JP2003272176A

JP2003272176A - 光記録媒体、記録再生装置、および光記録媒体の製造方法

Info

Publication number: JP2003272176A
Application number: JP2002078885A
Authority: JP
Inventors: Kiichi Kamiyanagi; 喜一上柳; Yukio Adachi; 幸男足立; Sadaichi Suzuki; 貞一鈴木
Original assignee: Fuji Xerox Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Business Innovation Corp
Priority date: 2002-03-20
Filing date: 2002-03-20
Publication date: 2003-09-26

Abstract

(57)【要約】【課題】光記録媒体の製造が容易で、近接場光を用い
た光記録の高密度化と転送レートの向上を図った光記録
媒体、記録再生装置、および光記録媒体の製造方法を提
供する。【解決手段】この光ディスクは、トラッキングトラッ
ク３１間に複数の記録トラック３２ａ，３２ｂを有す
る。複数の記録トラック３２ａ，３２ｂに対して１つの
トラッキングトラック３１を形成することにより、一つ
の記録トラック毎にトラッキングトラックを形成する場
合よりも記録密度が向上する。複数の記録トラック３２
ａ，３２ｂに独立変調可能な複数の近接場光１６ａ，１
６ｂを照射することにより、一度に複数の記録トラック
３２ａ，３２ｂを記録・再生できるので、転送レートが
向上する。光ディスク用の原盤の作製時は、複数の記録
トラック３２ａ，３２ｂに対応した径の太い露光光を用
いることにより、原盤の作製が容易となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、近接場光を用いて
光学的に情報の記録あるいは再生を行う光ディスク、光
磁気ディスク等の光記録媒体、記録再生装置、および光
記録媒体の製造方法に関し、特に、光記録媒体の製造が
容易で、近接場光を用いた光記録の高密度化と転送レー
トの向上を図った光記録媒体、記録再生装置、および光
記録媒体の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスクや光ディスクの高密度化・
大容量化が年々進められている。光ディスクでは、ＤＶ
Ｄが市場に導入され、さらにそれの４倍以上の記録密度
を有する次世代のＤＶＤの開発が進められている。一
方、ハードディスク磁気記録装置（ＨＤＤ）の記録密度
は、年率１００％で増大しており、実験段階では１００
Ｇｂｐｓｉに至っている。

【０００３】しかし、画像のデジタル化や高精細化、光
通信の高速度化に伴い、さらなるストレージの大容量
化、高密度化が求められている。光産業振興協会でまと
めたロードマップでは、２０１０年に１Ｔｂｉｔｓ／
（ｉｎｃｈ）²の記録密度の達成が期待されている（ロ
ードマップ（情報記録分野）、1998年3月、光産業振興
協会）。

【０００４】磁気ハードディスクでは、超常磁性効果
や、磁気ヘッドのギャップ幅の狭窄の難しさから、そろ
そろ従来型のＨＤＤの記録密度の限界が見え、１００〜
３００Ｇｂｐｓｉが限界と言われ、その限界を超えるも
のとして、光アシスト磁気記録が期待されている。

【０００５】また、光ディスクでは近接場光を用いた光
記録が高密度の有力な候補技術として期待されている。
「近接場光」とは、微小開口や微小物体の周りにその微
小開口や微小物体のサイズ程度の広がりで存在する非伝
播光であるが、他の物質をその微小開口や微小物体のサ
イズ程度まで近づけると、その物質内に伝播し、その物
質との相互作用を生じる。この近接場光のサイズは、光
の波長にはよらず、上記の微小開口や微小物体のサイズ
で決まるため、これらを微細化することにより、小さな
近接場光のスポットを得ることができる。また、記録媒
体をこの近接場光に浸すことにより高密度の光記録が可
能となる。

【０００６】この近接場光を用いた光記録においては、
光ディスクの構造はＤＶＤなどと同様に単一光スポット
を一つの記録用溝（グルーブ：Ｇｒｏｏｖｅ）あるいは
畝（ランド：Ｌａｎｄ）に追従させて、記録・再生を行
うことが考えられている。そしてトラッキング用の誤差
信号の形成は、グルーブやランドの深さや高さを周囲の
ディスク面に対して１次回折光が最大になるように設定
し、かつ、左右のプラス１次回折光とマイナス１次回折
光を２分割型の光検出器を用いて検出し、その強度差を
求めることにより行っている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の光ディ
スクによると、１つの記録トラックに対して１つのトラ
ッキングトラックを有しているので、１Ｔｂｉｔｓ／
（ｉｎｃｈ）²の記録密度の場合、トラックピッチは２
５ｎｍとなり、記録トラックの幅自体はそれ以下としな
けばならなくなり、１００Ｇｂｉｔｓ／（ｉｎｃｈ）²
の記録密度に対応する微細グルーブの形成は、現在電子
ビーム露光装置を用いてなされているが、１００ｎｍ弱
が限界であり、それを大幅に狭めることはきわめて困難
である。

【０００８】また、たとえこのように狭いトラックが形
成できたとしても、近接場光形成用の開口や微小物体の
サイズが回折限界の光スポット径よりも非常に小さいた
め、トラックから反射光がこれらの開口や物体を通過す
る際に回折情報が失われ、トラッキング誤差信号を形成
することはできない。

【０００９】従来、トラック信号を形成する他の手段と
して、サンプルサーボ方式が考えられている。この方式
は、ちどりマーク（すなわち、トラック中心線に対して
前後左右にずらした一対のピット）をディスク上に一定
間隔で配列し、左右のピットそれぞれを光スポットが通
過するごとにそれらのピットからの反射光の強度を検出
し、両者の差信号から位置誤差信号を形成する方法であ
る。しかし、この場合、ピットのサイズはやはりトラッ
ク幅と同程度にとなるため、１Ｔｂｉｔｓ／（ｉｎｃ
ｈ）²の記録密度を対象とする場合、グルーブ形成と同
様、作製が困難である。

【００１０】従って、本発明の目的は、光記録媒体の製
造が容易で、近接場光を用いた光記録の高密度化と転送
レートの向上を図った光記録媒体、記録再生装置、およ
び光記録媒体の製造方法を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、トラッキングトラックに対応してその両側
にそれぞれ１又は２以上の記録トラックを有することを
特徴とする光記録媒体を提供する。複数の記録トラック
に対して１つのトラッキングトラックを形成することに
より、１つの記録トラック毎にトラッキングトラックを
形成する場合よりも記録密度が向上する。

【００１２】本発明は、上記目的を達成するため、トラ
ッキングトラックに対応してその両側にそれぞれ１叉は
２以上の記録トラックを有する光記録媒体に対し、情報
の記録あるいは再生を行う記録再生装置において、前記
トラッキングトラックに対応する複数の前記記録トラッ
クに独立変調可能な複数の近接場光を照射するととも
に、前記複数の近接場光のうち前記トラッキングトラッ
クの一方の側に隣接する前記記録トラックに照射する一
方の近接場光は、前記トラッキングトラックの一方の側
をも照射し、前記トラッキングトラックの他方の側に隣
接する前記記録トラックに照射する他方の近接場光は、
前記トラッキングトラックの他方の側をも照射する光ヘ
ッドと、前記一方および前記他方の近接場光の照射によ
る前記トラッキングトラックの前記一方の側および前記
他方の側からの反射光に基づいてトラッキング誤差信号
を生成する信号生成手段とを備えたことを特徴とする記
録再生装置を提供する。複数の記録トラックに独立変調
可能な複数の近接場光を照射することにより、一度に複
数の記録トラックを記録・再生できるので、転送レート
が向上する。

【００１３】本発明は、上記目的を達成するため、原盤
用基板上にフォトレジスト膜を形成し、前記フォトレジ
スト膜に複数の記録トラック分の幅を有する露光光を照
射し、前記露光光が照射された前記フォトレジスト膜を
現像してマスクを形成し、前記マスクを介して前記原盤
用基板をエッチングして原盤を形成し、前記原盤に基づ
いてトラッキングトラックに対応してその両側に１又は
２以上の記録トラックを有する光記録媒体を製造するこ
とを特徴とする光記録媒体の製造方法を提供する。複数
の記録トラックに対応した径の太い露光光を用いること
により、高記録密度の原盤の形成が容易となる。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の記録再生装置が
適用された第１の実施の形態に係る光ディスク装置を示
す。この光ディスク装置１は、記録膜３ａとしてＧｅＳ
ｂＴｅからなる相変化記録媒体を使用した光ディスク３
と、その光ディスク３を回転するモータ４と、記録膜３
ａ上を浮上走行して、記録膜３ａに対して記録・再生を
行う光ヘッド２と、光ヘッド２を支えるスイングアーム
５と、スイングアーム５を走査するためのボイスコイル
モータ６と、記録時に記録信号を処理して近接場光を変
調し、再生時に光ヘッド２の後述する光検出器からの光
強度信号を用いて記録情報を再生する信号処理回路７
と、記録・再生時にモータ４およびボイスコイルモータ
６を制御する制御回路８とを備える。

【００１５】図２は、光ヘッド２の主要部を示す。この
光ヘッド２は、複数（例えば２本）のレーザ光１２ａ，
１２ｂを出射するマルチビームレーザ１１と、マルチビ
ームレーザ１１からの２本のレーザ光１２ａ，１２ｂを
平行なレーザ光１２ａ，１２ｂに整形するコリメータレ
ンズ１３と、コリメータレンズ１３からの平行なレーザ
光１２ａ，１２ｂを半回転放物状の反射面１４ｂで反射
して被集光面（浮上スライダ１８ａの浮上面を兼ねる）
１４ｃの焦点付近に集光して２つの集光スポット１５
ａ，１５ｂを形成する半回転放物面型集光媒体１４と、
後述する光検出器と、マルチビームレーザ１１をホルダ
１８ｂを介して支持するとともに、コリメータレンズ１
３、半回転放物面型集光媒体１４および光検出器を支持
して記録膜３ａ上を浮上走行する浮上スライダ１８ａ
と、マルチビームレーザ１１、コリメータレンズ１３、
半回転放物面型集光媒体１４、浮上スライダ１８ａおよ
び光検出器を収容する筐体１７ａと、筐体１７ａを台座
１７ｃを介して支持するサスペンダ１７ｂとを備える。
サスペンダ１７ｂの基端部は、スイングアーム５の先端
部に取り付けられている。

【００１６】半回転放物面型集光媒体１４は、レーザ光
１２ａ，１２ｂが入射される平面からなる入射面１４ａ
と、入射面１４ａに入射したレーザ光１２ａ，１２ｂを
反射する反射面１４ｂと、反射面１４ｂで反射されたレ
ーザ光１２ａ，１２ｂが集光して２つの集光スポット１
５ａ，１５ｂを形成する被集光面１４ｃと、反射面１４
ｂに形成されたＡｌ合金等からなる金属反射膜１４ｄ
と、被集光面１４ｃに形成されたＡｌ合金等からなる金
属遮光膜１４ｅとを備える。反射面１４ｂは、入射面１
４ａに平行に入射したレーザ光を反射して被集光面１４
ｃの一つの焦点位置に集光するように半回転放物状を有
している。

【００１７】図２（ｂ）は、マルチビームレーザ１１を
示す。このマルチビームレーザ１１は、基板１１ａ上
に、クラッド層１１ｂ、活性層１１ｃ、クラッド層１１
ｄを順次積層し、基板１１ａの下面に共通電極１１ｅを
形成し、クラッド層１１ｄの上に２つの個別電極１１ｆ
を形成し、活性層１１ｃに２つの発光領域１１ｇを有す
るものである。２つの発光領域１１ｇのピッチは１５μ
ｍであり、浮上スライダ１８ａの浮上面に対して垂直を
なすように配置される。マルチビームレーザ１１は、例
えば、ＧａＩｎＰ系の赤色レーザ（６５０ｎｍ）を用い
ることができるが、ＧａＮ系の青色レーザを用いてもよ
い。マルチビームレーザ１１の２つの発光領域１１ｇ
は、基板１１ａに平行に並んでいるため、光ヘッド２を
容易に組み立てることができる。

【００１８】図３は、半回転放物面型集光媒体１４の被
集光面１４ｃに形成される集光スポットの位置を示す。
なお、同図において、９はトラック方向を示す。被集光
面１４ｃに形成される２つの集光スポット１５ａ，１５
ｂは、焦点位置１５ｃを中心に半回転放物面型集光媒体
１４の光軸上の上下にピッチ約０．５μｍで形成されて
いる。半回転放物面型集光媒体１４は、例えば、屈折率
１．８の重フリントガラスからなり、実効開口数は約
１．５、集光スポット１５ａ，１５ｂの半値全幅は約
０．３５μｍのものを用いることができる。半回転放物
面型集光媒体１４の被集光面１４ｃに被着された金属遮
光膜１４ｅには、集光スポット１５ａ，１５ｂ内にトラ
ッキングトラック３１を挟むようにその両側に斜め方向
に矩形状開口１９ａ，１９ｂを形成している。矩形状開
口１９ａ，１９ｂの幅のサイズは、１００ｎｍ以下であ
り、そこから近接場光１６ａ，１６ｂ（図２参照）が出
射される。

【００１９】図４は、本実施の形態で使用する光ディス
ク３を示す。この光ディスク３は、ポリカーボネートか
らなる基板３０の上にトラッキングトラック３１形成用
のランド３０ａが形成されており、その上に、Ａｌ反射
膜３３、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂下部スペーサ膜３４、ＧｅＳ
ｂＴｅからなる相変化記録膜３５、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂上
部スペーサ膜３６および保護膜３７が順次形成されてい
る。相変化記録膜３５の膜厚は２０ｎｍ程度であり、全
膜厚は１００ｎｍ程度である。ランド３０ａの幅と高さ
は１０〜２０ｎｍ程度であり、この上にＡｌ反射膜３３
が被着されてトラッキングトラック３１が形成される。
このトラッキングトラック３１のピッチは約５０ｎｍと
し、その両側に記録トラック３２が形成される。基板３
０の材料としては、ポリカーネートの他に有機材料でも
よく、また、Ｓｉやガラス、Ａｌ基板でもよい。Ｓｉや
ガラスの場合には、射出成形ができないので、１枚毎に
トラックを形成する必要があるが、表面の平坦性の良い
光ディスクの作製が可能となる。また、相変化記録膜３
５としては、ＩｎＡｇＳｂＴｅ等の他の相変化膜でもよ
い。

【００２０】図５は、光ディスク３の原盤の製造方法の
一例を示す。まず、同図（ａ）に示すように、ガラスか
らなるディスク原盤５１に電子露光用のネガ型フォトレ
ジスト膜５２を塗布し、ディスク原盤５１を回転させな
がら、露光用電子ビーム５４を照射し螺旋状あるいは同
心円状にネガ型フォトレジスト膜５２を露光する。露光
用電子ビーム５４の送りのピッチＰは、記録トラック幅
Ｔの２倍の２Ｔにトラッキングトラック３１の幅を加え
た値とする。露光用電子ビーム５４の径はほぼ２Ｔでよ
く、このため記録トラック幅の２倍のビーム径の露光用
電子ビーム５４が使用できるため、作り易さが大幅に改
善される。露光後に、露光部５２ａを現像して取り除
き、同図（ｂ）に示すように、露光マスク５２ｂを形成
し、これをマスクとしてフッ素系のガスを用いて指向性
のイオンビームを用いたドライエッチングを行い、同図
（ｃ）に示すように、トラッキングトラック３１形成用
のランド３０ａに対応するランド５１ａを有するディス
ク原盤５１を形成する。このディスク原盤５１に対して
ニッケルめっきを行い、それを繰り返すことにより、射
出成形用の原盤（図示せず）を作製する。なお、通常の
ポジ型フォトレジストを使用してもよく、その場合は、
トラッキング用のランドの代わりに、トラッキング用の
グルーブを形成することにより、太い電子ビームでも細
いトラッキングトラックが形成できる。また、デイクス
基板は、原盤を雌型にするか雄型にするかで、ランドで
もグルーブでもどちらでも作製可能である。

【００２１】図６（ａ）は、光ディスク３の一部を示す
図であり、これを用いて本ディスク装置における記録方
法とトラッキング誤差信号の形成方法を説明する。図６
（ａ）に示すように、近接場光１６ａ，１６ｂは、トラ
ッキングトラック３１に一部掛かるようにしてその両側
を走行し、記録トラック３２ａ，３２ｂ上に、記録信号
に応じて記録マーク（斜線を施した領域）Ｍを書き込
む。

【００２２】信号処理回路７は、図６（ｂ）に模式的に
示すように、近接場光１６ａ，１６ｂの反射光２０ａ，
２０ｂを光検出器２１ａ，２１ｂにより検出し、両者の
電気信号２２ａ、２２ｂを電子回路２３を用いて引き算
処理することにより、その差信号２４を得て、同図
（ｃ）に示すように、トラックを横切る方向２５に、ト
ラッキングトラック３１の中心においてゼロクロスする
トラッキング誤差信号２６を生成するものである。この
信号を用いて、光ヘッド２の位置制御を行うことによ
り、トラッキングが可能となる。

【００２３】この第１の実施の形態によれば、マルチビ
ームレーザ１１として２ビームレーザを使用しており、
従って、トラッキングトラック３１は、２本の記録トラ
ック３２ａ，３２ｂ毎に１本形成され、記録トラック３
２ａ，３２ｂは１回の露光用電子ビーム５４で２本形成
されるので、従来の記録トラック毎にグルーブを作製し
ていた方式に比べて、２倍の太さの露光電子ビームが使
えるとともに、原盤作りのための照射時間が半分にで
き、低コスト化が可能となる。また、同じ太さの露光用
電子ビームを用いた場合は、２倍の高密度化が可能とな
る。また、同時に２トラックを用いて記録再生を行うた
め、転送レートを２倍にできる。レーザビームの数を増
やすことはもちろん可能であり、その本数分の一だけト
ラッキングトラックを減らすことができる。また、その
分だけ露光用電子ビームの径を太くでき、高密度化が可
能となる。記録トラック一本毎にトラッキング用グルー
ブを形成する必要がなくなり、トラッキングトラックの
構造を形成することの困難さが大幅に緩和される。ま
た、それぞれの近接場光の反射光の強度変化のみを用い
てトラッキング誤差信号を形成するため、安定かつ信頼
性の高い信号形成が可能となる。

【００２４】図７は、本発明の第２の実施の形態に係る
光ヘッドの半回転放物面型集光媒体１４の被集光面１４
ｃに形成される集光スポットの位置を示すを示す。この
光ヘッドは、マルチビームレーザ１１として４本のレー
ザ光を出射するものを用いたものであり、被集光面１４
ｃに形成される４つの集光スポット１５ａ’，１５ａ，
１５ｂ，１５ｂ’は、焦点位置１５ｃを中心に半回転放
物面型集光媒体１４の光軸上の上下に形成されている。
半回転放物面型集光媒体１４の被集光面１４ｃに被着さ
れた金属遮光膜１４ｅには、集光スポット１５ａ’，１
５ａ，１５ｂ，１５ｂ’内にトラッキングトラック３１
を挟むようにその両側に斜め方向に矩形状開口１９
ａ’，１９ａ，１９ｂ，１９ｂ’を形成している。この
第２の実施の形態によれば、記録密度と転送レートの向
上をより達成することができる。なお、トラッキングト
ラックの一方の側と他方の側の記録トラックの数が異な
っていてもよい。

【００２５】図８は、本発明の第３の実施の形態に係る
光ディスクを示す。この光ディスク３は、トラッキング
トラック３１をグルーブに形成したものである。Ａｌ反
射膜３３は、トラッキング用グルーブ３０ｂに埋め込ん
でトラッキングトラック３１が形成される。これによ
り、射出整形用原盤形成時の凹凸部の幅は比較的広くで
き、プロセス中での凹凸部の欠落を低減できる。

【００２６】図９は、本発明の第４の実施の形態に係る
光ディスクを示す。この光ディスク３は、ランド３０ａ
とグルーブ３０ｂ間に形成されるスロープ３１ａ，３１
ｂをトラッキングトラック３１ａ，３１ｂとしたもので
ある。これにより、原板作製時の凹凸それぞれの幅が約
２記録トラック分となり、またその凹凸のピッチは、４
記録トラック分となるため、従来のトラック毎にグルー
ブを形成していた方式に比べて、露光用電子ビームの照
射時間を１／４程度と大幅に短縮てき、低コスト化が可
能となる。

【００２７】図１０は、本発明の第５の実施の形態に係
る光ディスクを示す。この光ディスク３は、平面状の基
板３０上に、Ａｌ反射膜３３、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂下部ス
ペーサ膜３４、ＧｅＳｂＴｅからなる相変化記録膜３
５、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂上部スペーサ膜３６および保護膜
３７を順次形成した後、その保護膜３７にイオンを拡散
し、その部分の屈折率を変えることにより、その屈折率
変化部３７ａをトラッキングトラック３１としたもので
ある。基板３０はフラットでよいため、これによりエッ
チングや射出成形なしの基板が使用でき、ガラスやＳｉ
を使用した基板に適した方式である。

【００２８】図１１は、本発明の第６の実施の形態に係
る光ディスクを示す。この光ディスク３は、図４に示し
たように、基板３０上にＡｌ反射膜３３を形成した後、
ＳＯＧ（スピンオングラス）３８等により、グルーブ３
０ｂを埋め込み平坦化を行ったものである。これによ
り、光ディスク３の表面をより平坦化することが可能と
なり、低浮上の光ヘッド２を安定して浮上走行させるこ
とが可能となる。

【００２９】図１２は、本発明の第７の実施の形態に係
る光ディスクを示す。この光ディスク３は、平坦な基板
３０にＳｉＮ等の誘電体膜あるいはＴｉ等の金属膜を用
いてトラッキングトラック３１のための突起３９を形成
した例である。これにより、基板３０に対してエッチン
グ比の大きく異なる膜を使用することにより、安定した
突起３９の形成が可能となる。

【００３０】図１３は、本発明の第８の実施の形態に係
る光ディスクを示す。この光ディスク３は、Ａｌ反射膜
３３を平坦に形成した後、ＳｉＮ等の誘電体膜あるいは
Ｔｉ等の金属膜によりトラッキングトラック３１のため
の突起３９を形成したものである。これにより、トラッ
ク３１の形成用エッチング時に基板３０がＡｌ膜で覆わ
れているため、Ｓｉ等のエッチングされやすい材料を基
板として使用することができる。

【００３１】図１４は、本実施の形態のトラッキングト
ラック３１の変形例を示す。同図（ａ）は、連続したト
ラッキングトラック３１の例であり、これにより近接場
光１６ａ，１６ｂの位置が離れていても、連続してトラ
ック反射信号が得られるため、信号処理回路が簡素化で
きる。

【００３２】同図（ｂ）は、トラッキングトラック３１
上に凹部８１ａと凸部８１ｂを単一空間周波数で配列し
た例であり、この上を近接場光１６ａ，１６ｂが走行す
ることにより、単一周波数のトラック反射信号が得ら
れ、それを検波し、両者の差を求めることによりトラッ
キング誤差信号が形成できる。

【００３３】同図（ｃ）は、トラッキングトラック３１
上にサンプルサーボと同様にドット８１を等間隔に並べ
た例である。それぞれの近接場光１６ａ，１６ｂがドッ
ド８１上を通過するときのトラック反射信号をサンプル
ホールドし、それらの差を求めることによりトラッキン
グ誤差信号を生成することができる。また、ドット８１
の間隔を左右の近接場光１６ａ，１６ｂに合わせること
により、同時に左右のトラック反射信号が得られ、サン
プルホールドを不要とすることもできる。

【００３４】同図（ｄ）は、トラッキングトラック３１
にアドレス信号用マーク８２を凹凸の形で形成した例で
ある。トラッキング誤差信号は、やはりサンプルホール
ドを行って形成するが、アドレス信号は、どちらか一方
の光検出器の出力から得られる。また、両者を用い、そ
の比較によりアドレス信号の検証を行ってもよく、それ
により、アドレス信号の誤り訂正を行うことも可能であ
る。この方式により、アドレス信号用マークを記録トラ
ック中に設ける必要がなくなり、大幅な記録密度の向上
が可能となる。アドレス信号は、トラックの凹凸ではな
く、ＣＤ−Ｒなどでなされているように、トラック３１
を蛇行させて形成してもよく、これによっても記録密度
の向上が図れる。なお、これらの図１４に示したトラッ
クは、いずれも図４、図８〜図１３に示すトラック断面
構造のいずれを用いても形成することが可能である。

【００３５】なお、本実施の形態の光ヘッド２の集光媒
体１４としては、半回転放物面型の反射集光媒体を使用
したが、それに限らず、他の反射型集光媒体や、ソリッ
ドイマ−ジョンレンズや平面開口プローブ、ホログラム
レンズなどいずれの集光媒体をも使用できる。また、近
接場形成に矩形状の開口を使用したが、Ｈ型、Ｃ型など
他の形状でもよく、また、開口の代わりに、あるいは開
口とともに複数の微小金属体を使用したプラズモン励起
媒体を使用してもよい。また、本実施の形態は、光ディ
スク装置を例に詳しく説明してきたが、これらのトラッ
ク構造を光アシスト磁気記録に使用することも可能であ
る。すなわち、光アシスト磁気記録用のＴｅＦｅＣｏ等
のアモルファス膜やＣｏＣｒ等の磁性膜を使用してもよ
い。その場合は、トラック凸部を磁性対で構成し、かつ
トラック信号検出器に複数の検出部を有するＧＭＲセン
サやＴＭＲセンサを用いることにより可能となる。

【００３６】

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
複数の記録トラックに対して１つのトラッキングトラッ
クを形成することにより、１つの記録トラック毎にトラ
ッキングトラックを形成する場合よりも記録密度の向上
が図れる。また、複数の記録トラックに独立変調可能な
複数の近接場光を照射することにより、一度に複数の記
録トラックを記録・再生できるので、転送レートの向上
が図れる。また、光記録媒体用の原盤の作製時に、複数
の記録トラックに対応した径の太い露光光を用いること
により、原盤の作製が容易となり、光記録媒体の製造が
容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の記録再生装置が適用された第１の実施
の形態に係る光ディスク装置を示す図である。

【図２】（ａ）は光ヘッド２の主要部を示す断面図、
（ｂ）は（ａ）のＡ方向矢視図である。

【図３】本発明の第１の実施の形態に係る半回転放物面
型集光媒体の底面に形成される集光スポットの位置を示
す図である。

【図４】本発明の第１の実施の形態に係る光ディスクの
断面図である。

【図５】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の第１の実施の形態
に係る光ディスクの製造方法の一例を示す図である。

【図６】（ａ）は本発明の第１の実施の形態に係る近接
場光とトラックの位置関係を示す図、（ｂ）は光検出器
を示す図、（ｃ）は信号処理回路の処理を説明するため
の図である。

【図７】本発明の第２の実施の形態に係る光ヘッドを示
す。

【図８】本発明の第３の実施の形態に係る光ディスクの
断面図である。

【図９】本発明の第４の実施の形態に係る光ディスクの
断面図である。

【図１０】本発明の第５の実施の形態に係る光ディスク
の断面図である。

【図１１】本発明の第６の実施の形態に係る光ディスク
の断面図である。

【図１２】本発明の第７の実施の形態に係る光ディスク
の断面図である。

【図１３】本発明の第８の実施の形態に係る光ディスク
の断面図である。

【図１４】（ａ）〜（ｄ）は本発明の実施の形態に係る
ディスク装置に使用する光ディスクのトラッキングトラ
ックの他の変形例を示す図である。

【符号の説明】

１光ディスク装置２光ヘッド３ａ記録膜３光ディスク４モータ５スイングアーム６ボイスコイルモータ７信号処理回路８制御回路９トラック方向１１マルチビームレーザ１１ａ基板１１ｂ，１１ｄクラッド層１１ｃ活性層１１ｅ共通電極１１ｆ個別電極１１ｇ発光領域１２ａ，１２ｂレーザ光１３コリメータレンズ１４半回転放物面型集光媒体１４ａ入射面１４ｂ反射面１４ｃ被集光面１４ｄ金属反射膜１４ｅ金属遮光膜１５ａ，１５ｂ，１５ａ’，１５ｂ’ 集光スポット１５ｃ焦点位置１６ａ，１６ｂ近接場光１７ａ筐体１７ｂサスペンダ１７ｃ台座１８ｂホルダ１８ａ浮上スライダ１９ａ，１９ｂ，１９ａ’，１９ｂ’ 矩形状開口２０ａ，２０ｂ反射光２１ａ，２１ｂ光検出器２２ａ，２２ｂ電気信号２３電子回路２４差信号２５トラックを横切る方向２６トラッキング誤差信号３０基板３０ａランド３０ｂグルーブ３１トラッキングトラック３１ａ，３１ｂスロープ３２，３２ａ，３２ｂ記録トラック３３反射膜３４下部スペーサ膜３５相変化記録膜３６上部スペーサ膜３７保護膜３７ａ屈折率変化部３９突起５１ディスク原盤５１ａランド５２ネガフォトレジスト膜５２ａ露光部５２ｂ露光マスク５４収束電子ビーム８１ドット８１ａ凹部８１ｂ凸部８２アドレス信号用マークＴ記録トラック幅

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ１１Ｂ 7/24 ５６１Ｇ１１Ｂ 7/24 ５６１Ｅ５Ｄ１２１５６１Ｔ５Ｄ７８９ 7/26 ５３１ 7/26 ５３１ 11/105 ５２１ 11/105 ５２１Ｅ５３１５３１Ｘ５４６５４６Ｄ５６６５６６Ｃ (72)発明者鈴木貞一神奈川県足柄上郡中井町境430 グリーンテクなかい富士ゼロックス株式会社内Ｆターム(参考） 5D029 JB33 KB08 KB12 LA11 LC06 MA33 NA01 WD12 5D075 EE03 FG01 FG04 FG11 FG18 GG01 5D090 AA01 BB10 CC12 CC14 DD01 FF02 FF22 GG24 KK13 KK14 5D118 AA13 BA01 BB02 BC03 CA13 CC06 CD03 CG03 CG26 CG33 CG36 CG39 DA33 5D119 AA11 AA22 BA01 BB03 BB11 CA06 EA02 EC40 EC44 FA05 FA08 JA48 MA05 MA06 5D121 AA04 GG01 GG05 5D789 AA11 AA22 BA01 BB03 BB11 CA06 CA21 CA22 CA23 EA02 EC40 EC44 FA05 FA08 JA48 JA66 MA05 MA06

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】トラッキングトラックに対応してその両側
にそれぞれ１又は２以上の記録トラックを有することを
特徴とする光記録媒体。
【請求項２】前記トラッキングトラックは、ランドに形
成され、前記記録トラックは、グルーブに形成されたことを特徴
とする請求項１記載の光記録媒体。
【請求項３】前記トラッキングトラックは、グルーブに
形成され、前記記録トラックは、ランドに形成されたことを特徴と
する請求項１記載の光記録媒体。
【請求項４】前記トラッキングトラックは、ランドとグ
ルーブの間に設けられたスロープに形成され、前記記録トラックは、前記ランドおよび前記グルーブに
形成されたことを特徴とする請求項１記載の光記録媒
体。
【請求項５】前記トラッキングトラックは、ランドある
いはグルーブに形成され、前記グルーブは平坦化処理さ
れたことを特徴とする請求項１記載の光記録媒体。
【請求項６】前記ランドは、表面が平坦な基板上に誘電
体膜あるいは金属膜からなる突起を形成し、前記基板の
前記表面および前記突起の上に反射膜を形成することに
より形成されることを特徴とする請求項２、３、４又は
５記載の光記録媒体。
【請求項７】前記ランドは、表面が平坦な基板上に反射
膜を形成し、前記反射膜の上に誘電体膜あるいは金属膜
からなる突起を形成することにより形成されることを特
徴とする請求項２、３、４又は５記載の光記録媒体。
【請求項８】前記トラッキングトラックは、トラック方
向に連続的に形成された凸部あるいは凹部から構成され
たことを特徴とする請求項１記載の光記録媒体。
【請求項９】前記トラッキングトラックは、トラック方
向に周期的に形成された凸部および凹部から構成された
ことを特徴とする請求項１記載の光記録媒体。
【請求項１０】前記トラッキングトラックは、トラック
方向に形成された凸部あるいは凹部からなるドットから
構成されたことを特徴とする請求項１記載の光記録媒
体。
【請求項１１】前記トラッキングトラックは、トラック
方向に形成された凸部あるいは凹部からなるアドレスマ
ークから構成されたことを特徴とする請求項１記載の光
記録媒体。
【請求項１２】前記トラッキングトラックは、基板上に
形成された反射膜上に形成されたことを特徴とする請求
項１記載の光記録媒体。
【請求項１３】前記トラッキングトラックは、表面の保
護膜にイオンが拡散されて形成された屈折率変化部を有
することを特徴とする請求項１記載の光記録媒体。
【請求項１４】トラッキングトラックに対応してその両
側にそれぞれ１叉は２以上の記録トラックを有する光記
録媒体に対し、情報の記録あるいは再生を行う記録再生
装置において、前記トラッキングトラックに対応する複数の前記記録ト
ラックに独立変調可能な複数の近接場光を照射するとと
もに、前記複数の近接場光のうち前記トラッキングトラ
ックの一方の側に隣接する前記記録トラックに照射する
一方の近接場光は、前記トラッキングトラックの一方の
側をも照射し、前記トラッキングトラックの他方の側に
隣接する前記記録トラックに照射する他方の近接場光
は、前記トラッキングトラックの他方の側をも照射する
光ヘッドと、前記一方および前記他方の近接場光の照射による前記ト
ラッキングトラックの前記一方の側および前記他方の側
からの反射光に基づいてトラッキング誤差信号を生成す
る信号生成手段とを備えたことを特徴とする記録再生装
置。
【請求項１５】前記光ヘッドは、前記複数の近接場光が
前記トラッキングトラックおよび前記複数の記録トラッ
クの方向に対して斜方向に列状に形成されていることを
特徴とする請求項１４記載の記録再生装置。
【請求項１６】前記光ヘッドは、複数のレーザ光を出射
する半導体レーザと、前記複数のレーザ光を集光して被
集光面に前記複数の近接場光を出射する複数の集光スポ
ットを形成する集光光学系とを備えたことを特徴とする
請求項１４記載の記録再生装置。
【請求項１７】前記集光光学系は、前記複数のレーザ光
を反射する半回転放物状の反射面を有し、前記複数の集
光スポットを前記反射面の焦点近傍に形成する集光媒体
を備えたことを特徴とする請求項１６記載の記録再生装
置。
【請求項１８】前記集光光学系は、前記被集光面に形成
された金属膜を有し、前記金属膜は、前記複数の集光ス
ポット内に前記複数の近接場光を出射する複数の開口を
有することを特徴とする請求項１６記載の記録再生装
置。
【請求項１９】前記金属膜は、前記複数の開口に前記複
数の近接場光を増強する複数の微小金属体を備えたこと
を特徴とする請求項１８記載の記録再生装置。
【請求項２０】前記集光光学系は、前記被集光面に前記
複数の近接場光を増強する複数の微小金属体を備えたこ
とを特徴とする請求項１６記載の記録再生装置。
【請求項２１】前記信号処理手段は、ウォブリング法に
よって前記トラッキング誤差信号を生成することを特徴
とする請求項１４記載の記録再生装置。
【請求項２２】原盤用基板上にフォトレジスト膜を形成
し、前記フォトレジスト膜に複数の記録トラック分の幅を有
する露光光を照射し、前記露光光が照射された前記フォトレジスト膜を現像し
てマスクを形成し、前記マスクを介して前記原盤用基板をエッチングして原
盤を形成し、前記原盤に基づいてトラッキングトラックに対応してそ
の両側に１又は２以上の記録トラックを有する光記録媒
体を製造することを特徴とする光記録媒体の製造方法。