JP2003270090A - 対物レンズ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＭＴＦの高い対物レンズの選別、及び対物レ
ンズのＭＴＦが最大となる方向の検査を容易に且つ安価
に行うことができる対物レンズ検査装置を提供する。 【解決手段】 光ディスクに記録されている情報を光学
的に読み出すために光ビームを集光する対物レンズを検
査するための対物レンズ検査装置である。光ディスクの
トラックのピッチと略等価となるピッチの格子を有する
回折格子にて対物レンズを通過した光ビームを受光して
反射する光回折部と、光回折部で反射された光からＭＴ
Ｆを検出するＭＴＦ検出手段とを備える。光ビームの照
射時に、対物レンズを光ビームの光軸方向に回転すると
ともに光回折部を格子に対して略直交する方向に移動さ
せて、ＭＴＦ検出手段は対物レンズの回転角度に対して
ＭＴＦを検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、対物レンズ検査装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えばＣＤやＤＶＤ等の光ディス
クに記録されている情報を光学的に読み出して電気信号
として出力する光学ピックアップでは、前記情報を読み
出すために光ディスクの情報記録面上に光ビームのスポ
ット（以下、光スポットという）を集光する対物レンズ
が用いられている。

【０００３】ここで、前記情報は、光ディスクのトラッ
クに沿って形成されたピット列であるため、この情報を
光学ピックアップにて正確に読み出すためには、対物レ
ンズによって光ビームをピット上で適当な寸法の光スポ
ット径となるように集光する必要がある。さらに、近年
開発が進んでいる記録密度の高い光ディスク等では、そ
のトラックピッチが狭くなっており、前記情報を正確に
読み出すために光スポット径を小さくする必要がある。

【０００４】そこで、光スポット径を小さくする方法と
して、例えば対物レンズの開口数ＮＡ（Numerical Aper
ture）を大きくすることが考えられるが（特開平２−１
１６０３２号公報）、開口数の大きい対物レンズは、そ
の解像度を劣化させ前記情報の読み取りに悪影響を与え
る各種収差が生じる虞がある。例えば、光スポットが１
点に集まらないコマ収差が発生すると、略円形状の光ス
ポットの近傍に略半円状の光スポットが形成されるた
め、光ディスクの情報記録面上にてトラック間を跨るよ
うに光ビームが照射される虞がある。そのため、対物レ
ンズの光ディスクの半径方向における開口数を光ディス
クのトラック接線方向における開口数より小なるように
した対物レンズを使用したり（特開平８−３３５３２９
号公報）、対物レンズのＭＴＦ（Modulation transfer
function）が最大となる方向を光ディスクのトラックの
接線方向となるように対物レンズを光軸回りに回転させ
て取り付けたりする必要がある。なお、この対物レンズ
を取り付ける際の回転角度は、例えば対物レンズの外周
部に設けられたオリフラ（Oriented Flat）を基準とし
ている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、対物レンズ
は、そのＭＴＦが例えば干渉計やＣＣＤカメラ等を備え
た測定装置によって検出されることにより、ＭＴＦが最
大となる方向が検出されるとともにＭＴＦの高い対物レ
ンズが選別されるようになっている。しかしながら、上
記測定装置を用いる場合、対物レンズの透過波面を計測
して屈折率分布を求める必要があるため、対物レンズの
ＭＴＦが最大となる方向の検出に手間がかかっていた。
さらに、対物レンズはその屈折率が一様でなく各々不均
一であるため、対物レンズ毎に前記検出を行う必要があ
り、ＭＴＦの高い対物レンズの選別に時間がかかってい
た。また、上記測定装置は高価であるため高額の費用が
かかるといった問題があった。

【０００６】本発明の課題は、ＭＴＦの高い対物レンズ
の選別、及び対物レンズのＭＴＦが最大となる方向の検
査を容易に且つ安価に行うことができる対物レンズ検査
装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の対物レンズ検査装置は、光ディスクに記録
されている情報を光学的に読み出すために光ビームを集
光する対物レンズを検査するための対物レンズ検査装置
であって、断面略円形状の光ビームを前記対物レンズに
照射するための光ビーム照射手段と、前記対物レンズを
前記光ビームの光軸方向に回転自在な対物レンズ回転駆
動手段と、前記光ディスクのトラックのピッチと略等価
となるピッチの格子を有する回折格子と前記回折格子の
対物レンズ側に設けられた透明板とを備え、前記回折格
子にて前記光ビーム照射手段から照射され前記対物レン
ズを通過した光ビームを前記透明板を介して受光して反
射する光回折部と、前記光回折部を前記格子に対して略
直交する方向に移動させる光回折部駆動手段と、前記光
回折部で反射された光からＭＴＦを検出するＭＴＦ検出
手段とを備え、前記光ビーム照射手段による光ビームの
照射時に、前記対物レンズ回転駆動手段と前記光回折部
駆動手段とが作動し、前記ＭＴＦ検出手段は前記対物レ
ンズの回転角度に対応して前記ＭＴＦを検出することを
特徴としている。

【０００８】ここで、ＭＴＦ（Modulation transfer fu
nction）は、光学系の伝達関数のことであり、具体的に
は正弦波パターンの像のコントラストの変化を空間周波
数の関数として表したものである。また、ＭＴＦの値が
高いほど対物レンズの結像性能が向上する。

【０００９】本発明の対物レンズ検査装置によれば、光
ビーム照射手段による光ビームの照射時に、対物レンズ
回転駆動手段と光回折部駆動手段とが作動し、ＭＴＦ検
出手段は対物レンズの回転角度に対応してＭＴＦを検出
する。すなわち、光ビームの照射時に、対物レンズはそ
の光軸方向に回転しつつ光ディスクと略等価の回折格子
に光ビームを集光するとともに、光回折部は格子に対し
て略直交する方向に移動しながら回折格子によって前記
集光された光ビームを受光して反射し、反射された光か
らＭＴＦ検出手段は対物レンズの回転角度に対応してＭ
ＴＦを検出する。従って、対物レンズのＭＴＦが最大と
なる回転角度、すなわち、光ディスクに対する対物レン
ズのＭＴＦが最大となる方向を容易に検出できる。ま
た、検査される対物レンズ毎に前記検出されるＭＴＦの
最大値を比較することによって、ＭＴＦの高い対物レン
ズの選別を容易にすることができる。さらに、対物レン
ズのＭＴＦが最大となる方向の検出を、例えば干渉計や
ＣＣＤカメラ等の測定装置を必要とせずに安価に行うこ
とができる。また、例えば光学ピックアップにおいて、
光ディスクに対してＭＴＦが最大となる方向に対物レン
ズを回転させて取り付けることによって、コマ収差があ
りＭＴＦの低い対物レンズでも使用できるため、生産時
の歩留まりを高くすることができる。また、光回折部に
は、対物レンズを通過した光ビームを透過する透明板が
回折格子の対物レンズ側に設けられているので、光回折
部の構成を光ディスクの構成と略等しくすることがで
き、対物レンズのＭＴＦの検出精度を高めてその検出を
略正確に行うことができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を適宜参照して説明する。本実施の形態で例示
される対物レンズ検査装置は、例えばＣＤ（Compact Di
sk）やＤＶＤ（Digital Versatile Disk）等の光ディス
クの情報記録面に記録されている情報を光学的に読み出
すために光ビームを前記情報記録面上に集光する対物レ
ンズを検査するものである。

【００１１】この対物レンズ検査装置１００は、例えば
図１に示すように、半導体レーザ１、コリメータレンズ
２、ビーム成形部３、偏光ビームスプリッタ４、１／４
波長板５、ビームエキスパンダ６、対物レンズ部７、回
折格子部８、ＭＴＦ（Modulation transfer function）
検出部９、制御部（図示略）を備えて構成されている。

【００１２】半導体レーザ１は、例えば、制御部の制御
に従って内蔵する光源（図示略）により生成される例え
ば波長４００ｎｍの青色レーザ等の光ビームをコリメー
タレンズ２に向けて照射する。コリメータレンズ２は、
半導体レーザ１から照射された光ビームを略平行な光ビ
ーム（以下、平行光という）に変換する。ビーム成形部
３は、例えば一組のプリズム３１，３１を備えて構成さ
れており、コリメータレンズ２によって変換された平行
光を断面略円形状の光に成形する。これら半導体レーザ
１、コリメータレンズ２、ビーム成形部３によって、ビ
ーム照射手段が構成されている。

【００１３】偏光ビームスプリッタ４は、光ビームの照
射時に、ビーム成形部３によって断面略円形状に成形さ
れた光のうちＰ成分の光のみを透過して、直線偏光（Ｐ
偏光）に変換する一方で、光ビームの反射時に、１／４
波長板５により変換されたＳ偏光（後述）をＭＴＦ検出
部９に向けて反射する。

【００１４】１／４波長板５は、光ビームの照射時に、
偏光ビームスプリッタ４によって変換されたＰ偏光を例
えば右回りの円偏光に変換する一方で、光ビームの反射
時に、ビームエキスパンダ６によって光束が縮小された
円偏光をＳ成分のみの直線偏光（Ｓ波直線偏光；以下、
Ｓ偏光という）に変換する。

【００１５】ビームエキスパンダ６は、例えば一組のレ
ンズ６１，６１を備えて構成されており、光ビームの照
射時に、１／４波長板５によって変換された円偏光の光
束を拡大する一方で、光ビームの反射時に、対物レンズ
７１を通過した円偏光の光束を縮小する。

【００１６】対物レンズ部７は、例えば図２に示すよう
に、光ビームの照射時に、ビームエキスパンダ６によっ
て拡大された円偏光を回折格子の光回折面（後述）８１
１ａに集光する一方で、光ビームの反射時に、光回折面
８１１ａにて反射され回転方向が逆（例えば、左回り）
に変換された円偏光を通過させる対物レンズ７１と、こ
の対物レンズ７１を取付自在に構成された対物レンズホ
ルダ７２と、この対物レンズホルダ７２ごと前記対物レ
ンズ７１を光軸方向（光軸周りの回転方向）に回転自在
な対物レンズ駆動モータ（対物レンズ回転駆動手段）７
３とを備えている。

【００１７】対物レンズ７１は、例えばレンズの集光能
力（分解能）を表す指標である開口数ＮＡ（Numerical
Aperture）が０．８５の対物レンズである。また、対物
レンズ７１の外周部には、この対物レンズ７１の光軸方
向の回転角度の基準となる略平面状のオリフラ（Orient
ed Flat；図示略）が設けられている。なお、開口数Ｎ
Ａは、その数値が高いほど集光能力が高くなっている。
一方、対物レンズホルダ７２は、例えば、光の通路とな
る略円筒状の貫通孔７２１を有しており、この貫通孔７
２１の回折格子部８側が対物レンズ７１を取り付けるた
めの対物レンズ取付部７２２となっている。この対物レ
ンズ取付部７２２の内径は、対物レンズ７１の外径と略
等しいか、この外径よりもわずかに大きくなっている。

【００１８】対物レンズ駆動モータ７３は、その駆動力
が図示しない駆動力伝達手段（例えば、ワイヤ等）によ
って対物レンズ７１及び対物レンズホルダ７２に伝達さ
れ、光ビームの照射時に、対物レンズ７１を光軸方向に
前記オリフラを基準として０度から３６０度、すなわち
一回転させる。

【００１９】回折格子部８は、光ディスクと略等価に形
成されている光回折部８１と、この光回折部８１を、光
ビームの照射時に焦点方向及び格子（詳細後述）８１１
ｂに対して略直交する方向（以下、直行方向という）の
２方向に移動させる光回折部駆動部８２とを備えてい
る。

【００２０】光回折部８１は、例えば略矩形状の例えば
厚さ１．１ｍｍの回折格子（図２参照）８１１と、この
回折格子８１１の光回折面（対物レンズ側）８１１ａ上
に固定された例えば厚さ０．１ｍｍのカバーガラス（透
明板）８１２とを備えている。このうち、回折格子８１
１は、その対物レンズ部７側が対物レンズ７１を通過し
カバーガラス８１２を透過した円偏光を受光して反射す
る光回折面８１１ａとなっている。この光回折面８１１
ａは、例えばピッチ０．２７μｍで並んで所定（例えば
０．１μｍ）の深さを有する溝状の複数の格子８１１ｂ
を有しており、光ディスクの情報記録面に形成されてい
るピット及びトラックと略等価となっている。一方、カ
バーガラス８１２は、例えば光ディスクの情報記録面上
の透明樹脂層と略同じ屈折率の材料から構成されてお
り、前記透明樹脂層と略同等の機能を有している。この
ように、光回折部８１の光回折面８１１ａは光ディスク
の情報記録面と略等しくなっており、対物レンズ７１の
ＭＴＦの検出精度を高めてその検出を略正確に行うこと
ができる。

【００２１】また、光回折部駆動部８２は、光回折部８
１を焦点方向に移動させる光回折部焦点方向駆動部８２
１と、光回折部８１を直交方向に移動させる光回折部直
交方向駆動部（光回折部駆動手段）８２２とを備えてい
る。光回折部焦点方向駆動部８２１は、ＦＥ信号（後
述）に基づいて光回折部８１を駆動することにより、対
物レンズ７１を通過した円偏光の光スポットを格子８１
１ｂに集光して焦点を合わせる。一方、光回折部直交方
向駆動部８２２は、光回折部８１をウォブリングさせ
て、前記光スポットが複数の格子８１１ｂ上を横断する
ように格子８１１ｂと格子でない部分（以下、ランド部
という）を移動させる。これにより、光スポットは格子
８１１ｂでは焦点が合うことになる一方で、ランド部で
は焦点が合わないことになり、それぞれで光ビームの反
射時の光量が変化する。

【００２２】ＭＴＦ検出部９は、偏光ビームスプリッタ
４により反射されたＳ偏光を光電変換して、この変換さ
れた電気信号からＭＴＦを検出するためのものである。
具体的には、ＭＴＦ検出部９は、例えば前記Ｓ偏光を集
光する集光レンズ９１と、この集光レンズ９１に集光さ
れた光を複数の領域（例えば、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの都合４
つの領域）に分割する例えば一組の平板状のプリズムか
らなるナイフエッジ９２，９２と、これらナイフエッジ
９２によって分割された光を光電変換してＭＴＦを検出
するための光センサ（ＭＴＦ検出手段）９３とを備えて
いる。

【００２３】このうち、光センサ９３は、例えばナイフ
エッジ９２に対応して前記複数の領域にパタン分割され
ている分割センサであり、例えばＲＦ（Radio frequenc
y）信号及び光回折部８１を焦点方向に位置調節するた
めのフォーカスエラー信号（以下、ＦＥ信号という）を
検出して出力するようになっている。具体的には、光セ
ンサ９３の領域Ａ〜Ｄでの検出に基づく光電変換出力を
それぞれ単にＡ〜Ｄと表すとすれば、ＲＦ信号＝Ａ＋Ｂ
＋Ｃ＋Ｄ、ＦＥ信号＝（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）によりそ
れぞれ求められる。このように、ＦＥ信号はダブル・ナ
イフエッジ法によって検出されている。また、この光セ
ンサ９３は、前記ＲＦ信号より対物レンズ７１の回転角
度に対応してＭＴＦを検出する。具体的には、例えば図
３（ａ）に示すように、ＲＦ信号の空間周波数ｗのグラ
ウンドレベルＧＮＤに対する極大値（ｗ）ａ及び極小値
（ｗ）ｂに基づいて、次の式を演算してＭＴＦを算出
（検出）する。 ＭＴＦ（％）＝（（ｗ）ａ−（ｗ）ｂ）／（（ｗ）ａ＋
（ｗ）ｂ）×１００ なお、検出されたＭＴＦは、対物レンズ７１の回転角度
に対応してＣＲＴ等の表示装置（図示略）に表示される
ようになっている。

【００２４】制御部は、例えば、ＣＰＵ（Central Proc
essing Unit）、ＲＯＭ（Read OnlyMemory）、ＲＡＭ
（Random Access Memory）、インターフェース等を備え
て構成されており、対物レンズ検査装置１００の各構成
要素を制御する。

【００２５】次に、対物レンズ検査装置１００による対
物レンズ７１のＭＴＦを検出する際の制御及び動作につ
いて説明する。

【００２６】先ず、検査対象となる対物レンズ７１が対
物レンズホルダ７２に取付固定される。次に、この対物
レンズ７１に対して、制御部が半導体レーザ１を制御し
て光ビームを照射する。そして、照射された光ビーム
は、対物レンズ７１によって光回折面８１１ａに光スポ
ットとなって集光されこの光回折面８１１ａにて反射さ
れる。このとき、制御部は、対物レンズ駆動モータ７３
を制御することによって対物レンズ７１を光軸方向に一
回転させるとともに、光回折部直行方向駆動部８２２を
制御することによって光回折部８１をウォブリングさせ
る。つまり、対物レンズ７１によって光回折面８１１ａ
に集光される光スポットは、対物レンズ７１の回転と同
期して同方向に回転するとともに、光回折部８１のウォ
ブリングと同期して複数の格子８１１ｂ上を移動してい
くことで、対物レンズ７１の回転角度に対応して格子８
１１ｂとランド部とでそれぞれ反射される光量が変化す
ることになる。例えば、コマ収差のある対物レンズ等に
おいて光スポットの形状が略楕円形である場合に、対物
レンズ７１が回転して光スポットの長軸方向が格子８１
１ｂの長手方向と略等しくなると、格子８１１ｂとラン
ド部とにおける反射光の光量の差が最も大きくなる。な
お、前記光スポットは、制御部が光回折部焦点方向駆動
部８２１を制御して光回折部８１を焦点方向に位置調節
することにより、その焦点が合わせられている。そし
て、光回折面８１１ａにて反射された光ビーム（以下、
反射光という）はＭＴＦ検出部９に入射する。このＭＴ
Ｆ検出部９の光センサ９３は、反射光の光量に基づき対
物レンズ７１の回転角度に対応してＭＴＦを検出して、
その値を表示装置に出力する。具体的には、例えば図３
（ｂ）に示すように、対物レンズ７１の０度から３６０
度までの回転中にその回転角度に対応する反射光より検
出したＭＴＦの値を、その角度毎にプロットしていく。
この結果、対物レンズ７１のＭＴＦが最大となる回転角
度、すなわち、例えば光スポットの長軸方向が格子８１
１ｂの長手方向と略等しくなる対物レンズ７１の回転角
度を検出できる。例えば図３（ｂ）においては、対物レ
ンズ７１をそのオリフラを基準として９０度回転させた
場合に、対物レンズ７１のＭＴＦが最大となることを検
出できる。なお、上記検査は、検査対象となる対物レン
ズを取り替えることでその対物レンズ毎に行われる。

【００２７】以上のように、この実施の形態の対物レン
ズ検査装置１００によれば、光ビームの照射時に、対物
レンズ７１はその光軸方向に回転しつつ光ディスクの情
報記録面と略等価の光回折面８１１ａに光ビームを集光
するとともに、光回折部８１は直交方向に移動しながら
光回折面８１１ａにて前記集光された光ビームを受光し
て反射し、反射光から光センサ９３は対物レンズ７１の
回転角度に対応してＭＴＦを検出するので、対物レンズ
７１のＭＴＦが最大となる回転角度、すなわち、光学ピ
ックアップにおいて光ディスクに対する対物レンズ７１
のＭＴＦが最大となる方向を容易に検出できる。また、
検査対象となる対物レンズ７１毎に検出されるＭＴＦの
最大値を比較することによって、ＭＴＦの高い対物レン
ズ７１の選別を容易にすることができる。さらに、対物
レンズ７１のＭＴＦが最大となる方向の検出を、例えば
干渉計やＣＣＤカメラ等の測定装置を必要とせずに安価
に行うことができる。また、例えば光学ピックアップに
おいて、光ディスクに対してＭＴＦが最大となる方向に
対物レンズ７１を回転させて取り付けることにより、コ
マ収差がありＭＴＦの低い対物レンズでも使用できるた
め、生産時の歩留まりを高くすることができる。加え
て、格子８１１ｂのピッチが０．２７μｍであるので、
例えばトラックのピッチが０．３４μｍ以下の記録密度
の高い光ディスクの光学ピックアップに用いられる高開
口の対物レンズの検査に対してもこの対物レンズ検査装
置１００を適用することができる。

【００２８】なお、上記実施の形態の対物レンズ検査装
置１００では、ＭＴＦを検出するために対物レンズ７１
を０度から３６０度まで回転させるようにしたが、これ
に限られるものではなく、対物レンズ７１のＭＴＦが最
大となる方向を検出可能であれば回転させる角度は任意
である。例えば、略楕円形状の光スポットの長軸方向が
格子８１１ｂの長手方向と略等しくなる対物レンズ７１
の回転角度、すなわち対物レンズ７１のＭＴＦが最大と
なる回転角度と、その角度からさらに１８０度回転した
角度とでＭＴＦが略同じ値を示す可能性があるため、最
大のＭＴＦを検出するために対物レンズ７１を０度から
１８０度まで回転させるようにしても良い。また、開口
数ＮＡが０．８５である対物レンズ７１を検査対象とし
たが、これに限られるものではなく、回折格子８１１の
格子８１１ｂのピッチを変更することにより如何なる開
口数ＮＡの対物レンズも検査対象とすることができる。
しかしながら、この対物レンズ検査装置１００の検査対
象が、トラックのピッチが０．３４μｍ以下の記録密度
の高い光ディスクの光学ピックアップに用いられる対物
レンズである場合、その対物レンズの開口数ＮＡは少な
くとも０．６５以上でなければならないし、情報の読み
取りを正確に行うためには０．８５以上でなければなら
ない。

【００２９】

【発明の効果】本発明によれば、光ビーム照射手段によ
る光ビームの照射時に、対物レンズ回転駆動手段と光回
折部駆動手段とが作動し、ＭＴＦ検出手段は対物レンズ
の回転角度に対応してＭＴＦを検出する。すなわち、光
ビームの照射時に、対物レンズはその光軸方向に回転し
つつ光ディスクと略等価の回折格子に光ビームを集光す
るとともに、光回折部は格子に対して略直交する方向に
移動しながら回折格子によって前記集光された光ビーム
を受光して反射し、反射された光からＭＴＦ検出手段は
対物レンズの回転角度に対応してＭＴＦを検出する。従
って、対物レンズのＭＴＦが最大となる回転角度、すな
わち、光ディスクに対する対物レンズのＭＴＦが最大と
なる方向を容易に検出できる。また、検査される対物レ
ンズ毎に前記検出されるＭＴＦの最大値を比較すること
によって、ＭＴＦの高い対物レンズの選別を容易にする
ことができる。さらに、対物レンズのＭＴＦが最大とな
る方向の検出を、例えば干渉計やＣＣＤカメラ等の測定
装置を必要とせずに安価に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した一実施の形態の対物レンズ検
査装置の主要部を示す概略図である。

【図２】図１の対物レンズ検査装置に備わる対物レンズ
と回折格子を示す拡大斜視図である。

【図３】図３（ａ）は、図１の対物レンズ検査装置によ
って検出されるＲＦ信号の正弦波パターンを示す図であ
り、図３（ｂ）は、対物レンズの回転角度に対応するＭ
ＴＦを示す図である。

【符号の説明】

１００ 対物レンズ検査装置 １ 半導体レーザ（ビーム照射手段） ２ コリメータレンズ（ビーム照射手段） ３ ビーム成形部（ビーム照射手段） ７１ 対物レンズ ７３ 対物レンズ駆動モータ（対物レンズ回転駆
動手段） ８１ 光回折部 ８１１ 回折格子 ８１１ｂ 格子 ８１２ カバーガラス（透明板） ８２２ 光回折部直交方向駆動部（光回折部駆動手
段） ９３ 光センサ（ＭＴＦ検出手段）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光ディスクに記録されている情報を光学的
   に読み出すために光ビームを集光する対物レンズを検査
   するための対物レンズ検査装置であって、 断面略円形状の光ビームを前記対物レンズに照射するた
   めの光ビーム照射手段と、 前記対物レンズを前記光ビームの光軸方向に回転自在な
   対物レンズ回転駆動手段と、 前記光ディスクのトラックのピッチと略等価となるピッ
   チの格子を有する回折格子と前記回折格子の対物レンズ
   側に設けられた透明板とを備え、前記回折格子にて前記
   光ビーム照射手段から照射され前記対物レンズを通過し
   た光ビームを前記透明板を介して受光して反射する光回
   折部と、 前記光回折部を前記格子に対して略直交する方向に移動
   させる光回折部駆動手段と、 前記光回折部で反射された光からＭＴＦを検出するＭＴ
   Ｆ検出手段とを備え、 前記光ビーム照射手段による光ビームの照射時に、前記
   対物レンズ回転駆動手段と前記光回折部駆動手段とが作
   動し、前記ＭＴＦ検出手段は前記対物レンズの回転角度
   に対応して前記ＭＴＦを検出することを特徴とする対物
   レンズ検査装置。
2. 【請求項２】光ディスクに記録されている情報を光学的
   に読み出すために光ビームを集光する対物レンズを検査
   するための対物レンズ検査装置であって、 断面略円形状の光ビームを前記対物レンズに照射するた
   めの光ビーム照射手段と、 前記対物レンズを前記光ビームの光軸方向に回転自在な
   対物レンズ回転駆動手段と、 前記光ディスクのトラックのピッチと略等価となるピッ
   チの格子を有する回折格子を備え、前記回折格子にて前
   記光ビーム照射手段から照射され前記対物レンズを通過
   した光ビームを受光して反射する光回折部と、 前記光回折部を前記格子に対して略直交する方向に移動
   させる光回折部駆動手段と、 前記光回折部で反射された光からＭＴＦを検出するＭＴ
   Ｆ検出手段とを備え、 前記光ビーム照射手段による光ビームの照射時に、前記
   対物レンズ回転駆動手段と前記光回折部駆動手段とが作
   動し、前記ＭＴＦ検出手段は前記対物レンズの回転角度
   に対応して前記ＭＴＦを検出することを特徴とする対物
   レンズ検査装置。
3. 【請求項３】請求項２記載の対物レンズ検査装置におい
   て、 前記光回折部には、前記対物レンズを通過した光ビーム
   を透過する透明板が前記回折格子の対物レンズ側に設け
   られていることを特徴とする対物レンズ検査装置。