JP2003270784A

JP2003270784A - 着色感光性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法

Info

Publication number: JP2003270784A
Application number: JP2002070391A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Fujita; 和男藤田
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 2002-03-14
Filing date: 2002-03-14
Publication date: 2003-09-25

Abstract

(57)【要約】【課題】カラーフィルタの性状（形状、色相等）を損
なわない耐熱性を有し、精細なパターンを高解像度に形
成することが可能な着色感光性組成物、及びこれを用い
たカラーフィルタを提供する。【解決手段】下記一般式（Ｉ）〜（III）で表される
構造単位の少なくとも一種を含み、水不溶かつアルカリ
性水溶液に可溶な高分子化合物と、色素とを含有する着
色感光性組成物〔Ａ，Ｅ：Ｈ、アルキル基等、Ｂ：アル
キレン基、フェニレン基等、Ｆ，Ｇ：アルキレン基等、
Ｒ¹：Ｈ、ＣＨ₃、Ｒ²：単結合、有機基、Ｘ¹：酸素、Ｎ
Ｒ³、Ｚ¹：ＯＨ、ＣＯＯＨ、ＳＯ₂ＮＨＲ⁴等、Ｒ³〜Ｒ
¹⁵：アルキル基、アリール基、アラルキル基等、Ｘ²，
Ｘ³：ＣＯ、ＯＣＯ、ＳＯ₂、Ｙ¹：アリーレン基、Ｙ²：
−ＣＯ−Ｒ¹⁶、−ＣＯＯＲ¹⁶、−ＳＯ₂Ｒ¹⁶等、ｌ，
ｎ，ｐ，ｑ＝０〜１、ｍ≧１〕、及びこれを用いたカラ
ーフィルタである。【化１】

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示素子（Ｌ
ＣＤ）や固体撮像素子等に用いられるカラーフィルタを
構成する着色画像の形成に好適な着色感光性組成物、並
びに該着色感光性組成物を用いてなるカラーフィルタ及
びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、フォトレジストを用いたカラ
ーフィルタの作製方法としては、フォトレジストにより
パターンを形成した後、染色する方法や、顔料等の色材
を加えて着色されたフォトレジストによりパターンを形
成する方法が一般的である。前者は、形成されたパター
ンを酸性染料等で染色してカラーフィルタとする方法で
あるが、特に大画面では染色及び固着特性を均一にコン
トロールすることが難しいため色ムラが発生し易く、ま
た、染色に際しては防染層を必要とするために工程が煩
雑になる等の問題点を有する。

【０００３】後者は、顔料を種々の感放射線性組成物に
分散させた着色感放射線性組成物を用いてフォトリソ法
によってカラーフィルタを作製する方法である。この方
法は、顔料を用いるため光や熱等に安定であると同時
に、フォトリソ法によってパターニングするため位置精
度にも十分優れており、大画面、高精細カラーディスプ
レイ用カラーフィルタの作製に好適である。

【０００４】具体的には、ガラス基板上に着色感放射線
性組成物をスピンコーターやロールコーター等により塗
布し、乾燥させて塗膜を形成し、該塗膜をパターン露光
し、現像することにより着色画素が得られ、この操作を
色数に応じて繰り返すことによりカラーフィルタを得る
ことができる。例えば、特開平４−１６３５５２号、特
開平１−１０２４６９号、特開平１−１５２４９９号、
特開平２−１８１７０４号、特開平２−１９９４０３
号、特開平４−７６０６２号、特開平５−２７３４１１
号、特開平６−１８４４８２号、特開平７−１４０６５
４号の各公報に記載がある。

【０００５】しかしながら、近年、電荷結合素子（ＣＣ
Ｄ）等の固体撮像素子用のカラーフィルタにおいては、
更なる高精細化が望まれている。ところが、上記のよう
な従来の顔料分散系では、顔料自体１μｍ前後の粒子を
含んでいるために本質的に解像度を向上させ得ず、ま
た、顔料中の粗大粒子による色ムラが発生する等の問題
があるため、固体撮像素子のように微細パターンが要求
される用途には適さなかった。

【０００６】上記問題を解決するため、特開平６−７５
３７５号等において、染料を用いる技術が提案されてい
る。ところが、パターンの高解像度化には有用なもの
の、染料は本質的に光吸収剤として作用するため、照射
光を吸収してしまい、光重合開始剤の光吸収並びにこれ
に続く分解及びラジカル発生を抑制する結果、ラジカル
重合を利用した染料含有硬化性組成物では十分な硬化性
を得るのは困難であった。そのため、二色目以降のレジ
ストを塗布する際の染料の溶出を生じて混色を起こす要
因ともなっていた。

【０００７】硬化性を得る方法として、例えば特開平６
−３５１８２号公報や特開平６−１９５８３５号公報等
に示されているように、架橋剤を添加する方法が提案さ
れてきたが、この方法を採用してもなお、染料の溶出を
完全に抑制することはできず、パターン形成後に長時間
の加熱等が必要であった。したがって、染料あるいはバ
インダーなど、組成物中の構成成分の熱等による劣化を
招いていた。

【０００８】例えば、特開平４−１７５７５３号公報及
び特開平４−１７５７５４号公報では、ノボラック樹
脂、キノンジアジド化合物、及び顔料若しくは染料を含
むポジ型フォトレジスト組成物が開示されている。しか
しながら、このポジ型フォトレジスト組成物を用いる
と、十分な硬化性を得るのにパターン形成後に高温・長
時間の加熱を要するため、ノボラック樹脂や染料等の耐
熱性に起因する問題、即ちパターン形状の変形やカラー
フィルタの変色等の問題があった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、フォト
レジストを用いたカラーフィルタの作製において、これ
まで耐熱性に起因するカラーフィルタへの悪影響、例え
ば加熱による変形や変色等を回避することはできず、し
かも精細なパターンを高解像度に形成することは困難な
状況にあった。特にポジ型のフォトレジストを用いる場
合には、アルカリ可溶性のバインダが該バインダに併用
されるキノンジアジド化合物の作用により不溶化するま
での変化幅（いわゆるインヒビジョン）が大きく、かつ
不溶化したバインダに光照射するとバインダが再び溶解
するようになる可溶化度（いわゆるディスクリミネーシ
ョン）が大きいことが必要とされるが、これらの点にお
いて、従来必ずしも高精細なパターンを形成し得る性質
を有するまでには至っていなかった。

【００１０】上記状況を踏まえ、本発明は、前記従来技
術における問題を解消し、下記目的を達成することを課
題とする。即ち、本発明は、カラーフィルタの性状（形
状、色相等）を損なわない耐熱性を有し、精細なパター
ンを高解像度に形成することが可能な着色感光性組成
物、及び前記着色感光性組成物を用いて形成され、パタ
ーン形状が良好で解像度に優れると共に、色相の良好な
カラーフィルタを提供することを目的とする。並びに、
本発明は、前記カラーフィルタの製造方法であって、形
状や色相等のカラーフィルタの性状を損なうことなく、
高感度に解像度の高いパターンを形成することができる
カラーフィルタの製造方法を提供することを目的とす
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の手段は以下の通りである。（１）（Ａ）下記一般式（Ｉ）〜（III）で表される構
造単位の少なくとも一種を含み、水不溶かつアルカリ性
水溶液に可溶な高分子化合物と、（Ｂ）色素とを含有す
ることを特徴とする着色感光性組成物である。

【００１２】

【化４】

【００１３】前記一般式（Ｉ）中、Ｒ¹は、水素原子ま
たはメチル基を表し、Ｒ²は、単結合または２価の有機
基を表す。Ｘ¹は、−Ｏ−または−ＮＲ³−を表し、Ｙ¹
は、アリーレン基を表す。Ｚ¹は、−ＯＨ、−ＣＯＯ
Ｈ、−ＳＯ₂ＮＨＲ⁴、−ＮＨＳＯ₂Ｒ⁵、−ＣＯＮＨＳＯ
₂Ｒ⁶、−ＳＯ₂ＮＨＣＯＲ⁷、−ＮＨＣＯＮＨＳＯ₂Ｒ⁸、
−ＳＯ₂ＮＨＣＯＮＨＲ⁹、−ＣＯＮＨＳＯ₂ＮＨＲ¹⁰、
−ＮＨＳＯ₂ＮＨＣＯＲ¹¹、−ＳＯ₂ＮＨＳＯ₂Ｒ¹²、−
ＣＯＣＨ₂ＣＯＲ¹³、−ＯＣＯＮＨＳＯ₂Ｒ¹⁴、ＳＯ₂Ｎ
ＨＣＯＯＲ¹⁵を表す。ｌは、０または１を表し、Ｒ²が
単結合でありかつＺ¹が−ＯＨである場合、ｌは１を表
す。ｍは、１以上の整数を表す。Ｒ³、Ｒ⁴、Ｒ⁹、及び
Ｒ¹⁰は、それぞれ独立に水素原子、炭素数１〜１２のア
ルキル基、炭素数１〜１２のシクロアルキル基、炭素数
１〜１２のアリール基、または炭素数１〜１２のアラル
キル基を表す。Ｒ⁵、Ｒ⁶、Ｒ⁷、Ｒ⁸、Ｒ¹¹、Ｒ¹²、
Ｒ¹³、Ｒ¹⁴、及びＲ¹⁵は、それぞれ独立に、炭素数１〜
１２のアルキル基、炭素数１〜１２のシクロアルキル
基、炭素数１〜１２のアリール基、または炭素数１〜１
２のアラルキル基を表す。

【００１４】

【化５】

【００１５】前記一般式（II）中、Ａは、水素原子、ハ
ロゲン原子または炭素数１〜４のアルキル基を表す。Ｂ
は、アルキレン基、フェニレン基、置換アルキレン基ま
たは置換フェニレン基を表す。Ｘ²は、−ＣＯ−、−Ｏ
ＣＯ−、−ＳＯ₂−を表し、Ｙ ²は、−ＣＯ−Ｒ¹⁶、−Ｃ
ＯＯＲ¹⁶、−ＳＯ₂Ｒ¹⁶、−ＣＮ、−ＮＯ₂を表す。Ｒ¹ ⁶
は、アルキル基、アリール基、シクロ環基を表す。ｎは
０または１を表す。

【００１６】

【化６】

【００１７】前記一般式（III）中、Ｅは、水素原子、
ハロゲン原子、炭素数１〜４のアルキル基またはフェニ
ル基を表す。Ｆ及びＧは、それぞれ独立にアルキレン基
または置換アルキレン基を表す。Ｘ³は、−ＣＯ−、−
ＯＣＯ−、−ＳＯ₂−を表し、ｐ及びｑは、それぞれ独
立に０または１を表す。

【００１８】前記（１）に記載の本発明の着色感光性組
成物は、下記（２）に記載のポジ型の着色感光性組成
物、又は（３）に記載のネガ型の着色感光性組成物に構
成することができる。（２）（Ａ）下記一般式（Ｉ）〜（III）で表される構
造単位の少なくとも一種を含み、水不溶かつアルカリ性
水溶液に可溶な高分子化合物と、（Ｂ）色素と、（Ｃ）
ｏ−ナフトキノンジアジド化合物とを含有する前記
（１）に記載の着色感光性組成物である。

【００１９】（３）（Ａ）下記一般式（Ｉ）〜（III）
で表される構造単位の少なくとも一種を含み、水不溶か
つアルカリ性水溶液に可溶な高分子化合物と、（Ｂ）色
素と、（Ｄ）少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有
するモノマー若しくはオリゴマーと、（Ｅ）光重合開始
剤とを含有する前記（１）に記載の着色感光性組成物で
ある。

【００２０】（４）前記（１）〜（３）のいずれかに
記載の着色感光性組成物を用いてなることを特徴とする
カラーフィルタである。（５）前記（１）〜（３）のいずれかに記載の着色感
光性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光
し、現像してパターンを形成することを特徴とするカラ
ーフィルタの製造方法である。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の着色感光性組成物
について詳細に説明すると共に、該本発明の着色感光性
組成物を用いた本発明のカラーフィルタ及びその製造方
法についても詳述する。

【００２２】本発明の着色感光性組成物は、（Ａ）一般
式（Ｉ）〜（III）で表される構造単位の少なくとも一
種を含み、水不溶かつアルカリ性水溶液に可溶な高分子
化合物と、（Ｂ）色素とを含んで構成され、好ましくは
（Ｆ）溶剤をも含んでなる。また、本発明の着色感光性
組成物は、前記（Ａ）及び（Ｂ）と共に、ポジ型に構成
する場合には更に（Ｃ）ｏ−ナフトキノンジアジド化合
物を含み、ネガ型に構成する場合には更に（Ｄ）少なく
とも１つのエチレン性不飽和基を有するモノマー若しく
はオリゴマーと（Ｅ）光重合開始剤とを含んでなる。必
要に応じて、更に架橋剤等の他の成分を含んでいてもよ
い。また、前記ポジ型に構成する場合、前記（Ｄ）及び
（Ｅ）を更に含んで構成してもよい。

【００２３】以下、各成分について説明する。（Ａ）一般式（Ｉ）〜（III）で表される構造単位の少
なくとも一種を含み、水不溶かつアルカリ性水溶液に可
溶な高分子化合物本発明に係る高分子化合物は、下記一般式（Ｉ）〜（II
I）で表される構造単位の少なくとも一種を含むビニル
重合系の共重合体であり、水不溶性で、かつアルカリ性
水溶液に可溶性のものである（以下、「ビニル重合系高
分子化合物」ということがある。）。特に、線状有機高
分子重合体で有機溶剤に可溶なものが好ましい。

【００２４】本発明においては、バインダ樹脂成分とし
て、特に下記の一般式（Ｉ）〜（III）で表される構造
単位を含むビニル重合系の共重合体からなるビニル重合
系高分子化合物を含有することによって、着色感光性組
成物の耐熱性を向上し得、カラーフィルタ作製時の加熱
による変形や変色等を効果的に回避する防止できる。ま
た、特にネガ型に構成した場合には硬化度を確保でき、
ポジ型に構成した場合には、該高分子化合物をキノンジ
アジド化合物と組合せたときに良好にアルカリ不溶化し
（インヒビジョンが大きく）、光照射されると良好なア
ルカリ可溶性を示す（ディスクリミネーションが大き
い）性質を向上することができる。したがって、カラー
フィルタを構成するパターンの解像度を向上させること
ができる。

【００２５】〔一般式（Ｉ）で表される構造単位〕

【化７】

【００２６】前記一般式（Ｉ）中、Ｒ¹は、水素原子ま
たはメチル基を表し、Ｒ²は、単結合または２価の有機
基を表す。Ｘ¹は、−Ｏ−または−ＮＲ³−を表し、Ｙ¹
は、アリーレン基を表す。Ｚ¹は、−ＯＨ、−ＣＯＯ
Ｈ、−ＳＯ₂ＮＨＲ⁴、−ＮＨＳＯ₂Ｒ⁵、−ＣＯＮＨＳＯ
₂Ｒ⁶、−ＳＯ₂ＮＨＣＯＲ⁷、−ＮＨＣＯＮＨＳＯ₂Ｒ⁸、
−ＳＯ₂ＮＨＣＯＮＨＲ⁹、−ＣＯＮＨＳＯ₂ＮＨＲ¹⁰、
−ＮＨＳＯ₂ＮＨＣＯＲ¹¹、−ＳＯ₂ＮＨＳＯ₂Ｒ¹²、−
ＣＯＣＨ₂ＣＯＲ¹³、−ＯＣＯＮＨＳＯ₂Ｒ¹⁴、ＳＯ₂Ｎ
ＨＣＯＯＲ¹⁵を表す。ｌは、０または１を表し、Ｒ²が
単結合でありかつＺ¹が−ＯＨである場合、ｌは１を表
す。ｍは、１以上の整数を表す。

【００２７】前記Ｒ³、Ｒ⁴、Ｒ⁹、及びＲ¹⁰は、いずれ
も無置換でも置換基を有していてもよく、それぞれ独立
に、水素原子、炭素数１〜１２のアルキル基、炭素数１
〜１２のシクロアルキル基、炭素数１〜１２のアリール
基、または炭素数１〜１２のアラルキル基を表す。前記
Ｒ⁵、Ｒ⁶、Ｒ⁷、Ｒ⁸、Ｒ¹¹、Ｒ¹²、Ｒ¹³、Ｒ¹⁴、及びＲ
¹⁵は、いずれも無置換でも置換基を有していてもよく、
それぞれ独立に、炭素数１〜１２のアルキル基、炭素数
１〜１２のシクロアルキル基、炭素数１〜１２のアリー
ル基、または炭素数１〜１２のアラルキル基を表す。

【００２８】前記一般式（Ｉ）で表される構造単位のう
ち、特に好ましくは、Ｙ¹がフェニレン基またはナフチ
レン基であり、Ｚ¹が−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＳＯ₂ＮＨ
Ｒ⁴、または−ＮＨＳＯ₂Ｒ⁵−であり、ｎが１であり、
ｍが１または２であり、Ｘ¹が−ＮＲ³−の場合にＲ³が
水素原子であり、Ｒ⁴が水素原子、炭素数１〜３のアル
キル基、または置換基を有してもよいフェニル基であ
り、Ｒ⁵が炭素数１〜３のアルキル基、または置換基を
有してもよいフェニル基である。

【００２９】また、Ｒ²は、単結合及び２価の有機基の
いずれかを表し、Ｘ¹と、Ｙ¹あるいはｌが０の場合はＺ
¹とを連結するものである。前記２価の有機基は、無置
換でも置換基を有していてもよく、例えば、アルキレン
基、シクロアルキレン基、アリーレン基、エステル連結
基、アミド連結基、イミド連結基、エーテル連結基、ウ
レタン連結基、ウレア連結基、等が挙げられる。中でも
特に、前記Ｒ²としては、単結合、アルキレン基、連結
基を持つアルキレン基が好ましい。

【００３０】前記一般式（Ｉ）で表される構造単位は、
低分子化号物に由来する基であり、例えば、特開昭６３
−８９８６４号公報、特開昭６３−２２６６４１号公
報、特開平２−８６６号公報、特開平８−３３９０８２
号公報、特開平１１−４９７６９号公報に記載の化合物
に由来する基が挙げられる。好ましくは、下記化合物に
由来する基（例示構造単位Ｍ１〜Ｍ２０）である。

【００３１】

【化８】

【００３２】

【化９】

【００３３】〔一般式（II）で表される構造単位〕

【化１０】

【００３４】前記一般式（II）中、Ａは、水素原子、ハ
ロゲン原子または炭素数１〜４のアルキル基を表し、特
に水素原子、メチル基が好ましい。前記Ｂは、アルキレ
ン基、フェニレン基、置換アルキレン基または置換フェ
ニレン基を表し、特にフェニレン基が好ましい。また、
ｎは０または１を表し、ｎ＝０の場合が好ましい。

【００３５】前記一般式（II）中のＸ²は、−ＣＯ−、
−ＯＣＯ−、−ＳＯ₂−を表し、特に−ＣＯ−、−ＳＯ₂
−が好ましい。また、Ｙ²は、−ＣＯ−Ｒ¹⁶、−ＣＯＯ
Ｒ¹⁶、−ＳＯ₂Ｒ¹⁶、−ＣＮ、−ＮＯ₂を表し、特に−Ｃ
Ｏ−Ｒ¹⁶、−ＳＯ₂Ｒ¹⁶が好ましい。

【００３６】前記Ｒ¹⁶は、アルキル基、アリール基、シ
クロ環基を表し、無置換でも置換基を有していてもよ
い。中でも、フェニル基、ナフチル基、シクロヘキシル
基、炭素数１〜４のアルキル基が好ましく、これらはハ
ロゲン原子、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数１〜４
のアルコキシ基を置換基として有してもよい。

【００３７】〔一般式（III）で表される構造単位〕

【化１１】

【００３８】前記一般式（III）中のＥは、水素原子、
ハロゲン原子、炭素数１〜４のアルキル基またはフェニ
ル基を表し、特に水素原子が好ましい。また、Ｆ及びＧ
は、それぞれ独立に、アルキレン基または置換アルキレ
ン基を表し、特にメチレン基が好ましい。また、ｐ及び
ｑは、それぞれ独立に０または１を表し、特にｐ＝ｑ＝
０の場合が好ましい。

【００３９】前記一般式（III）中のＸ³は、−ＣＯ−、
−ＯＣＯ−、−ＳＯ₂−を表し、特に−ＣＯ−、−ＳＯ₂
−が好ましい。

【００４０】前記一般式（II）または（III）で表され
る構造単位は、低分子化号物に由来する基であり、例え
ば、下記化合物に由来する基（例示構造単位Ａ１〜Ａ１
０）が挙げられる。

【００４１】

【化１２】

【００４２】前記（Ａ）ビニル重合系高分子化合物にお
ける前記一般式（Ｉ）〜（III）で表される構造単位の
総構成比としては、１〜６０モル％が好ましく、１０〜
４０モル％がより好ましい。該総構成比が、１モル％未
満であると、現像不良の原因となることがあり、６０モ
ル％を超えて多くなると、過現像となり、画像を形成で
きなくなることがある。

【００４３】前記ビニル重合系高分子化合物のうち、好
ましくは、前記一般式（Ｉ）〜（III）で表される構造
単位を形成する化合物の一種以上と、１つ以上の重合可
能な不飽和結合を含み、かつ一般式（Ｉ）〜（III）で
表される構造単位を含まない化合物（以下、「重合性不
飽和結合を有する化合物」という。）の一種以上との共
重合体である。

【００４４】このような重合性不飽和結合を有する化合
物としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、アク
リル酸エステル類、アクリルアミド類、メタクリル酸エ
ステル類、メタクリルアミド類、アリル化合物、ビニル
エーテル類、ビニルエステル類、スチレン類、及びクロ
トン類エステル類などから選ばれる、重合性不飽和結合
を有する化合物が挙げられる。

【００４５】具体的には、例えば、アクリル酸エステル
類〔例えば、アルキル（該アルキル基の炭素数は１〜１
０が好ましい）アクリレート（例えばアクリル酸メチ
ル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル
酸ブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸エチルヘキシ
ル、アクリル酸オクチル、アクリル酸−ｔ−オクチル、
クロルエチルアクリレート、２，２−ジメチルヒドロキ
シプロピルアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリ
レート、５−ヒドロキシペンチルアクリレート、トリメ
チロールプロパンモノアクリレート、ペンタエリスリト
ールモノアクリレート、グリシジルアクリレート、ベン
ジルアクリレート、メトキシベンジルアクリレート、フ
ルフリルアクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリ
レート、など）、アリールアクリレート（例えばフェニ
ルアクリレートなど）〕；

【００４６】メタクリル酸エステル類〔例えば、アルキ
ル（該アルキル基の炭素数は１〜１０が好ましい）メタ
クリレート（例えばメチルメタクリレート、エチルメタ
クリレート、プロピルメタクリレート、イソプロピルメ
タクリレート、アミルメタクリレート、ヘキシルメタク
リレート、シクロヘキシルメタクリレート、ベンジルメ
タクリレート、クロルベンジルメタクリレート、オクチ
ルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト、４−ヒドロキシブチルメタクリレート、５−ヒドロ
キシペンチルメタクリレート、2,2−ジメチル−３−ヒ
ドロキシプロピルメタクリレート、トリメチロールプロ
パンモノメタクリレート、ペンタエリスリトールモノメ
タクリレート、グリシジルメタクリレート、フルフリル
メタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレー
ト、など）、アリールメタクリレート（例えばフェニル
メタクリレート、クレジルメタクリレート、ナフチルメ
タクリレート、など）〕；

【００４７】アクリルアミド類〔例えば、アクリルアミ
ド、Ｎ−アルキルアクリルアミド（該アルキル基として
は、炭素数１〜１０が好ましく、例えばメチル基、エチ
ル基、プロピル基、ブチル基、ｔ−ブチル基、ヘプチル
基、オクチル基、シクロヘキシル基、ヒドロキシエチル
基、ベンジル基などがある。）、Ｎ−アリールアクリル
アミド（該アリール基としては、例えばフェニル基、ト
リル基、ニトロフェニル基、ナフチル基、ヒドロキシフ
ェニル基などがある。）、Ｎ，Ｎ−ジアルキルアクリル
アミド（該アルキル基としては、炭素数１〜１０のもの
が好ましく、例えばメチル基、エチル基、ブチル基、イ
ソブチル基、エチルヘキシル基、シクロヘキシル基など
がある。）、Ｎ，Ｎ−アリールアクリルアミド（該アリ
ール基としては、例えばフェニル基などがある。）、Ｎ
−メチル−Ｎ−フェニルアクリルアミド、Ｎ−ヒドロキ
シエチル−Ｎ−メチルアクリルアミド、Ｎ−２−アセト
アミドエチル−Ｎ−アセチルアクリルアミドなど〕；

【００４８】メタクリルアミド類〔例えば、メタクリル
アミド、Ｎ−アルキルメタクリルアミド（該アルキル基
としては、炭素数１〜１０のものが好ましく、例えばメ
チル基、エチル基、ｔ−ブチル基、エチルヘキシル基、
ヒドロキシエチル基、シクロヘキシル基などがあ
る。）、Ｎ−アリールメタクリルアミド（該アリール基
としては、フェニル基などがある。）、Ｎ，Ｎ−ジアル
キルメタクリルアミド（該アルキル基としては、エチル
基、プロピル基、ブチル基などがある。）、Ｎ，Ｎ−ジ
アリールメタクリルアミド（該アリール基としては、フ
ェニル基などがある。）、Ｎ−ヒドロキシエチル−Ｎ−
メチルメタクリルアミド、Ｎ−メチル−Ｎ−フェニルメ
タクリルアミド、Ｎ−エチル−Ｎ−フェニルメタクリル
アミドなど〕；

【００４９】アリル化合物〔例えば、アリルエステル類
（例えば酢酸アリル、カプロン酸アリル、カプリル酸ア
リル、ラウリン酸アリル、パルミチン酸アリル、ステア
リン酸アリル、安息香酸アリル、アセト酢酸アリル、乳
酸アリルなど）、アリルオキシエタノールなど〕；

【００５０】ビニルエーテル類〔例えば、アルキルビニ
ルエーテル（例えばヘキシルビニルエーテル、オクチル
ビニルエーテル、デシルビニルエーテル、エチルヘキシ
ルビニルエーテル、メトキシエチルビニルエーテル、エ
トキシエチルビニルエーテル、クロルエチルビニルエー
テル、１−メチル−２，２−ジメチルプロピルビニルエ
ーテル、２−エチルブチルビニルエーテル、ヒドロキシ
エチルビニルエーテル、ジエチレングリコールビニルエ
ーテル、ジメチルアミノエチルビニルエーテル、ジエチ
ルアミノエチルビニルエーテル、ブチルアミノエチルビ
ニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、テトラヒドロ
フルフリルビニルエーテルなど）、ビニルアリールエー
テル（例えばビニルフェニルエーテル、ビニルトリルエ
ーテル、ビニルクロルフェニルエーテル、ビニル−２，
４−ジクロルフェニルエーテル、ビニルナフチルエーテ
ル、ビニルアントラニルエーテルなど）〕；

【００５１】ビニルエステル類〔例えば、ビニルブチレ
ート、ビニルイソブチレート、ビニルトリメチルアセテ
ート、ビニルジエチルアセテート、ビニルバレート、ビ
ニルカプロエート、ビニルクロルアセテート、ビニルジ
クロルアセテート、ビニルメトキシアセテート、ビニル
ブトキシアセテート、ビニルフエニルアセテート、ビニ
ルアセトアセテート、ビニルラクテート、ビニル−β−
フェニルブチレート、ビニルシクロヘキシルカルボキシ
レート、安息香酸ビニル、サリチル酸ビニル、クロル安
息香酸ビニル、テトラクロル安息香酸ビニル、ナフトエ
酸ビニルなど〕；

【００５２】スチレン類〔例えば、スチレン、アルキル
スチレン（例えばメチルスチレン、ジメチルスチレン、
トリメチルスチレン、エチルスチレン、ジエチルスチレ
ン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、ヘキシル
スチレン、シクロヘキシルスチレン、デシルスチレン、
ベンジルスチレン、クロルメチルスチレン、トリフルオ
ロメチルスチレン、エトキシメチルスチレン、アセトキ
シメチルスチレンなど）、アルコキシスチレン（例えば
メトキシスチレン、４−メトキシ−３−メチルスチレ
ン、ジメトキシスチレンなど）、ハロゲンスチレン（例
えばクロルスチレン、ジクロルスチレン、トリクロルス
チレン、テトラクロルスチレン、ペンタクロルスチレ
ン、ブロムスチレン、ジブロムスチレン、ヨードスチレ
ン、フルオロスチレン、トリフルオロスチレン、２−ブ
ロム−４−トリフルオロメチルスチレン、４−フルオロ
−３−トリフルオロメチルスチレンなど）〕；

【００５３】クロトン酸エステル類〔例えば、クロトン
酸アルキル（例えばクロトン酸ブチル、クロトン酸ヘキ
シル、グリセリンモノクロトネートなど）〕；イタコン
酸ジアルキル類（例えばイタコン酸ジメチル、イタコン
酸ジエチル、イタコン酸ジブチルなど）；マレイン酸あ
るいはフマール酸のジアルキル類（例えばジメチルマレ
エート、ジブチルフマレートなど）；アクロニトリル、
メタクリロニトリル等がある。

【００５４】これらの重合性不飽和結合を有する化合物
のうち、好適に使用されるのはメタクリル酸エステル
類、アクリル酸エステル類、メタクリルアミド類、アク
リルアミド類、アクリロトリル、メタクリロニトリル、
メタクリル酸、アクリル酸である。これらは１種若しく
は１種以上用いることができ、共重合体中のこれら化合
物の共重合比としては、０〜８０モル％が好ましく、特
に３０〜８０モル％が好ましい。

【００５５】これらの重合性不飽和結合を有する化合物
の１種以上と、前記一般式（Ｉ）〜（III）で表される
構造単位を形成する化合物の１種以上との共重合体は、
ブロック体、ランダム体、グラフト体等のいずれであっ
てもよい。好ましくは、ランダム体である。

【００５６】上記のような共重合体を合成する際に用い
られる溶媒としては、例えば、エチレンジクロリド、シ
クロヘキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、メタ
ノール、エタノール、エチレングリコールモノメチルエ
ーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、２−
メトキシエチルアセテート、１−メトキシ−２−プロパ
ノール、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、Ｎ，
Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトア
ミド、ジメチルスルホキシド、トルエン、酢酸エチル、
乳酸メチル、乳酸エチルなどが挙げられる。前記溶媒
は、単独であるいは２種以上を混合して用いられる。

【００５７】本発明に係るビニル重合系高分子化合物の
分子量としては、好ましくは重量平均で２，０００以上
であり、数平均で１，０００以上である。更に好ましく
は重量平均で５，０００〜３０万の範囲であり、数平均
で２，０００〜２５万の範囲である。また、多分散度
（重量平均分子量／数平均分子量）としては、１以上が
好ましく、１．１〜１０がより好ましくい。

【００５８】また、本発明に係るビニル重合系高分子化
合物には、未反応の単量体が含まれていてもよい。この
場合、未反応の単量体の該樹脂中に占める割合は１５質
量％以下が望ましい。本発明においては、バインダ樹脂
を１種単独で用いても、複数を混合して用いてもよい。
前記（Ａ）ビニル重合系高分子化合物の着色感光性組成
物中に含まれる含有量としては、約５〜９５％が好まし
く、約１０〜８５％がより好ましい。

【００５９】（Ｂ）色素色素としては、染料や顔料を用いることができ、カラー
フィルタとして望ましいスペクトルを有し、かつ前記バ
インダー樹脂を溶解する溶剤にそのまま、あるいは変性
した形で溶解し得る染料等を用いることができる。中で
も、高精細、高解像度の面から染料が望ましい。

【００６０】前記染料としては、例えば、油溶性染料、
分散染料、反応性染料、酸性染料等を、あるいは直接染
料等を用いることができる。これらの染料の具体例とし
ては、例えば、日本化薬社製又はオリエント化学社製の
バリファスト（Valifast）染料、チバガイギー社製のオ
ラゾール染料、BASF社製のNeozapon染料、あるいは住友
化学社製のスミプラスト（Sumiplast）若しくはオレオ
ゾール（Oleosol）染料、等が挙げられる。

【００６１】溶解性、分光特性、耐熱性、耐光性の観点
も考慮すると、黄系染料では、ＶａｌｉｆａｓｔＹｅ
ｌｌｏｗ１１０８，同３１０８，同３１２０，同４１２
０，同１１５１，同３１５０，ＯｉｌＹｅｌｌｏｗ１
２９、赤系染料では、ＶａｌｉｆａｓｔＲｅｄ１３０
６，同１３０８，同１３６０，同３３０４，同３３１
１，同２３２０，同３３０５，同３３２０、Ｖａｌｉｆ
ａｓｔＰｉｎｋ２３１０Ｎ（いずれもオリエント化学
工業、日本化薬社製），ＰＣＲｅｄ１３６Ｐ、青系染料
では、ＶａｌｉｆａｓｔＢｌｕｅ２６１０，同１６０
３，同１６０５，同２６２０，同２６０６（いずれも日
本化薬社製）、等が好適に挙げられる。

【００６２】中でも、ＶａｌｉｆａｓｔＹｅｌｌｏｗ
１１０８，同３１２０，同１１５１，Ｖａｌｉｆａｓｔ
Ｒｅｄ１３６０，同３３０４，同３３１１，Ｖａｌｉ
ｆａｓｔＰｉｎｋ２３１０Ｎ，ＰＣＲｅｄ１３６Ｐ，
ＶａｌｉｆａｓｔＢｌｕｅ２６１０，同２６２０，同
２６０６、等がより好ましく、ＶａｌｉｆａｓｔＹｅ
ｌｌｏｗ３１２０，同１１５１，ＶａｌｉｆａｓｔＲ
ｅｄ１３６０，同３３０４，同３３１１，Ｖａｌｉｆａ
ｓｔＰｉｎｋ２３１０Ｎ，ＶａｌｉｆａｓｔＢｌｕｅ
２６１０，同２６２０，同２６０６、等が特に好まし
い。

【００６３】前記色素（特に染料）の着色感光性組成物
の全固形成分中における濃度としては、色素（染料）に
より異なるが、０．５〜８０質量％が好ましく、０．５
〜６０質量％がより好ましく、０．５〜５０質量％が特
に好ましい。

【００６４】（Ｃ）ｏ−ナフトキノンジアジド化合物前記ｏ−ナフトキノンジアジド化合物としては、特公昭
４３−２８４０３号公報に記載の、１，２−ジアゾナフ
トキノンスルホン酸クロライドとピロガロール−アセト
ン樹脂とのエステルであるものが好ましい。その他の好
適なｏ−ナフトキノンジアジド化合物としては、米国特
許第３，０４６，１２０号及び同第３，１８８，２１０
号明細書中に記載の、１，２−ジアゾナフトキノンスル
ホン酸クロライドとフェノール−ホルムアルデヒド樹脂
とのエステルがある。

【００６５】その他にも有用なｏ−ナフトキノンジアジ
ド化合物として、数多くの化合物が特許に報告され、知
られている。例えば、特開昭４７−５３０３号、同昭４
８−６３８０２号、同昭４８−６３８０３号、同昭４８
−９６５７５号、同昭４９−３８７０１号、同昭４８−
１３３５４号、特公昭３７−１８０１５号、同昭４１−
１１２２２号、同昭４５−９６１０号、同昭４９−１７
４８１号公報、米国特許第２，７９７，２１３号、同第
３，４５４，４００号、同第３，５４４，３２３号、同
第３，５７３，９１７号、同第３，６７４，４９５号、
同第３，７８５，８２５号、英国特許第１，２２７，６
０２号、同第１，２５１，３４５号、同第１，２６７，
００５号、同第１，３２９，８８８号、同第１，３３
０，９３２号、ドイツ特許第８５４，８９０号などの各
明細書中に記載のものを挙げることができる。

【００６６】本発明において、特に好ましいｏ−ナフト
キノンジアジド化合物としては、分子量１，０００以下
のポリヒドロキシ化合物と１，２−ジアゾナフトキノン
スルホン酸クロリドとの反応により得られる化合物であ
る。このような化合物の具体例としては、特開昭５１−
１３９４０２号、同５８−１５０９４８号、同５８−２
０３４３４号、同５９−１６５０５３号、同６０−１２
１４４５号、同６０−１３４２３５号、同６０−１６３
０４３号、同６１−１１８７４４号、同６２−１０６４
５号、同６２−１０６４６号、同６２−１５３９５０
号、同６２−１７８５６２号、特願昭６２−２３３２９
２号、米国特許第３，１０２，８０９号、同第３，１２
６，２８１号、同第３，１３０，０４７号、同第３，１
４８，９８３号、同第３，１８４，３１０号、同第３，
１８８，２１０号、同第４，６３９，４０６号などの各
公報又は明細書に記載のものを挙げることができる。

【００６７】これらのｏ−ナフトキノンジアジド化合物
を合成する際は、ポリヒドロキシ化合物のヒドロキシル
基に対して１，２−ジアゾナフトキノンスルホン酸クロ
リドを０．２〜１．２当量反応させることが好ましく、
特に０．３〜１．０当量反応させることが好ましい。

【００６８】また、得られるｏ−ナフトキノンジアジド
化合物は、１，２−ジアゾナフトキノンスルホン酸エス
テル基の位置及び導入量の種々異なるものの混合物とな
るが、ヒドロキシル基が全て１，２−ジアゾナフトキノ
ンスルホン酸エステルで転換された化合物の該混合物中
に占める割合（完全にエステル化された化合物の含有
量）が、５モル％以上であるのが好ましく、２０〜９９
モル％であるのが特に好ましい。

【００６９】キノンジアジド化合物の着色感光性組成物
中における含有量としては、全固形分（質量）に対し
て、１０〜５０質量％が好ましく、１５〜４０質量％が
より好ましい。

【００７０】（Ｄ）少なくとも１つのエチレン性不飽和
基を有するモノマー若しくはオリゴマー少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有するモノマー
若しくはオリゴマーとしては、少なくとも１つの付加重
合可能なエチレン性二重結合を有する、常圧下で１００
℃以上の沸点を持つ化合物が好ましい。後述の光重合開
始剤等と共に含有することにより、本発明の着色感光性
組成物をネガ型に構成することができ、また、硬化性を
更に向上させる観点から、ポジ型の着色感光性組成物に
含有してもよい。

【００７１】その例としては、ポリエチレングリコール
モノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール
モノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）
アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリ
レート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、
ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペン
タエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエ
リスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ヘキサンジ
オール（メタ）アクリレート、

【００７２】トリメチロールプロパントリ（アクリロイ
ルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシ
エチル）イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロー
ルエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドや
プロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレ
ート化したもの、特公昭４８−４１７０８号、特公昭５
０−６０３４号、特開昭５１−３７１９３号の各公報に
記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭
４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公
昭５２−３０４９０号各公報に記載されているポリエス
テルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル
酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官
能のアクリレートやメタアクリレートを挙げることがで
きる。更に、日本接着協会誌Ｖol．２０、Ｎo.７、３０
０〜３０８頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして
紹介されているものが挙げられる。

【００７３】（Ｅ）光重合開始剤次に、光重合開始剤について説明する。光重合開始剤
は、本発明の着色感光性組成物をネガ型に構成する場合
に、前記（Ｄ）モノマー等と共に含有し、また、必要に
応じてポジ型の着色感光性組成物に含有される。光重合
開始剤としては、前記（Ｄ）モノマー若しくはオリゴマ
ーを重合させ得るものであれば特に限定されないが、特
性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選
ばれることが好ましい。

【００７４】例えば、ハロメチルオキサジアゾール化合
物及びハロメチル−ｓ−トリアジン化合物から選択され
る少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、３−アリール
置換クマリン化合物、ロフィン２量体、ベンゾフェノン
化合物、アセトフェノン化合物及びその誘導体、シクロ
ペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体及びその塩、オキシム
系化合物、等が挙げられる。

【００７５】ハロメチルオキサジアゾール化合物である
活性ハロゲン化合物としては、特公昭５７−６０９６号
公報に記載の２−ハロメチル−５−ビニル−１，３，４
−オキサジアゾール化合物等や、２−トリクロロメチル
−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−
トリクロロメチル−５−（ｐ−シアノスチリル）−１，
３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５
−（ｐ−メトキシスチリル）−１，３，４−オキサジア
ゾール、等が挙げられる。

【００７６】ハロメチル−ｓ−トリアジン系化合物であ
る活性ハロゲン化合物としては、特公昭５９−１２８１
号公報に記載のビニル−ハロメチル−ｓ−トリアジン化
合物、特開昭５３−１３３４２８号公報に記載の２−
（ナフト−１−イル）−４，６−ビス−ハロメチル−ｓ
−トリアジン化合物及び４−（ｐ−アミノフェニル）−
２，６−ジ−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、等が
挙げられる。

【００７７】その他の例として、２，４−ビス（トリク
ロロメチル）−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリア
ジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（３，
４−メチレンジオキシフェニル）−１，３，５−トリア
ジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（４−
メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４
−ビス（トリクロロメチル）−６−（１−ｐ−ジメチル
アミノフェニル−１，３−ブタジエニル）−ｓ−トリア
ジン、２−トリクロロメチル−４−アミノ−６−ｐ−メ
トキシスチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−
イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリア
ジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，
６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−
（４−エトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−
トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−ブトキ
シ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメ
チル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−メトキシエチ
ル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロ
メチル−ｓ−トリアジン、

【００７８】２−〔４−（２−エトキシエチル）−ナフ
ト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ
−トリアジン、２−〔４−（２−ブトキシエチル）−ナ
フト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−
ｓ−トリアジン、２−（２−メトキシ−ナフト−１−イ
ル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジ
ン、２−（６−メトキシ−５−メチル−ナフト−２−イ
ル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジ
ン、２−（６−メトキシ−ナフト−２−イル）−４，６
−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（５
−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリ
クロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，７−ジメト
キシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロ
メチル−ｓ−トリアジン、２−（６−エトキシ−ナフト
−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−
トリアジン、２−（４，５−ジメトキシ−ナフト−１−
イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリア
ジン、

【００７９】４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニ
ルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロ
メチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−
Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニ
ル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジ
ン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェ
ニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリア
ジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチ
ル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチ
ル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルア
ミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ
−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチ
ルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）
−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（フェニル）
アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−
ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルカルボニ
ルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）
−ｓ−トリアジン、

【００８０】４−〔ｐ−Ｎ−（ｐ−メトキシフェニル）
カルボニルアミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロ
メチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−Ｎ，Ｎ−ジ（エ
トキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−
ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−
ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）
アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−
ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ
（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，
６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−
〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメ
チル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチ
ル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ
−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−
２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４
−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニル
メチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメ
チル）−ｓ−トリアジン、

【００８１】４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エト
キシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ
（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブ
ロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニ
ル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジ
ン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチ
ル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチ
ル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ
−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ
（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブ
ロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニ
ル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジ
ン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチ
ル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチ
ル）−ｓ−トリアジン、

【００８２】４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロ
ロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロ
メチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ
−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６
−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ
−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフ
ェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリ
アジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニ
ルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメ
チル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−
エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−
ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−
クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェ
ニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリア
ジン、

【００８３】４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカル
ボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロ
ロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−
Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリ
クロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−
ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ
（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フ
ロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６
−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ
−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−
２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４
−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニ
ル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジ
ン、４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフ
ェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリ
アジン等が挙げられる。

【００８４】その他、緑化学社製のＴＡＺシリーズ（例
えば、ＴＡＺ−１０７、ＴＡＺ−１１０、ＴＡＺ−１０
４、ＴＡＺ−１０９、ＴＡＺ−１４０、ＴＡＺ−２０
４、ＴＡＺ−１１３、ＴＡＺ−１２３）、ＰＡＮＣＨＩ
Ｍ社製のＴシリーズ（例えば、Ｔ−ＯＭＳ、Ｔ−ＢＭ
Ｐ、Ｔ−Ｒ、Ｔ−Ｂ）、チバガイギー社製のイルガキュ
アシリーズ（例えば、イルガキュア６５１、イルガキュ
ア１８４、イルガキュア５００、イルガキュア１００
０、イルガキュア１４９、イルガキュア８１９、イルガ
キュア２６１）、ダロキュアシリーズ（例えばダロキュ
ア１１７３）、４，４′−ビス（ジエチルアミノ）−ベ
ンゾフェノン、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−
[４−（フェニルチオ）フェニル]−１，２−オクタンジ
オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−４−モルホ
リノブチロフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニ
ルアセトフェノン、

【００８５】２−（ｏ−クロルフェニル）−４，５−ジ
フェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−フルオロフェ
ニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−
（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾリル二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−ジメトキ
シフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量
体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジ
フェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−メチルメルカ
プトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量
体、ベンゾインイソプロピルエーテル、等も有用に用い
られる。

【００８６】これら光重合開始剤には、増感剤や光安定
剤を併用することができる。その具体例として、ベンゾ
イン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン、９−フ
ルオレノン、２−クロロ−９−フルオレノン、２−メチ
ル−９−フルオレノン、９−アントロン、２−ブロモ−
９−アントロン、２−エチル−９−アントロン、９，１
０−アントラキノン、２−エチル−９，１０−アントラ
キノン、２−ｔ−ブチル−９，１０−アントラキノン、
２，６−ジクロロ−９，１０−アントラキノン、キサン
トン、２−メチルキサントン、２−メトキシキサント
ン、２−メトキシキサントン、チオキサントン、２，４
−ジエチルチオキサントン、アクリドン、１０−ブチル
−２−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンザルアセト
ン、ｐ−（ジメチルアミノ）フェニルスチリルケトン、
ｐ−（ジメチルアミノ）フェニル−ｐ−メチルスチリル
ケトン、ベンゾフェノン、ｐ−（ジメチルアミノ）ベン
ゾフェノン（又はミヒラーケトン）、ｐ−（ジエチルア
ミノ）ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭５
１−４８５１６号公報記載のベンゾチアゾール系化合物
等や、チヌビン１１３０、同４００等が挙げられる。

【００８７】本発明の着色感光性組成物をネガ型に構成
する場合には、上述の光重合性開始剤のほかに他の公知
の開始剤を使用することができる。具体的には、米国特
許第２，３６７，６６０号明細書に開示されているビシ
ナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第２，３
６７，６６１号及び第２，３６７，６７０号明細書に開
示されているα−カルボニル化合物、米国特許第２，４
４８，８２８号明細書に開示されているアシロインエー
テル、米国特許第２，７２２，５１２号明細書に開示さ
れているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化
合物、米国特許第３，０４６，１２７号及び第２，９５
１，７５８号明細書に開示されている多核キノン化合
物、米国特許第３，５４９，３６７号明細書に開示され
ているトリアリルイミダゾールダイマー／ｐ−アミノフ
ェニルケトンの組合せ、特公昭５１−４８５１６号公報
に開示されているベンゾチアゾール系化合物／トリハロ
メチール−ｓ−トリアジン系化合物、等を挙げることが
できる。

【００８８】光重合開始剤（及び公知の開始剤）の総使
用量としては、前記モノマー固形分（質量）に対して、
０．０１質量％〜５０質量％が好ましく、１質量％〜３
０質量％がより好ましく、１質量％〜２０質量％が特に
好ましい。該使用量が、０．０１質量％より少ないと重
合が進み難くなることがあり、５０質量％を超えると、
重合率は大きくなるが分子量が低くなり膜強度が弱くな
ることがある。

【００８９】（Ｆ）溶剤本発明の着色感光性組成物を調製する際に一般に溶剤が
用いられる。溶剤は、各成分の溶解性や着色感光性組成
物の塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、
特に染料、バインダー樹脂の溶解性、塗布性、安全性を
考慮して選ばれることが好ましい。

【００９０】前記溶剤としては、エステル類、例えば、
酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸
アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン
酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチ
ル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オ
キシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチ
ル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキ
シ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチ
ル、等；

【００９１】３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキ
シプロピオン酸エチル等の３−オキシプロピオン酸アル
キルエステル類、例えば、３−メトキシプロピオン酸メ
チル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシ
プロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチ
ル、等；２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプ
ロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル等
の２−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例え
ば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプ
ロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピ
ル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプ
ロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン
酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチ
ル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２
−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、等；ピル
ビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピ
ル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソ
ブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、等；

【００９２】エーテル類、例えば、ジエチレングリコー
ルジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレング
リコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノ
エチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチル
セロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチ
ルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピ
レングリコールメチルエーテル、プロピレングリコール
メチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチ
ルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピル
エーテルアセテート、等；

【００９３】ケトン類、例えば、メチルエチルケトン、
シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、
等；芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン、
等が好ましい。

【００９４】これらのうち、３−エトキシプロピオン酸
メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロ
ソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコール
ジメテルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオ
ン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチ
ルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテ
ート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレ
ングリコールメチルエーテルアセテート等がより好まし
い。

【００９５】（他の成分）本発明の着色感光性組成物に
は、必要に応じて、各種添加物、例えば架橋剤、熱重合
防止剤、充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性
剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止
剤等を配合することかできる。

【００９６】補足的に架橋剤を用いて更に高度に硬化さ
せた膜を得ることも可能である。本発明に使用する架橋
剤としては、架橋反応により膜硬化を行えるものであれ
ば特に限定はなく、例えば、（ａ）エポキシ樹脂、
（ｂ）メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロ
キシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置
換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコ
ールウリル化合物又はウレア化合物、（ｃ）メチロール
基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から
選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、フェノ
ール化合物、ナフトール化合物又はヒドロキシアントラ
セン化合物、が挙げられる。中でも、多感応エポキシ樹
脂が好ましい。

【００９７】前記（ａ）エポキシ樹脂としては、エポキ
シ基を有し、かつ架橋性を有するものであればいずれで
あってもよく、例えば、ビスフェノールＡジグリシジル
エーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、
ブタンジオールジグリシジルエーテル、へキサンジオー
ルジグリシジルエーテル、ジヒドロキシビフェニルジグ
リシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、
Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアニリン等の２価のグリシジル基
含有低分子化合物、同様に、トリメチロールプロパント
リグリシジルエーテル、トリメチロールフェノールトリ
グリシジルエーテル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡトリグリシジル
エーテル等に代表される３価のグリシジル基含有低分子
化合物、同様に、ペンタエリスリトールテトラグリシジ
ルエーテル、テトラメチロールビスフェノールＡテトラ
グリシジルエーテル等に代表される４価のグリシジル基
含有低分子化合物、同様に、ジペンタエリスリトールペ
ンタグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキ
サグリシジルエーテル等の多価グリシジル基含有低分子
化合物、ポリグリシジル（メタ）アクリレート、２，２
−ビス（ヒドロキシメチル）−１−ブタノールの１，２
−エポキシ−４−（２−オキシラニル）シクロヘキサン
付加物等に代表されるグリシジル基含有高分子化合物、
等が挙げられる。

【００９８】前記架橋剤（ｂ）に含まれるメチロール
基、アルコキシメチル基、アシロキシメチル基が置換し
ている数としては、メラミン化合物の場合２〜６、グリ
コールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物
の場合は２〜４であるが、好ましくはメラミン化合物の
場合５〜６、グリコールウリル化合物、グアナミン化合
物、ウレア化合物の場合は３〜４である。以下、前記
（ｂ）のメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコー
ルウリル化合物及びウレア化合物を総じて、（ｂ）に係
る(メチロール基、アルコキシメチル基又はアシロキシ
メチル基含有)化合物という。

【００９９】前記（ｂ）に係るメチロール基含有化合物
は、（ｂ）に係るアルコキシメチル基含有化合物をアル
コール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸
触媒存在下、加熱することにより得られる。前記（ｂ）
に係るアシロキシメチル基含有化合物は、（ｂ）に係る
メチロール基含有化合物を塩基性触媒存在下、アシルク
ロリドと混合攪拌することにより得られる。

【０１００】以下、前記置換基を有する（ｂ）に係る化
合物の具体例を挙げる。前記メラミン化合物として、例
えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチ
ルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基
の１〜５個がメトキシメチル化した化合物又はその混合
物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシ
メチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロー
ル基の１〜５個がアシロキシメチル化した化合物又はそ
の混合物、などが挙げられる。

【０１０１】前記グアナミン化合物として、例えば、テ
トラメチロールグアナミン、テトラメトキシメチルグア
ナミン、テトラメチロールグアナミンの１〜３個のメチ
ロール基をメトキシメチル化した化合物又はその混合
物、テトラメトキシエチルグアナミン、テトラアシロキ
シメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの１
〜３個のメチロール基をアシロキシメチル化した化合物
又はその混合物などが挙げられる。

【０１０２】前記グリコールウリル化合物としては、例
えば、テトラメチロールグリコールウリル、テトラメト
キシメチルグリコールウリル、テトラメチロールグリコ
ールウリルのメチロール基の１〜３個をメトキシメチル
化した化合物又はその混合物、テトラメチロールグリコ
ールウリルのメチロール基の１〜３個をアシロキシメチ
ル化した化合物又はその混合物、などが挙げられる。

【０１０３】前記ウレア化合物として、例えば、テトラ
メチロールウレア、テトラメトキシメチルウレア、テト
ラメチロールウレアの１〜３個のメチロール基をメトキ
シメチル化した化合物又はその混合物、テトラメトキシ
エチルウレア、などが挙げられる。これら（ｂ）に係る
化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用して
もよい。

【０１０４】前記（ｃ）の架橋剤、即ち、メチロール
基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から
選ばれる少なくとも一つの基で置換された、フェノール
化合物、ナフトール化合物又はヒドロキシアントラセン
化合物は、前記架橋剤（ｂ）の場合と同様、熱架橋によ
り上塗りフォトレジストとのインターミキシングを抑制
すると共に、膜強度を更に高めるものである。以下、こ
れら化合物を総じて、（ｃ）に係るメチロール基、アルコ
キシメチル基又はアシロキシメチル基含有化合物という
ことがある。

【０１０５】前記架橋剤（ｃ）に含まれるメチロール
基、アシロキシメチル基又はアルコキシメチル基の数と
しては、一分子当り最低２個必要であり、熱架橋性及び
保存安定性の観点から、骨格となるフェノール化合物の
２位，４位が全て置換されている化合物が好ましい。ま
た、該フェノール化合物の３位又は５位は、未置換であ
っても置換基を有していてもよい。また、骨格となるナ
フトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、Ｏ
Ｈ基のオルト位、パラ位が全て置換されている化合物が
好ましい。ナフトール化合物においては、ＯＨ基のオル
ト位以外は、未置換であっても置換基を有していてもよ
い。

【０１０６】前記（ｃ）に係るメチロール基含有化合物
は、フェノール性ＯＨ基の２位又は４位が水素原子であ
る化合物を原料に用い、これを水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム、アンモニア、テトラアルキルアンモニウム
ヒドロキシド等の、塩基性触媒の存在下でホルマリンと
反応させることにより得られる。前記（ｃ）に係るアル
コキシメチル基含有化合物は、（ｃ）に係るメチロール
基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタ
ンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより
得られる。前記（ｃ）に係るアシロキシメチル基含有化
合物は、（ｃ）に係るメチロール基含有化合物を塩基性
触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得
られる。

【０１０７】架橋剤（ｃ）における骨格化合物として
は、フェノール性ＯＨ基のオルト位又はパラ位が未置換
の、フェノール化合物、ナフトール、ヒドロキシアント
ラセン化合物等が挙げられ、例えば、フェノール、クレ
ゾールの各異性体、２，３−キシレノ−ル、２，５−キ
シレノ−ル、３，４−キシレノール、３，５−キシレノ
ール、ビスフェノール−Ａなどのビスフェノール類、
４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、ＴｒｉｓＰ−Ｐ
Ａ（本州化学工業（株）製）、ナフトール、ジヒドロキ
シナフタレン、２，７−ジヒドロキシアントラセン、等
が使用される。

【０１０８】前記架橋剤（ｃ）の具体例としては、フェ
ノール化合物として、例えば、トリメチロールフェノー
ル、トリ（メトキシメチル）フェノール、トリメチロー
ルフェノールの１〜２個のメチロール基をメトキシメチ
ル化した化合物、トリメチロール−３−クレゾール、ト
リ（メトキシメチル）−３−クレゾール、トリメチロー
ル−３−クレゾールの１〜２個のメチロール基をメトキ
シメチル化した化合物、２，６−ジメチロール−４−ク
レゾール等のジメチロールクレゾール、テトラメチロー
ルビスフェノールＡ、テトラメトキシメチルビスフェノ
ールＡ、テトラメチロールビスフェノールＡの１〜３個
のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、テトラ
メチロール−４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、テ
トラメトキシメチル−４，４’−ビスヒドロキシビフェ
ニル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメチロール体、Ｔｒｉ
ｓＰ−ＰＡのヘキサメトキシメチル体、ＴｒｉｓＰ−Ｐ
Ａのヘキサメチロール体の１〜５個のメチロール基をメ
トキシメチル化した化合物、ビスヒドロキシメチルナフ
タレンジオール、等が挙げられる。

【０１０９】また、ヒドロキシアントラセン化合物とし
て、例えば、１，６−ジヒドロキシメチル−２，７−ジ
ヒドロキシアントラセン等が挙げられ、アシロキシメチ
ル基含有化合物として、例えば、上記メチロール基含有
化合物のメチロール基を、一部又は全部アシロキシメチ
ル化した化合物等が挙げられる。

【０１１０】これらの化合物の中で好ましいものとして
は、トリメチロールフェノール、ビスヒドロキシメチル
−ｐ−クレゾール、テトラメチロールビスフェノール
Ａ、ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（本州化学工業（株）製）のヘキ
サメチロール体又はそれらのメチロール基がアルコキシ
メチル基及びメチロール基とアルコキシメチル基の両方
で置換されたフェノール化合物が挙げられる。これら
（ｃ）に係る化合物は、単独で使用してもよく、組合わ
せて使用してもよい。

【０１１１】本発明の着色感光性組成物における、前記
架橋剤（ａ）〜（ｃ）の総含有量としては、素材により
異なるが、該硬化性組成物の固形分（質量）に対して、
１〜７０質量％が好ましく、５〜５０質量％がより好ま
しく、７〜３０質量％が特に好ましい。

【０１１２】本発明の着色感光性組成物をネガ型に構成
する場合には、更に熱重合防止剤を加えることが好まし
い。例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノー
ル、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、
ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４′−チオ
ビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，
２′−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェ
ノール）、２−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用
である。

【０１１３】前記各種添加物の具体例としては、ガラ
ス、アルミナ等の充填剤；ポリビニルアルコール、ポリ
アクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエー
テル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以
外の高分子化合物；ノニオン系、カチオン系、アニオン
系等の界面活性剤；ビニルトリメトキシシラン、ビニル
トリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエト
キシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノ
プロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエ
チル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−
アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシ
プロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピ
ルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシ
クロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロ
プロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピル
トリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリ
メトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシ
シラン等の密着促進剤；２，２−チオビス（４−メチル
−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチ
ルフェノール等の酸化防止剤；２−（３−ｔ−ブチル−
５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベ
ンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外
線吸収剤；及びポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止
剤を挙げることができる。

【０１１４】また、非画像部のアルカリ溶解性を促進
し、本発明の着色感光性組成物の現像性の更なる向上を
図る場合には、該組成物に有機カルボン酸、好ましくは
分子量１０００以下の低分子量有機カルボン酸の添加を
行うことができる。具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、
プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、
ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノ
カルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル
酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン
酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチル
マロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラ
メチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン
酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等
の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミ
ン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボ
ン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメ
リト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等
の芳香族ポリカルボン酸；フェニル酢酸、ヒドロアトロ
パ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク
酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸
ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸
等のその他のカルボン酸が挙げられる。

【０１１５】次に、本発明のカラーフィルタについて、
その製造方法を通じて詳述する。本発明のカラーフィル
タの製造方法においては、既述の本発明の着色感光性組
成物が用いられる。本発明の着色感光性組成物がネガ型
に構成されている場合、ネガ型着色感光性組成物を支持
体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法に
より塗布して感放射線性組成物層を形成し、該層を所定
のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像するこ
とによって、ネガ型の着色パターンを形成する（画像形
成工程）。また、必要により、形成された着色パターン
を加熱及び／又は露光により硬化する硬化工程を含んで
いてもよい。

【０１１６】本発明の着色感光性組成物がポジ型に構成
されている場合、ポジ型着色感光性組成物を支持体上に
回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗
布して感放射線性組成物層を形成し、該層を所定のマス
クパターンを介して露光し、現像液で現像することによ
って、ポジ型の着色パターンを形成した後（画像形成工
程）、形成された着色パターンを加熱して硬化する（ポ
ストベーク）。

【０１１７】カラーフィルタの作製においては、ネガ型
の場合は、前記画像形成工程（及び必要により硬化工
程）を所望の色相数だけ繰り返すことにより、ポジ型の
場合は、前記画像形成工程及びポストベークを所望の色
相数だけ繰り返すことにより、所望の色相よりなるカラ
ーフィルタを作製することができる。この際に使用され
る放射線としては、特にｇ線、ｉ線等の紫外線が好まし
く用いられる。

【０１１８】前記支持体としては、例えば、液晶表示素
子等に用いられるソーダガラス、パイレックス（Ｒ）ガ
ラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させた
ものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例
えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体（ＣＭ
ＯＳ）等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離
するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層と
の密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化
のために下塗り層を設けてもよい。

【０１１９】前記現像液としては、本発明の着色感光性
組成物の非画像部を溶解する一方、画像部は溶解しない
組成よりなるものであればいかなるものも用いることが
できる。具体的には、種々の有機溶剤の組合わせやアル
カリ性の水溶液を用いることができる。前記有機溶剤と
しては、本発明の着色感光性組成物を調製する際に使用
される前述の溶剤が挙げられる。

【０１２０】前記アルカリ性の水溶液としては、例え
ば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウ
ム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア
水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノー
ルアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テ
トラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロー
ル、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−〔５．４．
０〕−７−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が
０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量
％となるように溶解してなるアルカリ性水溶液が好適で
ある。尚、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液
を使用した場合は、一般に、現像後水で洗浄する。

【０１２１】本発明のカラーフィルタは、特に１００万
画素を超えるような高解像度のＣＣＤ素子やＣＭＯＳ等
に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、Ｃ
ＣＤを構成する各画素の受光部と集光するためのマイク
ロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用い
ることができる。

【０１２２】

【実施例】以下、本発明を実施例により更に具体的に説
明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実
施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限
り、「部」は質量基準である。

【０１２３】（実施例１）１）レジスト溶液の調製・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート …１９．２０部（ＰＧＭＥＡ）・エチルラクテート …３６．６７部・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体 …３０．５１部（モル比：７２／２８）の３９％ＰＧＭＥＡ溶液・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート …１２．２０部・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール） … ０．００６１部・フッ素系界面活性剤 … ０．８３部・光重合開始剤ＴＡＺ−１０７（緑化学社製） … ０．５８６部を混合して溶解し、レジスト溶液を調製した。

【０１２４】２）下塗り層付ガラス基板の作成ガラス基板（コーニング１７３７）を１％ＮａＯＨ水で
超音波洗浄した後、水洗、脱水ベーク（２００℃／３０
分）を行った。次いで、上記１）のレジスト溶液を、洗
浄後のガラス基板上に膜厚２μｍになるようにスピンコ
ーターを用いて塗布し、２２０℃で１時間加熱乾燥し、
硬化膜（下塗り層）を形成した。

【０１２５】３）染料レジスト溶液の調製下記組成の化合物を混合して溶解し、染料レジスト溶液
（感光性着色組成物）を得た。・エチルラクテート …８０部・下記表１に記載の高分子化合物（ａ） …１４．７５部・２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノンとナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホニルクロリドとのエステル化物 … ３．６７部（エステル化率：９０ｍｏｌ％；キノンジアジド化合物）・赤色染料（色素） … １．００部（ＶａｌｉｆａｓｔＲｅｄ１３６０、オリエント化学社製）・２，２−ビス（ヒドロキシメチル）−１−ブタノールの１，２−エポキシ− ４−（２−オキシラニル）シクロヘキサン付加物 … ０．５８部

【０１２６】４）染料レジストの露光・現像（画像形成
工程）前記３）で得られた染料レジスト溶液を、前記２）で得
られた下塗り層付ガラス基板の下塗り層の上に膜厚が１
μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、１０
０℃で９０秒間プリベークした。次いで、露光装置を使
用して、塗布膜に３６５ｎｍの波長光を２０μｍマスク
を通して１００ｍＪ／ｃｍ²の各露光量で照射した。照
射後、１２．５％ＣＤ-２０００（富士フイルム・アー
チ社製）現像液を使用して、２６℃で６０秒間現像し
た。次いで、流水で２０秒間リンスした後、スプレー乾
燥して、赤色のポジパターン画像を得た。

【０１２７】５）ポストベーク、及び測定等現像後のポジパターン画像を１８０℃で１０分間加熱し
た。加熱後、得られたポジパターン画像について、その
パターン形状を光学顕微鏡及びＳＥＭ写真観察により通
常の方法で確認した。

【０１２８】６）耐熱性の評価前記５）ポストベーク後のパターン画像を更に２００℃
で１時間加熱し、加熱前後でのパターン画像の４００ｎ
ｍにおける透過率変化を目視により評価した。加えて、
パターン画像の色度、透過スペクトル及び吸光度につい
て、色度計ＭＣＰＤ−１０００（大塚電子社製）で測定
した。その結果、パターン画像の色相は良好であり、２
００℃での加熱前後における色相変化も特に認められな
かった。上記のように測定、評価した結果を下記表２に
示す。

【０１２９】

【表１】

【０１３０】（実施例２〜８、比較例１〜２）実施例１
における３）染料レジスト溶液の調製で用いた高分子化
合物（ａ）を、上記の表１に示す高分子化合物にそれぞ
れ代えたこと以外、実施例１と同様に行った。更に、得
られたパターン画像に対して実施例１と同様の測定、評
価を行った。結果は実施例１と併せて下記表２に示す。

【０１３１】

【表２】

【０１３２】上記表２の結果から明白であるように、既
述の一般式（Ｉ）〜（III）で表される構造単位を含む
ビニル重合系高分子化合物をバインダ成分に用いたこと
で、パターン形状、色相の良好なカラーフィルタを形成
することができた。以上のように、本発明の着色感光性
組成物は耐熱性に優れ、変色、変形等の発生が抑制さ
れ、解像度の高いパターン画像を形成することが可能と
なる。

【０１３３】

【発明の効果】本発明によれば、カラーフィルタの性状
（形状、色相等）を損なわない耐熱性を有し、精細なパ
ターンを高解像度に形成することが可能な着色感光性組
成物、及び前記着色感光性組成物を用いて形成され、パ
ターン形状が良好で解像度に優れると共に、色相の良好
なカラーフィルタを提供することができる。また、本発
明は、前記カラーフィルタの製造方法であって、形状や
色相等のカラーフィルタの性状を損なうことなく、高感
度に解像度の高いパターンを形成することができるカラ
ーフィルタの製造方法を提供することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2H025 AA01 AA02 AA10 AA14 AB13 AC01 AD01 AD03 BC14 BC32 BC42 BE01 CA01 CA14 CA20 CA28 CA39 CB14 CB15 CB41 CC11 FA03 FA17 2H048 BA02 BA48 BB32 BB42

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（Ａ）下記一般式（Ｉ）〜（III）で表
される構造単位の少なくとも一種を含み、水不溶かつア
ルカリ性水溶液に可溶な高分子化合物と、（Ｂ）色素と
を含有することを特徴とする着色感光性組成物。【化１】〔一般式（Ｉ）中、Ｒ¹は、水素原子またはメチル基を
表し、Ｒ²は、単結合または２価の有機基を表す。Ｘ
¹は、−Ｏ−または−ＮＲ³−を表し、Ｙ¹は、アリーレ
ン基を表す。Ｚ¹は、−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＳＯ₂ＮＨ
Ｒ⁴、−ＮＨＳＯ₂Ｒ ⁵、−ＣＯＮＨＳＯ₂Ｒ⁶、−ＳＯ₂Ｎ
ＨＣＯＲ⁷、−ＮＨＣＯＮＨＳＯ₂Ｒ⁸、−ＳＯ₂ＮＨＣＯ
ＮＨＲ⁹、−ＣＯＮＨＳＯ₂ＮＨＲ¹⁰、−ＮＨＳＯ₂ＮＨ
ＣＯＲ¹¹、−ＳＯ₂ＮＨＳＯ₂Ｒ¹²、−ＣＯＣＨ₂ＣＯＲ
¹³、−ＯＣＯＮＨＳＯ₂Ｒ¹⁴、ＳＯ₂ＮＨＣＯＯＲ¹⁵を表
す。ｌは、０または１を表し、Ｒ²が単結合でありかつ
Ｚ¹が−ＯＨである場合、ｌは１を表す。ｍは、１以上
の整数を表す。Ｒ³、Ｒ⁴、Ｒ⁹、及びＲ¹⁰は、それぞれ
独立に水素原子、炭素数１〜１２のアルキル基、炭素数
１〜１２のシクロアルキル基、炭素数１〜１２のアリー
ル基、または炭素数１〜１２のアラルキル基を表す。Ｒ
⁵、Ｒ⁶、Ｒ⁷、Ｒ⁸、Ｒ¹¹、Ｒ¹²、Ｒ¹³、Ｒ¹⁴、及びＲ¹⁵
は、それぞれ独立に、炭素数１〜１２のアルキル基、炭
素数１〜１２のシクロアルキル基、炭素数１〜１２のア
リール基、または炭素数１〜１２のアラルキル基を表
す。〕【化２】〔一般式（II）中、Ａは、水素原子、ハロゲン原子また
は炭素数１〜４のアルキル基を表す。Ｂは、アルキレン
基、フェニレン基、置換アルキレン基または置換フェニ
レン基を表す。Ｘ²は、−ＣＯ−、−ＯＣＯ−、−ＳＯ₂
−を表し、Ｙ²は、−ＣＯ−Ｒ¹⁶、−ＣＯＯＲ¹⁶、−Ｓ
Ｏ₂Ｒ¹⁶、−ＣＮ、−ＮＯ₂を表す。Ｒ¹⁶は、アルキル
基、アリール基、シクロ環基を表す。ｎは０または１を
表す。〕【化３】〔一般式（III）中、Ｅは、水素原子、ハロゲン原子、
炭素数１〜４のアルキル基またはフェニル基を表す。Ｆ
及びＧは、それぞれ独立にアルキレン基または置換アル
キレン基を表す。Ｘ³は、−ＣＯ−、−ＯＣＯ−、−Ｓ
Ｏ₂−を表し、ｐ及びｑは、それぞれ独立に０または１
を表す。〕
【請求項２】請求項１に記載の着色感光性組成物を用
いてなることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項３】請求項１に記載の着色感光性組成物を支
持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパタ
ーンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造
方法。