JP2003248230A - 液晶パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】熱硬化性シール材を用いた液晶パネルの製造方
法における生産の安定化、処理時間の短縮化及び高品質
化を図る。 【解決手段】未硬化の熱硬化性シール材を間に設けたガ
ラス基板を、シートで包み、該シート内を略密閉状態に
して減圧し、該シートを介し所定ギャップ下で大気圧と
の差圧により該ガラス基板と該シール材に加圧するとと
もに、該シート両面に独立して温度設定が可能な弾性体
を表面に持つ熱盤を接触させることにより該シート内部
の該ガラス基板及び該シール材を加熱し、該シール材を
押しつぶし、硬化させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶保持用のガラ
ス基板を備えた液晶パネルの製造技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶パネルでは、２枚のガラス基
板間に液晶を保持する。例えば薄膜トランジスタ（ＴＦ
Ｔ）方式のパネルの場合、ガラス基板面上には、カラー
フィルタ、透明電極、薄膜トランジスタが成膜され、ガ
ラス基板間の間隔はスペーサで略一定に保たれる。基板
間に充填される液晶はシール材により密閉状態で保持さ
れるようになっている。このため、液晶パネルの製造に
あたっては、２枚のガラス基板の少なくともどちらか一
方に液晶充填部を囲むようにしてシール材を設けた後、
該２枚のガラス基板どうしを複合体化する処理を行う。
該処理は、表示エリアにおいて、両ガラス基板に対し均
一にスペーサが接し、均一なギャップが得られるよう、
シール材をつぶしながら硬化させる。該シール材硬化
後、液晶を該シール材で囲まれた領域内に封入する。特
に、シール材として熱硬化性樹脂のものを用いる場合、
従来技術において、２枚のガラス基板間のギャップ出し
は、主に次の３つの方式で行われている。すなわち、
（１）加熱した２枚の平坦状ヒータでガラス基板を挟
み、加圧する方式、（２）プレート上にガラス基板を置
き、その上に気密性のシートをかぶせ、真空排気して、
ガラス基板を大気圧との差圧によって加圧し、プレート
に設けたヒータまたは温風炉等で加熱する方式、（３）
ガラス基板を両側から気密性のあるシートで挟み、真空
排気を行って該ガラス基板を大気圧との差圧によって加
圧し、温風炉等で加熱する方式である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記（１）の方式で
は、ガラス基板が急速加熱され、かつ加圧される。この
方式では、液晶パネルをガラス基板に多数のパネルを形
成する場合、プレスによってガラス基板間の空気を排出
しながらシール材を押しつぶす。この際、液晶パネル内
から排出された空気は液晶パネルと液晶パネルの間を通
って外部へ放出されるが、排気経路が複雑になるとガラ
ス基板間の排気が間に合わなくなって基板間ギャップに
むらを生じ易くなる。また、排気促進のために加圧力を
増大させると、内圧が上昇してシール材のパンクが生
じ、加圧機構の剛性が不足するとガラス基板間にずれを
生じてしまう。

【０００４】上記（２）の方式では、プレートを予め加
熱しておく場合は、片面からの加熱のため、ガラス基板
間に温度差が生じ、熱膨張の差によってガラス基板に反
りやずれを生じる。また、ガラス基板を置いてからプレ
ートを加熱する場合は、プレート自体の温度上昇に時間
がかかる。温風炉で処理する場合も同様である。

【０００５】上記（３）の方式では、ガラス基板はヒー
タの温度むらの影響を受けにくい加圧が可能であるが、
より精密に温度制御しようとした場合に真空パックとヒ
ータの間に外気が入り込み、周辺部の温度が低下するこ
とがある。また、ガラス基板はヒータの温度の影響を受
け難いことが逆に昇温時間増大を招いてしまう。

【０００６】本発明の課題点は、１枚のガラス基板で多
数のパネルを形成する場合において、上記従来技術に鑑
みて、１）排気動作を確保した状態でガラス基板及びシ
ール材の短時間加熱が可能なこと、２）ガラス基板及び
シール材に対し均一加熱が可能なこと、３）基板のずれ
やそりを防止し、基板間ギャップのむらを抑えられるこ
とである。

【０００７】本発明の目的は、かかる課題点を解決でき
る液晶パネル技術を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題点を解決するた
めに、本発明では以下のような手段を用いる。 （１）液晶を保持するガラス基板を備えた液晶パネルの
製造方法であって、上記２枚のガラス基板間に熱硬化性
シール材を設ける第１のステップと、該シール材及び該
ガラス基板をシートで包み、該シート内を略密閉状態に
して該シートと該ガラス基板の複合体を形成する第２の
ステップと、該シート内を減圧し、２枚のガラス基板同
士を大気圧との差圧により加圧状態にする第３のステッ
プと、該シートと該ガラス基板の複合体に対して弾性部
材を表面に有する２枚の熱盤を該シートに接近させ、弾
性部材を該シートと該ガラス基板の複合体に密着させて
加熱する第４のステップと、該シート内を大気開放する
第５のステップと、該シートを該ガラス基板から退避さ
せる第６のステップとを経て、該２枚のガラス基板の複
合体を形成する。 （２）上記（１）において、上記第２のステップでは、
上記シートとして２枚のシートを用い、それぞれを上記
ガラス基板の両側から近づけ該ガラス基板を包むように
する。 （３）上記（１）の第４のステップまたは第４及び第５
のステップを他のステップと別の位置で実施する。 （４）上記（１）において、上記第４のステップでは、
２個のヒータ温度をそれぞれ独立して制御することによ
り加熱温度を変化可能なようにする。 （５）上記（１）の第４のステップの前または第４のス
テップより後において、送風による空冷または冷却盤を
熱盤に接触させる方法により２枚の熱盤に対してそれぞ
れ冷却を施す。 （６）上記（１）の第６のステップ完了後に、送風によ
りシートを空冷する、または熱盤の通電を止めてシート
と熱盤を接触させた上で冷却板を熱盤に接触させて熱盤
とシートを同時に冷却する、または前者と後者を組み合
わせた該シートの冷却方法を実施する。 （７）上記（１）の第５のステップまたはそれ以降に、
該シートを２台の熱盤の外側に搬送し、送風による空冷
または冷却板の接触により該シートを冷却する。 （８）液晶保持用ガラス基板を有する液晶パネルを製造
するための液晶パネル製造装置としては、熱硬化性シー
ル材を間に設けた２枚のガラス基板に対して外側から可
撓性のシートを移動させて該シール材及び該ガラス基板
を包み、該シート内を略密閉状態にして該シートと該ガ
ラス基板の複合体を形成するシート移動手段と、該シー
ト内を減圧し、ガラス基板間を減圧させる減圧手段と、
該シートと該ガラス基板の複合体の外側に設けた弾性体
を表面に有する２台の板状の加熱手段と、該シートと該
ガラス基板の複合体の両面に板状の熱盤を移動、密着さ
せる手段と、該シート・該加熱手段の移動手段の制御、
該減圧手段の圧力制御または該加熱手段の温度制御を可
能にする制御部を備えた構成にする。 （９）上記（８）の液晶パネル製造装置であって、該シ
ートと該ガラス基板の複合体に対して上下両側に熱盤、
冷却盤を配置し、上下にあるそれぞれのシート、熱盤、
冷却盤をそれぞれ移動・接触させる構成にする。 （１０）上記（８）及び（９）の液晶パネル製造装置で
あって、該シート材に対して送風して冷却する構成にす
る。 （１１）上記（８）の液晶パネル製造装置であって、該
シートと該ガラス基板の複合体の内部を減圧した後に、
シート間の減圧状態を保ったまま搬送する手段を有し、
少なくとも該シートと該ガラス基板の複合体内部の減圧
と該シートと該ガラス基板の複合体の加熱の機能を分離
し、異なるそれぞれ別の位置で処理する構成とする。 （１２）上記（８）〜（１１）の液晶パネル製造装置に
おいて、ガラス基板を挟む可撓性シートにおいて、２枚
のシートの内どちらか一方若しくは両方のシートにガラ
ス基板よりも小さい穴があいていて、そのシートの穴を
塞ぐようにシート上でガラス基板を位置決めし、２枚の
該シートとガラス基板の複合体を形成する。 （１３）上記（８）〜（１１）の液晶パネル製造装置に
おいて、２枚の可撓性シート材の少なくとも一方の代わ
りにガラス基板よりも小さな穴をあけた剛体板を用いる
ことと、その剛体板の穴を塞ぐようにガラス基板を位置
決めし、該シートと該板と該ガラス基板または２枚の板
とガラス基板の複合体を形成する。 （１４）上記（８）〜（１３）の液晶パネル製造装置に
おいて、シートの穴部にブロック上若しくは棒状のガラ
ス基板保持手段を持つ構成とする。 （１５）上記（８）〜（１４）の液晶パネル製造装置
で、該ガラス基板間を減圧する際に用いる該シートまた
は剛体板においてガラス基板が接触する以外の表面に突
起を持つ構成とする。 （１６）上記（８）〜（１５）の液晶パネル製造装置に
おいて、ガラス基板に接触させるシート若しくは剛体板
をガラス基板の両側から近づけて該ガラス基板を包むよ
うにする構成とする。 （１７）上記（８）〜（１６）の液晶パネル製造装置に
おいて、該シートまたは該剛体板をガラス基板から引き
離す時のシートの移動手段は、上記シートを上記ガラス
基板の両側から退避させる複数のシート保持部を有し、
退避動作時に複数のシート保持部のうち、一部の保持部
につき該ガラス基板から該シートまでの距離を他の保持
部おける該距離と異ならせるようにして退避移動を行う
ようにした構成である。 （１８）液晶表示装置として、上記（１）から（４）の
いずれかの製造方法で製造した液晶パネルを表示部に備
え、該表示部を駆動回路で画像信号に基づき駆動して画
像表示を行うようにした構成とする。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１〜１５は本発明の実施例を示
す。図１及び図４〜６は液晶パネル製造装置の一実施例
の断面構成図を示す。図２は本技術で製造される液晶パ
ネルの断面構造の一例を示す。図３はディスペンサによ
るシール材塗布状態の一例を示す。図7〜１０は基板の
投入（搬入）から搬出までの一連の処理手順の一例を示
す。図１１と１２は本発明の実施例としての液晶パネル
製造装置の制御系全体のブロック構成の例を示す。図１
３〜１０は真空パックを形成する部材の形状の例を示
す。図１１はシート保持部材を移動させるアクチュエー
タ部の構成例を示す。

【００１０】図１において、１ａ、１ｂは液晶保持用の
一対のガラス基板、２はガラス基板１ａ、１ｂ間にあっ
て液晶充填領域を囲み、液晶をシールする熱硬化性シー
ル材を示す。その詳細を図２に示す。図２において、１
１は薄膜トランジスタまたは透明電極、１２はカラーフ
ィルタ、１３はスペーサ材、ｇはギャップである。該ギ
ャップｇ部に液晶が充填される。該充填された液晶は、
ガラス基板１ａ、１ｂ間に設けられた熱硬化性シール材
によって漏れないように保持される。

【００１１】図１において、３ａ、３ｂは可撓性を有す
る耐熱性のシートを示し、自動搬送を行う場合はシート
３ｂにガラス基板を支持するための支持ピン３４を通す
ための穴が必要となる。また支持ピン３４は、加熱に支
障がない限りピン状にこだわる必要はなくブロック状で
もよい。ピン状の４はシート３ａ、３ｂの所定位置にお
ける該シート３ａ、３ｂ相互間のギャップを所定範囲に
確保するために設ける突起、６は、シート３ａ、３ｂ間
を密閉状にするため該シート３ａ、３ｂ間の空間から空
気を排気する排気口、７はシート３ａ、３ｂで囲まれる
空間部を密閉状に保つためのＯリング、８ａ、８ｂはシ
ート３ａ、３ｂを保持し移動させるためのシート保持部
材を示す。９ａ９ｂは熱盤で、その表面には弾性体シー
ト５ａ、５ｂを貼り付けておく。１８は筐体、３４はガ
ラス基板支持用の支持ピンを示す。

【００１２】シール材２を挟んだガラス基板１ａ、１ｂ
が支持ピン３４上に搬送されると、枠８ａ、８ｃ及び８
ｂ、８ｄによって支持されたシート３ａ、３ｂは、ガラ
ス基板１ａ、１ｂの両側から接近し、密着する。そして
Ｏリングが枠８ａ、８ｃと密着した後、排気口６から内
部の空気を排出し、減圧してシートとガラス基板の複合
体（以下シート複合体３２）を形成する。これにより、
基板同士に均一に大気圧と内部圧力との差圧をかけるこ
とができる。そしてシート複合体３２の両面に上下か
ら、弾性体５ａ、５ｂを取り付けた熱盤９ａ、９ｂが接
近し、弾性体５ａ、５ｂをシート複合体３２に密着さ
せ、熱盤の温度を伝導する。この時、熱盤は弾性体５
ａ、５ｂとシート複合体３２が密着するのに必要な最低
限の圧力をかけるようにする。加圧と加熱によりシール
材を押しつぶし、硬化させる。この際に、ガラス基板１
ａ及び１ｂは別の薄膜を表面に持つため、薄膜の持つ応
力や熱の吸収率の差などの影響でガラス基板１ａと１ｂ
の複合体に反りが生じる。そこで、熱盤９ａ、９ｂの温
度を独立して制御し、両者に温度差を持たせることによ
り、ガラス基板１ａ及び１ｂに熱膨張の量を変化させ、
ガラス基板１ａと１ｂの複合体の反りを調整することが
可能となる。この後シート複合体の内部圧力を大気圧に
戻し、熱盤９ａ、９ｂを上下に退避し、更にシートをガ
ラス基板から上下に退避させ、ガラス基板を搬出できる
ようにする。図１では熱盤９ａ、９ｂの弾性体５ａ、５
ｂがシート３ａ、３ｂと分離して退避しているが、熱盤
９ａ、９ｂの弾性体５ａ、５ｂがシート３ａ、３ｂと接
触した状態を保ちながら退避してもかまわず、またこれ
らが接触した状態でガラス基板１ａ、１ｂと搬出しても
構わない。

【００１３】図３（a）はディスペンサで熱硬化性シー
ル材２をガラス基板１ａ若しくは１ｂに塗布した状態を
示す。ディスペンサでシール材２を塗布すると(b)の２
０ように脈動が生じる。通常シール材２は塗布した後
に、その中の溶剤を適度に乾燥させる。室温で粘着性を
持たないようなシール材の乾燥を行った場合と、液晶を
入れるための封入口からだけでなく、シール材全周から
脈動による凹部からも排気ができ、短時間で基板間を均
一に減圧できる。それから加熱することによって(c)の
ようにシール材は両ガラス基板と密着し押しつぶされて
行く。

【００１４】上記の排気特性を利用して高速処理を行う
には図３〜５のような構成にする。

【００１５】図４は図１に対して熱盤の両側に冷却盤３
１ａ、３１ｂを設けた構成である。熱盤シート３ａ、３
ｂを退避時に電源を遮断し、冷却盤３１ａ、３１ｂと接
触させる。更に、シート３ａ、３ｂを後退させ、弾性体
シート５ａ、５ｂと接触させ、シート３ａ、３ｂを冷却
させる。これによって、シート３ａ，３ｂとガラス基板
１ａ，１ｂの接触時にガラス基板１ａ，１ｂおよびシー
ル材２の温度上昇を抑え、排気時間の短縮を図るもので
ある。

【００１６】図５はシート３ａ、３ｂ退避時に、シート
３ａ、３ｂを送風機４０によって空冷する手段を付加し
たものである。これにより、シート３ａ，３ｂとガラス
基板１ａ，１ｂの接触時にガラス基板１ａ，１ｂおよび
シール材２の温度上昇を抑え、排気時間の短縮を図るも
のである。

【００１７】図６は加熱プロセスを別ユニットで実施す
るものである。ガラス基板１ａ，１ｂ（以下ワーク３
３）の搬入・シート複合体３２形成及びその内部の減圧
を基板搬入出部筐体１８ａで行った後に、シート複合体
３２自体を減圧状態維持のまま搬送し、加熱ユニットの
筐体１８ｂに位置決めし、熱盤９ａ，９ｂを接近させ、
弾性体５ａ、５ｂを密着させて加熱する。加熱終了後、
シート複合体を大気圧に戻しながら再び基板搬入出部筐
体１８ａに戻し、シート３ａ、３ｂを上下に退避させワ
ーク３３を取り出す。この際、シート複合体３２内部を
大気圧に戻すタイミングは搬送終了後でもかまわない。
シート３ａ、３ｂを退避した後冷却３１ａ、３１ｂをシ
ート３ａ、３ｂに接触させて冷却を行ってもよい。また
図４に示したように、空冷による冷却を行う若しくは両
方を採用してもかまわない。またシート３ａ、３ｂと枠
８ａ、８ｃ、８ｂ、８ｄを複数用意する場合、自然冷却
でシート３ａ、３ｂを冷やすことも可能である。このよ
うな構成の場合、ガラス基板間の減圧プロセスと加熱プ
ロセスを並行して行えるため、図４または図５よりも更
にタクトタイムの短縮を実現できる。

【００１８】図７は図１に示した実施例におけるプロセ
スの流れを示す。ガラス基板間に熱硬化性シール材を挟
んだ複合体のワーク３３を搬入するステップＳ１と、シ
ートを移動させて該ワーク３３を略密閉状に包み込むス
テップＳ２と、該密閉状空間部から排気を行って該空間
部を大気圧に対し減圧状態にして大気圧により該ワーク
３３のガラス基板間を加圧するステップＳ３を行う。次
に、減圧後のガラス基板とシートの複合体（シート複合
体３２）の両面にヒータを接触させるステップＳ４と、
所定時間またはワーク３３が所定温度に達するまでヒー
タを接触させ続け、ワーク３３の加熱を行うステップＳ
５と、加熱処理終了後、ヒータを退避させるステップＳ
６と、シート内を大気開放するステップＳ７を行う。こ
の場合ステップＳ６とステップＳ７の順番は同時若しく
は逆でも構わない。シートの間隔を開き退避するステッ
プＳ８と、ワーク３３を基板搬送装置で搬出するステッ
プＳ９を行い、次のワーク３３が搬入できるようにす
る。

【００１９】図８は図４に示した実施例におけるプロセ
スの流れを示す。ステップＳ８まで流れは図7と同じで
ある。ステップ８でシートを退避した後、ワーク搬出ス
テップＳ９と同時に熱盤をシートの冷却を行う。熱盤の
電源をＯＦＦにするステップＳ１０、冷却盤・熱盤・シ
ートを接触させるステップＳ１１の後、所定時間または
シートが所定温度になるまで冷却を行うステップＳ１２
を行う。冷却終了後、冷却盤と熱盤とシートを分離する
ステップＳ１３を行い、次のワーク３３が搬入できるよ
うにする。ステップＳ１０で熱盤の電源をＯＦＦにする
が、熱盤の電源をＯＮはワーク搬入のステップＳ1から
ワーク加熱のステップＳ５の直前までに行えばよい。

【００２０】図９は図５に示した実施例におけるプロセ
スの流れを示す。ステップＳ８まで流れは図7と同じで
ある。ステップ８でシートを退避した後、図８と同様に
ワーク搬出ステップＳ９と同時に熱盤をシートの冷却を
行う。シートが退避した後に、シートに向かって送風を
開始するステップＳ１4、所定時間またはシートが所定
温度になるまで冷却を行うステップＳ１５を行った後。
送風を停止するステップＳ１６を行い、次のワーク３３
が搬入できるようにする。

【００２１】図１０は図６に示した実施例におけるプロ
セスの流れを示す。シート制御部にシート３ａ，３ｂを
搬入するステップＳＳ１と、そのシートの間隔を開き、
所定の位置に位置決めするステップＳＳ２と、ガラス基
板間に熱硬化性シール材を挟んだ複合体のワーク３３を
基板搬送機構によりシート間に搬入するステップＳＳ３
と、シートを移動させて該ワーク３３を略密閉状に包み
込むステップＳＳ４と、該密閉状空間部から排気を行っ
て該空間部を大気圧に対し減圧状態にして大気圧との差
圧で該ワーク３３のガラス基板同士を加圧状態にするス
テップＳＳ５とをシート制御部で行う。次に、減圧後の
ガラス基板とシートで構成されるシート複合体３２を加
熱処理部に搬送・位置決めするステップＳＳ６とシート
両側からヒータを接近、接触させるステップＳ７と、所
定時間またはワーク３３が所定温度に達するまでヒータ
を接触させ続け、ワーク３３の加熱を行うステップＳＳ
８と、加熱処理終了後、ヒータを退避させるステップＳ
Ｓ９と、シート内を大気開放するステップＳＳ１０を加
熱処理部で行う。この場合ステップＳＳ９とステップＳ
Ｓ１０の順番は逆でも構わない。そしてワーク３３とシ
ート複合体３２をシート制御部に搬送、位置決めするス
テップＳＳ１１とシートの間隔を開き退避するステップ
ＳＳ１２と、ワーク３３を搬出するステップＳＳ１３
と、ステップＳＳ１３と同時に行う冷却盤をシートに接
触させるステップＳＳ１４と、シートを所定の時間若し
くは一定温度に至るまで冷却を行うステップＳＳ１５
と、冷却完了後に退避を行うステップＳＳ１６をシート
制御部で行う。ここで使用されるシートは複数用意して
も構わない。また、冷却盤によるシート３ａ，３ｂを冷
却するのではなく送風による空冷でも同様な効果が得ら
れる。

【００２２】図１１は図１、図４、図５に示した実施例
の制御ブロック図を示す。１１０はワーク搬送部，１２
０は圧力制御部、１３０はシート制御部、１４０はシー
ト搬送部、１５０は加熱処理部を示し、これらを統合し
て制御するのが１００の組立装置制御部である。組立装
置制御部１００は、ワーク搬送部１１０に対してワーク
受け渡し目標位置指令値を搬送制御部１１１に送信して
基板の受け渡し動作をさせ、動作完了時に基板受け渡し
完了信号を搬送制御部から受信する。圧力制御部１２０
に対しては、組立装置制御部１００は圧力目標値を制御
部１２１に送り、その圧力目標値に応じて制御部１２１
は、真空排気、加圧エア供給、どちらも行わないという
３つのモードを使い分けてシート複合体３２の内部の圧
力を制御する。そして、組立装置制御部１００はシート
複合体３２の圧力検出器での圧力測定情報を制御部経由
またはシート複合体３２より直接受信し、監視する。シ
ート制御部１３０に対して、組立装置制御部１００はワ
ーク入出指令値を制御部に１３１に送ることによって、
ワークの搬入または搬出を行わせる。ワークの搬入また
は搬出完了時に制御部１３１からワーク搬入搬出信号を
受け取り、組立装置制御部に動作の完了のタイミングを
検知する。また、制御部１３１の発するシート冷却完了
信号を組立装置制御部１００が受けると、組立装置制御
部１００はシート閉指令を発して、シート３ａ，３ｂで
上下からワーク３３を挟み込みませる。この後、圧力制
御部１２０によってシート間を真空排気する。シート間
の排気が完了した後、組立装置制御部はこの送信完了信
号を受信すると、加熱処理部１５０の制御部１５１にレ
シピ指示を行い、加熱処理部１５０はレシピ指示に従い
シート複合体及びその中のガラス基板の加熱処理を行
う。加熱処理が完了した後、加熱処理部１５０の制御部
１５１は組立装置制御部１００に対して処理完了信号を
送信し、圧力制御部１２０に対して圧力目標値を変更
し、シート複合体３２の内部を大気開放する。大気開放
後、圧力制御部１２０に対して真空または加圧エアの供
給停止させる。そして、シート３ａと３ｂを上下に退避
し、ワーク３３を搬出できるようにする。そして、組立
装置制御部１００はワーク搬送部１１０に対して受け渡
し目標位置を指示し、ワーク３３を筐体１８ａ外へ搬出
する。ワーク搬送部１１０は搬送が完了すると組立装置
制御部１００に対してワーク受け渡し完了信号を送信す
る。また、このワーク３３搬出と同時に、シート制御部
１３０ではシートの冷却を行いながらワーク３３の受け
入れを待つ。シート制御部１３０へのワーク３３の投入
が完了し、シート制御部１３０のシート冷却完了信号が
組立装置制御部１００に送られえると、組立装置制御部
１００は次のワーク３３の処理を開始する。

【００２３】図１２は図６の実施例における制御ブロッ
ク図を示す。図１１との主な違いはシート搬送部１４０
が追加されている点である。ワーク搬入、シート複合体
形成及びシート間の排気が完了した後、組立装置制御部
１００はシート搬送部１４０の搬送制御部１４１に対し
てシート搬送位置指令を送り、シート複合体３２を基板
入出部１３０より搬出し、加熱処理部１５０にシート複
合体３２に搬入する。シートの搬送が完了した後に搬送
制御部１４１は組立装置制御部に対してシート搬送完了
信号を送信する。この後、加熱処理が行われ、処理が完
了した後、加熱処理部１５０の制御部１５１は組立装置
制御部１００に対して処理完了信号を送信すると。組立
装置制御部１００はシート搬送部１４０に対してシート
搬送位置を指示し、シート搬送部１４０によってシート
制御部１３０へシート複合体３２を搬送させる。搬送が
完了すると、シート搬入出部１３０の制御部１３１は組
立装置制御部１００にシート搬送完了信号を送る。

【００２４】図１３と図１４にシート３ａ，３ｂの形状
の例を示す。図１や図４〜６では下側のシート３ｂに支
持ピン３４よりも若干大きな穴をあけて支持ピン３４を
通しているが、図１３のようにガラス基板１ａ，１ｂよ
りも小さ領域であれば下側のシート３ｂをくり抜いてし
まっても構わない。同様に図１４のように上側のシート
３ａをくり抜いてもよい。

【００２５】図１５は図１６シートの代わりに穴あき剛
体板を使用した例を示す。図１５は下側のシート３ｂを
剛体板３ｃに置換えた例である。プレート３ｃの面精度
によっては減圧状態が保てなくなるので、その場合はＯ
リング４１のようなパッキン材を用いて気密を保てばよ
い。また図１６のように上側のシート３ａを穴あきプレ
ート３ｄに置換えても同様である。

【００２６】図１７はシート保持部材を移動させるアク
チュエータ部の構成例である。シート保持部材８ａ〜８
ｄのうちの１つの保持部材８ｂ用のアクチュエータ部の
構成を示す。他の保持部材用のアクチュエータについて
もこれと同様である。１７はシート保持部材８ｂに固定
された部材、１４は該部材に設けた孔、１５は該孔１４
にすき間、特に図の左右方向に十分なすき間をもって係
合するピン、１９は該ピン１５が設けられた部材、１６
は該部材１９を支える支持部材、１０は表面にねじを有
し回転によって該支持部材１６を移動させる棒状部材で
ある。ワーク３３の加熱処理が終って、ヒータが退避移
動した後、シート３ａ、３ｂを該ワーク３３から離間さ
せるとき、棒状部材１０が回転して支持部材１６を図の
下方に移動させ、シート保持部材８ｂを図の下方に移動
させる。この時、シート３ｂを保持しているもう一方の
シート保持部材側では棒状部材はまだ回転せず支持部材
１６も下方への移動を始めていない。従って、シート３
ｂは、シート保持部材８ｂ側の部分から該ワーク３３か
らの離間を始める。該シート保持部材８ｂが所定位置ま
で下がったとき、該シート保持部材８ｂ側の上記棒状部
材１０の回転を停止させ、該シート保持部材８ｂの移動
を停止させる。次に入れ替わって、シート保持部材８ｄ
側の棒状部材を回転させ支持部材を移動させて該シート
保持部材８ｄを下降させ、シート３ｂの該シート保持部
材８ｄ側の部分をワーク３３から離間させる。該シート
保持部材８ｄが上記シート保持部材８ｂと略同じ位置ま
で下降した時、該シート保持部材８ｂ側の上記棒状部材
１０を再び回転させて該シート保持部材８ｂに下降移動
を開始させ、該シート保持部材８ｂと該シート保持部材
８ｄを所定位置まで並行的に下降移動させる。シート３
ａを保持するシート保持部材８ａ、８ｃについても同様
である。かかる構成によれば、ワーク３３からのシート
の離間が容易となる。

【００２７】上記実施例によれば、ガラス基板間の排気
を確実に効率的に行うことができ、加熱も効率よく行え
るため、短時間処理が可能となり、液晶パネルの生産性
を改善できる。また、ガラス基板及びシール材に対し、
ヒータの温度ばらつきの影響を抑えた均一加熱や、均一
加圧を行うことができワークのずれを抑えることがで
き、また熱盤温度の設定により反りを防止させることが
でき、液晶パネルの高品質化を図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例であって液晶パネル製造
装置のガラス基板処理部の構成を示す図である。

【図２】本発明で製造される液晶パネルの断面の説明図
である。

【図３】本発明で加熱処理する熱硬化性シール材の状態
及び形状を説明する図である。

【図４】本発明の第２の実施例であって液晶パネル製造
装置のガラス基板処理部の構成を示す図である。

【図５】本発明の第３の実施例であって液晶パネル製造
装置のガラス基板処理部の構成を示す図である。

【図６】本発明の第４の実施例であって液晶パネル製造
装置のガラス基板処理部の構成を示す図である。

【図７】本発明の第１の実施例に対するワークの搬入か
ら搬出までの処理手順を示す図である。

【図８】本発明の第２の実施例に対するワークの搬入か
ら搬出までの処理手順を示す図である。

【図９】本発明の第３の実施例に対するワークの搬入か
ら搬出までの処理手順を示す図である。

【図１０】本発明の第４の実施例に対するワークの搬入
から搬出までの処理手順を示す図である。

【図１１】本発明の第１〜３の実施例に対する制御系全
体のブロック構成を示す図である。

【図１２】本発明の第４の実施例に対する制御系全体の
ブロック構成を示す図である。

【図１３】本発明の第１〜４の実施例におけるシート材
の形状の例を示す図である。

【図１４】本発明の第１〜４の実施例におけるシート材
の形状の例を示す図である。

【図１５】本発明の第１〜４の実施例におけるシート材
の代替として剛体板を用いる例を示す図である。

【図１６】本発明の第１〜４の実施例におけるシート材
の代替として剛体板を用いる例を示す図である。

【図１７】本発明の第１〜４の実施例におけるシート保
持部材を移動させるアクチュエータ部の構成例を示す図
である。

【符号の説明】

１ａ、１ｂ…ガラス基板、 ２…熱硬化性シール材、
３ａ、３ｂ…シート、３ｃ、３ｄ剛体板、 ４…突起、
５ａ、５ｂ…弾性体、 ６…排気口、７…Ｏリング、
８ａ〜８ｄ…シート保持部材（枠）、 ９ａ、９ｂ…
熱盤、１１…電極、薄膜トランジスタ、１２…カラーフ
ィルタ、 １３…スペーサ材、１８…筐体、 １８
ａ…基板搬入出部筐体、１８ｂ…加熱処理部筐体、３０
ａ、３０ｂ…送風機、 ３１ａ、３１ｂ…冷却盤、 ３
１Ｃ…送風機、３２… シート複合体、３３…ワーク、
３４…ワーク支持ピン、４０… 送風機、 ４１，４
２…Ｏリング、 １００…組立装置制御部、１１０…ワ
ーク搬送部、 １２０…圧力制御部、 １３０…シート
制御部、１４０…シート搬送部、 １５０…加熱処理
部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鷹栖 慶治 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 小下 敏之 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所ディスプレイグループ内 Ｆターム(参考） 2H089 MA03Y NA24 NA31 NA32 NA37 NA38 NA39 NA45 NA48 NA49 NA60 QA04 QA12 QA14 TA01

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】液晶を保持するガラス基板を備えた液晶パ
   ネルの製造方法であって、 上記２枚のガラス基板間に熱硬化性シール材を設ける第
   １のステップと、 該シール材及び該ガラス基板をシートで包み、該シート
   内を略密閉状態にして該シートと該ガラス基板の複合体
   を形成する第２のステップと、 該シート内を減圧し、２枚のガラス基板同士を大気圧と
   の差圧により加圧状態にする第３のステップと、 該シートと該ガラス基板の複合体に対して弾性部材を表
   面に有する２枚の熱盤を該シートに接近させ、弾性部材
   を該シートと該ガラス基板の複合体に密着させて加熱す
   る第４のステップと、 該シート内を大気開放する第５のステップと、 該シートを該ガラス基板から退避させる第６のステップ
   と、を経て、該２枚のガラス基板の複合体を形成するこ
   とを特徴とする液晶パネルの製造方法。
2. 【請求項２】前記第２のステップでは、前記シートとし
   て２枚のシートを用い、それぞれを上記ガラス基板の両
   側から近づけ該ガラス基板を挟み込むことを特徴とする
   請求項１に記載の液晶パネルの製造方法。
3. 【請求項３】前記第４のステップまたは前記第４及び第
   ５のステップを他のステップと別の位置で実施すること
   を特徴とする請求項１に記載の液晶パネルの製造方法。
4. 【請求項４】前記第４のステップで、２個の熱盤温度を
   それぞれ独立して制御する請求項１に記載の液晶パネル
   の製造方法。
5. 【請求項５】前記第４のステップの前または後におい
   て、送風による空冷または冷却盤を熱盤に接触させる方
   法により２枚の熱盤に対してそれぞれ冷却を施すことを
   特徴とする請求項１に記載の液晶パネルの製造方法。
6. 【請求項６】前記第６のステップ完了後に、送風により
   シートを空冷するか、若しくは熱盤の通電を止めてシー
   トと熱盤を接触させた上で冷却板を熱盤に接触させて熱
   盤とシートを同時に冷却するか、若しくはこれらの冷却
   方法を組み合わせた該シートの冷却方法を実施すること
   を特徴とする請求項１に記載の液晶パネルの製造方法。
7. 【請求項７】前記第５のステップまたはそれ以降に、該
   シートを２台の熱盤の外側に搬送し、送風による空冷ま
   たは冷却板の接触により該シートを冷却することを特徴
   とする請求項１に記載の液晶パネルの製造方法。
8. 【請求項８】液晶保持用ガラス基板を有する液晶パネル
   を製造するための液晶パネル製造装置であって 熱硬化性シール材を間に設けた２枚のガラス基板に対し
   て外側から可撓性のシートを移動させて該シール材及び
   該ガラス基板を包み、該シート内を略密閉状態にして該
   シートと該ガラス基板の複合体を形成するシート移動手
   段と、 該シート内を減圧し、ガラス基板間を減圧させる減圧手
   段と、 該シートと該ガラス基板の複合体の外側に設けた弾性体
   を表面に有する２台の板状の加熱手段と、 該シートと該ガラス基板の複合体の両面に板状の熱盤を
   移動、密着させる手段と、 該シート・該加熱手段の移動手段の制御、該減圧手段の
   圧力制御または該加熱手段の温度制御を可能にする制御
   部と、を備えていることを特徴とする液晶パネル製造装
   置。
9. 【請求項９】請求項８の液晶パネル製造装置であって、 該シートと該ガラス基板の複合体に対して上下両側に熱
   盤、冷却盤を有し、 上下でそれぞれシート、熱盤、冷却盤をそれぞれ接触さ
   せる移動手段を有することを特徴とする液晶パネル製造
   装置。
10. 【請求項１０】請求項８および請求項９の液晶パネル製
    造装置であって、 該シート材に対して送風して冷却する手段を有すること
    を特徴とする液晶パネル製造装置。
11. 【請求項１１】請求項８の液晶パネル製造装置であっ
    て、 該シートと該ガラス基板の複合体の内部を減圧した後
    に、シート間の減圧状態を保ったまま搬送する手段を有
    し、 少なくとも該シートと該ガラス基板の複合体内部の減圧
    と該シートと該ガラス基板の複合体の加熱を異なるシー
    トの位置で行うことを特徴とする液晶パネル製造装置。
12. 【請求項１２】請求項８から１１のいずれかの液晶パネ
    ル製造装置において、 ガラス基板を挟む２枚の可撓性シートのうちどちらか一
    方若しくは両方のシートにガラス基板よりも小さい穴が
    あいており、該シート上にその穴を塞ぐようにガラス基
    板を位置決めし、２枚の該シートとガラス基板の複合体
    を形成することを特徴とする液晶パネル製造装置。
13. 【請求項１３】請求項８から１１のいずれかの液晶パネ
    ル製造装置において、 ２枚の可撓性シートの少なくとも一方の代わりに、ガラ
    ス基板よりも小さな穴をあけた剛体板を用い、 該剛体板の穴を塞ぐようにガラス基板を該シート状また
    は該剛体板上で位置決めし、 該シートと該板と該ガラス基板または２枚の板とガラス
    基板の複合体を形成することを特徴とする液晶パネル製
    造装置。
14. 【請求項１４】請求項８から１３のいずれかの液晶パネ
    ル製造装置において、 シートの穴部にブロック上若しくは棒状のガラス基板保
    持手段を持つことを特徴とする液晶パネル製造装置。
15. 【請求項１５】請求項８から１４のいずれかの液晶パネ
    ル製造装置において、 該ガラス基板間を減圧する際に用いる該シートまたは該
    剛体板はガラス基板が接触する以外の表面に突起を持つ
    ことを特徴とする液晶パネル製造装置。
16. 【請求項１６】請求項８から１５のいずれかの液晶パネ
    ル製造装置において、 ガラス基板に接触させる該シート若しくは該剛体板をガ
    ラス基板の両側から近づけて該ガラス基板を包む構成を
    備えたことを特徴とする液晶パネル製造装置。
17. 【請求項１７】請求項８から１６のいずれかの液晶パネ
    ル製造装置において、 前記シートまたは前記剛体板をガラス基板から引き離す
    時のシートの移動手段は、上記シートを上記ガラス基板
    の両側から退避させる複数のシート保持部を有し、退避
    動作時に複数のシート保持部のうち、一部の保持部につ
    き該ガラス基板から該シートまでの距離を他の保持部お
    ける該距離と異ならせるようにして退避移動を行う構成
    を備えたことを特徴とする液晶パネル製造装置。
18. 【請求項１８】請求項１から７の液晶パネルを表示部に
    備え、該表示部を駆動回路で画像信号に基づき駆動して
    画像表示を行うようにしたことを特徴とする液晶表示装
    置。