JP2003294656A - ブラッグ反射条件シミュレーション装置およびブラッグ反射測定システム - Google Patents
ブラッグ反射条件シミュレーション装置およびブラッグ反射測定システムInfo
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- JP2003294656A JP2003294656A JP2002257012A JP2002257012A JP2003294656A JP 2003294656 A JP2003294656 A JP 2003294656A JP 2002257012 A JP2002257012 A JP 2002257012A JP 2002257012 A JP2002257012 A JP 2002257012A JP 2003294656 A JP2003294656 A JP 2003294656A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 コンピュータを用い所望する結晶試料の任意
のブラッグ反射条件を迅速、容易、且つ正確に取得しそ
れを用いて実際のブラッグ反射を測定可能の新しいブラ
ッグ反射条件シミュレーション装置および測定システム
を提供する。 【解決手段】 結晶試料からのＸ線または粒子線のブラ
ッグ反射条件シミュレーション装置であって、結晶試料
の格子定数および結晶方位を入力する入力手段（１）、
結晶方位を用いて、ＵＢマトリックスのうちの結晶方位
マトリックスＵ算出手段（２）、格子定数を用いて、Ｕ
Ｂマトリックスのうちの結晶格子マトリックスＢ算出手
段（３）、および結晶方位マトリックスＵと、結晶格子
マトリックスＢと、回折測定装置が有する複数の回転軸
のうちで任意に指定した一回転軸の回転角度とを用い
て、任意に指定したブラッグ反射の回折条件を満足する
回折測定装置が有する他の回転軸の回転角度を表す回転
マトリックスＲ算出手段（４）、を備える。
のブラッグ反射条件を迅速、容易、且つ正確に取得しそ
れを用いて実際のブラッグ反射を測定可能の新しいブラ
ッグ反射条件シミュレーション装置および測定システム
を提供する。 【解決手段】 結晶試料からのＸ線または粒子線のブラ
ッグ反射条件シミュレーション装置であって、結晶試料
の格子定数および結晶方位を入力する入力手段（１）、
結晶方位を用いて、ＵＢマトリックスのうちの結晶方位
マトリックスＵ算出手段（２）、格子定数を用いて、Ｕ
Ｂマトリックスのうちの結晶格子マトリックスＢ算出手
段（３）、および結晶方位マトリックスＵと、結晶格子
マトリックスＢと、回折測定装置が有する複数の回転軸
のうちで任意に指定した一回転軸の回転角度とを用い
て、任意に指定したブラッグ反射の回折条件を満足する
回折測定装置が有する他の回転軸の回転角度を表す回転
マトリックスＲ算出手段（４）、を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この出願の発明は、ブラッグ
反射条件シミュレーション装置およびブラッグ反射測定
システムに関するものである。さらに詳しくは、この出
願の発明は、半導体用ウェハーやそのウェハー上に形成
された薄膜等の結晶試料の構造解析ならびに構造評価に
有用な、新しいブラッグ反射条件シミュレーション装置
およびブラッグ反射測定システムに関するものである。
反射条件シミュレーション装置およびブラッグ反射測定
システムに関するものである。さらに詳しくは、この出
願の発明は、半導体用ウェハーやそのウェハー上に形成
された薄膜等の結晶試料の構造解析ならびに構造評価に
有用な、新しいブラッグ反射条件シミュレーション装置
およびブラッグ反射測定システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、物質の原子的構造の解析とし
て、Ｘ線、または中性子線や電子線等の粒子線を結晶構
造未知の結晶試料に入射し、その結晶試料によるそれら
散乱線の回折現象を利用して、結晶試料の格子形や格子
内の原子配列を明らかにする結晶構造解析の技術が盛ん
に研究・開発されてきている。たとえば、Ｘ線は結晶試
料の電子密度の解析、中性子線は結晶試料の原子核位置
の解析、電子線は結晶試料の電気的ポテンシャルの解析
に用いられる。
て、Ｘ線、または中性子線や電子線等の粒子線を結晶構
造未知の結晶試料に入射し、その結晶試料によるそれら
散乱線の回折現象を利用して、結晶試料の格子形や格子
内の原子配列を明らかにする結晶構造解析の技術が盛ん
に研究・開発されてきている。たとえば、Ｘ線は結晶試
料の電子密度の解析、中性子線は結晶試料の原子核位置
の解析、電子線は結晶試料の電気的ポテンシャルの解析
に用いられる。
【０００３】一方、既知の格子定数等の結晶情報などに
基づいて、結晶固有の逆格子を算出することにより、実
際の結晶試料によるブラッグの回折条件であるＸ線等の
入射角・出射角または結晶の方位角であるω角、χ角、
φ角や、強度情報などを得て、結晶構造解析することも
しばしば行われている。
基づいて、結晶固有の逆格子を算出することにより、実
際の結晶試料によるブラッグの回折条件であるＸ線等の
入射角・出射角または結晶の方位角であるω角、χ角、
φ角や、強度情報などを得て、結晶構造解析することも
しばしば行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来よ
り知られているこのような結晶構造解析にあっては、い
まだ、ある一つの結晶試料に対して無数に存在するブラ
ッグ反射条件を容易に且つ正確に取得することのできる
技術は存在しておらず、半導体デバイス等の最先端技術
分野からそのような技術の実現が切望されているのであ
る。
り知られているこのような結晶構造解析にあっては、い
まだ、ある一つの結晶試料に対して無数に存在するブラ
ッグ反射条件を容易に且つ正確に取得することのできる
技術は存在しておらず、半導体デバイス等の最先端技術
分野からそのような技術の実現が切望されているのであ
る。
【０００５】この出願の発明は、以上のとおりの事情に
鑑みてなされたものであり、コンピュータを用いて所望
する結晶試料についての任意のブラッグ反射条件を迅
速、容易、且つ正確に取得し表示したり、それを用いて
実際のブラッグ反射を測定したりすることのできる、新
しいブラッグ反射条件シミュレーション装置およびブラ
ッグ反射測定システムを提供することを課題としてい
る。
鑑みてなされたものであり、コンピュータを用いて所望
する結晶試料についての任意のブラッグ反射条件を迅
速、容易、且つ正確に取得し表示したり、それを用いて
実際のブラッグ反射を測定したりすることのできる、新
しいブラッグ反射条件シミュレーション装置およびブラ
ッグ反射測定システムを提供することを課題としてい
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この出願の発明は、上記
の課題を解決するものとして、第１には、結晶試料から
発生するＸ線または粒子線のブラッグ反射条件を取得す
るブラッグ反射条件シミュレーション装置であって、結
晶試料を構成する結晶の格子定数および結晶方位を入力
する入力手段、結晶方位を用いて、ＵＢマトリックスの
うちの結晶方位を表す結晶方位マトリックスＵを算出す
るＵ算出手段、格子定数を用いて、ＵＢマトリックスの
うちの結晶格子および結晶初期方位を表す結晶格子マト
リックスＢを算出するＢ算出手段、および結晶方位マト
リックスＵと、結晶格子マトリックスＢと、回折測定装
置が有する複数の回転軸のうちで任意に指定した一回転
軸の回転角度とを用いて、任意に指定したブラッグ反射
の回折条件を満足する回折測定装置が有する他の回転軸
の回転角度を表す回転マトリックスＲを算出するＲ算出
手段、を備えていることを特徴とするブラッグ反射条件
シミュレーション装置を提供し、第２には、結晶試料か
ら発生するＸ線または粒子線のブラッグ反射条件を取得
してコンピュータ画面上に表示するブラッグ反射条件シ
ミュレーション装置であって、結晶試料を構成する結晶
の格子定数および結晶方位を入力する入力手段、結晶方
位を用いて、ＵＢマトリックスのうちの結晶方位を表す
結晶方位マトリックスＵを算出するＵ算出手段、格子定
数を用いて、ＵＢマトリックスのうちの結晶格子および
結晶初期方位を表す結晶格子マトリックスＢを算出する
Ｂ算出手段、結晶方位マトリックスＵと、結晶格子マト
リックスＢと、回折測定装置が有する複数の回転軸のう
ちで任意に指定した一回転軸の回転角度とを用いて、任
意に指定したブラッグ反射の回折条件を満足する前記回
折測定装置が有する他の回転軸の回転角度を表す回転マ
トリックスＲを算出するＲ算出手段、回転マトリックス
Ｒと結晶方位マトリックスＵと結晶格子マトリックスＢ
とを掛け算するＲＵＢ掛算手段、および掛算結果値を用
いて、前記任意に指定したブラッグ反射が乗る回折面お
よび前記任意に指定したブラッグ反射の逆格子点をブラ
ッグ反射条件として表示する表示手段、を備えているこ
とを特徴とするブラッグ反射条件シミュレーション装置
を提供し、第３には、コンピュータと回折測定装置とを
用いて、Ｘ線または粒子線の任意に指定したブラッグ反
射を測定するシステムであって、コンピュータは、結晶
試料を構成する結晶の格子定数および結晶方位を入力す
る入力手段、結晶方位を用いて、ＵＢマトリックスのう
ちの結晶方位を表す結晶方位マトリックスＵを算出する
Ｕ算出手段、格子定数を用いて、ＵＢマトリックスのう
ちの結晶格子および結晶初期方位を表す結晶格子マトリ
ックスＢを算出するＢ算出手段、結晶方位マトリックス
Ｕと、結晶格子マトリックスＢと、回折測定装置が有す
る複数の回転軸のうちで任意に指定した一回転軸の回転
角度とを用いて、任意に指定したブラッグ反射の回折条
件を満足する回折測定装置が有する他の回転軸の回転角
度を表す回転マトリックスＲを算出するＲ算出手段、お
よび、回折測定装置が有する各回転軸を回転マトリック
スＲと同じ回転角度となるように回転させる回転軸制御
手段、を備えていることを特徴とするブラッグ反射測定
システムを提供し、第４には、コンピュータと回折測定
装置とを用いて、Ｘ線または粒子線の任意に指定したブ
ラッグ反射を測定するシステムであって、コンピュータ
は、結晶試料を構成する結晶の格子定数および結晶方位
を入力する入力手段、結晶方位を用いて、ＵＢマトリッ
クスのうちの結晶方位を表す結晶方位マトリックスＵを
算出するＵ算出手段、格子定数を用いて、ＵＢマトリッ
クスのうちの結晶格子および結晶初期方位を表す結晶格
子マトリックスＢを算出するＢ算出手段、結晶方位マト
リックスＵと、結晶格子マトリックスＢと、回折測定装
置が有する複数の回転軸のうちで任意に指定した一回転
軸の回転角度とを用いて、任意に指定したブラッグ反射
の回折条件を満足する回折測定装置が有する他の回転軸
の回転角度を表す回転マトリックスＲを算出するＲ算出
手段、回折測定装置が有する各回転軸を回転マトリック
スＲと同じ回転角度となるように回転させる回転軸制御
手段、回転マトリックスＲと結晶方位マトリックスＵと
結晶格子マトリックスＢとを掛け算するＲＵＢ掛算手
段、掛算結果値を用いて、前記任意に指定したブラッグ
反射が乗る回折面および前記任意に指定したブラッグ反
射の逆格子点をブラッグ反射条件として表示する表示手
段、を備えていることを特徴とするブラッグ反射測定シ
ステムを提供する。
の課題を解決するものとして、第１には、結晶試料から
発生するＸ線または粒子線のブラッグ反射条件を取得す
るブラッグ反射条件シミュレーション装置であって、結
晶試料を構成する結晶の格子定数および結晶方位を入力
する入力手段、結晶方位を用いて、ＵＢマトリックスの
うちの結晶方位を表す結晶方位マトリックスＵを算出す
るＵ算出手段、格子定数を用いて、ＵＢマトリックスの
うちの結晶格子および結晶初期方位を表す結晶格子マト
リックスＢを算出するＢ算出手段、および結晶方位マト
リックスＵと、結晶格子マトリックスＢと、回折測定装
置が有する複数の回転軸のうちで任意に指定した一回転
軸の回転角度とを用いて、任意に指定したブラッグ反射
の回折条件を満足する回折測定装置が有する他の回転軸
の回転角度を表す回転マトリックスＲを算出するＲ算出
手段、を備えていることを特徴とするブラッグ反射条件
シミュレーション装置を提供し、第２には、結晶試料か
ら発生するＸ線または粒子線のブラッグ反射条件を取得
してコンピュータ画面上に表示するブラッグ反射条件シ
ミュレーション装置であって、結晶試料を構成する結晶
の格子定数および結晶方位を入力する入力手段、結晶方
位を用いて、ＵＢマトリックスのうちの結晶方位を表す
結晶方位マトリックスＵを算出するＵ算出手段、格子定
数を用いて、ＵＢマトリックスのうちの結晶格子および
結晶初期方位を表す結晶格子マトリックスＢを算出する
Ｂ算出手段、結晶方位マトリックスＵと、結晶格子マト
リックスＢと、回折測定装置が有する複数の回転軸のう
ちで任意に指定した一回転軸の回転角度とを用いて、任
意に指定したブラッグ反射の回折条件を満足する前記回
折測定装置が有する他の回転軸の回転角度を表す回転マ
トリックスＲを算出するＲ算出手段、回転マトリックス
Ｒと結晶方位マトリックスＵと結晶格子マトリックスＢ
とを掛け算するＲＵＢ掛算手段、および掛算結果値を用
いて、前記任意に指定したブラッグ反射が乗る回折面お
よび前記任意に指定したブラッグ反射の逆格子点をブラ
ッグ反射条件として表示する表示手段、を備えているこ
とを特徴とするブラッグ反射条件シミュレーション装置
を提供し、第３には、コンピュータと回折測定装置とを
用いて、Ｘ線または粒子線の任意に指定したブラッグ反
射を測定するシステムであって、コンピュータは、結晶
試料を構成する結晶の格子定数および結晶方位を入力す
る入力手段、結晶方位を用いて、ＵＢマトリックスのう
ちの結晶方位を表す結晶方位マトリックスＵを算出する
Ｕ算出手段、格子定数を用いて、ＵＢマトリックスのう
ちの結晶格子および結晶初期方位を表す結晶格子マトリ
ックスＢを算出するＢ算出手段、結晶方位マトリックス
Ｕと、結晶格子マトリックスＢと、回折測定装置が有す
る複数の回転軸のうちで任意に指定した一回転軸の回転
角度とを用いて、任意に指定したブラッグ反射の回折条
件を満足する回折測定装置が有する他の回転軸の回転角
度を表す回転マトリックスＲを算出するＲ算出手段、お
よび、回折測定装置が有する各回転軸を回転マトリック
スＲと同じ回転角度となるように回転させる回転軸制御
手段、を備えていることを特徴とするブラッグ反射測定
システムを提供し、第４には、コンピュータと回折測定
装置とを用いて、Ｘ線または粒子線の任意に指定したブ
ラッグ反射を測定するシステムであって、コンピュータ
は、結晶試料を構成する結晶の格子定数および結晶方位
を入力する入力手段、結晶方位を用いて、ＵＢマトリッ
クスのうちの結晶方位を表す結晶方位マトリックスＵを
算出するＵ算出手段、格子定数を用いて、ＵＢマトリッ
クスのうちの結晶格子および結晶初期方位を表す結晶格
子マトリックスＢを算出するＢ算出手段、結晶方位マト
リックスＵと、結晶格子マトリックスＢと、回折測定装
置が有する複数の回転軸のうちで任意に指定した一回転
軸の回転角度とを用いて、任意に指定したブラッグ反射
の回折条件を満足する回折測定装置が有する他の回転軸
の回転角度を表す回転マトリックスＲを算出するＲ算出
手段、回折測定装置が有する各回転軸を回転マトリック
スＲと同じ回転角度となるように回転させる回転軸制御
手段、回転マトリックスＲと結晶方位マトリックスＵと
結晶格子マトリックスＢとを掛け算するＲＵＢ掛算手
段、掛算結果値を用いて、前記任意に指定したブラッグ
反射が乗る回折面および前記任意に指定したブラッグ反
射の逆格子点をブラッグ反射条件として表示する表示手
段、を備えていることを特徴とするブラッグ反射測定シ
ステムを提供する。
【０００７】また、この出願の発明は、第５および第６
には、予め回折測定装置に対応するＵＢマトリックスお
よび回転マトリックスＲを構成する行列式を記憶してお
くマトリックス記憶手段をさらに備えていることを特徴
とするブラッグ反射条件シミュレーション装置およびブ
ラッグ反射測定システム、第７および第８には、前記任
意に指定したブラッグ反射は、回転マトリックスＲの算
出時に当該装置および当該システムの操作者により指定
したものであることを特徴とするブラッグ反射条件シミ
ュレーション装置およびブラッグ反射測定システム、第
９および第１０には、前記回折測定装置が有する複数の
回転軸のうちで任意に指定した一回転軸の回転角度は、
回転マトリックスＲの算出時に当該装置および当該シス
テムの操作者により指定したものであることを特徴とす
るブラッグ反射条件シミュレーション装置およびブラッ
グ反射測定システム、第１１および第１２には、予め結
晶試料を構成する結晶の格子定数を記憶したデータベー
スをさらに備えていることを特徴とするブラッグ反射条
件シミュレーション装置およびブラッグ反射測定システ
ムを提供する。
には、予め回折測定装置に対応するＵＢマトリックスお
よび回転マトリックスＲを構成する行列式を記憶してお
くマトリックス記憶手段をさらに備えていることを特徴
とするブラッグ反射条件シミュレーション装置およびブ
ラッグ反射測定システム、第７および第８には、前記任
意に指定したブラッグ反射は、回転マトリックスＲの算
出時に当該装置および当該システムの操作者により指定
したものであることを特徴とするブラッグ反射条件シミ
ュレーション装置およびブラッグ反射測定システム、第
９および第１０には、前記回折測定装置が有する複数の
回転軸のうちで任意に指定した一回転軸の回転角度は、
回転マトリックスＲの算出時に当該装置および当該シス
テムの操作者により指定したものであることを特徴とす
るブラッグ反射条件シミュレーション装置およびブラッ
グ反射測定システム、第１１および第１２には、予め結
晶試料を構成する結晶の格子定数を記憶したデータベー
スをさらに備えていることを特徴とするブラッグ反射条
件シミュレーション装置およびブラッグ反射測定システ
ムを提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】上記のとおりの特徴を有するこの
出願の発明は、たとえば図１および図２に示したよう
に、コンピュータを用いて、構造解析・構造評価の対象
となる所望の結晶試料について、無数に存在するブラッ
グ反射条件のうちの任意の条件をコンピュータ演算によ
って取得し表示したり、あるいは実際にその条件を満た
すブラッグ反射を測定したりすることを実現するのもの
である。以下に、機能ブロックおよび処理フローを示し
た図１および図２に沿って、各処理について説明する。
出願の発明は、たとえば図１および図２に示したよう
に、コンピュータを用いて、構造解析・構造評価の対象
となる所望の結晶試料について、無数に存在するブラッ
グ反射条件のうちの任意の条件をコンピュータ演算によ
って取得し表示したり、あるいは実際にその条件を満た
すブラッグ反射を測定したりすることを実現するのもの
である。以下に、機能ブロックおよび処理フローを示し
た図１および図２に沿って、各処理について説明する。
【０００９】＜データ入力＞まず、コンピュータの操作
者が、所望する結晶試料を構成する結晶の格子定数およ
び結晶方位を入力する（入力手段（１）、ステップＳ
１）。
者が、所望する結晶試料を構成する結晶の格子定数およ
び結晶方位を入力する（入力手段（１）、ステップＳ
１）。
【００１０】このとき、予め様々な結晶の格子定数デー
タを有するデータベース（７）を用意しておき、たとえ
ば結晶名などの入力によって、自動的にそのデータベー
スから該当する結晶の格子定数データを検索取得するよ
うにシステム構築してもよい。結晶方位については、対
象となる結晶試料に因るので、その都度入力する必要が
ある。
タを有するデータベース（７）を用意しておき、たとえ
ば結晶名などの入力によって、自動的にそのデータベー
スから該当する結晶の格子定数データを検索取得するよ
うにシステム構築してもよい。結晶方位については、対
象となる結晶試料に因るので、その都度入力する必要が
ある。
【００１１】入力は、たとえば、コンピュータ画面上に
数値入力部や結晶名入力部が表示され、それにキーボー
ドやマウス等の入力手段（１）を用いて入力することに
より行う。
数値入力部や結晶名入力部が表示され、それにキーボー
ドやマウス等の入力手段（１）を用いて入力することに
より行う。
【００１２】＜結晶方位マトリックスＵ算出＞入力され
た結晶方位を用いて、ＵＢマトリックスのうちの、結晶
方位を表す結晶方位マトリックスＵを算出する（Ｕ算出
手段（２）、ステップＳ２）。
た結晶方位を用いて、ＵＢマトリックスのうちの、結晶
方位を表す結晶方位マトリックスＵを算出する（Ｕ算出
手段（２）、ステップＳ２）。
【００１３】＜結晶格子マトリックスＢ算出＞入力され
たあるいは検索取得された格子定数を用いて、ＵＢマト
リックスのうちの、結晶格子および結晶初期方位を表す
結晶格子マトリックスＢを算出する（Ｂ算出手段
（３）、ステップＳ３）。
たあるいは検索取得された格子定数を用いて、ＵＢマト
リックスのうちの、結晶格子および結晶初期方位を表す
結晶格子マトリックスＢを算出する（Ｂ算出手段
（３）、ステップＳ３）。
【００１４】＜回転マトリックスＲ算出＞Ｕ算出手段
（２）により算出された結晶方位マトリックスＵと、Ｂ
算出手段（３）により算出された結晶格子マトリックス
Ｂとを用い、さらには所望の回折測定装置が有する複数
の回転軸のうちで任意に指定した一回転軸の回転角度を
用いて、任意に指定したブラッグ反射の回折条件を満足
する前記回折測定装置が有する他の回転軸の回転角度を
表す回転マトリックスＲを算出する（Ｒ算出手段
（４）、ステップＳ４）。
（２）により算出された結晶方位マトリックスＵと、Ｂ
算出手段（３）により算出された結晶格子マトリックス
Ｂとを用い、さらには所望の回折測定装置が有する複数
の回転軸のうちで任意に指定した一回転軸の回転角度を
用いて、任意に指定したブラッグ反射の回折条件を満足
する前記回折測定装置が有する他の回転軸の回転角度を
表す回転マトリックスＲを算出する（Ｒ算出手段
（４）、ステップＳ４）。
【００１５】なおもちろん、ここでいう回転軸とは、Ｘ
線源・粒子線源と試料とＸ線・粒子線検出器の相対的な
配置と向きを設定する軸のことである。
線源・粒子線源と試料とＸ線・粒子線検出器の相対的な
配置と向きを設定する軸のことである。
【００１６】＜ＵＢマトリックスおよび回転マトリック
スＲ＞上記ＵＢマトリックスおよび回転マトリックスＲ
を構成する行列式は、回折測定装置の種類によって異な
るものである。たとえば、３軸ゴニオメータと４軸ゴニ
オメータとはそれぞれ異なる行列式となり、また同じ回
転軸数のゴニオメータであっても軸構成や軸機構によっ
て行列式は異なる。したがって、ＵＢマトリックスおよ
び回転マトリックスＲを構成する行列式は、予め個々の
回折測定装置毎に求めておく必要があり、それぞれ予め
記憶させておくことが好ましい（マトリックス記憶手段
（８））。
スＲ＞上記ＵＢマトリックスおよび回転マトリックスＲ
を構成する行列式は、回折測定装置の種類によって異な
るものである。たとえば、３軸ゴニオメータと４軸ゴニ
オメータとはそれぞれ異なる行列式となり、また同じ回
転軸数のゴニオメータであっても軸構成や軸機構によっ
て行列式は異なる。したがって、ＵＢマトリックスおよ
び回転マトリックスＲを構成する行列式は、予め個々の
回折測定装置毎に求めておく必要があり、それぞれ予め
記憶させておくことが好ましい（マトリックス記憶手段
（８））。
【００１７】後は、前記各処理によるブラッグ反射条件
取得シミュレーション時に、所望の回折測定装置を指定
し、格子定数および結晶方位に加えて、一回転軸の回転
角度を入力すれば、指定した回折測定装置に対応するＵ
Ｂマトリクスおよび回転マトリックスＲを用いて行列計
算が自動的に行われる。
取得シミュレーション時に、所望の回折測定装置を指定
し、格子定数および結晶方位に加えて、一回転軸の回転
角度を入力すれば、指定した回折測定装置に対応するＵ
Ｂマトリクスおよび回転マトリックスＲを用いて行列計
算が自動的に行われる。
【００１８】なお、一度格子定数および結晶方位を入力
した後はＵＢマトリックスの具体的数値はその結晶試料
の結晶に対して一定に決まったものとなるので、以後所
望する回折測定装置における任意の一回転軸の回転角度
を入力していけば、その入力回転角度に対してブラッグ
反射の回折条件を満足する他の回転軸の回転角度を表す
回転マトリックスＲを得ることができる。
した後はＵＢマトリックスの具体的数値はその結晶試料
の結晶に対して一定に決まったものとなるので、以後所
望する回折測定装置における任意の一回転軸の回転角度
を入力していけば、その入力回転角度に対してブラッグ
反射の回折条件を満足する他の回転軸の回転角度を表す
回転マトリックスＲを得ることができる。
【００１９】ここで、一例として、この出願の出願人に
よる一製品であるＡＴＸ−ＥゴニオメータおよびＡＴＸ
−Ｇゴニオメータに対応したＵＢマトリックスおよび回
転マトリックスＲについて説明する。
よる一製品であるＡＴＸ−ＥゴニオメータおよびＡＴＸ
−Ｇゴニオメータに対応したＵＢマトリックスおよび回
転マトリックスＲについて説明する。
【００２０】ＡＴＸ−Ｅゴニオメータ
ＡＴＸ−Ｅゴニオメータは、４軸回折測定装置であり、
図３に例示したように、回転軸として、垂直装置軸であ
るΩ軸、Ω軸を含んだ垂直面に乗り且つ装置中心を通る
Χ軸、Χ軸に沿ってχ角に設定されるΦ軸を有する。ま
た、Χ軸から支持されるΦシャフトを有し、結晶試料は
Φ軸で回転されるようにΦシャフトに装着される。
図３に例示したように、回転軸として、垂直装置軸であ
るΩ軸、Ω軸を含んだ垂直面に乗り且つ装置中心を通る
Χ軸、Χ軸に沿ってχ角に設定されるΦ軸を有する。ま
た、Χ軸から支持されるΦシャフトを有し、結晶試料は
Φ軸で回転されるようにΦシャフトに装着される。
【００２１】このＡＴＸ−Ｅゴニオメータに対応したＵ
Ｂマトリックスは、たとえば数１のように表すことがで
きる。
Ｂマトリックスは、たとえば数１のように表すことがで
きる。
【００２２】
【数１】
【００２３】また、回転マトリックスＲは、たとえば数
２のように表すことができる。
２のように表すことができる。
【００２４】
【数２】
【００２５】この回転マトリックスＲを用いる場合、指
定したブラッグ反射の回折条件の一つとしてω角の値が
入力されたとき、χ角およびφ角の値は、その入力され
たω角の値を用いて、数３により算出することができ
る。
定したブラッグ反射の回折条件の一つとしてω角の値が
入力されたとき、χ角およびφ角の値は、その入力され
たω角の値を用いて、数３により算出することができ
る。
【００２６】
【数３】
【００２７】そして、回転マトリックスＲは、入力され
たω角ならびに算出されたχ角およびφ角の各値を用い
て、上記数２により算出される。
たω角ならびに算出されたχ角およびφ角の各値を用い
て、上記数２により算出される。
【００２８】また、指定したブラッグ反射の回折条件の
一つとしてχ角の値が入力されたとき、ω角およびφ角
の値は、その入力されたχ角の値を用いて、数４により
算出することができる。
一つとしてχ角の値が入力されたとき、ω角およびφ角
の値は、その入力されたχ角の値を用いて、数４により
算出することができる。
【００２９】
【数４】
【００３０】そして、回転マトリックスＲは、入力され
たχ角ならびに算出されたω角およびφ角の各値を用い
て、上記数２により算出される。
たχ角ならびに算出されたω角およびφ角の各値を用い
て、上記数２により算出される。
【００３１】さらにまた、指定したブラッグ反射の回折
条件の一つとしてφ角の値が入力されたとき、χ角およ
びω角の値は、その入力されたφ角の値を用いて、数５
により算出することができる。
条件の一つとしてφ角の値が入力されたとき、χ角およ
びω角の値は、その入力されたφ角の値を用いて、数５
により算出することができる。
【００３２】
【数５】
【００３３】そして、回転マトリックスＲは、入力され
たφ角ならびに算出されたχ角およびω角の各値を用い
て、上記数２により算出される。
たφ角ならびに算出されたχ角およびω角の各値を用い
て、上記数２により算出される。
【００３４】上記各数式において、ω0，χ0，φ0は数
６で求めることができる。
６で求めることができる。
【００３５】
【数６】
【００３６】以上により、回転マトリックスＲを、指定
したブラッグ反射のブラッグ反射条件として、取得する
ことができる。
したブラッグ反射のブラッグ反射条件として、取得する
ことができる。
【００３７】ＡＴＸ−Ｇゴニオメータ
続いて、この出願の出願人によるIn-plane回折測定装置
であるＡＴＸ−Ｇゴニオメータについて説明する。
であるＡＴＸ−Ｇゴニオメータについて説明する。
【００３８】ＡＴＸ−Ｇゴニオメータでは、図４に例示
したように、結晶試料は、試料面の原点を通るΩ軸をω
角回転される。検出器は、Ω軸と垂直に交わる赤道面に
沿ってΩ軸を中心に２θ角回転され、且つ、Ω軸が乗る
とともに赤道面と垂直に交わる試料面の原点を中心に２
θχ角回転される。結晶試料はまた、試料面の原点を通
るとともに試料面と垂直に交わるΦ軸をφ角in-plane回
転される。
したように、結晶試料は、試料面の原点を通るΩ軸をω
角回転される。検出器は、Ω軸と垂直に交わる赤道面に
沿ってΩ軸を中心に２θ角回転され、且つ、Ω軸が乗る
とともに赤道面と垂直に交わる試料面の原点を中心に２
θχ角回転される。結晶試料はまた、試料面の原点を通
るとともに試料面と垂直に交わるΦ軸をφ角in-plane回
転される。
【００３９】このＡＴＸ−Ｇゴニオメータに対応したＵ
Ｂマトリックスは、前述したＡＴＸ−Ｅゴニオメータの
それ（数１参照）と同じに表すことができる。
Ｂマトリックスは、前述したＡＴＸ−Ｅゴニオメータの
それ（数１参照）と同じに表すことができる。
【００４０】回転マトリックスＲは、たとえば数７のよ
うに表すことができる。
うに表すことができる。
【００４１】
【数７】
【００４２】この回転マトリックスＲを用いる場合、指
定したブラッグ反射の回折条件の一つとしてω角の値が
入力されたとき、φ角、２θχ角および２θ角の値はそ
れぞれ、その指定されたω角の値を用いて、数８、数９
および数１０により算出することができる。
定したブラッグ反射の回折条件の一つとしてω角の値が
入力されたとき、φ角、２θχ角および２θ角の値はそ
れぞれ、その指定されたω角の値を用いて、数８、数９
および数１０により算出することができる。
【００４３】
【数８】
【００４４】
【数９】
【００４５】
【数１０】
【００４６】そして、回転マトリックスＲは、入力され
たω角ならびに算出されたφ角、２θχ角および２θ角
の各値を用いて、上記数７により算出される。
たω角ならびに算出されたφ角、２θχ角および２θ角
の各値を用いて、上記数７により算出される。
【００４７】また、指定したブラッグ反射の回折条件の
一つとして２θ角の値が入力されたとき、２θχ角、φ
角およびω角の値はそれぞれ、その入力されたχ角の値
を用いて、数１１、数１２および数１３により算出する
ことができる。
一つとして２θ角の値が入力されたとき、２θχ角、φ
角およびω角の値はそれぞれ、その入力されたχ角の値
を用いて、数１１、数１２および数１３により算出する
ことができる。
【００４８】
【数１１】
【００４９】
【数１２】
【００５０】
【数１３】
【００５１】そして、回転マトリックスＲは、入力され
たχ角ならびに算出された２θχ角、φ角およびω角の
各値を用いて、上記数７により算出される。
たχ角ならびに算出された２θχ角、φ角およびω角の
各値を用いて、上記数７により算出される。
【００５２】さらにまた、指定したブラッグ反射の回折
条件の一つとして２θχ角の値が入力されたとき、２θ
角、φ角およびω角の値はそれぞれ、その入力された２
θχ角の値を用いて、数１４、数１５および数１６によ
り算出することができる。
条件の一つとして２θχ角の値が入力されたとき、２θ
角、φ角およびω角の値はそれぞれ、その入力された２
θχ角の値を用いて、数１４、数１５および数１６によ
り算出することができる。
【００５３】
【数１４】
【００５４】
【数１５】
【００５５】
【数１６】
【００５６】そして、回転マトリックスＲは、入力され
た２θχ角ならびに算出された２θ角、φ角およびω角
の各値を用いて、上記数７により算出される。
た２θχ角ならびに算出された２θ角、φ角およびω角
の各値を用いて、上記数７により算出される。
【００５７】以上により、回転マトリックスＲを、指定
したブラッグ反射のブラッグ反射条件として、取得する
ことができる。
したブラッグ反射のブラッグ反射条件として、取得する
ことができる。
【００５８】＜回折面・逆格子点の表示＞この出願の発
明では、さらに、上述の通りに算出した回転マトリック
スＲと結晶方位マトリックスＵと結晶格子マトリックス
Ｂとを掛け算し、その掛算結果値を用いることで、任意
に指定したブラッグ反射が乗る回折面および任意に指定
したブラッグ反射の逆格子点を、ブラッグ反射条件とし
てコンピュータディスプレイ等に表示させるようにする
こともできる（ＲＵＢ掛算手段（５）・表示手段
（６）、ステップＳ５・ステップＳ６）。
明では、さらに、上述の通りに算出した回転マトリック
スＲと結晶方位マトリックスＵと結晶格子マトリックス
Ｂとを掛け算し、その掛算結果値を用いることで、任意
に指定したブラッグ反射が乗る回折面および任意に指定
したブラッグ反射の逆格子点を、ブラッグ反射条件とし
てコンピュータディスプレイ等に表示させるようにする
こともできる（ＲＵＢ掛算手段（５）・表示手段
（６）、ステップＳ５・ステップＳ６）。
【００５９】より具体的には、そのような表示を実現す
るためには、まず、数１７の計算を実行する必要があ
る。
るためには、まず、数１７の計算を実行する必要があ
る。
【００６０】
【数１７】
【００６１】ＵＢマトリックスの結晶方位マトリックス
Ｕに回転マトリックスＲを掛けることは、回転マトリッ
クスＲで表されている回転角に従って結晶を回転させる
ことを意味する。このため、上式におけるｘ*，ｙ*，ｚ
*は、回転マトリックスＲに従って回転された結晶の逆
格子空間における位置を意味することになる。言い換え
ると、ｘ*，ｙ*，ｚ*は、回転マトリックスＲに従って
結晶を回転させる際に生じる指定したブラッグ反射に対
する逆格子点の位置を表すのである。したがって、コン
ピュータディスプレイ等には、ｘ*，ｙ*，ｚ*が位置す
る回折面が表示され、且つ、逆格子点がその回折面内の
ｘ*，ｙ*，ｚ*の位置にて表示されることとなる。
Ｕに回転マトリックスＲを掛けることは、回転マトリッ
クスＲで表されている回転角に従って結晶を回転させる
ことを意味する。このため、上式におけるｘ*，ｙ*，ｚ
*は、回転マトリックスＲに従って回転された結晶の逆
格子空間における位置を意味することになる。言い換え
ると、ｘ*，ｙ*，ｚ*は、回転マトリックスＲに従って
結晶を回転させる際に生じる指定したブラッグ反射に対
する逆格子点の位置を表すのである。したがって、コン
ピュータディスプレイ等には、ｘ*，ｙ*，ｚ*が位置す
る回折面が表示され、且つ、逆格子点がその回折面内の
ｘ*，ｙ*，ｚ*の位置にて表示されることとなる。
【００６２】図５は、回折面と逆格子点とをコンピュー
タ画面上に表示させた場合の一例を示したものである。
この図５に示したコンピュータ画面表示例では、ＧａＡ
ｓ基板上にＡｌＧａＡｓ薄膜を形成してなる結晶試料に
ついて、回折測定装置としてＡＴＸ−Ｅゴニオメータを
用いる場合に、ω角を７７．２０°と入力指定したと
き、数３によりχ角およびφ角が−０．１１°および−
４５．１６°と算出されて、これらの数値を用いて数２
により回転マトリックスＲが算出され、さらに数１７の
計算が実行されて、任意に指定したブラッグ反射が乗る
回折面および任意に指定したブラッグ反射の逆格子点が
表示されている。
タ画面上に表示させた場合の一例を示したものである。
この図５に示したコンピュータ画面表示例では、ＧａＡ
ｓ基板上にＡｌＧａＡｓ薄膜を形成してなる結晶試料に
ついて、回折測定装置としてＡＴＸ−Ｅゴニオメータを
用いる場合に、ω角を７７．２０°と入力指定したと
き、数３によりχ角およびφ角が−０．１１°および−
４５．１６°と算出されて、これらの数値を用いて数２
により回転マトリックスＲが算出され、さらに数１７の
計算が実行されて、任意に指定したブラッグ反射が乗る
回折面および任意に指定したブラッグ反射の逆格子点が
表示されている。
【００６３】なお、このコンピュータ画面表示例のよう
に、任意に指定したブラッグ反射の逆格子点のミラー指
数をも同時に表示するようにしてもよく、また任意に指
定したブラッグ反射の逆格子点の構造因子を算出して表
示するようにしてもよい。構造因子の算出は、下記数１
８の公知式により可能である。
に、任意に指定したブラッグ反射の逆格子点のミラー指
数をも同時に表示するようにしてもよく、また任意に指
定したブラッグ反射の逆格子点の構造因子を算出して表
示するようにしてもよい。構造因子の算出は、下記数１
８の公知式により可能である。
【００６４】
【数１８】
【００６５】以上により、この出願の発明によれば、使
用者が所望するあらゆる様々な結晶試料についての任意
のブラッグ反射条件を、取得し表示することができるよ
うになる。
用者が所望するあらゆる様々な結晶試料についての任意
のブラッグ反射条件を、取得し表示することができるよ
うになる。
【００６６】＜ブラッグ反射の実測＞またもちろん、指
定したブラッグ反射を実際に測定することも可能にな
る。すなわち、回折測定装置における各回転軸を上述の
通りに算出した回転マトリックスＲと同じ回転角度とな
るように回転させ（回転軸制御手段（９）、ステップＳ
７・ステップＳ８）、その状態で測定を開始すればよ
い。
定したブラッグ反射を実際に測定することも可能にな
る。すなわち、回折測定装置における各回転軸を上述の
通りに算出した回転マトリックスＲと同じ回転角度とな
るように回転させ（回転軸制御手段（９）、ステップＳ
７・ステップＳ８）、その状態で測定を開始すればよ
い。
【００６７】より具体的には、たとえば、上記各ステッ
プを実行するプログラムがインストールされた汎用ある
いは専用コンピュータと、そのコンピュータと信号送受
信可能に構築されたゴニオメータとを用い、算出した回
転マトリックスＲを構成する各数値データに基づいてゴ
ニオメータの各回転軸駆動装置でそれぞれ対応する回転
軸を回転させることで、任意に指定したブラッグ反射の
実測が可能となる。
プを実行するプログラムがインストールされた汎用ある
いは専用コンピュータと、そのコンピュータと信号送受
信可能に構築されたゴニオメータとを用い、算出した回
転マトリックスＲを構成する各数値データに基づいてゴ
ニオメータの各回転軸駆動装置でそれぞれ対応する回転
軸を回転させることで、任意に指定したブラッグ反射の
実測が可能となる。
【００６８】この出願の発明は以上の実施形態に限定さ
れるものではなく、細部については様々な態様が可能で
ある。
れるものではなく、細部については様々な態様が可能で
ある。
【００６９】
【発明の効果】以上詳しく説明したとおり、この出願の
発明によって、コンピュータを用いて所望する結晶試料
についての任意のブラッグ反射条件を迅速、容易、且つ
正確に取得し表示したり、それを用いて実際のブラッグ
反射を測定したりすることのできる、新しいブラッグ反
射条件シミュレーション装置およびブラッグ反射測定シ
ステムが提供される。
発明によって、コンピュータを用いて所望する結晶試料
についての任意のブラッグ反射条件を迅速、容易、且つ
正確に取得し表示したり、それを用いて実際のブラッグ
反射を測定したりすることのできる、新しいブラッグ反
射条件シミュレーション装置およびブラッグ反射測定シ
ステムが提供される。
【図１】この出願の発明を説明するための機能ブロック
図である。
図である。
【図２】この出願の発明を説明するためのフローチャー
トである。
トである。
【図３】ＡＴＸ−Ｅゴニオメータを例示した概略図であ
る。
る。
【図４】ＡＴＸ−Ｇゴニオメータを例示した概略図であ
る。
る。
【図５】この出願の発明によるコンピュータ画面表示の
一例を示した図である。
一例を示した図である。
１ 入力手段
２ Ｕ算出手段
３ Ｂ算出手段
４ Ｒ算出手段
５ ＲＵＢ掛算手段
６ 表示手段
７ データベース
８ マトリックス記憶手段
９ 回転軸制御手段
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 小澤 哲也
東京都昭島市松原町３丁目９番12号 理学
電機株式会社内
(72)発明者 原田 仁平
東京都昭島市松原町３丁目９番12号 理学
電機株式会社内
Ｆターム(参考） 2G001 AA01 AA03 BA18 CA01 CA03
GA01 GA13 HA01 HA20 JA13
KA08 LA11 MA05 PA12 SA01
SA07
Claims (12)
- 【請求項１】 結晶試料から発生するＸ線または粒子線
のブラッグ反射条件を取得するブラッグ反射条件シミュ
レーション装置であって、 結晶試料を構成する結晶の格子定数および結晶方位を入
力する入力手段、 結晶方位を用いて、ＵＢマトリックスのうちの結晶方位
を表す結晶方位マトリックスＵを算出するＵ算出手段、 格子定数を用いて、ＵＢマトリックスのうちの結晶格子
および結晶初期方位を表す結晶格子マトリックスＢを算
出するＢ算出手段、および 結晶方位マトリックスＵと、結晶格子マトリックスＢ
と、回折測定装置が有する複数の回転軸のうちで任意に
指定した一回転軸の回転角度とを用いて、任意に指定し
たブラッグ反射の回折条件を満足する回折測定装置が有
する他の回転軸の回転角度を表す回転マトリックスＲを
算出するＲ算出手段、を備えていることを特徴とするブ
ラッグ反射条件シミュレーション装置。 - 【請求項２】 結晶試料から発生するＸ線または粒子線
のブラッグ反射条件を取得してコンピュータ画面上に表
示するブラッグ反射条件シミュレーション装置であっ
て、 結晶試料を構成する結晶の格子定数および結晶方位を入
力する入力手段、 結晶方位を用いて、ＵＢマトリックスのうちの結晶方位
を表す結晶方位マトリックスＵを算出するＵ算出手段、 格子定数を用いて、ＵＢマトリックスのうちの結晶格子
および結晶初期方位を表す結晶格子マトリックスＢを算
出するＢ算出手段、 結晶方位マトリックスＵと、結晶格子マトリックスＢ
と、回折測定装置が有する複数の回転軸のうちで任意に
指定した一回転軸の回転角度とを用いて、任意に指定し
たブラッグ反射の回折条件を満足する前記回折測定装置
が有する他の回転軸の回転角度を表す回転マトリックス
Ｒを算出するＲ算出手段、 回転マトリックスＲと結晶方位マトリックスＵと結晶格
子マトリックスＢとを掛け算するＲＵＢ掛算手段、およ
び掛算結果値を用いて、前記任意に指定したブラッグ反
射が乗る回折面および前記任意に指定したブラッグ反射
の逆格子点をブラッグ反射条件として表示する表示手
段、を備えていることを特徴とするブラッグ反射条件シ
ミュレーション装置。 - 【請求項３】 コンピュータと回折測定装置とを用い
て、Ｘ線または粒子線の任意に指定したブラッグ反射を
測定するシステムであって、 コンピュータは、 結晶試料を構成する結晶の格子定数および結晶方位を入
力する入力手段、 結晶方位を用いて、ＵＢマトリックスのうちの結晶方位
を表す結晶方位マトリックスＵを算出するＵ算出手段、 格子定数を用いて、ＵＢマトリックスのうちの結晶格子
および結晶初期方位を表す結晶格子マトリックスＢを算
出するＢ算出手段、 結晶方位マトリックスＵと、結晶格子マトリックスＢ
と、回折測定装置が有する複数の回転軸のうちで任意に
指定した一回転軸の回転角度とを用いて、任意に指定し
たブラッグ反射の回折条件を満足する回折測定装置が有
する他の回転軸の回転角度を表す回転マトリックスＲを
算出するＲ算出手段、および、 回折測定装置が有する各回転軸を回転マトリックスＲと
同じ回転角度となるように回転させる回転軸制御手段、
を備えていることを特徴とするブラッグ反射測定システ
ム。 - 【請求項４】 コンピュータと回折測定装置とを用い
て、Ｘ線または粒子線の任意に指定したブラッグ反射を
測定するシステムであって、 コンピュータは、 結晶試料を構成する結晶の格子定数および結晶方位を入
力する入力手段、 結晶方位を用いて、ＵＢマトリックスのうちの結晶方位
を表す結晶方位マトリックスＵを算出するＵ算出手段、 格子定数を用いて、ＵＢマトリックスのうちの結晶格子
および結晶初期方位を表す結晶格子マトリックスＢを算
出するＢ算出手段、 結晶方位マトリックスＵと、結晶格子マトリックスＢ
と、回折測定装置が有する複数の回転軸のうちで任意に
指定した一回転軸の回転角度とを用いて、任意に指定し
たブラッグ反射の回折条件を満足する回折測定装置が有
する他の回転軸の回転角度を表す回転マトリックスＲを
算出するＲ算出手段、 回折測定装置が有する各回転軸を回転マトリックスＲと
同じ回転角度となるように回転させる回転軸制御手段、 回転マトリックスＲと結晶方位マトリックスＵと結晶格
子マトリックスＢとを掛け算するＲＵＢ掛算手段、およ
び掛算結果値を用いて、前記任意に指定したブラッグ反
射が乗る回折面および前記任意に指定したブラッグ反射
の逆格子点をブラッグ反射条件として表示する表示手
段、を備えていることを特徴とするブラッグ反射測定シ
ステム。 - 【請求項５】 予め回折測定装置に対応するＵＢマトリ
ックスおよび回転マトリックスＲを構成する行列式を記
憶しておくマトリックス記憶手段をさらに備えているこ
とを特徴とする請求項１または請求項２記載のブラッグ
反射条件シミュレーション装置。 - 【請求項６】 予め回折測定装置に対応するＵＢマトリ
ックスおよび回転マトリックスＲを構成する行列式を記
憶しておくマトリックス記憶手段をさらに備えているこ
とを特徴とする請求項３または請求項４記載のブラッグ
反射測定システム。 - 【請求項７】 前記任意に指定したブラッグ反射は、回
転マトリックスＲの算出時に当該装置の操作者により指
定したものであることを特徴とする請求項１または請求
項２記載のブラッグ反射条件シミュレーション装置。 - 【請求項８】 前記任意に指定したブラッグ反射は、回
転マトリックスＲの算出時に当該システムの操作者によ
り指定したものであることを特徴とする請求項３または
請求項４記載のブラッグ反射測定システム。 - 【請求項９】 前記回折測定装置が有する複数の回転軸
のうちで任意に指定した一回転軸の回転角度は、回転マ
トリックスＲの算出時に当該装置の操作者により指定し
たものであることを特徴とする請求項１または請求項２
記載のブラッグ反射条件シミュレーション装置。 - 【請求項１０】 前記回折測定装置が有する複数の回転
軸のうちで任意に指定した一回転軸の回転角度は、回転
マトリックスＲの算出時に当該システムの操作者により
指定したものであることを特徴とする請求項３または請
求項４記載のブラッグ反射測定システム。 - 【請求項１１】 予め結晶試料を構成する結晶の格子定
数を記憶したデータベースをさらに備えていることを特
徴とする請求項１または請求項２記載のブラッグ反射条
件シミュレーション装置。 - 【請求項１２】 予め結晶試料を構成する結晶の格子定
数を記憶したデータベースをさらに備えていることを特
徴とする請求項３または請求項４記載のブラッグ反射測
定システム。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US10/109,688 | 2002-04-01 | ||
| US10/109,688 US7337098B2 (en) | 1998-05-18 | 2002-04-01 | Diffraction condition simulation device, diffraction measurement system, and crystal analysis system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003294656A true JP2003294656A (ja) | 2003-10-15 |
| JP3954936B2 JP3954936B2 (ja) | 2007-08-08 |
Family
ID=29248179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002257012A Expired - Fee Related JP3954936B2 (ja) | 2002-04-01 | 2002-09-02 | ブラッグ反射条件シミュレーション装置およびブラッグ反射測定システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3954936B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006284187A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Japan Synchrotron Radiation Research Inst | 溶液と固体との界面構造のｘ線迅速構造解析方法 |
| JP2007278944A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Rigaku Corp | Ｘ線回折装置とその制御方法 |
| US7696991B2 (en) | 2005-06-24 | 2010-04-13 | Rigaku Corporation | Method and apparatus for analyzing twinned crystal |
| JP2021096091A (ja) * | 2019-12-13 | 2021-06-24 | 株式会社リガク | 制御装置、システム、方法およびプログラム |
-
2002
- 2002-09-02 JP JP2002257012A patent/JP3954936B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006284187A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Japan Synchrotron Radiation Research Inst | 溶液と固体との界面構造のｘ線迅速構造解析方法 |
| US7696991B2 (en) | 2005-06-24 | 2010-04-13 | Rigaku Corporation | Method and apparatus for analyzing twinned crystal |
| JP2007278944A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Rigaku Corp | Ｘ線回折装置とその制御方法 |
| JP2021096091A (ja) * | 2019-12-13 | 2021-06-24 | 株式会社リガク | 制御装置、システム、方法およびプログラム |
| JP7300718B2 (ja) | 2019-12-13 | 2023-06-30 | 株式会社リガク | 制御装置、システム、方法およびプログラム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3954936B2 (ja) | 2007-08-08 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| A521 | Request for written amendment filed |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070427 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3954936 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100511 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110511 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110511 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120511 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130511 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130511 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140511 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| SG99 | Written request for registration of restore |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316G99 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| SG99 | Written request for registration of restore |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316G99 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S803 | Written request for registration of cancellation of provisional registration |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316805 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees | ||
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |