JP2003262519A - 水準器 - Google Patents
水準器Info
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- JP2003262519A JP2003262519A JP2002109808A JP2002109808A JP2003262519A JP 2003262519 A JP2003262519 A JP 2003262519A JP 2002109808 A JP2002109808 A JP 2002109808A JP 2002109808 A JP2002109808 A JP 2002109808A JP 2003262519 A JP2003262519 A JP 2003262519A
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- Japan
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- inclination
- data
- sensor
- tilt
- sensors
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C9/00—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
- G01C9/02—Details
- G01C9/06—Electric or photoelectric indication or reading means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C9/00—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】複数の場所の傾きを精密に測定し、複数の位置
の相対的な傾きを調整することが可能な水準器を提供し
ようとするものである。 【解決手段】傾斜センサー１，２を有し、その複数の傾
斜センサー１，２の１つの出力する現在データを基準に
して他の傾斜センサーの相対的な傾斜を表示するように
したものであり、ある特定の傾斜センサーのデータを基
準にして他の傾斜センサーの相対的な傾斜を表すように
した。
の相対的な傾きを調整することが可能な水準器を提供し
ようとするものである。 【解決手段】傾斜センサー１，２を有し、その複数の傾
斜センサー１，２の１つの出力する現在データを基準に
して他の傾斜センサーの相対的な傾斜を表示するように
したものであり、ある特定の傾斜センサーのデータを基
準にして他の傾斜センサーの相対的な傾斜を表すように
した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば半導体工
場のウェハーのハンドリングや精密な加工を行う加工装
置の傾きを精密に測定する水準器に関するものである。
場のウェハーのハンドリングや精密な加工を行う加工装
置の傾きを精密に測定する水準器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、水準器は液体中の気泡の位置を測
定することによって被測定部分の傾きを表示するように
したり、あるいは封入された水銀の位置を測定すること
によって被測定部分の傾きを検出し、検出されたデータ
ーをディジタル表示するようにしている。
定することによって被測定部分の傾きを表示するように
したり、あるいは封入された水銀の位置を測定すること
によって被測定部分の傾きを検出し、検出されたデータ
ーをディジタル表示するようにしている。
【０００３】このようなものは被測定部の特定の部分に
センサーを設置し、測定動作をすると、センサーの設置
した部分の傾きがディジタル表示され、その部分の傾き
を容易に知ることができる。
センサーを設置し、測定動作をすると、センサーの設置
した部分の傾きがディジタル表示され、その部分の傾き
を容易に知ることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし上記のような従
来の水準器は単純に被測定部分の傾きを表示するもので
複数の位置の傾きを精密に測定し、水平を出そうとする
と以下の理由によって困難であるという問題がある。
来の水準器は単純に被測定部分の傾きを表示するもので
複数の位置の傾きを精密に測定し、水平を出そうとする
と以下の理由によって困難であるという問題がある。
【０００５】例えば、半導体製造装置のように長さが数
メートルもあるような装置上のある位置Ａ点の傾きを測
定して水平を取るように調整し、そのＡ点の水平状態を
基準とし、その基準面に乗った他の部分Ｂ点の傾きを測
定及び調整して水平を取ろうとすると、Ｂ点の傾きを測
定している間に先に測定したＡ点の傾きが気象的な要因
や、その他の要因で変化してしまい、Ａ点とＢ点との両
方の傾きを精密に測定し、両方の相対的水平を精密に確
保するのは困難であった。
メートルもあるような装置上のある位置Ａ点の傾きを測
定して水平を取るように調整し、そのＡ点の水平状態を
基準とし、その基準面に乗った他の部分Ｂ点の傾きを測
定及び調整して水平を取ろうとすると、Ｂ点の傾きを測
定している間に先に測定したＡ点の傾きが気象的な要因
や、その他の要因で変化してしまい、Ａ点とＢ点との両
方の傾きを精密に測定し、両方の相対的水平を精密に確
保するのは困難であった。
【０００６】傾きが気象的な要因や、その他の要因で経
時変化する理由としては、特に海岸の近くでは地盤が海
の干満に伴って動くため、時間の経過とともに地盤の水
平もずれる。また建築物は日照を受けたり、暖房によっ
て温度が上昇すると温度の上昇した部分が伸張し床が時
間とともに傾斜する。また、脆弱な地盤地域ではその設
置設備及び装置等の重量により部分的に地盤沈下を起こ
す。
時変化する理由としては、特に海岸の近くでは地盤が海
の干満に伴って動くため、時間の経過とともに地盤の水
平もずれる。また建築物は日照を受けたり、暖房によっ
て温度が上昇すると温度の上昇した部分が伸張し床が時
間とともに傾斜する。また、脆弱な地盤地域ではその設
置設備及び装置等の重量により部分的に地盤沈下を起こ
す。
【０００７】従って上記のように装置上のある位置Ａ点
と他の位置Ｂ点との両方の傾斜を精密に調整することは
極めて困難であった。つまりＡ点の水平を測定し、その
場所を水平になるように調整した後に、Ａ点を基準にし
てＢ点の水平を測定すると、その時間差の間にＡ点の水
平がずれてしまい、精密な測定が困難であるという問題
があった。
と他の位置Ｂ点との両方の傾斜を精密に調整することは
極めて困難であった。つまりＡ点の水平を測定し、その
場所を水平になるように調整した後に、Ａ点を基準にし
てＢ点の水平を測定すると、その時間差の間にＡ点の水
平がずれてしまい、精密な測定が困難であるという問題
があった。
【０００８】本発明は以上の点に着目し複数の場所の傾
きを精密に測定し、複数の位置の相対的な傾きを調整す
ることが可能な水準器を提供しようとするものである。
きを精密に測定し、複数の位置の相対的な傾きを調整す
ることが可能な水準器を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】複数の傾斜センサーを有
し、その複数の傾斜センサーの少なくとも１つの出力す
る現在データを基準にして他の傾斜センサーの相対的な
傾斜を表示するようにした。
し、その複数の傾斜センサーの少なくとも１つの出力す
る現在データを基準にして他の傾斜センサーの相対的な
傾斜を表示するようにした。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、複数の傾斜センサーを有し、その複数の傾斜センサ
ーの少なくとも１つの出力する現在データを基準にして
他の傾斜センサーの相対的な傾斜を表示するようにした
ものであり、ある特定の傾斜センサーのデータを基準に
して他の傾斜センサーの相対的な傾斜を表すという作用
を有する。
は、複数の傾斜センサーを有し、その複数の傾斜センサ
ーの少なくとも１つの出力する現在データを基準にして
他の傾斜センサーの相対的な傾斜を表示するようにした
ものであり、ある特定の傾斜センサーのデータを基準に
して他の傾斜センサーの相対的な傾斜を表すという作用
を有する。
【００１１】
【実施例】以下本発明の水準器の実施例について図に沿
って詳細に説明する。図１は本発明の水準器の回路ブロ
ック図である。１及び２はそれぞれ傾斜センサーであ
り、３及び４はそれぞれデータバッファである。
って詳細に説明する。図１は本発明の水準器の回路ブロ
ック図である。１及び２はそれぞれ傾斜センサーであ
り、３及び４はそれぞれデータバッファである。
【００１２】そしてデータバッファ３は傾斜センサー１
のデータを保持するものであり、データバッファ４は傾
斜センサー２のデータを保持するものである。このため
に傾斜センサー１とデータバッファ３、傾斜センサー２
とデータバッファ４とがそれぞれケーブル又は高周波で
接続されている。
のデータを保持するものであり、データバッファ４は傾
斜センサー２のデータを保持するものである。このため
に傾斜センサー１とデータバッファ３、傾斜センサー２
とデータバッファ４とがそれぞれケーブル又は高周波で
接続されている。
【００１３】５はＣＰＵであり、データバッファ３，４
のデータを処理し表示装置６に対してデータバッファ
３，４のデータに応じた表示を行うものである。このＣ
ＰＵ５の動作に必要なプログラムは読み出し専用メモリ
（以下ＲＯＭと書く）７に格納され、またＣＰＵ５の動
作過程でデータの一時的な格納を行うためにランダムア
クセスメモリ（以下ＲＡＭと書く）８がＣＰＵ５と接続
されている。また９はキーボードであり、ＣＰＵ５に対
してデータを入力するものである。
のデータを処理し表示装置６に対してデータバッファ
３，４のデータに応じた表示を行うものである。このＣ
ＰＵ５の動作に必要なプログラムは読み出し専用メモリ
（以下ＲＯＭと書く）７に格納され、またＣＰＵ５の動
作過程でデータの一時的な格納を行うためにランダムア
クセスメモリ（以下ＲＡＭと書く）８がＣＰＵ５と接続
されている。また９はキーボードであり、ＣＰＵ５に対
してデータを入力するものである。
【００１４】以上の構成の本発明の水準器の動作を表す
フローチャートを図２に示す。ここで、半導体製造装置
の水平を取る場合を例示する。使用者は半導体製造装置
の水平を確保するべき部分に傾斜センサー１を設置す
る。次に使用者は本発明の水準器の電源を入れその動作
を開始する。
フローチャートを図２に示す。ここで、半導体製造装置
の水平を取る場合を例示する。使用者は半導体製造装置
の水平を確保するべき部分に傾斜センサー１を設置す
る。次に使用者は本発明の水準器の電源を入れその動作
を開始する。
【００１５】すると水準器は先ずステップ１で処理を開
始し、ステップ２で使用者がキーボード９を使って水平
の合格基準範囲の入力を行うか否かを判断する。入力す
る場合はステップ３で入力し上書きした後にステップ４
に進む。入力しない場合はそのままステップ４へ進む。
始し、ステップ２で使用者がキーボード９を使って水平
の合格基準範囲の入力を行うか否かを判断する。入力す
る場合はステップ３で入力し上書きした後にステップ４
に進む。入力しない場合はそのままステップ４へ進む。
【００１６】ステップ４で傾斜センサー１のＸ軸及びＹ
軸の傾斜データをデータバッファ３へ格納するととも
に、そのデータを表示装置６に表示する。使用者は表示
装置に表示されたデータを見て、表示が「０」になるよ
うに即ち傾斜センサー１の設置された場所の傾斜が水平
になるように半導体製造装置を調整する。ステップ５で
合格値に入っているかチェックし、入っていなかったら
ステップ４に戻り合格値になるまで半導体製造装置の水
平を調整するよう使用者に促す。
軸の傾斜データをデータバッファ３へ格納するととも
に、そのデータを表示装置６に表示する。使用者は表示
装置に表示されたデータを見て、表示が「０」になるよ
うに即ち傾斜センサー１の設置された場所の傾斜が水平
になるように半導体製造装置を調整する。ステップ５で
合格値に入っているかチェックし、入っていなかったら
ステップ４に戻り合格値になるまで半導体製造装置の水
平を調整するよう使用者に促す。
【００１７】傾斜センサー１の設置した部分の水平が合
格値以内に入っていたら、使用者は次に半導体製造装置
の他の部分に傾斜センサー２を設置する。ステップ６で
使用者がキーボード９を使って傾斜センサー２のデータ
を取るように指定する。ステップ７で使用者がキーボー
ド９を使って他の部分の水平の合格基準範囲の入力を行
うか否かを判断する。入力する場合はステップ８で入力
し上書きした後にステップ８に進む。入力しない場合は
そのままステップ９へ進む。
格値以内に入っていたら、使用者は次に半導体製造装置
の他の部分に傾斜センサー２を設置する。ステップ６で
使用者がキーボード９を使って傾斜センサー２のデータ
を取るように指定する。ステップ７で使用者がキーボー
ド９を使って他の部分の水平の合格基準範囲の入力を行
うか否かを判断する。入力する場合はステップ８で入力
し上書きした後にステップ８に進む。入力しない場合は
そのままステップ９へ進む。
【００１８】ステップ９で傾斜センサー２のデータをデ
ータバッファ４へ格納するとともに傾斜センサー１のデ
ータをバッファ３に格納する。ステップ１０でデータバ
ッファ３とデータバッファ４とに格納されたデータを元
にＣＰＵ５が演算する。またＣＰＵ５は、その演算結果
を現在の傾斜センサー２の出力データとして表示装置６
に表示する。
ータバッファ４へ格納するとともに傾斜センサー１のデ
ータをバッファ３に格納する。ステップ１０でデータバ
ッファ３とデータバッファ４とに格納されたデータを元
にＣＰＵ５が演算する。またＣＰＵ５は、その演算結果
を現在の傾斜センサー２の出力データとして表示装置６
に表示する。
【００１９】この演算は次の式（１）で表すことができ
る。 ＸＢ＝Ｘｂｔ−ΔＸａｔ ……（１）
る。 ＸＢ＝Ｘｂｔ−ΔＸａｔ ……（１）
【００２０】つまり例えば半導体製造装置上のある点Ｂ
のＸ軸傾斜ＸＢは、その傾斜の測定した時刻の傾斜Ｘｂ
ｔからデータバッファ３内に格納されたＡ点におけるＸ
軸の傾斜によって補正される。
のＸ軸傾斜ＸＢは、その傾斜の測定した時刻の傾斜Ｘｂ
ｔからデータバッファ３内に格納されたＡ点におけるＸ
軸の傾斜によって補正される。
【００２１】またＢ点のＸ軸傾斜ＸＢは次の式（２）に
よっても表すことができる。 ＸＢ＝（ΔＸ＋Ｘａｔ）−ΔＸａｔ＝ΔＸ＋（Ｘａｔ−ΔＸａｔ）＝ΔＸ＋０… （２） （ＸＢ：Ｂ点のＸ軸傾斜 Ｘｂｔ：データバッファ４内
のＸ軸データＸａｔ：データバッファ３内のＸ軸データ
ΔＸ：定数） ここではＸ軸データの演算のみを示したが、Ｙ軸データ
も全く同様の演算であるので、説明を省略する。
よっても表すことができる。 ＸＢ＝（ΔＸ＋Ｘａｔ）−ΔＸａｔ＝ΔＸ＋（Ｘａｔ−ΔＸａｔ）＝ΔＸ＋０… （２） （ＸＢ：Ｂ点のＸ軸傾斜 Ｘｂｔ：データバッファ４内
のＸ軸データＸａｔ：データバッファ３内のＸ軸データ
ΔＸ：定数） ここではＸ軸データの演算のみを示したが、Ｙ軸データ
も全く同様の演算であるので、説明を省略する。
【００２２】さらに時間の経過に伴う傾斜の変化が大き
い場合には、次のような補正を行いＣＰＵ５は、その演
算結果を現在の傾斜センサー２の出力データとして表示
装置６に表示するようにする。つまりセンサー１で測定
した基準面Ａ点の測定値Ｘａｔの経時変化（基準値（相
対的ゼロ）に対する変動値△χａｔ）をもとに補正を行
う。この補正の様子を図６に示し、この補正を以下式で
表す。図５のグラフより、 ΔＸ＝Ｘｂ−Ｘａ＝Ｘｂｔ−Ｘａｔ≠Ｘｂｔ−Ｘａ ，Ｘａ≠Ｘａｔ……（３） ここでＸａ＝Ｘａｔ−△χａｔとしたときに、Ｘａ＝０とすると、 ０＝Ｘａｔ−△χａｔよりＸａｔ＝△χａｔ…（４）となる。
い場合には、次のような補正を行いＣＰＵ５は、その演
算結果を現在の傾斜センサー２の出力データとして表示
装置６に表示するようにする。つまりセンサー１で測定
した基準面Ａ点の測定値Ｘａｔの経時変化（基準値（相
対的ゼロ）に対する変動値△χａｔ）をもとに補正を行
う。この補正の様子を図６に示し、この補正を以下式で
表す。図５のグラフより、 ΔＸ＝Ｘｂ−Ｘａ＝Ｘｂｔ−Ｘａｔ≠Ｘｂｔ−Ｘａ ，Ｘａ≠Ｘａｔ……（３） ここでＸａ＝Ｘａｔ−△χａｔとしたときに、Ｘａ＝０とすると、 ０＝Ｘａｔ−△χａｔよりＸａｔ＝△χａｔ…（４）となる。
【００２３】変動値△χａｔによってセンサー２の出力
データに補正を掛けるには、センサー２の出力データＸ
ｂｔから△χａｔを引くことによって表すことができ
る。つまりＸＢ＝Ｘｂｔ−△χａｔとなる。よって式
（３）及び式（４）より。ＸＢ＝（ΔＸ＋Ｘａｔ）−△
χａｔ＝ΔＸ＋（Ｘａｔ−△χａｔ）となる。ここでＸ
ａｔ−△χａｔ＝０としているので、ＸＢ＝ΔＸ＋０＝
ΔＸ＝定数となる。従って、刻々変化するＢ点の測定値
を表す表示値ＸＢはＸｂｔが変化しても安定し、水平の
調整が実質的に可能になる。
データに補正を掛けるには、センサー２の出力データＸ
ｂｔから△χａｔを引くことによって表すことができ
る。つまりＸＢ＝Ｘｂｔ−△χａｔとなる。よって式
（３）及び式（４）より。ＸＢ＝（ΔＸ＋Ｘａｔ）−△
χａｔ＝ΔＸ＋（Ｘａｔ−△χａｔ）となる。ここでＸ
ａｔ−△χａｔ＝０としているので、ＸＢ＝ΔＸ＋０＝
ΔＸ＝定数となる。従って、刻々変化するＢ点の測定値
を表す表示値ＸＢはＸｂｔが変化しても安定し、水平の
調整が実質的に可能になる。
【００２４】つまりステップ９で傾斜センサー２のデー
タをデータバッファ４へ格納した時点で傾斜センサー１
の出力データが変化している可能性があるが、ステップ
４でデータバッファ３へ格納したデータとの相対的な差
でなく、ステップ９で傾斜センサー１の出力と傾斜セン
サー２の出力より演算するようにしているため、傾斜セ
ンサー１の出力データが経時的に変化しても大きな問題
はない。
タをデータバッファ４へ格納した時点で傾斜センサー１
の出力データが変化している可能性があるが、ステップ
４でデータバッファ３へ格納したデータとの相対的な差
でなく、ステップ９で傾斜センサー１の出力と傾斜セン
サー２の出力より演算するようにしているため、傾斜セ
ンサー１の出力データが経時的に変化しても大きな問題
はない。
【００２５】次にステップ１１で傾斜センサー２の傾き
が合格値内にあるか否か、上記の演算値ＸＢとＹＢとを
チェックし、合格値内にない場合は処理をステップ９に
戻し、合格値に入っている場合は処理を終了する。
が合格値内にあるか否か、上記の演算値ＸＢとＹＢとを
チェックし、合格値内にない場合は処理をステップ９に
戻し、合格値に入っている場合は処理を終了する。
【００２６】図３は本発明の水準器の実施例１、図４は
本発明の水準器の実施例２の外観斜視図である。図３の
実施例１のものはセンサー１及びセンサー２は本体１０
とケーブル１１によって接続されている。図４の実施例
２のものはセンサー１及びセンサー２それぞれの内部に
高周波回路（図示せず）が設けられている。
本発明の水準器の実施例２の外観斜視図である。図３の
実施例１のものはセンサー１及びセンサー２は本体１０
とケーブル１１によって接続されている。図４の実施例
２のものはセンサー１及びセンサー２それぞれの内部に
高周波回路（図示せず）が設けられている。
【００２７】また本体１０にはアンテナ１２が設けら
れ、センサー１及びセンサー２それぞれと高周波によっ
てデータの伝送を行う。
れ、センサー１及びセンサー２それぞれと高周波によっ
てデータの伝送を行う。
【００２８】
【発明の効果】本発明の水準器は上記の如く構成したの
で、ある一点の水準を基準にして他の位置の水準を測定
するため、測定を行っている間に測定地点の傾きが変化
して行くような場合であっても、両点の相対的な傾きを
正確に測定することができる。
で、ある一点の水準を基準にして他の位置の水準を測定
するため、測定を行っている間に測定地点の傾きが変化
して行くような場合であっても、両点の相対的な傾きを
正確に測定することができる。
【００２９】とくに測定地点の傾斜が変化する場合であ
っても、ある一点の傾斜の刻々の変化値を用いて他の地
点の測定値を補正するようにしているため、他の地点の
水準測定値の表示が安定し、よって他の地点の水準の調
整が容易にできるようになる。
っても、ある一点の傾斜の刻々の変化値を用いて他の地
点の測定値を補正するようにしているため、他の地点の
水準測定値の表示が安定し、よって他の地点の水準の調
整が容易にできるようになる。
【００３０】さらに本発明の水準器は傾斜センサーと本
体とを別体としているため、傾斜センサーのみ被測定部
に設置することができ、被測定部が狭い場所であっても
容易に測定することができる。
体とを別体としているため、傾斜センサーのみ被測定部
に設置することができ、被測定部が狭い場所であっても
容易に測定することができる。
【００３１】また、本発明のものは複数のセンサーと本
体との間をケーブルあるいは高周波によって情報伝送を
行うようにしているため、半導体製造装置などの大きな
装置の離れた位置にセンサーを設置することができる。
体との間をケーブルあるいは高周波によって情報伝送を
行うようにしているため、半導体製造装置などの大きな
装置の離れた位置にセンサーを設置することができる。
【図１】本発明の水準器の実施例を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】本発明の水準器の動作を示すフローチャートで
ある。
ある。
【図３】本発明の水準器の実施例１の外観斜視図であ
る。
る。
【図４】本発明の水準器の実施例２の外観斜視図であ
る。
る。
【図５】基準点Ａ点の水準の時間的変化とＢ点での補正
を表すグラフである。
を表すグラフである。
１，２ 傾斜センサー
３，４ データバッファ
５ ＣＰＵ
６ 表示装置
７ ＲＯＭ
８ ＲＡＭ
９ キーボード
１０ 本体
Claims (5)
- 【請求項１】複数の傾斜センサーを有し、その複数の傾
斜センサーの少なくとも１つの出力するデータを基準に
して他の傾斜センサーの相対的な傾斜を表示するように
した水準器。 - 【請求項２】時間とともに変化する複数の傾斜センサー
の少なくとも１つの出力するデータを基準にして他の傾
斜センサーの相対的な傾斜を表示するようにした請求項
１記載の水準器。 - 【請求項３】複数の傾斜センサーは本体と別体である請
求項１あるいは請求項２記載の水準器。 - 【請求項４】複数の傾斜センサーは本体とケーブルで接
続されている請求項３記載の水準器。 - 【請求項５】複数の傾斜センサーと本体との間は高周波
によってデータを伝送するようにした請求項３記載の水
準器。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002109808A JP2003262519A (ja) | 2002-03-07 | 2002-03-07 | 水準器 |
| US10/208,019 US6792382B2 (en) | 2002-03-07 | 2002-07-31 | Spirit level |
| TW092102658A TWI269027B (en) | 2002-03-07 | 2003-02-10 | Leveler |
| CNB031063756A CN100473947C (zh) | 2002-03-07 | 2003-02-26 | 水平仪 |
| KR10-2003-0013050A KR20030074177A (ko) | 2002-03-07 | 2003-03-03 | 수준기 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002109808A JP2003262519A (ja) | 2002-03-07 | 2002-03-07 | 水準器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003262519A true JP2003262519A (ja) | 2003-09-19 |
Family
ID=28035971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002109808A Pending JP2003262519A (ja) | 2002-03-07 | 2002-03-07 | 水準器 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6792382B2 (ja) |
| JP (1) | JP2003262519A (ja) |
| KR (1) | KR20030074177A (ja) |
| CN (1) | CN100473947C (ja) |
| TW (1) | TWI269027B (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| EP1565704B1 (en) * | 2002-11-15 | 2008-10-29 | Alan George Rock | Level, angle and distance measuring device |
| US7997153B2 (en) * | 2004-11-12 | 2011-08-16 | Phillips Kiln Services Ltd. | Method and apparatus for bearing thrust monitoring |
| US20080000111A1 (en) * | 2006-06-29 | 2008-01-03 | Francisco Roberto Green | Excavator control system and method |
| DE102006054144A1 (de) * | 2006-11-15 | 2008-05-21 | Triuso-Qualitätswerkzeuge GmbH | Wasserwaage |
| US7963701B2 (en) * | 2008-10-20 | 2011-06-21 | Phillips Kiln Services, Ltd. | System and method for setting roller skew |
| CN103233511B (zh) * | 2012-09-12 | 2016-01-20 | 宜昌市天鸿科技有限责任公司 | 一种自动调平活动房 |
| US9459121B2 (en) * | 2013-05-21 | 2016-10-04 | DigiPas USA, LLC | Angle measuring device and methods for calibration |
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