JP2003257594A - セラミックヒータの製造方法 - Google Patents

セラミックヒータの製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 通電耐久性に優れるセラミックヒータを提供
する。 【解決手段】 本発明は、導電性セラミック粉末3、絶
縁性セラミック粉末5および焼結助剤粉末7を溶媒9と
混合し、得られた泥漿10を乾燥させて発熱体原料粉末
24を得たのち、その発熱体原料粉末24を成形して未
焼成の抵抗発熱体28を作製し、それをセラミック基体
30に埋設して焼成することにより得られるセラミック
ヒータ1の製造方法に関する。溶媒9には水を使用し、
かつ泥漿10は、流動層乾燥装置50、回転式乾燥装置
70および振動式乾燥装置40のいずれかを用いて乾燥
させる。その際に粉砕メディア22を併用する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ディーゼルエンジ
ン始動用のグロープラグなどに使用されるセラミックヒ
ータの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、ディーゼルエンジン始動用の
グロープラグなどに使用されるセラミックヒータは、次
のようにして製造されている。図1は、原料粉末からセ
ラミックヒータが得られるまでの過程を示す説明図であ
る。まず、予め微粉砕した導電性セラミック粉末3、絶
縁性セラミック粉末5および焼結助剤粉末7と溶媒9と
を、アトライターや攪拌ポット16などを用いて混合
し、泥漿10を得る(1−1)。得られた泥漿10を浅
箱12などの容器に入れ、静置式乾燥機14内に配置
し、静置式乾燥機14内に熱風HGを循環させる(1−
2)。これによって溶媒9を蒸発させ、ケーキ状乾燥物
18を得る(符号OGは排出ガスを示す)。そして、ケ
ーキ状乾燥物18を、メディア22(玉石)とともにボ
ールミル20に入れて解砕する(1−3)。得られた発
熱体原料粉末24をバインダ26と混合して混錬したの
ち、射出成形法により成形する(1−4)。それにより
得られた未焼成の抵抗発熱体28を、未焼成のセラミッ
ク基体30内に収容させて、HIP法などの方法により
焼成すれば、セラミックヒータ1が得られる(1−5,
1−6)。このセラミックヒータ1に、主体金具32や
端子金具34などの部品を組付けることにより、セラミ
ックグロープラグ36を製造することができる(1−
7)。
【0003】従来から上記のように、静置式乾燥機14
を用いて泥漿10を乾燥させる場合、その溶媒9として
アルコール類、ヘキサン、キシレンなどの有機溶媒が使
用されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで昨今、化学物
質が環境にもたらす影響について盛んに議論されてい
る。このような情勢において、有機溶媒は、その使用が
ますます制限される傾向にある。セラミックヒータの製
造現場においても例外ではなく、有機溶媒を使用せずに
発熱体原料粉末を得る方法の開発が急務となっている。
【0005】一般に、絶縁性セラミック粉末のみの泥漿
を調合する際には、溶媒として水が使用される。ところ
が、本発明者らが有機溶媒に替えて水を使用した泥漿を
作り、前述した従来の方法によりグロープラグ用のセラ
ミックヒータを作製したところ、通電加熱と放冷とを繰
り返す通電耐久試験において、少ないサイクルで断線を
生ずる低耐久品が多く発見された。そのようなセラミッ
クヒータは、数万回におよぶ通電耐久性が要求されるグ
ロープラグにはとても使用できない。
【0006】本発明の課題は、通電耐久性に優れるセラ
ミックヒータを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段及び作用・効果】上記課題
を解決するために本発明のセラミックヒータの製造方法
は、導電性セラミック粉末、絶縁性セラミック粉末およ
び焼結助剤粉末と溶媒を調合し、得られた泥漿を乾燥さ
せて発熱体原料粉末を得たのち、その発熱体原料粉末を
成形した抵抗発熱体をセラミック基体に埋設して焼成す
る方法において、溶媒には主として水を使用し、かつ泥
漿は、流動層乾燥装置、回転式乾燥装置および振動式乾
燥装置から選択される1種の装置を用いて乾燥させ、そ
の際にメディアを併用することを特徴とする。
【0008】そもそも、水を使用すると不具合があるか
ら有機溶媒が使用されている。しかしながら、水を調合
溶媒として用いると粉末の凝集性が強くなるので、図2
(2−3)に示すように、硬質な2次粒子が生じる。ま
た、導電性セラミック成分と絶縁性セラミック成分との
比重差により、偏析が生じやすい(2−2参照)。その
ような凝集や偏析の生じた原料粉末4を用いてセラミッ
クヒータを製造すると、成分が均一分散していないこと
起因して、セラミックヒータの抵抗値バラツキが大きく
なったり異常発熱を引き起こしたりする(2−4参
照)。好適な発熱体原料粉末とは、図2(2−1)に示
すように、2次粒子が生じておらず、かつ導電性セラミ
ック3と絶縁性セラミック5とが均一に分散している形
態のものである。
【0009】上記した本発明の方法は、水を溶媒とした
泥漿を流動層、回転式、振動式など、粉末が絶えず流動
状態となる動的方法で乾燥を試みるものであり、さら
に、泥漿とともにメディアを容器内に投入して乾燥を試
みるというものである。泥漿は、メディアとともに流動
状態におかれ、さらにメディア表面に付着しながら分散
される。分散された泥漿は、効率良く空気と接触するた
め、短い時間で蒸発・乾燥が行われる。メディアの表面
上に残った固形分は、メディア同士の摩擦・衝突作用に
よりメディア表面から剥離する。このようにして、泥漿
中に分散された固形分、すなわち導電性セラミック粒
子、絶縁性セラミック粒子および焼結助剤粒子を、1次
粒子の大きさで効率良く取り出すことができる。また、
これらの方法によれば、静置式乾燥装置を用いて乾燥さ
せるときのように、ケーキ状乾燥物を解砕する工程が必
要とされないので、生産性も良好である。
【0010】また、絶縁性セラミック粉末はSi
、導電性セラミック粉末はTiN、MoSi
WSiおよびWCのグループから選択される1種から
なるものを使用することができる。各成分の密度は、以
下に示す通りである。Si=3.2、TiN=
5.43、MoSi=6.24、WSi=9.8
6、WC=15.8(単位:g/cm)。これらの値
から理解できるように、導電成分と絶縁成分との密度比
は、1.7〜4.9と大きい。したがって、粉末の凝集
傾向が強くなる水溶媒泥漿を調合する場合、後から解砕
を行うとしても、比重差による偏析を再び均一化するこ
とが難しい静置式の乾燥法は不向きであり、泥漿を常に
流動させつつ乾燥させる必要がある。
【0011】なお、“主として水”とは、質量%で水を
最も多く含むことを意味する。つまり、場合によっては
親水性の有機溶媒、たとえばアルコール類と水との混合
溶媒を使用することもできる。また、各粉末や泥漿に不
可避不純物が含まれることは当然であり、本明細書中で
は実質的な構成成分についてのみ言及している。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照しつつ本
発明の実施形態について説明する。セラミックヒータの
製造方法の概略は、乾燥工程を除いて図1に示したとお
りである。以下、その図1に基づき各工程について具体
的に説明する。
【0013】(調合)泥漿10は、導電性セラミック粉
末3、絶縁性セラミック粉末5および焼結助剤粉末7を
イオン交換水9に懸濁することにより得られる。絶縁性
セラミック粉末はSi、導電性セラミック粉末3
はTiN、MoSi、WSiおよびWCのグループ
から選択される1種の成分からなるものを好適に使用で
きる。各粉末は、予め個別に精製・粉砕が施されたもの
を使用するとよいが、泥漿10を作製する際に、ボール
ミルやアトライターを用いて粉末の微粉砕を行うように
してもよい。たとえば、導電性セラミック粉末3として
WCを用いる場合、レーザー回折式粒度計によって測定
される50%粒径が1μm程度に調製されたものを使用
するのがよい。絶縁性セラミック粉末5として用いるS
の場合は同じく50%粒径が1μm程度のもの
を使用するとよい。
【0014】焼結助剤としては、高温での特性を向上さ
せるため、希土類酸化物を主として周期律表の3A、4
A、5A、3B(たとえばAl)および4B(たとえば
Si)の各族の元素群から選ばれる少なくとも1種の元
素を酸化物の形で3〜15質量%の割合で混合するとよ
い。焼結助剤成分が3質量%未満では緻密な焼結体が得
にくくなり、15質量%を超えると強度や靭性あるいは
耐熱性の不足を招く。焼結助剤成分の含有量は、望まし
くは5〜10質量%とするのがよい。焼結助剤粉末7に
ついても、その50%粒径が予め5μm程度に調製され
たものを使用するとよい。
【0015】導電性セラミック粉末3を15〜40質量
部、絶縁性セラミック粉末5を20〜50質量部、焼結
助剤粉末7を1〜5質量部、イオン交換水9を25〜5
0質量部、各々秤量し、攪拌ポット16を用いて混ぜ合
わせることにより泥漿10が得られる。また、後述する
回転式乾燥装置または振動式乾燥装置を用いて泥漿10
を乾燥させる場合、それらの乾燥装置に上記した個々の
原料粉末と水とを直接投入することができる。流動層乾
燥装置を用いる場合は、該装置において直接泥漿10を
作ることはできないので、別途用意する。なお、導電性
セラミックを用いてセラミックヒータを作製する場合、
一般的な解膠剤は使用しない方がよい。なぜなら、Na
等の成分が原料粉末に混入した場合、低融点のガラス相
が生成され、セラミックヒータの高温耐久性を低下させ
るからである。
【0016】(乾燥)泥漿10の乾燥方法について、い
くつか説明する。まず、図3は、振動式乾燥装置40を
示す模式図である。振動式乾燥装置40は、中空の容器
43がスプリング41で支持され、その容器43にジョ
イントされたロッド44を介してバイブレータ42で発
生された振動が伝達されるように構成されている。メデ
ィア22は、容器43の容積の10〜80%程度充填す
る。この振動式乾燥装置40に、先に別途準備した泥漿
10を供給する。ただし、この振動乾燥装置40および
後述する回転式乾燥装置70に関していえば、各原料粉
末3,5,7と水9とを直接投入することができる。つ
まり、各粉末が混ざり合うように振動あるいは回転を与
えて十分に懸濁させた後、連続して乾燥を開始すること
ができる。この方法によれば、泥漿10をいちいち調製
する手間、輸送する手間が省けるため、生産性の向上が
期待できる。ただしその方法では、泥漿10を次々と乾
燥させる連続乾燥の実現は難しい。
【0017】十分に懸濁させた泥漿10に対し、熱風H
Gを容器43内に送り込む。泥漿10は、激しく振動す
るメディア22により十分に分散され、メディア22の
表面において薄膜状の形態を呈するとともに、水分が急
速に蒸発する。泥漿10に含まれる水分は、排出ガスO
Gとともに飛散する。メディア同士の衝突による打撃作
用により、2次粒子の発生が抑制され、各原料粉末が1
次粒子の大きさで十分に混ざり合った発熱体原料粉末2
4が得られる。また、容器43を2重にし、内側の容器
が密閉可能、内側容器と外側容器との間に加熱媒体を流
通させることにより間接加熱が可能となるように構成す
れば、減圧加熱もできる。乾燥が終了したのち、排出口
46より発熱体原料粉末24を回収する。本実施形態で
はバッチ式の装置を示したが、泥漿10を断続的に供給
しつづける連続式も採用できる。このことは、以下に示
すいくつかの方法についても同様である。
【0018】また、熱風HGの温度は、泥漿10の乾燥
が十分に進み、かつ原料粉末に熱変質等の不具合が生じ
ない範囲、たとえば100〜200℃にて適宜設定され
る。泥漿10の溶媒が水のみ、あるいは水を主体とする
ものである場合、熱風温度が100℃未満になると、泥
漿10の乾燥が十分進まず、得られる発熱体原料粉末2
4の水分含有量が高くなり過ぎて凝集を起こしやすくな
る恐れがある。熱風HGの温度条件については、後述す
る別の乾燥方法においても同様にする。なお、熱風HG
を供給する替わりに、赤外線ヒータなどで泥漿10を収
容させる容器自体を加熱する方法も採用できる。
【0019】また、メディア22は、実質的に泥漿10
の分散と乾燥、さらには粉末の粉砕に寄与するもので、
アルミナ、窒化珪素、ジルコニアなどのセラミック製ボ
ールや、鋼球をウレタン樹脂やエポキシ樹脂で被覆した
ものが使用できる。通常の乾燥装置は、ステンレススチ
ール製の容器本体を備えるので、金属不純物の混入をな
るべく少なくするためにも、樹脂被覆した鋼球を使用す
るのが望ましい。樹脂ならば、原料粉末に混入したとし
ても焼成時に脱離されるため問題になりにくい。また、
特に球である必要もなく、方形状、筒状、板状など形を
適宜変更して使用することもできる。振動式乾燥装置4
0および後述する回転式乾燥装置70に使用するメディ
ア22としては、たとえばφ25mm程度の樹脂コート
鋼球が好適である。なお、乾燥装置における容器内部が
ウレタン樹脂などでライニングされていると一層望まし
い。
【0020】次に、図4は、流動層乾燥装置50を示す
模式図である。該装置50は、縦に配置された筒状の容
器54を有し、その下方に熱風HGの流入口55が設け
られている。容器54内には、熱風HGの通過を許容し
メディア22の通過は許容しない気体流通体、たとえば
網や穴明き板等で構成されたメディア保持部47が設け
られている。そして、そのメディア保持部47上に、メ
ディア22が層状に集積されている。容器54内におい
て、熱風HGはメディア保持部47の下側からメディア
22を躍動させつつ上側に抜けるように流通される。他
方、泥漿10は、ノズル51を通じてメディア22に対
し、上方から落下供給される。これにより、泥漿10が
熱風HGにより乾燥されてメディア2の表面に原料粉末
が付着する。そして、熱風HGの流通により、メディア
22は躍動・落下を繰り返して相互に打撃を加え合い、
さらにその打撃による擦れ合いにより、粉末の凝集が抑
制される。一定以下の粒径の原料粉末は、熱風HGとと
もに飛散して、サイクロン52およびバグフィルタ53
に捕集される。
【0021】なお、この流動層乾燥装置50において使
用するメディア22は、熱風HGを流通させた際に、躍
動が十分起こるとともに、原料粉末に十分な打撃力を付
与できる重さ・大きさに調整されていることが重要であ
る。さらに、なるべく大きさの揃ったものを使用するこ
とが、メディア間に適度な隙間を形成して、熱風流通時
のメディアの運動を促進する上で望ましい。
【0022】次に、図5は、回転式乾燥装置70を示す
模式図である。回転式乾燥装置70は、水平から少し傾
斜した回転軸Oを有するように支持された長筒状の容器
68を備える。容器68は、ギアリング71を介してモ
ータ72により回転駆動される。熱風HGは、回転軸O
方向における容器68の一端側から流入される。泥漿1
0は、回転軸O方向における一端側かつ上方に位置する
側から、容器68に流入される。この回転式乾燥装置7
0は、泥漿10の流入口と熱風HGの流入口とが同じ側
にあり、泥漿10の進行方向と熱風HGの進行方向とが
一致する並流方式が採用されていが、泥漿10の進行方
向と熱風HGの進行方向とが逆になる向流式も当然採用
できる。泥漿10は、容器68の回転運動により躍動中
のメディア22に分散されつつ容器68内を下流側に向
かって進み、水分の蒸発が促進される。泥漿10の乾燥
により生成された発熱体原料粉末24は、容器68にお
ける下流側に配置された回収部73に集められる。発熱
体原料粉末は排出ガスOGにも含まれるが、サイクロン
やバグフィルタにより完全に捕集される。
【0023】以上、いずれかの乾燥装置により泥漿10
を乾燥させて発熱体原料粉末24を得る。図1に示すよ
うに、その発熱体原料粉末24はバインダ26とともに
混錬されたのち、射出成形装置25において金型29に
射出される(1−4)。本実施形態に示す方法によれ
ば、静置式乾燥法で必要とされる解砕工程を行う必要は
ない。金型29より未焼成の抵抗発熱体28を取り出
し、別途用意した未焼成のセラミック基体30に埋設す
る。セラミック基体30を構成する絶縁性セラミックと
して、本実施形態では窒化珪素質セラミックが採用され
ている。窒化珪素質セラミックの組織は、窒化珪素(S
)を主成分とする主相粒子が、前述した焼結助
剤成分等に由来した粒界相により結合された形態のもの
である。なお、主相は、SiあるいはNの一部が、Al
あるいはOで置換されたもの、さらには、相中にY等の
金属原子が固溶したものであってもよい。窒化珪素質セ
ラミックには、前述した焼結助剤成分を同程度に含有さ
せることができる。それら抵抗発熱体28とセラミック
基体30とをHIP法などの方法により焼成することに
より、セラミックヒータ1が得られる。
【0024】
【実験例】(実験例1)本発明の効果を確かめるために
以下の実験を行った。まず、WC粉末5vol%(平均
粒径1μm)、Si粉末19vol%(平均粒径
1μm)、Er 粉末0.8vol%(平均粒径5
μm)、SiO粉末0.2vol%(平均粒径5μ
m)、イオン交換水75vol%の割合で各々を攪拌ポ
ット16に入れて懸濁し、泥漿10を得た。この泥漿1
0を、静置式乾燥+乾式解砕(ボールミル)、振動
式乾燥(メディア使用)の2種の方法によりそれぞれ乾
燥させて発熱体原料粉末24を得た。およびの方法
により得られた発熱体原料粉末24をそれぞれバインダ
と混合し、射出成形法により成形して未焼成の抵抗発熱
体28を得た。それを窒化珪素質セラミック基体30に
埋設したのち、焼成してセラミックヒータ1を得た。
【0025】次に、それらのセラミックヒータ1につい
て通電耐久性を調べた。通電耐久性は、セラミックヒー
タ1に対し一定の電圧により1分間通電した後、30秒
室温で放冷する工程を1サイクルとしてこれを繰返し、
断線を生じた時点でのサイクル数を耐久限界として記録
した。なお、通電電圧は、1回目通電時におけるヒータ
の最高到達温度がそれぞれ1300℃、1350℃、1
400℃、1450℃となるように設定した。各温度に
おける通電耐久試験は、5つのサンプルについて実施し
た。結果を表1および表2に示す。表1(比較例)は乾
燥法、表2(実施例)は乾燥法の結果を示す。
【0026】
【表1】
【0027】
【表2】
【0028】発熱温度を1400℃に設定した試験につ
いて着目し、静置式乾燥(表1)、メディアを併用した
振動乾燥(表2)、のそれぞれについて5つのサンプル
の耐久回数平均を求めるとそれぞれ、4733回、41
600回であった。この結果から、原料や他の工程が全
く同一でも、乾燥方法の相違により著しい性能の差が生
じることが分かる。静置式乾燥では、泥漿10の乾燥中
に成分が偏析したことにより不均一組織が発生し、断線
の原因となる異常発熱を引き起こしたものと考えられ
る。他方、本実施形態の方法によればそのような不具合
は生じず、十分な通電耐久性を有するセラミックヒータ
1を製造することができた。以上より、水を溶媒として
セラミックヒータ1を製造する際の泥漿10の乾燥は、
本実施形態において説明した方法のいずれかにより、注
意深く行わなければならないと言える。
【0029】(実験例2)次に、導電性セラミック粉末
として、TiN、MoSi、WSiおよびWCを使
用し、実施例1と同様の方法によりセラミックヒータ1
を作製した。用いた導電成分と乾燥方法とにより分類さ
れるセラミックヒータ1について、3点曲げ抗折試験を
実施した。抗折試験は、セラミックヒータ1の先端の丸
め部に隣接した定径部において、スパン12mm、クロ
スヘッドスピード0.5mm/secとして測定した。
なお、セラミックヒータの定径部における直径は3.5
mmである。結果を表3および表4に示す。表3(比較
例)は前述の乾燥法、表4(実施例)は乾燥法の結
果を示す。
【0030】
【表3】
【0031】
【表4】
【0032】静置式乾燥を採用した場合(表3参照)に
比べ、本実施形態での乾燥方法を採用した場合、低強度
品はほとんど発生せず、安定して高強度(具体的には1
000MPa以上の3点曲げ抗折強度)を有するセラミ
ックヒータ1が得られた。エンジンの燃焼室内という苛
酷な環境に曝されるグロープラグ用セラミックヒータに
は、1000MPa以上の3点曲げ抗折強度が必要であ
る。そうだとすれば、水を溶媒にする場合には、本実施
形態で示した方法により泥漿10を乾燥させて発熱体原
料粉末24を得るとよい。
【0033】なお、本明細書の特許請求の範囲において
各要件に付与した符号は、添付の図面の対応部分に付さ
れた符号を援用して用いたものであるが、あくまでも発
明の理解を容易にするために付与したものであり、特許
請求の範囲における各構成要件の概念をなんら限定する
ものではない。
【図面の簡単な説明】
【図1】原料粉末からセラミックヒータが得られるまで
の過程を示す説明図。
【図2】発熱体原料粉末が示すいくつかの形態と、発熱
体原料粉末の形態に応じてセラミックヒータに発生する
不具合を説明する図。
【図3】振動式乾燥装置を示す模式図。
【図4】流動層乾燥装置を示す模式図。
【図5】回転式乾燥装置を示す模式図。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 導電性セラミック粉末(3)、絶縁性セ
    ラミック粉末(5)および焼結助剤粉末(7)を溶媒
    (9)と混合し、得られた泥漿(10)を乾燥させて発
    熱体原料粉末(24)を得たのち、その発熱体原料粉末
    (24)を成形した抵抗発熱体(28)をセラミック基
    体(30)に埋設して焼成することにより得られるセラ
    ミックヒータ(1)の製造方法において、 前記溶媒(9)には主として水を使用し、かつ前記泥漿
    (10)は、流動層乾燥装置(50)、回転式乾燥装置
    (70)および振動式乾燥装置(40)から選択される
    1種の装置を用いて乾燥させ、その際にメディア(2
    2)を併用することを特徴とするセラミックヒータ
    (1)の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記絶縁性セラミック粉末(5)はSi
    からなり、前記導電性セラミック粉末(3)は、
    TiN、MoSi、WSiおよびWCのグループか
    ら選択される1種からなる請求項1記載のセラミックヒ
    ータ(1)の製造方法。
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