JP2003306783A - 金属薄板のエッチング加工方法及びエッチング加工品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来は板厚Ｔより小さな開口は開けられないと
されていたエッチング技術において、板厚Ｔより充分小
さな開口寸法ｄの孔や溝などの貫通部を形成することが
できるエッチング加工方法及びエッチング加工品を提供
する。 【解決手段】 板厚Ｔの金属薄板１の一方の面に、目的
とする開口寸法ｄ以下の肉厚ｔ（ｔ≦ｄ）を残して第１
のエッチング凹部３を形成し、上記金属薄板１の他方の
面に第２のエッチング凹部４を形成し、これら第１のエ
ッチング凹部３と第２のエッチング凹部４が連通した後
サイドエッチング処理をすることにより上記連通部分
に、板厚Ｔより充分小さな開口寸法ｄを有する貫通部５
を形成するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、金属薄板にこの金
属薄板の板厚Ｔより小さな寸法ｄの孔径又は溝幅を有す
る貫通部を形成するエッチング加工方法及びこの方法に
より得られたエッチング加工品に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の一部であるリードフレーム
やプリント配線基板、ブラウン管のシャドウマスク、そ
の他の電子部品などにあっては、被エッチング材として
の金属薄板に微細な孔又は溝を加工するために、電気化
学的腐食加工方法、すなわちフォトエッチング加工法が
用いられている。通常、被エッチング材としては、鉄、
ステンレス、銅、銀、アルミ、モリブデン、チタン、ケ
イ素などの薄板が知られており、又エッチング溶液とし
ては対象材料に応じて塩化第二鉄、アルカリ溶液、硫酸
＋過酸化水素、塩化第二銅などが用いられている。フォ
トエッチング加工法の概略的な工程を図７に示す。図７
において、被エッチング材としての金属薄板１の表面を
脱脂、酸洗などで前処理した後、この金属薄板１の表面
をレジスト膜７１で覆う。レジスト膜７１はシート状の
ものを金属薄板に貼着したり、レジスト液を塗布・乾燥
することで被覆可能である。図７の場合は両面エッチン
グの場合を示す。このレジスト膜７１の上に製品パター
ンが描画されたマスク原版７２を重ねる。このマスク原
版７２の上から紫外線を照射すると、レジスト膜７１に
マスク原版７２に描画された製品パターンが露光され
る。次ぎにマスク原版７２を剥がして金属薄板１を現像
液に漬けると、紫外線が照射されなかった部分のレジス
ト膜が溶けて除去され、これによりこの部分の金属薄板
１の表面が露出されるとともに、紫外線が届かなかった
部分のレジスト膜７１は残る。この状態の金属薄板１に
エッチング液を接触させる。エッチング液を接触させる
方法として、エッチング液に浸漬する方法や噴射する方
法がある。すると、レジスト膜７１で覆われていない上
記表面が露出している金属薄板１の部分が、エッチング
液と接触し、この部分が腐食されて溶解する。この腐食
は板厚方向に進み、このため金属薄板に貫通したエッチ
ング孔２又は溝が形成される。この後、残ったレジスト
膜７１を剥離して除去すると、前記マスク原版７２に描
画されたパターンと同じパターンの開口をもつ製品が得
られる。ところで、このようなフォトエッチング加工で
は、エッチング液による腐食が金属薄板の板厚方向のみ
ならず、エッチング液がレジスト膜の下にも回り込む性
質があるため、金属薄板の側方（板厚方向と直角方向）
にも進行する（サイドエッチング）。このため、通常、
エッチング加工においては、原則として加工される貫通
部の大きさ（孔の場合は直径Ｄ）は、金属薄板の板厚Ｔ
より小さくすることができないとされている。つまり、
図８に示す通り、金属薄板１の板厚をＴとし、エッチン
グによって開けたいエッチング孔２の目標孔径をＤとす
ると、孔径Ｄは板厚寸法Ｔとほぼ同じになる。なお、金
属薄板１の両面からエッチングする両面エッチングの場
合は、目標とする孔の最小寸法Ｄを板厚Ｔの７０％程度
まで小さくすることはできるが、これよりも小さな孔は
開けられないとされている。又、金属薄板１の片面のみ
からエッチングする片面エッチングの場合は、孔の最小
寸法Ｄは板厚Ｔの７０％より更に大きくなってしまう。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、エッチ
ングによる精密孔開け加工においては、金属薄板の強度
を高くするため板厚を大きくしたいという要求があり、
その一方では孔径Ｄの大きさを、相対的に小さくしたい
という要請がある。例えば、板厚Ｔが０．６ｍｍの金属
薄板に孔径Ｄが０．２ｍｍの孔（溝の場合は溝幅が０．
２ｍｍの溝）を開けたい等の要求がある場合、従来の両
面エッチング方法では、板厚Ｔ＝０．６ｍｍに対し孔の
径Ｄはせいぜい０．４２ｍｍとなり、孔径Ｄが０．２ｍ
ｍの孔を開けることは出来ないという問題があった。

【０００４】本発明はこのような事情にもとづきなされ
たもので、板厚Ｔよりも小さな寸法ｄの孔径又は溝幅を
有する開口を加工可能にしたエッチング加工方法及びこ
の方法により成形されたエッチング加工品を提供しよう
とするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明の原理は、次の通りである。すなわち、前述の通
り、エッチング加工では、板厚Ｔの金属薄板に孔を開け
る場合、開口可能な最小孔径Ｄは、Ｄ＝Ｔが基本とされ
ている。すなわち、板厚ｔが小さい場合（ｔ＜Ｔ）は、
最小孔径ｄをｄ＝ｔ（＜Ｄ）にすることができる。この
ことは、板厚がＴの場合、これより小さな寸法ｄの孔を
開けるには、板厚をｔ以下にしてやればよいことにな
る。しかしこの場合Ｔ−ｔの肉厚は余分な厚みとなる。
このことから本発明は、上記余分な肉厚Ｔ−ｔの分を除
去し、残った肉厚ｔ以下の部分に有効孔径ｄの孔（但
し、ｔ≦ｄ）を開けることによって、大きな板厚Ｔに対
しても、この板厚より充分小さな径ｄの孔を開けること
ができるようにしたことを原理とする。このような原理
にもとづき請求項１の発明は、板厚Ｔの金属薄板にこの
板厚Ｔより小さな寸法の有効開口寸法ｄをなす貫通部を
形成するにあたり、上記金属薄板の一方の面に、上記有
効開口寸法ｄ以下の肉厚ｔ（ｔ≦ｄ）を残して深さが
（Ｔ−ｔ）になる第１のエッチング凹部を形成し、上記
金属薄板の他方の面に深さが上記肉厚ｔに相当する第２
のエッチング凹部を形成し、これら第１のエッチング凹
部の底部と第２のエッチング凹部４が連通した後サイド
エッチング処理をして上記連通部分に上記有効開口寸法
ｄの貫通部を形成することを特徴とする金属薄板のエッ
チング加工方法が提供される。このようなエッチング加
工方法によれば、金属薄板の一方の面に第１のエッチン
グ凹部を形成することによって肉厚Ｔ−ｔの肉厚分が除
去され、この凹部の底部と他方の面との間に肉厚ｔに相
当する部分が残されることになる。この肉厚ｔを、目標
とする有効開口寸法ｄ以下にしておけば（ｔ≦ｄ）、第
２のエッチング凹部を形成した場合、これら凹部の貫通
部は肉厚ｔの部分に開口することになるから、板厚寸法
と同等寸法の孔径ならばエッチング加工が可能であると
いう原理に従い、少なくともこの肉厚ｔと同等寸法の有
効開口寸法ｄを有する貫通部が開口可能となる。よっ
て、板厚Ｔより充分小さな有効開口寸法ｄをもつ孔（孔
径）や溝（溝幅）の貫通部であっても開けることができ
る。

【０００６】本発明の好ましい態様は、請求項２に記載
されている通り、板厚Ｔの金属薄板の両面にレジスト膜
を設けるとともにこのレジスト膜に製品パターンを描画
し、上記金属薄板の一方の面に被覆されたレジスト膜の
エッチング液が流入する開口部を、他方の面に被覆され
たレジスト膜のエッチング液が流入する開口部より大き
くしておき、上記他方の面のレジスト膜の開口部をマス
キングして上記金属薄板の一方の面を片面エッチング
し、これにより一方の面に、有効開口寸法ｄ以下の肉厚
ｔを残して深さが（Ｔ−ｔ）となる第１のエッチング凹
部を形成し、次ぎに上記一方の面のレジスト膜の開口部
をマスキングして上記金属薄板の他方の面を片面エッチ
ングし、これにより他方の面に深さが上記肉厚ｔに相当
する第２のエッチング凹部を形成し、これら第１のエッ
チング凹部と第２のエッチング凹部が連通した後サイド
エッチング処理をして上記連通箇所に上記板厚Ｔより小
さな寸法の有効開口寸法ｄを有する貫通部を形成するこ
とを特徴とする金属薄板のエッチング加工方法が提供さ
れる。この方法は、第１のエッチング凹部及び第２のエ
ッチング凹部をそれぞれ金属薄板の片面ずつハーフエッ
チングして２段エッチングする方法である。このような
片面ずつ２段エッチング加工する方法であっても、金属
薄板の一方の面に第１のエッチング凹部を形成すること
によって肉厚Ｔ−ｔの肉厚分が除去され、次ぎに金属薄
板の他面に、残った肉厚ｔに部分に対し第２のエッチン
グ凹部をエッチング加工して貫通部を形成するので、板
厚寸法と同等寸法の孔径ならばエッチング加工が可能で
あるという原理に従い、この肉厚ｔと同等寸法の有効開
口寸法ｄを有する貫通部が開口可能となる。

【０００７】本発明の他の好ましい態様は、請求項３に
記載されているように、板厚Ｔの金属薄板の両面にレジ
スト膜を設けるとともにこのレジスト膜に製品パターン
を描画し、上記金属薄板の一方の面に被覆されたレジス
ト膜のエッチング液が流入する開口部を、他方の面に被
覆されたレジスト膜のエッチング液が流入する開口部よ
り大きくしておき、上記金属薄板の両面にエッチング液
を同時に接触させて両面エッチング加工し、エッチング
液による腐食過程で金属薄板の一方の面に、有効開口寸
法ｄ以下の肉厚ｔを残して深さが（Ｔ−ｔ）になる第１
のエッチング凹部を形成するとともに、他方の面に深さ
が上記肉厚ｔに相当する第２のエッチング凹部を同時に
形成し、これら第１のエッチング凹部と第２のエッチン
グ凹部が連通した後サイドエッチング処理をして上記連
通箇所に上記板厚Ｔより小さな寸法の有効開口寸法ｄを
有する貫通部を形成することを特徴とする金属薄板のエ
ッチング加工方法が提供される。この加工方法は、金属
薄板の両面から同時にエッチングを施す両面エッチング
方法であり、第１のエッチング凹部と第２のエッチング
凹部が同時にエッチング進行されるので、作業効率が良
い。

【０００８】又、前記課題を解決するための他の発明
は、板厚Ｔの金属薄板の一方の面に有効開口寸法ｄ以下
の肉厚ｔを残して深さが（Ｔ−ｔ）になる第１のエッチ
ング凹部が形成されているともに、他方の面に深さが上
記肉厚ｔに相当する第２のエッチング凹部が形成され、
これら第１及び第２のエッチング凹部の底部が互いに連
通され、この連通通箇所に上記板厚Ｔより小さな寸法の
有効開口寸法ｄを有する貫通部が形成されていることを
特徴とする金属薄板のエッチング加工品が提供される。
このような加工品は、大きな板厚Ｔに対して相対的に小
さな有効開口寸法ｄを有する貫通部を形成したので、エ
ッチング製品の拡大に寄与し、エッチング技術の著しい
進歩を可能にする。

【０００９】

【発明の実施の態様】以下本発明について、図面にもと
づき説明する。図１は、本発明によりエッチング加工さ
れた金属薄板のエッチング孔を拡大して示す断面図であ
る。図において１は、被エッチング材としての金属薄板
であり、例えばステンレス薄板（ＳＵＳ３０４）が用い
られている。この金属薄板１は板厚寸法がＴであり、こ
の薄板１には有効孔径ｄのエッチング孔２が開けられて
いる。上記有効孔径ｄは板厚Ｔより小さく、さらに言え
ば、０．７Ｔよりも小さく形成されている。エッチング
孔２の断面形状は、一方の面に大きく開口しかつ深さが
大きな第１のエッチング凹部３と、他方の面に小さく開
口して深さが浅い第２のエッチング凹部４とが互いに連
通した形状になっている。第１のエッチング凹部３は概
ね半球形状に大きく凹んでおり、この凹部３の一方の面
に臨む開口部の大きさは直径ｄ_１となっている。、第２
のエッチング凹部４も概ね半球形状に凹んでおり、この
凹部４の他方の面に臨む開口部の大きさは直径ｄ_２にな
っている。これら凹部３、４は底部が互いに連通してお
り、この連通箇所に貫通部５が形成されている。この貫
通部５は、上記第１、第２のエッチング凹部３、４に対
し小さなくびれ部となっており、このくびれ部の直径が
目標とする上記有効孔径ｄとなっている。この貫通孔５
の位置は、金属薄板１の他方の面から板厚方向に向かっ
て寸法ｔの位置に形成されており、この寸法ｔは上記有
効孔径ｄと等しい又はそれ以下（ｔ≦ｄ）の寸法となっ
ている。

【００１０】このような金属薄板１にエッチング孔２を
加工するエッチング方法は、以下の通りである。図２な
いし図４にエッチング加工方法の一例を工程順に示し、
これについて説明する。この例は、金属薄板を片面ずつ
ハーフエッチングして２段階に分けてエッチングする方
法である。まず、板厚Ｔの金属薄板１の表面を従来と同
様に脱脂、酸洗などで前処理する。（２−Ａ図）。次ぎ
に、この金属薄板１の表面をフォトレジスト膜１１で覆
う（２−Ｂ図）。レジスト膜１１の上に詳図しない製品
パターンが描画されたマスク原版１２を重ねる（２−Ｃ
図）。この場合、マスク原版１２の製品パターンは、レ
ジスト膜１１に形成されるエッチング液が流入する開
口、つまり金属表面が露出される部分の開口部１３、１
４を、一方の面では大きく（レジスト膜の開口部１３の
直径をｄ_３）なるようにし、他方の面では小さく（レジ
スト膜の開口部１４の直径をｄ_４）（ｄ_３＞ｄ_４）なる
ように設定しておく。そして、マスク原版１２の上から
紫外線を照射して、レジスト膜１１にマスク原版に描画
された製品パターンを露光する。マスク原版１２を剥が
し、金属薄板１を現像液に漬けると、紫外線が照射され
なかった部分のレジスト膜が溶けて除去され、これによ
りこの部分の金属薄板１の表面が露出する。紫外線が届
かなかった部分のレジスト膜１１は残る（３−Ａ図）。
このとき、上記したように、一方のレジスト膜１１に形
成された金属表面が露出される部分の開口、すなわちレ
ジスト膜の開口部１３は直径ｄ_３となり、他方の面のレ
ジスト膜の開口部１４直径がｄ_４となる。

【００１１】次に、他方の面のレジスト膜１１に耐食性
のマスキングシート１５を貼着してこの他方の開口部１
４を閉塞する（３−Ｂ図）。この状態で、金属薄板１の
一方の面に、塩化第二鉄溶液などのエッチング液を例え
ばスプレー噴射し、これにより一方の面のレジスト膜１
１の開口部１３に露出している金属薄板１の表面に、こ
の開口部１３を通じてエッチング液を吹き付ける（３−
Ｃ図）。すると、金属薄板１はエッチング液に腐食され
て溶解し、このため第１のエッチング凹部３が形成され
る。このとき、エッチングは、レジスト膜２の開口部１
３の中心点を中心として、概略半球形に進行する。この
エッチングの進行具合は、破線で示すように、時間の経
過に伴って拡大する。そして、第１のエッチング凹部３
の深さがＴ−ｔ又はそれ以上に達したら、この片面エッ
チングを終了する。このとき、金属薄板１の他面側には
板厚ｔ又はｔ以下に相当する分の肉厚が残っている。

【００１２】次ぎに、上記他方のレジスト膜１１に貼着
してあるマスキングシート１５を剥がして開口部１４を
開けるとともに、今度は一方の面のレジスト膜１１にマ
スキングシート１６を貼着し、このレジスト膜１１に形
成されている開口部１３を閉塞する（４−Ａ図）。この
状態で、金属薄板１の他方の面にエッチング液をスプレ
ー噴射し、これにより他方の面のレジスト膜の開口部１
４より、ここに露出している金属薄板１の表面にエッチ
ング液を吹き付ける（４−Ｂ図）。すると、金属薄板１
はエッチング液に腐食されて溶解し、このため第２のエ
ッチング凹部４が形成される。このときのエッチングも
レジスト膜１１の開口部１４の中心点を中心として概略
半球形に進行する。このエッチングの進行具合は、破線
で示すように、時間の経過に伴って拡大する。上記第２
のエッチング凹部４の底部が第１のエッチング凹部３の
底部に達すると、これら第１及び第２のエッチング凹部
３、４は相互に連通する。この貫通後、エッチング液の
供給を続け、上記貫通部分のサイドエッチングを促す
（４−Ｃ図）。このサイドエッチングによって、連通箇
所のくびれ部分が溶解し、所定の孔径ｄに達した時点で
エッチング工程を終える。図中、破線から実線に至る部
分がサイドエッチングで腐食された部分を示す。この
後、残ったマスキングシート１６及びレジスト膜１１を
剥離して除去すると、図１に示す断面形状のエッチング
孔２が形成される。金属薄板１の全体では前記マスク原
版１２に描画されたパターンと同じパターンを開口した
製品が得られる。

【００１３】上記実施例のフォトエッチング方法によれ
ばは、金属薄板１にその板厚Ｔよりも小さな寸法ｄの孔
をエッチング加工するにあたり、第１のエッチング凹部
３を形成することによって予め不要な板厚部分（Ｔ−
ｔ）を除去しておき、残った肉厚ｔの部分に第２のエッ
チング凹部４を形成して目標とする大きさの貫通孔５を
形成するものであるから、上記肉厚ｔを目標とする有効
径ｄの寸法以下にしておけば、板厚寸法と同等寸法の孔
径ならばエッチング加工が可能であるという原理に従
い、肉厚ｔと同等寸法の開口径ｄの孔を形成することが
可能となる。したがって、有効孔径ｄが板厚寸法Ｔより
充分小さな孔や溝であっても、所望の開口寸法ｄの貫通
部を開けることができる。

【００１４】なお、上記のごとく片面ずつエッチングす
る方法において、レジスト膜１１に形成する開口部１
３、１４の大きさを互いに異なる大きさにした（ｄ_３＞
ｄ_４）が、エッチング速度はエッチング液の流入量によ
って決まるので、一方のエッチング凹部３のエッチング
加工時間と他方のエッチング凹部４のエッチング加工時
間が異なってもよい場合は、ｄ_３＝ｄ_４にしても構わな
い。

【００１５】次に、他のエッチング方法を図５及び図６
にもとづき説明する。この方法は、金属薄板を両面から
同時にエッチングする方法である。図５は図２と同じ図
であり、これらの工程は同じであってよい。まず、板厚
Ｔの金属薄板１の表面を脱脂、酸洗などで前処理し（５
−Ａ図）、この金属薄板１の表面をレジスト膜１１で覆
う（５−Ｂ図）。このレジスト膜１１の上に製品パター
ンが描画されたマスク原版１２を重ねる（５−Ｃ図）。
この場合、マスク原版１２の製品パターンは、後で説明
するが、レジスト膜１１に形成されるエッチング液が侵
入する開口部、つまり金属表面が露出される部分の開口
部を、一方の面では大きく（レジスト膜１１の開口部１
３の直径をｄ_３）なるようにし、他方の面では小さく
（レジスト膜１１の開口部１４の直径をｄ_４）（ｄ_４＜
ｄ_３）としておく。そして、マスク原版１２の上から紫
外線を照射して、レジスト膜１１にマスク原版１２に描
画された製品パターンを露光する。マスク原版１２を剥
がし、金属薄板１を現像液に漬けると、紫外線が照射さ
れなかった部分のレジスト膜が溶けて除去され、これに
よりこの部分の金属薄板１の表面が露出する。紫外線が
届かなかった部分のレジスト膜１１は残る（６−Ａ
図）。このとき、上記したように、一方のレジスト膜１
１に形成された金属表面が露出される部分の開口、すな
わち一方の面のレジスト膜１１の開口部１３は直径ｄ_３
になり、他方の面のレジスト膜の開口部１４は直径がｄ
_４になる。次に、金属薄板１の両面にエッチング液を同
時に例えばスプレー噴射し、これによりレジスト膜１１
の開口部１３、１４に露出している金属薄板１の表面に
対し各開口部１３、１４を通じてエッチング液を吹き付
ける（６−Ｂ図）。すると、金属薄板１の両面がエッチ
ング液に腐食されて溶解し、このため第１のエッチング
凹部３及び第２のエッチング凹部４が同時に形成され
る。このとき、エッチングは、板厚方向及びサイド方向
に進行するのでそれぞれ概略半球形に拡大し、破線で示
すように、時間の経過に伴って大きくなる。第１のエッ
チング凹部３の底部と第２のエッチング凹部４の底部が
互いに連通すると、この貫通箇所にくびれた形状の貫通
部５が形成される。

【００１６】この場合、大切なことは、この貫通部５が
金属薄板１の他面側から肉厚ｔに相当する肉厚の部分に
形成されることである。他方の面から肉厚ｔの位置にく
びれ部を形成するためには、第１のエッチング凹部３の
底部が一方の面からＴ−ｔの位置に達するまでの加工時
間と、第２のエッチング凹部４の底部が他方の面から肉
厚ｔの位置に達するまでの加工時間が同じでなければな
らない。すなわち、第１のエッチング凹部３を形成する
ためのエッチング時間と第２のエッチング凹部４を形成
するためのエッチング時間が同じであり、肉厚ｔの位置
で両者の底部が連通しなければならない。このために各
凹部３、４のエッチング速度をコントロールする必要が
ある。一般に、エッチング速度は、エッチング液の流量
によって決まり、エッチング液の流量は、エッチング液
の流速とレジスト膜１１に開口した開口部１３、１４の
大きさ（ｄ_３、ｄ_４）に依存する。なお、エッチング速
度は、エッチング液の濃度、温度、噴射圧力、劣化具合
などの条件によっても異なるが、これらエッチング液の
性状は作業現場で調整するのが通例であるから、ここで
はこれらエッチング液の性状は一定として考え、かつス
プレー噴射されるエッチング液の流速は両面で等しいも
のとする。レジスト膜１１の開口部１３、１４の大きさ
（ｄ_３、ｄ_４）を決めるには、これら第１のエッチング
凹部３及び第２のエッチング凹部４の空間がほぼ半球形
であると仮定してこれら空間の容積を概算的に計算し、
これら容積が、エッチング液の流速と開口部１３、１４
の開口面積との積であることから、これらの関係式から
ｄ_３、ｄ_４を計算して求め、これを仮に設定しておく。
次ぎに、上記設定したｄ_３、ｄ_４を用いて作業現場で実
際に試し加工を行い、第１及び第２のエッチング凹部
３，４の各エッチング速度を調べ、この結果により開口
部１３、１４の大きさｄ_３、ｄ_４を最終調整すればよ
い。この調整した後の寸法ｄ_３、ｄ_４がマスク原版１２
の製品パターンに反映され、マスク原版１２における開
口部１３，１４に対応する部分は上記ｄ_３、ｄ_４に合っ
た大きさに設定される。このようにすれば、第１及び第
２のエッチング凹部３、４の各底部が同じエッチング速
度で肉厚ｔの位置に達し、これにより凹部３，４が肉厚
ｔ部で連通されるから、この連通箇所にくびれた形状の
貫通部５が形成されるようになる。

【００１７】次ぎに、エッチング液の供給を続け、上記
連通部分のサイドエッチングを促す（６−Ｃ図）。この
サイドエッチングによって、連通箇所のくびれ部分を溶
解し、所定の孔径ｄに達した時点でエッチング工程を終
える。この後、残ったレジスト膜１１を剥離して除去す
ると、図１の断面形状を有するエッチング孔２が形成さ
れ、金属薄板１の全体では前記マスク原版１２に描画さ
れたパターンと同じパターンの開口を有する製品が得ら
れる。

【００１８】このような両面エッチング方法であれば、
第１のエッチング凹部３及び第２のエッチング凹部４が
同時進行して加工されるから、作業能率が良い。なお、
上記両面エッチング方法によって加工した製品の具体的
寸法例を示すと、図１において、金属薄板１の板厚Ｔは
０．６ｍｍであり、第１のエッチング凹部３の開口部の
直径ｄ_１は略０．９８ｍｍ、第２のエッチング凹部４の
開口部の直径ｄ_２は略０．４２ｍｍになっている。そし
て、貫通孔５のくびれ部の直径、すなわち有効孔径ｄは
０．２ｍｍであり、この貫通孔５の位置は、金属薄板１
の他方の面から板厚方向に向かって寸法ｔ＝０．２ｍｍ
に近似した位置に形成されている。なお、上記各実施例
では、金属薄板１の図示の上面側に第１のエッチング凹
部３を形成するとともに図示の下面側に第２のエッチン
グ凹部４を形成したが、上面・下面は逆になってもよい
ことは言うまでもない。

【００１９】

【発明の効果】以上説明した通り本発明によれば、従来
では板厚Ｔより小さな開口寸法の孔や溝などの貫通部を
形成できないとされていたエッチング加工方法に対し、
余分な肉厚を除いた厚みの部分に貫通部を形成するか
ら、板厚Ｔより充分小さな開口寸法ｄの孔や溝などの貫
通部を形成することができ、エッチング加工技術が大幅
に進歩し、この技術分野の利用、応用の大幅な拡大が可
能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示し、エッチング加工され
た金属薄板のエッチング孔を拡大して示す断面図。

【図２】本発明のエッチング加工方法の一例を示し、
（２−Ａ図）、（２−Ｂ図）、（２−Ｃ図）は工程順を
追って示す断面図。

【図３】図２の加工工程の続きを示し、（３−Ａ図）、
（３−Ｂ図）、（３−Ｃ図）は工程順を追って示す断面
図。

【図４】図３の加工工程の続きを示し、（４−Ａ図）、
（４−Ｂ図）、（４−Ｃ図）は工程順を追って示す断面
図。

【図５】本発明のエッチング加工方法の他の例を示し、
（５−Ａ図）、（５−Ｂ図）、（５−Ｃ図）は工程順を
追って示す断面図。

【図６】図５の加工工程の続きを示し、（６−Ａ図）、
（６−Ｂ図）、（６−Ｃ図）は工程順を追って示す断面
図。

【図７】従来のエッチング加工方法を概略的に工程順に
示す図。

【図８】従来の両面エッチング方法にて加工されたエッ
チング孔の拡大した断面図。

【符号の説明】

１…金属薄板 Ｔ…板厚 ２…エッチング孔 ３…第１のエッチング凹部 ４…第２のエッチング凹部 ５…貫通部 ｄ…有効孔径 １１…レジスト膜 １２…マスク原版 １３…レジスト膜の一方の開口部 １４…レジスト膜の他方の開口部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板厚Ｔの金属薄板にこの板厚Ｔより小さ
   な寸法の有効開口寸法ｄの貫通部を形成するにあたり、
   上記金属薄板の一方の面に、上記有効開口寸法ｄ以下の
   肉厚ｔを残して深さが（Ｔ−ｔ）になる第１のエッチン
   グ凹部を形成し、上記金属薄板の他方の面に深さが上記
   肉厚ｔに相当する第２のエッチング凹部を形成し、これ
   ら第１のエッチング凹部と第２のエッチング凹部４が連
   通した後サイドエッチング処理をすることにより上記連
   通部分に上記有効開口寸法ｄの貫通部を形成することを
   特徴とする金属薄板のエッチング加工方法。
2. 【請求項２】 板厚Ｔの金属薄板の両面にレジスト膜を
   設けるとともにこのレジスト膜に製品パターンを描画
   し、上記金属薄板の一方の面に被覆されたレジスト膜の
   エッチング液が流入する開口部を、他方の面に被覆され
   たレジスト膜のエッチング液が流入する開口部より大き
   くしておき、上記他方の面のレジスト膜の開口部をマス
   キングして上記金属薄板の一方の面を片面エッチング
   し、これにより一方の面に、有効開口寸法ｄ以下の肉厚
   ｔを残して深さが（Ｔ−ｔ）になる第１のエッチング凹
   部を形成し、次ぎに上記一方の面のレジスト膜の開口部
   をマスキングして上記金属薄板の他方の面を片面エッチ
   ングし、これにより他方の面に深さが上記肉厚ｔに相当
   する第２のエッチング凹部を形成し、これら第１のエッ
   チング凹部と第２のエッチング凹部が連通した後サイド
   エッチング処理をして上記連通箇所に上記板厚Ｔより小
   さな寸法の有効開口寸法ｄを有する貫通部を形成するこ
   とを特徴とする請求項１に記載の金属薄板のエッチング
   加工方法。
3. 【請求項３】 板厚Ｔの金属薄板の両面にレジスト膜を
   設けるとともにこのレジスト膜に製品パターンを描画
   し、上記金属薄板の一方の面に被覆されたレジスト膜の
   エッチング液が透過する開口部を、他方の面に被覆され
   たレジスト膜のエッチング液が透過する開口部より大き
   くしておき、これら開口部を通じて上記金属薄板の両面
   にエッチング液を同時に接触させて両面エッチングを
   し、エッチング液による腐食過程で金属薄板の一方の面
   に、有効開口寸法ｄ以下の肉厚ｔを残して深さが（Ｔ−
   ｔ）になる第１のエッチング凹部を形成するとともに、
   他方の面に深さが上記肉厚ｔに相当する第２のエッチン
   グ凹部を同時に形成し、これら第１のエッチング凹部と
   第２のエッチング凹部が連通した後サイドエッチング処
   理をして上記連通箇所に上記板厚Ｔより小さな寸法の有
   効開口寸法ｄを有する貫通部を形成することを特徴とす
   る請求項１に記載の金属薄板のエッチング加工方法。
4. 【請求項４】 板厚Ｔの金属薄板の一方の面に有効開口
   寸法ｄ以下の肉厚ｔを残して深さが（Ｔ−ｔ）になる第
   １のエッチング凹部が形成されているともに、他方の面
   に深さが上記肉厚ｔに相当する第２のエッチング凹部が
   形成され、これら第１及び第２のエッチング凹部が互い
   に連通され、この連通通箇所に上記板厚Ｔより小さな寸
   法の有効開口寸法ｄを有する貫通部が形成されているこ
   とを特徴とする金属薄板のエッチング加工品。