JP2003260017A - 有孔除塵マット - Google Patents

有孔除塵マット

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JP2003260017A
JP2003260017A JP2002065648A JP2002065648A JP2003260017A JP 2003260017 A JP2003260017 A JP 2003260017A JP 2002065648 A JP2002065648 A JP 2002065648A JP 2002065648 A JP2002065648 A JP 2002065648A JP 2003260017 A JP2003260017 A JP 2003260017A
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JP
Japan
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pressure
sensitive adhesive
sheet
dust removing
adhesive layer
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JP2002065648A
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English (en)
Inventor
Juichi Arimatsu
重一 有松
Osamu Kanazawa
治 金沢
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Lintec Corp
Original Assignee
Lintec Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】クリーンルームの入口での除塵マットなどとし
て使用され、履物の底面やワゴンなどに付着した塵埃を
効果的に除去し、しかもワゴンなどの重い車が通過した
場合でも積層された粘着シートが浮きあがることがない
上、クリーンルーム内のクリーンエアの乱れを抑制し得
る除塵マットを提供する。 【解決手段】基材シートの一方の面に粘着剤層を設けた
粘着シートを、粘着剤層と基材シートの粘着剤層を設け
た面の反対面とを対面させるように複数枚重ね合わせた
積層体からなる除塵マットにおいて、最上層の粘着シー
トから最下層の粘着シートにわたり、複数の貫通孔を設
けてなる有孔除塵マットである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、有孔除塵マットに
関し、さらに詳しくは、クリーンルームの入口での除塵
マットなどとして使用され、履物の底面やワゴンなどに
付着した塵埃を効果的に除去し、しかもワゴンなどの重
い車が通過した場合でも積層された粘着シートが浮きあ
がることがない上、クリーンルーム内のクリーンエアの
乱れを抑制し得る日めくり方式の有孔除塵マットに関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】近年、IC工場、コンピュータールー
ム、病院の手術室などにおいては、塵埃の少ないクリー
ンルームの要求が増大している。したがって、これらの
クリーンルームにおいては、室内への塵埃の侵入防止策
の1つとして、クリーンルームの入口に除塵マットを敷
き、履物の底面やワゴンなどの車等に付着した塵埃を予
め除去して、室内への侵入を防止することが行われてい
る。そして、前記除塵マットとしては、一般にプラスチ
ックフィルムの片面に粘着剤層を設けた粘着シートを数
十枚程度積層した、いわゆる日めくり方式の除塵マット
が用いられている。しかしながら、クリーンルームにお
いては、室内のクリーン度を保持するために、天井から
床方向にクリーンエアが流されており、このクリーンル
ーム内の床に、前記の積層された除塵マットを床に設置
した場合、該除塵マットの部分でクリーンエアの流れに
乱流が生じ、その結果、空気中の塵埃を除去する妨げと
なることから、クリーンルームの室内においても使用で
きるように除塵マットの改善が望まれていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
事情のもとで、クリーンルームの入口での除塵マットな
どとして使用され、履物の底面やワゴンなどに付着した
塵埃を効果的に除去し、しかもワゴンなどの重い車が通
過した場合でも積層された粘着シートが浮きあがること
がない上、クリーンルーム内のクリーンエアの乱れを抑
制し得る除塵マットを提供することを目的としてなされ
たものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記の好
ましい性質を有する除塵マットを開発すべく鋭意研究を
重ねた結果、粘着シートを複数枚重ねた積層体の最上層
の粘着シートから最下層の粘着シートにわたり、複数の
貫通孔を設けることにより、その目的を達成し得ること
を見出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至っ
た。すなわち、本発明は、(1)基材シートの一方の面
に粘着剤層を設けた粘着シートを、粘着剤層と基材シー
トの粘着剤層を設けた面の反対面とを対面させるように
複数枚重ね合わせた積層体からなる除塵マットにおい
て、最上層の粘着シートから最下層の粘着シートにわた
り、複数の貫通孔を設けたことを特徴とする有孔除塵マ
ット、(2)粘着剤層を形成する粘着剤の粘着力が0.
5〜10N/25mmの範囲にあるものを用いる第1項記
載の有孔除塵マット、(3)基材シートがポリエチレン
シートであり、かつ粘着剤がアクリル系粘着剤である第
1項又は第2項記載の有孔除塵マット、及び(4)貫通
孔が断面円形状である第1項、第2項又は第3項記載の
有孔除塵マット、を提供するものである。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明の有孔除塵マットは、基材
シートの一方の面に粘着剤層を設けた粘着シートを、粘
着剤層と基材シートの粘着剤層を設けた面の反対面とを
対面させるように複数枚重ね合わせた積層体からなるも
のであって、前記粘着シートにおける基材シートとして
は特に制限はなく、従来日めくり方式の除塵マットの基
材シートとして知られている公知のシートの中から、適
宜選択して用いることができる。このような基材シート
としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、4−
メチルペンテン−1などのポリオレフィン系シート、ポ
リエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレー
ト、ポリブチレンテレフタレートなどのポリエステル系
シート、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−塩
化ビニル共重合体などのエチレン共重合体系シート、ポ
リ塩化ビニル系シートなどが挙げられる。これらの基材
シートの厚さは、通常10〜300μm、好ましくは5
0〜150μmの範囲である。本発明においては、前記
基材シートには、粘着剤層が設けた面の反対面に所望に
より剥離処理が施されていてもよい。この剥離処理方法
としては特に制限はなく、従来公知の方法、例えば剥離
剤を塗布し、硬化させ、剥離処理層を設ける方法などが
用いられる。該剥離剤としては、例えば熱硬化付加反応
型、熱硬化縮合型、室温硬化型、紫外線又は電子線硬化
型、熱と紫外線併用硬化型などのシリコーン樹脂剥離
剤、フッ素系や長鎖アルキルペンダント型系剥離剤等が
あり、いずれも用いることができる。剥離処理層の厚さ
は、通常0.1〜5μm程度である。
【0006】また、該基材シートの粘着剤層が設けられ
る側の面に、その上に設けられる粘着剤層との密着性を
向上させる目的で、所望により酸化法や凹凸化法などに
より表面処理を施すことができる。上記酸化法として
は、例えばコロナ放電処理、クロム酸処理(湿式)、火
炎処理、熱風処理、オゾン・紫外線照射処理などが挙げ
られ、また、凹凸化法としては、例えばサンドブラスト
法、溶剤処理法などが挙げられる。これらの表面処理法
はシート状基材の種類に応じて適宜選ばれるが、一般に
はコロナ放電処理法が効果及び操作性などの面から、好
ましく用いられる。さらに、粘着シートを剥離する際
に、静電気が発生するのを防止するために、該基材シー
トに、所望により帯電防止処理を施すことができる。静
電気の発生は、人体に不快感を与えると共に、IC製造
工場などのクリーンルームにおいては、電子部品の製造
の際に悪影響を与え、不良品発生の原因となる。基材シ
ートの帯電防止処理方法としては特に制限はなく、従来
公知の方法、例えば基材シートに対し、帯電防止剤を内
部添加(練り込み)する方法及び表面に塗布する方法な
どを挙げることができるなお、後述の粘着剤層にアクリ
ル系粘着剤を用いる場合には、基材シートとして、該ア
クリル系粘着剤に対して剥離性を有するポリエチレンシ
ートの使用が好ましい。この場合、基材シートの粘着剤
層を設けた面の反対面に剥離処理を施さなくてもよい。
本発明の有孔除塵マットにおいては、前記基材シートの
一方の面に設けられる粘着剤層を構成する粘着剤として
は特に制限はなく、従来公知のアクリル系、ウレタン
系、ゴム系、シリコーン系などのいずれの粘着剤も用い
ることができるが、これらの中で、品質の安定性やコス
トなどの面から、アクリル系粘着剤が好ましい。
【0007】前記粘着剤の粘着力としては、0.5〜1
0N/25mmの範囲が好ましい。この粘着力が0.5N
/25mm未満では履物の底面の塵埃などが除去できない
場合があり、一方、10N/25mmを超えると重量のあ
るワゴンなどが通過した場合に粘着シートがめくり上が
るおそれや、積層された粘着シートの最上層の粘着シー
トを剥がす際に破断するおそれが生じる。したがって、
より好ましい粘着力は、1.0〜3.0N/25mmの範囲
である。なお、上記粘着力は、JIS Z 0237に記
載された、8.粘着力における8.3.1(1)「試験
板に対する180度引き剥がし法」により、測定した値
である。粘着剤層の形成方法としては、特に制限はな
く、従来公知の方法を用いることができる。例えば粘着
剤をロールナイフコーター、リバースコーター、ダイコ
ーター、グラビアコーター、ロッドコーターなどの公知
の方法で、基材シート表面に直接塗布、乾燥して形成し
てもよいし、あるいは剥離シートの剥離処理面に粘着剤
を前記方法で塗布、乾燥して粘着剤層を設けたのち、こ
れを基材シートに貼着し、該粘着剤層を転写してもよ
い。この粘着剤層の厚さは、通常5〜60μm、好まし
くは15〜40μmの範囲である。本発明の有孔除塵マ
ットにおいては、このようにして得られた粘着シート
を、粘着剤層と基材シートの背面が対向するように複数
枚重ね合わせて積層体を形成し、その最上層から最下層
の全体にわたり、複数の貫通孔が設けられる。前記積層
体における粘着シートの積層数としては特に制限はない
が、通常20〜100枚、好ましくは40〜60枚の範
囲である。また、除塵マット全体の厚さは、通常1〜1
0mm、好ましくは2〜5mmの範囲である。
【0008】また、貫通孔の断面形状としては特に制限
はなく、円形、楕円形あるいは三角形以上の多角形状な
ど、いずれであってもよいが、積層された粘着シートを
剥がす際に、破断が生じるおそれが少ない円形状のもの
が好ましい。この貫通孔は、除塵マットを上から見た場
合、マット表面に円形状に均質に設けることが好まし
い。また、該円の直径は、通常5〜12mm、好ましくは
6〜10mmの範囲であり、隣接する貫通孔間距離は、通
常5〜12mm、好ましくは6〜10mmの範囲である。貫
通孔の形成方法としては、特に制限はないが、通常打抜
き法が用いられる。このように貫通孔を設けることによ
り、除塵マットをクリーンルーム内に置いても、クリー
ンエアの流れに乱流が生じにくく、空気中の塵埃の除去
の妨げにはならない。本発明の有孔除塵マットにおいて
は、積層体の最上層の粘着剤層を、使用時まで保護する
目的で、保護シートを該粘着剤層上に設けることができ
る。この保護シートとしては、特に制限はなく、前述の
基材シートと同じものを用いてもよいし、剥離シートを
用いてもよい。上記剥離シートとしては、ポリエチレン
テレフタレート(PET)、発泡PET、ポリプロピレ
ンなどのプラスチックフィルムや、ポリエチレンラミネ
ート紙、グラシン紙、クレーコート紙などに、剥離剤を
塗布したものが用いられる。該剥離剤としては、シリコ
ーン系のものが好ましく、その他フッ素系、長鎖アルキ
ルペンダント型系のものなども使用することができる。
剥離剤の塗布厚さは、通常0.1〜2.0μm、好ましく
は0.5〜1.5μmの範囲である。また、剥離シートの
厚さについては特に制限はないが、通常20〜150μ
m程度である。図1は、本発明の有孔除塵マットの1例
の斜視図であって、有孔除塵マット1は、基材シート2
の片面に粘着剤層3が設けられてなる粘着シートが、粘
着剤層3と基材シート2の背面が対向するように複数枚
積層されると共に、最上層から最下層の全体にわたり、
複数の貫通孔4が形成された構造を有している。
【0009】
【実施例】次に、本発明を実施例により、さらに詳細に
説明するが、本発明は、これらの例によってなんら限定
されるものではない。なお、各例における諸特性は、以
下に示す方法に従って測定した。 (1)粘着剤の粘着力 粘着力は、JIS Z 0237に記載された、8.粘着
力における8.3.1(1)「試験板に対する180度
引き剥がし法」により、測定した。 (2)除塵マットの設置試験 クリーンルームの入口で、かつ天床から床にクリーンエ
アが流れている床上に、除塵マットを設置し、発煙体で
空気の流れを確認し、下記の基準で評価した。 ○:天井から床に流れるクリーンエアに、乱流ゃ流れの
停滞が発生しなかった。 ×:天井から床に流れるクリーンエアが、除塵マットの
部分での停滞や乱流が発生した。 (3)除塵マットの剥離試験 積層された粘着シートの最上層のシートを手で剥がし、
下記の基準で評価した。 ○:粘着シートが破断することなく、容易に剥がれた。 ×:粘着シートが破断した。 実施例1 基材シートとして、横600mm、縦540mm、厚さ50
μmのポリエチレンシート[タマポリ(株)製、商品名
「STF」]を用い、その片面にコロナ放電処理後アク
リル系粘着剤[リンテック(株)製、商品名「MA」]か
らなる厚さ10μmの粘着剤層を設け、粘着シートを作
製した。次に、上記粘着シート30枚を、粘着剤層と基
材シートの粘着剤層を設けた面の反対面とを対面させる
ように積層したのち、横1列に、直径8mmで隣接する貫
通孔間距離8mmの円形状の抜き刃35個を有する治具を
用いて30回打ち抜き、合計1050個の貫通孔を形成
することにより、全体の厚さが1.8mmの有孔除塵マッ
トを作製した。この有孔除塵マットの諸特性を第1表に
示す。 比較例1 実施例1において、粘着剤層として、アクリル系粘着剤
[リンテック(株)製、商品名「PA−T1」]を用い、
厚さ30μmの粘着剤層を設け、かつ貫通孔を形成しな
かったこと以外は、実施例1と同様にして除塵マットを
作製した。この除塵マットの諸特性を第1表に示す。
【0010】
【表1】
【0011】
【発明の効果】本発明によれば、クリーンルームの入口
での除塵マットなどとして使用され、履物の底面やワゴ
ンなどに付着した塵埃を効果的に除去し、しかもワゴン
などの重い車が通過した場合でも積層された粘着シート
が浮きあがることがない上、クリーンルーム内のクリー
ンエアの乱れを抑制し得る日めくり方式の有孔除塵マッ
トを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の有孔除塵マットの1例の斜視
図である。
【符号の説明】
1 有孔除塵マット 2 基材シート 3 粘着剤層 4 貫通孔
フロントページの続き Fターム(参考) 4J004 AA10 AA11 AA14 AB01 CA03 CA04 CA05 CA06 CC07 DB01 EA04 FA08 FA10 4J040 CA001 DF001 EF001 EK031 JA09 JB09 NA05 PA23

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基材シートの一方の面に粘着剤層を設けた
    粘着シートを、粘着剤層と基材シートの粘着剤層を設け
    た面の反対面とを対面させるように複数枚重ね合わせた
    積層体からなる除塵マットにおいて、最上層の粘着シー
    トから最下層の粘着シートにわたり、複数の貫通孔を設
    けたことを特徴とする有孔除塵マット。
  2. 【請求項2】粘着剤層を形成する粘着剤の粘着力が0.
    5〜10N/25mmの範囲にあるものを用いたことを特
    徴とする請求項1記載の有孔除塵マット。
  3. 【請求項3】基材シートがポリエチレンシートであり、
    かつ粘着剤がアクリル系粘着剤であることを特徴とする
    請求項1又は2記載の有孔除塵マット。
  4. 【請求項4】貫通孔が断面円形状であることを特徴とす
    る請求項1、2又は3記載の有孔除塵マット。
JP2002065648A 2002-03-11 2002-03-11 有孔除塵マット Pending JP2003260017A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7056406B2 (en) * 2000-01-13 2006-06-06 Nitto Denko Corporation Porous adhesive sheet, semiconductor wafer with porous adhesive sheet and method of manufacture thereof
CN103622644A (zh) * 2013-11-25 2014-03-12 东莞市尼的净化科技有限公司 一种改进型粘尘垫及其制作工艺
JP2021029488A (ja) * 2019-08-22 2021-03-01 大協技研工業株式会社 除塵のための積層粘着マット
JP2021029489A (ja) * 2019-08-22 2021-03-01 大協技研工業株式会社 異物の吸着捕獲具

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