JP2003244940A - Semiconductor device equipped with boosting circuit - Google Patents

Semiconductor device equipped with boosting circuit

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JP2003244940A
JP2003244940A JP2002042986A JP2002042986A JP2003244940A JP 2003244940 A JP2003244940 A JP 2003244940A JP 2002042986 A JP2002042986 A JP 2002042986A JP 2002042986 A JP2002042986 A JP 2002042986A JP 2003244940 A JP2003244940 A JP 2003244940A
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康之 大西
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor device which is equipped with a boosting circuit constituted so that it can avoid an adverse influence on other circuits by lessening a voltage ripple at start-up by changing the conditions of boosting action so as to suppress current consumption at the start-up. <P>SOLUTION: A charge pump unit, which has a MOS transistor and a capacitor supplied with clocks at its the other end, is equipped with a plurality of charge pump means which are connected in series and a clock-generating means which generates capacity limiting clocks with their current supply capacity to a capacitor being limited as clocks until predetermined specified conditions are satisfied (for example, time or output voltage value) after receiving a start signal. Hereby, this suppresses the current consumption at the start of a boosting circuit, thereby lessening the ripple of a power voltage. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、低電圧電源から高
い電圧を得るための昇圧回路を備えた半導体装置に関す
る。 【0002】 【従来の技術】従来から、EEPROMやフラッシュメ
モリなどの半導体装置(以下、IC)の単一低電圧電源
化に伴って、例えば記憶内容の書き込みや消去動作に必
要な電圧をそのICの内部で得るように、電源電圧の昇
圧が行われるようになってきている。このために、チャ
ージポンプ回路などの昇圧回路がICに備えられる。 【0003】図7は従来の昇圧回路の構成を示す図であ
る。図7において、初段のチャージポンプユニットU1
から出力段のチャージポンプユニットUnまでN段のチ
ャージポンプユニット(以下、ユニットと称することが
ある。)が直列に接続されて、ハイカレントポンプCP
1を構成している。初段のユニットU1に電源電圧Vd
d(例えば、2Vや3Vなど)が供給される。また、出
力段のユニットUnの出力側からは、ソースとゲートが
接続された高耐圧用のN型MOSトランジスタQoとそ
のドレイン側とグランド電位間に接続されたキャパシタ
Coとからなる出力平滑回路を介して、電源電圧Vdd
が昇圧された所定の出力電圧Vout(例えば、10
V)が出力される。 【0004】各ユニットU1〜Unは、同様の構成であ
り、例えばユニットU1を例に説明すると、高耐圧用の
N型MOSトランジスタQ1とキャパシタC1とを備え
ている。N型MOSトランジスタQ1のソースSは、電
源電圧Vddが供給されるとともに、ゲートGに接続さ
れており、いわゆるダイオード接続とされている。ま
た、そのドレインDは次段のユニットU2のN型MOS
トランジスタQ2のソースSに接続されており、その基
板はもっとも低い電位点、この例ではグランド電位に接
続されている。また、キャパシタC1は一端がドレイン
Dに接続され、他端がクロックライン(この場合は、第
1クロックCLK1のクロックライン)に接続される。 【0005】なお、各ユニットのキャパシタは、奇数番
のユニットU1,U3などでは第1クロックCLK1の
クロックラインに接続され、偶数番のユニットU2,U
4などでは第2クロックCLK2のクロックラインに接
続される。 【0006】第1クロックCLK1及び第2クロックC
LK2は、例えば、電源電圧Vddと同じ振幅電圧で所
定の周波数を持ち、ほぼ逆位相の状態で変化する二相ク
ロックである。この第1クロックCLK1は、クロック
信号clkが第1バッファB1で増幅されて出力され
る。また、第2クロックCLK2は、クロック信号cl
kが反転回路NOT1で反転され、第2バッファB2で
増幅されて出力される。 【0007】この図7の昇圧回路においては、起動信号
(図示せず)を受けてクロック信号clkがHレベル/
Lレベルに交互に変化を開始すると、第1バッファB1
及び反転回路NOT1・第2バッファB2により、第1
クロックCLK1,第2クロックCLK2が、逆位相の
状態で変化を開始する。 【0008】この第1クロックCLK1、第2クロック
CLK2の動作開始に応じて、各ユニットU1〜Unが
同時にチャージポンプ動作を開始し、電源電圧Vddが
各ユニット毎に順次チャージアップされ、昇圧された出
力電圧Voutが出力される。この出力電圧Vout
が、EEPROMなどの所定の端子に供給される。 【0009】 【発明が解決しようとする課題】この昇圧回路において
は、各ユニットU1〜UnのキャパシタC1〜Cnは、
出力電圧Voutとともに所要の電流を供給することが
できるように比較的大きな容量のものが用いられてい
る。したがって、起動直後には、同時に動作を開始する
各ユニットU1〜Unにより大電流が消費されるから、
電圧降下により電源電圧が低下し、不安定になる。この
電源電圧の変動は、昇圧回路が起動する都度生じること
になるから、この昇圧回路が組み込まれている半導体装
置中のロジック回路等の動作(例えば、書き込み動作
や、読み出し動作)に、誤動作を惹起するなどの悪影響
を与えることがある。 【0010】電源回路の容量に電流変化にも耐えられる
ように余裕を持たせられればそのような変動を避けるこ
とはできるが、例えば携帯機器用など小型化、軽量化が
求められる半導体装置では、余裕を持たせることは困難
である。 【0011】そこで、本発明は、起動時の消費電流を抑
制するように昇圧動作の条件を変更することにより、起
動時の電圧変動を少なくし、他回路への悪影響を避ける
ことができるように構成した昇圧回路を備えた半導体装
置を提供することを目的とする。 【0012】 【課題を解決するための手段】本発明の請求項1の昇圧
回路を備えた半導体装置は、入力端側と出力端側をもつ
MOSトランジスタとこのMOSトランジスタの出力端
側に一端が接続され他端にクロックが供給されるキャパ
シタとを有するチャージポンプユニットが、複数直列に
接続され電源電圧が昇圧された出力電圧が出力されるチ
ャージポンプ手段と、起動信号を受けて前記クロックの
発生を開始するクロック発生手段を備え、前記クロック
発生手段は、少なくとも前記起動信号を受けてから予め
定められている所定の条件を満たすまでの間は、前記ク
ロックとして前記キャパシタへの電流供給能力が制限さ
れている能力制限クロックを発生することを特徴とす
る。 【0013】この本発明の請求項1の昇圧回路を備えた
半導体装置によれば、起動信号を受けてから予め定めら
れている所定の条件、例えば、時間や出力電圧値、を満
たすまでの間は、全チャージポンプユニットのキャパシ
タへ電流供給能力が制限されたクロックが供給される。
したがって、昇圧回路起動時の消費電流が抑制されるか
ら、電源電圧の変動を少なくし、他回路への影響を避け
ることができる。 【0014】 【発明の実施の形態】以下、本発明の昇圧回路を備えた
半導体装置の実施の形態について、図1〜図6を参照し
て説明する。 【0015】図1は本発明の第1の実施の形態に係る、
昇圧回路を備えた半導体装置の回路構成を示す図であ
る。図2は、クロックを発生するバッファの構成例を示
す図であり、また、図3は能力の制限されたクロックと
通常のクロックとを示す図である。 【0016】図1において、従来の図7と同様に、初段
のチャージポンプユニットU1から出力段のチャージポ
ンプユニットUnまでN段のユニットが直列に接続され
て、チャージポンプ手段であるハイカレントポンプCP
1を構成しており、ユニットU1に電源電圧Vdd(例
えば、2Vや3Vなど)が供給され、出力段のユニット
Unから、N型MOSトランジスタQo、キャパシタC
oからなる出力平滑回路を介して所定の出力電圧Vou
t(例えば、10V)が出力される。各ユニットU1〜
Unについても従来の図7と同様であり、対応する構成
には、同じ符号を付している。なお、N型MOSトラン
ジスタQo、キャパシタCoからなる出力平滑回路を、
ハイカレントポンプCP1に含ませるようにしてもよい 【0017】この図1の第1の実施の形態では、起動信
号Stを受けてクロック信号clkを出力するクロック
信号発生器CGと、起動信号Stを受けて所定時間τ後
に起動時制御信号SconをLレベルからHレベルに立
ち上げるオンディレイ動作のタイマTDと、クロック信
号clkを反転する反転回路NOT1と、クロック信号
clkが入力されこれに同期しかつ起動時制御信号Sc
onにより電流駆動能力が制御される可制御第1バッフ
ァB11と、反転回路NOT1により反転されたクロッ
ク信号clkが入力されこれに同期しかつ起動時制御信
号Sconにより電流駆動能力が制御される可制御第2
バッファB21とを備えている。これらにより、クロッ
ク発生手段が形成されている。 【0018】図2は、この第1の実施の形態に用いられ
る可制御第1バッファB11(もしくは可制御第2バッ
ファB21)の構成例を示す図である。図2において、
電源電圧Vdd点とグランドとの間にP型MOSトラン
ジスタQ21、P型MOSトランジスタQ22、N型M
OSトランジスタQ23及びN型MOSトランジスタQ
24がこの順序で接続されている。 【0019】MOSトランジスタQ21のゲートには反
転回路NOT3を介して起動時制御信号Sconが供給
され、MOSトランジスタQ24のゲートには直接に起
動時制御信号Sconが供給される。MOSトランジス
タQ21にはダイオード接続されたP型MOSトランジ
スタQ25が並列に接続され、また,MOSトランジス
タQ24にはダイオード接続されたN型MOSトランジ
スタQ26が並列に接続されている。 【0020】そして、MOSトランジスタQ22,Q2
3のゲートにはクロック信号clk(もしくはクロック
信号clkの反転信号)が供給され、MOSトランジス
タQ22とMOSトランジスタQ23の接続点から第1
クロックCLK1(もしくは第2クロックCLK2)が
出力される。 【0021】さて、このように構成される本発明の昇圧
回路の動作を図1〜図3を参照しつつ説明する。 【0022】まず、起動信号Stが立ち上がる(Hレベ
ル)と、クロック信号発生器CGは直ちに発振を開始し
クロック信号clkを発生し、一方タイマTDは予め設
定されている所定時間τの計時を開始する。クロック信
号clkは、直接可制御第1バッファB11に供給さ
れ、また反転回路NOT1を介して可制御第2バッファ
B21に供給される。これにより可制御第1バッファB
11及び可制御第2バッファB21から、所定の周波数
を持ち、ほぼ逆位相の状態で変化する二相クロックであ
る第1クロックCLK1及び第2クロックCLK2が、
それぞれ発生される。 【0023】起動信号Stの立ち上がりから所定時間τ
が経過するまでは、起動時制御信号SconはLレベル
の状態にあるから、この間はMOSトランジスタQ21
及びMOSトランジスタQ24はオフされている。した
がって、所定時間τの間は、ダイオード接続されている
MOSトランジスタQ25及びMOSトランジスタQ2
6を介して第1クロックCLK1,第2クロックCLK
2が出力されることになる。 【0024】このMOSトランジスタQ25及びMOS
トランジスタQ26では、それぞれしきい値電圧Vth
だけ電圧降下が生じるから、図3(a)に示されている
ように、第1クロックCLK1,第2クロックCLK2
の振幅の変動幅(即ち、HレベルとLレベルとの間の電
圧差)はその分だけ小さくなり、Vdd−2Vthにな
る。ハイカレントポンプCP1の消費電流は、各ユニッ
トU1〜Unのキャパシタの容量が大きければ大きく、
キャパシタの逆端(クロックライン側)の変動幅が大き
ければ大きくなるから、第1クロックCLK1,第2ク
ロックCLK2の変動幅が小さくされていることによ
り、消費電流は小さくなる。 【0025】このように第1クロックCLK1,第2ク
ロックCLK2の変動幅が小さくされていることによ
り、各ユニットU1〜UnのキャパシタC1〜Cnへの
電流供給能力が制限されるから、昇圧回路の電流消費量
が低減される。特に、昇圧回路の起動直後では大きな電
流(例えば、100mA)を消費するが、この実施の形
態のように電流供給能力を制限することにより消費され
る電流が小さく(例えば、40mA)なる。 【0026】したがって、出力電圧Voutが予定され
た電圧値になるまでの時間は多少長くはなるが、昇圧回
路起動時の消費電流が抑制されるから、電源電圧の変動
が少なくなり、他回路への影響を避けることができる。 【0027】そして、起動後の所定時間τが経過する
と、起動時制御信号SconがHレベルになり、MOS
トランジスタQ21及びMOSトランジスタQ24がオ
ンする。これにより、MOSトランジスタQ25及びM
OSトランジスタQ26による電圧降下は除去されるか
ら、第1クロックCLK1及び第2クロックCLK2
は、図3(b)に示されるように、電源電圧Vddの変
動幅になる。この通常動作状態での昇圧回路の消費電流
は、負荷条件にもよるが、例えば10〜20mA程度で
あり、起動時に消費する電流より遙かに小さいから、他
回路への電源電圧変動の影響を軽減できる。 【0028】図4は、可制御第1バッファB11及び可
制御第2バッファB21の他の実施例を示す図である。
この実施例では、図2で電流能力制限用に設けられてい
たダイオード接続のMOSトランジスタQ25,MOS
トランジスタQ26の定電圧降下素子に代えて、抵抗R
1及び抵抗R2を設けている。 【0029】この抵抗R1,R2は、電流制限素子とし
て機能するから、この図4の可制御第1バッファB1
1、可制御第2バッファB21もやはり起動時の電流能
力制限機能を果たすことができる。更に、この抵抗R
1,R2に代えて、他に定電流源回路を設けることによ
っても同様の効果を得ることができる。この抵抗や定電
流源に代替する点は、他の実施の形態においても同様に
適用することができる。 【0030】図5は本発明の第2の実施の形態に係る、
昇圧回路を備えた半導体装置の回路構成を示す図であ
る。 【0031】この図5の第2の実施に形態においては、
ハイカレントポンプCP1の各ユニットU1〜Unに、
その出力側電圧を供給されるもっとも高い電圧、即ち電
源電圧Vddにクランプするためのクランプ手段が設け
られている。 【0032】このクランプ手段は、各ユニットU1〜U
nの出力側と電源電圧Vddとの間に設けられるMOS
トランジスタQ11〜Q1n(この例ではN型MOSト
ランジスタ)から構成されている。このN型MOSトラ
ンジスタQ11〜Q1nは、起動信号Stを反転回路N
OT2により反転した信号によりオン/オフが制御され
る。この第2の実施の形態においては、クランプ手段以
外の構成は、図1の第1の実施の形態におけると同様の
構成である。 【0033】図5において、昇圧回路が停止していると
きは、N型MOSトランジスタQ11〜Q1nはオンし
ているから、各ユニットU1〜Unの出力側電圧即ち全
てのキャパシタC1〜Cnは電源電圧Vddにクランプ
されている。 【0034】起動信号Stが立ち上がると、そのHレベ
ルが反転回路NOT2で反転されてLレベルとなるか
ら、N型MOSトランジスタQ11〜Q1nはオフさ
れ、これにより、電源電圧Vddへのクランプは解除さ
れる。 【0035】この後は、図1の第1の実施の形態と同様
に昇圧動作が行われるが、その際、各キャパシタが電源
電圧Vddに事前にクランプされていたことにより、キ
ャパシタの充電に要する消費電流が少なくて済む。した
がって、第1の実施の形態に比較して更に起動時の消費
電流を小さくすることができる。また、同じ消費電流と
すれば、電流能力を制限する時間を短くすることができ
る。 【0036】なお、図5では、昇圧回路が停止している
ときは、通常はクロック信号発生器CGの条件に応じて
可制御第1バッファB11と可制御第2バッファB21
の出力はいずれかがHレベルで他方がLレベルになる。
しかし、起動信号Stに応じて制御される簡単なロジッ
ク回路を可制御第1バッファB11、可制御第2バッフ
ァB21に付加することにより、いずれの出力もLレベ
ルに固定しておくことができる。この場合には、全ての
キャパシタC1〜Cnを電源電圧Vddに充電しておく
ことができる。 【0037】図6は本発明の第3の実施の形態に係る、
昇圧回路を備えた半導体装置の回路構成を示す図であ
る。 【0038】この図6の第3の実施に形態においては、
昇圧回路の出力電圧Voutを所定の基準電圧と比較
し、起動時制御信号Sconを発生する電圧比較手段V
comが設けられている。これにより、第1,第2の実
施の形態で設けられていたタイマTDは除去されてい
る。また、第1,第2の実施の形態で設けられていたク
ロック信号発生器CGに代えて、アンド回路ANDを設
け、起動信号Stと外部から供給されるクロック信号c
lkとのアンド条件により、アンド回路ANDからクロ
ック信号clkを出力するようにしている。このクロッ
ク信号発生器CGに代えてアンド回路ANDを設けるこ
とは、第1,第2の実施の形態でも同様に行うことがで
きる。その他の構成は、図5の第2の実施の形態と同じ
である。 【0039】電圧比較手段Vcomは、出力電圧Vou
tを抵抗R3,R4で分圧して比較電圧Vs(=Vou
t×R3/(R3+R4))を形成する分圧手段と、電
源電圧Vddを抵抗R5,R6で分圧して基準電圧Vr
ef(=Vdd×R5/(R5+R6))を形成する分
圧手段と、比較電圧Vsを基準電圧Vrefと比較し、
Vs>Vrefの時に起動時制御信号Sconを出力す
る演算増幅器OP1と、抵抗R3とグランド間及び抵抗
R5とグランド間にそれぞれ接続されたN型MOSトラ
ンジスタQ21、Q22とを備えている。そして、起動
信号Stの立ち上がりにより、N型MOSトランジスタ
Q21、Q22をオンするとともに、演算増幅器OP1
を動作可能にしている。これにより、待機時の無駄な電
力消費を少なくすることができる。 【0040】この図6において、起動信号Stが立ち上
がる(Hレベル)と、まず、MOSトランジスタQ11
〜Q1nはオフされてクランプ動作は停止される。同時
に、外部からのクロック信号clkがアンド回路AND
を介して供給されるから、第1クロックCLK1及び第
2クロックCLK2が、それぞれ発生され、チャージポ
ンプ動作が開始される。 【0041】この状態では、起動時制御信号Sconは
Lレベルの状態にあるから、第1の実施の形態で説明し
たのと同様に、第1クロックCLK1,第2クロックC
LK2の変動幅が小さく、各ユニットU1〜Unのキャ
パシタC1〜Cnへの電流供給能力が制限されるから、
昇圧回路の消費電流が低減されている。 【0042】起動信号Stの立ち上がりから時間の経過
と共に出力電圧Voutが上昇していく。出力電圧Vo
utから形成される比較電圧Vsが、電源電圧Vddか
ら形成される基準電圧Vrefより大きくなると(Vs
>Vref)、演算増幅器OP1の出力、即ち起動時制
御信号SconがHレベルになる。 【0043】これにより、可制御第1バッファB11及
び可制御第2バッファB21の電流能力制限は解除さ
れ、第1クロックCLK1及び第2クロックCLK2
は、通常動作状態である電源電圧Vddの変動幅にな
る。 【0044】このように、昇圧回路の出力電圧Vout
が、起動後に所定の電圧に達するまでは可制御第1バッ
ファB11及び可制御第2バッファB21の電流能力が
制限され、その後制限状態を解除して通常状態に戻す。
したがって、出力電圧Voutが予定された電圧値にな
るまでの時間は多少長くはなるが、昇圧回路起動時の消
費電流が抑制されるから、電源電圧の変動が少なくな
り、他回路への影響を避けることができる。 【0045】なお、以上の各実施の形態では、電流能力
の制限を一段階としているが、これを二段階あるいはそ
れ以上の他段階に制御することも、同様の手法を用いる
ことにより実施することができる。 【0046】また、チャージポンプユニットは、以上説
明した各実施の形態における構成に限られるものではな
く、例えば、MOSトランジスタとして、P型基板に形
成されたN型ウエルと、このN型ウエル中に形成された
P型ウエルと、このP型ウエル中に形成されたN型のソ
ース領域、このソース領域とチャネル領域を隔てて形成
されたN型ドレイン領域、チャネル上方に絶縁物を介し
て形成されたゲートとを備えたウエル分離形式であり、
そのN型ウエルはP型基板との間及びP型ウエルとの間
が逆バイアスされるように高電位点に接続される構造の
ダブルウエル形式のMOSトランジスタを用いることが
できる。また、各ユニットが主NMOSトランジスタと
主キャパシタ及び副NMOSトランジスタと副キャパシ
タとを持ち、それらが4相クロックで駆動される形式の
ものでも、同様に構成することができる。 【0047】 【発明の効果】請求項1記載の昇圧回路を備えた半導体
装置によれば、起動信号を受けてから予め定められてい
る所定の条件、例えば、時間や出力電圧値、を満たすま
での間は、全チャージポンプユニットのキャパシタへ電
流供給能力が制限されたクロックが供給される。したが
って、昇圧回路起動時の消費電流が抑制されるから、電
源電圧の変動を少なくし、他回路への影響を避けること
ができる。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device having a booster circuit for obtaining a high voltage from a low voltage power supply. 2. Description of the Related Art Conventionally, as semiconductor devices (hereinafter, ICs) such as EEPROMs and flash memories have a single low-voltage power supply, for example, a voltage necessary for writing or erasing stored contents has been reduced by the IC. , The power supply voltage is being boosted. For this purpose, a booster circuit such as a charge pump circuit is provided in the IC. FIG. 7 is a diagram showing a configuration of a conventional booster circuit. In FIG. 7, the first-stage charge pump unit U1
, An N-stage charge pump unit (hereinafter, may be referred to as a unit) is connected in series from the output stage to a charge pump unit Un, and a high-current pump CP
1. The power supply voltage Vd is applied to the first unit U1.
d (for example, 2V or 3V) is supplied. Further, from the output side of the unit Un of the output stage, an output smoothing circuit including an N-type MOS transistor Qo for a high withstand voltage having a source and a gate connected, and a capacitor Co connected between the drain side and a ground potential is provided. Via the power supply voltage Vdd
Output voltage Vout (for example, 10
V) is output. Each of the units U1 to Un has a similar configuration. For example, when the unit U1 is described as an example, it includes an N-type MOS transistor Q1 for high withstand voltage and a capacitor C1. The source S of the N-type MOS transistor Q1 is supplied with the power supply voltage Vdd and is connected to the gate G, which is a so-called diode connection. The drain D is the N-type MOS of the next unit U2.
The substrate is connected to the source S of the transistor Q2, and its substrate is connected to the lowest potential point, in this example, the ground potential. The capacitor C1 has one end connected to the drain D and the other end connected to a clock line (in this case, a clock line of the first clock CLK1). The capacitor of each unit is connected to the clock line of the first clock CLK1 in the odd-numbered units U1, U3, etc., and is connected to the even-numbered units U2, U3.
4 is connected to the clock line of the second clock CLK2. A first clock CLK1 and a second clock C
LK2 is, for example, a two-phase clock that has the same amplitude voltage as the power supply voltage Vdd, has a predetermined frequency, and changes in almost the opposite phase. The first clock CLK1 is output by amplifying the clock signal clk in the first buffer B1. The second clock CLK2 is a clock signal cl.
k is inverted by the inverting circuit NOT1, amplified by the second buffer B2, and output. In the booster circuit of FIG. 7, upon receiving a start signal (not shown), clock signal clk is driven to an H level /
When the change to the L level starts alternately, the first buffer B1
And the inverting circuit NOT1 and the second buffer B2,
The clock CLK1 and the second clock CLK2 start to change in the opposite phase. In response to the start of the operation of the first clock CLK1 and the second clock CLK2, the units U1 to Un simultaneously start the charge pump operation, and the power supply voltage Vdd is sequentially charged up and boosted for each unit. Output voltage Vout is output. This output voltage Vout
Is supplied to a predetermined terminal such as an EEPROM. In this booster circuit, the capacitors C1 to Cn of each unit U1 to Un
A capacitor having a relatively large capacity is used so that a required current can be supplied together with the output voltage Vout. Therefore, immediately after the start, a large current is consumed by the units U1 to Un that start operating at the same time.
The power supply voltage drops due to the voltage drop and becomes unstable. This fluctuation of the power supply voltage occurs every time the booster circuit is started. Therefore, a malfunction (eg, a write operation or a read operation) of a logic circuit or the like in a semiconductor device in which the booster circuit is incorporated may cause a malfunction. It may cause adverse effects such as inducing. If the capacity of the power supply circuit is allowed to withstand a current change, such a change can be avoided. However, for example, in a semiconductor device which is required to be reduced in size and weight such as for a portable device, It is difficult to have room. Therefore, the present invention reduces the voltage fluctuation at the start-up by changing the conditions of the boosting operation so as to suppress the current consumption at the start-up, thereby avoiding adverse effects on other circuits. It is an object of the present invention to provide a semiconductor device provided with a booster circuit configured. According to a first aspect of the present invention, there is provided a semiconductor device having a booster circuit, a MOS transistor having an input terminal and an output terminal, and one end connected to the output terminal of the MOS transistor. A charge pump unit having a capacitor connected to the other end and supplied with a clock, a plurality of charge pump units connected in series to output an output voltage whose power supply voltage has been boosted, and the generation of the clock in response to a start signal The clock generating means is configured to limit a current supply capability to the capacitor as the clock at least until the predetermined condition is satisfied after receiving the start signal. And generating a limited-capacity clock. According to the semiconductor device having the booster circuit according to the first aspect of the present invention, a period from when the start signal is received to when a predetermined condition, for example, time or output voltage value, is satisfied. Is supplied with a clock having a limited current supply capability to the capacitors of all the charge pump units.
Therefore, current consumption at the time of starting the booster circuit is suppressed, so that fluctuations in the power supply voltage can be reduced and influence on other circuits can be avoided. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a semiconductor device having a booster circuit according to the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram illustrating a circuit configuration of a semiconductor device including a booster circuit. FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of a buffer that generates a clock, and FIG. 3 is a diagram illustrating a clock with a limited capacity and a normal clock. In FIG. 1, similarly to the conventional circuit shown in FIG. 7, N-stage units are connected in series from a first-stage charge pump unit U1 to an output-stage charge pump unit Un, and a high-current pump CP serving as charge pump means is provided.
The power supply voltage Vdd (for example, 2 V or 3 V) is supplied to the unit U1, and an N-type MOS transistor Qo, a capacitor C
a predetermined output voltage Vou via an output smoothing circuit
t (for example, 10 V) is output. Each unit U1
Un is the same as in the conventional FIG. 7, and corresponding components are denoted by the same reference numerals. Note that an output smoothing circuit including an N-type MOS transistor Qo and a capacitor Co is
In the first embodiment of FIG. 1, a clock signal generator CG for receiving a start signal St and outputting a clock signal clk, and a start signal St may be included in the high current pump CP1. After a predetermined time τ, the timer TD of the on-delay operation for raising the start-up control signal Scon from the L level to the H level, an inverting circuit NOT1 for inverting the clock signal clk, and the clock signal clk are input and synchronized with Start-up control signal Sc
The controllable first buffer B11 in which the current drive capability is controlled by ON, and the controllable control in which the clock drive signal clk inverted by the inverting circuit NOT1 is input and synchronized with the clock signal clk, and the current drive capability is controlled by the start-up control signal Scon. Second
And a buffer B21. These form a clock generating means. FIG. 2 is a diagram showing a configuration example of the controllable first buffer B11 (or the controllable second buffer B21) used in the first embodiment. In FIG.
A P-type MOS transistor Q21, a P-type MOS transistor Q22, an N-type M
OS transistor Q23 and N-type MOS transistor Q
24 are connected in this order. The start-up control signal Scon is supplied to the gate of the MOS transistor Q21 via the inverting circuit NOT3, and the start-up control signal Scon is directly supplied to the gate of the MOS transistor Q24. The MOS transistor Q21 is connected in parallel with a diode-connected P-type MOS transistor Q25, and the MOS transistor Q24 is connected in parallel with a diode-connected N-type MOS transistor Q26. Then, the MOS transistors Q22, Q2
The clock signal clk (or an inverted signal of the clock signal clk) is supplied to the gate of the third MOS transistor Q3, and the gate of the MOS transistor Q22 and the first MOS transistor Q23
The clock CLK1 (or the second clock CLK2) is output. Now, the operation of the booster circuit according to the present invention will be described with reference to FIGS. First, when the start signal St rises (H level), the clock signal generator CG immediately starts oscillating and generates a clock signal clk, while the timer TD starts measuring a predetermined time τ. I do. The clock signal clk is directly supplied to the controllable first buffer B11, and is also supplied to the controllable second buffer B21 via the inverting circuit NOT1. Thereby, the controllable first buffer B
11 and the controllable second buffer B21, a first clock CLK1 and a second clock CLK2, which are two-phase clocks having a predetermined frequency and changing in almost opposite phases, are:
Each is generated. A predetermined time τ from the rise of the start signal St
Since the start-up control signal Scon is at the L level state until the time elapses, the MOS transistor Q21
And the MOS transistor Q24 is off. Therefore, during the predetermined time τ, the diode-connected MOS transistor Q25 and MOS transistor Q2
6, the first clock CLK1 and the second clock CLK
2 will be output. The MOS transistor Q25 and the MOS
In the transistor Q26, the threshold voltage Vth
Since only a voltage drop occurs, as shown in FIG. 3A, the first clock CLK1 and the second clock CLK2
(I.e., the voltage difference between the H level and the L level) becomes smaller by that amount, and becomes Vdd-2Vth. The current consumption of the high current pump CP1 increases as the capacitance of the capacitors of the units U1 to Un increases.
The larger the fluctuation width of the opposite end (clock line side) of the capacitor is, the larger the fluctuation width of the first clock CLK1 and the second clock CLK2 is. Since the fluctuation width of the first clock CLK1 and the second clock CLK2 is reduced as described above, the ability of each unit U1 to Un to supply current to the capacitors C1 to Cn is limited. The current consumption is reduced. In particular, immediately after the start-up of the booster circuit, a large current (for example, 100 mA) is consumed, but the current consumed is reduced (for example, 40 mA) by limiting the current supply capability as in this embodiment. Therefore, although the time required for the output voltage Vout to reach the predetermined voltage value is slightly longer, the current consumption at the time of starting the booster circuit is suppressed, so that the fluctuation of the power supply voltage is reduced and the output voltage to other circuits is reduced. The effect of can be avoided. When a predetermined time τ has elapsed after the start, the start-time control signal Scon goes high, and the MOS
The transistor Q21 and the MOS transistor Q24 turn on. Thereby, the MOS transistors Q25 and M
Since the voltage drop due to the OS transistor Q26 is eliminated, the first clock CLK1 and the second clock CLK2
Is the fluctuation width of the power supply voltage Vdd, as shown in FIG. The current consumption of the booster circuit in the normal operation state depends on the load conditions, but is, for example, about 10 to 20 mA, which is much smaller than the current consumed at startup. Can be reduced. FIG. 4 is a diagram showing another embodiment of the first controllable buffer B11 and the second controllable buffer B21.
In this embodiment, the diode-connected MOS transistors Q25 and MOS
Instead of the constant voltage drop element of the transistor Q26, a resistor R
1 and a resistor R2. Since the resistors R1 and R2 function as current limiting elements, the controllable first buffer B1 shown in FIG.
1. The controllable second buffer B21 can also perform the current capability limiting function at the time of startup. Further, the resistance R
Similar effects can be obtained by providing another constant current source circuit instead of 1 and R2. This alternative to the resistor and the constant current source can be similarly applied to other embodiments. FIG. 5 shows a second embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram illustrating a circuit configuration of a semiconductor device including a booster circuit. In the second embodiment shown in FIG. 5,
For each of the units U1 to Un of the high current pump CP1,
Clamping means is provided for clamping the output voltage to the highest voltage supplied, that is, the power supply voltage Vdd. This clamping means comprises the units U1 to U
MOS provided between the output side of n and the power supply voltage Vdd
It is composed of transistors Q11 to Q1n (N-type MOS transistors in this example). The N-type MOS transistors Q11 to Q1n transmit the start signal St to the inverting circuit N
ON / OFF is controlled by the signal inverted by OT2. In the second embodiment, the configuration other than the clamp means is the same as that in the first embodiment of FIG. In FIG. 5, when the booster circuit is stopped, the N-type MOS transistors Q11 to Q1n are on, so the output voltages of the units U1 to Un, that is, all the capacitors C1 to Cn are connected to the power supply voltage. It is clamped to Vdd. When the start signal St rises, its H level is inverted by the inverting circuit NOT2 and becomes L level, so that the N-type MOS transistors Q11 to Q1n are turned off, whereby the clamp to the power supply voltage Vdd is released. You. Thereafter, the boosting operation is performed in the same manner as in the first embodiment shown in FIG. 1. At this time, the charging of the capacitors is required because each capacitor is clamped in advance to the power supply voltage Vdd. Low current consumption. Therefore, the current consumption at the time of starting can be further reduced as compared with the first embodiment. Further, if the current consumption is the same, the time for limiting the current capability can be shortened. In FIG. 5, when the booster circuit is stopped, the first controllable buffer B11 and the second controllable buffer B21 are normally controlled according to the conditions of the clock signal generator CG.
Are at H level and the other is at L level.
However, by adding a simple logic circuit controlled in accordance with the start signal St to the controllable first buffer B11 and the controllable second buffer B21, both outputs can be fixed at the L level. In this case, all the capacitors C1 to Cn can be charged to the power supply voltage Vdd. FIG. 6 shows a third embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram illustrating a circuit configuration of a semiconductor device including a booster circuit. In the third embodiment shown in FIG. 6,
Voltage comparison means V that compares the output voltage Vout of the booster circuit with a predetermined reference voltage and generates a start-up control signal Scon
com is provided. Thereby, the timer TD provided in the first and second embodiments is removed. An AND circuit AND is provided in place of the clock signal generator CG provided in the first and second embodiments, and a start signal St and a clock signal c supplied from the outside are provided.
A clock signal clk is output from the AND circuit AND according to an AND condition with lk. The provision of the AND circuit AND in place of the clock signal generator CG can be similarly performed in the first and second embodiments. Other configurations are the same as those of the second embodiment in FIG. The voltage comparison means Vcom outputs the output voltage Vou
t is divided by the resistors R3 and R4, and the comparison voltage Vs (= Vou
voltage dividing means for forming t × R3 / (R3 + R4), and dividing the power supply voltage Vdd by the resistors R5 and R6 to generate a reference voltage Vr
ef (= Vdd × R5 / (R5 + R6)), and the comparison voltage Vs is compared with the reference voltage Vref.
An operation amplifier OP1 that outputs a start-up control signal Scon when Vs> Vref, and N-type MOS transistors Q21 and Q22 connected between the resistor R3 and the ground and between the resistor R5 and the ground, respectively. In response to the rise of the start signal St, the N-type MOS transistors Q21 and Q22 are turned on, and the operational amplifier OP1 is turned on.
Is operable. As a result, wasteful power consumption during standby can be reduced. In FIG. 6, when the start signal St rises (H level), first, the MOS transistor Q11
QQ1n are turned off and the clamp operation is stopped. At the same time, an external clock signal clk is applied to the AND circuit AND
, The first clock CLK1 and the second clock CLK2 are respectively generated, and the charge pump operation is started. In this state, since the start-up control signal Scon is at the L level, the first clock CLK1 and the second clock C2 are set in the same manner as described in the first embodiment.
Since the fluctuation range of LK2 is small and the current supply capability to the capacitors C1 to Cn of each unit U1 to Un is limited,
The current consumption of the booster circuit is reduced. The output voltage Vout increases with the lapse of time from the rise of the start signal St. Output voltage Vo
ut becomes higher than the reference voltage Vref formed from the power supply voltage Vdd (Vs
> Vref), the output of the operational amplifier OP1, that is, the start-up control signal Scon becomes H level. As a result, the current capability limitation of the first controllable buffer B11 and the second controllable buffer B21 is released, and the first clock CLK1 and the second clock CLK2 are released.
Is the fluctuation width of the power supply voltage Vdd in the normal operation state. As described above, the output voltage Vout of the booster circuit
However, the current capability of the controllable first buffer B11 and the controllable second buffer B21 is limited until the voltage reaches a predetermined voltage after the start-up, and then the limited state is released to return to the normal state.
Therefore, although the time required for the output voltage Vout to reach the predetermined voltage value is slightly longer, the current consumption at the time of starting the booster circuit is suppressed, so that the fluctuation of the power supply voltage is reduced and the influence on other circuits is reduced. Can be avoided. In each of the embodiments described above, the current capability is limited to one stage. However, it is also possible to control the current capability to two or more other stages by using a similar method. Can be. The charge pump unit is not limited to the configuration in each of the above-described embodiments. For example, as a MOS transistor, an N-type well formed on a P-type substrate and a N-type well in the N-type well are formed. A P-type well formed, an N-type source region formed in the P-type well, an N-type drain region formed between the source region and the channel region, and an insulator formed above the channel via an insulator. Well type with a closed gate,
As the N-type well, a double-well type MOS transistor having a structure connected to a high potential point so as to be reversely biased between the P-type substrate and the P-type well can be used. Each unit may have a main NMOS transistor and a main capacitor, and a sub-NMOS transistor and a sub-capacitor, and may be configured to be driven by a four-phase clock. According to the semiconductor device having the booster circuit according to the first aspect of the present invention, a predetermined condition such as a time or an output voltage value is satisfied after the start signal is received. During this period, a clock having a limited current supply capability is supplied to the capacitors of all the charge pump units. Therefore, current consumption at the time of starting the booster circuit is suppressed, so that fluctuations in the power supply voltage can be reduced and influence on other circuits can be avoided.

【図面の簡単な説明】 【図1】第1の実施の形態に係る、昇圧回路を備えた半
導体装置の回路構成を示す図。 【図2】クロックを発生するバッファの構成例を示す
図。 【図3】電流能力の制限されたクロックと通常のクロッ
クとを示す図。 【図4】クロックを発生するバッファの他の構成例を示
す図。 【図5】第2の実施の形態に係る、昇圧回路を備えた半
導体装置の回路構成を示す図。 【図6】第2の実施の形態に係る、昇圧回路を備えた半
導体装置の回路構成を示す図。 【図7】従来の昇圧回路の構成を示す図。 【符号の説明】 CP1,CP11 ハイカレントポンプ U1〜Un チャージポンプユニット Q1〜Qn、Q21〜Q26、Q11〜Q1n、Qo
MOSトランジスタ C1〜Cn、Co キャパシタ B11 可制御第1バッファ B21 可制御第2バッファ NOT1、NOT2,NOT3 反転回路 CG クロック信号発生器 TD タイマ R1〜R6 抵抗 Vcom 電圧比較手段 OP1 演算増幅器 Q21、Q22 MOSトランジスタ AND アンド回路 clk クロック信号 CLK1 第1クロック CLK2 第2クロック St 起動信号 Scon 起動時制御信号 Vdd 電源電圧 Vout 出力電圧
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a diagram showing a circuit configuration of a semiconductor device including a booster circuit according to a first embodiment. FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of a buffer that generates a clock. FIG. 3 is a diagram showing a clock with a limited current capability and a normal clock. FIG. 4 is a diagram illustrating another configuration example of a buffer that generates a clock. FIG. 5 is a diagram illustrating a circuit configuration of a semiconductor device including a booster circuit according to a second embodiment. FIG. 6 is a diagram illustrating a circuit configuration of a semiconductor device including a booster circuit according to a second embodiment. FIG. 7 illustrates a configuration of a conventional booster circuit. [Description of Signs] CP1, CP11 High current pumps U1 to Un Charge pump units Q1 to Qn, Q21 to Q26, Q11 to Q1n, Qo
MOS transistors C1 to Cn, Co capacitor B11 Controllable first buffer B21 Controllable second buffer NOT1, NOT2, NOT3 Inverting circuit CG Clock signal generator TD Timer R1 to R6 Resistance Vcom Voltage comparison means OP1 Operational amplifiers Q21, Q22 MOS transistors AND AND circuit clk Clock signal CLK1 First clock CLK2 Second clock St Start signal Scon Start control signal Vdd Power supply voltage Vout Output voltage

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5B025 AD10 AE00 5F038 BB05 BG03 BG05 DF01 DF05 DT12 EZ20 5H730 AA14 AS04 BB02 BB57 BB86 BB89 DD04 DD26 DD32 FD01 FG01    ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page    F-term (reference) 5B025 AD10 AE00                 5F038 BB05 BG03 BG05 DF01 DF05                       DT12 EZ20                 5H730 AA14 AS04 BB02 BB57 BB86                       BB89 DD04 DD26 DD32 FD01                       FG01

Claims (1)

【特許請求の範囲】 【請求項1】 入力端側と出力端側をもつMOSトラン
ジスタとこのMOSトランジスタの出力端側に一端が接
続され他端にクロックが供給されるキャパシタとを有す
るチャージポンプユニットが、複数直列に接続され電源
電圧が昇圧された出力電圧が出力されるチャージポンプ
手段と、 起動信号を受けて前記クロックの発生を開始するクロッ
ク発生手段を備え、 前記クロック発生手段は、少なくとも前記起動信号を受
けてから予め定められている所定の条件を満たすまでの
間は、前記クロックとして前記キャパシタへの電流供給
能力が制限されている能力制限クロックを発生すること
を特徴とする、昇圧回路を備えた半導体装置。
1. A charge pump unit comprising: a MOS transistor having an input terminal and an output terminal; and a capacitor having one end connected to the output terminal of the MOS transistor and a clock supplied to the other end. Comprises a plurality of charge pump units connected in series and outputting an output voltage whose power supply voltage has been boosted, and a clock generation unit that starts generation of the clock in response to a start signal. A boosting circuit for generating, as the clock, a performance limited clock having a limited current supply capability to the capacitor until a predetermined condition is satisfied after receiving the start signal. A semiconductor device comprising:
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