JP2003270011A - 超音波送受波器および超音波流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 容易かつ適正方向に弾性体を保持し、かつ導
通不良を防止して信頼性の高い超音波送受波器と、その
１対の超音波送受波器を用いて精度良く計測を行うこと
のできる超音波流量計を提供する。 【解決手段】 対向する１対の電極面７ａ、７ｂを有す
る圧電体７と、各電極面７ａ、７ｂにそれぞれ電気的に
接続する２つの外部電極端子８ａ、８ｂを有する端子板
８と、圧電体７の一方の電極面７ａと一方の外部電極端
子８ａとの間に挟持される導電性を有する弾性体１０と
を備え、端子板８に弾性体１０を保持する保持穴９を形
成し、弾性体１０を保持穴９の内周面９ａに対して、側
周面１０ｃが異形状であり且つ部分的に接触するように
形成し、内周面９ａと側周面１０ｃとの間に空間部１５
を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波パルスの送
受信を行う超音波送受波器およびこの超音波送受波器を
用いて気体や液体の流量の計測を行う超音波流量計に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の超音波送受波器で一般的
に用いられているものは、圧電体の電極面と外部電極と
を電気的に接続するために、リード線を電極面に半田付
けしていた。ところが半田付けを用いた電気的接続方法
では、半田付けした場所への熱的影響や付着する半田量
によって、超音波送受波器の周波数特性や送受信感度の
ばらつきが生じ、この超音波送受波器を超音波流量計に
用いた場合には測定精度に影響を与えるという問題があ
った。

【０００３】そこで、前記電気的接続に半田付けを用い
ない方法として、特開平２００１−５０７８５号公報に
開示されるものがある。この超音波送受波器は図４に示
すように、導電性を有する弾性体２０を、圧電体７の電
極面７ａと端子板８の端子８ａとの間に挟んで加圧する
ことにより電気的接続を図っている。具体的には、シリ
コン系ゴムからなる導電ゴムや図示するように、導電層
２０ａと絶縁層２０ｂを層状に交互に配置して弾性を保
持するように構成した弾性体２０を、端子板８の凹部１
９に落とし込んでから圧電体７と端子８ａとの間で挟持
して加圧し、この状態で端子板８の外周部８ｃと圧電体
７を内包するケース１１のフランジ部１１ａを、電気溶
接により接合している。端子板８に設けられている端子
８ａ、８ｂ間は、ガラス（絶縁部）１4 で電気的に絶縁
されている。この結果、電極面７ａと端子８ａは電気的
に接続され、もう一方の電極面７ｂが外部電極を兼ねた
ケース１１、端子板８の外周部８ｃを介して端子８ｂに
電気的に接続され、ケース１１と端子板８とで形成され
た密封空間１３に、窒素ガスを充填している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の超音波送受波器の電気的接続方法では、弾性体２０が
圧電体７と端子板８とで挟持されているだけなので、端
子板８の凹部１９内を横方向に移動しやすい。そのため
移動した際に、層状に配置された導電層２０ａ下面が絶
縁部であるガラス１４に接触してその部分が導通不良に
なり効率的な導通が図れないという問題が生じる。

【０００５】そこで弾性体２０の横方向の移動を規制す
るために、端子板８に保持穴を設け、その保持穴で弾性
体２０を保持することが考えられるが、そうした場合に
は、図４に示す従来例のような弾性体２０周囲の空間部
が形成されず、保持穴内周面に密着されてしまうので、
その下方に隙間ができた場合には、その隙間の空気が窒
素ガスの充填の際にうまく排気されず、窒素ガスに置換
されない空気溜まりとして残ってしまうおそれがある。
特に、保持穴の内側にガラス材料で絶縁部を形成する場
合には、表面膨張を避けて端子８ａの頭部を絶縁部表面
より突出させる必要があり、その周辺に空気溜まりが確
実に残ってしまう（実際上は従来図のように端子８ａの
頭部とガラス１４の表面を面一にできない。）。

【０００６】この空気溜まりに残留した空気によって、
圧電体７の電極面７ａが酸化して導通不良の原因になる
し、ケース１１に圧電体７を接着しているエポキシ樹脂
と水分が反応してエポキシ樹脂が膨潤し、接着の信頼性
が低下したり、導通不良を招くこともある。

【０００７】また弾性体２０は、層状に配された導電層
２０ａが組立時の加圧によって座屈しないように、その
高さを横断面の最大寸法よりも小さく設定しており、凹
部１９への挿入方向が間違っていても挿入ができるた
め、組立時に挿入ミス（導電層２０ａが横方向になる）
が生じやすいという問題もある。

【０００８】そこで本発明は上記従来の問題を解決し、
容易かつ適正方向に弾性体を保持すると共に導通不良を
防止し、信頼性の高い超音波送受波器と、その１対の超
音波送受波器を用いて精度良く計測を行うことのできる
超音波流量計を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、圧電体の１対の電極面にそれぞれ電気的に
接続する２つの外部電極端子を有する端子板に、圧電体
の一方の電極面と一方の外部電極端子との間に挟持され
る導電性の弾性体を保持する保持穴を形成し、弾性体を
前記保持穴の内周面に対して、側周面が異形状であり且
つ部分的に接触するように形成し、前記内周面と前記側
周面との間に空間部が形成されるようにしたものであ
る。

【００１０】上記発明によれば、導電性を有する弾性体
を保持穴に部分的に接触させて横方向の移動を規制する
ことができ、弾性体の移動による導通不良を防止するこ
とができるため信頼性が向上すると共に、弾性体を端子
板に保持した状態でその後の組立が行えるので、組立作
業が容易になる。また、弾性体の側周面と保持穴の内周
面との間に形成される空間部により排気が行われるの
で、保持穴において弾性体の下方にできる隙間が空気溜
まりになることがなく、圧電体の電極面が酸化して導通
不良が起きることを防止することができ、ケースに圧電
体をエポキシ樹脂で接着している場合には、エポキシ樹
脂の膨潤による接着の信頼性の低下、それによって起き
る導通不良を防止することができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の第１の形態の超音波送受
波器は、対向する１対の電極面を有する圧電体と、前記
各電極面にそれぞれ電気的に接続する２つの外部電極端
子を有する端子板と、圧電体の一方の電極面と一方の外
部電極端子との間に挟持される導電性を有する弾性体と
を備えた超音波送受波器において、前記端子板は前記弾
性体を保持する保持穴を有し、弾性体は前記保持穴の内
周面に対して、側周面が異形状であり且つ部分的に接触
するように形成され、前記内周面と前記側周面との間に
空間部が形成されたものである。

【００１２】この超音波送受波器によれば、導電性を有
する弾性体が端子板の保持穴で側周面が部分的に接触し
て保持された状態で、圧電体の電極面と外部電極端子と
の間で挟持されているので、横方向の移動を規制するこ
とができ、弾性体の移動による導通不良を防止すること
ができるため信頼性が向上する。また、弾性体を圧電体
と端子板とで挟持するだけの従来方法に比べ、端子板に
保持した状態でその後の組立が行えるので、組立作業が
容易になる。さらに、前記保持後に弾性体の下方に隙間
ができても、弾性体の側周面と保持穴の内周面とは異形
であり空間部が形成されているので、その空間部によ
り、例えば圧電体を内包するケースと端子板とで形成さ
れるような密閉空間と連通し、前記隙間の排気が確実に
行えるのでその隙間が空気溜まりになることがない。従
って、空気溜まりに残留した空気によって、圧電体の電
極面が酸化して導通不良が起きることを防止することが
できる。また、ケースに圧電体をエポキシ樹脂で接着し
ている場合には、エポキシ樹脂の膨潤による接着の信頼
性の低下、それによって起きる導通不良を防止すること
ができる。尚、圧電体の電極面と外部電極端子との電気
的接続に半田を用いないので、周波数特性や送受信感度
に影響を受けないことは勿論である。

【００１３】本発明の第２の形態の超音波送受波器は、
第１の形態の超音波送受波器において、弾性体を、軸心
方向の中心位置に配される導電部と、その周囲に配され
る絶縁部とから柱状に形成するもので、弾性体を保持穴
に保持した際にその外周部分の絶縁部が、導電性の端子
板との間での絶縁を図ることができるので好適である。
また、前記導電部を軸状にすることで効率的な導通を図
ることができ、電池電力の低コスト化を図ることができ
る。

【００１４】本発明の第３の形態の超音波送受波器は、
第１、第２の形態の超音波送受波器において、弾性体
を、横断面形状が多角形に形成するもので、外周全体に
空間部を形成できるために、万一、横方向に偏るような
ことがあっても確実に空間部を確保することができると
共に、正多角形であれば、後述するような保持穴の内周
面に対する同心位置を確実に保つことができる。

【００１５】本発明の第４の形態の超音波送受波器は、
第１〜第３のいずれかの形態の超音波送受波器におい
て、端子板の保持穴を、横断面形状が円形に形成するも
ので、端子板の加工が容易になる。

【００１６】本発明の第５の形態の超音波送受波器は、
第１〜第４のいずれかの形態の超音波送受波器におい
て、弾性体を、保持穴の内周面に対して同心位置を保つ
ように側周面に複数の接触部が形成するもので、弾性体
に対して均一な加圧が行えると共に、特に第２の形態の
ものにおいては特に有効であり、軸状の導電部を保持穴
の中心位置に確実に安定して効率的な導通を図ることが
でき、好適である。

【００１７】本発明の第６の形態の超音波送受波器は、
第１〜第５のいずれかの形態の超音波送受波器におい
て、弾性体を、高さが保持穴の横断面の最大寸法よりも
大とするもので、弾性体を保持穴に挿入する際に、縦長
形状のものを容易に把持でき、その把持した状態の挿入
方向でしか挿入不可能であるので挿入方向を間違えるこ
とがなく、挿入ミスを防止することができる。

【００１８】本発明の第７の形態の超音波送受波器は、
第１〜第６のいずれかの形態の超音波送受波器におい
て、弾性体の高さを、その横断面の最大寸法に対する比
率を、導電部が導通不良となる座屈限界以内となるよう
に設定するもので、導通材料が強い加圧力によって導通
不良を起こすことを防ぐことができ、これは特に第２の
形態のものにおいて特に有効である。

【００１９】本発明の超音波流量計は、流路を流れる流
体の流量を測定する流量測定部と、この流量測定部に設
けられた第１〜第７の形態のいずれかの１対の超音波送
受波器と、この超音波送受波器間の超音波伝搬時間を計
測する計測回路と、この計測回路からの信号に基づいて
流量を求める流量演算回路とを備えたもので、上述した
ように導通不良を起こさず効率の良い電気的接続を図る
ことができ、かつ半田を用いずに特性を一致させやすい
超音波送受波器を用いることによって、計測精度が向上
できる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１〜図３を参照
して説明する。

【００２１】図１は本発明の超音波送受波器を用いた超
音波流量計の概略構成図である。図１において、１はＬ
Ｐガスや天然ガスなどの流体が流れる流路であり、２は
この流路１を流れる流体の流量を測定する流量測定部で
あり、３、４は流路１に対向して配され超音波を送受信
する超音波送受波器、５は超音波送受波器３、４間の超
音波伝搬時間を計測する計測回路、６は計測回路５から
の信号に基づいて流量を求める流量演算回路である。

【００２２】上記のように構成される流量測定部２での
超音波流量計の動作を説明する。超音波送受波器３と超
音波送受波器４の中心を結ぶ距離をＬとし、この直線と
流れの方向である流路１の長手方向となす角度をθとす
る。また流体の無風状態での音速をＣ、流路１内での流
体の流速をＶとする。流量測定部２の上流側に配置され
た超音波送受波器３から送信された超音波は流路１を斜
めに横断し、下流側に配置された超音波送受波器４で受
信する。このときの伝搬時間ｔ１は、

【００２３】

【数１】 で示される。次に超音波送受波器４から超音波を送信し
て超音波送受波器３で受信する。このときの伝搬時間ｔ
２は、

【００２４】

【数２】 で示される。そしてｔ１とｔ２の式から流体の音速Ｃを
消去すると、

【００２５】

【数３】 の式が得られる。Ｌとθが既知なら、計測回路５にてｔ
１とｔ２を測定すれば流速Ｖが求められる。この流速Ｖ
から流量Ｑは、流路１の断面積をＳ、補正係数をＫとす
れば、流量演算回路６で、Ｑ＝ＫＳＶを演算して流量を
求めることができる。

【００２６】以上のような動作原理で流量計測を行う超
音波流量計に用いる超音波送受波器について図２と図３
を用いて説明する。図２は超音波送受波器を示す縦断面
図で、図３は超音波送受波器内の要部（端子板の中央部
分）を示し、（ａ）は上方から見たときの平面図、
（ｂ）はその縦断面図である。

【００２７】図２において、超音波送受波器３（４）
は、対向する１対の電極面７ａ、７ｂを有する圧電体７
と、各電極面７ａ、７ｂにそれぞれ電気的に接続する外
部電極端子８ａ、８ｂを有する端子板８と、圧電体７の
電極面７ａと外部電極端子８ａとの間で、端子板８の中
央に形成された保持穴９で保持されて電気的接続を図る
導電性を有する弾性体１０とを備えている。圧電体７
は、フランジ部１１ａを有する有天筒状のステンレス製
のケース１１の天部内面にエポキシ系接着剤により接着
され、その反対側つまりケース１１の天部外面には音響
整合層１２がエポキシ系接着剤により接着されている。
尚、圧電体７に設けられた溝７ｃは、超音波を効率良く
送受信するために、厚み縦振動を主モードとさせるため
のものである。また、圧電体７はケース１１への前記接
着剤の厚みを薄くすることにより、接着固定と同時に電
極面７ｂとケース１１との電気的接続を図ることができ
る。

【００２８】導電性を有する弾性体１０は、シリコン系
ゴムからなる導電ゴム等、導電性を有する弾性体であれ
ば他の弾性材料で成形してもかまわないが、本実施例で
は、軸心方向の中心位置に配される導電部１０ａと、そ
の周囲に配される絶縁部１０ｂとからなる柱状に形成さ
れたものを用いている。この弾性体１０が端子板８の保
持穴９に保持され、且つ圧電体７と外部電極端子８ａと
の間に挟持して加圧され、この状態で端子板８の外周部
８ｃとケース１１のフランジ部１１ａを電気溶接により
接合する。すると、ケース１１と端子板８とで密閉空間
１３が形成され、この密閉空間１３を排気して窒素ガス
などの不活性ガスで置換する。

【００２９】なお、端子板８は金属製で、外周部８ｃ付
近には端子８ｂが、中央部には端子８ａが設けられてい
るが、端子８ａの周囲（保持穴９の内側）にはガラス
（絶縁部）１４が設けられることにより、両端子８ａ、
８ｂ間は電気的に絶縁されている。この結果、電極面７
ａと端子８ａは電気的に接続され、電極面７ｂは外部電
極を兼ねたケース１１、端子板８の外周部８ｃを介して
端子８ｂに電気的に接続される。なお、弾性体１０の全
体を導電ゴムで成形した場合には、保持穴９に保持され
た場合に端子板８と導通してしまうので、ガラス１４を
設ける位置を保持穴９周囲より外周側に設けて両端子８
ａ、８ｂ間の絶縁を図る必要がある。

【００３０】保持穴９は、図３（ａ）の平面図（圧電体
７との境界面を上方から見た状態で示している。）で示
すように、その横断面形状が円形に形成されており、弾
性体１０は、横断面形状が正六角形に形成されている。
つまり、弾性体１０は、その側周面１０ｃが保持穴９の
内周面９ａに対して異形状に形成され、且つ部分的に接
触するように形成されている。その結果、弾性体１０の
側周面１０ｃと保持穴９の内周面９ａとの間に、前記密
閉空間１３と連通する空間部１５が形成されることにな
る。もし仮に、弾性体１０の保持穴９への保持を重視し
て内周面９ａと側周面１０ｃとをほぼ同形状に形成する
と、保持穴９の内側で弾性体１０の下方に形成される隙
間Ｓが、前記窒素ガスで置換する際に、空気溜まりとな
ってしまい、その空気による影響で圧電体７の電極面７
ａが酸化し導通不良の原因となったり、ケース１１と圧
電体７を接着しているエポキシ系接着剤が膨潤して接着
の信頼性が低下したり、接着の厚みが増せばケース１１
を介した電気的接続に影響すると云った問題が発生して
しまう。

【００３１】また、弾性体１０の部分的接触は、保持穴
９に対して同心位置を保つように側周面１０ｃに複数の
接触部１０ｄを形成して実現される。つまり弾性体１０
が本実施例のように正多角形であれば、その縦方向の６
辺が保持穴９の内周面９ａに部分的に接触する接触部１
０ｄとなり、その横断面の半径と保持穴９の横断面の半
径は同じくｒとなり、導電部１０ａの保持穴９の中心に
確実に位置決めすることができるので好適である。尚、
このような位置関係は、上述したように側周面１０ｃと
内周面９ａとが互いに異形関係にあり、部分的に接触し
て前記空間部１５を形成できるものであれば、本実施例
で示した形状のほか、保持穴９の横断面形状が四角形で
弾性体１０の横断面形状が円形の場合など、その他、種
々の形状のものを適用することも可能である。

【００３２】また弾性体１０は、図３（ｂ）に拡大して
示すように、高さＨが保持穴９の横断面の最大寸法Ｒよ
りも大きく形成されているので、弾性体１０を保持穴９
に挿入する際に、縦長形状のものを容易に把持でき、そ
の把持した状態の挿入方向でしか挿入不可能であるので
挿入方向を間違えることがなく、挿入ミスを防止するこ
とができる。尚、弾性体１０の高さＨは、その横断面の
最大寸法Ｒ（＝保持穴９の最大寸法Ｒ）に対する比率
を、導電部１０ａが導通不良となる座屈限界以内となる
ように設定されている。なぜならば、導電材料として、
例えばニッケル粒子に金メッキを施して導電性を有する
ようにした導電性金属粒子を用いていれば、限界以上に
加圧されると導通不良を起こすからであり、このような
高さ比率にすることにより、導電部１０ａの導電材料が
座屈を起こさない状態で加圧することができる。

【００３３】さらに弾性体１０は、上下両面が段付き形
状となっている。つまり上面では加圧を効率良くでき、
下面では加圧により絶縁部１０ｂの弾性材料が端子８ａ
の頭部を圧迫して、端子８ａと弾性体１０の導電部１０
ａとの電気的接触が弱くなるのを防ぐことができる。加
えて、この段付き形状は上下対称であるので、保持穴９
への挿入時に上下方向が規制されないので、組立が容易
になると共にその加工も容易になり好適である。また本
実施例では、導電部１０ａが軸状に形成されて、それに
併せて端子板８の頭部を接触させてポイント的に効率良
く導通を行うことができ、導通コストの低減を図ること
ができる。

【００３４】以上のように構成した超音波送受波器３
（４）では、リード線の半田付け方法を用いないので、
周波数特性や送受信感度のバラツキのない特性が一致し
た１対の超音波送受波器を得ることが可能となると共
に、端子板８による保持により、導電性を有する弾性体
１０の横方向の移動による導電不良を防ぎ、ケース１１
内に空気溜まりを作らず、空気による酸化腐食によって
生じる導電不良も防ぐことができる。こうした信頼性の
高い超音波送受波器を超音波流量計に用いることによ
り、計測精度を向上させることができる。

【００３５】本発明は上記実施形態に示すほか種々の態
様に構成することができ、例えば、ケースへの圧電体の
内包形状や端子板の保持穴と弾性体との形状は、図示す
る形状のものに限定されない。

【００３６】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば次の効果が得られる。

【００３７】本発明の第１の超音波送受波器によれば、
端子板を保持穴に保持してその横方向の移動を規制する
ことができ、弾性体の移動による導通不良を防止して信
頼性が高く組立が容易な構造になると共に、空気溜まり
が生じるのを防ぎ、圧電体の電極面の酸化による導通不
良や、エポキシ樹脂の接着面の接着の信頼性の低下など
を防止することができる。

【００３８】本発明の第２の超音波送受波器によれば、
弾性体を保持穴に保持した際に端子板との絶縁を図るこ
とができ、導電部を軸状にすることで効率的な導通を図
ることができ電池電力の低コスト化を図ることができ
る。

【００３９】本発明の第３の超音波送受波器によれば、
万一、横方向に偏るようなことがあっても確実に空間部
を確保することができる。

【００４０】本発明の第４の超音波送受波器によれば、
端子板の加工が容易になる。

【００４１】本発明の第５の超音波送受波器によれば、
弾性体に対して均一な加圧が行えると共に、特に第２の
超音波送受波器において特に有効となり、軸状の導電部
を保持穴の中心位置に確実に安定して効率的な導通を図
ることができる。

【００４２】本発明の第６の超音波送受波器によれば、
弾性体を保持穴に挿入する際に、容易に把持できると共
に挿入方向を間違えることがなく、挿入ミスを防止する
ことができる。

【００４３】本発明の第７の超音波送受波器によれば、
導通材料が強い加圧力によって導通不良を起こすことを
防ぐことができ、特に第２の超音波送受波器で特に有効
である。

【００４４】本発明の超音波流量計によれば、上述した
ように、導通不良を起こさず効率の良い電気的接続を図
ることができ、かつ半田を用いずに特性を一致させやす
い第１〜第７の超音波送受波器を用いて流量計測を行う
ことにより、計測精度が向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例における超音波流量計を示す概
略構成図。

【図２】同実施例における超音波送受波器を示す縦断面
図。

【図３】同実施例における超音波送受波器の要部を示
し、（ａ）は導電性を有する弾性体が端子板の保持穴に
保持されている状態を示す平面図、（ｂ）はその縦断面
図。

【図４】従来の超音波送受波器を示す断面図。

【符号の説明】

１ 流路 ２ 流量測定部 ３、４ 超音波送受波器 ５ 計測回路 ６ 流量演算回路 ７ 圧電体 ７ａ、７ｂ 電極面 ８ 端子板 ８ａ、８ｂ 外部電極端子 ９ 保持穴 ９ａ 内周面 １０ 導電性を有する弾性体 １０ａ 導電部 １０ｂ 絶縁部 １０ｃ 側周面 １５ 空間部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 真人 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 森 和久 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2F035 DA05 DA14 5D019 AA12 AA26 BB25 BB28 EE02 FF00

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向する１対の電極面を有する圧電体
   と、前記各電極面にそれぞれ電気的に接続する２つの外
   部電極端子を有する端子板と、圧電体の一方の電極面と
   一方の外部電極端子との間に挟持される導電性を有する
   弾性体とを備えた超音波送受波器において、前記端子板
   は前記弾性体を保持する保持穴を有し、弾性体は前記保
   持穴の内周面に対して、側周面が異形状であり且つ部分
   的に接触するように形成され、前記内周面と前記側周面
   との間に空間部が形成されていることを特徴とする超音
   波送受波器。
2. 【請求項２】 弾性体は、軸心方向の中心位置に配され
   る導電部と、その周囲に配される絶縁部とから柱状に形
   成されている請求項１記載の超音波送受波器。
3. 【請求項３】 弾性体は、横断面形状が多角形に形成さ
   れている請求項１または２に記載の超音波送受波器。
4. 【請求項４】 端子板の保持穴は、横断面形状が円形に
   形成されている請求項１から３のいずれか１項に記載の
   超音波送受波器。
5. 【請求項５】 弾性体は、保持穴の内周面に対して同心
   位置を保つように側周面に複数の接触部が形成されてい
   る請求項１から４のいずれか１項に記載の超音波送受波
   器。
6. 【請求項６】 弾性体は、高さが保持穴の横断面の最大
   寸法よりも大である請求項１から５のいずれか１項に記
   載の超音波送受波器。
7. 【請求項７】 弾性体の高さは、その横断面の最大寸法
   に対する比率を、導電部が導通不良となる座屈限界以内
   となるように設定している請求項１から６のいずれか１
   項に記載の超音波送受波器。
8. 【請求項８】 流路を流れる流体の流量を測定する流量
   測定部と、この流量測定部に設けられた請求項１から７
   のいずれか１項に記載の１対の超音波送受波器と、この
   超音波送受波器間の超音波伝搬時間を計測する計測回路
   と、この計測回路からの信号に基づいて流量を求める流
   量演算回路とを備えた超音波流量計。