JP2003262550A - マイクロ波高温炉用保護管型熱電対およびマイクロ波高温炉における熱電対取付構造 - Google Patents
マイクロ波高温炉用保護管型熱電対およびマイクロ波高温炉における熱電対取付構造Info
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- JP2003262550A JP2003262550A JP2002064842A JP2002064842A JP2003262550A JP 2003262550 A JP2003262550 A JP 2003262550A JP 2002064842 A JP2002064842 A JP 2002064842A JP 2002064842 A JP2002064842 A JP 2002064842A JP 2003262550 A JP2003262550 A JP 2003262550A
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- microwave
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- thermocouple
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- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 マイクロ波がマイクロ波高温炉外に漏出する
ことなく、より正確かつ極めて低廉に焼成体など測定対
象の温度を計測可能なマイクロ波高温炉用保護管型熱電
対およびマイクロ波高温炉における熱電対取付構造を提
供する。 【解決手段】 本発明のマイクロ波高温炉用保護管型熱
電対１は、熱電対を有したセンサー部２と、センサー部
２を密閉状態にて被覆すると共に、少なくとも１０００
℃に耐え得る耐熱性を備え、かつマイクロ波の透過を許
容しないマイクロ波不透過材料にて形成された保護管３
とを有し、保護管３の基端側部位には導電部５が形成さ
れており、導電部５にはマイクロ波高温炉のハウジング
に装着するための装着用部材６が取り付けられている。
ことなく、より正確かつ極めて低廉に焼成体など測定対
象の温度を計測可能なマイクロ波高温炉用保護管型熱電
対およびマイクロ波高温炉における熱電対取付構造を提
供する。 【解決手段】 本発明のマイクロ波高温炉用保護管型熱
電対１は、熱電対を有したセンサー部２と、センサー部
２を密閉状態にて被覆すると共に、少なくとも１０００
℃に耐え得る耐熱性を備え、かつマイクロ波の透過を許
容しないマイクロ波不透過材料にて形成された保護管３
とを有し、保護管３の基端側部位には導電部５が形成さ
れており、導電部５にはマイクロ波高温炉のハウジング
に装着するための装着用部材６が取り付けられている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロ波高温炉
に使用して好適な保護管型熱電対およびマイクロ波高温
炉における熱電対取付構造に関する。
に使用して好適な保護管型熱電対およびマイクロ波高温
炉における熱電対取付構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、マイクロ波高温炉にて焼成する焼
成体の表面温度、あるいは焼成室内の温度を計測するた
めの計測手段としては、主として放射温度計が使用され
ている。この放射温度計は、焼成炉の外部からの計測が
可能であり、マイクロ波を炉外に漏らすことなく温度を
測定できる点で、マイクロ波高温炉における温度計測に
好適である。
成体の表面温度、あるいは焼成室内の温度を計測するた
めの計測手段としては、主として放射温度計が使用され
ている。この放射温度計は、焼成炉の外部からの計測が
可能であり、マイクロ波を炉外に漏らすことなく温度を
測定できる点で、マイクロ波高温炉における温度計測に
好適である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、放射温度計は
測定物体の放射エネルギーを検知して温度を測定するも
のであり、検知した信号の解読に多種の装置を必要とす
るため極めて高価であり、また、測定ポイントの設定や
放射率による補正を適切に行わないと誤差が大きくなる
など正確な温度測定が困難である。
測定物体の放射エネルギーを検知して温度を測定するも
のであり、検知した信号の解読に多種の装置を必要とす
るため極めて高価であり、また、測定ポイントの設定や
放射率による補正を適切に行わないと誤差が大きくなる
など正確な温度測定が困難である。
【０００４】他方、一般的な焼成炉における温度計測に
は熱電対が使用されており、この熱電対は２０００℃を
越える高温測定にも対応できるものもあり、かつ低廉で
ある。しかし、この熱電対は炉内の測定対象付近に熱接
点を配置しなければならず、マイクロ波高温炉において
はマイクロ波漏出の原因となる。
は熱電対が使用されており、この熱電対は２０００℃を
越える高温測定にも対応できるものもあり、かつ低廉で
ある。しかし、この熱電対は炉内の測定対象付近に熱接
点を配置しなければならず、マイクロ波高温炉において
はマイクロ波漏出の原因となる。
【０００５】そこで、本発明の課題は、マイクロ波がマ
イクロ波高温炉外に漏出することなく、より正確かつ極
めて低廉に焼成体の温度を計測可能なマイクロ波高温炉
用保護管型熱電対およびマイクロ波高温炉における熱電
対取付構造を提供することにある。
イクロ波高温炉外に漏出することなく、より正確かつ極
めて低廉に焼成体の温度を計測可能なマイクロ波高温炉
用保護管型熱電対およびマイクロ波高温炉における熱電
対取付構造を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するもの
は、熱電対を有したセンサー部と、該センサー部を密閉
状態にて被覆すると共に、少なくとも１０００℃に耐え
得る耐熱性を備え、かつマイクロ波の透過を許容しない
マイクロ波不透過材料にて形成された保護管とを有し、
該保護管の基端側部位には導電部が形成されており、該
導電部にはマイクロ波高温炉のハウジングに装着するた
めの装着用部材が取り付けられていることを特徴とする
マイクロ波高温炉用保護管型熱電対である。
は、熱電対を有したセンサー部と、該センサー部を密閉
状態にて被覆すると共に、少なくとも１０００℃に耐え
得る耐熱性を備え、かつマイクロ波の透過を許容しない
マイクロ波不透過材料にて形成された保護管とを有し、
該保護管の基端側部位には導電部が形成されており、該
導電部にはマイクロ波高温炉のハウジングに装着するた
めの装着用部材が取り付けられていることを特徴とする
マイクロ波高温炉用保護管型熱電対である。
【０００７】また、上記課題を解決するものは、熱電対
を有したセンサー部と、該センサー部を密閉状態にて被
覆すると共に、少なくとも１０００℃に耐え得る耐熱性
を備え、かつマイクロ波の透過を許容しないマイクロ波
不透過材料にて形成された保護管とを有し、該保護管の
基端側部位には導電部が形成されており、該導電部には
マイクロ波高温炉に装着するための装着用部材が取り付
けられている保護管型熱電対がマイクロ波高温炉に取り
付けられた構造であって、前記保護管の先端が測定対象
付近に位置するように配置されると共に、前記装着用部
材にて前記マイクロ波高温炉のハウジングに取り付けら
れていることを特徴とするマイクロ波高温炉における熱
電対取付構造である。
を有したセンサー部と、該センサー部を密閉状態にて被
覆すると共に、少なくとも１０００℃に耐え得る耐熱性
を備え、かつマイクロ波の透過を許容しないマイクロ波
不透過材料にて形成された保護管とを有し、該保護管の
基端側部位には導電部が形成されており、該導電部には
マイクロ波高温炉に装着するための装着用部材が取り付
けられている保護管型熱電対がマイクロ波高温炉に取り
付けられた構造であって、前記保護管の先端が測定対象
付近に位置するように配置されると共に、前記装着用部
材にて前記マイクロ波高温炉のハウジングに取り付けら
れていることを特徴とするマイクロ波高温炉における熱
電対取付構造である。
【０００８】本発明のマイクロ波高温炉用保護管型熱電
対は、保護管が少なくとも１０００℃に耐え得る耐熱性
を備え、かつマイクロ波の透過を許容しないマイクロ波
不透過材料にて形成されているため、保護管内にマイク
ロ波が侵入して炉外に漏出することがない。また、保護
管の基端側部位には導電部が形成されており、この導電
部にマイクロ波高温炉のハウジングに装着するための装
着用部材が取り付けられているため、保護管の表面を伝
わるマイクロ波はアースされて炉外に漏出することがな
い。このように、本発明のマイクロ波高温炉用保護管型
熱電対は、保護管型熱電対を介してマイクロ波が炉外に
漏出することがないように設計されているため、マイク
ロ波高温炉に好適であり、正確かつ極めて低廉に測定対
象（例えば焼成室内）の温度が計測できる。
対は、保護管が少なくとも１０００℃に耐え得る耐熱性
を備え、かつマイクロ波の透過を許容しないマイクロ波
不透過材料にて形成されているため、保護管内にマイク
ロ波が侵入して炉外に漏出することがない。また、保護
管の基端側部位には導電部が形成されており、この導電
部にマイクロ波高温炉のハウジングに装着するための装
着用部材が取り付けられているため、保護管の表面を伝
わるマイクロ波はアースされて炉外に漏出することがな
い。このように、本発明のマイクロ波高温炉用保護管型
熱電対は、保護管型熱電対を介してマイクロ波が炉外に
漏出することがないように設計されているため、マイク
ロ波高温炉に好適であり、正確かつ極めて低廉に測定対
象（例えば焼成室内）の温度が計測できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明のマイクロ波高温炉用保護
管型熱電対を図１に示した一実施例を用いて説明する。
なお、図１は本発明のマイクロ波高温炉用保護管型熱電
対の一実施例の側面図である。
管型熱電対を図１に示した一実施例を用いて説明する。
なお、図１は本発明のマイクロ波高温炉用保護管型熱電
対の一実施例の側面図である。
【００１０】本発明のマイクロ波高温炉用保護管型熱電
対１は、図１に示すように、熱電対を有したセンサー部
２と、センサー部２を密閉状態にて被覆すると共に、少
なくとも１０００℃に耐え得る耐熱性を備え、かつマイ
クロ波の透過を許容しないマイクロ波不透過材料にて形
成された保護管３と、保護管３の基端に設けられた端子
箱４とを有し、保護管３の基端側部位には導電部５が形
成されており、さらに、この導電部５にはマイクロ波高
温炉のハウジングに装着するための装着用部材６が取り
付けられている。以下、各構成について順次詳述する。
対１は、図１に示すように、熱電対を有したセンサー部
２と、センサー部２を密閉状態にて被覆すると共に、少
なくとも１０００℃に耐え得る耐熱性を備え、かつマイ
クロ波の透過を許容しないマイクロ波不透過材料にて形
成された保護管３と、保護管３の基端に設けられた端子
箱４とを有し、保護管３の基端側部位には導電部５が形
成されており、さらに、この導電部５にはマイクロ波高
温炉のハウジングに装着するための装着用部材６が取り
付けられている。以下、各構成について順次詳述する。
【００１１】センサー部２は、測定対象の温度を測定す
るためのものであり、後述する保護管３内に熱電対（図
示しない）が配設されて構成されている。熱電対として
は、少なくとも１０００℃以上に耐え得る耐熱性を備え
たもの、例えば白金・ロジウム、イリジウム・ロジウム
などが好適に使用できる。
るためのものであり、後述する保護管３内に熱電対（図
示しない）が配設されて構成されている。熱電対として
は、少なくとも１０００℃以上に耐え得る耐熱性を備え
たもの、例えば白金・ロジウム、イリジウム・ロジウム
などが好適に使用できる。
【００１２】保護管（シース）３は、管内へのマイクロ
波の侵入を阻止し、保護管型熱電対を介して外部にマイ
クロ波が漏出することを防止するためのものであり、セ
ンサー部２を密閉状態に被覆するように構成されてい
る。
波の侵入を阻止し、保護管型熱電対を介して外部にマイ
クロ波が漏出することを防止するためのものであり、セ
ンサー部２を密閉状態に被覆するように構成されてい
る。
【００１３】具体的には、保護管３は、先端（図１中保
護管３の左端）が封止された管状体に一体成形されてお
り、この管状体の基端には後述する端子箱４が取り付け
られている。また、この管状体内に熱電対および熱電対
に接続された導線（図示しない）が配設されると共に、
この導線が端子４ａ，４ｂに電気的に接続されている。
護管３の左端）が封止された管状体に一体成形されてお
り、この管状体の基端には後述する端子箱４が取り付け
られている。また、この管状体内に熱電対および熱電対
に接続された導線（図示しない）が配設されると共に、
この導線が端子４ａ，４ｂに電気的に接続されている。
【００１４】そして、本発明のマイクロ波高温炉用保護
管型熱電対１の保護管３は、少なくとも１０００℃（よ
り好ましくは１４００℃〜１５００℃）に耐え得る耐熱
性を備え、かつマイクロ波の透過を許容しないマイクロ
波不透過材料にて形成されている。これにより、マイク
ロ波高温炉に使用可能となると共に、マイクロ波高温炉
用保護管型熱電対１の保護管３内にマイクロ波が侵入
し、保護管３の内部を介して炉外にマイクロ波が漏出す
ることを防止できる。
管型熱電対１の保護管３は、少なくとも１０００℃（よ
り好ましくは１４００℃〜１５００℃）に耐え得る耐熱
性を備え、かつマイクロ波の透過を許容しないマイクロ
波不透過材料にて形成されている。これにより、マイク
ロ波高温炉に使用可能となると共に、マイクロ波高温炉
用保護管型熱電対１の保護管３内にマイクロ波が侵入
し、保護管３の内部を介して炉外にマイクロ波が漏出す
ることを防止できる。
【００１５】保護管３は、少なくとも１０００℃に耐え
得る耐熱性を備え、かつマイクロ波の透過を許容しない
ものであれば、どのような材料にて形成されていてもよ
いが、この実施例の保護管３は、二珪化モリブデンおよ
びガラス質の酸化物からなる緻密なサーメット材にて形
成されている。
得る耐熱性を備え、かつマイクロ波の透過を許容しない
ものであれば、どのような材料にて形成されていてもよ
いが、この実施例の保護管３は、二珪化モリブデンおよ
びガラス質の酸化物からなる緻密なサーメット材にて形
成されている。
【００１６】なお、本願でいう「マイクロ波の透過を許
容しない材料」とは、マイクロ波を遮断する材料の他、
金属のようにマイクロ波を反射する材料も含まれる。ま
た、この実施例の保護管３は、二珪化モリブデンを含有
したガラス質酸化物にて一体成形されているが、これに
限定されるものではなく、例えば炭化珪素や窒化珪素な
どでもよい。
容しない材料」とは、マイクロ波を遮断する材料の他、
金属のようにマイクロ波を反射する材料も含まれる。ま
た、この実施例の保護管３は、二珪化モリブデンを含有
したガラス質酸化物にて一体成形されているが、これに
限定されるものではなく、例えば炭化珪素や窒化珪素な
どでもよい。
【００１７】導電部５は、保護管３の表面が酸化して絶
縁化し、その部位を介してマイクロ波が漏出したり、マ
イクロ波高温炉のハウジングとの間でアークが発生する
ことを防止するための部位であり、保護管３の基端側部
位に設けられている。
縁化し、その部位を介してマイクロ波が漏出したり、マ
イクロ波高温炉のハウジングとの間でアークが発生する
ことを防止するための部位であり、保護管３の基端側部
位に設けられている。
【００１８】より具体的には、この実施例の保護管３
は、高温で石英硝子の耐酸化皮膜を形成するため酸化し
ないが、基端側部位（低温域）では酸化して絶縁化す
る。この絶縁化した部位に後述する装着用部材６が取り
付けられると、絶縁化した部位にマイクロ波が伝わって
外部に漏出することがあり、また、絶縁化した部位とハ
ウジングとの間でアークが発生する。このため、導電部
５の形成によって保護管３の表面の酸化を防止すると共
に、導電部５を介してマイクロ波高温炉１のハウジング
１１と保護管３とを接触させアースしたものである。
は、高温で石英硝子の耐酸化皮膜を形成するため酸化し
ないが、基端側部位（低温域）では酸化して絶縁化す
る。この絶縁化した部位に後述する装着用部材６が取り
付けられると、絶縁化した部位にマイクロ波が伝わって
外部に漏出することがあり、また、絶縁化した部位とハ
ウジングとの間でアークが発生する。このため、導電部
５の形成によって保護管３の表面の酸化を防止すると共
に、導電部５を介してマイクロ波高温炉１のハウジング
１１と保護管３とを接触させアースしたものである。
【００１９】この導電部は、保護管の基端側部位の表面
が導電性を備えるように形成されていればどのような構
造によって構成してもよいが、この実施例の導電部５
は、保護管３の基端側部位の表面に導電性材料を付着さ
せ被覆することにより形成されている。
が導電性を備えるように形成されていればどのような構
造によって構成してもよいが、この実施例の導電部５
は、保護管３の基端側部位の表面に導電性材料を付着さ
せ被覆することにより形成されている。
【００２０】導電部５を形成する導電性材料としてはど
のようなものでもよいが、例えばアルミナ、銅、アルミ
ニウム、金、銀、白金などが好適に使用できる。
のようなものでもよいが、例えばアルミナ、銅、アルミ
ニウム、金、銀、白金などが好適に使用できる。
【００２１】また、この導電部５には、マイクロ波高温
炉１０のハウジング１１へマイクロ波高温炉用保護管型
熱電対１を装着するための装着用部材６が取り付けられ
ている。この実施例の装着用部材６は、図３に示すよう
に、導電部５に被嵌固定された管状部材からなり、表面
に後述する保護管型熱電対取付部材１８の螺合部１８ａ
に係合させるための螺合部６ａを有している。
炉１０のハウジング１１へマイクロ波高温炉用保護管型
熱電対１を装着するための装着用部材６が取り付けられ
ている。この実施例の装着用部材６は、図３に示すよう
に、導電部５に被嵌固定された管状部材からなり、表面
に後述する保護管型熱電対取付部材１８の螺合部１８ａ
に係合させるための螺合部６ａを有している。
【００２２】より具体的には、この実施例の装着用部材
６は、図４に示すように、導電部５に被嵌された導電性
リング８の一方側（保護管３の先端側）から導電性リン
グ８に内面が当接するように被嵌されており、導電性リ
ング８の他方側（保護管３の基端側）から被嵌された固
定用部材７の螺合部７ａと装着用部材６の内面に設けら
れた第２螺合部６ｂとが係合して導電部５に取り付けら
れる構造となっている。そして、このような導電性リン
グ８を装着用部材６と固定用部材７とで両側から挟圧す
るようにして、装着用部材６を導電部５に取り付けるこ
とにより、より確実的にアークの発生を防止できると共
に、マイクロ波の漏出もより確実に防止できる。
６は、図４に示すように、導電部５に被嵌された導電性
リング８の一方側（保護管３の先端側）から導電性リン
グ８に内面が当接するように被嵌されており、導電性リ
ング８の他方側（保護管３の基端側）から被嵌された固
定用部材７の螺合部７ａと装着用部材６の内面に設けら
れた第２螺合部６ｂとが係合して導電部５に取り付けら
れる構造となっている。そして、このような導電性リン
グ８を装着用部材６と固定用部材７とで両側から挟圧す
るようにして、装着用部材６を導電部５に取り付けるこ
とにより、より確実的にアークの発生を防止できると共
に、マイクロ波の漏出もより確実に防止できる。
【００２３】なお、この実施例の導電性リング８は銅に
て形成されているがこれに限定されるものはなく、導電
体であればどのようものにて形成されていてもよい。ま
た、この導電性リングは保護管に沿って摺動可能に取り
付けられており、これにより、測定部位に応じて保護管
の挿入程度を調整することができる。
て形成されているがこれに限定されるものはなく、導電
体であればどのようものにて形成されていてもよい。ま
た、この導電性リングは保護管に沿って摺動可能に取り
付けられており、これにより、測定部位に応じて保護管
の挿入程度を調整することができる。
【００２４】端子箱４は、熱電対に導通する端子４ａ，
４ｂを構成するためのものであり、保護管３の基端に取
り付けられている。そして、これら端子４ａ，４ｂに導
線２１を介して指示計器を備えた計測器部（図示しな
い）に接続可能に構成されている。
４ｂを構成するためのものであり、保護管３の基端に取
り付けられている。そして、これら端子４ａ，４ｂに導
線２１を介して指示計器を備えた計測器部（図示しな
い）に接続可能に構成されている。
【００２５】つぎに、本発明のマイクロ波高温炉におけ
る熱電対取付構造について、図２ないし図４に示した一
実施例を用いて説明する。図２は本発明の熱電対取付構
造を用いたマイクロ波高温炉の概略図であり、図３は本
発明のマイクロ波高温炉における熱電対取付構造を説明
するための図であり、図４は図３の拡大図である。
る熱電対取付構造について、図２ないし図４に示した一
実施例を用いて説明する。図２は本発明の熱電対取付構
造を用いたマイクロ波高温炉の概略図であり、図３は本
発明のマイクロ波高温炉における熱電対取付構造を説明
するための図であり、図４は図３の拡大図である。
【００２６】この実施例のマイクロ波高温炉における熱
電対取付構造は、図２に示すように、前述したマイクロ
波高温炉用保護管型熱電対１をマイクロ波高温炉１０に
取り付けた構造であり、具体的には、熱電対を有したセ
ンサー部２と、センサー部２を密閉状態にて被覆すると
共に、少なくとも１０００℃に耐え得る耐熱性を備え、
かつマイクロ波の透過を許容しないマイクロ波不透過材
料にて形成された保護管３とを有し、保護管３の基端側
部位には導電部５が形成されており、導電部５にはマイ
クロ波高温炉に装着するための装着用部材６が取り付け
られている保護管型熱電対がマイクロ波高温炉１０に取
り付けられた構造である。
電対取付構造は、図２に示すように、前述したマイクロ
波高温炉用保護管型熱電対１をマイクロ波高温炉１０に
取り付けた構造であり、具体的には、熱電対を有したセ
ンサー部２と、センサー部２を密閉状態にて被覆すると
共に、少なくとも１０００℃に耐え得る耐熱性を備え、
かつマイクロ波の透過を許容しないマイクロ波不透過材
料にて形成された保護管３とを有し、保護管３の基端側
部位には導電部５が形成されており、導電部５にはマイ
クロ波高温炉に装着するための装着用部材６が取り付け
られている保護管型熱電対がマイクロ波高温炉１０に取
り付けられた構造である。
【００２７】そして、マイクロ波高温炉用保護管型熱電
対１は、保護管３の先端が測定対象２０付近に位置する
ように配置されると共に、装着用部材６にてマイクロ波
高温炉１０のハウジング１１に取り付けられている。以
下、マイクロ波高温炉における熱電対取付構造について
図３を用いて詳述するが、マイクロ波高温炉用保護管型
熱電対１については前述した通りであり説明を省略す
る。
対１は、保護管３の先端が測定対象２０付近に位置する
ように配置されると共に、装着用部材６にてマイクロ波
高温炉１０のハウジング１１に取り付けられている。以
下、マイクロ波高温炉における熱電対取付構造について
図３を用いて詳述するが、マイクロ波高温炉用保護管型
熱電対１については前述した通りであり説明を省略す
る。
【００２８】そこで、マイクロ波高温炉１０の全体構造
について概略説明する。マイクロ波高温炉１０は、ハウ
ジング１１と、ハウジング１１内に設けられた焼成室１
３と、マイクロ波発生手段１４と、ハウジング１１とマ
イクロ波発生手段１４とを連通する導波管１５とを有し
ている。
について概略説明する。マイクロ波高温炉１０は、ハウ
ジング１１と、ハウジング１１内に設けられた焼成室１
３と、マイクロ波発生手段１４と、ハウジング１１とマ
イクロ波発生手段１４とを連通する導波管１５とを有し
ている。
【００２９】ハウジング１１は、少なくとも内面がマイ
クロ波を反射可能な材料、例えばステンレス材にて形成
されている。
クロ波を反射可能な材料、例えばステンレス材にて形成
されている。
【００３０】ハウジング１１内には、マイクロ波が透過
可能な材料、例えば発泡アルミナなどの断熱隔壁１２に
より区画された焼成室１３が設けられており、この焼成
室１３内に、焼結させるセラミックス成形体（測定対
象）２０などが配置される。
可能な材料、例えば発泡アルミナなどの断熱隔壁１２に
より区画された焼成室１３が設けられており、この焼成
室１３内に、焼結させるセラミックス成形体（測定対
象）２０などが配置される。
【００３１】マイクロ波発生手段１４は、マイクロ波を
出力するためのものであり、マイクロ波発振器からな
る。マイクロ波発振器から出力されるマイクロ波の周波
数は、好ましくは０．９〜１００ＧＨｚであり、より好
ましくは、安価なマイクロ波発振器を使用できる２．４
５ＧＨｚである。
出力するためのものであり、マイクロ波発振器からな
る。マイクロ波発振器から出力されるマイクロ波の周波
数は、好ましくは０．９〜１００ＧＨｚであり、より好
ましくは、安価なマイクロ波発振器を使用できる２．４
５ＧＨｚである。
【００３２】マイクロ波発生手段１４から出力されるマ
イクロ波は、マイクロ波発生手段１４とハウジング１１
とを連通する導波管１５を介してハウジング１１内に照
射される。
イクロ波は、マイクロ波発生手段１４とハウジング１１
とを連通する導波管１５を介してハウジング１１内に照
射される。
【００３３】ハウジング１１内のマイクロ波入射部位に
は、マイクロ波を分散させるための球状リフレクタ１６
が設けられており、マイクロ波がハウジング１１内に照
射されると、リフレクタ１６にて分散された後、ハウジ
ング１１の内面にて多重反射しながら断熱隔壁１２を透
過して焼成室１３内に入射するように構成されている。
なお、マイクロ波を分散させるための球状リフレクタ１
６に代えて、回転反射翼を使用してマイクロ波を分散さ
せるように構成されたマイクロ波高温炉でもよい。
は、マイクロ波を分散させるための球状リフレクタ１６
が設けられており、マイクロ波がハウジング１１内に照
射されると、リフレクタ１６にて分散された後、ハウジ
ング１１の内面にて多重反射しながら断熱隔壁１２を透
過して焼成室１３内に入射するように構成されている。
なお、マイクロ波を分散させるための球状リフレクタ１
６に代えて、回転反射翼を使用してマイクロ波を分散さ
せるように構成されたマイクロ波高温炉でもよい。
【００３４】そして、ハウジング１１には、測定対象２
０などの温度を測定するための保護管型熱電対１が取り
付けられる。具体的には、図３に示すように、マイクロ
波高温炉用保護管型熱電対１は、保護管３の先端が測定
対象２０付近に位置するように配置されると共に、装着
用部材６にてマイクロ波高温炉１０のハウジング１１に
取り付けられている。
０などの温度を測定するための保護管型熱電対１が取り
付けられる。具体的には、図３に示すように、マイクロ
波高温炉用保護管型熱電対１は、保護管３の先端が測定
対象２０付近に位置するように配置されると共に、装着
用部材６にてマイクロ波高温炉１０のハウジング１１に
取り付けられている。
【００３５】より具体的には、マイクロ波高温炉用保護
管型熱電対１の保護管３は、ハウジング１１に設けられ
た保護管挿通部１７と、焼成室１３を構成する断熱隔壁
１２に設けられた保護管挿通口１２ａをそれぞれ貫通し
て焼成室１３内に挿入され、図２に示すように、保護管
３の先端が測定対象２０付近に位置するように配置され
る。
管型熱電対１の保護管３は、ハウジング１１に設けられ
た保護管挿通部１７と、焼成室１３を構成する断熱隔壁
１２に設けられた保護管挿通口１２ａをそれぞれ貫通し
て焼成室１３内に挿入され、図２に示すように、保護管
３の先端が測定対象２０付近に位置するように配置され
る。
【００３６】また、保護管３の基端側部位の導電部５に
設けられた装着用部材６が、ハウジング１１の外部に設
けられた保護管型熱電対取付部材１８と係合して取り付
けられる。これにより、装着用部材６より先端側部位が
炉内に配され、装着用部材６より基端側部位が炉外に位
置した状態でマイクロ波高温炉用保護管型熱電対１が、
マイクロ波高温炉１０に取り付けられる。そして、この
状態でマイクロ波が照射されても、保護管３はマイクロ
波を透過せず、保護管３内に侵入させないため、保護管
３内を介して炉外にマイクロ波が漏出することがない。
また、保護管３の基端側部位には導電部５が形成されて
おり、この導電部５にマイクロ波高温炉１０のハウジン
グ１１に装着するための装着用部材６が取り付けられて
いるため、保護管３の表面を伝わるマイクロ波はアース
されて炉外に漏出することもない。
設けられた装着用部材６が、ハウジング１１の外部に設
けられた保護管型熱電対取付部材１８と係合して取り付
けられる。これにより、装着用部材６より先端側部位が
炉内に配され、装着用部材６より基端側部位が炉外に位
置した状態でマイクロ波高温炉用保護管型熱電対１が、
マイクロ波高温炉１０に取り付けられる。そして、この
状態でマイクロ波が照射されても、保護管３はマイクロ
波を透過せず、保護管３内に侵入させないため、保護管
３内を介して炉外にマイクロ波が漏出することがない。
また、保護管３の基端側部位には導電部５が形成されて
おり、この導電部５にマイクロ波高温炉１０のハウジン
グ１１に装着するための装着用部材６が取り付けられて
いるため、保護管３の表面を伝わるマイクロ波はアース
されて炉外に漏出することもない。
【００３７】
【発明の効果】請求項１および２に記載した発明によれ
ば、マイクロ波がマイクロ波高温炉外に漏出することな
く、より正確かつ極めて低廉に測定対象などの温度を計
測できる。
ば、マイクロ波がマイクロ波高温炉外に漏出することな
く、より正確かつ極めて低廉に測定対象などの温度を計
測できる。
【図１】本発明のマイクロ波高温炉用保護管型熱電対の
一実施例の側面図である。
一実施例の側面図である。
【図２】本発明の熱電対取付構造を用いたマイクロ波高
温炉の全体概略図である。
温炉の全体概略図である。
【図３】本発明のマイクロ波高温炉における熱電対取付
構造の一実施例の拡大図である。
構造の一実施例の拡大図である。
【図４】図３における装着用部材付近の拡大一部断面図
である。
である。
１ マイクロ波高温炉用保護管型熱電対
２ センサー部
３ 保護管
４ 端子箱
５ 導電部
６ 装着用部材
７ 固定用部材
８ 導電性リング
１０ マイクロ波高温炉
１１ ハウジング
１２ 断熱隔壁
１２ａ 保護管挿通口
１３ 焼成室
１４ マイクロ波発生手段
１５ 導波管
１６ 球状リフレクタ
１７ 保護管挿通部
１８ 保護管型熱電対取付部材
１９ 開閉扉
２０ 測定対象
２１ 導線
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 于 孟鋼
岐阜県多治見市本町６丁目10番地の２ 共
栄電気炉製作所内
Ｆターム(参考） 2F056 BP07 CL13
4K056 BB07 FA12
Claims (2)
- 【請求項１】 熱電対を有したセンサー部と、該センサ
ー部を密閉状態にて被覆すると共に、少なくとも１００
０℃に耐え得る耐熱性を備え、かつマイクロ波の透過を
許容しないマイクロ波不透過材料にて形成された保護管
とを有し、該保護管の基端側部位には導電部が形成され
ており、該導電部にはマイクロ波高温炉のハウジングに
装着するための装着用部材が取り付けられていることを
特徴とするマイクロ波高温炉用保護管型熱電対。 - 【請求項２】 熱電対を有したセンサー部と、該センサ
ー部を密閉状態にて被覆すると共に、少なくとも１００
０℃に耐え得る耐熱性を備え、かつマイクロ波の透過を
許容しないマイクロ波不透過材料にて形成された保護管
とを有し、該保護管の基端側部位には導電部が形成され
ており、該導電部にはマイクロ波高温炉に装着するため
の装着用部材が取り付けられている保護管型熱電対がマ
イクロ波高温炉に取り付けられた構造であって、前記保
護管の先端が測定対象付近に位置するように配置される
と共に、前記装着用部材にて前記マイクロ波高温炉のハ
ウジングに取り付けられていることを特徴とするマイク
ロ波高温炉における熱電対取付構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002064842A JP2003262550A (ja) | 2002-03-11 | 2002-03-11 | マイクロ波高温炉用保護管型熱電対およびマイクロ波高温炉における熱電対取付構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002064842A JP2003262550A (ja) | 2002-03-11 | 2002-03-11 | マイクロ波高温炉用保護管型熱電対およびマイクロ波高温炉における熱電対取付構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003262550A true JP2003262550A (ja) | 2003-09-19 |
Family
ID=29197425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002064842A Pending JP2003262550A (ja) | 2002-03-11 | 2002-03-11 | マイクロ波高温炉用保護管型熱電対およびマイクロ波高温炉における熱電対取付構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003262550A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007017212A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Yoshinori Kanno | 温度センサー |
| JP2010054491A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-03-11 | Saginomiya Seisakusho Inc | 温度測定センサーおよび温度測定センサーを用いた温度測定装置 |
| JP2015503453A (ja) * | 2011-12-30 | 2015-02-02 | サンーゴバン アブレイシブズ，インコーポレイティド | 固定砥粒物品その形成方法 |
-
2002
- 2002-03-11 JP JP2002064842A patent/JP2003262550A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007017212A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Yoshinori Kanno | 温度センサー |
| JP2010054491A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-03-11 | Saginomiya Seisakusho Inc | 温度測定センサーおよび温度測定センサーを用いた温度測定装置 |
| JP2015503453A (ja) * | 2011-12-30 | 2015-02-02 | サンーゴバン アブレイシブズ，インコーポレイティド | 固定砥粒物品その形成方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050307 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070619 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080110 |