JP2003262803A5 - - Google Patents
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Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002062457A JP2003262803A (ja) | 2002-03-07 | 2002-03-07 | 可動構造体およびこれを用いた偏向ミラー素子と光スイッチ素子と形状可変ミラー |
US10/247,465 US6882455B2 (en) | 2001-09-19 | 2002-09-19 | Movable structure, and deflection mirror element, optical switch element and shape variable mirror including the movable structure |
US11/070,141 US7054048B2 (en) | 2001-09-19 | 2005-03-02 | Shape variable mirror |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002062457A JP2003262803A (ja) | 2002-03-07 | 2002-03-07 | 可動構造体およびこれを用いた偏向ミラー素子と光スイッチ素子と形状可変ミラー |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2003262803A JP2003262803A (ja) | 2003-09-19 |
JP2003262803A5 true JP2003262803A5 (zh) | 2005-08-25 |
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ID=29196220
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2002062457A Pending JP2003262803A (ja) | 2001-09-19 | 2002-03-07 | 可動構造体およびこれを用いた偏向ミラー素子と光スイッチ素子と形状可変ミラー |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003262803A (zh) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005345748A (ja) * | 2004-06-03 | 2005-12-15 | Brother Ind Ltd | ミラー駆動装置およびそれを備えた網膜走査型ディスプレイ |
KR100694599B1 (ko) | 2006-03-29 | 2007-03-14 | 삼성전자주식회사 | 메카닉 필터를 구비한 엑츄에이터 |
KR100973706B1 (ko) * | 2008-01-14 | 2010-08-04 | 주식회사 바른전자 | 미세구조물의 잔류 응력 시험 패턴 |
JP5293147B2 (ja) | 2008-03-19 | 2013-09-18 | 富士通株式会社 | 電子部品 |
DE112012006138B4 (de) | 2012-03-29 | 2016-12-01 | Mitsubishi Electric Corporation | Krümmungsvariabler Spiegel, krümmungsvariable Einheit und Herstellungsverfahren des krümmungsvariablen Spiegels |
KR101941167B1 (ko) | 2012-11-13 | 2019-01-22 | 삼성전자주식회사 | 광 스위칭 소자, 이를 포함한 영상 표시 장치 및 그 제조 방법 |
JP6148055B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2017-06-14 | 日本信号株式会社 | プレーナ型アクチュエータ |
JP6781983B2 (ja) * | 2016-08-05 | 2020-11-11 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 電子デバイス及びその製造方法 |
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2002
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