JP2003284365A - 超音波モータ装置及び超音波モータ付き電子機器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 超音波モータ装置の起動時間を短縮させる。 【解決手段】 自励発振回路で動作する超音波モータ装
置において、圧電素子の面に形成された電極に発生する
励振信号を入力とし、反転増幅して出力する反転増幅回
路と、コンデンサ充電用切換手段と、電力供給手段と、
を構成させることにより、超音波モータ装置の非能動状
態時に、予め電力供給手段からコンデンサ充電用切換手
段を介し、コンデンサに反転増幅回路のバイアス電圧を
加えて電荷を蓄えさせる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、水晶振動子などを
自励発振させる自励発振回路や、圧電素子が接合された
振動体に発生する振動波により、移動体を摩擦駆動させ
る超音波モータを駆動させる自励発振回路に関する。

【０００２】

【従来の技術】圧電素子の圧電効果を利用して駆動力を
得る超音波モータの駆動回路は、他励発振回路と自励発
振回路が知られている。特に、自励発振回路の例として
は、所定の周波数で励振する圧電素子と、この励振信号
を増幅する増幅回路と、この励振信号を所定の周波数に
設定するフィルタ回路とを有するタイプが知られている
（例えば特開平０８−２５１９５２）。そして圧電素子
に接合した振動体を屈曲振動させ、振動体に加圧した移
動体に摩擦力を加えて、所定の方向へ回転させる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この様な自励発振回路
を超音波モータの駆動回路として利用した場合、圧電素
子に電圧が印加されてから振動体が発振するまでの、い
わゆる立ち上がり時間が存在する。この立ち上がり時間
は、超音波モータを利用した電子機器の位置決め制御時
の応答性を向上する上で、課題となっていた。

【０００４】そのため、反転増幅回路内にある帰還抵抗
を小さくし、コンデンサの充電を早め、発振の動作点を
早めに決めようとする事が行われてきていたが、帰還抵
抗を小さくしすぎると、発振不良を起こすことがあった
り、また、帰還抵抗を小さくしても動作点が決まるまで
の時間は、必ず存在してしまうため、良い解決方法が存
在しなかった。

【０００５】そこで本発明は、従来の超音波モータの起
動不良や大幅な起動時間の短縮を得ることを目的として
いる。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は圧電素子を有する振動体を有し、圧電素子
の伸縮運動により振動体に発生する振動波によって移動
体の摩擦駆動する超音波モータと、前記振動体を自励発
振させることで、前記超音波モータを駆動するための自
励発振回路からなる超音波モータ装置において、前記自
励発振回路は、前記圧電素子の面に形成された電極と、
前記電極と接続され、前記電極に発生した励振信号の位
相調整を行うコンデンサと、前記電極に発生する励振信
号を入力とし、励振信号を反転増幅して出力する反転増
幅回路と、前記反転増幅回路が出力する励振信号の位相
調整するための位相調整回路と、前記位相調整回路が出
力する励振信号を入力とし、前記圧電素子に形成された
電極群から構成され、前記コンデンサは、一方が接地さ
れ、他方は、前記反転増幅回路の入力端子と前記電極と
に接続され、前記電極と反転増幅回路の入力端子との
間、もしくは前記電極とコンデンサとの間に直列に設け
られ、前記自励発振回路と前記コンデンサを電気的に切
断及び接続させるコンデンサ充電用切換手段と、超音波
モータ停止時に、前記コンデンサ充電用切換手段を介し
て、前記コンデンサに電荷を充電するための電力供給手
段と、前記反転増幅回路は、反転増幅回路の能動状態及
び非能動状態を起動信号で制御するために設けられた制
御端子を有し、前記コンデンサ充電用切換手段は、前記
自励発振回路と前記コンデンサとを電気的に切断状態及
び接続状態を切換信号で制御するために設けられた切換
端子を有し、前記反転増幅回路の制御端子に入力される
起動信号と、前記コンデンサ充電用切換手段の切換端子
に入力される切換信号を発生させる起動停止信号発生手
段と、を有する構成とし、起動時にコンデンサの電荷を
常に蓄えた状態にすることで、従来のコンデンサを充電
するための反転増幅回路の帰還抵抗とコンデンサの時定
数τ１の時間分を短縮することができ、すぐに反転増幅
回路の動作点の電圧にすることが可能で従来の超音波モ
ータの大幅な起動時間の短縮を得る超音波モータ装置を
実現した。

【０００７】

【発明の実施の形態】<実施の形態１>上記のように構成
された超音波モータ装置の実施の形態を、図1に示した
ブロック図で説明する。図1において、圧電素子102の表
面上には複数の電極からなる少なくとも1組の電極群103
が形成されている。電極群103は電力増幅回路104の出力
端子に接続されており、電圧を印加することで励振駆動
される。圧電素子102のもう一方の面には振動体101が接
合されており、この振動体101は電極も兼ねている。

【０００８】圧電素子102と振動体101はメカニカルフィ
ルタとして働き、圧電素子が振動することで、振動体10
1には固有周波数を主成分とする信号が発生する。この
信号は、コンデンサ充電用切換手段113を介して反転増
幅回路106に入力される。反転増幅回路106は、入力され
た励振信号を反転増幅し、位相調整回路105に出力す
る。位相調整回路105は反転増幅回路106により出力され
た励振信号を受け、信号の位相調整を行い、電力増幅回
路104へ出力する。電力増幅回路104は、位相調整された
励振信号を各々の電極群103に入力する事で、これら電
極群を独立に励振する。

【０００９】起動停止信号発生手段112は、反転増幅回
路106を制御するために、この反転増幅回路106の動作の
実行及び停止させるための信号を出力する。

【００１０】正逆転信号発生手段111は、移動体108の回
転方向を設定するための正逆転信号を発生する手段であ
り、正逆転信号は、電力増幅回路の制御端子に入力さ
れ、動作させる電力増幅回路104の制御端子を選択する
ことで、移動体108の回転方向を決定させる。

【００１１】コンデンサ充電用切換手段113は、反転増
幅回路106と圧電素子と接続されたコンデンサ207の間に
設けられており、超音波モータの駆動時には、反転増幅
回路106とコンデンサ207を導通させている。超音波モー
タ停止時には、コンデンサ207とこのコンデンサに電力
を供給する電力供給手段115を導通させ、コンデンサ207
に電力を供給し、コンデンサ207の電荷を蓄えさせてい
る。

【００１２】また、起動停止信号発生手段112は、コン
デンサ充電用切換手段113の制御回路でもあり、起動停
止信号をコンデンサ充電用切換113に入力することによ
り、反転増幅回路106と電力供給手段115との切換を実施
させている。この切換は反転増幅回路の能動状態と非能
動状態と同期している。

【００１３】以下にこの発明の実施例を図に基づいて説
明する。図2は、本発明の超音波モータ装置の実施の形
態1の具体的な回路構成を示したものである。

【００１４】振動体101には、一方の平面には複数の電
極からなる2組の電極群103aと103bで形成された圧電素
子102が接着で接合されている。振動体101は電極として
の役割も兼ねており、コンデンサ充電用切換手段113と
コンデンサ207に接続されている。コンデンサ207の他方
は接地されている。

【００１５】コンデンサ充電用切換手段113に接続され
た反転増幅回路内のスリーステートインバータ202は、
起動時において、振動体101からの励振信号である電気
的信号をコンデンサ充電用切換手段113を介して、信号
を反転増幅し、反転増幅回路としての役割を果たす。抵
抗201は、スリーステートインバータ202に並列に接続さ
れており、スリーステートインバータの動作点を安定化
する。

【００１６】コンデンサ充電用切換手段113は、２つの
トランジスタで構成されており、第1のトランジスタ209
aと第2のトランジスタ209bの各々のエミッタ端子は、コ
ンデンサ207と接続されている。第1トランジスタのコレ
クタ端子は反転増幅回路106の入力端子とを接続し、第
２トランジスタのコレクタ端子は電力供給手段115と接
続している。

【００１７】第１トランジスタと第２トランジスタの各
々のベース端子は、起動停止信号発生回路112の出力端
子と接続されている。超音波モータが停止している時、
起動停止信号発生回路112が出力する切換信号により、
電力供給手段115と前記コンデンサを接続して、コンデ
ンサ207に電荷を充電させる。起動時においては、起動
停止信号発生回路112が出力する切換信号により、反転
増幅回路106の入力端子とコンデンサ207とを電気的に接
続させ、自励発振回路を構成させる。

【００１８】電力供給手段は、電源210と2本の同じ値の
抵抗211で構成されており、第２のトランジスタのコレ
クタ端子と接続されている。電源210の電圧値は、反転
増幅回路106に印加している電圧Vddと同じである。第２
のトランジスタのコレクタ端子にかかる電圧は、電源21
0の電圧を抵抗211により分圧し1/2Vddの電圧となってい
る。

【００１９】位相調整回路105はスリーステートインバ
ータ202の出力する励振信号を入力とし、励振信号の位
相調整を行い、2組のスリーステートバッファ205a、205
bへ出力する。位相調整回路105は、抵抗203とコンデン
サ204で構成され、スリーステートインバータ202の出力
が抵抗203の一方と接続され、他端がコンデンサ204と2
組のスリーステートバッファ205a、205bの入力端子に接
続されている。コンデンサ204の他端は接地されてい
る。また、抵抗208はコンデンサ204と並列に接続されて
おり、停止時にコンデンサ204の電荷を放電させてい
る。

【００２０】２組のスリーステートバッファ205a、205b
の出力端子は、圧電素子102の一方の平面に形成された2
組の電極群103aと103bに接続されている。圧電素子102
の一方の平面に形成された2組の電極群103aと103bの直
前に2つのスリーステートバッファ205a、205bをそれぞ
れ配置することは、スリーステートインバータ202の入
力端子と出力端子に、位相調整ならびに直流遮断などの
目的でコンデンサ204と207が接続されることに加えて、
圧電素子102が基本的には容量性負荷であることから、
超音波モータから高出力を得るために非常に有効とな
る。

【００２１】正逆転信号発生手段111は、超音波モータ
の回転方向を設定するための正逆転信号を発生する。正
逆転信号発生手段から出力された正逆転信号は、2本の
信号に分岐され、一方はインバータ206を介してスリー
ステートバッファ205a及び205bの制御端子に入力され
る。正逆転信号発生手段111の出力信号に基づき2つのス
リーステートバッファ205a、205bの一方を通常のバッフ
ァとして機能させ、他方のバッファの出力端子をハイイ
ンピーダンス状態にしディセーブルにする。振動体101
は、正逆転信号発生手段111の出力信号によって選択さ
れた通常のバッファとして機能するスリーステートバッ
ファによって駆動される。振動体は、正逆転信号によっ
て通常のバッファとしての機能を許されたスリーステー
トバッファのみで駆動され、正逆転信号が切り替わり、
バッファとしての機能を許されたスリーステートバッフ
ァが切り替わると超音波モータの回転方向が逆転する。

【００２２】超音波モータを停止する際には、起動停止
信号発生手段112からの出力信号により反転増幅回路106
内のスリーステートインバータ202の出力端子がハイイ
ンピーダンス状態となり、励振信号を直流電圧にさせ
る。この直流電圧がスリーステートバッファ205の入力
端子に入力され、圧電素子には直流電圧が印加される。

【００２３】この時の電圧は位相調整回路内の抵抗208
によりコンデンサ204の電荷が放電され、また、抵抗208
は接地されているため、0Vとなっている。圧電素子に電
圧が印加されないと振動体101は振動をやめ、超音波モ
ータは停止する。また、起動停止信号発生手段112から
の出力信号により、スリーステートインバータ202の出
力端子がハイインピーダンス状態となると同時に、起動
停止信号はコンデンサ充電用切換手段113の制御端子に
入力され、スリーステートインバータの入力端子とコン
デンサ207の接続をきり、自励発振の閉ループを切る。
この事により、超音波モータを停止することもできる。

【００２４】次に超音波モータの起動方法とその動作に
関して説明する。

【００２５】超音波モータが停止状態にある時、スリー
ステートインバータ202の入出力端子は0Vとなってい
る。また、スリーステートバッファは正逆転切換信号に
より一方のバッファが能動状態にあるが、抵抗208によ
りスリーステートバッファの入力端子が0Vとなっている
ため、圧電素子102には電圧が掛からない。さらに、コ
ンデンサ充電用切換手段113は、自励発振回路のループ
をきり、コンデンサ207と電力供給手段115とを接続させ
ている。電力供給手段115は、スリーステートインバー
タに供給するVddの電源とこれに直列に接続された2つの
抵抗211で構成され、抵抗211によりVddの電圧は、1/2Vd
dの電圧に分圧されている。このため、コンデンサ207は
抵抗211で分圧された1/2Vddの電圧により電荷を充電さ
せられている。この時の電力供給手段115の発生する電
圧は、ほぼスリーステートインバータの動作電圧になっ
ている。

【００２６】起動停止信号出力手段112から出力される
起動停止信号が反転し、超音波モータに起動命令を与え
ると、起動信号はスリーステートインバータ202とコン
デンサ充電用切換手段113の制御端子に入力され、スリ
ーステートインバータ202は能動状態になり、コンデン
サ充電用切換手段113は、スリーステートインバータの
入力端子とコンデンサ207の端子を接続させ、自励発振
回路のループを構成させる。

【００２７】スリーステートインバータ202が能動状態
になり、自励発振回路の閉ループが構成されると、スリ
ーステートインバータの出力端子はHレベルを出力し抵
抗203を介してコンデンサ204を充電し始める。また、コ
ンデンサ207は帰還抵抗201を介して、スリーステートイ
ンバータ202の出力がＬＯＷレベルで充電を開始する
が、停止時において、電力供給手段によりコンデンサ20
7は充電されているため、スリーステートインバータの
入力端子の電位は、コンデンサ207の端子電圧の電位と
なり、直ちにスリーステートインバータの動作電圧とな
り、後は従来のように自励発振を開始し始め、発振が安
定すると圧電素子102と振動体101が振動し、移動体108
を摩擦駆動する。

【００２８】図３に従来のスリーステートバッファの入
力信号とスリーステートインバータの入力信号の立ち上
がり状態を示す。また、図4に本発明のスリーステート
バッファの入力信号とスリーステートインバータの入力
信号の立ち上がり状態を示す。

【００２９】図３と図４を用いて、従来と本発明の各電
位の立ち上がり状態を説明する。図３と図４の上のグラ
フは、起動時におけるスリーステートバッファの入力端
子の電圧の立ち上がり波形を示し、同様に、下のグラフ
はスリーステートインバータの入力端子の電圧の立ち上
がり波形である。従来の自励発振回路を用いた超音波モ
ータ装置であれば、起動時のコンデンサ207の電位は0V
であり、帰還抵抗201を介して充電を開始し始める。帰
還抵抗の抵抗値は基本的に1MΩと非常に高いため、帰還
抵抗201とコンデンサ207の時定数τ1は、位相調整回路1
05側の時定数τ2より非常に大きいため、コンデンサ204
が充電され、スリーステートインバータの動作点の電圧
まで上昇するのに非常に時間が掛かっていた。これに対
してこの発明では、コンデンサ207があらかじめ充電さ
れているため、時定数τ1の時間が必要とせず、直ちに
起動をすることができる。図３,４に示すように、コン
デンサ207に充電されるまでの時間分発振が早く始まっ
ていることが分かる。

【００３０】図５は、本発明の超音波モータの装置の実
施の形態1の圧電素子の平面図であり、分極処理と電極
の構成を示す。本実施の形態では、振動体101の周方向
に2波長の定在波を励振して移動体108を駆動する場合を
示している。圧電素子102は一方の平面に周方向に波数
に対して4倍の8等分の扇型に等分に分割され、一つおき
に扇形の電極を形成する。図においては、a1、a2、a3、
a4に分極を形成されものとし、これらが、電極群103と
なる。電極群103の各電極は結線手段104で短絡してあ
る。また、図に示されるように分極処理(+)及び(-)が施
してある。(+)、(-)は分極処理の方向を表しており、圧
電素子102の振動体101との接合面側に対して正の電界、
負の電界を印加して電極処理したものである。電極が施
された所の分極処理は、a1が+、a2が−、a3が+、a4が−
と交互に逆転するようになされている。圧電素子102の
裏面には、振動体101が接合してある。

【００３１】尚、圧電素子は上に記したように円板形状
のものにほぼ等間隔で分割した電極を形成したものの代
わりに、複数の扇形圧電素子を振動体の平面に円板状に
貼り並べてもよい。図６、図７は、本発明の第1実施例
の振動体の平面図および縦断面図である。円板形状の振
動体101の平面に円板形状の圧電素子102が接着、または
薄膜形成手段等により接合してある。

【００３２】振動体101の平面上には、移動体108に動力
を伝達するための突起107を設けている。突起107は、振
動体の裏面に接合された圧電素子102の扇形の同一方向
に分極された2つ電極の境界に対応する位置に等間隔で
設けられている。また、図8は本発明の超音波モータ装
置の第1の実施例の縦断面図である。

【００３３】固定台301には中心軸302が固定されてい
る。圧電素子102が接着されている振動体101は中心軸30
2によって固定台301と一体となるように中心部近傍で固
定支持されている。移動体108は、中心軸302により回転
案内されており、図示していない外部に一端を固定支持
された加圧手段109により振動体101に突起107を介して
所定の圧力で接触する。

【００３４】図９及び図１０は、本発明の超音波モータ
装置の実施の形態1の振動体違いの平面図及び縦断面図
である。圧電素子102の一方の平面図に形成される1組の
電極群103の構成は、第１実施例と同じものが適応可能
である。

【００３５】振動体101の表面上には、同一方向に分極
された2つの扇形電極の境界の位置に動力を伝達するた
めの、実施の形態1と同じ形状の突起107が設けてあり、
突起107が設けられている位置以外の各電極の境界の位
置には突起107と同形状で丈の短い突起100が設けられて
いる。

【００３６】突起は107は、移動体108に動力を伝達する
ためのものであるが、突起と同形状で丈の短い突起100
は移動体108には動力を伝達せず、振動体101の表面上に
設けられた複数の突起が結果としてバランス良く配置さ
れるように設けられたもので、丈の短い突起100は振動
状態の調整に寄与する。

【００３７】また、本実施の形態においては、移動体10
8には動力を伝達せず振動体101の振動状態の調整のため
に設けられている丈の短い突起100を、各突起107の電極
の付近に配置しているが、突起107の各間に丈の短い突
起を3本、5本といったように奇数本設けてもよいし、あ
るいは、突起107の各間に周方向に幅の広い円弧状の突
起を設けてもよい。

【００３８】<実施の形態2>図１１は本発明の超音波モ
ータ装置の実施の形態2の具体的な回路構成を示すもの
である。基本的な回路構成は実施例1と同じであるた
め、相違点のみを説明する。図１１において、電力供給
手段115を構成する回路が、電源のみとなっている。電
源212の電圧は、スリーステートインバータのVddの電圧
の半分である1/2Vddになっており、実施の形態1の時と
同様に、コンデンサ207に電荷を供給することができ
る。この時、コンデンサ207の電位は、実施の形態1の時
と同様に、反転増幅回路106の動作電圧の電位とほぼ等
しくなっている。

【００３９】<実施の形態3>図１２は、本発明の超音波
モータ装置の実施の形態3の具体的な回路構成を示すも
のである。基本的な回路構成は、実施の形態1の時と同
じ為、相違点のみ説明する。図１２において、コンデン
サ充電用切換手段113が2組のコンダクタ213によって構
成されている。

【００４０】コンダクタ213は、リレー回路として使用
されるタイプである。実施の形態1の時と同様にコンダ
クタ213は反転増幅回路106とコンデンサ207との間に直
列に設けられており、超音波モータ起動時には、第1の
コンダクタによって反転増幅回路106とコンデンサ207と
を通電させている。超音波モータ停止時には、第2のコ
ンダクタによりコンデンサ207と電力供給手段115とを導
通させ、第1のコンダクタは解放されている。そして、
コンデンサ207に電力を供給し、コンデンサ207の電荷を
蓄えさせている。

【００４１】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。超
音波モータの起動不良を防ぎ、超音波モータの起動時間
の大幅な短縮を得る、という効果を有する。また、起動
性が良いということから、超音波モータと位置決め機構
を搭載した電子機器装置の駆動源として、本超音波モー
タ装置を用いることができ、電気機器の位置決め応答時
間を向上することができる。また、本発明は、超音波モ
ータを用いた自励発振回路だけではなく、コルピッツ発
振回路を応用して用いられている水晶発振回路等に使用
した場合においても上記のような発振までの時間を大幅
に短縮する事ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の超音波モータ装置の実施の形態を示す
ブロック図である。

【図２】本発明の超音波モータ装置の実施の形態1の具
体的な回路構成図である。

【図３】従来のスリーステートバッファの入力信号とス
リーステートインバータの入力信号の立ち上がり状態を
示す。

【図４】本発明のスリーステートバッファの入力信号と
スリーステートインバータの入力信号の立ち上がり状態
を示す。

【図５】本発明の超音波モータ装置の実施の形態1の圧
電素子の表面の具体的な電極構成図である。

【図６】本発明の超音波モータ装置の実施の形態1の振
動体の平面図である。

【図７】本発明の超音波モータ装置の実施の形態1の振
動体の縦断面図である。

【図８】本発明の超音波モータ装置の実施の形態1の縦
断面図である。

【図９】本発明の超音波モータ装置の実施の形態1の振
動体違いの平面図である。

【図１０】本発明の超音波モータ装置の実施の形態1の
振動体違いの縦断面図である。

【図１１】本発明の超音波モータ装置の実施の形態2の
具体的な回路構成図である。

【図１２】本発明の超音波モータ装置の実施の形態3の
具体的な回路構成図である。

【符号の説明】

100 突起 101 振動体 102 圧電素子 103 電極群 104 電力増幅回路 105 位相調整回路 106 反転増幅回路 107 突起 108 移動体 109 加圧手段 111 正逆転信号発生手段 112 起動停止信号発生手段 113 コンデンサ充電用切換手段 115 電力供給手段 201 抵抗 202 スリーステートインバータ 203 抵抗 204 コンデンサ 205 スリーステートバッファ 206 インバータ 207 コンデンサ 208 抵抗 209a 第1のトランジスタ 209b 第2のトランジスタ 210 電源 211 抵抗 212 電源 213 コンダクタ 301 固定台 302 中心軸 304 結線手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 飯野 朗弘 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 Ｆターム(参考） 5H680 AA09 BB01 CC01 DD02 DD23 DD35 DD64 DD73 EE04 FF25 FF38

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電素子を有する振動体と、 前記振動体の振動により摩擦駆動される移動体と、 前記振動体に発生する信号を反転増幅して出力する反転
   増幅回路と、 一方が接地され、他方が前記振動体及び前記増幅回路に
   接続されたコンデンサと、からなり、 前記増幅回路から出力された信号を前記圧電素子に形成
   された電極に入力することで、前記振動体を自励発振駆
   動させる自励発振回路を構成する超音波モータにおい
   て、 前記振動体と前記反転増幅回路の間に設けられ、前記振
   動体と前記増幅回路間を電気的に接続又は切断する切換
   端子からなるコンデンサ充電用切換回路を有することを
   特徴とする超音波モータ。
2. 【請求項２】 前記コンデンサ充電用切換回路の切換端
   子に接続された電力供給回路を有し、 前記コンデンサ充電用切換回路が、前記振動体と前記増
   幅回路間を電気的に切断すると、前記コンデンサに前記
   電力供給回路から電力が供給されることを特徴とする請
   求項１記載の超音波モータ。
3. 【請求項３】 前記反転増幅回路に入力される起動停止
   信号と、前記コンデンサ充電用切換回路の切換端子に入
   力される切換信号とを発生する起動停止信号発生回路を
   有することを特徴とする請求項１記載の超音波モータ。
4. 【請求項４】 前記コンデンサ充電用切換回路は、２つ
   以上のトランジスタで構成され、 第１トランジスタのコレクタ端子と前記反転増幅回路の
   入力端子とを接続し、 第２トランジスタのコレクタ端子と前記電源とを接続
   し、 前記第1トランジスタと第２トランジスタの各々のエミ
   ッタ端子は、前記コンデンサに接続され、 第１トランジスタと第２トランジスタの各々のベース端
   子は、前記起動停止信号発生回路の出力端子と接続さ
   れ、 前記起動停止信号発生回路が出力する切換信号により、
   前記電源と前記コンデンサを接続してこのコンデンサを
   充電させることを特徴とする請求項１から請求項３のい
   ずれかに記載の超音波モータ。
5. 【請求項５】 前記電源は、前記反転増幅回路の動作点
   となるバイアス電圧を出力する電源装置であることを特
   徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の超音
   波モータ。
6. 【請求項６】 前記圧電素子に形成された電極は、少な
   くとも２組の電極群からなり、 前記超音波モータは、 前記反転増幅回路が出力する信号を位相調整するととも
   に、前記圧電素子に形成された電極に励振信号を出力す
   る位相調整回路と、 前記励振信号を、能動状態及び非能動状態を制御する制
   御端子を介して前記圧電素子の各々の電極群に独立して
   入力する電力増幅回路と、 前記移動体の回転方向を決定するための正逆転信号を発
   生する正逆転信号発生回路と、を有し、 前記正逆転信号を前記制御端子に入力して、前記制御端
   子のいずれかを能動状態とすることで、前記移動体の回
   転方向を切り換えることを特徴とする請求項１から請求
   項５のいずれかに記載の超音波モータ。
7. 【請求項７】 前記圧電素子は、円盤状に形成されてお
   り、一方の表面を４の倍数でＮ個の扇形状にほぼ等分割
   し、１つ跳びに扇形状の電極を形成すると共に、扇形状
   の各電極で方向が交互に逆転するような分極を施してお
   り、圧電素子の他の表面に接合された振動体は、同一方
   向に分極された扇形状の２つの電極との間に対応する位
   置に、移動体に動力を伝達するための突起と、を有する
   ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記
   載の超音波モータ。
8. 【請求項８】 請求項１から請求項７のいずれか1つに
   記載の超音波モータ装置を駆動源とする超音波モータ付
   き電子機器。