以上、東亜合成化学工業
(株) 製)、KAYARADTC−110S、同−12
0S(以上、日本化薬(株) 製)、ビスコート158、
同2311(以上、大阪有機化学工業(株) 製)等を挙
げることができる。
ては、例えば、単官能(メタ)アクリル酸エステル類、
2官能能(メタ)アクリル酸エステル類、3官能以上の
(メタ)アクリル酸エステル類等が好ましい。前記単官
能(メタ)アクリル酸エステル類としては、例えば、
(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)ア
クリル酸カルビトール、(メタ)アクリル酸イソボロニ
ル、(メタ)アクリル酸3−メトキシブチル、2−(メ
タ)アクリロイルオキシエチル−2−ヒドロキシプロピ
ルフタレートや、市販品として、アロニックスM−10
1、同−111、同−114(以上、東亜合成化学工業
(株) 製)、KAYARADTC−110S、同−12
0S(以上、日本化薬(株) 製)、ビスコート158、
同2311(以上、大阪有機化学工業(株) 製)等を挙
げることができる。
【0031】また、前記2官能(メタ)アクリル酸エス
テル類としては、例えば、エチレングリコール(メタ)
アクリレート、1, 6−ヘキサンジオールジ(メタ)ア
クリレート、1, 9−ノナンジオールジ(メタ)アクリ
レート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレ
ート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレー
ト、ビスフェノキシエタノールフルオレンジアクリレー
ト、ビスフェノキシエタノールフルオレンジアクリレー
トや、市販品として、アロニックスM−210、同−2
40、同−6200(以上、東亜合成化学工業(株)
製)、KAYARAD HDDA、KAYARAD H
X−220、KAYARAD R−604(以上、日本
化薬(株) 製)、ビスコート260、同312、同33
5HP(以上、大阪有機化学工業(株) 製)等を挙げる
ことができる。
テル類としては、例えば、エチレングリコール(メタ)
アクリレート、1, 6−ヘキサンジオールジ(メタ)ア
クリレート、1, 9−ノナンジオールジ(メタ)アクリ
レート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレ
ート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレー
ト、ビスフェノキシエタノールフルオレンジアクリレー
ト、ビスフェノキシエタノールフルオレンジアクリレー
トや、市販品として、アロニックスM−210、同−2
40、同−6200(以上、東亜合成化学工業(株)
製)、KAYARAD HDDA、KAYARAD H
X−220、KAYARAD R−604(以上、日本
化薬(株) 製)、ビスコート260、同312、同33
5HP(以上、大阪有機化学工業(株) 製)等を挙げる
ことができる。
【0032】また、前記3官能以上の(メタ)アクリル
酸エステル類としては、例えば、トリメチロールプロパ
ントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールト
リ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
(メタ)アクリレート、トリ〔(メタ)アクリロイロキ
シエチル〕フォスフェートや、市販品として、アロニッ
クスM−309、同−400、同−405、同−45
0、同−7100、同−8030、同−8060(以
上、東亜合成化学工業(株) 製)、KAYARAD T
MPTA、KAYARAD DPHA、KAYARAD
DPCA−20、同−30、同−60、同−120
(以上、日本化薬(株) 製)、ビスコート295、同3
00、同360、同400、同GPT、同3PA(以
上、大阪有機化学工業(株) 製)等を挙げることができ
る。これらの(c1)重合性不飽和モノマーは、単独で
または2種以上を混合して使用することができる。
酸エステル類としては、例えば、トリメチロールプロパ
ントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールト
リ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
(メタ)アクリレート、トリ〔(メタ)アクリロイロキ
シエチル〕フォスフェートや、市販品として、アロニッ
クスM−309、同−400、同−405、同−45
0、同−7100、同−8030、同−8060(以
上、東亜合成化学工業(株) 製)、KAYARAD T
MPTA、KAYARAD DPHA、KAYARAD
DPCA−20、同−30、同−60、同−120
(以上、日本化薬(株) 製)、ビスコート295、同3
00、同360、同400、同GPT、同3PA(以
上、大阪有機化学工業(株) 製)等を挙げることができ
る。これらの(c1)重合性不飽和モノマーは、単独で
または2種以上を混合して使用することができる。
【0033】(イ)突起用感放射線性組成物において、
(c1)重合性不飽和モノマーの配合量は、(a1)共
重合体100重量部に対して、好ましくは1〜50重量
部、特に好ましくは3〜30重量部である。(c1)重
合性不飽和モノマーをこの範囲の量で配合することによ
り、得られる突起部の耐熱性、強度等をさらに向上させ
ることができる。
(c1)重合性不飽和モノマーの配合量は、(a1)共
重合体100重量部に対して、好ましくは1〜50重量
部、特に好ましくは3〜30重量部である。(c1)重
合性不飽和モノマーをこの範囲の量で配合することによ
り、得られる突起部の耐熱性、強度等をさらに向上させ
ることができる。
【0034】特定メラミン誘導体は、下記一般式(1)
または一般式(2)で表される化合物からなる。。
または一般式(2)で表される化合物からなる。。
【0035】
【化1】
(式中、R1 〜R6 は相互に独立に水素原子または基−
CH2 ORを示し、Rは水素原子または炭素数1〜6の
直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示す。)
CH2 ORを示し、Rは水素原子または炭素数1〜6の
直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示す。)
【0036】
【化2】
(式中、R7 〜R10は相互に独立に水素原子または基−
CH2 ORを示し、Rは水素原子または炭素数1〜6の
直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示す。)
CH2 ORを示し、Rは水素原子または炭素数1〜6の
直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示す。)
【0037】特定メラミン誘導体としては、例えば、ヘ
キサメトキシメチロールメラミン、ヘキサ−n−ブトキ
シメチロールメラミン、メトキシメチロール基とn−ブ
トキシメチロール基との双方を両者の合計で6つ有する
ヘキサアルコキシメチロールメラミン等のヘキサアルコ
キシメチロールメラミン類;前記ヘキサアルコキシメチ
ロールメラミン類に属する化合物中のアルコキシメチロ
ール基の一部をメチロール基に変換した化合物;前記ヘ
キサアルコキシメチロールメラミン類に属する化合物中
のアルコキシメチロール基の一部を水素原子に変換した
化合物;テトラメトキシメチロールベンゾグアナミン、
テトラメトキシメチロールベンゾグアナミン等のメトキ
シメチロール基の一部をメチロール基に変換した化合
物;テトラメトキシメチロールベンゾグアナミンのメト
キシメチロール基の一部を水素原子に変換した化合物等
を挙げることができる。
キサメトキシメチロールメラミン、ヘキサ−n−ブトキ
シメチロールメラミン、メトキシメチロール基とn−ブ
トキシメチロール基との双方を両者の合計で6つ有する
ヘキサアルコキシメチロールメラミン等のヘキサアルコ
キシメチロールメラミン類;前記ヘキサアルコキシメチ
ロールメラミン類に属する化合物中のアルコキシメチロ
ール基の一部をメチロール基に変換した化合物;前記ヘ
キサアルコキシメチロールメラミン類に属する化合物中
のアルコキシメチロール基の一部を水素原子に変換した
化合物;テトラメトキシメチロールベンゾグアナミン、
テトラメトキシメチロールベンゾグアナミン等のメトキ
シメチロール基の一部をメチロール基に変換した化合
物;テトラメトキシメチロールベンゾグアナミンのメト
キシメチロール基の一部を水素原子に変換した化合物等
を挙げることができる。
【0038】また、特定メラミン誘導体の市販品として
は、例えば、サイメル202、同238、同266、同
267、同272、同300、同301、同303、同
325、同327、同370、同701、同1123、
同1141、同1156、同1158、同1170、同
1174、UFR65、同300(以上、三井サイアナ
ミッド(株)製)、ニカラックMx−31、同−32、
同−40、同−706、同−708、同−750、ニカ
ラックMs−11、ニカラックMw−30(以上、
(株)三和ケミカル製)等を挙げることができる。これ
らの特定メラミン誘導体は、単独でまたは2種以上を混
合して使用することができる。
は、例えば、サイメル202、同238、同266、同
267、同272、同300、同301、同303、同
325、同327、同370、同701、同1123、
同1141、同1156、同1158、同1170、同
1174、UFR65、同300(以上、三井サイアナ
ミッド(株)製)、ニカラックMx−31、同−32、
同−40、同−706、同−708、同−750、ニカ
ラックMs−11、ニカラックMw−30(以上、
(株)三和ケミカル製)等を挙げることができる。これ
らの特定メラミン誘導体は、単独でまたは2種以上を混
合して使用することができる。
【0039】(イ)突起用感放射線性組成物において、
特定メラミン誘導体の配合量は、(a1)共重合体10
0重量部に対して、好ましくは1〜100重量部、特に
好ましくは5〜50重量部である。特定メラミン誘導体
をこの範囲の量で配合することにより、良好な形状の突
起部を形成でき、アルカリ現像液に対する適当な溶解性
を示す(イ)突起用感放射線性組成物を得ることができ
る。
特定メラミン誘導体の配合量は、(a1)共重合体10
0重量部に対して、好ましくは1〜100重量部、特に
好ましくは5〜50重量部である。特定メラミン誘導体
をこの範囲の量で配合することにより、良好な形状の突
起部を形成でき、アルカリ現像液に対する適当な溶解性
を示す(イ)突起用感放射線性組成物を得ることができ
る。
【0040】また、前記エポキシ樹脂としては、(イ)
突起用感放射線性組成物中の他の構成成分と相溶しうる
限り特に限定されるものではないが、好ましくは、ビス
フェノールA型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型
エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、
環状脂肪族エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキ
シ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、複素環式エ
ポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレートを(共)重合
した樹脂等を挙げることができる。これらのエポキシ樹
脂のうち、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、クレゾー
ルノボラック型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エ
ポキシ樹脂等が好ましい。前記エポキシ樹脂は、単独で
または2種以上を混合して使用することができる。
突起用感放射線性組成物中の他の構成成分と相溶しうる
限り特に限定されるものではないが、好ましくは、ビス
フェノールA型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型
エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、
環状脂肪族エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキ
シ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、複素環式エ
ポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレートを(共)重合
した樹脂等を挙げることができる。これらのエポキシ樹
脂のうち、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、クレゾー
ルノボラック型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エ
ポキシ樹脂等が好ましい。前記エポキシ樹脂は、単独で
または2種以上を混合して使用することができる。
【0041】(イ)突起用感放射線性組成物において、
エポキシ樹脂の使用量は、(a1)共重合体100重量
部に対して、好ましくは0.1〜30重量部、特に好ま
しくは0.1〜25重量部である。エポキシ樹脂をこの
範囲の量で配合することにより、当該(イ)突起用感放
射線性組成物から得られる突起部の耐熱性、強度等をさ
らに向上させることができる。
エポキシ樹脂の使用量は、(a1)共重合体100重量
部に対して、好ましくは0.1〜30重量部、特に好ま
しくは0.1〜25重量部である。エポキシ樹脂をこの
範囲の量で配合することにより、当該(イ)突起用感放
射線性組成物から得られる突起部の耐熱性、強度等をさ
らに向上させることができる。
【0042】また、前記接着助剤としては、例えば、カ
ルボキシル基、メタクリロイル基、イソシアネート基、
エポキシ基等の反応性官能基を有するシランカップリン
グ剤を挙げることができ、その具体例としては、トリメ
トキシシリル安息香酸、γ−メタクリロキシプロピルト
リメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニ
ルトリメトキシシラン、γ−イソシアナートプロピルト
リエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメト
キシシラン、β−(3, 4−エポキシシクロヘキシル)
エチルトリメトキシシラン等を挙げることができる。こ
れらのシランカップリング剤は、単独でまたは2種以上
を混合して使用することができる。
ルボキシル基、メタクリロイル基、イソシアネート基、
エポキシ基等の反応性官能基を有するシランカップリン
グ剤を挙げることができ、その具体例としては、トリメ
トキシシリル安息香酸、γ−メタクリロキシプロピルト
リメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニ
ルトリメトキシシラン、γ−イソシアナートプロピルト
リエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメト
キシシラン、β−(3, 4−エポキシシクロヘキシル)
エチルトリメトキシシラン等を挙げることができる。こ
れらのシランカップリング剤は、単独でまたは2種以上
を混合して使用することができる。
【0043】(イ)突起用感放射線性組成物において、
接着助剤の配合量は、(a1)共重合体100重量部に
対して、好ましくは20重量部以下、特に好ましくは1
0重量部以下である。この場合、接着助剤の配合量が2
0重量部を超えると、現像残りが生じやすくなる傾向が
ある。
接着助剤の配合量は、(a1)共重合体100重量部に
対して、好ましくは20重量部以下、特に好ましくは1
0重量部以下である。この場合、接着助剤の配合量が2
0重量部を超えると、現像残りが生じやすくなる傾向が
ある。
【0044】さらに、前記界面活性剤は、(イ)突起用
感放射線性組成物の塗布性をさらに向上させる作用を有
する成分であり、その例としては、フッ素系界面活性剤
およびシリコーン系界面活性剤を挙げることができる。
前記フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖および側
鎖の少なくとも何れかの部位にフルオロアルキル基ある
いはフルオロアルキレン基を有する化合物が好ましく、
その例としては、1,1,2,2−テトラフロロオクチ
ル(1,1,2,2−テトラフロロプロピル)エーテ
ル、1,1,2,2−テトラフロロオクチルヘキシルエ
ーテル、オクタエチレングリコールジ(1,1,2,2
−テトラフロロブチル)エーテル、ヘキサエチレングリ
コール(1,1,2,2,3,3−ヘキサフロロペンチ
ル)エーテル、オクタプロピレングリコールジ(1,
1,2,2−テトラフロロブチル)エーテル、ヘキサプ
ロピレングリコールジ(1,1,2,2,3,3−ヘキ
サフロロペンチル)エーテル、パーフロロドデシルスル
ホン酸ナトリウム、1,1,2,2,8,8,9,9,
10,10−デカフロロドデカン、1,1,2,2,
3,3−ヘキサフロロデカン、フルオロアルキルベンゼ
ンスルホン酸ナトリウム、フルオロアルキルホスホン酸
ナトリウム、フルオロアルキルカルボン酸ナトリウム、
フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、ジグリ
セリンテトラキス(フルオロアルキルポリオキシエチレ
ンエーテル)、フルオロアルキルアンモニウムヨージ
ド、フルオロアルキルベタイン、フルオロアルキルポリ
オキシエチレンエーテル、パーフルオロアルキルポリオ
キシエタノール、パーフルオロアルキルアルコキシレー
ト、フッ素系アルキルエステル等を挙げることができ
る。
感放射線性組成物の塗布性をさらに向上させる作用を有
する成分であり、その例としては、フッ素系界面活性剤
およびシリコーン系界面活性剤を挙げることができる。
前記フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖および側
鎖の少なくとも何れかの部位にフルオロアルキル基ある
いはフルオロアルキレン基を有する化合物が好ましく、
その例としては、1,1,2,2−テトラフロロオクチ
ル(1,1,2,2−テトラフロロプロピル)エーテ
ル、1,1,2,2−テトラフロロオクチルヘキシルエ
ーテル、オクタエチレングリコールジ(1,1,2,2
−テトラフロロブチル)エーテル、ヘキサエチレングリ
コール(1,1,2,2,3,3−ヘキサフロロペンチ
ル)エーテル、オクタプロピレングリコールジ(1,
1,2,2−テトラフロロブチル)エーテル、ヘキサプ
ロピレングリコールジ(1,1,2,2,3,3−ヘキ
サフロロペンチル)エーテル、パーフロロドデシルスル
ホン酸ナトリウム、1,1,2,2,8,8,9,9,
10,10−デカフロロドデカン、1,1,2,2,
3,3−ヘキサフロロデカン、フルオロアルキルベンゼ
ンスルホン酸ナトリウム、フルオロアルキルホスホン酸
ナトリウム、フルオロアルキルカルボン酸ナトリウム、
フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、ジグリ
セリンテトラキス(フルオロアルキルポリオキシエチレ
ンエーテル)、フルオロアルキルアンモニウムヨージ
ド、フルオロアルキルベタイン、フルオロアルキルポリ
オキシエチレンエーテル、パーフルオロアルキルポリオ
キシエタノール、パーフルオロアルキルアルコキシレー
ト、フッ素系アルキルエステル等を挙げることができ
る。
【0045】また、フッ素系界面活性剤の市販品として
は、例えば、BM−1000、同−1100(以上、B
M CHEMIE社製)、メガファックF142D、同
F172、同F173、同F178、同F183、同F
191、同F471、同F476(以上、大日本インキ
化学工業(株)製)、フロラードFC−170C、同−
171、同−430、同−431(以上、住友スリーエ
ム(株)製)、サーフロンS−112、同−113、同
−131、同−141、同−145、同−382、サー
フロンSC−101、同−102、同−103、同−1
04、同−105、同−106(以上、旭硝子(株)
製)、エフトップEF301、同303、同352(以
上、新秋田化成(株)製)、フタージェントFT−10
0、同−110、同−140A、同−150、同−25
0、同−251、同−300、同−310、同−400
S、フタージェントFTX−218、同−251(以
上、(株)ネオス製)等を挙げることができる。
は、例えば、BM−1000、同−1100(以上、B
M CHEMIE社製)、メガファックF142D、同
F172、同F173、同F178、同F183、同F
191、同F471、同F476(以上、大日本インキ
化学工業(株)製)、フロラードFC−170C、同−
171、同−430、同−431(以上、住友スリーエ
ム(株)製)、サーフロンS−112、同−113、同
−131、同−141、同−145、同−382、サー
フロンSC−101、同−102、同−103、同−1
04、同−105、同−106(以上、旭硝子(株)
製)、エフトップEF301、同303、同352(以
上、新秋田化成(株)製)、フタージェントFT−10
0、同−110、同−140A、同−150、同−25
0、同−251、同−300、同−310、同−400
S、フタージェントFTX−218、同−251(以
上、(株)ネオス製)等を挙げることができる。
【0046】前記シリコーン系界面活性剤としては、市
販品として、例えば、トーレシリコーンDC3PA、同
DC7PA、同SH11PA、同SH21PA、同SH
28PA、同SH29PA、同SH30PA、同SH−
190、同SH−193、同SZ−6032、同SF−
8428、同DC−57、同DC−190(以上、東レ
・ダウコーニング・シリコーン(株)製)、TSF−4
300、同−4440、同−4445、同−4446、
同−4452、同−4460(以上、GE東芝シリコー
ン(株)製)等を挙げることができる。
販品として、例えば、トーレシリコーンDC3PA、同
DC7PA、同SH11PA、同SH21PA、同SH
28PA、同SH29PA、同SH30PA、同SH−
190、同SH−193、同SZ−6032、同SF−
8428、同DC−57、同DC−190(以上、東レ
・ダウコーニング・シリコーン(株)製)、TSF−4
300、同−4440、同−4445、同−4446、
同−4452、同−4460(以上、GE東芝シリコー
ン(株)製)等を挙げることができる。
【0047】さらに、フッ素系界面活性剤およびシリコ
ーン系界面活性剤以外にも、ポリオキシエチレンラウリ
ルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、
ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエ
チレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチ
ルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニ
ルエーテル等のポリオキシエチレンアリールエーテル
類;ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチ
レンジステアレートなどのポリオキシエチレンジアルキ
ルエステル類等のノニオン系界面活性剤や、市販品とし
て、KP341(信越化学工業(株)製)、ポリフロー
No.57、同95(以上、共栄社化学(株)製)等を
使用することができる。これらの界面活性剤は、単独で
または2種以上を混合して使用することができる。
ーン系界面活性剤以外にも、ポリオキシエチレンラウリ
ルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、
ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエ
チレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチ
ルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニ
ルエーテル等のポリオキシエチレンアリールエーテル
類;ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチ
レンジステアレートなどのポリオキシエチレンジアルキ
ルエステル類等のノニオン系界面活性剤や、市販品とし
て、KP341(信越化学工業(株)製)、ポリフロー
No.57、同95(以上、共栄社化学(株)製)等を
使用することができる。これらの界面活性剤は、単独で
または2種以上を混合して使用することができる。
【0048】(イ)突起用感放射線性組成物において、
界面活性剤の配合量は、(a1)共重合体100重量部
に対して、通常、5重量部以下、好ましくは2重量部以
下である。この場合、界面活性剤の配合量が5重量部を
超えると、塗布時の膜あれが生じやすくなる傾向があ
る。
界面活性剤の配合量は、(a1)共重合体100重量部
に対して、通常、5重量部以下、好ましくは2重量部以
下である。この場合、界面活性剤の配合量が5重量部を
超えると、塗布時の膜あれが生じやすくなる傾向があ
る。
【0049】〈(ロ)突起用感放射線性組成物〉
−(a2)共重合体−
(ロ)突起用感放射線性組成物における(a2)共重合
体において、不飽和カルボン酸、不飽和多価カルボン酸
無水物、エポキシ基含有不飽和モノマーおよび前記以外
の不飽和モノマー(以下、「他の不飽和モノマー」とい
う。)としては、例えば、前記(イ)突起用感放射線性
組成物における(a1)共重合体について例示したそれ
ぞれ不飽和カルボン酸、不飽和多価カルボン酸無水物、
エポキシ基含有不飽和モノマーおよび他の不飽和モノマ
ーと同様のものを挙げることができる。
体において、不飽和カルボン酸、不飽和多価カルボン酸
無水物、エポキシ基含有不飽和モノマーおよび前記以外
の不飽和モノマー(以下、「他の不飽和モノマー」とい
う。)としては、例えば、前記(イ)突起用感放射線性
組成物における(a1)共重合体について例示したそれ
ぞれ不飽和カルボン酸、不飽和多価カルボン酸無水物、
エポキシ基含有不飽和モノマーおよび他の不飽和モノマ
ーと同様のものを挙げることができる。
【0050】(a2)共重合体における不飽和カルボン
酸および不飽和多価カルボン酸無水物としては、メタク
リル酸、無水マレイン酸等が、共重合反応性、アルカリ
現像液に対する溶解性および入手が容易である点から好
ましい。
酸および不飽和多価カルボン酸無水物としては、メタク
リル酸、無水マレイン酸等が、共重合反応性、アルカリ
現像液に対する溶解性および入手が容易である点から好
ましい。
【0051】(a2)共重合体において、不飽和カルボ
ン酸および/または不飽和多価カルボン酸無水物からな
る構成単位の含有率は、好ましくは5〜50重量%、特
に好ましくは10〜40重量%である。この場合、該構
成単位の含有率が5重量%未満では、得られる突起部の
耐熱性、耐薬品性、表面硬度等が低下する傾向があり、
一方50重量%を超えると、得られる共重合体の保存安
定性が低下する傾向がある。
ン酸および/または不飽和多価カルボン酸無水物からな
る構成単位の含有率は、好ましくは5〜50重量%、特
に好ましくは10〜40重量%である。この場合、該構
成単位の含有率が5重量%未満では、得られる突起部の
耐熱性、耐薬品性、表面硬度等が低下する傾向があり、
一方50重量%を超えると、得られる共重合体の保存安
定性が低下する傾向がある。
【0052】また、(a2)共重合体におけるエポキシ
基含有不飽和モノマーとしては、メタクリル酸グリシジ
ル、メタクリル酸6, 7−エポキシヘプチル、メタクリ
ル酸β―メチルグリシジル、o−ビニルベンジルグリシ
ジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテ
ル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等が、共重
合反応性、得られる突起部の強度等の観点から好まし
い。
基含有不飽和モノマーとしては、メタクリル酸グリシジ
ル、メタクリル酸6, 7−エポキシヘプチル、メタクリ
ル酸β―メチルグリシジル、o−ビニルベンジルグリシ
ジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテ
ル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等が、共重
合反応性、得られる突起部の強度等の観点から好まし
い。
【0053】(a2)共重合体において、エポキシ基含
有不飽和モノマーからなる構成単位の含有率は、好まし
くは10〜70重量%、特に好ましくは20〜60重量
%である。この場合、該構成単位の含有率が10重量%
未満では、得られる突起部の耐熱性、耐薬品性等が低下
する傾向があり、一方70重量%を超えると、得られる
共重合体の保存安定性が低下する傾向がある。
有不飽和モノマーからなる構成単位の含有率は、好まし
くは10〜70重量%、特に好ましくは20〜60重量
%である。この場合、該構成単位の含有率が10重量%
未満では、得られる突起部の耐熱性、耐薬品性等が低下
する傾向があり、一方70重量%を超えると、得られる
共重合体の保存安定性が低下する傾向がある。
【0054】また、(a2)共重合体における他の不飽
和モノマーとしては、共重合反応性の観点から、メタク
リル酸n−ブチル、メタクリル酸t−ブチル、メタクリ
ル酸ジシクロペンタニル、メタクリル酸ベンジル、メタ
クリル酸2−ヒドロキシエチル、アクリル酸2−メチル
シクロヘキシル、スチレン、p−メトキシスチレン、
1,3−ブタジエン、N−フェニルマレイミド、N−シ
クロヘキシルマレイミド等が好ましく、特に、メタクリ
ル酸ジシクロペンタニル、メタクリル酸ベンジル、メタ
クリル酸2−ヒドロキシエチル、スチレン、1,3−ブ
タジエン、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシ
ルマレイミド等が好ましい。
和モノマーとしては、共重合反応性の観点から、メタク
リル酸n−ブチル、メタクリル酸t−ブチル、メタクリ
ル酸ジシクロペンタニル、メタクリル酸ベンジル、メタ
クリル酸2−ヒドロキシエチル、アクリル酸2−メチル
シクロヘキシル、スチレン、p−メトキシスチレン、
1,3−ブタジエン、N−フェニルマレイミド、N−シ
クロヘキシルマレイミド等が好ましく、特に、メタクリ
ル酸ジシクロペンタニル、メタクリル酸ベンジル、メタ
クリル酸2−ヒドロキシエチル、スチレン、1,3−ブ
タジエン、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシ
ルマレイミド等が好ましい。
【0055】(a2)共重合体において、他の不飽和モ
ノマーからなる構成単位の含有率は、好ましくは10〜
80重量%、特に好ましくは30〜70重量%である。
この場合、該構成単位の含有率が10重量%では、得ら
れる共重合体の保存安定性が低下する傾向があり、一方
80重量%を超えると、得られる共重合体のアルカリ現
像液に対する溶解性が低下する傾向がある。
ノマーからなる構成単位の含有率は、好ましくは10〜
80重量%、特に好ましくは30〜70重量%である。
この場合、該構成単位の含有率が10重量%では、得ら
れる共重合体の保存安定性が低下する傾向があり、一方
80重量%を超えると、得られる共重合体のアルカリ現
像液に対する溶解性が低下する傾向がある。
【0056】好ましい共重合体(a2)の具体例として
は、スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル
共重合体、1,3−ブタジエン/スチレン/メタクリル
酸/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/メタ
クリル酸/メタクリル酸グリシジル/メタクリル酸ジシ
クロペンタニル共重合体、1,3−ブタジエン/スチレ
ン/メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル/メタクリ
ル酸ジシクロペンタニル共重合体、スチレン/メタクリ
ル酸/メタクリル酸グリシジル/p−ビニルベンジルグ
リシジルエーテル/メタクリル酸ジシクロペンタニル共
重合体、スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸グリシ
ジル/シクロヘキシルマレイミド共重合体、スチレン/
メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル/フェニルマレ
イミド共重合体、スチレン/メタクリル酸/メタクリル
酸グリシジル/メタクリル酸ジシクロペンタニル/シク
ロヘキシルマレイミド共重合体、スチレン/メタクリル
酸/メタクリル酸グリシジル/メタクリル酸ジシクロペ
ンタニル/フェニルマレイミド共重合体を挙げることが
でき、さらに好ましくは、スチレン/メタクリル酸/メ
タクリル酸グリシジル/メタクリル酸ジシクロペンタニ
ル共重合体、スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸グ
リシジル/シクロヘキシルマレイミド共重合体、1,3
−ブタジエン/スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸
グリシジル/メタクリル酸ジシクロペンタニル共重合
体、スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル
/p−ビニルベンジルグリシジルエーテル/メタクリル
酸ジシクロペンタニル共重合体、スチレン/メタクリル
酸/メタクリル酸グリシジル/メタクリル酸ジシクロペ
ンタニル/フェニルマレイミド共重合体等である。
は、スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル
共重合体、1,3−ブタジエン/スチレン/メタクリル
酸/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/メタ
クリル酸/メタクリル酸グリシジル/メタクリル酸ジシ
クロペンタニル共重合体、1,3−ブタジエン/スチレ
ン/メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル/メタクリ
ル酸ジシクロペンタニル共重合体、スチレン/メタクリ
ル酸/メタクリル酸グリシジル/p−ビニルベンジルグ
リシジルエーテル/メタクリル酸ジシクロペンタニル共
重合体、スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸グリシ
ジル/シクロヘキシルマレイミド共重合体、スチレン/
メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル/フェニルマレ
イミド共重合体、スチレン/メタクリル酸/メタクリル
酸グリシジル/メタクリル酸ジシクロペンタニル/シク
ロヘキシルマレイミド共重合体、スチレン/メタクリル
酸/メタクリル酸グリシジル/メタクリル酸ジシクロペ
ンタニル/フェニルマレイミド共重合体を挙げることが
でき、さらに好ましくは、スチレン/メタクリル酸/メ
タクリル酸グリシジル/メタクリル酸ジシクロペンタニ
ル共重合体、スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸グ
リシジル/シクロヘキシルマレイミド共重合体、1,3
−ブタジエン/スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸
グリシジル/メタクリル酸ジシクロペンタニル共重合
体、スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル
/p−ビニルベンジルグリシジルエーテル/メタクリル
酸ジシクロペンタニル共重合体、スチレン/メタクリル
酸/メタクリル酸グリシジル/メタクリル酸ジシクロペ
ンタニル/フェニルマレイミド共重合体等である。
【0057】(a2)共重合体のMwは、通常、2,0
00〜100,000、好ましくは5,000〜50,
000である。この場合、(a2)共重合体のMwが
2,000未満では、得られる突起部の耐熱性、表面硬
度等が低下する傾向があり、一方100,000を超え
ると、アルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向が
ある。(ロ)突起用感放射線性組成物において、(a
2)共重合体は、単独でまたは2種以上を混合して使用
することができる。
00〜100,000、好ましくは5,000〜50,
000である。この場合、(a2)共重合体のMwが
2,000未満では、得られる突起部の耐熱性、表面硬
度等が低下する傾向があり、一方100,000を超え
ると、アルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向が
ある。(ロ)突起用感放射線性組成物において、(a
2)共重合体は、単独でまたは2種以上を混合して使用
することができる。
【0058】−(b2)感放射線性重合開始剤−
突起用感放射線性組成物(ロ)における(b2)感放射
線性重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子
線、X線等の露光により、(c2)重合性不飽和モノマ
ーを重合しうる活性種を発生することができる化合物か
らなる。このような(b2)感放射線性重合開始剤とし
ては、例えば、ベンジル、ジアセチル等のα−ジケトン
類;ベンゾイン等のアシロイン類;ベンゾインメチルエ
ーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプ
ロピルエーテル等のアシロインエーテル類;チオキサン
トン、2,4−ジエチルチオキサントン、チオキサント
ン−4−スルホン酸、ベンゾフェノン、4,4’−ビス
(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス
(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等のベンゾフェノン
類;アセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノ
ン、α,α’−ジメトキシアセトキシベンゾフェノン、
2,2’−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、
p−メトキシアセトフェノン、2−メチル[4−(メチ
ルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノ
ン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モ
ルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン等のアセトフ
ェノン類;アントラキノン、1,4−ナフトキノン等の
キノン類;フェナシルクロライド、トリブロモメチルフ
ェニルスルホン、トリス(トリクロロメチル)−s−ト
リアジン等のハロゲン化合物;2,4,6−トリメチル
ベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス
(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリ
メチル−ペンチルホスフィンオキサイド、ビス(2,
4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオ
キサイド等のアシルホスフィンオキサイド;ジ−t−ブ
チルパーオキサイド等の過酸化物等を挙げることができ
る。
線性重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子
線、X線等の露光により、(c2)重合性不飽和モノマ
ーを重合しうる活性種を発生することができる化合物か
らなる。このような(b2)感放射線性重合開始剤とし
ては、例えば、ベンジル、ジアセチル等のα−ジケトン
類;ベンゾイン等のアシロイン類;ベンゾインメチルエ
ーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプ
ロピルエーテル等のアシロインエーテル類;チオキサン
トン、2,4−ジエチルチオキサントン、チオキサント
ン−4−スルホン酸、ベンゾフェノン、4,4’−ビス
(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス
(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等のベンゾフェノン
類;アセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノ
ン、α,α’−ジメトキシアセトキシベンゾフェノン、
2,2’−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、
p−メトキシアセトフェノン、2−メチル[4−(メチ
ルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノ
ン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モ
ルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン等のアセトフ
ェノン類;アントラキノン、1,4−ナフトキノン等の
キノン類;フェナシルクロライド、トリブロモメチルフ
ェニルスルホン、トリス(トリクロロメチル)−s−ト
リアジン等のハロゲン化合物;2,4,6−トリメチル
ベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス
(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリ
メチル−ペンチルホスフィンオキサイド、ビス(2,
4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオ
キサイド等のアシルホスフィンオキサイド;ジ−t−ブ
チルパーオキサイド等の過酸化物等を挙げることができ
る。
【0059】また、(b2)感放射線性重合開始剤の市
販品としては、例えば、IRGACURE−124、同
−149、同−184、同−369、同−500、同−
651、同−819、同−907、同−1000、同−
1700、同−1800、同−1850、同−295
9、Darocur−1116、同−1173、同−1
664、同−2959、同−4043(以上、チバ・ス
ペシャルティ・ケミカルズ社製)、KAYACURE−
DETX 、同−MBP、同−DMBI、同−EPA、
同−OA(以上、日本化薬(株)製)、LUCIRIN
TPO(BASF Co.LTD製)、VICURE
−10、同−55(以上、STAUFFER Co.L
TD製)、TRIGONALP1(AKZO Co.L
TD製)、SANDORAY 1000(SANDOZ
Co.LTD製)、DEAP(APJOHN Co.
LTD製)、QUANTACURE−PDO、同−IT
X、同−EPD(以上、WARD BLEKINSOP
Co.LTD製)等を挙げることができる。
販品としては、例えば、IRGACURE−124、同
−149、同−184、同−369、同−500、同−
651、同−819、同−907、同−1000、同−
1700、同−1800、同−1850、同−295
9、Darocur−1116、同−1173、同−1
664、同−2959、同−4043(以上、チバ・ス
ペシャルティ・ケミカルズ社製)、KAYACURE−
DETX 、同−MBP、同−DMBI、同−EPA、
同−OA(以上、日本化薬(株)製)、LUCIRIN
TPO(BASF Co.LTD製)、VICURE
−10、同−55(以上、STAUFFER Co.L
TD製)、TRIGONALP1(AKZO Co.L
TD製)、SANDORAY 1000(SANDOZ
Co.LTD製)、DEAP(APJOHN Co.
LTD製)、QUANTACURE−PDO、同−IT
X、同−EPD(以上、WARD BLEKINSOP
Co.LTD製)等を挙げることができる。
【0060】さらに、前記以外の(b2)感放射線性重
合開始剤として、4−アジドベンズアルデヒド、アジド
ピレン、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,
4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、
N−フェニルチオアクリドン、トリフェニルピリリウム
パークロレート等を使用することもできる。
合開始剤として、4−アジドベンズアルデヒド、アジド
ピレン、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,
4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、
N−フェニルチオアクリドン、トリフェニルピリリウム
パークロレート等を使用することもできる。
【0061】好ましい(b2)感放射線性重合開始剤
は、ベンゾフェノン類およびアセトフェノン類であり、
特に、2,4−ジエチルチオキサントン、2−メチル
[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−
1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−
1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン
等が好ましい。(ロ)突起用感放射線性組成物におい
て、(b2)感放射線性重合開始剤は、単独でまたは2
種以上を混合して使用することができる。
は、ベンゾフェノン類およびアセトフェノン類であり、
特に、2,4−ジエチルチオキサントン、2−メチル
[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−
1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−
1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン
等が好ましい。(ロ)突起用感放射線性組成物におい
て、(b2)感放射線性重合開始剤は、単独でまたは2
種以上を混合して使用することができる。
【0062】(ロ)突起用感放射線性組成物において、
(b2)感放射線性重合開始剤の使用量は、(a2)共
重合体100重量部に対して、好ましくは1〜50重量
部、特に好ましくは5〜35重量部である。この場合、
感放射線性重合開始剤の使用量が1重量部未満では、得
られる突起部が現像時に膜減りを起こしたり、強度が低
下したりするおそれがあり、一方50重量部を超える
と、得られる突起部の電圧保持率が不十分となるおそれ
がある。
(b2)感放射線性重合開始剤の使用量は、(a2)共
重合体100重量部に対して、好ましくは1〜50重量
部、特に好ましくは5〜35重量部である。この場合、
感放射線性重合開始剤の使用量が1重量部未満では、得
られる突起部が現像時に膜減りを起こしたり、強度が低
下したりするおそれがあり、一方50重量部を超える
と、得られる突起部の電圧保持率が不十分となるおそれ
がある。
【0063】さらに、突起用感放射線性組成物(ロ)に
おいては、(b2)感放射線性重合開始剤と共に、増感
剤、硬化促進剤、高分子光架橋・増感剤等を1種以上併
用することもできる。前記増感剤としては、例えば、4
−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノ
プロピオフェノン、4−ジメチルアミノ安息香酸エチ
ル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、
2,5−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロヘ
キサノン、7−ジエチルアミノ−3−(4−ジエチルア
ミノベンゾイル)クマリン、4−(ジエチルアミノ)カ
ルコン等を挙げることができる。これらの増感剤は、単
独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
おいては、(b2)感放射線性重合開始剤と共に、増感
剤、硬化促進剤、高分子光架橋・増感剤等を1種以上併
用することもできる。前記増感剤としては、例えば、4
−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノ
プロピオフェノン、4−ジメチルアミノ安息香酸エチ
ル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、
2,5−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロヘ
キサノン、7−ジエチルアミノ−3−(4−ジエチルア
ミノベンゾイル)クマリン、4−(ジエチルアミノ)カ
ルコン等を挙げることができる。これらの増感剤は、単
独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0064】また、前記硬化促進剤としては、例えば、
2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプトベ
ンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、
2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、
2−メルカプト−4,6−ジメチルアミノピリジン等の
連鎖移動剤を挙げることができる。これら硬化促進剤
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。また、前記高分子光架橋・増感剤は、露光により
架橋剤および/または増感剤として作用しうる少なくと
も1種の官能基を主鎖および/または側鎖中に有する高
分子化合物であり、その例としては、4−アジドベンズ
アルデヒドとポリビニルアルコールとの縮合物、4−ア
ジドベンズアルデヒドとフェノールノボラック樹脂との
縮合物、けい皮酸4−アクリロイルフェニルの(共)重
合体、1,4−ポリブタジエン、1,2−ポリブタジエ
ン等を挙げることができる。これらの高分子光架橋・増
感剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用すること
ができる。
2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプトベ
ンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、
2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、
2−メルカプト−4,6−ジメチルアミノピリジン等の
連鎖移動剤を挙げることができる。これら硬化促進剤
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。また、前記高分子光架橋・増感剤は、露光により
架橋剤および/または増感剤として作用しうる少なくと
も1種の官能基を主鎖および/または側鎖中に有する高
分子化合物であり、その例としては、4−アジドベンズ
アルデヒドとポリビニルアルコールとの縮合物、4−ア
ジドベンズアルデヒドとフェノールノボラック樹脂との
縮合物、けい皮酸4−アクリロイルフェニルの(共)重
合体、1,4−ポリブタジエン、1,2−ポリブタジエ
ン等を挙げることができる。これらの高分子光架橋・増
感剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用すること
ができる。
【0065】突起用感放射線性組成物(ロ)において、
増感剤、硬化促進剤および高分子光架橋・増感剤の合計
使用量は、(b2)感放射線性重合開始剤100重量部
に対して、通常、300重量部以下、好ましくは5〜2
00重量部、さらに好ましくは10〜100重量部であ
る。
増感剤、硬化促進剤および高分子光架橋・増感剤の合計
使用量は、(b2)感放射線性重合開始剤100重量部
に対して、通常、300重量部以下、好ましくは5〜2
00重量部、さらに好ましくは10〜100重量部であ
る。
【0066】−(c2)重合性不飽和モノマー−
突起用感放射線性組成物(ロ)における(c2)重合性
不飽和モノマーとしては、2官能または3官能以上の
(メタ)アクリル酸エステル類が好ましい。前記2官能
(メタ)アクリレートとしては、例えば、エチレングリ
コール(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオー
ルジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ
(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ
(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ
(メタ)アクリレート、ビスフェノキシエタノールフル
オレンジアクリレートや、市販品として、アロニックス
M−210、同−240、同−6200(以上、東亞合
成(株)製)、KAYARAD HDDA、KAYAR
AD HX−220、KAYARAD R−604(以
上、日本化薬(株)製)、ビスコート260、同31
2、同335HP(以上、大阪有機化学工業(株)製)
等を挙げることができる。
不飽和モノマーとしては、2官能または3官能以上の
(メタ)アクリル酸エステル類が好ましい。前記2官能
(メタ)アクリレートとしては、例えば、エチレングリ
コール(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオー
ルジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ
(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ
(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ
(メタ)アクリレート、ビスフェノキシエタノールフル
オレンジアクリレートや、市販品として、アロニックス
M−210、同−240、同−6200(以上、東亞合
成(株)製)、KAYARAD HDDA、KAYAR
AD HX−220、KAYARAD R−604(以
上、日本化薬(株)製)、ビスコート260、同31
2、同335HP(以上、大阪有機化学工業(株)製)
等を挙げることができる。
【0067】また、前記3官能以上の(メタ)アクリレ
ートとしては、例えば、トリメチロールプロパントリ
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メ
タ)アクリレート、トリ((メタ)アクリロイロキシエ
チル)フォスフェート、ペンタエリスリトールテトラ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
(メタ)アクリレートや、市販品として、アロニックス
M−309、同−400、同−402、同−405、同
−450、同−7100、同−8030、同−806
0、同−1310、同−1600、同−1960、同−
8100、同−8530、同−8560、同−905
0、アロニックスTO−1450(以上、東亞合成
(株)製)、KAYARAD TMPTA、KAYAR
AD DPHA、KAYARAD DPCA−20、同
−30、同−60、同−120、KAYARAD MA
X−3510(以上、日本化薬(株)製)、ビスコート
295、同300、同360、同GPT、同3PA、同
400(以上、大阪有機化学工業(株)製)等を挙げる
ことができる。
ートとしては、例えば、トリメチロールプロパントリ
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メ
タ)アクリレート、トリ((メタ)アクリロイロキシエ
チル)フォスフェート、ペンタエリスリトールテトラ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
(メタ)アクリレートや、市販品として、アロニックス
M−309、同−400、同−402、同−405、同
−450、同−7100、同−8030、同−806
0、同−1310、同−1600、同−1960、同−
8100、同−8530、同−8560、同−905
0、アロニックスTO−1450(以上、東亞合成
(株)製)、KAYARAD TMPTA、KAYAR
AD DPHA、KAYARAD DPCA−20、同
−30、同−60、同−120、KAYARAD MA
X−3510(以上、日本化薬(株)製)、ビスコート
295、同300、同360、同GPT、同3PA、同
400(以上、大阪有機化学工業(株)製)等を挙げる
ことができる。
【0068】これらの(c2)重合性不飽和モノマーの
うち、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレー
ト等が好ましい。(ロ)突起用感放射線性組成物におい
て、(c2)重合性不飽和モノマーは、単独でまたは2
種以上を混合して使用することができる。
うち、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレー
ト等が好ましい。(ロ)突起用感放射線性組成物におい
て、(c2)重合性不飽和モノマーは、単独でまたは2
種以上を混合して使用することができる。
【0069】(ロ)突起用感放射線性組成物において、
(c2)重合性不飽和モノマーの使用量は、(a2)共
重合体100重量部に対して、好ましくは30〜200
重量部、特に好ましくは50〜140重量部である。こ
の場合、(c2)重合性不飽和モノマーの使用量が30
重量部未満では、得られる突起部が現像時に膜減りを起
こしたり、強度が低下したりするおそれがあり、一方2
00重量部を超えると、得られる突起部の基板との密着
性が低下する傾向がある。
(c2)重合性不飽和モノマーの使用量は、(a2)共
重合体100重量部に対して、好ましくは30〜200
重量部、特に好ましくは50〜140重量部である。こ
の場合、(c2)重合性不飽和モノマーの使用量が30
重量部未満では、得られる突起部が現像時に膜減りを起
こしたり、強度が低下したりするおそれがあり、一方2
00重量部を超えると、得られる突起部の基板との密着
性が低下する傾向がある。
【0070】−添加剤−
(ロ)突起用感放射線性組成物には、前記(イ)突起用
感放射線性組成物において記載した特定メラミン誘導体
を配合することが好ましい。
感放射線性組成物において記載した特定メラミン誘導体
を配合することが好ましい。
【0071】(ロ)突起用感放射線性組成物に使用され
る特定メラミン誘導体としては、例えば、ヘキサメトキ
シメチロールメラミン、ヘキサ−n−ブトキシメチロー
ルメラミン、メトキシメチロール基とn−ブトキシメチ
ロール基との双方を両者の合計で6つ有するヘキサアル
コキシメチロールメラミン等のヘキサアルコキシメチロ
ールメラミン類;前記ヘキサアルコキシメチロールメラ
ミン類に属する化合物中のアルコキシメチロール基の一
部をメチロール基に変換した化合物;前記ヘキサアルコ
キシメチロールメラミン類に属する化合物中のアルコキ
シメチロール基の一部を水素原子に変換した化合物;テ
トラメトキシメチロールベンゾグアナミン、テトラメト
キシメチロールベンゾグアナミン等のメトキシメチロー
ル基の一部をメチロール基に変換した化合物;テトラメ
トキシメチロールベンゾグアナミンのメトキシメチロー
ル基の一部を水素原子に変換した化合物等を挙げること
ができる。
る特定メラミン誘導体としては、例えば、ヘキサメトキ
シメチロールメラミン、ヘキサ−n−ブトキシメチロー
ルメラミン、メトキシメチロール基とn−ブトキシメチ
ロール基との双方を両者の合計で6つ有するヘキサアル
コキシメチロールメラミン等のヘキサアルコキシメチロ
ールメラミン類;前記ヘキサアルコキシメチロールメラ
ミン類に属する化合物中のアルコキシメチロール基の一
部をメチロール基に変換した化合物;前記ヘキサアルコ
キシメチロールメラミン類に属する化合物中のアルコキ
シメチロール基の一部を水素原子に変換した化合物;テ
トラメトキシメチロールベンゾグアナミン、テトラメト
キシメチロールベンゾグアナミン等のメトキシメチロー
ル基の一部をメチロール基に変換した化合物;テトラメ
トキシメチロールベンゾグアナミンのメトキシメチロー
ル基の一部を水素原子に変換した化合物等を挙げること
ができる。
【0072】また、特定メラミン誘導体の市販品として
は、例えば、サイメル202、同238、同266、同
267、同272、同300、同301、同303、同
325、同327、同370、同701、同1123、
同1141、同1156、同1158、同1170、同
1174、UFR65、同300(以上、三井サイアナ
ミッド(株)製)、ニカラックMx−31、同−32、
同−40、同−706、同−708、同−750、ニカ
ラックMs−11、ニカラックMw−30(以上、
(株)三和ケミカル社製)等を挙げることができる。こ
れらの特定メラミン誘導体は、単独でまたは2種以上を
混合して使用することができる。
は、例えば、サイメル202、同238、同266、同
267、同272、同300、同301、同303、同
325、同327、同370、同701、同1123、
同1141、同1156、同1158、同1170、同
1174、UFR65、同300(以上、三井サイアナ
ミッド(株)製)、ニカラックMx−31、同−32、
同−40、同−706、同−708、同−750、ニカ
ラックMs−11、ニカラックMw−30(以上、
(株)三和ケミカル社製)等を挙げることができる。こ
れらの特定メラミン誘導体は、単独でまたは2種以上を
混合して使用することができる。
【0073】(ロ)突起用感放射線性組成物において、
特定メラミン誘導体の配合量は、(a2)共重合体10
0重量部に対して、好ましくは1〜100重量部、特に
好ましくは5〜50重量部である。特定メラミン誘導体
をこの範囲の量で配合することにより、良好な形状の突
起部を形成でき、アルカリ現像液に対する適当な溶解性
を示す(ロ)突起用感放射線性組成物を得ることができ
る。
特定メラミン誘導体の配合量は、(a2)共重合体10
0重量部に対して、好ましくは1〜100重量部、特に
好ましくは5〜50重量部である。特定メラミン誘導体
をこの範囲の量で配合することにより、良好な形状の突
起部を形成でき、アルカリ現像液に対する適当な溶解性
を示す(ロ)突起用感放射線性組成物を得ることができ
る。
【0074】さらに、(ロ)突起用感放射線性組成物に
は、接着助剤、界面活性剤等を配合することができる。
前記接着助剤および界面活性剤としては、例えば、前記
(イ)突起用感放射線性組成物の添加剤成分として例示
したそれぞれ接着助剤および界面活性剤と同様のものを
挙げることができる。これらの接着助剤および界面活性
剤はそれぞれ、単独でまたは2種以上を混合して使用す
ることができる。突起用感放射線性組成物(ロ)におい
て、接着助剤の配合量は、(a2)共重合体100重量
部に対して、通常、20重量部以下、好ましくは10重
量部以下である。この場合、接着助剤の配合量が20重
量部を超えると、現像残りが生じやすくなる傾向があ
る。また、界面活性剤の配合量は、(a2)共重合体1
00重量部に対して、通常、0.2重量部以下、好まし
くは0.05重量部以下である。この場合、界面活性剤
の使用量が0.2重量部を超えると、配向膜塗布時のハ
ジキが生じやすくなる傾向がある。
は、接着助剤、界面活性剤等を配合することができる。
前記接着助剤および界面活性剤としては、例えば、前記
(イ)突起用感放射線性組成物の添加剤成分として例示
したそれぞれ接着助剤および界面活性剤と同様のものを
挙げることができる。これらの接着助剤および界面活性
剤はそれぞれ、単独でまたは2種以上を混合して使用す
ることができる。突起用感放射線性組成物(ロ)におい
て、接着助剤の配合量は、(a2)共重合体100重量
部に対して、通常、20重量部以下、好ましくは10重
量部以下である。この場合、接着助剤の配合量が20重
量部を超えると、現像残りが生じやすくなる傾向があ
る。また、界面活性剤の配合量は、(a2)共重合体1
00重量部に対して、通常、0.2重量部以下、好まし
くは0.05重量部以下である。この場合、界面活性剤
の使用量が0.2重量部を超えると、配向膜塗布時のハ
ジキが生じやすくなる傾向がある。
【0075】突起用組成物溶液
本発明において、突起用感放射線性組成物は、その使用
に際して、通常、それを構成する各成分を適当な溶媒に
溶解したのち、好ましくは例えば孔径0. 2μm程度の
フィルターによりろ過して、突起用組成物溶液として調
製される。突起用組成物溶液の調製に用いられる溶媒と
しては、突起用感放射線性組成物を構成する各成分を均
一に溶解し、各成分と反応せず、かつ適宜の揮発性を有
するものである限り、適宜選択して使用することができ
る。このような溶媒としては、例えば、メタノール、エ
タノール等のアルコール類;テトラヒドロフラン等のエ
ーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エ
チレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエ
ーテル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソ
ルブアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテ
ルアセテート類;ジエチレングリコールモノメチルエー
テル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエ
チレングリコールジメチルエーテル等のジエチレングリ
コール類;プロピレングリコールメチルエーテル、プロ
ピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコー
ルプロピルエーテル、プロピレングリコールブチルエー
テル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル
類;プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、
プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロ
ピレングリコールプロピルエーテルアセテートプロピレ
ングリコールブチルエーテルアセテート等のプロピレン
グリコールアルキルエーテルアセテート類;プロピレン
グリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレン
グリコールエチルエーテルプロピオネート、プロピレン
グリコールプロピルエーテルプロピオネート、プロピレ
ングリコールブチルエーテルプロピオネート等のプロピ
レングリコールアルキルエーテルアセテート類;トルエ
ン、キシレン等の芳香族炭化水素類;メチルエチルケト
ン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−
2−ペンタノン等のケトン類や、
に際して、通常、それを構成する各成分を適当な溶媒に
溶解したのち、好ましくは例えば孔径0. 2μm程度の
フィルターによりろ過して、突起用組成物溶液として調
製される。突起用組成物溶液の調製に用いられる溶媒と
しては、突起用感放射線性組成物を構成する各成分を均
一に溶解し、各成分と反応せず、かつ適宜の揮発性を有
するものである限り、適宜選択して使用することができ
る。このような溶媒としては、例えば、メタノール、エ
タノール等のアルコール類;テトラヒドロフラン等のエ
ーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エ
チレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエ
ーテル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソ
ルブアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテ
ルアセテート類;ジエチレングリコールモノメチルエー
テル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエ
チレングリコールジメチルエーテル等のジエチレングリ
コール類;プロピレングリコールメチルエーテル、プロ
ピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコー
ルプロピルエーテル、プロピレングリコールブチルエー
テル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル
類;プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、
プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロ
ピレングリコールプロピルエーテルアセテートプロピレ
ングリコールブチルエーテルアセテート等のプロピレン
グリコールアルキルエーテルアセテート類;プロピレン
グリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレン
グリコールエチルエーテルプロピオネート、プロピレン
グリコールプロピルエーテルプロピオネート、プロピレ
ングリコールブチルエーテルプロピオネート等のプロピ
レングリコールアルキルエーテルアセテート類;トルエ
ン、キシレン等の芳香族炭化水素類;メチルエチルケト
ン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−
2−ペンタノン等のケトン類や、
【0076】酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、
酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−
ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒド
ロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢
酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチ
ル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチ
ル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−ヒドロキ
シプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピオン酸プ
ロチル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、2−ヒド
ロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチ
ル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、メト
キシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エ
チル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチル、プ
ロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プロポキ
シ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキシ酢酸
メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロピル、
ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン酸メチ
ル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプ
ロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸ブチ
ル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプ
ロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸プロピ
ル、2−エトキシプロピオン酸ブチル、2−ブトキシプ
ロピオン酸メチル、2−ブトキシプロピオン酸エチル、
2−ブトキシプロピオン酸プロピル、2−ブトキシプロ
ピオン酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3
−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオ
ン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、3−
エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン
酸エチル、3−エトキシプロピオン酸プロピル、3−エ
トキシプロピオン酸ブチル、3−プロポキシプロピオン
酸メチル、3−プロポキシプロピオン酸エチル、3−プ
ロポキシプロピオン酸プロピル、3−プロポキシプロピ
オン酸ブチル、3−ブトキシプロピオン酸メチル、3−
ブトキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシプロピオン
酸プロピル、3−ブトキシプロピオン酸ブチル等の他の
エステル類等を挙げることができる。
酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−
ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒド
ロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢
酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチ
ル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチ
ル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−ヒドロキ
シプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピオン酸プ
ロチル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、2−ヒド
ロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチ
ル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、メト
キシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エ
チル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチル、プ
ロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プロポキ
シ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキシ酢酸
メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロピル、
ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン酸メチ
ル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプ
ロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸ブチ
ル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプ
ロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸プロピ
ル、2−エトキシプロピオン酸ブチル、2−ブトキシプ
ロピオン酸メチル、2−ブトキシプロピオン酸エチル、
2−ブトキシプロピオン酸プロピル、2−ブトキシプロ
ピオン酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3
−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオ
ン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、3−
エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン
酸エチル、3−エトキシプロピオン酸プロピル、3−エ
トキシプロピオン酸ブチル、3−プロポキシプロピオン
酸メチル、3−プロポキシプロピオン酸エチル、3−プ
ロポキシプロピオン酸プロピル、3−プロポキシプロピ
オン酸ブチル、3−ブトキシプロピオン酸メチル、3−
ブトキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシプロピオン
酸プロピル、3−ブトキシプロピオン酸ブチル等の他の
エステル類等を挙げることができる。
【0077】これらの溶媒のうち、各成分の溶解性、各
成分との反応性、塗膜形成の容易性等の観点から、グリ
コールエーテル類、エチレングリコールアルキルエーテ
ルアセテート類、ジエチレングリコール類、他のエステ
ル類等が好ましい。前記溶媒は、単独でまたは2種以上
を混合して使用することができる。
成分との反応性、塗膜形成の容易性等の観点から、グリ
コールエーテル類、エチレングリコールアルキルエーテ
ルアセテート類、ジエチレングリコール類、他のエステ
ル類等が好ましい。前記溶媒は、単独でまたは2種以上
を混合して使用することができる。
【0078】さらに、前記溶媒と共に高沸点溶媒を併用
することもできる。前記高沸点溶媒としては、例えば、
N−メチルホルムアミド、N, N−ジメチルホルムアミ
ド、N−メチルホルムアニリド、N−メチルアセトアミ
ド、N, N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリ
ドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテ
ル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホ
ロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1
−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安
息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチ
ル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレ
ン、フェニルセロソルブアセテート等を挙げることがで
きる。これらの高沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を
混合して使用することができる。
することもできる。前記高沸点溶媒としては、例えば、
N−メチルホルムアミド、N, N−ジメチルホルムアミ
ド、N−メチルホルムアニリド、N−メチルアセトアミ
ド、N, N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリ
ドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテ
ル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホ
ロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1
−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安
息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチ
ル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレ
ン、フェニルセロソルブアセテート等を挙げることがで
きる。これらの高沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を
混合して使用することができる。
【0079】突起用組成物溶液において、溶媒の使用量
は、該溶液中の全固形濃度が、好ましくは10〜50重
量%、特に好ましくは20〜40重量%となる量であ
る。
は、該溶液中の全固形濃度が、好ましくは10〜50重
量%、特に好ましくは20〜40重量%となる量であ
る。
【0080】着色感放射線性組成物
本発明の半透過型カラーフィルタにおける着色層の形成
に用いられる感放射線性組成物(以下、「着色感放射線
性組成物」という。)としては、好ましくは、例えば、
(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官
能性モノマー、(D)感放射線性重合開始剤および
(E)溶媒を含有する組成物を挙げることができる。以
下、着色感放射線性組成物について説明する。
に用いられる感放射線性組成物(以下、「着色感放射線
性組成物」という。)としては、好ましくは、例えば、
(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官
能性モノマー、(D)感放射線性重合開始剤および
(E)溶媒を含有する組成物を挙げることができる。以
下、着色感放射線性組成物について説明する。
【0081】−(A)着色剤−
着色感放射線性組成物における(A)着色剤は、色調が
特に限定されるものではなく、得られるカラーフィルタ
の用途に応じて適宜選定され、また有機顔料、無機顔
料、染料あるいは天然色素の何れでもよいが、カラーフ
ィルタには高精細な発色と耐熱性が求められることか
ら、本発明における着色剤としては、発色性が高く、か
つ耐熱性の高い(A)着色剤、特に耐熱分解性の高い
(A)着色剤が好ましく、特に好ましくは有機顔料が用
いられる。
特に限定されるものではなく、得られるカラーフィルタ
の用途に応じて適宜選定され、また有機顔料、無機顔
料、染料あるいは天然色素の何れでもよいが、カラーフ
ィルタには高精細な発色と耐熱性が求められることか
ら、本発明における着色剤としては、発色性が高く、か
つ耐熱性の高い(A)着色剤、特に耐熱分解性の高い
(A)着色剤が好ましく、特に好ましくは有機顔料が用
いられる。
【0082】前記有機顔料としては、例えば、カラーイ
ンデックス(C.I.;The Society ofDyers and Colouris
ts 社発行) においてピグメント(Pigment)に分類され
ている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデ
ックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることが
できる。 C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメントイエロー
13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメントイ
エロー17、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメ
ントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.
ピグメントイエロー55、C.I.ピグメントイエロー8
3、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエ
ロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグ
メントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー13
9、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイ
エロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピ
グメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー16
6、C.I.ピグメントイエロー168、C.I.ピグメントイ
エロー180、C.I.ピグメントイエロー185、C.I.ピ
グメントイエロー211;C.I.ピグメントオレンジ3
6、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレ
ンジ51、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメン
トオレンジ71;C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメ
ントレッド97、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピ
グメントレッド123、C.I.ピグメントレッド149、
C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド1
76、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレ
ッド180、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメ
ントレッド215、C.I.ピグメントレッド224、C.I.
ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド25
4;C.I.ピグメントバイオレット19、ピグメントバイ
オレット23、ピグメントバイオレット29;C.I.ピグ
メントブルー15、C.I.ピグメントブルー60、C.I.ピ
グメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:
4、C.I.ピグメントブルー15:6;C.I.ピグメントグ
リーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメン
トグリーン136、C.I.ピグメントグリーン210;C.
I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン2
5;C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラッ
ク7。これらの有機顔料は、単独でまたは2種以上を混
合して使用することができる。また、前記有機顔料は、
例えば、硫酸再結晶法、溶剤洗浄法や、これらの組み合
わせ等により精製して使用することができる。
ンデックス(C.I.;The Society ofDyers and Colouris
ts 社発行) においてピグメント(Pigment)に分類され
ている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデ
ックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることが
できる。 C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメントイエロー
13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメントイ
エロー17、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメ
ントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.
ピグメントイエロー55、C.I.ピグメントイエロー8
3、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエ
ロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグ
メントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー13
9、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイ
エロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピ
グメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー16
6、C.I.ピグメントイエロー168、C.I.ピグメントイ
エロー180、C.I.ピグメントイエロー185、C.I.ピ
グメントイエロー211;C.I.ピグメントオレンジ3
6、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレ
ンジ51、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメン
トオレンジ71;C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメ
ントレッド97、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピ
グメントレッド123、C.I.ピグメントレッド149、
C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド1
76、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレ
ッド180、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメ
ントレッド215、C.I.ピグメントレッド224、C.I.
ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド25
4;C.I.ピグメントバイオレット19、ピグメントバイ
オレット23、ピグメントバイオレット29;C.I.ピグ
メントブルー15、C.I.ピグメントブルー60、C.I.ピ
グメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:
4、C.I.ピグメントブルー15:6;C.I.ピグメントグ
リーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメン
トグリーン136、C.I.ピグメントグリーン210;C.
I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン2
5;C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラッ
ク7。これらの有機顔料は、単独でまたは2種以上を混
合して使用することができる。また、前記有機顔料は、
例えば、硫酸再結晶法、溶剤洗浄法や、これらの組み合
わせ等により精製して使用することができる。
【0083】また、前記無機顔料の具体例としては、酸
化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫
酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、
カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト
緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブ
ラック等を挙げることができる。これらの無機顔料は、
単独でまたは2種以上を混合して使用することができ
る。本発明において、前記各顔料は、所望により、その
粒子表面をポリマーで改質して使用することができる。
顔料の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば、
特開平8−259876号公報等に記載されたポリマー
や、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたはオリゴマ
ー等を挙げることができる。
化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫
酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、
カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト
緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブ
ラック等を挙げることができる。これらの無機顔料は、
単独でまたは2種以上を混合して使用することができ
る。本発明において、前記各顔料は、所望により、その
粒子表面をポリマーで改質して使用することができる。
顔料の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば、
特開平8−259876号公報等に記載されたポリマー
や、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたはオリゴマ
ー等を挙げることができる。
【0084】また、着色感放射線性組成物において、
(A)着色剤は、所望により、分散剤と共に使用するこ
とができる。前記分散剤としては、例えば、カチオン
系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フ
ッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。前記界面
活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンラウリル
エーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポ
リオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチ
レンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレン n−オ
クチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン n−ノ
ニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキル
フェニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラウレ
ート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリ
エチレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸エ
ステル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変性
ポリウレタン類;ポリエチレンイミン類や、市販品とし
て、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄
社化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社
製)、メガファック(大日本インキ化学工業(株)
製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒ
ガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、 Dispe
rbyk−101、同−103、同−107、同−110、
同−111、同−115、同−130、同−160、同
−161、同−162、同−163、同−164、同−
165、同−166、同−170、同−180、同−1
82、同−2000、同−2001、BYK−165
(以上、ビックケミー・ジャパン(株)製)、ソルスパ
ースS5000、同12000、同13240、同13
940、同17000、同20000、同22000、
同24000、同24000GR、同26000、同2
7000、同28000(以上、アビシア(株)製)、
EFKA46、同47、同48、同745、同454
0、同4550、同6750、EFKA LP400
8、同4009、同4010、同4015、同405
0、同4055、同4560、同4800、EFKA
Polymer400、同401、同402、同40
3、同450、同451、同453(以上、エフカケミ
カルズ(株)製)等を挙げることができる。これらの界
面活性剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用する
ことができる。
(A)着色剤は、所望により、分散剤と共に使用するこ
とができる。前記分散剤としては、例えば、カチオン
系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フ
ッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。前記界面
活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンラウリル
エーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポ
リオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチ
レンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレン n−オ
クチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン n−ノ
ニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキル
フェニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラウレ
ート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリ
エチレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸エ
ステル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変性
ポリウレタン類;ポリエチレンイミン類や、市販品とし
て、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄
社化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社
製)、メガファック(大日本インキ化学工業(株)
製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒ
ガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、 Dispe
rbyk−101、同−103、同−107、同−110、
同−111、同−115、同−130、同−160、同
−161、同−162、同−163、同−164、同−
165、同−166、同−170、同−180、同−1
82、同−2000、同−2001、BYK−165
(以上、ビックケミー・ジャパン(株)製)、ソルスパ
ースS5000、同12000、同13240、同13
940、同17000、同20000、同22000、
同24000、同24000GR、同26000、同2
7000、同28000(以上、アビシア(株)製)、
EFKA46、同47、同48、同745、同454
0、同4550、同6750、EFKA LP400
8、同4009、同4010、同4015、同405
0、同4055、同4560、同4800、EFKA
Polymer400、同401、同402、同40
3、同450、同451、同453(以上、エフカケミ
カルズ(株)製)等を挙げることができる。これらの界
面活性剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用する
ことができる。
【0085】着色感放射線性組成物において、顔料分散
剤の使用量は、(A)着色剤100重量部に対して、通
常、1〜50重量部、好ましくは3〜30重量部であ
る。この場合、顔料分散剤の使用量が1重量部未満で
は、(A)着色剤の分散性が低下する傾向があり、一方
50重量部を超えると、アルカリ現像液に対する溶解性
が低下する傾向がある。
剤の使用量は、(A)着色剤100重量部に対して、通
常、1〜50重量部、好ましくは3〜30重量部であ
る。この場合、顔料分散剤の使用量が1重量部未満で
は、(A)着色剤の分散性が低下する傾向があり、一方
50重量部を超えると、アルカリ現像液に対する溶解性
が低下する傾向がある。
【0086】−(B)アルカリ可溶性樹脂−
次に、着色感放射線性組成物における(B)アルカリ可
溶性樹脂としては、着色剤に対してバインダーとして作
用し、かつカラーフィルタ製造時の現像処理工程におい
て用いられるアルカリ現像液に可溶性である限り、適宜
の樹脂を使用することができる。このような(B)アル
カリ可溶性樹脂としては、例えば、カルボキシル基、フ
ェノール性水酸基等の酸性官能基を含有する樹脂を挙げ
ることができる。(B)アルカリ可溶性樹脂のうち、カ
ルボキシル基含有アルカリ可溶性樹脂としては、例え
ば、1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽
和モノマー(以下、単に「カルボキシル基含有不飽和モ
ノマー」という。)の(共)重合体を挙げることができ
る。前記カルボキシル基含有不飽和モノマーの(共)重
合体としては、特にカルボキシル基含有不飽和モノマー
と他の共重合可能な不飽和モノマー(以下、単に「他の
不飽和モノマー」という。)とからなるモノマー混合物
の共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体
(β)」という。)が好ましい。
溶性樹脂としては、着色剤に対してバインダーとして作
用し、かつカラーフィルタ製造時の現像処理工程におい
て用いられるアルカリ現像液に可溶性である限り、適宜
の樹脂を使用することができる。このような(B)アル
カリ可溶性樹脂としては、例えば、カルボキシル基、フ
ェノール性水酸基等の酸性官能基を含有する樹脂を挙げ
ることができる。(B)アルカリ可溶性樹脂のうち、カ
ルボキシル基含有アルカリ可溶性樹脂としては、例え
ば、1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽
和モノマー(以下、単に「カルボキシル基含有不飽和モ
ノマー」という。)の(共)重合体を挙げることができ
る。前記カルボキシル基含有不飽和モノマーの(共)重
合体としては、特にカルボキシル基含有不飽和モノマー
と他の共重合可能な不飽和モノマー(以下、単に「他の
不飽和モノマー」という。)とからなるモノマー混合物
の共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体
(β)」という。)が好ましい。
【0087】前記カルボキシル基含有不飽和モノマーと
しては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン
酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカ
ルボン酸類;マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、
イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シト
ラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸(無水
物)類;3価以上の不飽和多価カルボン酸(無水物)
類;こはく酸モノ(2−アクリロイルオキシエチル)、
こはく酸モノ(2−メタクリロイルオキシエチル)、フ
タル酸モノ(2−アクリロイルオキシエチル)、フタル
酸モノ(2−メタクリロイルオキシエチル)等の非重合
性ジカルボン酸のモノ〔2−(メタ)アクリロイルオキ
シエチル)エステル類や、ω−カルボキシポリカプロラ
クトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロラ
クトンモノメタクリレート等を挙げることができる。こ
れらのカルボキシル基含有不飽和モノマーは、単独でま
たは2種以上を混合して使用することができる。なお、
こはく酸モノ(2−アクリロイルオキシエチル)および
フタル酸モノ(2−アクリロイルオキシエチル)は、そ
れぞれM−5300およびM−5400の商品名(東亜
合成(株)製)で市販されている。
しては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン
酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカ
ルボン酸類;マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、
イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シト
ラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸(無水
物)類;3価以上の不飽和多価カルボン酸(無水物)
類;こはく酸モノ(2−アクリロイルオキシエチル)、
こはく酸モノ(2−メタクリロイルオキシエチル)、フ
タル酸モノ(2−アクリロイルオキシエチル)、フタル
酸モノ(2−メタクリロイルオキシエチル)等の非重合
性ジカルボン酸のモノ〔2−(メタ)アクリロイルオキ
シエチル)エステル類や、ω−カルボキシポリカプロラ
クトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロラ
クトンモノメタクリレート等を挙げることができる。こ
れらのカルボキシル基含有不飽和モノマーは、単独でま
たは2種以上を混合して使用することができる。なお、
こはく酸モノ(2−アクリロイルオキシエチル)および
フタル酸モノ(2−アクリロイルオキシエチル)は、そ
れぞれM−5300およびM−5400の商品名(東亜
合成(株)製)で市販されている。
【0088】また、他の不飽和モノマーとしては、例え
ば、スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエ
ン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、o−ク
ロルスチレン、m−クロルスチレン、p−クロルスチレ
ン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p
−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテ
ル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベ
ンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジル
エーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p
−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族ビニル
化合物;インデン、1−メチルインデン等のインデン
類;
ば、スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエ
ン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、o−ク
ロルスチレン、m−クロルスチレン、p−クロルスチレ
ン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p
−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテ
ル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベ
ンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジル
エーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p
−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族ビニル
化合物;インデン、1−メチルインデン等のインデン
類;
【0089】(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アク
リル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メ
タ)アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸n−
ブチル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、(メタ)アク
リル酸sec−ブチル、(メタ)アクリル酸t−ブチ
ル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メ
タ)アクリル酸2−ヒドロキシプロピル、(メタ)アク
リル酸3−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸2
−ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキ
シブチル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシブチル、
(メタ)アクリル酸アリル、(メタ)アクリル酸ベンジ
ル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アク
リル酸フェニル、(メタ)アクリル酸2−メトキシエチ
ル、(メタ)アクリル酸2−フェノキシエチル、(メ
タ)アクリル酸イソボロニル、(メタ)アクリル酸ジシ
クロペンタニル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシ−
3−フェノキシプロピル、メトキシジエチレングリコー
ル(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングリコ
ール(メタ)アクリレート、メトキシプロピレングリコ
ール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングリ
コール(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メ
タ)アクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類;
リル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メ
タ)アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸n−
ブチル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、(メタ)アク
リル酸sec−ブチル、(メタ)アクリル酸t−ブチ
ル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メ
タ)アクリル酸2−ヒドロキシプロピル、(メタ)アク
リル酸3−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸2
−ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキ
シブチル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシブチル、
(メタ)アクリル酸アリル、(メタ)アクリル酸ベンジ
ル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アク
リル酸フェニル、(メタ)アクリル酸2−メトキシエチ
ル、(メタ)アクリル酸2−フェノキシエチル、(メ
タ)アクリル酸イソボロニル、(メタ)アクリル酸ジシ
クロペンタニル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシ−
3−フェノキシプロピル、メトキシジエチレングリコー
ル(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングリコ
ール(メタ)アクリレート、メトキシプロピレングリコ
ール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングリ
コール(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メ
タ)アクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類;
【0090】(メタ)アクリル酸2−アミノエチル、
(メタ)アクリル酸2−ジメチルアミノエチル、(メ
タ)アクリル酸2−アミノプロピル、(メタ)アクリル
酸2−ジメチルアミノプロピル、(メタ)アクリル酸3
−アミノプロピル、(メタ)アクリル酸3−ジメチルア
ミノプロピル等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエス
テル類;(メタ)アクリル酸グリシジル等の不飽和カル
ボン酸グリシジルエステル類;酢酸ビニル、プロピオン
酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸
ビニルエステル類;ビニルメチルエーテル、ビニルエチ
ルエーテル、アリルグリシジルエーテル、メタリルグリ
シジルエーテル等の不飽和エーテル類;(メタ)アクリ
ロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビ
ニリデン等のシアン化ビニル化合物;
(メタ)アクリル酸2−ジメチルアミノエチル、(メ
タ)アクリル酸2−アミノプロピル、(メタ)アクリル
酸2−ジメチルアミノプロピル、(メタ)アクリル酸3
−アミノプロピル、(メタ)アクリル酸3−ジメチルア
ミノプロピル等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエス
テル類;(メタ)アクリル酸グリシジル等の不飽和カル
ボン酸グリシジルエステル類;酢酸ビニル、プロピオン
酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸
ビニルエステル類;ビニルメチルエーテル、ビニルエチ
ルエーテル、アリルグリシジルエーテル、メタリルグリ
シジルエーテル等の不飽和エーテル類;(メタ)アクリ
ロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビ
ニリデン等のシアン化ビニル化合物;
【0091】(メタ)アクリルアミド、α−クロロアク
リルアミド、N−(2−ヒドロキシエチル)(メタ)ア
クリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド
等の不飽和アミド類;マレイミド、N−シクロヘキシル
マレイミド、N−フェニルマレイミド等の不飽和イミド
類;1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等
の脂肪族共役ジエン類;ポリスチレン、ポリメチルアク
リレート、ポリメチルメタクリレート、ポリ−n−ブチ
ルアクリレート、ポリ−n−ブチルメタクリレート、ポ
リシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノアクリロイ
ル基あるいはモノメタクリロイル基を有するマクロモノ
マー類等を挙げることができる。これらの他の不飽和モ
ノマーは、単独でまたは2種以上を混合して使用するこ
とができる。
リルアミド、N−(2−ヒドロキシエチル)(メタ)ア
クリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド
等の不飽和アミド類;マレイミド、N−シクロヘキシル
マレイミド、N−フェニルマレイミド等の不飽和イミド
類;1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等
の脂肪族共役ジエン類;ポリスチレン、ポリメチルアク
リレート、ポリメチルメタクリレート、ポリ−n−ブチ
ルアクリレート、ポリ−n−ブチルメタクリレート、ポ
リシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノアクリロイ
ル基あるいはモノメタクリロイル基を有するマクロモノ
マー類等を挙げることができる。これらの他の不飽和モ
ノマーは、単独でまたは2種以上を混合して使用するこ
とができる。
【0092】カルボキシル基含有共重合体(β)として
は、アクリル酸および/またはメタクリル酸を必須と
し、場合により、こはく酸モノ(2−アクリロイルオキ
シエチル)、こはく酸モノ(2−メタクリロイルオキシ
エチル)、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノアク
リレートおよびω−カルボキシポリカプロラクトンモノ
メタクリレートの群から選ばれる少なくとも1種をさら
に含有するカルボキシル基含有不飽和モノマーと、ス
チレン、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル
酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸アリル、
(メタ)アクリル酸ベンジル、グリセロールモノ(メ
タ)アクリレート、N−フェニルマレイミド、ポリスチ
レンマクロモノマーおよびポリメチルメタクリレートマ
クロモノマーの群から選ばれる少なくとも1種の他の不
飽和モノマーとの共重合体(以下、「カルボキシル基含
有共重合体(β−1)」という。)が好ましい。
は、アクリル酸および/またはメタクリル酸を必須と
し、場合により、こはく酸モノ(2−アクリロイルオキ
シエチル)、こはく酸モノ(2−メタクリロイルオキシ
エチル)、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノアク
リレートおよびω−カルボキシポリカプロラクトンモノ
メタクリレートの群から選ばれる少なくとも1種をさら
に含有するカルボキシル基含有不飽和モノマーと、ス
チレン、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル
酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸アリル、
(メタ)アクリル酸ベンジル、グリセロールモノ(メ
タ)アクリレート、N−フェニルマレイミド、ポリスチ
レンマクロモノマーおよびポリメチルメタクリレートマ
クロモノマーの群から選ばれる少なくとも1種の他の不
飽和モノマーとの共重合体(以下、「カルボキシル基含
有共重合体(β−1)」という。)が好ましい。
【0093】カルボキシル基含有共重合体(β−1) の
具体例としては、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)
アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル
(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/
スチレン/メチル(メタ)アクリレート共重合体、(メ
タ)アクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレ
ート共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)ア
クリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポ
リメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリ
レート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メ
タ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリ
スチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸
/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリ
レートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル
(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共
重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート
/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アク
リレート/N−フェニルマレイミド共重合体、
具体例としては、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)
アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル
(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/
スチレン/メチル(メタ)アクリレート共重合体、(メ
タ)アクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレ
ート共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)ア
クリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポ
リメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリ
レート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メ
タ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリ
スチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸
/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリ
レートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル
(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共
重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート
/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アク
リレート/N−フェニルマレイミド共重合体、
【0094】(メタ)アクリル酸/スチレン/ベンジル
(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アク
リレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)
アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロ
キシエチル〕/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレー
ト/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエ
チル〕/スチレン/アリル(メタ)アクリレート/N−
フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/ω
−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレ
ート/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリ
セロールモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレ
イミド共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ
〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/ω−カルボ
キシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート/ス
チレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロール
モノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共
重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メ
タ)アクリロイロキシエチル〕/ω−カルボキシポリカ
プロラクトンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/ア
リル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)
アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体等を挙
げることができる。
(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アク
リレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)
アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロ
キシエチル〕/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレー
ト/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエ
チル〕/スチレン/アリル(メタ)アクリレート/N−
フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/ω
−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレ
ート/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリ
セロールモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレ
イミド共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ
〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/ω−カルボ
キシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート/ス
チレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロール
モノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共
重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メ
タ)アクリロイロキシエチル〕/ω−カルボキシポリカ
プロラクトンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/ア
リル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)
アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体等を挙
げることができる。
【0095】これらのカルボキシル基含有共重合体(β
−1)のうち、特に、メタクリル酸/ベンジルメタクリ
レート共重合体、メタクリル酸/2−ヒドロキシエチル
メタクリレート/ベンジルメタクリレート共重合体、メ
タクリル酸/ベンジルメタクリレート/ポリスチレンマ
クロモノマー共重合体、メタクリル酸/ベンジルメタク
リレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共
重合体、メタクリル酸/スチレン/ベンジルメタクリレ
ート/N−フェニルマレイミド共重合体、メタクリル酸
/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ベンジルメタ
クリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、メ
タクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ベ
ンジルメタクリレート/ポリメチルメタクリレートマク
ロモノマー共重合体、メタクリル酸/スチレン/ベンジ
ルメタクリレート/グリセロールモノメタクリレート/
N−フェニルマレイミド共重合体、メタクリル酸/こは
く酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチレン/
ベンジルメタクリレート/N−フェニルマレイミド共重
合体、メタクリル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイル
オキシエチル)/スチレン/ベンジルメタクリレート/
N−フェニルマレイミド共重合体等が好ましい。
−1)のうち、特に、メタクリル酸/ベンジルメタクリ
レート共重合体、メタクリル酸/2−ヒドロキシエチル
メタクリレート/ベンジルメタクリレート共重合体、メ
タクリル酸/ベンジルメタクリレート/ポリスチレンマ
クロモノマー共重合体、メタクリル酸/ベンジルメタク
リレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共
重合体、メタクリル酸/スチレン/ベンジルメタクリレ
ート/N−フェニルマレイミド共重合体、メタクリル酸
/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ベンジルメタ
クリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、メ
タクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ベ
ンジルメタクリレート/ポリメチルメタクリレートマク
ロモノマー共重合体、メタクリル酸/スチレン/ベンジ
ルメタクリレート/グリセロールモノメタクリレート/
N−フェニルマレイミド共重合体、メタクリル酸/こは
く酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチレン/
ベンジルメタクリレート/N−フェニルマレイミド共重
合体、メタクリル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイル
オキシエチル)/スチレン/ベンジルメタクリレート/
N−フェニルマレイミド共重合体等が好ましい。
【0096】カルボキシル基含有共重合体(β)におけ
るカルボキシル基含有不飽和モノマーの共重合割合は、
通常、5〜50重量%、好ましくは10〜40重量%で
ある。この場合、カルボキシル基含有不飽和モノマーの
共重合割合が5重量%未満では、得られる組成物のアル
カリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方
50重量%を超えると、アルカリ現像液による現像時
に、形成された画素の基板からの脱落や画素表面の膜荒
れを来たしやすくなる傾向がある。カルボキシル基含有
不飽和モノマーを前記特定の共重合割合で含有するカル
ボキシル基含有共重合体(β)は、アルカリ現像液に対
して優れた溶解性を有するものであり、当該共重合体を
バインダーとして用いた着色感放射線性組成物は、アル
カリ現像液による現像後に未溶解物が残存することが極
めて少なく、基板上の画素を形成する部分以外の領域に
おける地汚れ、膜残り等が発生し難く、しかも該組成物
から得られる画素は、アルカリ現像液に過剰に溶解する
ことがなく、基板に対して、優れた密着性を有し、基板
から脱落するおそれもないものとなる。
るカルボキシル基含有不飽和モノマーの共重合割合は、
通常、5〜50重量%、好ましくは10〜40重量%で
ある。この場合、カルボキシル基含有不飽和モノマーの
共重合割合が5重量%未満では、得られる組成物のアル
カリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方
50重量%を超えると、アルカリ現像液による現像時
に、形成された画素の基板からの脱落や画素表面の膜荒
れを来たしやすくなる傾向がある。カルボキシル基含有
不飽和モノマーを前記特定の共重合割合で含有するカル
ボキシル基含有共重合体(β)は、アルカリ現像液に対
して優れた溶解性を有するものであり、当該共重合体を
バインダーとして用いた着色感放射線性組成物は、アル
カリ現像液による現像後に未溶解物が残存することが極
めて少なく、基板上の画素を形成する部分以外の領域に
おける地汚れ、膜残り等が発生し難く、しかも該組成物
から得られる画素は、アルカリ現像液に過剰に溶解する
ことがなく、基板に対して、優れた密着性を有し、基板
から脱落するおそれもないものとなる。
【0097】(B)アルカリ可溶性樹脂のMwは、好ま
しくは3,000〜300,000、さらに好ましくは
5,000〜80,000、特に好ましくは10,00
0〜50,000であり、また(B)アルカリ可溶性樹
脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)
による数平均分子量(以下、「Mn」という。)は、好
ましくは1,500〜60,000、さらに好ましくは
3,000〜25,000、特に好ましくは5,000
〜20,000である。この場合、(B)アルカリ可溶
性樹脂のMwないしMnが高いほど着色層の平坦性が向
上する傾向があり、Mwを10,000以上ないしMn
を5,000以上とすることが望ましい。但し、(B)
アルカリ可溶性樹脂のMwが300,000を超え、ま
たMnが60,000を超えると、得られる組成物の塗
布性が低下する傾向がある。着色感放射線性組成物にお
いて、(B)アルカリ可溶性樹脂は、単独でまたは2種
以上を混合して使用することができる。
しくは3,000〜300,000、さらに好ましくは
5,000〜80,000、特に好ましくは10,00
0〜50,000であり、また(B)アルカリ可溶性樹
脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)
による数平均分子量(以下、「Mn」という。)は、好
ましくは1,500〜60,000、さらに好ましくは
3,000〜25,000、特に好ましくは5,000
〜20,000である。この場合、(B)アルカリ可溶
性樹脂のMwないしMnが高いほど着色層の平坦性が向
上する傾向があり、Mwを10,000以上ないしMn
を5,000以上とすることが望ましい。但し、(B)
アルカリ可溶性樹脂のMwが300,000を超え、ま
たMnが60,000を超えると、得られる組成物の塗
布性が低下する傾向がある。着色感放射線性組成物にお
いて、(B)アルカリ可溶性樹脂は、単独でまたは2種
以上を混合して使用することができる。
【0098】着色感放射線性組成物において、(B)ア
ルカリ可溶性樹脂の使用量は、(A)着色剤100重量
部に対して、通常、10〜1,000重量部、好ましく
は20〜500重量部である。この場合、(B)アルカ
リ可溶性樹脂の使用量が10重量部未満では、例えば、
アルカリ現像性が低下したり、画素が形成される部分以
外の領域での地汚れや膜残りが発生するおそれがあり、
一方1,000重量部を超えると、相対的に着色剤濃度
が低下するため、薄膜として目的とする色濃度を達成す
ることが困難となる場合がある。
ルカリ可溶性樹脂の使用量は、(A)着色剤100重量
部に対して、通常、10〜1,000重量部、好ましく
は20〜500重量部である。この場合、(B)アルカ
リ可溶性樹脂の使用量が10重量部未満では、例えば、
アルカリ現像性が低下したり、画素が形成される部分以
外の領域での地汚れや膜残りが発生するおそれがあり、
一方1,000重量部を超えると、相対的に着色剤濃度
が低下するため、薄膜として目的とする色濃度を達成す
ることが困難となる場合がある。
【0099】−(C)多官能性モノマー−
次に、着色感放射線性組成物における(C)多官能性モ
ノマーは、2個以上の重合性不飽和結合を有する化合物
である。(C)多官能性モノマーとしては、例えば、エ
チレングリコール、プロピレングリコール等のアルキレ
ングリコールのジ(メタ)アクリレート類;ポリエチレ
ングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアル
キレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;グリセ
リン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトー
ル、ジペンタエリスリトール等の3価以上の多価アルコ
ールのポリ(メタ)アクリレート類やそれらのジカルボ
ン酸変性物;ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹
脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等の
オリゴ(メタ)アクリレート類;両末端ヒドロキシポリ
−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレ
ン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等の両末端ヒ
ドロキシル化重合体のジ(メタ)アクリレート類や、ト
リス〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕フォスフ
ェート等を挙げることができる。
ノマーは、2個以上の重合性不飽和結合を有する化合物
である。(C)多官能性モノマーとしては、例えば、エ
チレングリコール、プロピレングリコール等のアルキレ
ングリコールのジ(メタ)アクリレート類;ポリエチレ
ングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアル
キレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;グリセ
リン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトー
ル、ジペンタエリスリトール等の3価以上の多価アルコ
ールのポリ(メタ)アクリレート類やそれらのジカルボ
ン酸変性物;ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹
脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等の
オリゴ(メタ)アクリレート類;両末端ヒドロキシポリ
−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレ
ン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等の両末端ヒ
ドロキシル化重合体のジ(メタ)アクリレート類や、ト
リス〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕フォスフ
ェート等を挙げることができる。
【0100】これらの(C)多官能性モノマーのうち、
3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート
類やそれらのジカルボン酸変性物、具体的には、トリメ
チロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエ
リスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリス
リトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリス
リトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリ
トールトリ(メタ)アクリレートのコハク酸変性物等が
好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレ
ート、ペンタエリスリトールトリアクリレートおよびジ
ペンタエリスリトールヘキサアクリレートが、画素の強
度および表面平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上およ
び遮光層上に地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好まし
い。着色感放射線性組成物において、(C)多官能性モ
ノマーは、単独でまたは2種以上を混合して使用するこ
とができる。
3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート
類やそれらのジカルボン酸変性物、具体的には、トリメ
チロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエ
リスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリス
リトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリス
リトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリ
トールトリ(メタ)アクリレートのコハク酸変性物等が
好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレ
ート、ペンタエリスリトールトリアクリレートおよびジ
ペンタエリスリトールヘキサアクリレートが、画素の強
度および表面平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上およ
び遮光層上に地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好まし
い。着色感放射線性組成物において、(C)多官能性モ
ノマーは、単独でまたは2種以上を混合して使用するこ
とができる。
【0101】着色感放射線性組成物において、(C)多
官能性モノマーの使用量は、(B)アルカリ可溶性樹脂
100重量部に対して、通常、5〜500重量部、好ま
しくは50〜300重量部、特に好ましくは100〜3
00重量部である。この場合、(C)多官能性モノマー
の使用量が多いほど着色層の平坦性が向上する傾向があ
り、50重量部以上使用することが望ましい。但し、
(C)多官能性モノマーの使用量が500重量部を超え
ると、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上
あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくな
る傾向がある。
官能性モノマーの使用量は、(B)アルカリ可溶性樹脂
100重量部に対して、通常、5〜500重量部、好ま
しくは50〜300重量部、特に好ましくは100〜3
00重量部である。この場合、(C)多官能性モノマー
の使用量が多いほど着色層の平坦性が向上する傾向があ
り、50重量部以上使用することが望ましい。但し、
(C)多官能性モノマーの使用量が500重量部を超え
ると、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上
あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくな
る傾向がある。
【0102】また、着色感放射線性組成物においては、
(C)多官能性モノマーの一部を、1個の重合性不飽和
結合を有する単官能性モノマーで置き換えることもでき
る。前記単官能性モノマーとしては、例えば、前記
(B)アルカリ可溶性樹脂について例示したカルボキシ
ル基含有不飽和モノマー、他の不飽和モノマーのほか、
N−ビニルサクシンイミド、N−ビニルピロリドン、N
−ビニルフタルイミド、N−ビニル−2−ピペリドン、
N−ビニル−ε−カプロラクタム、N−ビニルピロー
ル、N−ビニルピロリジン、N−ビニルイミダゾール、
N−ビニルイミダゾリジン、N−ビニルインドール、N
−ビニルインドリン、N−ビニルベンズイミダゾ−ル、
N−ビニルカルバゾール、N−ビニルピペリジン、N−
ビニルピペラジン、N−ビニルモルホリン、N−ビニル
フェノキサジン等のN−ビニル誘導体類;N−(メタ)
アクリロイルモルフォリンや、市販品として、M−53
00、M−5400、M−5600(商品名、東亞合成
(株)製)等を挙げることができる。これらの単官能性
モノマーは、単独でまたは2種以上を混合して使用する
ことができる。単官能性モノマーの使用割合は、(C)
多官能性モノマーと単官能性モノマーの合計に対して、
通常、90重量%以下、好ましくは50重量%以下であ
る。この場合、単官能性モノマーの使用割合が90重量
%を超えると、画素の強度や表面平滑性が低下する傾向
がある。
(C)多官能性モノマーの一部を、1個の重合性不飽和
結合を有する単官能性モノマーで置き換えることもでき
る。前記単官能性モノマーとしては、例えば、前記
(B)アルカリ可溶性樹脂について例示したカルボキシ
ル基含有不飽和モノマー、他の不飽和モノマーのほか、
N−ビニルサクシンイミド、N−ビニルピロリドン、N
−ビニルフタルイミド、N−ビニル−2−ピペリドン、
N−ビニル−ε−カプロラクタム、N−ビニルピロー
ル、N−ビニルピロリジン、N−ビニルイミダゾール、
N−ビニルイミダゾリジン、N−ビニルインドール、N
−ビニルインドリン、N−ビニルベンズイミダゾ−ル、
N−ビニルカルバゾール、N−ビニルピペリジン、N−
ビニルピペラジン、N−ビニルモルホリン、N−ビニル
フェノキサジン等のN−ビニル誘導体類;N−(メタ)
アクリロイルモルフォリンや、市販品として、M−53
00、M−5400、M−5600(商品名、東亞合成
(株)製)等を挙げることができる。これらの単官能性
モノマーは、単独でまたは2種以上を混合して使用する
ことができる。単官能性モノマーの使用割合は、(C)
多官能性モノマーと単官能性モノマーの合計に対して、
通常、90重量%以下、好ましくは50重量%以下であ
る。この場合、単官能性モノマーの使用割合が90重量
%を超えると、画素の強度や表面平滑性が低下する傾向
がある。
【0103】−(D)感放射線性重合開始剤−
次に、着色感放射線性組成物における(D)感放射線性
重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、
X線等の露光により、前記(C)多官能性モノマーおよ
び場合により使用される単官能性モノマーの重合を開始
しうる活性種を発生することができる化合物からなる。
このような(D)感放射線性重合開始剤としては、ビイ
ミダゾール系化合物、ベンゾイン系化合物、アセトフェ
ノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン
系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、
ジアゾ系化合物、トリアジン系化合物等を挙げることが
できる。
重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、
X線等の露光により、前記(C)多官能性モノマーおよ
び場合により使用される単官能性モノマーの重合を開始
しうる活性種を発生することができる化合物からなる。
このような(D)感放射線性重合開始剤としては、ビイ
ミダゾール系化合物、ベンゾイン系化合物、アセトフェ
ノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン
系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、
ジアゾ系化合物、トリアジン系化合物等を挙げることが
できる。
【0104】前記ビイミダゾール系化合物の具体例とし
ては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’
−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,
2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’
−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,
2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール等を挙げることができる。これらのビイミダゾー
ル系化合物は、溶剤に対する溶解性に優れ、未溶解物、
析出物等の異物を生じることがなく、しかも感度が高
く、少ないエネルギー量の露光により硬化反応を十分進
行させるとともに、コントラストが高く、未露光部で硬
化反応が生じることがないため、露光後の塗膜は、アル
カリ現像液に対して不溶性の硬化部分と、アルカリ現像
液に対して高い溶解性を有する未硬化部分とに明確に区
分され、パターンの欠落、欠損やアンダーカットのない
優れたカラーフィルタを形成することができる。
ては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’
−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,
2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’
−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,
2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール等を挙げることができる。これらのビイミダゾー
ル系化合物は、溶剤に対する溶解性に優れ、未溶解物、
析出物等の異物を生じることがなく、しかも感度が高
く、少ないエネルギー量の露光により硬化反応を十分進
行させるとともに、コントラストが高く、未露光部で硬
化反応が生じることがないため、露光後の塗膜は、アル
カリ現像液に対して不溶性の硬化部分と、アルカリ現像
液に対して高い溶解性を有する未硬化部分とに明確に区
分され、パターンの欠落、欠損やアンダーカットのない
優れたカラーフィルタを形成することができる。
【0105】また、前記ベンゾイン系化合物としては、
例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベン
ゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテ
ル、ベンゾインイソブチルエーテル、メチル−2−ベン
ゾイルベンゾエート等を挙げることができる。前記アセ
トフェノン系化合物としては、例えば、2,2−ジメト
キシ−2−フェニルアセトフェノン、1−フェニル−2
−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−
(4−i−プロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−
メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエト
キシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケ
トン、2,2−ジメトキシアセトフェノン、2,2−ジ
エトキシアセトフェノン、2−メチル−(4−メチルチ
オフェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパン−1−
オン、1−(4−モルフォリノフェニル)−2−ベンジ
ル−2−ジメチルアミノブタン−1−オン、1−ヒドロ
キシシクロヘキシルフェニルケトン、4−アジドアセト
フェノン、4−アジドベンザルアセトフェノン等を挙げ
ることができる。前記ベンゾフェノン系化合物として
は、例えば、ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジメチ
ルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチル
アミノ)ベンゾフェノン、3,3−ジメチル−4−メト
キシベンゾフェノン等を挙げることができる。
例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベン
ゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテ
ル、ベンゾインイソブチルエーテル、メチル−2−ベン
ゾイルベンゾエート等を挙げることができる。前記アセ
トフェノン系化合物としては、例えば、2,2−ジメト
キシ−2−フェニルアセトフェノン、1−フェニル−2
−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−
(4−i−プロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−
メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエト
キシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケ
トン、2,2−ジメトキシアセトフェノン、2,2−ジ
エトキシアセトフェノン、2−メチル−(4−メチルチ
オフェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパン−1−
オン、1−(4−モルフォリノフェニル)−2−ベンジ
ル−2−ジメチルアミノブタン−1−オン、1−ヒドロ
キシシクロヘキシルフェニルケトン、4−アジドアセト
フェノン、4−アジドベンザルアセトフェノン等を挙げ
ることができる。前記ベンゾフェノン系化合物として
は、例えば、ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジメチ
ルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチル
アミノ)ベンゾフェノン、3,3−ジメチル−4−メト
キシベンゾフェノン等を挙げることができる。
【0106】前記α−ジケトン系化合物としては、例え
ば、ジアセチル、ジベンゾイル、メチルベンゾイルホル
メート等を挙げることができる。前記多核キノン系化合
物としては、例えば、アントラキノン、2−エチルアン
トラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1,4−
ナフトキノン等を挙げることができる。前記キサントン
系化合物としては、例えば、キサントン、チオキサント
ン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオ
キサントン等を挙げることができる。前記ジアゾ系化合
物としては、例えば、4−ジアゾジフェニルアミン、4
−ジアゾ−4’−メトキシジフェニルアミン、4−ジア
ゾ−3−メトキシジフェニルアミン等を挙げることがで
きる。前記トリアジン系化合物としては、例えば、2−
(2−フリルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロ
メチル)−s−トリアジン、2−(3,4−ジメトキシ
スチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−
トリアジン、2−(4−メトキシナフチル)−4,6−
ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2
−ブロモ−4−メチルフェニル)−4,6−ビス(トリ
クロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−チオフェ
ニルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)
−s−トリアジン等を挙げることができる。さらに、前
記以外の光重合開始剤として、4−アジドベンズアルデ
ヒド、アジドピレン、ビス(2,6−ジメトキシベンゾ
イル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィン
オキサイド、N−フェニルチオアクリドン、トリフェニ
ルピリリウムパークロレート等を使用することもでき
る。着色感放射線性組成物において、(D)感放射線性
重合開始剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用す
ることができる。
ば、ジアセチル、ジベンゾイル、メチルベンゾイルホル
メート等を挙げることができる。前記多核キノン系化合
物としては、例えば、アントラキノン、2−エチルアン
トラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1,4−
ナフトキノン等を挙げることができる。前記キサントン
系化合物としては、例えば、キサントン、チオキサント
ン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオ
キサントン等を挙げることができる。前記ジアゾ系化合
物としては、例えば、4−ジアゾジフェニルアミン、4
−ジアゾ−4’−メトキシジフェニルアミン、4−ジア
ゾ−3−メトキシジフェニルアミン等を挙げることがで
きる。前記トリアジン系化合物としては、例えば、2−
(2−フリルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロ
メチル)−s−トリアジン、2−(3,4−ジメトキシ
スチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−
トリアジン、2−(4−メトキシナフチル)−4,6−
ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2
−ブロモ−4−メチルフェニル)−4,6−ビス(トリ
クロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−チオフェ
ニルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)
−s−トリアジン等を挙げることができる。さらに、前
記以外の光重合開始剤として、4−アジドベンズアルデ
ヒド、アジドピレン、ビス(2,6−ジメトキシベンゾ
イル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィン
オキサイド、N−フェニルチオアクリドン、トリフェニ
ルピリリウムパークロレート等を使用することもでき
る。着色感放射線性組成物において、(D)感放射線性
重合開始剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用す
ることができる。
【0107】着色感放射線性組成物において、(D)感
放射線性重合開始剤の使用量は、(C)多官能性モノマ
ーと場合により使用される単官能性モノマーとの合計1
00重量部に対して、通常、0.01〜200重量部、
好ましくは20〜100重量部、特に好ましくは40〜
70重量部である。この場合、(D)感放射線性重合開
始剤の使用量が多いほど着色層の平坦性が向上する傾向
があり、20重量部以上とすることが望ましい。但し、
(D)感放射線性重合開始剤の使用量が200重量部を
超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落し
やすくなる傾向がある。
放射線性重合開始剤の使用量は、(C)多官能性モノマ
ーと場合により使用される単官能性モノマーとの合計1
00重量部に対して、通常、0.01〜200重量部、
好ましくは20〜100重量部、特に好ましくは40〜
70重量部である。この場合、(D)感放射線性重合開
始剤の使用量が多いほど着色層の平坦性が向上する傾向
があり、20重量部以上とすることが望ましい。但し、
(D)感放射線性重合開始剤の使用量が200重量部を
超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落し
やすくなる傾向がある。
【0108】さらに、着色感放射線性組成物において
は、(D)感放射線性重合開始剤と共に、増感剤、硬化
促進剤、高分子光架橋・増感剤等を1種以上併用するこ
ともできる。前記増感剤としては、例えば、4−ジエチ
ルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオ
フェノン、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジ
メチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、2,5−ビ
ス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、
7−ジエチルアミノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾ
イル)クマリン、4−(ジエチルアミノ)カルコン等を
挙げることができる。これらの増感剤は、単独でまたは
2種以上を混合して使用することができる。また、前記
硬化促進剤としては、例えば、2−メルカプトベンゾイ
ミダゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メ
ルカプトベンゾオキサゾール、2,5−ジメルカプト−
1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−4,6
−ジメチルアミノピリジン等の連鎖移動剤を挙げること
ができる。これらの硬化促進剤は、単独でまたは2種以
上を混合して使用することができる。また、前記高分子
光架橋・増感剤は、露光により架橋剤および/または増
感剤として作用しうる少なくとも1種の官能基を主鎖お
よび/または側鎖中に有する高分子化合物であり、その
例としては、4−アジドベンズアルデヒドとポリビニル
アルコールとの縮合物、4−アジドベンズアルデヒドと
フェノールノボラック樹脂との縮合物、けい皮酸4−ア
クリロイルフェニルの(共)重合体、1,4−ポリブタ
ジエン、1,2−ポリブタジエン等を挙げることができ
る。これらの高分子光架橋・増感剤は、単独でまたは2
種以上を混合して使用することができる。着色感放射線
性組成物において、増感剤、硬化促進剤および高分子光
架橋・増感剤の合計使用量は、(D)感放射線性重合開
始剤100重量部に対して、通常、300重量部以下、
好ましくは5〜200重量部、さらに好ましくは10〜
100重量部である。
は、(D)感放射線性重合開始剤と共に、増感剤、硬化
促進剤、高分子光架橋・増感剤等を1種以上併用するこ
ともできる。前記増感剤としては、例えば、4−ジエチ
ルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオ
フェノン、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジ
メチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、2,5−ビ
ス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、
7−ジエチルアミノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾ
イル)クマリン、4−(ジエチルアミノ)カルコン等を
挙げることができる。これらの増感剤は、単独でまたは
2種以上を混合して使用することができる。また、前記
硬化促進剤としては、例えば、2−メルカプトベンゾイ
ミダゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メ
ルカプトベンゾオキサゾール、2,5−ジメルカプト−
1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−4,6
−ジメチルアミノピリジン等の連鎖移動剤を挙げること
ができる。これらの硬化促進剤は、単独でまたは2種以
上を混合して使用することができる。また、前記高分子
光架橋・増感剤は、露光により架橋剤および/または増
感剤として作用しうる少なくとも1種の官能基を主鎖お
よび/または側鎖中に有する高分子化合物であり、その
例としては、4−アジドベンズアルデヒドとポリビニル
アルコールとの縮合物、4−アジドベンズアルデヒドと
フェノールノボラック樹脂との縮合物、けい皮酸4−ア
クリロイルフェニルの(共)重合体、1,4−ポリブタ
ジエン、1,2−ポリブタジエン等を挙げることができ
る。これらの高分子光架橋・増感剤は、単独でまたは2
種以上を混合して使用することができる。着色感放射線
性組成物において、増感剤、硬化促進剤および高分子光
架橋・増感剤の合計使用量は、(D)感放射線性重合開
始剤100重量部に対して、通常、300重量部以下、
好ましくは5〜200重量部、さらに好ましくは10〜
100重量部である。
【0109】−(E)溶媒−
着色感放射線性組成物における(E)溶媒としては、当
該組成物を構成する各成分を均一に分散または溶解し、
各成分と反応せず、かつ沸点が200℃より低いもの
(以下、「低沸点溶媒」という。)を適宜選択して使用
することができる。低沸点溶媒としては、例えば、エチ
レングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコー
ルモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−
プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチ
ルエーテル等のグリコールエーテル類;エチレングリコ
ールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコー
ルモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコール
モノ−n−プロピルエーテルアセテート、エチレングリ
コールモノ−n−ブチルエーテルアセテート等のエチレ
ングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;ジエ
チレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリ
コールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ
−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−
n−ブチルエーテル等のジエチレングリコールモノアル
キルエーテル類;プロピレングリコールモノメチルエー
テルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエー
テルアセテート等のプロピレングリコールモノアルキル
エーテルアセテート類;ジエチレングリコールジメチル
エーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テ
トラヒドロフラン等の他のエーテル類;
該組成物を構成する各成分を均一に分散または溶解し、
各成分と反応せず、かつ沸点が200℃より低いもの
(以下、「低沸点溶媒」という。)を適宜選択して使用
することができる。低沸点溶媒としては、例えば、エチ
レングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコー
ルモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−
プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチ
ルエーテル等のグリコールエーテル類;エチレングリコ
ールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコー
ルモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコール
モノ−n−プロピルエーテルアセテート、エチレングリ
コールモノ−n−ブチルエーテルアセテート等のエチレ
ングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;ジエ
チレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリ
コールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ
−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−
n−ブチルエーテル等のジエチレングリコールモノアル
キルエーテル類;プロピレングリコールモノメチルエー
テルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエー
テルアセテート等のプロピレングリコールモノアルキル
エーテルアセテート類;ジエチレングリコールジメチル
エーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テ
トラヒドロフラン等の他のエーテル類;
【0110】メチルエチルケトン、メチルイソブチルケ
トン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、シクロヘキサ
ノン等のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸メチ
ル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキ
ルエステル類;2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン
酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メト
キシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メ
チル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸
エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−
メチルブタン酸メチル、3−メチル−3−メトキシブチ
ルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピ
オネート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸n−ブ
チル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミ
ル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プ
ロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン
酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピ
ル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソ
ブタン酸エチル等の他のエステル類;トルエン、キシレ
ン等の芳香族炭化水素類等を挙げることができる。これ
らの低沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使
用することができる。
トン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、シクロヘキサ
ノン等のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸メチ
ル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキ
ルエステル類;2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン
酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メト
キシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メ
チル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸
エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−
メチルブタン酸メチル、3−メチル−3−メトキシブチ
ルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピ
オネート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸n−ブ
チル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミ
ル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プ
ロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン
酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピ
ル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソ
ブタン酸エチル等の他のエステル類;トルエン、キシレ
ン等の芳香族炭化水素類等を挙げることができる。これ
らの低沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使
用することができる。
【0111】さらに、着色感放射線性組成物において
は、沸点が200℃以上の溶媒(以下、「高沸点溶媒」
という。)を併用することが好ましく、それにより着色
層の平坦性を向上させることができる。高沸点溶媒とし
ては、例えば、ジベンジルエーテル、ジフェニルエーテ
ル、ジ−n−ヘキシルエーテル、ジ−n−ヘプチルエー
テル、ジ−n−オクチルエーテル、ジ−n−ドデシルエ
ーテル、ベンジル−n−ドデシルエーテル等のエーテル
類;イソホロン、フェニルアセトン、プロピオフェノ
ン、ブチロフェノン、ペンチロフェノン等のケトン類;
カプロン酸、カプリル酸等のカルボン酸類;1−オクタ
ノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール等のアル
コール類;安息香酸エチル、マロン酸ジプロピル、マレ
イン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン等のエステルまた
はラクトン類;炭酸エチレン、炭酸プロピレン等の炭酸
アルキレン類;ジエチレングリコールモノ−n−ブチル
エーテル、ジエチレングリコールモノフェニルエーテ
ル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル
等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテ
ルまたは(ポリ)アルキレングリコールモノアリールエ
ーテル類;ジエチレングリコールモノエチルエーテルア
セテート、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエー
テルアセテート、ジエチレングリコールモノフェニルエ
ーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチル
エーテルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコール
モノアルキルエーテルアセテートまたは(ポリ)アルキ
レングリコールモノアリールエーテルアセテート類等を
挙げることができる。これらの高沸点溶媒は、単独でま
たは2種以上を混合して使用することができる。
は、沸点が200℃以上の溶媒(以下、「高沸点溶媒」
という。)を併用することが好ましく、それにより着色
層の平坦性を向上させることができる。高沸点溶媒とし
ては、例えば、ジベンジルエーテル、ジフェニルエーテ
ル、ジ−n−ヘキシルエーテル、ジ−n−ヘプチルエー
テル、ジ−n−オクチルエーテル、ジ−n−ドデシルエ
ーテル、ベンジル−n−ドデシルエーテル等のエーテル
類;イソホロン、フェニルアセトン、プロピオフェノ
ン、ブチロフェノン、ペンチロフェノン等のケトン類;
カプロン酸、カプリル酸等のカルボン酸類;1−オクタ
ノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール等のアル
コール類;安息香酸エチル、マロン酸ジプロピル、マレ
イン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン等のエステルまた
はラクトン類;炭酸エチレン、炭酸プロピレン等の炭酸
アルキレン類;ジエチレングリコールモノ−n−ブチル
エーテル、ジエチレングリコールモノフェニルエーテ
ル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル
等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテ
ルまたは(ポリ)アルキレングリコールモノアリールエ
ーテル類;ジエチレングリコールモノエチルエーテルア
セテート、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエー
テルアセテート、ジエチレングリコールモノフェニルエ
ーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチル
エーテルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコール
モノアルキルエーテルアセテートまたは(ポリ)アルキ
レングリコールモノアリールエーテルアセテート類等を
挙げることができる。これらの高沸点溶媒は、単独でま
たは2種以上を混合して使用することができる。
【0112】着色感放射線性組成物において、高沸点溶
媒の使用割合は、全溶媒に対して、好ましくは40重量
%以下、さらに好ましくは30重量%以下、特に好まし
くは1〜20重量%である。この場合、高沸点溶媒の使
用割合が高いほど着色層の平坦性が向上するが、40重
量%を超えると、組成物の塗布後の乾燥がやや困難とな
り、画素パターンが所定の配列に従って配置された画素
アレイを得ることが困難となるおそれがある。また、着
色感放射線性組成物において、(E)溶媒の使用量は、
(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、通
常、100〜10,000重量部、好ましくは500〜
5,000重量部である。
媒の使用割合は、全溶媒に対して、好ましくは40重量
%以下、さらに好ましくは30重量%以下、特に好まし
くは1〜20重量%である。この場合、高沸点溶媒の使
用割合が高いほど着色層の平坦性が向上するが、40重
量%を超えると、組成物の塗布後の乾燥がやや困難とな
り、画素パターンが所定の配列に従って配置された画素
アレイを得ることが困難となるおそれがある。また、着
色感放射線性組成物において、(E)溶媒の使用量は、
(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、通
常、100〜10,000重量部、好ましくは500〜
5,000重量部である。
【0113】−添加剤−
さらに、着色感放射線性組成物には、種々の添加剤を配
合することができる。前記添加剤としては、例えば、ガ
ラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポ
リエチレングリコールモノアルキルエーテル類、ポリ
(フロロアルキルアクリレート)類等の高分子化合物;
ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオ
ン系界面活性剤等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシ
ラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−
メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)
−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−
(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキ
シシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3
−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリ
シドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,
4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラ
ン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−
クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイ
ルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプト
プロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−
チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、
2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2
−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェ
ニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベ
ンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナト
リウム等の凝集防止剤等を挙げることができる。
合することができる。前記添加剤としては、例えば、ガ
ラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポ
リエチレングリコールモノアルキルエーテル類、ポリ
(フロロアルキルアクリレート)類等の高分子化合物;
ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオ
ン系界面活性剤等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシ
ラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−
メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)
−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−
(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキ
シシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3
−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリ
シドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,
4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラ
ン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−
クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイ
ルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプト
プロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−
チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、
2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2
−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェ
ニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベ
ンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナト
リウム等の凝集防止剤等を挙げることができる。
【0114】着色液状組成物
着色感放射線性組成物は、好ましくは例えば孔径2μm
程度のフィルターによりろ過した着色液状組成物とし
て、着色層の形成に供される。着色感放射線性組成物に
おいては、平坦性に優れた着色層を得る観点から、
(B)アルカリ可溶性樹脂の分子量を高くすること、
(C)多官能性モノマーの使用量を多くすること、
(D)感放射線性重合開始剤の使用量を多くすること、
あるいは(E)溶媒として低沸点溶媒と高沸点溶媒との
混合溶媒を使用することの少なくとも一つの条件を充足
させることが好ましい。
程度のフィルターによりろ過した着色液状組成物とし
て、着色層の形成に供される。着色感放射線性組成物に
おいては、平坦性に優れた着色層を得る観点から、
(B)アルカリ可溶性樹脂の分子量を高くすること、
(C)多官能性モノマーの使用量を多くすること、
(D)感放射線性重合開始剤の使用量を多くすること、
あるいは(E)溶媒として低沸点溶媒と高沸点溶媒との
混合溶媒を使用することの少なくとも一つの条件を充足
させることが好ましい。
【0115】半透過型カラーフィルタの形成方法
次に、本発明の半透過型カラーフィルタの形成方法につ
いて説明する。半透過型カラーフィルタの形成方法は、
基本的に、基板の表面上に、必要に応じて、着色層を形
成する部分を区画するように遮光層を形成したのち、こ
の基板上に、突起部を形成するとともに、該突起部の表
面(突起部が不透明もしくは半透明の場合)または底部
(突起部が透明の場合)に光反射層を形成し、次いで該
突起部および残りの基板表面を被覆するように着色層を
形成することからなる。以下、突起部および着色層の形
成方法について具体的に説明する。
いて説明する。半透過型カラーフィルタの形成方法は、
基本的に、基板の表面上に、必要に応じて、着色層を形
成する部分を区画するように遮光層を形成したのち、こ
の基板上に、突起部を形成するとともに、該突起部の表
面(突起部が不透明もしくは半透明の場合)または底部
(突起部が透明の場合)に光反射層を形成し、次いで該
突起部および残りの基板表面を被覆するように着色層を
形成することからなる。以下、突起部および着色層の形
成方法について具体的に説明する。
【0116】半透過型カラーフィルタを形成する際に使
用される基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポ
リカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポ
リアミドイミド、ポリイミド等を挙げることができる。
これらの基板には、所望により、シランカップリング剤
等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティン
グ、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の
前処理を施しておくこともできる。
用される基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポ
リカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポ
リアミドイミド、ポリイミド等を挙げることができる。
これらの基板には、所望により、シランカップリング剤
等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティン
グ、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の
前処理を施しておくこともできる。
【0117】まず、基板に突起用組成物溶液を塗布した
のち、プレベークを行って溶媒を蒸発させ、塗膜を形成
する。突起用組成物溶液を基板に塗布する際には、回転
塗布、流延塗布、ロール塗布、スプレー塗布等の適宜の
塗布法を採用することができる。塗布厚さは、乾燥後の
膜厚として、通常、0.5〜5.0μm、好ましくは
1.0〜3.5μm、特に好ましくは1.5〜3.0μ
mである。その後、この塗膜にフォトマスクを介して放
射線を露光したのち、アルカリ現像液を用いて現像し
て、塗膜の未露光部を溶解除去し、その後必要に応じて
ポストベークすることにより、突起部を形成する。突起
部を形成する際に使用される放射線としては、例えば、
可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用す
ることができるが、波長が190〜450nmの範囲に
ある放射線が好ましく、特に波長365nmの紫外線を
含む放射線が好ましい。放射線の露光量は、通常、40
0〜9,000J/m2 、好ましくは600〜4,50
0J/m2 である。
のち、プレベークを行って溶媒を蒸発させ、塗膜を形成
する。突起用組成物溶液を基板に塗布する際には、回転
塗布、流延塗布、ロール塗布、スプレー塗布等の適宜の
塗布法を採用することができる。塗布厚さは、乾燥後の
膜厚として、通常、0.5〜5.0μm、好ましくは
1.0〜3.5μm、特に好ましくは1.5〜3.0μ
mである。その後、この塗膜にフォトマスクを介して放
射線を露光したのち、アルカリ現像液を用いて現像し
て、塗膜の未露光部を溶解除去し、その後必要に応じて
ポストベークすることにより、突起部を形成する。突起
部を形成する際に使用される放射線としては、例えば、
可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用す
ることができるが、波長が190〜450nmの範囲に
ある放射線が好ましく、特に波長365nmの紫外線を
含む放射線が好ましい。放射線の露光量は、通常、40
0〜9,000J/m2 、好ましくは600〜4,50
0J/m2 である。
【0118】また、前記アルカリ現像液としては、例え
ば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウ
ム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コ
リン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−
ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]
−5−ノネン等の水溶液が好ましい。アルカリ現像液の
pHは、好ましくは10.0〜13.0であり、またア
ルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の
水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもで
きる。現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー
現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現
像法等を適用することができ、現像条件は、常温で10
〜180秒程度が好ましい。なお、アルカリ現像後は、
通常、水洗する。
ば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウ
ム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コ
リン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−
ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]
−5−ノネン等の水溶液が好ましい。アルカリ現像液の
pHは、好ましくは10.0〜13.0であり、またア
ルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の
水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもで
きる。現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー
現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現
像法等を適用することができ、現像条件は、常温で10
〜180秒程度が好ましい。なお、アルカリ現像後は、
通常、水洗する。
【0119】次いで、突起部の表面に、例えば金属蒸着
することにより、所定の光反射層を形成する。但し、突
起部が透明である場合には、光反射層を突起部と基板と
の間に形成することもできる。光反射層に用いられる金
属としては、例えば、アルミニウム、銀や、これらの金
属の合金等を挙げることができる。
することにより、所定の光反射層を形成する。但し、突
起部が透明である場合には、光反射層を突起部と基板と
の間に形成することもできる。光反射層に用いられる金
属としては、例えば、アルミニウム、銀や、これらの金
属の合金等を挙げることができる。
【0120】次いで、例えば赤色の着色剤を含有する着
色感放射線性組成物を塗布したのち、プレベークを行っ
て溶剤を蒸発させ、塗膜を形成する。その後、この塗膜
にフォトマスクを介して放射線を露光したのち、アルカ
リ現像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去
し、その後必要に応じてポストベークすることにより、
赤色の画素パターンが所定の配列で配置された画素アレ
イを形成する。また、緑色または青色の着色剤を含有す
る各着色感放射線性組成物を用い、前記と同様にして、
塗布、プレベーク、露光および現像を行い、その後必要
に応じてポストベークを行って、緑色の画素アレイおよ
び青色の画素アレイを同一基板上に形成することによ
り、赤色、緑色および青色の三原色の画素アレイからな
る着色層が基板上に配置されたカラーフィルタを得る。
但し、着色層を形成する際の各色の画素パターンの形成
順序は、前記に限定されるものではない。着色感放射線
性組成物を基板に塗布する際には、回転塗布、流延塗
布、ロール塗布、スプレー塗布等の適宜の塗布法を採用
することができる。塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、
通常、0.1〜10μm、好ましくは0.2〜5.0μ
m、特に好ましくは0.2〜3.0μmである。着色層
を形成する際に使用される放射線としては、例えば、可
視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用する
ことができるが、波長が190〜450nmの範囲にあ
る放射線が好ましい。放射線の露光量は、好ましくは1
0〜10,000J/m2 である。
色感放射線性組成物を塗布したのち、プレベークを行っ
て溶剤を蒸発させ、塗膜を形成する。その後、この塗膜
にフォトマスクを介して放射線を露光したのち、アルカ
リ現像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去
し、その後必要に応じてポストベークすることにより、
赤色の画素パターンが所定の配列で配置された画素アレ
イを形成する。また、緑色または青色の着色剤を含有す
る各着色感放射線性組成物を用い、前記と同様にして、
塗布、プレベーク、露光および現像を行い、その後必要
に応じてポストベークを行って、緑色の画素アレイおよ
び青色の画素アレイを同一基板上に形成することによ
り、赤色、緑色および青色の三原色の画素アレイからな
る着色層が基板上に配置されたカラーフィルタを得る。
但し、着色層を形成する際の各色の画素パターンの形成
順序は、前記に限定されるものではない。着色感放射線
性組成物を基板に塗布する際には、回転塗布、流延塗
布、ロール塗布、スプレー塗布等の適宜の塗布法を採用
することができる。塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、
通常、0.1〜10μm、好ましくは0.2〜5.0μ
m、特に好ましくは0.2〜3.0μmである。着色層
を形成する際に使用される放射線としては、例えば、可
視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用する
ことができるが、波長が190〜450nmの範囲にあ
る放射線が好ましい。放射線の露光量は、好ましくは1
0〜10,000J/m2 である。
【0121】また、前記アルカリ現像液としては、例え
ば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウ
ム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コ
リン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−
ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]
−5−ノネン等の水溶液が好ましい。前記アルカリ現像
液のpHは、好ましくは10.0〜13.0である。前
記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール
等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加すること
もできる。現像処理法としては、シャワー現像法、スプ
レー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛
り)現像法等を適用することができ、現像条件は、常温
で5〜300秒が好ましい。なお、アルカリ現像後は、
通常、水洗する。
ば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウ
ム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コ
リン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−
ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]
−5−ノネン等の水溶液が好ましい。前記アルカリ現像
液のpHは、好ましくは10.0〜13.0である。前
記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール
等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加すること
もできる。現像処理法としては、シャワー現像法、スプ
レー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛
り)現像法等を適用することができ、現像条件は、常温
で5〜300秒が好ましい。なお、アルカリ現像後は、
通常、水洗する。
【0122】半透過型カラーフィルタの特性
ここで、本発明の半透過型カラーフィルタの特性につい
て、さらに具体的に説明する。本発明の半透過型カラー
フィルタにおいて、突起部の形状は、縦断面形状が基本
的には底面が平面の凸レンズ状で、上面から観察した平
面形状が円形ないし略円形である。突起部の平面形状の
直径は、通常、1〜30μm、好ましくは5〜20μm
であり、突起部の高さ(基板表面から突起部の頂点まで
の、基板表面に垂直な距離)は、好ましくは0.1〜5
μm、さらに好ましくは0.2〜3μmである。突起部
は光反射領域に位置し、該突起部が半透明あるいは不透
明の場合は、その表面に光反射層が形成され、また突起
部が透明である場合には、光反射層は突起部の表面でも
突起部と基板との間でもよい。
て、さらに具体的に説明する。本発明の半透過型カラー
フィルタにおいて、突起部の形状は、縦断面形状が基本
的には底面が平面の凸レンズ状で、上面から観察した平
面形状が円形ないし略円形である。突起部の平面形状の
直径は、通常、1〜30μm、好ましくは5〜20μm
であり、突起部の高さ(基板表面から突起部の頂点まで
の、基板表面に垂直な距離)は、好ましくは0.1〜5
μm、さらに好ましくは0.2〜3μmである。突起部
は光反射領域に位置し、該突起部が半透明あるいは不透
明の場合は、その表面に光反射層が形成され、また突起
部が透明である場合には、光反射層は突起部の表面でも
突起部と基板との間でもよい。
【0123】着色層の縦断面形状は、突起部の上方に位
置する光反射領域ではある程度上方に突出し、また突起
部が存在しない領域ではある程度下方に突出することが
避けられないが、本発明の半透過型カラーフィルタは、
これらの突出する幅(突出値)を小さくすることができ
る。即ち、本発明の半透過型カラーフィルタは、着色層
の光反射領域における突出値〔I〕が、好ましくは0.
1μm以下、さらに好ましくは0.07μm以下、特に
好ましくは0.05μm以下であり、また着色層の光透
過領域における突出値〔II〕が、好ましくは0.1μm
以下、さらに好ましくは0.07μm以下、特に好まし
くは0.05μm以下である。ここで、「着色層の光反
射領域における突出値〔I〕」とは、図1に示すよう
に、突起部の上方の光反射領域5における着色層の縦断
面において、着色層の平坦な側面に接する平面7が該側
面から離れる上方の位置aと該着色層の頂部との間の、
基板表面に垂直な距離を意味し、また「着色層の光透過
領域における突出値〔II〕」とは、図1に示すように、
突起部が存在しない光透過領域6における着色層の縦断
面において、突起部の上方に位置する着色層の側面に接
する平面7が該側面から離れる下方の位置bと該着色層
の底部との間の、基板表面に垂直な距離を意味する。本
発明の半透過型カラーフィルタは、突出値〔I〕および
突出値〔II〕が前記条件を満たすことにより、バックラ
イト使用時と反射型として使用するときとの間で色純度
をほぼ同等とすることができ、特にバックライト使用時
の色純度を高めることが可能となる。
置する光反射領域ではある程度上方に突出し、また突起
部が存在しない領域ではある程度下方に突出することが
避けられないが、本発明の半透過型カラーフィルタは、
これらの突出する幅(突出値)を小さくすることができ
る。即ち、本発明の半透過型カラーフィルタは、着色層
の光反射領域における突出値〔I〕が、好ましくは0.
1μm以下、さらに好ましくは0.07μm以下、特に
好ましくは0.05μm以下であり、また着色層の光透
過領域における突出値〔II〕が、好ましくは0.1μm
以下、さらに好ましくは0.07μm以下、特に好まし
くは0.05μm以下である。ここで、「着色層の光反
射領域における突出値〔I〕」とは、図1に示すよう
に、突起部の上方の光反射領域5における着色層の縦断
面において、着色層の平坦な側面に接する平面7が該側
面から離れる上方の位置aと該着色層の頂部との間の、
基板表面に垂直な距離を意味し、また「着色層の光透過
領域における突出値〔II〕」とは、図1に示すように、
突起部が存在しない光透過領域6における着色層の縦断
面において、突起部の上方に位置する着色層の側面に接
する平面7が該側面から離れる下方の位置bと該着色層
の底部との間の、基板表面に垂直な距離を意味する。本
発明の半透過型カラーフィルタは、突出値〔I〕および
突出値〔II〕が前記条件を満たすことにより、バックラ
イト使用時と反射型として使用するときとの間で色純度
をほぼ同等とすることができ、特にバックライト使用時
の色純度を高めることが可能となる。
【0124】本発明の半透過型カラーフィルタは、着色
層の光反射領域における膜厚Drが、好ましくは0.2
〜2.0μm、さらに好ましくは0.3〜1.5μm、
特に好ましくは0.5〜1.0μmであり、かつ着色層
の光透過領域における膜厚Dtが、好ましくは0.3〜
6.0μm、さらに好ましくは0.5〜4.0μm、特
に好ましくは1.0〜2.5μmである。ここで、「着
色層の光反射領域における膜厚」とは、突起部とその上
方の光反射領域における着色層とを通る縦断面におい
て、突起部の頂部(但し、光反射層を突起部表面に形成
した場合は該光反射層の表面)と着色層の頂部との間
の、基板表面に垂直な距離を意味し、「着色層の光透過
領域における膜厚」とは、突起部が存在しない光透過領
域における着色層の縦断面において、着色層の底部と基
板表面との間の、基板表面に垂直な距離を意味する。ま
た、着色層の膜厚Dtと膜厚Drとの比(Dt/Dr)
は、好ましくは1.5〜6.0、さらに好ましくは2.
0〜5.0である。
層の光反射領域における膜厚Drが、好ましくは0.2
〜2.0μm、さらに好ましくは0.3〜1.5μm、
特に好ましくは0.5〜1.0μmであり、かつ着色層
の光透過領域における膜厚Dtが、好ましくは0.3〜
6.0μm、さらに好ましくは0.5〜4.0μm、特
に好ましくは1.0〜2.5μmである。ここで、「着
色層の光反射領域における膜厚」とは、突起部とその上
方の光反射領域における着色層とを通る縦断面におい
て、突起部の頂部(但し、光反射層を突起部表面に形成
した場合は該光反射層の表面)と着色層の頂部との間
の、基板表面に垂直な距離を意味し、「着色層の光透過
領域における膜厚」とは、突起部が存在しない光透過領
域における着色層の縦断面において、着色層の底部と基
板表面との間の、基板表面に垂直な距離を意味する。ま
た、着色層の膜厚Dtと膜厚Drとの比(Dt/Dr)
は、好ましくは1.5〜6.0、さらに好ましくは2.
0〜5.0である。
【0125】本発明の半透過型カラーフィルタは、例え
ば、一般のカラー液晶表示装置のほか、カラー撮像管素
子、カラーセンサー等に極めて有用である。
ば、一般のカラー液晶表示装置のほか、カラー撮像管素
子、カラーセンサー等に極めて有用である。
【0126】
【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態は、
下記(1)〜(5)のとおりである。 (1) 着色層の光反射領域における突出値〔I〕が、
0.1μm以下、さらに好ましくは0.07μm以下、
特に好ましくは0.05μm以下であり、かつ光透過領
域における突出値〔II〕が、0.1μm以下、さらに好
ましくは0.07μm以下、特に好ましくは0.05μ
m以下である半透過型カラーフィルタ。 (2) 着色層の膜厚Drが、好ましくは0.2〜2.
0μm、さらに好ましくは0.3〜1.5μm、特に好
ましくは0.5〜1.0μmであり、かつ着色層の膜厚
Dtが、好ましくは0.3〜6.0μm、さらに好まし
くは0.5〜4.0μm、特に好ましくは1.0〜2.
5μmである前記(1)の半透過型カラーフィルタ。
下記(1)〜(5)のとおりである。 (1) 着色層の光反射領域における突出値〔I〕が、
0.1μm以下、さらに好ましくは0.07μm以下、
特に好ましくは0.05μm以下であり、かつ光透過領
域における突出値〔II〕が、0.1μm以下、さらに好
ましくは0.07μm以下、特に好ましくは0.05μ
m以下である半透過型カラーフィルタ。 (2) 着色層の膜厚Drが、好ましくは0.2〜2.
0μm、さらに好ましくは0.3〜1.5μm、特に好
ましくは0.5〜1.0μmであり、かつ着色層の膜厚
Dtが、好ましくは0.3〜6.0μm、さらに好まし
くは0.5〜4.0μm、特に好ましくは1.0〜2.
5μmである前記(1)の半透過型カラーフィルタ。
【0127】(3) (イ)突起用感放射線性組成物お
よび(ロ)突起用感放射線性組成物の群から選ばれる少
なくとも1種からなる突起用感放射線性組成物であっ
て、(イ)突起用感放射線性組成物において、(a
1)共重合体のMwが2,000〜100,000、特
に好ましくは5,000〜50,000であり、(b
1)1,2−キノンジアジド化合物の使用量が、(a
1)共重合体100重量部に対して、5〜100重量
部、特に好ましくは10〜50重量部である条件の少な
くとも一つを充足し、(ロ)突起用感放射線性組成物に
おいて、(a2)共重合体のMwが2,000〜10
0,000、特に好ましくは5,000〜50,000
であり、(b2)感放射線性重合開始剤の使用量が、
(a2)共重合体100重量部に対して、1〜50重量
部、特に好ましくは5〜35重量部であり、(c2)
不飽和モノマーの使用量が、(a2)共重合体100重
量部に対して、30〜200重量部、特に好ましくは5
0〜140重量部である条件の少なくとも一つを充足す
る、前記(1)または(2)の半透過型カラーフィルタ
における突起部の形成に用いられる突起用感放射線性組
成物。
よび(ロ)突起用感放射線性組成物の群から選ばれる少
なくとも1種からなる突起用感放射線性組成物であっ
て、(イ)突起用感放射線性組成物において、(a
1)共重合体のMwが2,000〜100,000、特
に好ましくは5,000〜50,000であり、(b
1)1,2−キノンジアジド化合物の使用量が、(a
1)共重合体100重量部に対して、5〜100重量
部、特に好ましくは10〜50重量部である条件の少な
くとも一つを充足し、(ロ)突起用感放射線性組成物に
おいて、(a2)共重合体のMwが2,000〜10
0,000、特に好ましくは5,000〜50,000
であり、(b2)感放射線性重合開始剤の使用量が、
(a2)共重合体100重量部に対して、1〜50重量
部、特に好ましくは5〜35重量部であり、(c2)
不飽和モノマーの使用量が、(a2)共重合体100重
量部に対して、30〜200重量部、特に好ましくは5
0〜140重量部である条件の少なくとも一つを充足す
る、前記(1)または(2)の半透過型カラーフィルタ
における突起部の形成に用いられる突起用感放射線性組
成物。
【0128】(4) (B)アルカリ可溶性樹脂のM
wが、3,000〜300,000、さらに好ましくは
5,000〜80,000、特に好ましくは10,00
0〜50,000で、(B)アルカリ可溶性樹脂のMn
が、1,500〜60,000、さらに好ましくは3,
000〜25,000、特に好ましくは5,000〜2
0,000であり、(C)多官能性モノマーの使用量
が、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、
50〜300重量部、特に好ましくは100〜300重
量部であり、(D)感放射線性重合開始剤の使用量
が、(C)多官能性モノマーと場合により使用される単
官能性モノマーとの合計100重量部に対して、20〜
100重量部、特に好ましくは40〜70重量部であ
り、(E)高沸点溶媒が全溶媒に対して40重量%以
下、さらに好ましくは30重量%以下、特に好ましくは
1〜20重量%である条件の少なくとも一つを充足す
る、前記(1)または(2)の半透過型カラーフィルタ
における着色層の形成に用いられる着色感放射線性組成
物。
wが、3,000〜300,000、さらに好ましくは
5,000〜80,000、特に好ましくは10,00
0〜50,000で、(B)アルカリ可溶性樹脂のMn
が、1,500〜60,000、さらに好ましくは3,
000〜25,000、特に好ましくは5,000〜2
0,000であり、(C)多官能性モノマーの使用量
が、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、
50〜300重量部、特に好ましくは100〜300重
量部であり、(D)感放射線性重合開始剤の使用量
が、(C)多官能性モノマーと場合により使用される単
官能性モノマーとの合計100重量部に対して、20〜
100重量部、特に好ましくは40〜70重量部であ
り、(E)高沸点溶媒が全溶媒に対して40重量%以
下、さらに好ましくは30重量%以下、特に好ましくは
1〜20重量%である条件の少なくとも一つを充足す
る、前記(1)または(2)の半透過型カラーフィルタ
における着色層の形成に用いられる着色感放射線性組成
物。
【0129】(5) 前記(1)または(2)の半透過
型カラーフィルタを具備してなり、当該半透過型カラー
フィルタが、突起部が前記(3)の突起用感放射線性組
成物から形成され、および/または着色層が前記(4)
の着色感放射線性組成物から形成された、カラー液晶表
示素子。
型カラーフィルタを具備してなり、当該半透過型カラー
フィルタが、突起部が前記(3)の突起用感放射線性組
成物から形成され、および/または着色層が前記(4)
の着色感放射線性組成物から形成された、カラー液晶表
示素子。
【0130】以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形
態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、これら
の実施例に何ら制約されるものではない。ここで、部お
よび%は重量基準である。 〈顔料分散ペーストの調製〉下記に示す顔料、顔料分散
剤、顔料分散助剤および溶媒を調合し、サンドミルにて
分散化処理を行って、緑色顔料分散ペーストおよび青色
顔料分散ペーストを調製した。緑色顔料分散ペースト ・顔料(部) C.I.ピグメントグリーン36 (10) C.I.ピグメントイエロー150 ( 5) ・顔料分散剤(部) ソルスパースS24000 ( 4) ・顔料分散助剤(部) ソルスパースS5000 ( 1) ・溶媒(部) 3−メトキシプロピルアセテート (80)
態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、これら
の実施例に何ら制約されるものではない。ここで、部お
よび%は重量基準である。 〈顔料分散ペーストの調製〉下記に示す顔料、顔料分散
剤、顔料分散助剤および溶媒を調合し、サンドミルにて
分散化処理を行って、緑色顔料分散ペーストおよび青色
顔料分散ペーストを調製した。緑色顔料分散ペースト ・顔料(部) C.I.ピグメントグリーン36 (10) C.I.ピグメントイエロー150 ( 5) ・顔料分散剤(部) ソルスパースS24000 ( 4) ・顔料分散助剤(部) ソルスパースS5000 ( 1) ・溶媒(部) 3−メトキシプロピルアセテート (80)
【0131】青色顔料分散ペースト
・顔料(部)
C.I.ピグメントブルー15:6 (15)
・顔料分散剤(部)
BYK−165 ( 4)
・顔料分散助剤(部)
ソルスパースS5000 ( 1)
・溶剤(部)
3−エトキシプロピオン酸エチル (80)
【0132】〈着色感放射線性組成物の調製〉前記各顔
料分散ペーストを用い、以下の着色感放射線性組成物を
調製した。 −緑色感放射線性組成物(i) − (A)前記緑色顔料分散ペースト 60部 (B)アルカリ可溶性樹脂 ・メタクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/メタクリル酸ベ ンジル共重合体(共重合重量比=15/15/25/45、Mw=9 ,000、Mn=4,000) 75部 (C)多官能モノマー ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 75部 (D)感放射線性重合開始剤 ・1−(4−モルフォリノフェニル)−2−ベンジル−2−ジメチルア ミノブタン−1−オン 25部 ・2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾ ール 2部 ・4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 2部 ・2−メルカプトベンゾフェノン 1部 (E)溶媒 ・3−エトキシプロピオン酸エチル 700部 ・シクロヘキサノン 100部 ・ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート 100部
料分散ペーストを用い、以下の着色感放射線性組成物を
調製した。 −緑色感放射線性組成物(i) − (A)前記緑色顔料分散ペースト 60部 (B)アルカリ可溶性樹脂 ・メタクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/メタクリル酸ベ ンジル共重合体(共重合重量比=15/15/25/45、Mw=9 ,000、Mn=4,000) 75部 (C)多官能モノマー ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 75部 (D)感放射線性重合開始剤 ・1−(4−モルフォリノフェニル)−2−ベンジル−2−ジメチルア ミノブタン−1−オン 25部 ・2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾ ール 2部 ・4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 2部 ・2−メルカプトベンゾフェノン 1部 (E)溶媒 ・3−エトキシプロピオン酸エチル 700部 ・シクロヘキサノン 100部 ・ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート 100部
【0133】
−緑色感放射線性組成物(ii)−
(A)前記緑色顔料分散ペースト 90部
(B)アルカリ可溶性樹脂
・メタクリル酸/メタクリル酸2−ヒドロキシエチル/メタクリル酸ベ
ンジル共重合体(共重合重量比=15/15/70、Mw=9,00
0、Mn=4,000) 75部
(C)多官能モノマー
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 75部
(D)感放射線性重合開始剤
・1−(4−モルフォリノフェニル)−2−ベンジル−2−ジメチルア
ミノブタン−1−オン 25部
・2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾ
ール 2部
・4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 2部
・2−メルカプトベンゾフェノン 1部
(E)溶媒
・3−エトキシプロピオン酸エチル 700部
・シクロヘキサノン 100部
・ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート
100部
【0134】
−緑色感放射線性組成物(iii)−
(A)前記緑色顔料分散ペースト 150部
(B)アルカリ可溶性樹脂
・メタクリル酸/メタクリル酸2−ヒドロキシエチル/メタクリル酸ベ
ンジル共重合体(共重合重量比=15/15/70、Mw=9,00
0、Mn=4,000) 75部
(C)多官能モノマー
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 75部
(D)感放射線性重合開始剤
・1−(4−メチルチオフェニル)−2−メチル−2−モルフォリノプ
ロパン−1−オン 25部
・2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾ
ール 2部
・4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 2部
・2−メルカプトベンゾフェノン 1部
(E)溶媒
・3−エトキシプロピオン酸エチル 700部
・シクロヘキサノン 100部
・ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート
100部
【0135】
−緑色感放射線性組成物(iv) −
(A)前記緑色顔料分散ペースト 90部
(B)アルカリ可溶性樹脂
・メタクリル酸/メタクリル酸2−ヒドロキシエチル/メタクリル酸ベ
ンジル共重合体(共重合重量比=15/15/70、Mw=9,00
0、Mn=4,000) 75部
(C)多官能モノマー
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 150部
(D)感放射線性重合開始剤
・1−(4−モルフォリノフェニル)−2−ベンジル−2−ジメチルア
ミノブタン−1−オン 25部
・2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾ
ール 2部
・4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 2部
・2−メルカプトベンゾフェノン 1部
(E)溶媒
・3−エトキシプロピオン酸エチル 800部
・シクロヘキサノン 100部
【0136】
−緑色感放射線性組成物(v) −
(A)前記緑色顔料分散ペースト 90部
(B)アルカリ可溶性樹脂
・メタクリル酸/メタクリル酸2−ヒドロキシエチル/メタクリル酸ベ
ンジル共重合体(共重合重量比=15/15/70、Mw=9,00
0、Mn=4,000) 75部
(C)多官能モノマー
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 75部
(D)感放射線性重合開始剤
・1−(4−モルフォリノフェニル)−2−ベンジル−2−ジメチルア
ミノブタン−1−オン 50部
・2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾ
ール 2部
・4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 2部
・2−メルカプトベンゾフェノン 1部
(E)溶媒
・3−エトキシプロピオン酸エチル 800部
・シクロヘキサノン 100部
【0137】
−緑色感放射線性組成物(vi) −
(A)前記緑色顔料分散ペースト 90部
(B)アルカリ可溶性樹脂
・メタクリル酸/メタクリル酸2−ヒドロキシエチル/メタクリル酸ベ
ンジル共重合体(共重合重量比=15/15/70、Mw=25,0
00、Mn=13,000) 75部
(C)多官能モノマー
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 75部
(D)感放射線性重合開始剤
・1−(4−モルフォリノフェニル)−2−ベンジル−2−ジメチルア
ミノブタン−1−オン 25部
・2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾ
ール 2部
・4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 2部
・2−メルカプトベンゾフェノン 1部
(E)溶媒
・3−エトキシプロピオン酸エチル 800部
・シクロヘキサノン 100部
【0138】
−緑色感放射線性組成物(vii)−
(A)前記緑色顔料分散ペースト 90部
(B)アルカリ可溶性樹脂
・メタクリル酸/メタクリル酸2−ヒドロキシエチル/メタクリル酸ベ
ンジル共重合体(共重合重量比=15/15/70、Mw=9,00
0、Mn=4,000) 75部
(C)多官能モノマー
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 75部
(D)感放射線性重合開始剤
・1−(4−モルフォリノフェニル)−2−ベンジル−2−ジメチルア
ミノブタン−1−オン 25部
・2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾ
ール 2部
・4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 2部
・2−メルカプトベンゾフェノン 1部
(E)溶媒
・3−エトキシプロピオン酸エチル 800部
・シクロヘキサノン 100部
【0139】
−青色感放射線性組成物(i)−
(A)前述青色顔料分散ペースト 140部
(B)アルカリ可溶性樹脂
・メタクリル酸/メタクリル酸2−ヒドロキシエチル/メタクリル酸ベ
ンジル共重合体(共重合重量比=15/15/70、Mw=9,00
0、Mn=4,000) 75部
(C)多官能モノマー
・ペンタエリスリトールテトラアクリレート 75部
(D)感放射線性重合開始剤
・1−(4−モルフォリノフェニル)−2−ベンジル−2−ジメチルア
ミノブタン−1−オン 25部
・2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾ
ール 2部
・4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 2部
・2−メルカプトベンゾフェノン 1部
(E)溶媒
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 700部
・シクロヘキサノン 100部
・ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート
100部
【0140】〈突起用組成物溶液の調製〉
(a1)共重合体としてメタクリル酸/メタクリル酸グ
リシジル/スチレン共重合体(共重合重合比=25/5
0/25、Mw=25,000)100部と、(b1)
1,2−キノンジアジドとして4,4’−[1−[4−
[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチ
ル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール(1モル)
と1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸クロ
リド(2モル)との縮合物30部とを混合し、固形分濃
度が32%になるようにジエチレングリコールジメチル
エーテルに溶解したのち、孔径0.2μmのフィルタで
ろ過して、突起用組成物溶液を調製した。
リシジル/スチレン共重合体(共重合重合比=25/5
0/25、Mw=25,000)100部と、(b1)
1,2−キノンジアジドとして4,4’−[1−[4−
[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチ
ル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール(1モル)
と1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸クロ
リド(2モル)との縮合物30部とを混合し、固形分濃
度が32%になるようにジエチレングリコールジメチル
エーテルに溶解したのち、孔径0.2μmのフィルタで
ろ過して、突起用組成物溶液を調製した。
【0141】〈基板1の作製〉前記突起用組成物溶液
を、ガラス基板(商品名コーニング#1737)上にス
ピンコーターを用いて塗布したのち、90℃のホットプ
レート上で3分間プレベークを行って、塗膜を形成し
た。次いで、得られた塗膜に所定のフォトマスクを用い
て、波長365nmの強度が100W/m2 である紫外
線を5秒間照射した。その後、テトラメチルアンモニウ
ムヒドロキシドの0.2%水溶液により、25℃でシャ
ワー現像を90秒間行ったのち、純水で1分間流水洗浄
した。その後、波長365nmの強度が100W/m2
である紫外線を全面に30秒間露光したのち、120℃
のホットプレート上で2分間加熱し、さらに220℃の
オーブン中で60分間加熱することにより硬化させて、
高さ1.5μmの突起部を有する基板1を作製した。
を、ガラス基板(商品名コーニング#1737)上にス
ピンコーターを用いて塗布したのち、90℃のホットプ
レート上で3分間プレベークを行って、塗膜を形成し
た。次いで、得られた塗膜に所定のフォトマスクを用い
て、波長365nmの強度が100W/m2 である紫外
線を5秒間照射した。その後、テトラメチルアンモニウ
ムヒドロキシドの0.2%水溶液により、25℃でシャ
ワー現像を90秒間行ったのち、純水で1分間流水洗浄
した。その後、波長365nmの強度が100W/m2
である紫外線を全面に30秒間露光したのち、120℃
のホットプレート上で2分間加熱し、さらに220℃の
オーブン中で60分間加熱することにより硬化させて、
高さ1.5μmの突起部を有する基板1を作製した。
【0142】〈基板2の作製〉基板1と同様にして、高
さ2.0μmの突起部を有する基板2を作製した。 〈基板3の作製〉基板1と同様にして、高さ2.5μm
の突起部を有する基板3を作製した。
さ2.0μmの突起部を有する基板2を作製した。 〈基板3の作製〉基板1と同様にして、高さ2.5μm
の突起部を有する基板3を作製した。
【0143】
【実施例】実施例1
緑色感放射線性組成物(ii)を、基板1にスピンコータ
ーを用いて塗布したのち、80℃のクリーンオーブン内
で10分間プレベークを行って、塗膜を形成した。次い
で、365nm、405nmおよび436nmの各波長
を含む高圧水銀ランプを用い、500J/m2 の露光量
で基板全面に露光した。その後、ジェイエスアール
(株)製濃縮アルカリ現像液CD−150CR(商品
名)を超純水で100倍に稀釈した現像液により、25
℃でシャワー現像を60秒間行ったのち、純水を吐出さ
せて洗浄した。その後、220℃のクリーンオーブン内
で30分間ポストベークを行って、緑色着色層を得た。
得られた緑色着色層の縦断面を走査型電子顕微鏡で観察
したところ、光反射領域における突出値〔I〕が0.0
6μmで、光透過領域における突出値〔II〕が0.07
μmであった。また、該緑色着色層の膜厚Dtが2.1
9μm、膜厚Drが1.00μmであった。
ーを用いて塗布したのち、80℃のクリーンオーブン内
で10分間プレベークを行って、塗膜を形成した。次い
で、365nm、405nmおよび436nmの各波長
を含む高圧水銀ランプを用い、500J/m2 の露光量
で基板全面に露光した。その後、ジェイエスアール
(株)製濃縮アルカリ現像液CD−150CR(商品
名)を超純水で100倍に稀釈した現像液により、25
℃でシャワー現像を60秒間行ったのち、純水を吐出さ
せて洗浄した。その後、220℃のクリーンオーブン内
で30分間ポストベークを行って、緑色着色層を得た。
得られた緑色着色層の縦断面を走査型電子顕微鏡で観察
したところ、光反射領域における突出値〔I〕が0.0
6μmで、光透過領域における突出値〔II〕が0.07
μmであった。また、該緑色着色層の膜厚Dtが2.1
9μm、膜厚Drが1.00μmであった。
【0144】別に、緑色感放射線性組成物(ii)を、基
板2にスピンコーターを用いて塗布したのち、前記と同
様にして評価を行ったところ、緑色着色層の光反射領域
における突出値〔I〕が0.05μmで、光透過領域に
おける突出値〔II〕が0.06μmであった。また、該
緑色着色層の膜厚Dtが2.48μm、膜厚Drが1.
00μmであった。
板2にスピンコーターを用いて塗布したのち、前記と同
様にして評価を行ったところ、緑色着色層の光反射領域
における突出値〔I〕が0.05μmで、光透過領域に
おける突出値〔II〕が0.06μmであった。また、該
緑色着色層の膜厚Dtが2.48μm、膜厚Drが1.
00μmであった。
【0145】別に、緑色感放射線性組成物(ii)を、基
板3にスピンコーターを用いて塗布したのち、前記と同
様にして評価を行ったところ、緑色着色層の光反射領域
における突出値〔I〕が0.07μmで、光透過領域に
おける突出値〔II〕が0.07μmであった。また、該
緑色着色層の膜厚Dtが2.87μm、膜厚Drが1.
00μmであった。
板3にスピンコーターを用いて塗布したのち、前記と同
様にして評価を行ったところ、緑色着色層の光反射領域
における突出値〔I〕が0.07μmで、光透過領域に
おける突出値〔II〕が0.07μmであった。また、該
緑色着色層の膜厚Dtが2.87μm、膜厚Drが1.
00μmであった。
【0146】以上の結果、基板上に形成した突起部の高
さが変わっても、突出値〔I〕および突出値〔II〕を小
さく抑えることができることが確認された。
さが変わっても、突出値〔I〕および突出値〔II〕を小
さく抑えることができることが確認された。
【0147】実施例2
緑色感放射線性組成物(i)を、基板2にスピンコータ
ーを用いて塗布したのち、実施例1と同様にして評価を
行ったところ、緑色着色層の光反射領域における突出値
〔I〕が0.05μmで、光透過領域における突出値
〔II〕が0.04μmであった。また、該緑色着色層の
膜厚Dtが3.12μm、膜厚Drが1.45μmであ
った。
ーを用いて塗布したのち、実施例1と同様にして評価を
行ったところ、緑色着色層の光反射領域における突出値
〔I〕が0.05μmで、光透過領域における突出値
〔II〕が0.04μmであった。また、該緑色着色層の
膜厚Dtが3.12μm、膜厚Drが1.45μmであ
った。
【0148】別に、緑色感放射線性組成物(iii)を、基
板2にスピンコーターを用いて塗布したのち、前記と同
様にして評価を行ったところ、緑色着色層の光反射領域
における突出値〔I〕が0.07μmで、光透過領域に
おける突出値〔II〕が0.06μmであった。また、該
緑色着色層の膜厚Dtが1.84μm、膜厚Drが0.
64μmであった。
板2にスピンコーターを用いて塗布したのち、前記と同
様にして評価を行ったところ、緑色着色層の光反射領域
における突出値〔I〕が0.07μmで、光透過領域に
おける突出値〔II〕が0.06μmであった。また、該
緑色着色層の膜厚Dtが1.84μm、膜厚Drが0.
64μmであった。
【0149】以上の結果および実施例1の緑色感放射線
性組成物(ii)を用いた結果から、着色感放射線性組成
物中の顔料濃度が変わっても、突出値〔I〕および突出
値〔II〕を小さく抑えることができることが確認され
た。
性組成物(ii)を用いた結果から、着色感放射線性組成
物中の顔料濃度が変わっても、突出値〔I〕および突出
値〔II〕を小さく抑えることができることが確認され
た。
【0150】実施例3
青色感放射線性組成物(i)を、基板2にスピンコータ
ーを用いて塗布したのち、実施例1と同様にして評価を
行ったところ、青色着色層の光反射領域における突出値
〔I〕が0.04μmで、光透過領域における突出値
〔II〕が0.06μmであった。また、該青色着色層の
膜厚Dtが2.36μm、膜厚Drが1.00μmであ
った。
ーを用いて塗布したのち、実施例1と同様にして評価を
行ったところ、青色着色層の光反射領域における突出値
〔I〕が0.04μmで、光透過領域における突出値
〔II〕が0.06μmであった。また、該青色着色層の
膜厚Dtが2.36μm、膜厚Drが1.00μmであ
った。
【0151】実施例4
(C)多官能性モノマーの使用量が多い緑色感放射線性
組成物(iv)を、基板2にスピンコーターを用いて塗布
したのち、実施例1と同様にして評価を行ったところ、
緑色着色層の光反射領域における突出値〔I〕が0.0
3μmで、光透過領域における突出値〔II〕が0.04
μmであった。また、該緑色着色層の膜厚Dtが2.2
5μm、膜厚Drが1.00μmであった。
組成物(iv)を、基板2にスピンコーターを用いて塗布
したのち、実施例1と同様にして評価を行ったところ、
緑色着色層の光反射領域における突出値〔I〕が0.0
3μmで、光透過領域における突出値〔II〕が0.04
μmであった。また、該緑色着色層の膜厚Dtが2.2
5μm、膜厚Drが1.00μmであった。
【0152】実施例5
(D)感放射線性重合開始剤の使用量が多い緑色感放射
線性組成物(v)を、基板2にスピンコーターを用いて
塗布したのち、実施例1と同様にして評価を行ったとこ
ろ、緑色着色層の光反射領域における突出値〔I〕が
0.05μmで、光透過領域における突出値〔II〕が
0.04μmであった。また、該緑色着色層の膜厚Dt
が2.36μm、膜厚Drが1.00μmであった。
線性組成物(v)を、基板2にスピンコーターを用いて
塗布したのち、実施例1と同様にして評価を行ったとこ
ろ、緑色着色層の光反射領域における突出値〔I〕が
0.05μmで、光透過領域における突出値〔II〕が
0.04μmであった。また、該緑色着色層の膜厚Dt
が2.36μm、膜厚Drが1.00μmであった。
【0153】実施例6
(B)アルカリ可溶性樹脂の分子量が大きい緑色感放射
線性組成物(vi)を、基板2にスピンコーターを用いて
塗布したのち、実施例1と同様にして評価を行ったとこ
ろ、緑色着色層の光反射領域における突出値〔I〕が
0.03μmで、光透過領域における突出値〔II〕が
0.05μmであった。また、該緑色着色層の膜厚Dt
が2.33μm、膜厚Drが1.00μmであった。
線性組成物(vi)を、基板2にスピンコーターを用いて
塗布したのち、実施例1と同様にして評価を行ったとこ
ろ、緑色着色層の光反射領域における突出値〔I〕が
0.03μmで、光透過領域における突出値〔II〕が
0.05μmであった。また、該緑色着色層の膜厚Dt
が2.33μm、膜厚Drが1.00μmであった。
【0154】実施例7
緑色感放射線性組成物(vii)を、基板2にスピンコータ
ーを用いて塗布したのち、実施例1と同様にして評価を
行ったところ、緑色着色層の光反射領域における突出値
〔I〕が0.18μmで、光透過領域における突出値
〔II〕が0.20μmであった。また、該緑色着色層の
膜厚Dtが2.71μm、膜厚Drが1.00μmであ
った。
ーを用いて塗布したのち、実施例1と同様にして評価を
行ったところ、緑色着色層の光反射領域における突出値
〔I〕が0.18μmで、光透過領域における突出値
〔II〕が0.20μmであった。また、該緑色着色層の
膜厚Dtが2.71μm、膜厚Drが1.00μmであ
った。
【0155】
【発明の効果】本発明の半透過型カラーフィルタは、着
色層の光反射領域における突出値〔I〕および光透過領
域における突出値〔II〕を小さくすることが可能で、バ
ックライト使用時と反射型として使用するときとの間で
色純度をほぼ同等とすることができ、特にバックライト
使用時の色純度を高めることができる。また、本発明の
突起用感放射線性組成物および着色感放射線性組成物は
それぞれ、本発明の前記優れた特性を有する半透過型カ
ラーフィルタにおける突起部および着色層の形成に極め
て好適に使用することができる。
色層の光反射領域における突出値〔I〕および光透過領
域における突出値〔II〕を小さくすることが可能で、バ
ックライト使用時と反射型として使用するときとの間で
色純度をほぼ同等とすることができ、特にバックライト
使用時の色純度を高めることができる。また、本発明の
突起用感放射線性組成物および着色感放射線性組成物は
それぞれ、本発明の前記優れた特性を有する半透過型カ
ラーフィルタにおける突起部および着色層の形成に極め
て好適に使用することができる。
【図1】突出値〔I〕および突出値〔II〕の評価手順を
説明する図である。
説明する図である。
1 基板
2 突起部
3 光反射層
4 着色層
5 光反射領域
6 光透過領域
7 突起部の側面に接する平面
a 突起部の側面に接する平面が該側面から離れる上方
の位置 b 突起部の側面に接する平面が該側面から離れる下方
の位置
の位置 b 突起部の側面に接する平面が該側面から離れる下方
の位置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考)
G03F 7/038 503 G03F 7/038 503
(72)発明者 佐野 公康
東京都中央区築地二丁目11番24号 ジェイ
エスアール株式会社内
Fターム(参考) 2H025 AA13 AB13 AC01 AD01 BC13
BC42 BD23 BD43 BD44 CA00
CB42 CC03 CC11
2H048 BA47 BA48 BB02 BB03 BB07
BB08 BB42
2H091 FA02 FA02Y FA02Z FA14
FA14Y FA14Z FA41 FA41X
FA41Z FB04 FB08 FB12
FC12 FC23 FD04 LA15
4J100 AB02R AB03R AB07Q AB07R
AC03R AC04R AG04R AJ01P
AJ02P AJ03Q AJ08P AJ09P
AJ10R AL03R AL04R AL09R
AL10R AL11R AM02R AM15R
AM43R AM48R AS02R AS03R
BA05R BC04R BC54Q BC54R
CA03 CA04 CA05 CA06 DA61
Claims (7)
- 【請求項1】 基板上に突起部および着色層を形成して
なり、該突起部が光反射層を有し、かつ該着色層が該突
起部および残りの基板表面を被覆するように形成された
ことを特徴とする半透過型カラーフィルタ。 - 【請求項2】 着色層の光反射領域における突出値
〔I〕が0.1μm以下であり、かつ着色層の光透過領
域における突出値〔II〕が0.1μm以下であることを
特徴とする請求項1に記載の半透過型カラーフィルタ。 - 【請求項3】 着色層の光反射領域における膜厚が0.
2〜2.0μmであり、かつ着色層の光透過領域におけ
る膜厚が0.3〜6.0μmであることを特徴とする請
求項1または請求項2に記載の半透過型カラーフィル
タ。 - 【請求項4】 (イ)(a1)不飽和カルボン酸および
/または不飽和多価カルボン酸無水物とエポキシ基含有
不飽和モノマーと前記以外の不飽和モノマーとの共重合
体並びに(b1)1,2−キノンジアジド化合物を含有
する感放射線性組成物、並びに(ロ)(a2)不飽和カ
ルボン酸および/または不飽和多価カルボン酸無水物と
エポキシ基含有不飽和モノマーと前記以外の不飽和モノ
マーとの共重合体、(b2)感放射線性重合開始剤並び
に(c2)不飽和モノマーを含有する感放射線性組成物
の群から選ばれる少なくとも1種からなることを特徴と
する、請求項1〜3の何れかに記載の半透過型カラーフ
ィルタにおける突起部の形成に用いられる感放射線性組
成物。 - 【請求項5】 (A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹
脂、(C)多官能性モノマー、(D)感放射線性重合開
始剤および(E)溶媒を含有することを特徴とする、請
求項1〜3の何れかに記載の半透過型カラーフィルタに
おける着色層の形成に用いられる感放射線性組成物。 - 【請求項6】 請求項1〜3の何れかに記載の半透過型
カラーフィルタを具備してなるカラー液晶表示素子。 - 【請求項7】 突起部が請求項4に記載の感放射線性組
成物から形成され、および/または着色層が請求項5に
記載の感放射線性組成物から形成された請求項1〜3の
何れかに記載の半透過型カラーフィルタ、を具備してな
るカラー液晶表示素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003013549A JP2003307614A (ja) | 2002-02-15 | 2003-01-22 | 半透過型カラーフィルタ、感放射線性組成物およびカラー液晶表示素子 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002-37647 | 2002-02-15 | ||
JP2002037647 | 2002-02-15 | ||
JP2003013549A JP2003307614A (ja) | 2002-02-15 | 2003-01-22 | 半透過型カラーフィルタ、感放射線性組成物およびカラー液晶表示素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003307614A true JP2003307614A (ja) | 2003-10-31 |
Family
ID=29405179
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003013549A Pending JP2003307614A (ja) | 2002-02-15 | 2003-01-22 | 半透過型カラーフィルタ、感放射線性組成物およびカラー液晶表示素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003307614A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005292199A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法、それを用いて製造したカラーフィルタ及び液晶表示装置 |
JP2006259052A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Toppan Printing Co Ltd | 液晶分割配向制御用突起用感光性樹脂組成物、及びそれを用いて形成した液晶分割配向制御用突起付きカラーフィルタ、及び液晶表示装置 |
JP2007041343A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Toppan Printing Co Ltd | 感光性着色樹脂組成物、カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ |
JP2007264377A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Jsr Corp | 着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子 |
JP2008181016A (ja) * | 2007-01-25 | 2008-08-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 液晶配向制御用突起形成用組成物 |
WO2008123340A1 (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Nippon Steel Chemical Co., Ltd. | カラーフィルター用遮光性樹脂組成物及びカラーフィルター |
JP2008256755A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタおよびカラーフィルタの製造方法 |
JP2008261947A (ja) * | 2007-04-10 | 2008-10-30 | Toppan Printing Co Ltd | 半透過型液晶表示装置用感光性着色組成物、この感光性着色組成物を用いた半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ並びにその製造方法、及び半透過型液晶表示装置 |
-
2003
- 2003-01-22 JP JP2003013549A patent/JP2003307614A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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