JP2003279498A - Visual inspection device - Google Patents
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、テープ上に形成さ
れたパターンの外観検査装置に係わり、特に、テープキ
ャリア方式（ＴＡＢ：Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ
Ｂｏｎｄｉｎｇ）によって集積回路（ＩＣ）の入出力端
子（リード）と接続されるフィルムテープ上に設けられ
るパターンを検査する外観検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体デバイスは、高集積化と高密度実
装化の要求に応じて、リードの多ピン化と微小化が進ん
でいる。この多ピン化や微小化に有利なことから半導体
チップをフィルムテープに設けた多数のリード線と接続
するＴＡＢテープが広く用いられている。
【０００３】ＴＡＢテープは、通常、ポリエステルフィ
ルム等の絶縁性フィルム基板上に銅箔等からなる導電性
薄膜を設け、この導電性薄膜をフォトリソグラフィによ
ってパターン化して、フィルム回路基板のリードを形成
し、このリードと半導体チップとをボンディング（接
合）している。
【０００４】多ピン化されたＴＡＢ方式のＩＣでは、そ
の接続部における信頼性が極めて重要であり、半導体チ
ップをＴＡＢテープのリードにボンディングする前に、
リードに曲がりや折れ等が無いかの外観検査を行うこと
が必要である。
【０００５】図６は、従来技術に係る外観検査装置の一
例を示す図である。この外観検査装置では、ＴＡＢテー
プが駆動ローラにより間欠的にステージ上に搬送されて
いる。このステージには図示されていないが、搬送され
るＴＡＢテープを吸着保持する真空吸着機構が設けられ
ており、吸着保持されたＴＡＢテープの表面は、ＣＣＤ
カメラ等を備える撮像手段により撮像され、撮像された
リードパターンの外観画像情報は画像処理手段によって
画像処理されて、リードパターンの欠陥の有無が検査さ
れている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
技術に係る外観検査装置では、ＴＡＢテープ上のリード
パターンを撮像手段によって撮像する際に、ＴＡＢテー
プをステージ上で吸着保持する毎に、ＴＡＢテープが静
止してしまう。ＴＡＢテープを静止して検査すると、高
倍率で精度良く検査することはできる反面、スループッ
トが悪く、１回の送りにつき約３秒タクト損をする。
【０００７】逆に、検査を迅速に行うために搬送を止め
ないで検査しようとすると、検査時間は短縮されるもの
の、以下のような問題が発生する。
【０００８】即ち、ＴＡＢテープは、搬送されている時
は、ＴＡＢテープが振動により上下動してしまう。元
来、ＴＡＢテープ上のリードパターンを撮像手段により
撮像する時は、ＴＡＢテープの検査をする部分の平面は
所定の位置に制御されていなければならない。ＴＡＢテ
ープが振動により上下動して平面が所定の位置からずれ
てしまうと、撮像の際に焦点位置からがずれ、撮像され
た外観画像がぼけてしまい、その後の画像処理を行うこ
とができなくなる。
【０００９】ＴＡＢテープの上下動を防止するために、
平面ステージを設け、その上をＴＡＢテープを走行させ
るようにしたものもあるが、その場合は、ＴＡＢテープ
の裏面がステージ面と擦れてしまい、ＴＡＢテープの裏
面を傷つけてしまうという問題がある。
【００１０】本発明の目的は、上記の従来技術の種々の
問題点に鑑み、検査時におけるＴＡＢテープの平面位置
を制御できると共に、ＴＡＢテープの搬送時、ＴＡＢテ
ープの裏面がステージ等と擦れ合うこともなく、ＴＡＢ
テープを搬送しながらリードパターンの外観検査を迅速
に行うことのできる外観検査装置を提供することにあ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するために、次のような手段を採用した。第１の手
段は、パターンが形成されたテープをステージに保持
し、保持したテープの表面を撮像手段により撮像し、撮
像した表面情報を画像処理手段により画像処理して、テ
ープに形成されたパターンの欠陥の有無を検査する外観
検査装置において、上記ステージは、円筒形で、その内
部の一部に減圧室を備え、その側面表面に複数の真空吸
着孔を備え、その底面の中心を回転軸として回転する回
転ドラムからなり、前記減圧室と前記減圧室外との圧力
差が前記真空吸着孔を介して伝わることにより、前記テ
ープを前記側面表面に吸着保持するとともに、テープの
搬送にともなって前記回転ドラムは回転し、前記撮像手
段が前記側面表面に吸着されたテープの表面を撮像する
ことを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態を図１ないし
図５を用いて説明する。
【００１３】図１は、本実施形態の発明に係る外観検査
装置の構成を示す図である。同図において、１はリード
パターンの外観が検査されるＴＡＢテープ等からなるテ
ープ、２はテープ１を吸着保持しながら回転して搬送す
るステージ、３はステージ２上に吸着保持されながら搬
送されるテープ１のリードパターンを撮像する撮像手
段、４は撮像された画像情報を画像処理してテープ１上
のリードパターンの欠陥の有無を検査する画像情報処理
手段である。
【００１４】ここで、撮像手段３は、結像レンズ３１、
画像情報検出用のＣＣＤセンサー等を備えテープ１のリ
ードパターンを検出する画像情報検出手段３２等から構
成される。また、画像情報処理手段４は、テープ１の基
準リードパターンを予め記憶する基準画像情報記憶手段
４１、画像情報検出手段３２によって検出されたテープ
１のリードパターンと基準画像情報記憶手段４１に記憶
されている基準リードパターンとを比較してリードパタ
ーンの良否を判定する画像情報比較手段４２、判定結果
を記憶する画像情報記憶手段４３等から構成されてい
る。
【００１５】次に、テープ１を吸着保持しながら搬送す
るステージ２の詳細について図２ないし図４を用いて詳
述する。図２および図３は、それぞれ図１に示すステー
ジ２を拡大して示した断面正面図および断面側面図、図
４は図１に示すステージ２の斜視図である。
【００１６】これらの図に示すように、ステージ２は円
筒形の回転ドラム５からなり、この回転ドラム５は、側
面表面部５１および底面部５２を有し、その内部は空洞
となっている。
【００１７】底面部５２は、図３に示すように、側面表
面部５１の両開口部に磁気シールを用いて嵌め込まれて
おり、側面表面部５１は底面部５２に対して独立して回
転することができ、また、回転ドラム５内部は気密に保
持されている。なお、磁気シールの代わりにリークの少
ない精密ベアリングを用いてもよい。また、回転ドラム
５の側面表面部５１には、孔径０．１ｍｍ程度のマイク
ロホール１１がピッチ３０ｍｍの間隔で多数設けられて
いる。
【００１８】また、図４に示すように、側面表面部５１
とテープ１が接触する側面表面部５１の一部、底面部５
２の一部、および断面が略Ｖ字状または略Ｕ字状の減圧
室壁９１とによって囲まれる空間が減圧室９として形成
されている。この減圧室９は、減圧室壁９１に接続され
た真空配管１０を介して真空系または排気ブロア等に接
続され、常時減圧状態に保持されている。
【００１９】回転ドラム５の側面表面部５１は、円板状
の底面部５２の円の中心を回転中心として、モータに取
り付けられた回転ローラ６によって側面表面部５１のみ
が回転するように構成されている。底面部５２は回転し
ないので、真空配管１０が捩れるようなことはない。ま
た、この減圧室９は、回転ドラム５の側面表面部５１が
回転しても、減圧室９の位置は変化しないように構成さ
れている。
【００２０】テープ１は、搬送ガイドローラ７によって
搬送されるが、搬送ガイドローラ７とブレーキローラ８
との間では、テープ１がしわになったり、緩んだりしな
い程度にテンションが掛けられている。
【００２１】テープ１が、回転ドラム５の減圧室９に位
置する側面表面部５１の頂部付近上に搬送されると、テ
ープ１は、側面表面部５１の頂部付近外部と減圧室９と
の間の圧力差によって、側面表面部５１に設けられるマ
イクロホール１１に吸着保持されながら搬送方向に搬送
される。 テープ１が、搬送されて
減圧室９が形成されている側面表面部５１の領域から外
れると、テープ１は、側面表面部５１の吸着保持状態か
ら開放されて搬送される。
【００２２】撮像手段３は、図１に示すように、側面表
面部５１の頂部真上に配置されており、テープ１は回転
ドラム５の側面表面部５１上で吸着保持されている状態
で撮像手段３によって撮像される。
【００２３】次に、回転ドラム５の側面表面部５１の搬
送方向の真直度について図５を用いて説明する。
テープ１が側面表面部５１に吸着
保持されるとき、撮像手段３によってテープ１のリード
パターンが撮像される部分の平坦度は、撮像手段３の焦
点深度の範囲内にあるように加工される必要がある。
【００２４】例えば、撮像手段３に一般的に用いられる
ＣＣＤセンサを撮像素子として用いる場合、同図に示す
ように、撮像素子の検知位置のずれを±１ｍｍと考え、
検知位置が±１ｍｍ移動しても、テープ１の表面が、撮
像素子の焦点深度を１０μｍ以内にあるようにしようと
すると、回転ドラム５の半径ｒは１００ｍｍとなる。こ
の半径１００ｍｍの大きさの回転ドラム５を、外観検査
装置の検査部分に設けることに特に問題はない。
【００２５】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、ステー
ジは、円筒形で、その内部の一部に減圧室を備え、その
側面表面に複数の真空吸着孔を備え、その底面の中心を
回転軸として回転する回転ドラムからなり、減圧室と減
圧室外との圧力差が前記真空吸着孔を介して伝わること
により、テープを前記側面表面に吸着保持するととも
に、テープの搬送にともなって前記回転ドラムは回転
し、撮像手段が前記側面表面に吸着されたテープの表面
を撮像するようにしたので、テープの平面位置が円筒形
表面の真直度により規制されるので、撮像手段により撮
像された外観画像がボケることがなく、ボケによる画像
処理が不能になることを防止することができる。
【００２６】さらに、テープの搬送に伴って回転ドラム
も回転するので、テープの裏面と回転ドラム表面とは擦
れ合うことがなく、テープ上のリードパターン等の破損
を防止することができる。
【００２７】また、連続して搬送を行いながら検査を行
うことができるので、検査に要する時間を短縮すること
ができる。
【００２８】また、テープが移動するので、撮像手段を
テープの搬送方向にスキャンする必要がなく、その結
果、撮像手段を移動する手段のうち、テープ搬送方向の
手段が不要となる。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION [0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an apparatus for inspecting the appearance of a pattern formed on a tape, and more particularly to a tape carrier type (TAB: Tape Automated).
The present invention relates to a visual inspection apparatus for inspecting a pattern provided on a film tape connected to input / output terminals (leads) of an integrated circuit (IC) by Bonding. 2. Description of the Related Art In semiconductor devices, in accordance with demands for high integration and high-density mounting, the number of pins and the miniaturization of leads have been advanced. TAB tapes that connect a semiconductor chip to a large number of lead wires provided on a film tape are widely used because they are advantageous in increasing the number of pins and miniaturization. [0003] A TAB tape is usually provided with a conductive thin film made of copper foil or the like on an insulating film substrate such as a polyester film, and patterned by photolithography to form leads of a film circuit board. The leads are bonded to the semiconductor chip. [0004] In a TAB type IC having a large number of pins, reliability at a connection portion is extremely important. Before bonding a semiconductor chip to a lead of a TAB tape,
It is necessary to perform an appearance inspection to check whether the lead is bent or broken. FIG. 6 is a diagram showing an example of a visual inspection apparatus according to the prior art. In this visual inspection apparatus, a TAB tape is intermittently conveyed on a stage by a driving roller. Although not shown, the stage is provided with a vacuum suction mechanism for sucking and holding the transported TAB tape, and the surface of the sucked and held TAB tape is a CCD.
The external appearance image information of the captured lead pattern is image-processed by the image processing unit, and the presence or absence of a defect in the lead pattern is inspected. [0006] However, in the appearance inspection apparatus according to the prior art described above, when the lead pattern on the TAB tape is imaged by the imaging means, the TAB tape is sucked and held on the stage. Then, the TAB tape stops. When the TAB tape is inspected while stationary, the inspection can be performed with high magnification and high accuracy, but the throughput is poor and a tact loss of about 3 seconds per feed is required. On the other hand, if the inspection is performed without stopping the transport for quick inspection, the inspection time is shortened, but the following problems occur. That is, when the TAB tape is being conveyed, the TAB tape moves up and down due to vibration. Originally, when the lead pattern on the TAB tape is imaged by the imaging means, the plane of the portion where the TAB tape is inspected must be controlled to a predetermined position. If the TAB tape moves up and down due to vibration and the plane is displaced from a predetermined position, the focal position is displaced from the focus position at the time of imaging, and the captured appearance image is blurred, and subsequent image processing cannot be performed. . In order to prevent the TAB tape from moving up and down,
There is a flat stage provided with a TAB tape running thereon, but in this case, there is a problem that the back surface of the TAB tape rubs against the stage surface and damages the back surface of the TAB tape. SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned various problems of the prior art, it is an object of the present invention to control the planar position of a TAB tape at the time of inspection and to rub the back surface of the TAB tape against a stage or the like during transport of the TAB tape. No, TAB
It is an object of the present invention to provide a visual inspection device capable of quickly performing a visual inspection of a lead pattern while transporting a tape. [0011] The present invention employs the following means in order to solve the above-mentioned problems. The first means holds the tape on which the pattern is formed on a stage, takes an image of the surface of the held tape with an imaging means, performs image processing on the imaged surface information with an image processing means, and performs pattern processing on the tape. In the visual inspection device for inspecting the presence or absence of a defect, the stage is cylindrical, provided with a decompression chamber in a part of the inside thereof, provided with a plurality of vacuum suction holes on the side surface thereof, and the center of the bottom surface is a rotating shaft. As a pressure difference between the decompression chamber and the outside of the decompression chamber is transmitted through the vacuum suction hole, the tape is suction-held on the side surface, and the tape is conveyed along with the conveyance of the tape. The rotating drum rotates, and the imaging unit captures an image of the surface of the tape that is attracted to the side surface. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an appearance inspection apparatus according to the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a tape made of a TAB tape or the like for which the appearance of a lead pattern is inspected, 2 denotes a stage which rotates and conveys the tape 1 while adsorbing and holding, and 3 denotes a tape which is adsorbed and held on the stage 2 The imaging means 4 for imaging the lead pattern of the tape 1 is an image information processing means for inspecting the presence or absence of a defect in the lead pattern on the tape 1 by performing image processing on the imaged image information. Here, the imaging means 3 includes an imaging lens 31,
It comprises an image information detecting means 32 and the like which include a CCD sensor and the like for detecting image information and detect a lead pattern of the tape 1. Further, the image information processing means 4 is stored in the reference image information storage means 41 which stores the reference lead pattern of the tape 1 in advance, and the read pattern of the tape 1 detected by the image information detection means 32 and the reference image information storage means 41. An image information comparing unit 42 for comparing the read pattern with the reference lead pattern to determine the quality of the read pattern, an image information storage unit 43 for storing the determination result, and the like. Next, the details of the stage 2 for transporting the tape 1 while holding it by suction will be described in detail with reference to FIGS. 2 and 3 are a sectional front view and a sectional side view, respectively, on which the stage 2 shown in FIG. 1 is enlarged, and FIG. 4 is a perspective view of the stage 2 shown in FIG. As shown in these figures, the stage 2 comprises a cylindrical rotary drum 5, which has a side surface portion 51 and a bottom portion 52, and has a hollow inside. As shown in FIG. 3, the bottom surface portion 52 is fitted into both openings of the side surface portion 51 using a magnetic seal, and the side surface portion 51 rotates independently of the bottom surface portion 52. The inside of the rotary drum 5 is kept airtight. Note that a precision bearing with less leakage may be used instead of the magnetic seal. Further, a large number of micro holes 11 having a hole diameter of about 0.1 mm are provided on the side surface portion 51 of the rotating drum 5 at intervals of 30 mm. Further, as shown in FIG.
Of the side surface portion 51 where the tape 1 comes into contact with the bottom surface portion 5
A space surrounded by a part of 2 and a decompression chamber wall 91 having a substantially V-shaped or substantially U-shaped cross section is formed as a decompression chamber 9. The decompression chamber 9 is connected to a vacuum system or an exhaust blower via a vacuum pipe 10 connected to a decompression chamber wall 91, and is always kept in a decompressed state. The side surface portion 51 of the rotary drum 5 is configured such that only the side surface portion 51 is rotated by the rotating roller 6 attached to the motor around the center of the circle of the disk-shaped bottom portion 52 as the center of rotation. ing. Since the bottom portion 52 does not rotate, the vacuum pipe 10 does not twist. The decompression chamber 9 is configured such that the position of the decompression chamber 9 does not change even if the side surface portion 51 of the rotary drum 5 rotates. The tape 1 is transported by the transport guide rollers 7, and the transport guide rollers 7 and the brake rollers 8
The tension is applied so that the tape 1 does not wrinkle or loosen. When the tape 1 is conveyed near the top of the side surface portion 51 located in the decompression chamber 9 of the rotary drum 5, the tape 1 is moved between the outside near the top of the side surface portion 51 and the decompression chamber 9. Is transported in the transport direction while being sucked and held by the micro holes 11 provided in the side surface portion 51 due to the pressure difference. When the tape 1 is conveyed and deviates from the area of the side surface 51 where the decompression chamber 9 is formed, the tape 1 is released from the suction holding state of the side surface 51 and is conveyed. As shown in FIG. 1, the image pickup means 3 is disposed just above the top of the side surface portion 51, and the tape 1 is picked up while being held by suction on the side surface portion 51 of the rotary drum 5. The image is taken by the means 3. Next, the straightness of the side surface 51 of the rotary drum 5 in the transport direction will be described with reference to FIG.
When the tape 1 is sucked and held on the side surface portion 51, it is necessary to process the flatness of the portion where the lead pattern of the tape 1 is imaged by the imaging means 3 so as to be within the depth of focus of the imaging means 3. There is. For example, when a CCD sensor generally used for the image pickup means 3 is used as an image pickup element, as shown in FIG.
Even if the detection position moves by ± 1 mm, if the surface of the tape 1 attempts to keep the focal depth of the image sensor within 10 μm, the radius r of the rotating drum 5 becomes 100 mm. There is no particular problem in providing the rotary drum 5 having a radius of 100 mm in the inspection portion of the visual inspection device. According to the first aspect of the present invention, the stage is cylindrical, has a decompression chamber in a part of its interior, and has a plurality of vacuum suction holes on the side surface thereof. It consists of a rotating drum that rotates about the center of the bottom surface as a rotation axis, and a pressure difference between the decompression chamber and the outside of the decompression chamber is transmitted through the vacuum suction hole, thereby holding the tape on the side surface and holding the tape. Accordingly, the rotating drum rotates, and the imaging means captures an image of the surface of the tape adsorbed to the side surface.Since the plane position of the tape is regulated by the straightness of the cylindrical surface, the imaging means It is possible to prevent the captured appearance image from being blurred, and preventing image processing due to blurring from being disabled. Furthermore, since the rotating drum also rotates with the transport of the tape, the back surface of the tape and the rotating drum surface do not rub against each other, and it is possible to prevent the lead pattern on the tape from being damaged. In addition, since the inspection can be performed while carrying out the conveyance continuously, the time required for the inspection can be shortened. Further, since the tape is moved, it is not necessary to scan the image pickup means in the direction in which the tape is conveyed. As a result, of the means for moving the image pickup means, the means in the tape transfer direction becomes unnecessary.
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る外観検査装置の構成を示す図であ
る。
【図２】図１に示すステージ２を拡大して示した断面正
面図である。
【図３】図１に示すステージ２を拡大して示した断面側
面図である。
【図４】図１に示すステージ２の斜視図である。
【図５】回転ドラム５の側面表面部５１の搬送方向の真
直度を説明する図である。
【図６】従来技術に係る外観検査装置の一例を示す図で
ある。
【符号の説明】
１ ＴＡＢテープ等のテープ
２ ステージ
３ 撮像手段
３１ 結像レンズ
３２ 画像情報検出手段
４ 画像情報処理手段
４１ 基準画像情報記憶手段
４２ 画像情報比較手段
４３ 画像情報記憶手段
５ 回転ドラム
５１ 側面表面部
５２ 底面部
６ モータ・回転ローラ
７ 搬送ガイドローラ
８ ブレーキローラ
９ 減圧室
９１ 減圧室壁
１０ 真空配管
１１ マイクロホールBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a visual inspection device according to the present invention. FIG. 2 is an enlarged sectional front view of a stage 2 shown in FIG. 3 is a cross-sectional side view showing the stage 2 shown in FIG. 1 in an enlarged manner. FIG. 4 is a perspective view of a stage 2 shown in FIG. FIG. 5 is a diagram illustrating the straightness of the side surface portion 51 of the rotating drum 5 in the transport direction. FIG. 6 is a diagram showing an example of a visual inspection device according to a conventional technique. [Description of Signs] 1 Tape such as TAB tape 2 Stage 3 Imaging means 31 Imaging lens 32 Image information detection means 4 Image information processing means 41 Reference image information storage means 42 Image information comparison means 43 Image information storage means 5 Rotary drum 51 Side surface part 52 Bottom part 6 Motor / rotary roller 7 Transport guide roller 8 Brake roller 9 Decompression chamber 91 Decompression chamber wall 10 Vacuum piping 11 Micro hole
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA54 BB02 BB15 CC25 DD06 FF04 JJ03 JJ19 JJ26 MM03 PP16 QQ25 QQ31 RR08 SS04 UU04 2G051 AA61 AA65 AB02 CA03 CA04 DA01 DA06 EA14 EB01 EB02 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page F term (reference) 2F065 AA54 BB02 BB15 CC25 DD06 FF04 JJ03 JJ19 JJ26 MM03 PP16 QQ25 QQ31 RR08 SS04 UU04 2G051 AA61 AA65 AB02 CA03 CA04 DA01 DA06 EA14 EB01 EB02
Claims (1)
に保持し、保持したテープの表面を撮像手段により撮像
し、撮像した表面情報を画像処理手段により画像処理し
て、テープに形成されたパターンの欠陥の有無を検査す
る外観検査装置において、 上記ステージは、円筒形で、その内部の一部に減圧室を
備え、その側面表面に複数の真空吸着孔を備え、その底
面の中心を回転軸として回転する回転ドラムからなり、 前記減圧室と前記減圧室外との圧力差が前記真空吸着孔
を介して伝わることにより、前記テープを前記側面表面
に吸着保持するとともに、テープの搬送にともなって前
記回転ドラムは回転し、前記撮像手段が前記側面表面に
吸着されたテープの表面を撮像することを特徴とする外
観検査装置。Claims: 1. A tape on which a pattern is formed is held on a stage, the surface of the held tape is imaged by an imaging unit, and the imaged surface information is image-processed by an image processing unit. In the appearance inspection device for inspecting the presence or absence of a defect of a pattern formed on the stage, the stage is cylindrical, provided with a decompression chamber in a part of the inside thereof, provided with a plurality of vacuum suction holes on a side surface thereof, and a bottom surface thereof. And a pressure drum between the decompression chamber and the outside of the decompression chamber is transmitted through the vacuum suction hole, thereby adsorbing and holding the tape on the side surface, and An appearance inspection apparatus, wherein the rotating drum rotates with the conveyance, and the imaging unit captures an image of the surface of the tape adsorbed on the side surface.
Priority Applications (3)
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