JP2003302555A - コリメータ製造方法及びコリメータ製造装置 - Google Patents
コリメータ製造方法及びコリメータ製造装置Info
- Publication number
- JP2003302555A JP2003302555A JP2002109120A JP2002109120A JP2003302555A JP 2003302555 A JP2003302555 A JP 2003302555A JP 2002109120 A JP2002109120 A JP 2002109120A JP 2002109120 A JP2002109120 A JP 2002109120A JP 2003302555 A JP2003302555 A JP 2003302555A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- optical power
- ferrule
- lens
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】レンズとフェルールの距離が適切なコリメータ
の、容易な製造を可能とする。 【解決手段】 ステージ１にレンズパイプ６とフェルー
ル４を保持し、次にステージ２にミラー７を固定する。
この状態で、ミラー７で反射されてレンズパイプ６に戻
ってくる光パワーを測定しながら、測定された光パワー
が最大値になるようにステージ２をＺ軸方向に移動さ
せ、測定された光パワーが最大値の状態において、ミラ
ー７とレンズパイプ６の相対位置が所定の範囲内かどう
か測定し、もしも測定結果が範囲内の場合はレンズパイ
プ６とフェルール４間を固定する。
の、容易な製造を可能とする。 【解決手段】 ステージ１にレンズパイプ６とフェルー
ル４を保持し、次にステージ２にミラー７を固定する。
この状態で、ミラー７で反射されてレンズパイプ６に戻
ってくる光パワーを測定しながら、測定された光パワー
が最大値になるようにステージ２をＺ軸方向に移動さ
せ、測定された光パワーが最大値の状態において、ミラ
ー７とレンズパイプ６の相対位置が所定の範囲内かどう
か測定し、もしも測定結果が範囲内の場合はレンズパイ
プ６とフェルール４間を固定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光モジュールのコ
リメータ組み立てにおけるコリメータ製造装置に関する
ものである。
リメータ組み立てにおけるコリメータ製造装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のコリメータの組み立てにおいて、
ビームウエスト位置は用途に合わせた光の波長毎に、レ
ンズとフェルールの距離を設計段階で決定しており、レ
ンズやフェルールをレンズパイプ等に設けられた位置決
め部に突き当てる方法や距離を測定しながらレンズを圧
入するなどの方法で組み立てを行っていた。
ビームウエスト位置は用途に合わせた光の波長毎に、レ
ンズとフェルールの距離を設計段階で決定しており、レ
ンズやフェルールをレンズパイプ等に設けられた位置決
め部に突き当てる方法や距離を測定しながらレンズを圧
入するなどの方法で組み立てを行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
方法ではコリメータを使用する光の波長によりビームウ
エスト位置が変わるため、レンズとフェルールの距離を
波長に合わせてコリメータを設計し直す必要があり、製
品開発における余計な設計工数が発生してしまう。
方法ではコリメータを使用する光の波長によりビームウ
エスト位置が変わるため、レンズとフェルールの距離を
波長に合わせてコリメータを設計し直す必要があり、製
品開発における余計な設計工数が発生してしまう。
【０００４】また、レンズやフェルールの製造精度によ
りビームウエスト位置にばらつきが発生するため、低損
失な結合が期待できなくなるなど品質上の問題が発生す
る。
りビームウエスト位置にばらつきが発生するため、低損
失な結合が期待できなくなるなど品質上の問題が発生す
る。
【０００５】そのために、組み立て時にビームウエスト
位置が調整できるようにコリメータの構造を変えると、
レンズとフェルールの距離によって出射される光の角度
が変化するようになってしまう。これにより、人手によ
る組み立てではビームウエスト位置の測定と調整に莫大
な時間を要してしまい、製造コストの見合わない製品に
なってしまう。また、ビームウエスト位置調整における
レンズとフェルールの距離調整は非常に細かく、人の手
による調整では、かなりの熟練が必要となるという問題
もある。
位置が調整できるようにコリメータの構造を変えると、
レンズとフェルールの距離によって出射される光の角度
が変化するようになってしまう。これにより、人手によ
る組み立てではビームウエスト位置の測定と調整に莫大
な時間を要してしまい、製造コストの見合わない製品に
なってしまう。また、ビームウエスト位置調整における
レンズとフェルールの距離調整は非常に細かく、人の手
による調整では、かなりの熟練が必要となるという問題
もある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために、本発明のコリメータ製造方法では、まず第１
のステージにレンズパイプとフェルールをＺ軸方向に調
整可能な状態で保持し、次に第２のステージに、このレ
ンズパイプから出射される光を反射するミラーをＺ軸方
向に移動可能に固定する。この状態で、ミラーで反射さ
れてレンズパイプに戻ってくる光パワーを測定しなが
ら、第２のステージを、測定された光パワーが最大値に
なるようにＺ軸方向に移動させ、測定された光パワーが
最大値の状態において、ミラーとレンズパイプの相対位
置が所定の範囲内かどうか測定し、もしも測定結果が範
囲内の場合はレンズパイプとフェルール間を固定し、逆
に測定結果が範囲外の場合はレンズパイプとフェルール
のＺ軸方向の距離を調整した後に、測定された光パワー
を最大値とするための第２のステージの移動を再度行う
構成となっている。
るために、本発明のコリメータ製造方法では、まず第１
のステージにレンズパイプとフェルールをＺ軸方向に調
整可能な状態で保持し、次に第２のステージに、このレ
ンズパイプから出射される光を反射するミラーをＺ軸方
向に移動可能に固定する。この状態で、ミラーで反射さ
れてレンズパイプに戻ってくる光パワーを測定しなが
ら、第２のステージを、測定された光パワーが最大値に
なるようにＺ軸方向に移動させ、測定された光パワーが
最大値の状態において、ミラーとレンズパイプの相対位
置が所定の範囲内かどうか測定し、もしも測定結果が範
囲内の場合はレンズパイプとフェルール間を固定し、逆
に測定結果が範囲外の場合はレンズパイプとフェルール
のＺ軸方向の距離を調整した後に、測定された光パワー
を最大値とするための第２のステージの移動を再度行う
構成となっている。
【０００７】
【発明の実施の形態】（第１の実施例）図１はこの発明
の第１の実施例を示す全体構成図である。
の第１の実施例を示す全体構成図である。
【０００８】ステージ１のθｘとθｙステージは、ビー
ムウエスト位置を測定する際に光を反射させるためのミ
ラー７の反射面に、レンズパイプ６とフェルール４で構
成されるコリメータから出射される光の角度を合わせる
ためのものである。ミラー７の反射面に垂直に光が当た
る角度であれば、可視光であるＨｅ−Ｎｅレーザ光をコ
リメータから出射した光は的９の中心にあたるようにな
っている。即ち、Ｈｅ−Ｎｅレーザ光を的の中心に当た
るようにステージ１のθｘとθｙステージで角度を調整
すると、コリメータから出射される光の角度はミラー７
に対して垂直になる仕組みである。
ムウエスト位置を測定する際に光を反射させるためのミ
ラー７の反射面に、レンズパイプ６とフェルール４で構
成されるコリメータから出射される光の角度を合わせる
ためのものである。ミラー７の反射面に垂直に光が当た
る角度であれば、可視光であるＨｅ−Ｎｅレーザ光をコ
リメータから出射した光は的９の中心にあたるようにな
っている。即ち、Ｈｅ−Ｎｅレーザ光を的の中心に当た
るようにステージ１のθｘとθｙステージで角度を調整
すると、コリメータから出射される光の角度はミラー７
に対して垂直になる仕組みである。
【０００９】ステージ１のＺステージは、ビームウエス
ト位置調整に用いる。ステージ２のＺステージは、Ｚ方
向にミラー７を動かしながら光パワーを測定することで
ビームウエスト位置を測定するためのものである。
ト位置調整に用いる。ステージ２のＺステージは、Ｚ方
向にミラー７を動かしながら光パワーを測定することで
ビームウエスト位置を測定するためのものである。
【００１０】図２はこの発明の、第１の実施例のシステ
ム構成図である。
ム構成図である。
【００１１】Ｈｅ−Ｎｅレーザ１３は、コリメータから
可視光を出射するためのものである。
可視光を出射するためのものである。
【００１２】光源１７は、ビームウエスト位置を測定す
るときに使用する光源であり、制御用コンピュータ１１
に接続され使用する波長の光をコリメータより出射させ
るためのものである。
るときに使用する光源であり、制御用コンピュータ１１
に接続され使用する波長の光をコリメータより出射させ
るためのものである。
【００１３】光パワーメータ１８は、ビームウエスト位
置を測定するためのもので制御用コンピュータ１１に接
続し光パワーをリアルタイムで測定する。
置を測定するためのもので制御用コンピュータ１１に接
続し光パワーをリアルタイムで測定する。
【００１４】ステージドライバ１２は、ステージ１とス
テージ２を移動制御するためのものであって、制御コン
ピュータ１１により各方向に移動制御される。
テージ２を移動制御するためのものであって、制御コン
ピュータ１１により各方向に移動制御される。
【００１５】制御コンピュータ１１は、ビームウエスト
位置測定及びビームウエスト位置調整を行うためのもの
で、光源１７より出力された光は、アイソレータ１６と
サーキュレータ１５を通り、光スイッチ１４を経由しフ
ェルール４とレンズパイプ６で構成されるコリメータよ
り出射されミラー７により反射される。ミラー７により
反射された光はコリメータに入射され、光スイッチ１４
とサーキュレータ１５を通り光パワーメータ１８で光パ
ワーとして測定される。ステージ２のＺステージを移動
させながら光パワーを測定することで、図４の（a）に
示した光パワーの変化と、(b)に示したレンズ端面とビ
ームウエスト位置の距離関係に基づき、ビームウエスト
位置が測定できる。また、ステージ１のＺステージでレ
ンズとフェルールの距離を変えることでビームウエスト
位置を調整することができる。
位置測定及びビームウエスト位置調整を行うためのもの
で、光源１７より出力された光は、アイソレータ１６と
サーキュレータ１５を通り、光スイッチ１４を経由しフ
ェルール４とレンズパイプ６で構成されるコリメータよ
り出射されミラー７により反射される。ミラー７により
反射された光はコリメータに入射され、光スイッチ１４
とサーキュレータ１５を通り光パワーメータ１８で光パ
ワーとして測定される。ステージ２のＺステージを移動
させながら光パワーを測定することで、図４の（a）に
示した光パワーの変化と、(b)に示したレンズ端面とビ
ームウエスト位置の距離関係に基づき、ビームウエスト
位置が測定できる。また、ステージ１のＺステージでレ
ンズとフェルールの距離を変えることでビームウエスト
位置を調整することができる。
【００１６】図３は、第１の実施例のビームウエスト位
置調整のステップを示したフローチャート図である。
置調整のステップを示したフローチャート図である。
【００１７】まず、ステップ２１は、ステージ１をセッ
ト位置へ移動させる。レンズパイプ６をレンズパイプチ
ャック５に固定し、フェルール４をフェルールチャック
３に固定する。
ト位置へ移動させる。レンズパイプ６をレンズパイプチ
ャック５に固定し、フェルール４をフェルールチャック
３に固定する。
【００１８】ステップ２２は、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１３が
コリメータから出射されるよう、光スイッチ１４を切り
替える。
コリメータから出射されるよう、光スイッチ１４を切り
替える。
【００１９】ステップ２３は、ミラー７をコリメータか
ら出射されたレーザ光路から外し、レーザ光が的９の中
心に当たるようにθｘとθｙステージで調整する。
ら出射されたレーザ光路から外し、レーザ光が的９の中
心に当たるようにθｘとθｙステージで調整する。
【００２０】ステップ２１からステップ２３はビームウ
エスト位置調整の準備作業であり、コリメータから出射
される光の角度をミラー７に対して垂直するためのもの
である。これによりコリメータから出射される光は、ビ
ームウエスト調整のためにレンズパイプ６のレンズとフ
ェルール４の距離を変えても角度が変わらなくなる。
エスト位置調整の準備作業であり、コリメータから出射
される光の角度をミラー７に対して垂直するためのもの
である。これによりコリメータから出射される光は、ビ
ームウエスト調整のためにレンズパイプ６のレンズとフ
ェルール４の距離を変えても角度が変わらなくなる。
【００２１】ステップ２４は、コリメータから出射され
た光をミラー７で反射させるためにミラー７を元の位置
に戻す。
た光をミラー７で反射させるためにミラー７を元の位置
に戻す。
【００２２】ステップ２５は、コリメータを実際に使用
する波長の光を光源１７より出力し、コリメータから出
射するために光スイッチ１４を切り替える。
する波長の光を光源１７より出力し、コリメータから出
射するために光スイッチ１４を切り替える。
【００２３】ステップ２６は、ビームウエスト位置測定
であり、測定したレンズ端面からの距離に対する光パワ
ーによりビームウエスト位置を記憶する。
であり、測定したレンズ端面からの距離に対する光パワ
ーによりビームウエスト位置を記憶する。
【００２４】ステップ２７は、ステップ２６で測定した
ビームウエスト位置が規格内であるか判断する。
ビームウエスト位置が規格内であるか判断する。
【００２５】規格内の場合、ステップ２９へ進む。規格
外の場合ステップ２８へ進む。
外の場合ステップ２８へ進む。
【００２６】ステップ２８は、ビームウエスト位置の調
整であり、ビームウエスト位置の規格値と測定値よりレ
ンズパイプ６のレンズとフェルール４の距離を補正す
る。このとき、補正量＝（ビームウエスト規格値−ビー
ムウエスト測定値）×補正用係数 は制御用コンピュー
タ１１で計算される。尚、補正用係数は、組み立てるコ
リメータの種類により最適な値が記憶されており、ビー
ムウエスト位置調整時に読み出される。
整であり、ビームウエスト位置の規格値と測定値よりレ
ンズパイプ６のレンズとフェルール４の距離を補正す
る。このとき、補正量＝（ビームウエスト規格値−ビー
ムウエスト測定値）×補正用係数 は制御用コンピュー
タ１１で計算される。尚、補正用係数は、組み立てるコ
リメータの種類により最適な値が記憶されており、ビー
ムウエスト位置調整時に読み出される。
【００２７】ステップ２９は、ビームウエスト位置調整
後にレンズパイプ６とフェルール４を固定するためＹＡ
Ｇ溶接を行う。
後にレンズパイプ６とフェルール４を固定するためＹＡ
Ｇ溶接を行う。
【００２８】以上のように第１の実施例によれば、従
来、製品開発にかかっていた工数の削減と長時間かかっ
てしまうビームウエスト位置調整が熟練者でなくても短
時間に行うことができる。また、ビームウエスト位置を
確実に調整できるようになりコリメータ組み立て品質の
向上が期待できるのである。
来、製品開発にかかっていた工数の削減と長時間かかっ
てしまうビームウエスト位置調整が熟練者でなくても短
時間に行うことができる。また、ビームウエスト位置を
確実に調整できるようになりコリメータ組み立て品質の
向上が期待できるのである。
【００２９】（第２の実施例）しかしながら、第１の実
施例において組み立てられたコリメータは、フェルール
やレンズなどの精度や特性により、出射される光に偏角
をもってしまう。
施例において組み立てられたコリメータは、フェルール
やレンズなどの精度や特性により、出射される光に偏角
をもってしまう。
【００３０】このような出射される光に角度を持ったコ
リメータ使用すると、光モジュール組み立て時の光軸調
整に多くの時間を必要としてしまうという問題が発生す
る。また、出射角度が大きすぎるものは、光モジュール
の部材として使用できないことがある。
リメータ使用すると、光モジュール組み立て時の光軸調
整に多くの時間を必要としてしまうという問題が発生す
る。また、出射角度が大きすぎるものは、光モジュール
の部材として使用できないことがある。
【００３１】これらの問題を解決するため、コリメータ
から出射される光の角度をできるだけ小さく組み立てる
方法を第２の実施例として説明する。
から出射される光の角度をできるだけ小さく組み立てる
方法を第２の実施例として説明する。
【００３２】図５はこの発明の第２の実施例を示す全体
構成図である。
構成図である。
【００３３】ステージ３２のθｘとθｙステージは、ビ
ームウエスト位置を測定する際に光を反射させるための
ミラー４０の反射面を、レンズ３９とパイプ３６とフェ
ルール３５で構成されるコリメータから出射される光の
角度を合わせるためのものである。ステージ３２のＺス
テージは、Ｚ方向にミラー４０を動かしながら光パワー
を測定することでビームウエスト位置を測定するための
ものである。
ームウエスト位置を測定する際に光を反射させるための
ミラー４０の反射面を、レンズ３９とパイプ３６とフェ
ルール３５で構成されるコリメータから出射される光の
角度を合わせるためのものである。ステージ３２のＺス
テージは、Ｚ方向にミラー４０を動かしながら光パワー
を測定することでビームウエスト位置を測定するための
ものである。
【００３４】ステージ３１のＺステージは、ビームウエ
スト位置調整に用いる。
スト位置調整に用いる。
【００３５】ステージ３３のＸとＹステージは、レンズ
３９をＸ及びＹ方向の平面上に移動させることで、コリ
メータから出射される光の角度を調整するためのもので
ある。可視光であるＨｅ−Ｎｅレーザ光をコリメータか
ら出射し的４１の中心に当たるようにすることで偏角を
なくす。
３９をＸ及びＹ方向の平面上に移動させることで、コリ
メータから出射される光の角度を調整するためのもので
ある。可視光であるＨｅ−Ｎｅレーザ光をコリメータか
ら出射し的４１の中心に当たるようにすることで偏角を
なくす。
【００３６】的４１は、コリメータから出射された光を
当て偏角調整を行うための的であり、偏角のない状態で
出射された光が的の中心に当たるようになっている。
当て偏角調整を行うための的であり、偏角のない状態で
出射された光が的の中心に当たるようになっている。
【００３７】図６は第２の実施例のシステム構成であ
る。
る。
【００３８】Ｈｅ−Ｎｅレーザ４４は、コリメータから
可視光を出射するためのものである。
可視光を出射するためのものである。
【００３９】光源４８は、ビームウエスト位置を測定す
るときに使用する光源であり、制御用コンピュータ４２
に接続され使用する波長の光をコリメータより出射させ
るためのものである。
るときに使用する光源であり、制御用コンピュータ４２
に接続され使用する波長の光をコリメータより出射させ
るためのものである。
【００４０】光パワーメータ４９は、ビームウエスト位
置を測定するためのもので制御用コンピュータ４２に接
続し光パワーをリアルタイムで測定する。
置を測定するためのもので制御用コンピュータ４２に接
続し光パワーをリアルタイムで測定する。
【００４１】ステージドライバ４３は、ステージ３１と
ステージ３２及びステージ３３を移動制御するためのも
のであって、制御コンピュータ４２により各方向に移動
制御される。
ステージ３２及びステージ３３を移動制御するためのも
のであって、制御コンピュータ４２により各方向に移動
制御される。
【００４２】制御コンピュータ４２は、ビームウエスト
位置測定及びビームウエスト位置調整を行うためのもの
で、光源４８より出力された光は、アイソレータ４７と
サーキュレータ４６を通り、光スイッチ４５を経由しコ
リメータより出射されミラー４０により反射される。ミ
ラー４０により反射された光はコリメータに入射され、
光スイッチ４５とサーキュレータ４６を通り光パワーメ
ータ４９で光パワーとして測定される。ステージ３２の
Ｚステージを移動させながら光パワーを測定すること
で、ビームウエスト位置を測定する。また、ステージ３
１のＺステージでレンズとフェルールの距離を変えるこ
とでビームウエスト位置を調整することができる。コリ
メータから出射される光の偏角調整は、ステージ３３の
ＸとＹステージにより行う。コリメータから出射される
光の偏角調整は、ビームウエスト位置調整前と調整後に
行う。
位置測定及びビームウエスト位置調整を行うためのもの
で、光源４８より出力された光は、アイソレータ４７と
サーキュレータ４６を通り、光スイッチ４５を経由しコ
リメータより出射されミラー４０により反射される。ミ
ラー４０により反射された光はコリメータに入射され、
光スイッチ４５とサーキュレータ４６を通り光パワーメ
ータ４９で光パワーとして測定される。ステージ３２の
Ｚステージを移動させながら光パワーを測定すること
で、ビームウエスト位置を測定する。また、ステージ３
１のＺステージでレンズとフェルールの距離を変えるこ
とでビームウエスト位置を調整することができる。コリ
メータから出射される光の偏角調整は、ステージ３３の
ＸとＹステージにより行う。コリメータから出射される
光の偏角調整は、ビームウエスト位置調整前と調整後に
行う。
【００４３】次に図７は本発明の偏角調整とビームウエ
スト位置調整のステップを示したフローチャート図であ
る。
スト位置調整のステップを示したフローチャート図であ
る。
【００４４】まず、ステップ６１は、ステージ３１とス
テージ３３をセット位置へ移動させる。パイプ３６をパ
イプチャック３７に固定し、フェルール３５をフェルー
ルチャック４４に固定する。その後、レンズ３９をレン
ズチャック３８に固定する。
テージ３３をセット位置へ移動させる。パイプ３６をパ
イプチャック３７に固定し、フェルール３５をフェルー
ルチャック４４に固定する。その後、レンズ３９をレン
ズチャック３８に固定する。
【００４５】ステップ６２は、Ｈｅ−Ｎｅレーザ４４が
コリメータから出射されるよう、光スイッチ４５を切り
替える。
コリメータから出射されるよう、光スイッチ４５を切り
替える。
【００４６】ステップ６３は、ミラー４０をコリメータ
から出射されたレーザ光路から外し、レーザ光が的４１
の中心に当たるようにステージ３３のＸとＹステージで
偏角調整をする。
から出射されたレーザ光路から外し、レーザ光が的４１
の中心に当たるようにステージ３３のＸとＹステージで
偏角調整をする。
【００４７】ステップ６１からステップ６３はビームウ
エスト位置調整の準備作業である。
エスト位置調整の準備作業である。
【００４８】ステップ６４は、コリメータから出射され
た光をミラー４０で反射させるためにミラー４０を元の
位置に戻す。
た光をミラー４０で反射させるためにミラー４０を元の
位置に戻す。
【００４９】ステップ６５は、コリメータを実際に使用
する波長の光を光源４８より出力し、コリメータから出
射するために光スイッチ４５を切り替える。
する波長の光を光源４８より出力し、コリメータから出
射するために光スイッチ４５を切り替える。
【００５０】ステップ６６は、コリメータから出射され
る光に対してミラー４０の反射面を垂直してビームウエ
スト位置を正しく測定するためのものである。
る光に対してミラー４０の反射面を垂直してビームウエ
スト位置を正しく測定するためのものである。
【００５１】ステップ６７は、ビームウエスト位置測定
であり、測定したレンズ端面からの距離に対する光パワ
ーによりビームウエスト位置を記憶する。
であり、測定したレンズ端面からの距離に対する光パワ
ーによりビームウエスト位置を記憶する。
【００５２】ステップ６８は、ステップ６７で測定した
ビームウエスト位置が規格内であるか判断する。
ビームウエスト位置が規格内であるか判断する。
【００５３】規格内の場合、ステップ７０へ進む。規格
外の場合ステップ６９へ進む。
外の場合ステップ６９へ進む。
【００５４】ステップ６９は、ビームウエスト位置の調
整であり、ビームウエスト位置の規格値と測定値よりレ
ンズ３９とフェルール３５の距離を補正する。このと
き、補正量＝（ビームウエスト規格値−ビームウエスト
測定値）×補正用係数 は制御用コンピュータ４２で計
算される。尚、補正用係数は、組み立てるコリメータの
種類により最適な値が記憶されており、ビームウエスト
位置調整時に読み出される。
整であり、ビームウエスト位置の規格値と測定値よりレ
ンズ３９とフェルール３５の距離を補正する。このと
き、補正量＝（ビームウエスト規格値−ビームウエスト
測定値）×補正用係数 は制御用コンピュータ４２で計
算される。尚、補正用係数は、組み立てるコリメータの
種類により最適な値が記憶されており、ビームウエスト
位置調整時に読み出される。
【００５５】ステップ７０は、ビームウエスト位置調整
後にパイプ３６とフェルール３５を固定するためＹＡＧ
溶接を行う。
後にパイプ３６とフェルール３５を固定するためＹＡＧ
溶接を行う。
【００５６】ステップ７１は、ミラー４０をコリメータ
から出射されたレーザ光路から外し、レーザ光が的４１
の中心に当たるようにステージ３３のＸとＹステージで
最後の偏角調整をする。
から出射されたレーザ光路から外し、レーザ光が的４１
の中心に当たるようにステージ３３のＸとＹステージで
最後の偏角調整をする。
【００５７】ステップ７２は、ビームウエスト位置調整
後にレンズ３９とパイプ３６を固定するためＹＡＧ溶接
を行う。
後にレンズ３９とパイプ３６を固定するためＹＡＧ溶接
を行う。
【００５８】以上のように、第２の実施例によれば、出
射される光の偏角が小さく安定したコリメータが組み立
てられるようになり品質の向上が期待できる。
射される光の偏角が小さく安定したコリメータが組み立
てられるようになり品質の向上が期待できる。
【００５９】また、このように組み立てられた偏角の小
さいコリメータは、光モジュール組み立て時の光軸調整
時間が短くなる効果も期待できるのである。
さいコリメータは、光モジュール組み立て時の光軸調整
時間が短くなる効果も期待できるのである。
【００６０】第２の実施例では、コリメータから出射さ
れる光を的に当て偏角調整を作業者が行っていたが、図
８のように、この的の画像をＣＣＤカメラ５０より位置
認識ユニット５１へ入力し位置検出を行い、制御用コン
ピュータからの指示でレンズをＸ及びＹ方向に動かし、
出射された光の位置を的の中心に補正することで、自動
偏角調整する構成とすることも可能である。
れる光を的に当て偏角調整を作業者が行っていたが、図
８のように、この的の画像をＣＣＤカメラ５０より位置
認識ユニット５１へ入力し位置検出を行い、制御用コン
ピュータからの指示でレンズをＸ及びＹ方向に動かし、
出射された光の位置を的の中心に補正することで、自動
偏角調整する構成とすることも可能である。
【００６１】
【発明の効果】本発明によれば、ミラーで反射された光
の光パワーの変化によって、ビームウエスト位置を正確
に測定することができるので、レンズとフェルールの距
離が適切なコリメータを容易に製造することが可能とな
る。
の光パワーの変化によって、ビームウエスト位置を正確
に測定することができるので、レンズとフェルールの距
離が適切なコリメータを容易に製造することが可能とな
る。
【図１】本発明の第１の実施例の全体構成図である。
【図２】第１の実施例のシステム構成図である。
【図３】第１の実施例の、ビームウエスト位置調整のス
テップを示したフローチャート図である。
テップを示したフローチャート図である。
【図４】光パワーとレンズ端面からのビームウエスト位
置を説明した図である。
置を説明した図である。
【図５】本発明の第２の実施例の全体構成図である。
【図６】第２の実施例のシステム構成図である。
【図７】第２の実施例の、偏角調整とビームウエスト位
置調整のステップを示したフローチャート図である。
置調整のステップを示したフローチャート図である。
【図８】ＣＣＤカメラと位置認識ユニットを用いて自動
偏角調整を行う場合のシステム構成図である。
偏角調整を行う場合のシステム構成図である。
1, 2, 31, 32, 33 ステージ
3, 34 フェルールチャック
4, 35 フェルール
5 レンズパイプチャック
6 レンズパイプ
7, 40, 50 ミラー
9, 41 的
11, 42 制御用コンピュータ
12, 43 ステージドライバ
13, 44 Ｈｅ−Ｎｅレーザ
14, 45 光スイッチ
15, 46 サーキュレータ
16, 47 アイソレータ
17, 48 光源
18, 49 光パワーメータ
36 パイプ
37 パイプチャック
38 レンズチャック
39 レンズ
50 ＣＣＤカメラ
51 位置認識ユニット
Claims (2)
- 【請求項１】 第１のステージにレンズパイプとフェル
ールをＺ軸方向に調整可能な状態で保持し、 第２のステージに、前記レンズパイプから出射される光
を反射するミラーを前記Ｚ軸方向に移動可能に固定し、 前記第２のステージを、前記ミラーで反射されて前記レ
ンズパイプに戻ってくる光パワーを測定しながら、前記
測定された光パワーが最大値になるように前記Ｚ軸方向
に移動させ、 前記光パワーが最大値の状態において、前記ミラーと前
記レンズパイプの相対位置が所定範囲内かどうか測定
し、 前記測定結果が前記所定範囲内の場合は前記レンズパイ
プと前記フェルール間を固定し、 前記測定結果が前記所定範囲外の場合は、前記第２のス
テージの前記レンズパイプと前記フェルールの前記Ｚ軸
方向の距離を調整した後に、前記測定された光パワーを
最大値とするための前記第２のステージの移動を行うこ
とを特徴とするコリメータ製造方法。 - 【請求項２】 レンズパイプとフェルールをＺ軸方向に
調整可能な状態で保持する第１のステージと、 前記レンズパイプから出射する光を前記フェルールに供
給する光源と、 前記レンズパイプから出射される光を反射するミラーを
前記Ｚ軸方向に移動可能に固定する第２のステージと、 前記ミラーで反射され前記レンズパイプに戻ってくる光
パワーを測定する光パワーメータと、 前記光パワーメータの測定結果に基づき前記第１のステ
ージと前記第２のステージの動きを制御する制御用コン
ピュータとを有し、 前記制御用コンピュータは、 前記光パワーメータの測定結果に基づき、前記測定され
た光パワーが最大値になるように前記第２のステージを
前記Ｚ軸方向に移動させ、前記測定された光パワーが最
大値の状態において、前記ミラーと前記レンズパイプの
相対位置が所定範囲内の場合は前記レンズパイプと前記
フェルール間を固定可能であると判定し、前記所定範囲
外の場合は前記レンズパイプと前記フェルールの前記Ｚ
軸方向の距離を調整した後に、前記測定された光パワー
を最大値とするための第２のステージの移動を行う制御
用コンピュータとを有することを特徴とするコリメータ
製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002109120A JP2003302555A (ja) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | コリメータ製造方法及びコリメータ製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002109120A JP2003302555A (ja) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | コリメータ製造方法及びコリメータ製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003302555A true JP2003302555A (ja) | 2003-10-24 |
Family
ID=29392669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002109120A Abandoned JP2003302555A (ja) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | コリメータ製造方法及びコリメータ製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003302555A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014026108A (ja) * | 2012-07-26 | 2014-02-06 | Nec Corp | 光部品の光軸調整方法及び光軸調整装置 |
| JP2014150222A (ja) * | 2013-02-04 | 2014-08-21 | Nippon Soken Inc | レーザ発振装置とその製造方法 |
-
2002
- 2002-04-11 JP JP2002109120A patent/JP2003302555A/ja not_active Abandoned
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014026108A (ja) * | 2012-07-26 | 2014-02-06 | Nec Corp | 光部品の光軸調整方法及び光軸調整装置 |
| JP2014150222A (ja) * | 2013-02-04 | 2014-08-21 | Nippon Soken Inc | レーザ発振装置とその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110553605B (zh) | 一种激光雷达偏转角误差的测量系统及方法 | |
| EP1134548A2 (en) | Laser alignment system with plural lasers for impingement on a single target | |
| CN110434470B (zh) | 一种大幅面透明曲面零件减反功能微纳结构加工方法及系统 | |
| US8379204B1 (en) | System and method for automatic laser beam alignment | |
| CN212470240U (zh) | 一种光束指向稳定性监测与反馈装置 | |
| CN113376857B (zh) | 一种高精度的光学光路调试装置及其调试方法 | |
| CN103063412A (zh) | 一种用于光学测量仪器样品台校准的系统及其方法 | |
| US20020008875A1 (en) | Two stage optical alignment device and method of aligning optical components | |
| CN111272083B (zh) | 一种离轴抛物面镜离轴量的测量装置及测量方法 | |
| JP2003302555A (ja) | コリメータ製造方法及びコリメータ製造装置 | |
| JP2008506146A (ja) | 光ファイバ位置合わせ装置及び方法 | |
| CN115079429B (zh) | 潜望式纹影准直光源光学系统的装调系统与装调方法 | |
| US11648624B2 (en) | Laser processing apparatus and optical adjustment method | |
| CN114967022A (zh) | 基于双经纬仪的自准直动态靶标光学装校方法 | |
| JP3285256B2 (ja) | レーザロボットの自動アライメント調整方法及び装置 | |
| JP2003302307A (ja) | 光学部材アレイのコア位置測定方法及びコア位置測定装置 | |
| JP2003098390A (ja) | 光軸調整方法及び光軸調整装置 | |
| JPH05150145A (ja) | 光フアイバへのレーザ光入射方法 | |
| CN113092075B (zh) | 一种可变角度高精度标定光源系统 | |
| US20230321751A1 (en) | System and method for calibrating laser marking and cutting systems | |
| CN102540743B (zh) | 用于光刻设备的参考光栅装调装置及方法 | |
| CN109884771B (zh) | 一种反射面45度角精确调节装置及其调节方法 | |
| JP4001796B2 (ja) | 光学素子調整方法およびその装置、並びにその方法が用いられた光学素子製造方法 | |
| JPH09258091A (ja) | レーザー光射出光学ユニットのピント測定方法 | |
| CN117102662A (zh) | 激光加工系统与同轴视觉系统的共焦面调整方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041220 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20060923 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20060929 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20061013 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Effective date: 20070119 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 |