JP2003293004A - 水素化物被覆Fe−Co系軟磁性合金粉末およびその製造方法 - Google Patents

水素化物被覆Fe−Co系軟磁性合金粉末およびその製造方法

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宗明 渡辺
Ryoji Nakayama
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Abstract

(57)【要約】 【課題】水素化物被覆Fe−Co系軟磁性合金粉末およ
びその製造方法を提供する。 【解決手段】(1)平均粒径:10〜150μmのFe
−Co系軟磁性合金粉末の表面に、Yを含む希土類元素
の水素化物、Zrの水素化物、Tiの水素化物、Hfの
水素化物、Vの水素化物、Taの水素化物またはPdの
水素化物(以下、これらを金属水素化物という)が被覆
されている水素化物被覆Fe−Co系軟磁性合金粉末、
(2)平均粒径:10〜150μmのFe−Co系軟磁
性合金粉末に平均粒径:1〜10μmを有する金属水素
化物粉末を高速衝撃法またはバインダー法によりFe−
Co系軟磁性合金粉末の表面に金属水素化物を被覆する
水素化物被覆Fe−Co系軟磁性合金粉末の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、水素化物被覆Fe−
Co系軟磁性合金粉末およびその製造方法に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】Fe−Co系合金は軟磁性材料の一つと
して知られており、このFe−Co系軟磁性合金の粉末
を燒結して得られた軟磁性燒結材料は高磁束密度を有し
ているが、固有抵抗が低く、これを磁心として用いる
と、渦電流損失が発生して実効透磁率が低下するため
に、高周波用としては使用できない。これを避けるため
に、Fe−Co系軟磁性合金粉末の表面にシリカ、酸化
チタン、アルミナ、酸化ホウ素、鉄酸化物、スピネル構
造を有するフェライト等の金属酸化物、窒化物、フッ化
物、塩化物、臭化物、ヨウ化物などの固有抵抗の大きい
物質を被覆した高抵抗層被覆軟磁性粉末を作製し、この
高抵抗層被覆軟磁性粉末を燒結してFe−Co系軟磁性
合金粉末の粒界に固有抵抗の大きいシリカ、酸化チタ
ン、アルミナ、酸化ホウ素、鉄酸化物、スピネル構造を
有するフェライト等の金属酸化物、窒化物、フッ化物、
塩化物、臭化物、ヨウ化物などを介在させた組織を有す
る複合軟磁性焼結材がすでに提供されており、この複合
軟磁性焼結材はFe−Co系軟磁性合金粉末の間に固有
抵抗の大きな物質が介在しているために、抵抗値が大き
くなり、渦電流損失の発生は大幅に低下するところから
高周波用として使用できるようになった。
【0003】このFe−Co系軟磁性合金粉末の間に固
有抵抗の大きい物質が介在している組織を有する複合軟
磁性焼結材は、Fe−Co系軟磁性合金粉末にシリカ、
酸化チタン、アルミナ、酸化ホウ素、鉄酸化物、フェラ
イト等の金属酸化物、窒化物、フッ化物、塩化物、臭化
物、ヨウ化物からなるコロイドを混合して高抵抗層被覆
軟磁性粉末を作製し、この高抵抗層被覆軟磁性粉末を焼
結することにより作られる。これら高抵抗層被覆軟磁性
粉末を焼結することにより得られた複合軟磁性焼結材料
のうちでも、Fe−Co系軟磁性合金粉末の表面にスピ
ネル構造を有するフェライト層を被覆してなる高抵抗層
被覆軟磁性粉末を焼結して得られたFe−Co系軟磁性
合金粉末同士をフェライト層により隔離した組織を有す
る複合軟磁性焼結材は高周波特性が特に優れており最も
注目されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、Fe−Co系
軟磁性合金粉末の表面にスピネル構造を有するフェライ
ト層を被覆してなる従来の高抵抗層被覆軟磁性粉末を高
温で燒結して密度を上げようとすると、フェライト層は
分解または破壊されるために十分な抵抗値が得られなく
なり、実際の燒結は900℃未満で行なわなければなら
ず、かかる低温で燒結すると、Fe−Co系軟磁性合金
粉末の表面に形成されているフェライトの層は分解また
は破壊が極めて少なくなる反面、焼結温度が低いために
得られた複合軟磁性燒結材の密度が低下し、したがって
機械的強度、特に抗折力が低下するという欠点があっ
た。一方、シリカ、酸化チタン、アルミナ、酸化ホウ
素、窒化物、フッ化物、塩化物、臭化物、ヨウ化物など
の耐熱性に優れ高抵抗物質からなる層をFe−Co系軟
磁性合金粉末の粒間に形成してFe−Co系軟磁性合金
粉末同士を隔離した組織を有する複合軟磁性燒結材は、
シリカ、酸化チタン、アルミナ、酸化ホウ素、窒化物、
フッ化物、塩化物、臭化物、ヨウ化物などの高抵抗物質
は熱に対して安定している所から高温で燒結しても燒結
時に高抵抗物質粉末は分解または破壊されることが無い
が、Fe−Co系軟磁性合金粉末とシリカ、酸化チタ
ン、アルミナ、酸化ホウ素、窒化物、フッ化物、塩化
物、臭化物、ヨウ化物などの高抵抗物質粉末とは燒結時
に拡散し固溶することが少なく、したがって、これら高
抵抗物質粉末はFe−Co系軟磁性合金粉末同士の接合
を妨げるために、十分な機械的強度を有する複合軟磁性
焼結材は得られないという欠点がある。ところが、近年、
これら複合軟磁性燒結材は、電話機振動板、ドットプリ
ンターのヘッド、電磁弁、プランジャーなどの振動また
は衝撃を受ける部品にも使用されようとしており、前記
従来の複合軟磁性燒結材では機械的強度が不十分であっ
て、かかる振動または衝撃を受ける部品に使用すること
のできる高強度で磁気特性に優れた複合軟磁性燒結材が
求められている。
【0005】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者らは、
高強度、高密度を有しかつ高抵抗を有する複合軟磁性焼
結材を得るべく研究を行った。その結果、 (イ)Fe−Co系軟磁性合金粉末の表面に、Yを含む
希土類元素(以下、Rで示す)の水素化物、Zrの水素
化物、Tiの水素化物、Hfの水素化物、Vの水素化
物、Taの水素化物またはPdの水素化物(以下、これ
らを金属水素化物という)が被覆されている水素化物被
覆Fe−Co系軟磁性合金粉末を圧粉成形し、非酸化性
雰囲気中、温度:900〜1300℃で焼結したのち、
水素雰囲気中、温度:150〜800℃で加熱すること
により水素化処理することにより得られた複合軟磁性焼
結材は、Fe−Co系軟磁性合金粉末の粒界に前記金属
水素化物が介在した組織を有する複合軟磁性焼結材が得
られ、この金属水素化物被膜は固有抵抗値が高いところ
から、高抵抗を有する複合軟磁性焼結材が得られ、この
複合軟磁性焼結材は高温で燒結されるところから鉄酸化
物またはフェライト層を有する複合軟磁性焼結材と比較
して高密度および高強度を有し、一方、シリカ、酸化チ
タン、アルミナ、酸化ホウ素、窒化物、フッ化物、塩化
物、臭化物、ヨウ化物などの耐熱性に優れ高抵抗物質か
らなる層をFe−Co系軟磁性合金粉末の粒界に形成し
た従来の複合軟磁性燒結材に比べて機械的強度が向上す
る、(ロ)前記燒結終了後、水素雰囲気中で熱処理する
熱処理工程において、水素雰囲気に含まれる水素量を調
節することにより金属水素化物の水素化の程度を調節す
ることができ、それによって、Fe−Co系軟磁性合金
粉末の粒界に介在する金属水素化物における水素化量を
調節することができ、それによって複合軟磁性焼結材の
抵抗値を調節することができるので低周波から高周波に
わたる広範囲な周波数帯域において使用可能な複合軟磁
性燒結材が得られる、などの研究結果が得られたのであ
る。
【0006】この発明は、かかる研究結果に基づいてな
されたものであって、 (1)Fe−Co系軟磁性合金粉末の表面に金属水素化
物が被覆されている水素化物被覆Fe−Co系軟磁性合
金粉末、に特徴を有するものである。
【0007】前記Fe−Co系軟磁性合金粉末は平均粒
径:10〜150μmを有し、このFe−Co系軟磁性
合金粉末の表面に金属水素化物が被覆されていることが
好ましい。平均粒径:10〜150μmを有するFe−
Co系軟磁性合金粉末は一般に使用されているFe−C
o系軟磁性合金粉末であり、特に新規なものではない。
したがって、この発明は、(2)平均粒径:10〜15
0μmのFe−Co系軟磁性合金粉末の表面に金属水素
化物が被覆されている水素化物被覆Fe−Co系軟磁性
合金粉末、に特徴を有するものである。
【0008】この発明の水素化物被覆Fe−Co系軟磁
性合金粉末は、Fe−Co系軟磁性合金粉末と金属水素
化物を機械的に混合撹拌し、Fe−Co系軟磁性合金粉
末と金属水素化物の間に機械的エネルギーを加えてメカ
ノケミカル的な反応によりFe−Co系軟磁性合金粉末
の表面に金属水素化物を被覆する方法(以下、この方法
を高速衝撃法という)により作製することができる。し
たがって、この発明は、(3)高速衝撃法によりFe−
Co系軟磁性合金粉末の表面に金属水素化物を被覆する
前記(1)または(2)記載の水素化物被覆Fe−Co
系軟磁性合金粉末の製造方法、に特徴を有するものであ
る。
【0009】この高速衝撃法により水素化物被覆Fe−
Co系軟磁性合金粉末を製造する方法において、使用す
るFe−Co系軟磁性合金粉末は平均粒径:10〜15
0μmのFe−Co系軟磁性合金粉末を用い、一方、金
属水素化物はFe−Co系軟磁性合金粉末よりも微細な
平均粒径を有する金属水素化物粉末を用いることが好ま
しいが、その形状および寸法は特に限定されるものでは
ない。その理由は、金属水素化物は破砕しやすいが、F
e−Co系軟磁性合金粉末は硬く破砕しにくいので金属
水素化物は粉末でなくても高速衝撃法を施すと、金属水
素化物は先に破砕されて粉末となり、一方、硬いFe−
Co系軟磁性合金粉末の平均粒径は殆ど変化することが
ないからである。したがって、この発明は、(4)平均
粒径:10〜150μmのFe−Co系軟磁性合金粉末
および金属水素化物を混合撹拌して高速衝撃法によりF
e−Co系軟磁性合金粉末の表面に金属水素化物を被覆
する前記(1)または(2)記載の水素化物被覆Fe−
Co系軟磁性合金粉末の製造方法、に特徴を有するもの
である。
【0010】さらに、Fe−Co系軟磁性合金粉末にバ
インダーおよび金属水素化物粉末を添加し、撹拌したの
ち乾燥してFe−Co系軟磁性合金粉末の表面に金属水
素化物粉末をバインダーにより被覆し固化する方法(以
下、バインダー法という)によりFe−Co系軟磁性合
金粉末の表面に金属水素化物を被覆することができる。
したがって、この発明は、(5)Fe−Co系軟磁性合
金粉末にバインダーおよび金属水素化物粉末を添加し、
撹拌したのち乾燥固化するバインダー法によりFe−C
o系軟磁性合金粉末の表面に金属水素化物を被覆する前
記(1)または(2)記載の水素化物被覆Fe−Co系
軟磁性合金粉末の製造方法、に特徴を有するものであ
る。
【0011】このバインダー法により水素化物被覆Fe
−Co系軟磁性合金粉末を製造するには金属水素化物の
粉末を使用することが必要である。バインダー法ではF
e−Co系軟磁性合金粉末および金属水素化物粉末とと
もにバインダーを添加して混練するために金属水素化物
を塊状で添加すると十分に破砕されることがなく、金属
水素化物は粉末となっても粒径がばらつき、Fe−Co
系軟磁性合金粉末の表面に均一な粒径の金属水素化物が
被覆した水素化物被覆Fe−Co系軟磁性合金粉末が得
られないからである。したがって、平均粒径:10〜1
50μmのFe−Co系軟磁性合金粉末に金属水素化物
粉末を被覆させるにはFe−Co系軟磁性合金粉末より
微細な平均粒径:1〜10μmの金属水素化物粉末を使
用する必要がある。したがって、この発明は、(6)平
均粒径:10〜150μmのFe−Co系軟磁性合金粉
末にバインダーおよび平均粒径:1〜10μmを有する
金属水素化物粉末を添加し、撹拌したのち乾燥固化する
ことによりFe−Co系軟磁性合金粉末の表面に金属水
素化物を被覆する前記(1)または(2)記載の水素化
物被覆Fe−Co系軟磁性合金粉末の製造方法、に特徴
を有するものである。
【0012】この発明の水素化物被覆Fe−Co系軟磁
性合金粉末を使用して複合軟磁性焼結材を製造するに
は、前記(1)または(2)記載の水素化物被覆Fe−
Co系軟磁性合金粉末を圧粉成形し、非酸化性雰囲気
中、温度:900〜1300℃で焼結したのち、水素雰
囲気中、温度:150〜800℃で加熱することにより
水素化処理することにより得られる。この場合、水素雰
囲気中、温度:150〜800℃で加熱することにより
水素化処理する工程を、焼結後冷却する途中の工程にお
いて雰囲気を水素雰囲気とすることにより代替すること
ができる。
【0013】この発明において、前記Rは、Y,Ce,
La,Pr,Nd,Sm,Gd,Ho,Er,Yb,L
uの内の1種以上である。また、この発明の水素化物被
覆Fe−Co系軟磁性合金粉末を製造するためのFe−
Co系軟磁性合金粉末は、アトマイズ法、電解法、還元
法のいずれかの方法で作製したFe−Co系軟磁性合金
粉末を使用することができる。この発明で使用するFe
−Co系軟磁性合金粉末の具体的な組成組成として、質
量%で、Co:25〜60%を含み、残部がFeおよび
不可避不純物からなる組成のFe−Co系合金(例え
ば、50%Co−Fe)粉末、Co:25〜60%を含
み、V:0.5〜5%を含有し、残部がFeおよび不可
避不純物からなる組成のFe−Co系合金(例えば、4
9%Co−2%V−Fe)粉末が好ましいが、これに限
定されるものではなく、その他の成分組成を有するFe
−Co系軟磁性合金粉末であってもよい。
【0014】
【発明の実施の形態】実施例1 原料粉末として、平均粒径:60μmを有し、成分組成
がCo:50%を含有し残部がFeおよび不可避不純物
からなるFe−Co系軟磁性合金のアトマイズ粉末を用
意し、さらに、いずれも平均粒径:3μmを有するYの
水素化物粉末、Laの水素化物粉末、Ceの水素化物粉
末、Ndの水素化物粉末、Smの水素化物粉末、Zrの
水素化物粉末、Tiの水素化物粉末、Hfの水素化物粉
末、Vの水素化物粉末、Taの水素化物粉末またはPd
の水素化物粉末を用意した。前記Yの水素化物粉末、L
aの水素化物粉末、Ceの水素化物粉末、Ndの水素化
物粉末、Smの水素化物粉末、Zrの水素化物粉末、T
iの水素化物粉末、Hfの水素化物粉末、Vの水素化物
粉末、Taの水素化物粉末またはPdの水素化物粉末を
Fe−Co系軟磁性合金アトマイズ粉末とともに回転可
能なブレードを有する高速衝撃装置に装入し、ブレード
の回転数:6000r.p.m.で3分間回転すること
により混合撹拌し、篩にかけることにより被覆されずに
残った水素化物粉末を除去して本発明水素化物被覆Fe
−Co系軟磁性合金粉末(以下、本発明粉末という)1
〜11を作製した。これら本発明粉末1〜11を6to
n/cm2の成形圧をかけることにより縦:40mm、
横:10mm、厚さ:5mmの寸法を有する圧密体を成
形し、得られた圧密体を不活性ガス雰囲気中、1150
℃の温度で焼結し、焼結後の冷却工程において800℃
まで冷却した時点で雰囲気が水素雰囲気となるように水
素を供給し、この水素雰囲気は少なくとも150℃に冷
却するまで保持することにより水素化処理して複合軟磁
性焼結材を作製した。
【0015】従来例1 比較のために、Fe−Co系合金アトマイズ粉末の表面
に(Mn17Zn16Fe 6734を被覆した従来のフェラ
イト被覆Fe−Co系軟磁性粉末(以下、従来粉末とい
う)を用意し、この従来粉末を6ton/cm2の成形
圧をかけることにより縦:40mm、横:10mm、厚
さ:5mmの寸法を有する圧密体を成形し、得られた圧
密体を800℃で燒結することにより粒界にフェライト
相を有する複合軟磁性焼結材を作製した。
【0016】このようにして得られた複合軟磁性焼結材
について相対密度および抗折力を測定し、その結果を表
1に示し、さらに、磁束密度、抵抗値および周波数:1
00KHzの高周波における比透磁率を測定し、その結
果を表1に示した。
【0017】
【表1】
【0018】表1に示される結果から、本発明粉末1〜
11で作製した複合軟磁性焼結材は、粒界にフェライト
相を有する従来粉末で作製した複合軟磁性焼結材に比べ
て磁気特性および抵抗値については遜色が無いが、本発
明粉末1〜11で作製した複合軟磁性焼結材は従来粉末
で作製した複合軟磁性焼結材に比べて一層高密度を有す
ると共に一層機械的強度が高いことが分かる。
【0019】実施例2 原料粉末として、平均粒径:60μmを有し、成分組成
がCo:50%を含有し、残部がFeおよび不可避不純
物からなるFe−Co系軟磁性合金のアトマイズ粉末を
用意し、さらに、いずれも平均粒径:3μmを有するY
の水素化物粉末、Laの水素化物粉末、Ceの水素化物
粉末、Ndの水素化物粉末、Smの水素化物粉末、Zr
の水素化物粉末、Tiの水素化物粉末、Hfの水素化物
粉末、Vの水素化物粉末、Taの水素化物粉末またはP
dの水素化物粉末を用意した。前記Yの水素化物粉末、
Laの水素化物粉末、Ceの水素化物粉末、Ndの水素
化物粉末、Smの水素化物粉末、Zrの水素化物粉末、
Tiの水素化物粉末、Hfの水素化物粉末、Vの水素化
物粉末、Taの水素化物粉末またはPdの水素化物粉末
をそれぞれ2%、バインダーとしてポリビニルアルコー
ル:0.05%、残部:Fe−Co系軟磁性合金アトマ
イズ粉末となるように配合し、この配合粉末を回転可能
な撹拌刃を有する処理装置に装入し、撹拌刃を回転数:
1000r.p.m.で20分間回転することにより混
合撹拌して本発明水素化物被覆Fe−Co系軟磁性合金
粉末(以下、本発明粉末という)12〜22を作製し、
これら粉末を6ton/cm2の成形圧をかけることに
より縦:40mm、横:10mm、厚さ:5mmの寸法
を有する圧密体を成形し、得られた圧密体を不活性ガス
雰囲気中、1150℃の温度で焼結し、焼結後の冷却工
程において800℃まで冷却した時点で雰囲気が水素雰
囲気となるように水素を供給し、この水素雰囲気は少な
くとも150℃に冷却するまで保持することにより水素
化処理して複合軟磁性焼結材を作製した。
【0020】このようにして得られた複合軟磁性焼結材
について相対密度および抗折力を測定し、その結果を表
1に示し、さらに、磁束密度、抵抗値および周波数:1
00KHzの高周波における比透磁率を測定し、その結
果を表2に示した。
【0021】
【表2】
【0022】表2に示される本発明粉末12〜22で作
製した複合軟磁性焼結材は、粒界にフェライト相を有す
る表1に示される従来粉末で作製した複合軟磁性焼結材
と比較して、磁気特性および抵抗値については遜色が無
く、さらに本発明粉末12〜22で作製した複合軟磁性
焼結材は従来粉末で作製した複合軟磁性焼結材に比べて
一層高密度を有すると共に一層機械的強度が高いことが
分かる。
【0023】
【発明の効果】この発明は、高密度で機械的強度が優
れ、かつ高周波の比透磁率の高い複合軟磁性焼結材を提
供することができ、電気および電子産業において優れた
効果をもたらすものである。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】Fe−Co系軟磁性合金粉末の表面に、Y
    を含む希土類元素の水素化物、Zrの水素化物、Tiの
    水素化物、Hfの水素化物、Vの水素化物、Taの水素
    化物またはPdの水素化物(以下、これらを金属水素化
    物という)が被覆されていることを特徴とする水素化物
    被覆Fe−Co系軟磁性合金粉末。
  2. 【請求項2】平均粒径:10〜150μmのFe−Co
    系軟磁性合金粉末の表面に金属水素化物が被覆されてい
    ることを特徴とする水素化物被覆Fe−Co系軟磁性合
    金粉末。
  3. 【請求項3】Fe−Co系軟磁性合金粉末および金属水
    素化物を混合撹拌して機械的エネルギーを加えることに
    より、Fe−Co系軟磁性合金粉末の表面に金属水素化
    物を被覆することを特徴とする請求項1または2記載の
    水素化物被覆Fe−Co系軟磁性合金粉末の製造方法。
  4. 【請求項4】平均粒径:10〜150μmのFe−Co
    系軟磁性合金粉末および金属水素化物を混合撹拌して機
    械的エネルギーを加えることにより、Fe−Co系軟磁
    性合金粉末の表面に金属水素化物を被覆することを特徴
    とする請求項1または2記載の水素化物被覆Fe−Co
    系軟磁性合金粉末の製造方法。
  5. 【請求項5】Fe−Co系軟磁性合金粉末に金属水素化
    物粉末およびバインダーを添加し撹拌したのち、乾燥固
    化することによりFe−Co系軟磁性合金粉末の表面に
    金属水素化物を被覆することを特徴とする請求項1また
    は2記載の水素化物被覆Fe−Co系軟磁性合金粉末の
    製造方法。
  6. 【請求項6】平均粒径:10〜150μmのFe−Co
    系軟磁性合金粉末に平均粒径:1〜10μmを有する金
    属水素化物粉末およびバインダーを添加し撹拌したの
    ち、乾燥固化することによりFe−Co系軟磁性合金粉
    末の表面に金属水素化物を被覆することを特徴とする請
    求項1または2記載の水素化物被覆Fe−Co系軟磁性
    合金粉末の製造方法。
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