JP2003279609A - ベクトル・ネットワーク・アナライザの校正方法 - Google Patents
ベクトル・ネットワーク・アナライザの校正方法Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 29
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 108
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 10
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
周波数レンジよりも狭いユーザ特定測定周波数レンジに
わたって個別の周波数ステップで測定を行い、基準イン
ピーダンスから発生した校正データを用いて測定を補正
する。 【解決手段】ユーザ特定測定周波数レンジよりも広い校
正周波数レンジにわたって、疎校正データを校正データ
として蓄積する。各測定に対して、疎校正データから詳
細システム・エラー・データを補間する(26)。詳細
システム・エラー・データを用いて、各測定を補正し、
校正された測定を行う(32)。
Description
・ネットワーク・アナライザに関し、特に、ベクトル・
ネットワーク・アナライザの改善された校正方法に関す
る。
正確な測定結果を得るために、ユーザは、3つの既知の
インピーダンス標準、典型的には、1ポート測定の場
合、短絡負荷、開放負荷、及び特性インピーダンス(Z
0)負荷を測定することにより、測定機器であるベクト
ル・ネットワーク・アナライザを校正している。2ポー
ト測定の場合、これらポート間の非接続及び直通接続
(through connection)を用いて、3つの追加的な測定
を行っている。これら測定の測定結果を用いて、ベクト
ル・ネットワーク・アナライザの系統的なエラーを数学
的に補正して、優れた測定確度を達成している。測定
は、ユーザが被測定装置(DUT)を測定する際に「掃
引」させる連続した周波数にて、多くの段階的な測定に
より行う。各測定ポイントでは、その特定の測定ポイン
トを補正するために用い、蓄積する校正ルーチンの期間
中に、「校正」データを得る。
ーク・アナライザが優れた結果を得る間、測定に用いる
正確な周波数ステップの各々にて校正を行うことであ
る。例えば、ベクトル・ネットワーク・アナライザの可
能な周波数測定レンジが、100KHzの周波数ステッ
プにて25MHzから2500MHzまでの場合、各周
波数ステップにて校正データを得るためには、ノイズ削
減のための多数回の測定を行なわなくても、3×247
51=74253回の校正測定が必要である。この非常
に多くの測定には、校正手順に非常に長い時間がかか
る。代わりに、500.5MHzから1011.5MH
zまでの範囲の如き特定の測定レンジにわたって校正を
行うと、3×5110=15330回の校正測定で済
む。しかし、開始周波数、停止周波数、周波数ポイント
の数、周波数分解能などの任意の周波数パラメータをユ
ーザが変更した際には、ベクトル・ネットワーク・アナ
ライザを再校正しなければならない。多くのユーザは、
過度に確度の高い測定を必要とせず、わずかであっても
周波数の変数を変更する度に、ベクトル・ネットワーク
・アナライザを再校正する。かかる再校正は、非常に煩
わしく、時間がかかる。よって、ユーザは、校正を全く
しないで操作するか、又は、過度に校正をするために時
間をかけて努力するかの一方を選択している。
ナライザは、特に、校正測定のために、低い位相ノイズ
で、且つ、低い振幅ノイズの測定を必要とする。ベクト
ル・ネットワーク・アナライザにおいて、低コストのハ
ードウェアによる場合のように大きなノイズがある場
合、多くの測定を行い、非常に多くの平均化を行って、
ノイズの影響を減らすので、実施すべき校正測定の回数
が増える。
アを用いて、操作が簡単であると共に、高確度を達成で
きるベクトル・ネットワーク・アナライザが必要とされ
ている。
ウェアのベクトル・ネットワーク・アナライザにおい
て、高い測定確度を達成するために、ベクトル・ネット
ワーク・アナライザを校正する方法を提供するものであ
る。
ットワーク・アナライザ(10)の総合周波数レンジよ
りも狭いユーザ特定測定周波数レンジにわたって個別の
周波数ステップで測定を行い、基準インピーダンスから
生じた校正データを用いて測定を補正する形式のベクト
ル・ネットワーク・アナライザを校正する方法であっ
て;ベクトル・ネットワーク・アナライザのユーザ特定
測定周波数レンジよりも広い校正周波数レンジにわたっ
て、疎校正データを校正データとして蓄積する蓄積ステ
ップと;ベクトル・ネットワーク・アナライザによる各
測定(28)に対して、疎校正データから詳細システム
・エラー・データを補間する補間ステップ(26)と;
詳細システム・エラー・データを用いて、各測定を補正
し、校正された測定を行う補正ステップ(32)とを具
えている。また、本発明は、ベクトル・ネットワーク・
アナライザ(10)の総合周波数レンジよりも狭いユー
ザ特定測定周波数レンジにわたって個別の周波数ステッ
プで測定を行い、基準インピーダンスから生じた校正デ
ータを用いて測定を補正する形式のベクトル・ネットワ
ーク・アナライザを校正する方法であって;総合周波数
レンジにわたって最初の1組の疎校正データを校正デー
タとして蓄積する第1蓄積ステップと;ユーザ特定測定
周波数レンジよりも広いが総合周波数レンジよりも狭い
校正周波数レンジにわたって、洗練した1組の疎校正デ
ータを校正データとして蓄積する第2蓄積ステップ(3
0’)と;ベクトル・ネットワーク・アナライザによる
各測定(28)に対して、最初の1組の疎校正データ及
び洗練した1組の校正データの選択した一方から、詳細
システム・エラー・データを補間する補間ステップ(2
6、26’)と;詳細システム・エラー・データを用い
て、各測定を補正し、校正された測定を行う補正ステッ
プ(32)とを具えている。
ライザの校正方法を改善したものであり、ベクトル・ネ
ットワーク・アナライザの周波数レンジ、又は、特定の
測定周波数レンジよりも少なくとも広いレンジにわたっ
て、疎校正データを取込む。ベクトル・ネットワーク・
アナライザのN番目の周波数ステップ毎に測定をする
か、又は、ベクトル・ネットワーク・アナライザの周波
数ステップ毎に測定を行って、これら結果を圧縮するか
して、疎校正データを得ている。そして、ベクトル・ネ
ットワーク・アナライザの各測定周波数に対して、疎校
正データから補正値を適当に補間して、校正エラー・デ
ータを求める。この校正エラー・データを用いて、測定
データを補正し、高確度の測定結果を得る。
付図を参照した以下の説明から明らかになろう。
適用するベクトル・ネットワーク・アナライザ10の簡
略化したブロック図である。このベクトル・ネットワー
ク・アナライザ10は、内部信号源12と、リターン・
ロス・ブリッジ14と、受信器16と、制御プロセッサ
(μP)18とを具えている。校正用基準インピーダン
ス20(以下、単に、校正インピーダンスという)は、
校正期間中に、リターン・ロス・ブリッジ14の試験ポ
ート22に選択的に適用される。校正インピーダンス2
0は、一般的には、開放と、短絡と、特性基準インピー
ダンスとを含んでいる。各基準インピーダンスに対し
て、内部信号源12からの順方向経路信号に応答して、
1組の校正測定結果を蓄積する。この順方向経路信号の
試験ポートからの反射は、戻りデータとして受信器16
により処理され、複素数(I、Q)反射係数の形式で校
正測定データを発生する。ベクトル・ネットワーク・ア
ナライザ10を測定用の被測定器又は被測定システム
(以下、単に被測定装置という)に結合して、かかる試
験装置に対する反射係数を得る。当業者に周知の如く、
対応周波数用に蓄積された校正反射係数により、測定し
た反射係数を補正して、被測定装置用の補正した測定反
射係数を発生する。(Peter Peregrinons社が1993
年にIInstitution of Electrical Engineersのために発
行したG. A. Bryant著「Principles of Microwave Cali
bration」改訂版の40〜41ページを参照された
い。)
ンピーダンスの如きいくつかの基準インピーダンスの各
々に対して、戻りデータの大きさ及び位相を取込み且つ
記録することが可能である。なお、各周波数ポイント毎
では、25MHzから2500MHzまでのレンジにわ
たって100KHzステップ毎のように、ベクトル・ネ
ットワーク・アナライザ10を同調できる。この結果、
上述の如く、かなりの量の校正データがベクトル・ネッ
トワーク・アナライザ10に蓄積され、これらデータを
収集するのにかなりの時間がかかる。後述する本発明に
よる改良された校正方法の利点は、同調可能な全レン
ジ、又は、少なくともベクトル・ネットワーク・アナラ
イザ10の特定の1組の測定に望ましいレンジよりも広
いレンジにわたって、疎校正データを用いることであ
る。すなわち、必要な蓄積データ量を減らし、校正に必
要な時間を大幅に短縮できる一方、優れた測定結果を得
ることができる。このように、ベクトル・ネットワーク
・アナライザの総合周波数レンジにわたって、又は、こ
の総合周波数レンジよりも狭いがユーザ特定測定周波数
レンジよりも広い校正周波数レンジにわたって、疎校正
データを得るには、校正期間中に周波数ポイントの数を
少なくして測定を簡単にするか、例えば、N番目毎の周
波数ステップ(例えば、5MHzステップの場合、3×
496=1488個の校正データ・ポイント)を用いる
か、又は、既知の技術を用いてベクトル・ネットワーク
・アナライザの周波数ポイントの各々の測定からの校正
データを圧縮する。なお、圧縮による場合は、特に、変
化の遅いデータに効果的である。
周波数ステップに対して測定結果を補正するのに必要な
詳細システム・エラー・データを疎校正データから(詳
細校正データ又は疎システム・エラー・データを介し
て)作成する。ここで使用する補間方法は、疎校正デー
タを取り込む方法と首尾一貫している。これは、一般的
には、「校正」を実施する際に、セーブ(蓄積)すべき
校正データの量を減らすので、時間も短縮する。データ
を減らすだけではなく、多くの周波数ポイントで必要と
なる同調及び設定回数も大幅に減らせるので、貴重な時
間を更に節約できる。多くのかかる補間方法の内の1つ
は、補間及び最小二乗概算(least squares estimate)
に基づいた多項式モデルであり、詳細に後述するよう
に、より正確である校正データの数を減らす。
例えば、「工場校正」は、ベクトル・ネットワーク・ア
ナライザを製造する際に発生した1組の校正データを半
永久的に蓄積する。「ユーザ校正」は、使用毎に校正を
実行するか、又は、現場で最近実行した校正を蓄積して
用いて校正を実行する。測定結果の各校正は、疎校正測
定値から求めた補間データを用いる。工場校正は、合理
的な精度となるが、ユーザ校正は、優れた精度となる。
タを用いる測定処理の流れ図である。測定過程は、測定
周波数を設定するステップ24を含んでおり、開始周波
数、停止周波数及び周波数ステップの如き測定パラメー
タを確定する。これら測定パラメータと、校正データと
して蓄積された疎校正データとを、曲線近似アルゴリズ
ムの如き補間ステップ26に入力する。この疎校正デー
タは、測定機器(ベクトル・ネットワーク・アナライ
ザ)の全体の周波数スパン(即ち、総合周波数レンジ)
をカバーしてもよいし、測定パラメータにより確立され
た周波数レンジ(即ち、ユーザ特定測定周波数レンジ)
を少なくとも含んだ測定周波数レンジ(即ち、校正周波
数レンジ)をカバーしてもよい。ステップ26にて、疎
校正データを用いて、周波数測定レンジ用の詳細校正デ
ータのセット(データの組)を発生する。これら測定パ
ラメータは、測定ステップ28にも入力されて、被試験
装置の測定値を得て、補正されていない測定係数(非補
正済み係数)を発生する。補間ステップ26からの詳細
校正データ・セットは、システム・エラー・モデル・ス
テップ30に入力されて、当業者に周知の如く、詳細シ
ステム・エラー・データのセットを発生する。この詳細
システム・エラー・データのセット及び補正されていな
い測定係数を補正エンジン・ステップ(補正ステップ)
32に入力して、当業者に周知の如く、補正された測定
係数を提供する。よって、校正された測定が行われる。
すように、システム・エラー・モデル・ステップ30’
の後に、補間ステップ26’を行ってもよい。この場
合、システム・エラー・モデル・ステップ30’は、疎
校正データのセットから疎システム・エラー・データ
(洗練した疎校正データ)のセットを発生し、蓄積す
る。補間ステップ26’にて、この疎システム・エラー
・データに曲線近似アルゴリズムを適用して、詳細シス
テム・エラー・データを発生して、補正エンジン・ステ
ップ(補正ステップ)32に入力する。また、図2の点
線及び実線の流れ図を組み合わせれば、ベクトル・ネッ
トワーク・アナライザによる各測定に対して、最初の1
組の疎校正データと、洗練した1組の校正データとの選
択した一方から、詳細システム・エラー・データを補間
する補間ステップは、ステップ26又は26’となる。
ポート測定では、疎校正データ・セットは、1ポート測
定用の3つの校正測定結果とは対立した関係で、6つの
校正測定結果を有する。
ータを用いることにより、ユーザが行った任意の校正を
自動的に拡張して、直ちに必要な周波数レンジよりも広
い周波数レンジをカバーできる。また、上述の如く、こ
の周波数レンジは、ベクトル・ネットワーク・アナライ
ザ10の全レンジを含んでもよい。この校正の後に、ユ
ーザが測定パラメータの任意のものに変更すると、ベク
トル・ネットワーク・アナライザ10は、再校正を必要
としないので、周波数設定が変更された際にも校正状態
に維持される。これは、ユーザにとって、ベクトル・ネ
ットワーク・アナライザ10を現場で使用する際に、し
ばしば校正を行う必要がなくなるということである。
に安価な測定ハードウェアを用いる際、後述の補間用曲
線近似方法は、ノイズの多い校正測定によりランダム・
エラーが顕著な場合にでも、正確な結果が得られる。こ
の結果の校正は、多くの測定を各周波数ポイントで行い
平均化したように、ランダム・エラーに影響されないと
いうことが判る。単に疎周波数データの代わりに、総て
の可能な周波数ポイントにて、比較すべき「非平均化で
ノイズのある校正」データを求めて、圧縮して疎校正デ
ータを得れば、上述の改善を依然として達成できる。こ
の結果、ユーザが行った測定は、測定値に存在するノイ
ズを依然として含んでいるが、その結果は、ノイズのあ
る校正データによって更に損なわれることはない。
に、パラメトリック多項式曲線近似技法を用いてもよ
い。N個の観察ポイント {P(x1)P(x2)...P(xN)=P に対して、データが次の多項式モデル P(X)=a0+a1+a2X2+...+akXk に従うと仮定すると、P=DAである。なお、Dは、データ
・ポイント{(1x1...x1 k)(1x2...x2 k)...(1xN...xN k)の
セットであり、Aは、係数{a0a1...ak}のセットである。
典型的には、K=3及びN=(K+1)+2kである。多項式モデル
の最小二乗解は、 A=(D'D)-1D'P である。xm=mにおいて、均等に間隔に空いた計算デー
タ{x1x2...xN}に対して D={(11...1k)(12...2k)...(1N...Nk)} である。よって、 R=(D'D)-1D' を予め計算して、多項式ベクトルAを単に A=RP とできる。
は、レンジ[x1+kx1+2k]にて補間データを計算するのに
最良に適合する。なお、x1+k及びx1+2kは、疎校正デー
タ・ポイントの周波数インデックスである。データ変化
に密接に従うために、(k+1)補間単位毎に、ベクトルAが
更新される。周波数yにおける任意のデータは、次のよ
うに計算できる。なお、x1+k<=y<=x1+2kである。 x=(y-x1)/U+1 なお、U=xi+1-xiである。また、 P(x)=[1xx2...xk]A である。
ーク・アナライザによりカバーされる広い周波数レンジ
にわたって疎校正データを取込み、狭い特定の測定周波
数レンジにわたって測定を行い、各測定周波数に対して
疎校正データから詳細システム・エラー・データを補間
し、対応する詳細システム・エラー・データにより測定
を補正することにより、ベクトル・ネットワーク・アナ
ライザ用の校正を改善できる。よって、操作が簡単な低
コストのハードウェアのベクトル・ネットワーク・アナ
ライザであっても、高い測定精度が得られる。
ットワーク・アナライザの簡略化したブロック図であ
る。
定処理の流れ図である。
Claims (10)
- 【請求項1】 ベクトル・ネットワーク・アナライザの
総合周波数レンジよりも狭いユーザ特定測定周波数レン
ジにわたって個別の周波数ステップで測定を行い、基準
インピーダンスから生じた校正データを用いて測定を補
正する形式の上記ベクトル・ネットワーク・アナライザ
を校正する方法であって、 上記ベクトル・ネットワーク・アナライザの上記ユーザ
特定測定周波数レンジよりも広い校正周波数レンジにわ
たって、疎校正データを校正データとして蓄積する蓄積
ステップと、 上記ベクトル・ネットワーク・アナライザによる各測定
に対して、上記疎校正データから詳細システム・エラー
・データを補間する補間ステップと、 上記詳細システム・エラー・データを用いて、各測定を
補正し、校正された測定を行う補正ステップとを具えた
ベクトル・ネットワーク・アナライザの校正方法。 - 【請求項2】 上記蓄積ステップは、上記校正周波数レ
ンジにわたる上記ベクトル・ネットワーク・アナライザ
のN番目の個別周波数ステップごとに上記基準インピー
ダンスによる測定結果を上記疎校正データとして取り込
むことを特徴とする請求項1のベクトル・ネットワーク
・アナライザの校正方法。 - 【請求項3】 上記蓄積ステップは、 上記校正周波数レンジ内で上記ベクトル・ネットワーク
・アナライザの個別周波数ステップ毎に校正データを取
込み、 該校正データを圧縮して、上記疎校正データを発生する
ことを特徴とする請求項1のベクトル・ネットワーク・
アナライザの校正方法。 - 【請求項4】 上記補間ステップは、 曲線近似アルゴリズムを上記疎校正データに適用して、
各測定周波数用の詳細校正データを得て、 上記詳細校正データから上記詳細システム・エラー・デ
ータを発生することを特徴とする請求項1、2又は3の
ベクトル・ネットワーク・アナライザの校正方法。 - 【請求項5】 上記補間ステップは、 上記疎校正データから疎システム・エラー・データを発
生し、 曲線近似アルゴリズムを上記疎システム・エラー・デー
タに適用して、上記詳細システム・エラー・データを得
ることを特徴とする請求項1、2又は3のベクトル・ネ
ットワーク・アナライザの校正方法。 - 【請求項6】 ベクトル・ネットワーク・アナライザの
総合周波数レンジよりも狭いユーザ特定測定周波数レン
ジにわたって個別の周波数ステップで測定を行い、基準
インピーダンスから生じた校正データを用いて測定を補
正する形式の上記ベクトル・ネットワーク・アナライザ
を校正する方法であって、 上記総合周波数レンジにわたって最初の1組の疎校正デ
ータを上記校正データとして蓄積する第1蓄積ステップ
と、 上記ユーザ特定測定周波数レンジよりも広いが上記総合
周波数レンジよりも狭い校正周波数レンジにわたって、
洗練した1組の疎校正データを上記校正データとして蓄
積する第2蓄積ステップと、 上記ベクトル・ネットワーク・アナライザによる各測定
に対して、上記最初の1組の疎校正データ及び上記洗練
した1組の校正データの選択した一方から、詳細システ
ム・エラー・データを補間する補間ステップと、 上記詳細システム・エラー・データを用いて、各測定を
補正し、校正された測定を行う補正ステップとを具えた
ベクトル・ネットワーク・アナライザの校正方法。 - 【請求項7】 上記第1及び第2蓄積ステップの各々
は、上記最初の1組の疎校正データ用の上記総合周波数
レンジと、上記洗練された1組の疎校正データ用の上記
校正周波数レンジとにわたる上記ベクトル・ネットワー
ク・アナライザのN番目の個別周波数ステップごとに、
上記基準インピーダンスによる測定結果を上記疎校正デ
ータとして取り込むことを特徴とする請求項6のベクト
ル・ネットワーク・アナライザの校正方法。 - 【請求項8】 上記第1及び第2蓄積ステップの各々
は、 上記最初の1組の疎校正データ用の上記総合周波数レン
ジ内で、また、上記洗練された1組の疎校正データ用の
上記校正周波数レンジ内で、上記ベクトル・ネットワー
ク・アナライザの個別周波数ステップ毎に校正データを
取込み、 該校正データを圧縮して、上記疎校正データを発生する
ことを特徴とする請求項6のベクトル・ネットワーク・
アナライザの校正方法。 - 【請求項9】 上記補間ステップは、 曲線近似アルゴリズムを、上記疎校正データの選択され
た1つに適用して、各測定周波数用の詳細校正データを
得て、 上記詳細校正データから上記詳細システム・エラー・デ
ータを発生することを特徴とする請求項6、7又は8の
ベクトル・ネットワーク・アナライザの校正方法。 - 【請求項10】 上記補間ステップは、 上記疎校正データの選択された1つから疎システム・エ
ラー・データを発生し、 曲線近似アルゴリズムを上記疎システム・エラー・デー
タに適用して、上記詳細システム・エラー・データを得
ることを特徴とする請求項6、7又は8のベクトル・ネ
ットワーク・アナライザの校正方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/093171 | 2002-03-05 | ||
US10/093,171 US6701265B2 (en) | 2002-03-05 | 2002-03-05 | Calibration for vector network analyzer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003279609A true JP2003279609A (ja) | 2003-10-02 |
JP4300253B2 JP4300253B2 (ja) | 2009-07-22 |
Family
ID=27804198
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003057201A Expired - Fee Related JP4300253B2 (ja) | 2002-03-05 | 2003-03-04 | ベクトル・ネットワーク・アナライザの校正方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6701265B2 (ja) |
JP (1) | JP4300253B2 (ja) |
CN (1) | CN100401090C (ja) |
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CN100401090C (zh) | 2008-07-09 |
US20030171886A1 (en) | 2003-09-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050308 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090203 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120501 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120501 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130501 Year of fee payment: 4 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |