JP2003254861A - 液晶パネル検査方法及び装置 - Google Patents

液晶パネル検査方法及び装置

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JP2003254861A
JP2003254861A JP2002055928A JP2002055928A JP2003254861A JP 2003254861 A JP2003254861 A JP 2003254861A JP 2002055928 A JP2002055928 A JP 2002055928A JP 2002055928 A JP2002055928 A JP 2002055928A JP 2003254861 A JP2003254861 A JP 2003254861A
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crystal panel
lighting
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Kazuhiko Furuya
和彦 古屋
Eisuke Kanazawa
英祐 金澤
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Seiko Epson Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶パネルの点灯状態でのパネルの液晶層以
外にある異物及び液晶層の不良を検出すること。 【解決手段】 バックライト3により照射された液晶パ
ネル1に点灯チェッカー5により一定の駆動電圧を印加
し、その駆動電圧の印加時から所期の明るさになるまで
の間に、液晶パネル1をCCDカメラ6が所定の時間間
隔で連続撮像し、画像処理装置7がCCDカメラ6の撮
像した複数枚の画像を取り込み、複数枚の画像を2値化
し、これら複数枚の画像中に連続的に同じ位置に現れた
白画像又は黒画像の有無からパネルの液晶層以外にある
異物を検出し、複数枚の画像のうち、最初と最後の方を
除く中間の複数枚の画像を画像加算処理し、その画像加
算処理した画像を2値化し、これら画像加算処理画像中
又は中間の複数枚の画像中だけに現れた白画像又は黒画
像の有無から異物、配光不良等の液晶層の不良を検出す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は例えば液晶パネルの
非点灯状態における非点灯ムラと点灯状態における液晶
パネルの液晶層以外にある異物の検出、液晶層の異物の
検出及び点灯ムラの画面検査ができる液晶パネル検査方
法及び装置に関する。従来より、液晶パネルの検査工程
において、液晶パネルの画面検査は人の目による官能検
査に頼っているため、検査員の教育及び検査人員の確保
が困難になり、また人による検査精度にバラツキがあ
り、検査の機械化が必要となっている。そのためには、
画像処理技術を応用し、収集した画像を解析することに
より、液晶パネルの良否を自動的に判断する検査方法及
び装置が要望されている。
【0002】
【従来の技術】特開平5−5709号公報に開示されて
いる従来の画面検査装置は、配向むら等によるコントラ
ストの低い、また濃度変化のなだらかな不良も、異なる
駆動電圧により画面を動作させてテレビカメラにてその
画像を入力し、異なる駆動電圧による画像の濃度比率を
演算し、濃度比率による画像データを作成することでシ
ェーディングの影響を受けずに不良部分を強調すること
により、濃度変化の違いから画面不良部分を検出するよ
うにしたものである。また、特開平9−318687号
公報に開示されている従来の液晶表示板検査装置は、駆
動電圧を変化させながら取り込んだ画像データを加算し
て、形成された加算画像データを正規化すると、この正
規化されて形成された正規化画像は、撮像された画像よ
り輝度差(コントラスト差)が高くなるため、非常にコ
ントラストの低い画像でも、液晶表示板の欠陥を検出す
るようにしたものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の画
面検査装置と液晶表示板検査装置のいずれも、各液晶パ
ネル毎に駆動電圧を変化させながら画像を取り込むため
に検査時間がかかり、また駆動電圧を変化させる駆動電
圧変動回路や駆動電圧制御部を個別に設計、製作しなけ
ればならず、欠陥を検出する画像処理ソフトの製作にも
手間がかかるという問題点があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明に係る液晶パネル
検査方法及び装置は、バックライトを液晶パネルの背面
に配置すると共に、液晶パネル表面の直上に撮像手段を
配置し、バックライトの照明光により照射された液晶パ
ネルの透過光を撮像手段で撮像し、画像処理装置が撮像
手段により撮像された画像を取り込んで2値化し、2値
化した画像中に現れた白画像の有無から液晶ギャップム
ラ、配光不良等の非点灯ムラを検出するようにしたもの
である。
【0005】このように、バックライトの照明光により
照射された液晶パネルの透過光を撮像手段で撮像し、画
像処理装置が撮像手段により撮像された画像を取り込ん
で2値化し、2値化した画像中に現れた白画像の有無か
ら液晶ギャップムラ、配光不良等の非点灯ムラを検出す
るようにしたので、液晶ギャップムラ、配光不良等の非
点灯ムラの有無を2値化した画像中の白画像の有無によ
り簡単に検出することができ、非点灯ムラの検出の自動
化が図れることとなった。また、その白画像の大きさか
ら液晶パネルの非点灯ムラの大きさを判定することもで
きる。
【0006】また、本発明に係る液晶パネル検査方法及
び装置は、バックライトを液晶パネルの背面に配置する
と共に、液晶パネル表面の直上に撮像手段を配置し、液
晶パネルに一定の駆動電圧を出力す点灯チェッカーを接
続し、バックライトの照明光により照射された液晶パネ
ルに対して点灯チェッカーにより一定の駆動電圧を印加
し、その駆動電圧の印加時から所期の明るさになるまで
の間に、液晶パネルの点灯画面を撮像手段が所定の時間
間隔で連続撮像し、画像処理装置が撮像手段により連続
撮像された複数枚の画像を取り込み、複数枚の画像を2
値化し、2値化した複数枚の画像中に連続的に同じ位置
に現れた白画像又は黒画像の有無から液晶パネルの液晶
層以外にある異物を検出し、複数枚の画像のうち、最初
と最後の方を除く中間の複数枚の画像を画像加算処理
し、その画像加算処理した画像を2値化し、2値化した
画像加算処理画像中又は中間の複数枚の画像中だけに現
れた白画像又は黒画像の有無から異物、配光不良等の液
晶層の不良を検出するようにしたものである。
【0007】このように、バックライトの照明光により
照射された液晶パネルに対して点灯チェッカーにより一
定の駆動電圧を印加し、その駆動電圧の印加時から所期
の明るさになるまでの間に、液晶パネルの点灯画面を撮
像手段が所定の時間間隔で連続撮像し、画像処理装置が
撮像手段により連続撮像された複数枚の画像を取り込
み、複数枚の画像を2値化し、2値化した複数枚の画像
中に連続的に同じ位置に現れた白画像又は黒画像の有無
から液晶パネルの液晶層以外にある異物を検出し、複数
枚の画像のうち、最初と最後の方を除く中間の複数枚の
画像を画像加算処理し、その画像加算処理した画像を2
値化し、2値化した画像加算処理画像中又は中間の複数
枚の画像中だけに現れた白画像又は黒画像の有無から異
物、配光不良等の液晶層の不良を検出するようにしたの
で、液晶パネルの液晶層以外にある異物の有無を2値化
した複数枚の画像中に連続的に同じ位置に現れた白画像
又は黒画像の有無により簡単に検出することができ、さ
らに液晶パネルの液晶層以外にある異物、配光不良等の
液晶層の不良の有無を2値化した画像加算処理画像中又
は中間の複数枚の画像中だけに現れた白画像又は黒画像
の有無により簡単に検出することができ、液晶パネルの
液晶層以外にある異物の検出と液晶層の不良の検出の自
動化が図れることとなった。また、その白画像の大きさ
から液晶パネルの液晶層以外にある異物又は液晶層の不
良の大きさを判定することもできる。
【0008】さらに、本発明に係る液晶パネル検査方法
及び装置は、バックライトを液晶パネルの背面に配置す
ると共に、液晶パネル表面の直上に撮像手段を配置し、
液晶パネルに一定の駆動電圧を出力す点灯チェッカーを
接続し、バックライトの照明光により照射された液晶パ
ネルに対して点灯チェッカーにより一定の駆動電圧を印
加し、所期の明るさになった時に、液晶パネルの点灯画
面を撮像手段が撮像し、画像処理装置が撮像手段により
撮像された画像を取り込んで2値化して反転処理した画
像中に現れた白画像の有無から液晶ギャップムラ、配光
不良等の点灯ムラを検出するようにしたものである。
【0009】このように、バックライトの照明光により
照射された液晶パネルに対して点灯チェッカーにより一
定の駆動電圧を印加し、所期の明るさになった時に、液
晶パネルの点灯画面を撮像手段が撮像し、画像処理装置
が撮像手段により撮像された画像を取り込んで2値化
し、反転処理した画像中に現れた白画像の有無から液晶
ギャップムラ、配光不良等の点灯ムラを検出するように
したので、液晶ギャップムラ、配光不良等の点灯ムラの
有無を2値化して反転処理した画像中の白画像の有無に
より簡単に検出することができ、点灯ムラの検出の自動
化が図れることとなった。また、その白画像の大きさか
ら液晶パネルの点灯ムラの大きさを判定することもでき
る。
【0010】さらに、本発明に係る液晶パネル検査方法
及び装置は、バックライトを液晶パネルの背面に配置す
ると共に、液晶パネル表面の直上に撮像手段を配置し、
液晶パネルに一定の駆動電圧を出力す点灯チェッカーを
接続し、バックライトの照明光により照射された液晶パ
ネルの透過光を撮像手段で撮像し、画像処理装置が撮像
手段により撮像された画像を取り込んで2値化し、2値
化した画像中に現れた白画像の有無から液晶ギャップム
ラ、配光不良等の非点灯ムラを検出し、さらにバックラ
イトの照明光により照射された液晶パネルに対して点灯
チェッカーにより一定の駆動電圧を印加し、その駆動電
圧の印加時から所期の明るさになるまでの間に、液晶パ
ネルの点灯画面を撮像手段が所定の時間間隔で連続撮像
し、画像処理装置が撮像手段により連続撮像された複数
枚の画像を取り込み、複数枚の画像を白画像強調フィル
ター処理又は/及び黒画像強調フィルター処理し、白強
調画像を2値化処理し、又黒強調画像を2値化して反転
処理し、2値化又は2値化して反転した複数枚の画像中
に連続的に同じ位置に現れた白画像の有無から液晶パネ
ルの液晶層以外にある異物を検出し、又複数枚の画像の
うち、最初と最後の方を除く中間の複数枚の画像を画像
加算処理し、その画像加算処理した画像を白画像強調フ
ィルター処理又は/及び黒画像強調フィルター処理し、
白強調画像を2値化処理し、又黒強調画像を2値化して
反転処理し、2値化又は2値化して反転した画像加算処
理画像中又は中間の複数枚の画像中だけに現れた白画像
の有無から異物、配光不良等の液晶層の不良を検出し、
さらにバックライトの照明光により照射された液晶パネ
ルに対して点灯チェッカーにより一定の駆動電圧を印加
し、所期の明るさになった時に、液晶パネルの点灯画面
を撮像手段が撮像し、画像処理装置が撮像手段により撮
像された画像を取り込んで2値化し、反転処理した画像
中に現れた白画像の有無から液晶ギャップムラ、配光不
良等の点灯ムラを検出するようにしたものである。
【0011】このように、バックライトの照明光により
照射された液晶パネルの透過光を撮像手段で撮像し、画
像処理装置が撮像手段により撮像された画像を取り込ん
で2値化し、2値化した画像中に現れた白画像の有無か
ら液晶ギャップムラ、配光不良等の非点灯ムラを検出
し、さらにバックライトの照明光により照射された液晶
パネルに対して点灯チェッカーにより一定の駆動電圧を
印加し、その駆動電圧の印加時から所期の明るさになる
までの間に、液晶パネルの点灯画面を撮像手段が所定の
時間間隔で連続撮像し、画像処理装置が撮像手段により
連続撮像された複数枚の画像を取り込み、複数枚の画像
を白画像強調フィルター処理又は/及び黒画像強調フィ
ルター処理し、白強調画像を2値化処理し、又黒強調画
像を2値化して反転処理し、2値化又は2値化して反転
した複数枚の画像中に連続的に同じ位置に現れた白画像
の有無から液晶パネルの液晶層以外にある異物を検出
し、又複数枚の画像のうち、最初と最後の方を除く中間
の複数枚の画像を画像加算処理し、その画像加算処理し
た画像を白画像強調フィルター処理又は/及び黒画像強
調フィルター処理し、白強調画像を2値化処理し、又黒
強調画像を2値化して反転処理し、2値化又は2値化し
て反転した画像加算処理画像中又は中間の複数枚の画像
中だけに現れた白画像の有無から異物、配光不良等の液
晶層の不良を検出し、さらにバックライトの照明光によ
り照射された液晶パネルに対して点灯チェッカーにより
一定の駆動電圧を印加し、所期の明るさになった時に、
液晶パネルの点灯画面を撮像手段が撮像し、画像処理装
置が撮像手段により撮像された画像を取り込んで2値化
し、反転処理した画像中に現れた白画像の有無から液晶
ギャップムラ、配光不良等の点灯ムラを検出するように
したので、液晶ギャップムラ、配光不良等の非点灯ムラ
の有無を2値化した画像中の白画像の有無により簡単に
検出することができ、液晶パネルの液晶層以外にある異
物の有無を2値化又は2値化して反転した複数枚の画像
中に連続的に同じ位置に現れた白画像の有無により簡単
に検出することができ、さらに液晶パネルの異物、配光
不良等の液晶層の不良の有無を2値化又は2値化して反
転した画像加算処理画像中又は中間の複数枚の画像中だ
けに現れた白画像の有無により簡単に検出することがで
き、液晶ギャップムラ、配光不良等の点灯ムラの有無を
2値化し、反転処理した画像中白画像の有無により簡単
に検出することができ、非点灯ムラ、液晶パネルの異
物、液晶層の不良及び点灯ムラの検出の自動化が図れる
こととなった。また、その白画像の大きさから液晶パネ
ルの非点灯ムラ、液晶パネルの液晶層以外にある異物、
液晶層の不良又は液晶パネルの非点灯ムラの大きさを判
定することもできる。
【0012】
【発明の実施の形態】図1は本発明の実施の形態に係る
液晶パネル検査装置の構成を示すブロック図、図2は同
液晶パネル検査装置の画像取り込みタイミングを示すタ
イミングチャート、図3は同液晶パネル検査装置の動作
を示すフローチャート、図4は同液晶パネル検査装置の
非点灯ムラを検出する画像処理の説明図、図5は同液晶
パネル検査装置の連続画像における白画像強調フィルタ
及び2値化処理の説明図、図6は同液晶パネル検査装置
の連続画像における加算処理画像の白画像強調フィルタ
及び2値化処理の説明図、図7は同液晶パネル検査装置
の連続画像における黒画像強調フィルタ及び2値化処理
の説明図、図8は同液晶パネル検査装置の連続画像にお
ける加算処理画像の黒画像強調フィルタ及び2値化処理
の説明図、図9は同液晶パネル検査装置の点灯ムラを検
出する画像処理の説明図である。
【0013】図1において、1は点灯治具2に設置され
た液晶パネル、3は液晶パネル1のバックライト照明を
行うバックライト、4はバックライト3を点灯するバッ
クライト用点灯装置、5は液晶パネル1に所定の駆動電
圧を印加して液晶パネル1を点灯させる点灯チェッカ
ー、6は液晶パネル1の直上に配置され、液晶パネル1
を撮像する撮像手段であるCCDカメラ、7は後述する
画像処理をし、液晶パネル1の画面の良否判定を行い、
点灯チェッカー5,CCDカメラ6を駆動制御する画像
処理装置、8は画像処理装置7が画像処理した画像を表
示するモニタである。
【0014】次に、本発明の実施の形態の液晶パネル検
査装置の動作について図1及び図3のフローチャートに
基づいて説明する。まず、点灯治具2に検査すべき液晶
パネル1がセットされて検査がスタートする(ステップ
S1)。次に、バックライト点灯装置4により液晶パネ
ル1の背面側に配置されているバックライト3を点灯さ
せる(ステップS2)。しかる後に、画像処理装置7は
CCDカメラ6が撮像したバックライト照明のみの液晶
パネル1の非点灯画像を取り込む(ステップS3)。こ
の非点灯画像の取り込みは、図2に示す画像取り込みタ
イミングでは、液晶パネル1にバックライト照明はされ
ているが、液晶パネル1に駆動電圧が印加されていない
非点灯画像取り込み範囲S1で行われる。
【0015】その非点灯画像を取り込んだ画像処理装置
7では以下に述べる画像処理によって非点灯ムラを検出
する(ステップS4)。画像処理装置7の非点灯ムラを
検出する画像処理は、図4の(a)に示す取り込んだ非
点灯画像P1を白強調フィルター処理し、図4の(b)
に示す白強調画像P2とし、さらにその白強調画像P2
を2値化処理し、図4の(c)に示す2値化した画像P
3とする。このように、画像処理装置7で取り込んだ図
4の(a)に示す非点灯画像P1中の薄く白く見える白
画像P1aは、液晶ギャップムラや配光不良による非点
灯ムラ不良であることを示している。この非点灯画像P
1を白強調フィルター処理するのは、図4の(a)に示
す非点灯画像P1のバックライト照明により薄く白く見
える白画像P1aをより強調するためである。さらに、
図4の(b)に示す白強調フィルター処理された画像P
2を2値化処理するのは、強調された白画像P2aの不
良部分とそれ以外の黒ぽい画像の正常な部分との差を明
確にするためである。
【0016】そこで、その2値化した画像P3に白画像
P3aが有るかどうかを判断する。白画像P3aが有れ
ば、その白画素数を計測する。なお、2値化した液晶パ
ネル1の画像P3は検査経過を見るためにモニタ8に映
し出される。この液晶パネル1の画像中の白画像P3a
の画素数が4〜5画素あれば、液晶パネル1に非点灯ム
ラ不良があると判定し、4画素以下であれば、それはノ
イズ等によるものとして液晶パネル1に非点灯ムラ不良
が無いと判定する。そして、白画像の画素数により、非
点灯ムラ不良の大きさを判定する。ここで、1画素は4
0ミクロンであるから、非点灯ムラの大きさは200ミ
クロンということになる。なお、この段階で液晶パネル
1に非点灯ムラ不良が有ると判定された場合には、その
液晶パネル1は不良品であり、それ以降の検査は必要な
いため、点灯治具2から液晶パネル1が取り除かれる。
従って、液晶パネル1に非点灯ムラ不良が無いと判定さ
れた場合に次のステップに進むことになる。
【0017】次に、画像処理装置7は点灯チェッカー5
に点灯チェッカー信号を出力し、点灯チェッカー5を駆
動させて一定の点灯駆動電圧Vopを液晶パネル1に印
加し、液晶パネル1に画面表示させる(ステップS
5)。液晶パネル1に一定の点灯駆動電圧Vopを印加
すると、それ自身が持つ液晶パネル応答速度で画面が立
ち上がり所定時間後に所期の明るさで画面が点灯され
る。そこで、画像処理装置7は駆動電圧印加時から所期
の明るさになるまでの間に10ms〜33msの間隔で
連続してCCDカメラ6が撮像した液晶パネル1の3枚
〜10枚の点灯画像を取り込む(ステップS6)。この
点灯画像の取り込みは、図2に示す画像取り込みタイミ
ングでは、液晶パネル1にバックライト照明がされてい
る状態で、液晶パネル1に駆動電圧が印加されてから所
期の明るさに立ち上がるまでの点灯画像取り込み範囲S
2で行われる。
【0018】こうして、画像処理装置7はCCDカメラ
6が撮像した液晶パネル1の点灯画像の10枚の取り込
みを終わると、画像処理装置7は連続画像取り込み完了
信号を出力して取り込んだ連続画像をモニタ8に表示さ
せる(ステップS8)。その10枚の点灯画像を取り込
んだ画像処理装置7では、以下に述べる画像処理によっ
て液晶パネル1の欠陥を検出する(ステップS8)。画
像処理装置7が取り込んだ10枚の点灯画像CP1〜C
P10を図5の(a)に示す。ここで、図5の(a)に
示す連続した10枚の点灯画像CP1〜CP10におい
て、点灯画像CP3中の白画像W3は、通常液晶パネル
1の液晶層以外にある異物不良を示し、大体点灯画像C
P1〜CP8で検出されるものである。また、点灯画像
CP4中の白画像W4は、通常液晶パネル1の異物、配
光不良等の液晶層の不良を示し、大体中間の点灯画像C
P4〜CP8で検出されるものである。さらに、点灯画
像CP8中の黒画像B8は、通常液晶パネル1の異物、
配光不良等の液晶層の不良を示し、大体中間の点灯画像
CP4〜CP8で検出されるものである。さらに又、点
灯画像CP10中の黒画像B10は、通常液晶パネル1
の液晶層以外にある異物不良を示し、点灯画像CP1〜
CP10で検出されるものである。
【0019】画像処理装置7による液晶パネル1の欠陥
を検出する画像処理のうち、まず点灯画像CP1〜10
中に「白画像」として現れる欠陥を検出する画像処理に
ついて説明する。その画像処理は、まず図5の(a)に
示す連続した10枚の点灯画像CP1〜CP10を白強
調フィルター処理して図5の(b)に示す白強調画像C
P1A〜CP10Aとする。また、図6に示すように、
その点灯画像CP1〜CP10のうち、点灯画像CP3
〜CP8を画像加算処理する。このように点灯画像CP
3〜CP8を選択したのは、これら中間の画像に欠陥が
現れ易いからであり、画像加算処理するのは、現れた欠
陥を1枚の画像にまとめて現すためである。しかる後
に、加算処理した画像CP11を更に白強調フィルター
処理して図6に示す白強調画像CP12とする。
【0020】次に、図5の(b)に示す白強調画像CP
1A〜CP10Aを2値化処理し、図5の(c)に示す
2値化した画像CP1B〜CP10Bとする。また、図
6に示す画像加算処理され、且つ白強調フィルター処理
された白強調画像CP12を2値化処理し、図6に示す
2値化した画像CP13とする。こうして図5の(c)
に示す2値化した画像CP1B〜CP10Bと図6に示
す2値化した画像CP13とについて白画像の計測処理
を行う。この白画像の計測処理の計測画像は2値化した
画像CP1B〜CP10Bと2値化した画像CP13で
あり、計測内容は画像中の白画像の面積(画素数)と座
標位置(X、Y)である。
【0021】かかる白画像の計測処理は、まず検出白画
像の画像NO.を拾い上げる。次に、2値化した画像C
P1B〜CP8Bまで連続的に同じ位置に白画像があれ
ば、液晶パネル1の液晶層以外にある異物と判定する。
また、2値化した画像の中間画像であるCP3B〜CP
8Bだけに、又は画像加算処理され、且つ白強調フィル
ター処理された画像の2値化した画像CP13に白画像
があれば、液晶パネル1の異物、配光不良という液晶層
の不良が有ると判定する。そして、白画像の画素数によ
り、液晶層の不良の大きさを判定する。なお、2値化し
た画像CP1B〜CP10Bと2値化した画像CP13
は検査経過を見るためにモニタ8に映し出される。
【0022】次に、点灯画像CP1〜10中に「黒画
像」として現れる欠陥を検出する画像処理について説明
する。その画像処理は、まず図7の(a)に示す連続し
た10枚の点灯画像CP1〜CP10を黒強調フィルタ
ー処理して図7の(b)に示す黒強調画像CP1C〜C
P10Cとする。次に、図8に示すように、その点灯画
像CP1〜CP10のうち、点灯画像CP3〜CP8を
画像加算処理する。このように点灯画像CP3〜CP8
を選択したのは、これら中間の画像に欠陥が現れ易いか
らであり、画像加算処理するのは、現れた欠陥を1枚の
画像にまとめて現すためである。しかる後に、加算処理
した画像CP11を更に黒強調フィルター処理して図8
に示す黒強調画像CP22とする。
【0023】次に、図7(b)に示す黒強調画像CP1
C〜CP10Cを2値化処理し、図7の(c)に示す2
値化し、反転した画像CP1D〜CP10Dとする。ま
た、図8に示す画像加算処理さ、且つ黒強調フィルター
処理された黒強調画像CP22を2値化反転処理し、図
8に示す2値化して反転した画像CP23とする。ここ
で反転処理したのは、黒強調画像中の黒画像を白画像に
して見易くするためである。こうして図7の(c)に示
す2値化し、反転した画像CP1D〜CP10Dと図8
に示す2値化し、反転した画像CP23とについて白画
像の計測処理を行う。
【0024】この白画像の計測処理の計測画像は2値化
し、反転した画像CP1D〜CP10Dと2値化し、反
転した画像CP23Dであり、計測内容は画像中の白画
像の面積(画素数)と座標位置(X、Y)である。かか
る白画像の計測処理は、まず検出白画像の画像NO.を
拾い上げる。次に、2値化し、反転した画像CP1D〜
CP8Dまで連続的に同じ位置に白画像があれば、液晶
パネル1の液晶層以外にある異物と判定する。また、2
値化し、反転した画像の中間画像であるCP3D〜CP
8Dだけに、又は画像加算処理され、且つ黒強調フィル
ター処理された画像の2値化して反転した画像CP23
に白画像があれば、液晶パネル1の異物、配光不良とい
う液晶層の不良が有ると判定する。そして、白画像の画
素数により、液晶層の不良の大きさを判定する。なお、
2値化し、反転した画像CP1D〜CP10Dと2値化
し、反転した画像CP23DA検査経過を見るためにモ
ニタ8に映し出される。
【0025】こうしてステップS8の連続画像からの欠
陥検出処理が終了すれば、点灯ムラ検出を行う(ステッ
プS10)。画像処理装置7の点灯ムラを検出する画像
処理は、図9の(a)に示す取り込んだ点灯画像P11
を黒強調フィルター処理し、図9の(b)に示す黒強調
画像P12とし、さらにその白強調画像P12を2値化
し反転処理し、図9の(c)に示す2値化し、反転処理
した画像P13とする。このように、画像処理装置7で
取り込んだ図9の(a)に示す点灯画像P11中の薄く
黒く見える白画像p11aは、液晶ギャップムラや配光
不良による点灯ムラ不良であることを示している。この
点灯画像P11を黒強調フィルター処理するのは、図9
の(a)に示す点灯画像P11のバックライト照明によ
り薄く黒く見える黒画像P11aをより強調するためで
ある。さらに、図9の(b)に示す黒強調フィルター処
理された画像P12を2値化処理するのは、強調された
黒画像P12aの不良部分とそれ以外の黒ぽい画像の正
常な部分との差を明確にし、反転処理したのは、黒強調
画像中の黒画像を白画像にして見易くするためである。
【0026】そこで、その2値化し、反転処理した画像
P13に白画像P13aが有るかどうかを判断する。白
画像P13aが有れば、その白画素数を計測する。な
お、2値化し、反転処理した液晶パネル1の画像P13
は検査経過を見るためにモニタ8に映し出される。この
液晶パネル1の画像の白画像P13aの画素数が4〜5
画素あれば、液晶パネル1に点灯ムラ不良があると判定
し、4画素以下であれば、それはノイズ等によるものと
して液晶パネル1に点灯ムラ不良が無いと判定する。こ
こで、この液晶パネル1を撮像した総画素数は約100
万画素であり、液晶パネル1の大きさにもよるが1画素
は40ミクロンであるから、点灯ムラの大きさは100
ミクロンということになる。そして、白画像P13aの
画素数により、点灯ムラの大きさを判定する。
【0027】こうして点灯ムラの検出処理が終了した
ら、画像処理装置7は非点灯ムラの検査結果と、液晶パ
ネルの液晶層以外にある異物不良及び液晶層の不良の検
出結果と、点灯ムラの検査結果である良否判定結果を出
力してモニタ8に表示させる(ステップS11)。モニ
タ8への良否判定結果の表示が終了すれば、画像処理装
置7は検査完了信号を出力し(ステップS11)、検査
完了をモニタ8に表示させる。こうして1つの液晶パネ
ル1の検査が終了すれば、その液晶パネル1を点灯治具
2から取り外し、次の検査すべき液晶パネル1を点灯治
具2にセットすることにより、次の検査が行われること
となる。
【0028】上記実施の形態では、液晶パネル1の非点
灯ムラの検出処理をし、次に液晶パネル1の液晶層以外
にある異物不良及び液晶層の不良の検出処理をし、最後
に液晶パネル1の点灯ムラの検出処理をし、これらの検
査結果を順次モニタ8に表示させるようにしているが、
液晶パネル1の非点灯ムラの検出処理と、液晶パネル1
の表面上の異物不良及び液晶層の不良の検出処理と、液
晶パネル1の点灯ムラの検出処理とを独立して個別に行
い、それぞれの検査結果を別々にモニタ8に表示させる
ようにしてもよいことはいうまでもない。また、上記実
施の形態では、液晶パネル1を検査対象としているが、
液晶パネル1以外に、例えばエレクトリック ルミネッ
センス等の応答性がある表示体を検査対象とすることが
できることはいうまでもない。
【0029】
【発明の効果】以上のように本発明の液晶パネル検査方
法及び装置によれば、バックライトの照明光により照射
された液晶パネルの透過光を撮像手段で撮像し、画像処
理装置が撮像手段により撮像された画像を取り込んで2
値化し、2値化した画像中に現れた白画像の有無から液
晶ギャップムラ、配光不良等の非点灯ムラを検出するよ
うにしたので、液晶ギャップムラ、配光不良等の非点灯
ムラの有無を2値化した画像中の白画像の有無により簡
単に検出することができ、非点灯ムラの検出の自動化が
図れるという効果がある。また、その白画像の大きさか
ら液晶パネルの非点灯ムラの大きさを判定することもで
きる。
【0030】また、本発明の別の液晶パネル検査方法及
び装置によれば、バックライトの照明光により照射され
た液晶パネルに対して点灯チェッカーにより一定の駆動
電圧を印加し、その駆動電圧の印加時から所期の明るさ
になるまでの間に、液晶パネルの点灯画面を撮像手段が
所定の時間間隔で連続撮像し、画像処理装置が撮像手段
により連続撮像された複数枚の画像を取り込み、複数枚
の画像を2値化し、2値化した複数枚の画像中に連続的
に同じ位置に現れた白画像又は黒画像の有無から液晶パ
ネルの液晶層以外にある異物を検出し、複数枚の画像の
うち、最初と最後の方を除く中間の複数枚の画像を画像
加算処理し、その画像加算処理した画像を2値化し、2
値化した画像加算処理画像中又は中間の複数枚の画像中
だけに現れた白画像又は黒画像の有無から異物、配光不
良等の液晶層の不良を検出するようにしたので、液晶パ
ネルの液晶層以外にある異物の有無を2値化した複数枚
の画像中に連続的に同じ位置に現れた白画像又は黒画像
の有無により簡単に検出することができ、さらに液晶パ
ネルの異物、配光不良等の液晶層の不良の有無を2値化
した画像加算処理画像中又は中間の複数枚の画像中だけ
に現れた白画像又は黒画像の有無により簡単に検出する
ことができ、液晶パネルの液晶層以外にある異物の検出
と液晶層の不良の検出の自動化が図れるという効果があ
る。また、その白画像の大きさから液晶パネルの液晶層
以外にある異物又は液晶層の不良の大きさを判定するこ
ともできる。
【0031】さらに、液晶パネルに対して点灯チェッカ
ーにより一定の駆動電圧を印加するだけなので、液晶パ
ネル検査の駆動方法が簡単になり、点灯チェッカーを低
コスト、短納期で製作できるという効果もある。また、
液晶パネルに対して点灯チェッカーにより一定の駆動電
圧を印加し、その駆動電圧の印加時から所期の明るさに
なるまでの間に、液晶パネルの点灯画面を撮像手段が所
定の時間間隔で連続撮像し、画像処理装置が撮像手段に
より連続撮像された複数枚の画像を取り込むようにした
ので、駆動電圧の変動はなく、電圧変動制御の回路が不
要となり、画像処理装置の点灯チェッカーに対する制御
が簡単になるため、装置を低コスト、短納期で製作でき
るという効果もある。
【0032】さらに、本発明の他の別の液晶パネル検査
方法及び装置によれば、バックライトの照明光により照
射された液晶パネルに対して点灯チェッカーにより一定
の駆動電圧を印加し、所期の明るさになった時に、液晶
パネルの点灯画面を撮像手段が撮像し、画像処理装置が
撮像手段により撮像された画像を取り込んで2値化して
反転処理した画像中に現れた白画像の有無から液晶ギャ
ップムラ、配光不良等の点灯ムラを検出するようにした
ので、液晶ギャップムラ、配光不良等の点灯ムラの有無
を2値化して反転処理した画像中の白画像の有無により
簡単に検出することができ、点灯ムラの検出の自動化が
図れるという効果がある。また、その白画像の大きさか
ら液晶パネルの点灯ムラの大きさを判定することもでき
る。
【0033】さらに、本発明の更に他の別の液晶パネル
検査方法及び装置によれば、バックライトの照明光によ
り照射された液晶パネルの透過光を撮像手段で撮像し、
画像処理装置が撮像手段により撮像された画像を取り込
んで2値化し、2値化した画像中に現れた白画像の有無
から液晶ギャップムラ、配光不良等の非点灯ムラを検出
し、さらにバックライトの照明光により照射された液晶
パネルに対して点灯チェッカーにより一定の駆動電圧を
印加し、その駆動電圧の印加時から所期の明るさになる
までの間に、液晶パネルの点灯画面を撮像手段が所定の
時間間隔で連続撮像し、画像処理装置が撮像手段により
連続撮像された複数枚の画像を取り込み、複数枚の画像
を白画像強調フィルター処理又は/及び黒画像強調フィ
ルター処理し、白強調画像を2値化処理し、又黒強調画
像を2値化して反転処理し、2値化又は2値化して反転
した複数枚の画像中に連続的に同じ位置に現れた白画像
の有無から液晶パネルの液晶層以外にある異物を検出
し、又複数枚の画像のうち、最初と最後の方を除く中間
の複数枚の画像を画像加算処理し、その画像加算処理し
た画像を白画像強調フィルター処理又は/及び黒画像強
調フィルター処理し、白強調画像を2値化処理し、又黒
強調画像を2値化して反転処理し、2値化又は2値化し
て反転した画像加算処理画像中又は中間の複数枚の画像
中だけに現れた白画像の有無から異物、配光不良等の液
晶層の不良を検出し、さらにバックライトの照明光によ
り照射された液晶パネルに対して点灯チェッカーにより
一定の駆動電圧を印加し、所期の明るさになった時に、
液晶パネルの点灯画面を撮像手段が撮像し、画像処理装
置が撮像手段により撮像された画像を取り込んで2値化
して反転処理した画像中に現れた白画像の有無から液晶
ギャップムラ、配光不良等の点灯ムラを検出するように
したので、液晶パネルの非点灯状態から点灯状態までに
おける液晶ギャップムラ、配光不良等の非点灯ムラの有
無を2値化した画像中の白画像の有無により簡単に検出
することができ、液晶パネルの液晶層以外にある異物の
有無を2値化又は2値化して反転した複数枚の画像中に
連続的に同じ位置に現れた白画像の有無により簡単に検
出することができ、さらに液晶パネルの異物、配光不良
等の液晶層の不良の有無を2値化又は2値化して反転し
た画像加算処理画像中又は中間の複数枚の画像中だけに
現れた白画像の有無により簡単に検出することができ、
液晶ギャップムラ、配光不良等の点灯ムラの有無を2値
化して反転処理した画像中白画像の有無により簡単に検
出することができ、欠陥分類の検出が可能になり、非点
灯ムラ、液晶パネルの異物、液晶層の不良及び点灯ムラ
の検出の自動化が図れるという効果がある。また、その
白画像の大きさから液晶パネルの非点灯ムラ、液晶パネ
ルの液晶層以外にある異物、液晶層の不良又は液晶パネ
ルの非点灯ムラの大きさを判定することもできる。
【0034】さらに、液晶パネルに対して点灯チェッカ
ーにより一定の駆動電圧を印加するだけなので、液晶パ
ネル検査の駆動方法が簡単になり、点灯チェッカーを低
コスト、短納期で製作できるという効果もある。また、
液晶パネルに対して点灯チェッカーにより一定の駆動電
圧を印加し、その駆動電圧の印加時から所期の明るさに
なるまでの間に、液晶パネルの点灯画面を撮像手段が所
定の時間間隔で連続撮像し、画像処理装置が撮像手段に
より連続撮像された複数枚の画像を取り込むようにした
ので、駆動電圧の変動はなく、電圧変動制御の回路が不
要となり、画像処理装置の点灯チェッカーに対する制御
が簡単になるため、装置を低コスト、短納期で製作でき
るという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態に係る液晶パネル検査装
置の構成を示すブロック図である。
【図2】 同液晶パネル検査装置の画像取り込みタイミ
ングを示すタイミングチャートである。
【図3】 同液晶パネル検査装置の動作を示すフローチ
ャートである。
【図4】 同液晶パネル検査装置の非点灯ムラを検出す
る画像処理の説明図である。
【図5】 同液晶パネル検査装置の連続画像における白
画像強調フィルタ及び2値化処理の説明図である。
【図6】 同液晶パネル検査装置の連続画像における加
算処理画像の白画像強調フィルタ及び2値化処理の説明
図である。
【図7】 同液晶パネル検査装置の連続画像における黒
画像強調フィルタ及び2値化処理の説明図である。
【図8】 同液晶パネル検査装置の連続画像における加
算処理画像の黒画像強調フィルタ及び2値化処理の説明
図である。
【図9】 同液晶パネル検査装置の点灯ムラを検出する
画像処理の説明図である。
【符号の説明】
1 液晶パネル、2 点灯治具、3 バックライト、4
バックライト点灯装置、5 点灯チェッカー、6 CC
Dカメラ(撮像手段)、7 画像処理装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G051 AA73 AB01 AB06 BB03 BC01 CA04 CB02 EA11 EC05 ED09 ED11 ED14 ED23 2G086 EE10 2H088 FA13 FA30 HA03 HA06 HA28 MA20 5B057 AA01 BA02 CA12 CA16 DA03 DB02 DC22 DC36

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 バックライトを液晶パネルの背面に配置
    すると共に、液晶パネル表面の直上に撮像手段を配置す
    る工程と、 バックライトの照明光により照射された液晶パネルの透
    過光を撮像手段で撮像する工程と、 画像処理装置が撮像手段により撮像された画像を取り込
    んで2値化し、2値化した画像中に現れた白画像の有無
    から液晶ギャップムラ、配光不良等の非点灯ムラを検出
    する工程と、 を含むことを特徴とする液晶パネル検査方法。
  2. 【請求項2】 前記白画像の大きさから液晶パネルの非
    点灯ムラの大きさを判定することを特徴とする請求項1
    記載の液晶パネル検査方法。
  3. 【請求項3】 バックライトを液晶パネルの背面に配置
    すると共に、液晶パネル表面の直上に撮像手段を配置す
    る工程と、 液晶パネルに一定の駆動電圧を出力す点灯チェッカーを
    接続する工程と、 バックライトの照明光により照射された液晶パネルに対
    して点灯チェッカーにより一定の駆動電圧を印加し、そ
    の駆動電圧の印加時から所期の明るさになるまでの間
    に、液晶パネルの点灯画面を撮像手段が所定の時間間隔
    で連続撮像する工程と、 画像処理装置が撮像手段により連続撮像された複数枚の
    画像を取り込み、複数枚の画像を2値化し、2値化した
    複数枚の画像中に連続的に同じ位置に現れた白画像又は
    黒画像の有無から液晶パネルの液晶層以外にある異物を
    検出し、複数枚の画像のうち、最初と最後の方を除く中
    間の複数枚の画像を画像加算処理し、その画像加算処理
    した画像を2値化し、2値化した画像加算処理画像中又
    は中間の複数枚の画像中だけに現れた白画像又は黒画像
    の有無から異物、配光不良等の液晶層の不良を検出する
    工程と、を含むことを特徴とする液晶パネル検査方法。
  4. 【請求項4】 前記画像処理装置は2値化する前の複数
    枚の画像又は2値化する前の画像加算処理した画像に対
    して白画像強調フィルター処理を行っていることを特徴
    とする請求項3記載の液晶パネル検査方法。
  5. 【請求項5】 前記画像処理装置は2値化する前の複数
    枚の画像又は2値化する前の画像加算処理した画像に対
    して黒画像強調フィルター処理を行い、黒強調画像を2
    値化し、反転処理を行っていることを特徴とする請求項
    3記載の液晶パネル検査方法。
  6. 【請求項6】 前記白画像の大きさから液晶パネルの液
    晶層以外にある異物又は液晶層の不良の大きさを判定す
    ることを特徴とする請求項3記載の液晶パネル検査方
    法。
  7. 【請求項7】 バックライトを液晶パネルの背面に配置
    すると共に、液晶パネル表面の直上に撮像手段を配置す
    る工程と、 液晶パネルに一定の駆動電圧を出力す点灯チェッカーを
    接続する工程と、 バックライトの照明光により照射された液晶パネルに対
    して点灯チェッカーにより一定の駆動電圧を印加し、所
    期の明るさになった時に、液晶パネルの点灯画面を撮像
    手段が撮像する工程と、 画像処理装置が撮像手段により撮像された画像を取り込
    んで2値化して反転処理した画像中に現れた白画像の有
    無から液晶ギャップムラ、配光不良等の点灯ムラを検出
    する工程と、を含むことを特徴とする液晶パネル検査方
    法。
  8. 【請求項8】 前記白画像の大きさから液晶パネルの点
    灯ムラの大きさを判定することを特徴とする請求項7記
    載の液晶パネル検査方法。
  9. 【請求項9】 バックライトを液晶パネルの背面に配置
    すると共に、液晶パネル表面の直上に撮像手段を配置す
    る工程と、 液晶パネルに一定の駆動電圧を出力す点灯チェッカーを
    接続する工程と、 バックライトの照明光により照射された液晶パネルの透
    過光を撮像手段で撮像する工程と、 画像処理装置が撮像手段により撮像された画像を取り込
    んで2値化し、2値化した画像中に現れた白画像の有無
    から液晶ギャップムラ、配光不良等の非点灯ムラを検出
    する工程と、 バックライトの照明光により照射された液晶パネルに対
    して点灯チェッカーにより一定の駆動電圧を印加し、そ
    の駆動電圧の印加時から所期の明るさになるまでの間
    に、液晶パネルの点灯画面を撮像手段が所定の時間間隔
    で連続撮像する工程と、 画像処理装置が撮像手段により連続撮像された複数枚の
    画像を取り込み、複数枚の画像を白画像強調フィルター
    処理又は/及び黒画像強調フィルター処理し、白強調画
    像を2値化処理し、又黒強調画像を2値化して反転処理
    し、2値化又は2値化して反転した複数枚の画像中に連
    続的に同じ位置に現れた白画像の有無から液晶パネルの
    液晶層以外にある異物を検出し、又複数枚の画像のう
    ち、最初と最後の方を除く中間の複数枚の画像を画像加
    算処理し、その画像加算処理した画像を白画像強調フィ
    ルター処理又は/及び黒画像強調フィルター処理し、白
    強調画像を2値化処理し、又黒強調画像を2値化して反
    転処理し、2値化又は2値化して反転した画像加算処理
    画像中又は中間の複数枚の画像中だけに現れた白画像の
    有無から異物、配光不良等の液晶層の不良を検出する工
    程と、 バックライトの照明光により照射された液晶パネルに対
    して点灯チェッカーにより一定の駆動電圧を印加し、所
    期の明るさになった時に、液晶パネルの点灯画面を撮像
    する工程と、 画像処理装置が撮像手段により撮像された画像を取り込
    んで2値化して反転処理した画像中に現れた白画像の有
    無から液晶ギャップムラ、配光不良等の点灯ムラを検出
    する工程と、を含むことを特徴とする液晶パネル検査方
    法。
  10. 【請求項10】 前記撮像手段はCCDカメラであるこ
    とを特徴とする請求項1,3、7又は9のいずれかに記
    載の液晶パネル検査方法。
  11. 【請求項11】 液晶パネルの背面を照射するバックラ
    イトと、 液晶パネル表面の直上に配置された撮像手段と、 バックライトの照明光により照射された液晶パネルの透
    過光を撮像手段が撮像した画像を取り込んで2値化し、
    2値化した画像中に現れた白画像の有無から液晶ギャッ
    プムラ、配光不良等の非点灯ムラを検出する画像処理装
    置と、 を備えたことを特徴とする液晶パネル検査装置。
  12. 【請求項12】 前記画像処理装置は、前記白画像の大
    きさから前記非点灯ムラの大きさを判定することを特徴
    とする請求項11記載の液晶パネル検査装置。
  13. 【請求項13】 液晶パネルの背面を照射するバックラ
    イトと、 液晶パネル表面の直上に配置された撮像手段と、 液晶パネルに一定の駆動電圧を印加する点灯チェッカー
    と、 バックライトの照明光により照射された液晶パネルに対
    して点灯チェッカーにより一定の駆動電圧を印加し、そ
    の駆動電圧の印加時から所期の明るさになるまでの間
    に、液晶パネルの点灯画面を所定の時間間隔で連続撮像
    した撮像手段の複数枚の画像を取り込み、複数枚の画像
    を白画像強調フィルター処理又は/及び黒画像強調フィ
    ルター処理し、白強調画像を2値化処理し、又黒強調画
    像を2値化して反転処理し、2値化又は2値化して反転
    した複数枚の画像中に連続的に同じ位置に現れた白画像
    の有無から液晶パネルの液晶層以外にある異物を検出
    し、複数枚の画像のうち、最初と最後の方を除く中間の
    複数枚の画像を画像加算処理し、その画像加算処理した
    画像を白画像強調フィルター処理又は/及び黒画像強調
    フィルター処理し、白強調画像を2値化処理し、又黒強
    調画像を2値化して反転処理し、2値化又は2値化して
    反転した画像加算処理画像中又は中間の複数枚の画像中
    だけに現れた白画像の有無から異物、配光不良等の液晶
    層の不良を検出する画像処理装置と、 を備えたことを特徴とする液晶パネル検査装置。
  14. 【請求項14】 前記画像処理装置は、前記白画像の大
    きさから前記液晶パネルの液晶層以外にある異物又は前
    記液晶層の不良の大きさを判定することを特徴とする請
    求項13記載の液晶パネル検査装置。
  15. 【請求項15】 液晶パネルの背面を照射するバックラ
    イトと、 液晶パネル表面の直上に配置された撮像手段と、 液晶パネルに一定の駆動電圧を印加する点灯チェッカー
    と、 バックライトの照明光により照射された液晶パネルに対
    して点灯チェッカーにより一定の駆動電圧を印加し、所
    期の明るさになった時に、液晶パネルの点灯画面を撮像
    した撮像手段の画像を取り込んで2値化して反転処理し
    た画像中に現れた白画像の有無から液晶ギャップムラ、
    配光不良等の点灯ムラを検出する画像処理装置と、 を備えたことを特徴とする液晶パネル検査装置。
  16. 【請求項16】 前記画像処理装置は、前記白画像の大
    きさから前記点灯ムラの大きさを判定することを特徴と
    する請求項15記載の液晶パネル検査装置。
  17. 【請求項17】 液晶パネルの背面を照射するバックラ
    イトと、 液晶パネル表面の直上に配置された撮像手段と、 液晶パネルに一定の駆動電圧を印加する点灯チェッカー
    と、 バックライトの照明光により照射された液晶パネルの透
    過光を撮像手段が撮像した画像を取り込んで2値化し、
    2値化した画像中に現れた白画像の有無から液晶ギャッ
    プムラ、配光不良等の非点灯ムラを検出し、さらにバッ
    クライトの照明光により照射された液晶パネルに対して
    点灯チェッカーにより一定の駆動電圧を印加し、その駆
    動電圧の印加時から所期の明るさになるまでの間に、液
    晶パネルの点灯画面を所定の時間間隔で連続撮像した撮
    像手段の複数枚の画像を取り込み、複数枚の画像を白画
    像強調フィルター処理又は/及び黒画像強調フィルター
    処理し、白強調画像を2値化処理し、又黒強調画像を2
    値化して反転処理し、2値化又は2値化して反転した複
    数枚の画像中に連続的に同じ位置に現れた白画像の有無
    から液晶パネルの液晶層以外にある異物を検出し、複数
    枚の画像のうち、最初と最後の方を除く中間の複数枚の
    画像を画像加算処理し、その画像加算処理した画像を白
    画像強調フィルター処理又は/及び黒画像強調フィルタ
    ー処理し、白強調画像を2値化処理し、又黒強調画像を
    2値化して反転処理し、2値化又は2値化して反転した
    画像加算処理画像中又は中間の複数枚の画像中だけに現
    れた白画像の有無から異物、配光不良等の液晶層の不良
    を検出し、さらにバックライトの照明光により照射され
    た液晶パネルに対して点灯チェッカーにより一定の駆動
    電圧を印加し、所期の明るさになった時に、液晶パネル
    の点灯画面を撮像した撮像手段の画像を取り込んで2値
    化して反転処理した画像中に現れた白画像の有無から液
    晶ギャップムラ、配光不良等の点灯ムラを検出する画像
    処理装置と、 を備えたことを特徴とする液晶パネル検査装置。
  18. 【請求項18】 前記画像処理装置は、前記白画像の大
    きさから前記非点灯ムラ、前記液晶パネルの液晶層以外
    にある異物又は前記液晶層の不良の大きさ又は前記点灯
    ムラの大きさを判定することを特徴とする請求項17記
    載の液晶パネル検査装置。
  19. 【請求項19】 前記撮像手段はCCDカメラであるこ
    とを特徴とする請求項11,13、15のいずれかに記
    載の液晶パネル検査装置。
  20. 【請求項20】 モニタを備え、前記画像処理装置は該
    モニタに前記撮像手段が撮像した画像、白画像強調フィ
    ルター処理した画像、黒画像強調フィルター処理した画
    像、2値化した画像、又は2値化して反した画像並びに
    検査結果を表示させることを特徴とする請求項11,1
    3又は15のいずれかに記載の液晶パネル検査装置。
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