JP2003243817A - 半田ボール供給用ピックアップヘッドおよび半田ボール供給装置ならびに半田ボール供給方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 吸着プレートや吸着部の各吸着孔に半田ボー
ルが吸着されてピックアップヘッド内が密室状態となっ
たときに、吸着プレートや吸着部がヘッドハウジングの
内部方向にたわんで変形するの防止すること。 【解決手段】 ピックアップヘッド５の内部と外部とで
空気の流通を可能とする圧力調節用空気流通孔５７１
と、ピックアップヘッド５の内部がある一定の気圧以上
となったとき作動して、外気をピックアップヘッド５内
に導入することで当該ピックアップヘッド５内部の気圧
を予め設定した気圧にまで上昇させ、かつ、その予め設
定した気圧を維持可能な真空レギュレータ５７２とを設
ける。この真空レギュレータ５７２は、半田ボールが、
吸着プレート５２に設けられた吸着孔５５に吸着された
状態となると同時に作動して、ピックアップヘッド５内
の気圧を、半田ボールの吸着時の気圧よりも高い気圧
で、かつ、吸着プレート５２に吸着された半田ボールの
吸着状態を維持できる気圧とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハなどの基板
に半田ボールをマウントする際に用いられる半田ボール
供給用ピックアップヘッドおよび半田ボール供給装置な
らびに半田ボール供給方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体チップ、フイルムキャリアなどの
インナーリードの電極パットやその他の回路基板などに
微小のボール状の半田をマウントさせるために、当該微
小の半田ボールをマウント部に供給する装置が知られて
いる。

【０００３】このような半田ボール供給装置は、半田ボ
ールトレイに貯留された半田ボールをピックアップヘッ
ドが１回の吸着動作ごとに所定量の半田ボールを吸着し
て、それを次のマウント工程に移送するといった動作を
繰り返し行う。

【０００４】この種の半田ボール供給装置に用いられる
ピックアップヘッドとして、図１２に示すようなものが
ある。この図１２に示されるピックアップヘッド１００
は、直方体形状のヘッドハウジング１０１の下面、すな
わち、半田ボールトレイ１０２に対向する側の面に、半
田ボール１０３を吸着するための多数の吸着孔１０４が
設けられた吸着プレート１０５を取り付け固定して、こ
のヘッドハウジング１０１の内部を真空ポンプ（図示省
略）で減圧することによって、半田ボールトレイ１０２
内に存在する半田ボール１０３を多数の吸着孔１０４で
吸着し、吸着した半田ボール１０３を図示しないマウン
ト工程に搬送するようになっている。

【０００５】また、このピックアップヘッド１００は、
半田ボール１０３の吸着動作を行ったとき、多数の吸着
孔１０４に半田ボール１０３が適正に吸着された状態と
なっているか否かを監視する機能を有しているものもあ
る。この半田ボール１０３が適切に吸着された状態とな
っているか否かの判断は、マウント工程への搬送の際
に、吸着プレート１０５の下側から光を照射し、ヘッド
ハウジング１０１内部に設けられた受光部１０７がその
光を受けたか否かによって判断する。

【０００６】すなわち、半田ボール１０３の吸着がなさ
れていない吸着孔１０４が存在した場合には、その吸着
孔１０４を通して光が受光部１０７に達し、それを受光
部１０７が検知することで適正な吸着状態となっていな
いことがわかる。

【０００７】このような構造のピックアップヘッド１０
０は、半田ボール１０３が吸着プレート１０５に対して
適正に吸着されているか否かを監視することが可能であ
るので、以降のマウント工程に支障を与えることがない
優れたピックアップヘッドであるといえる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】この図１２で示すよう
なピックアップヘッド１００は、半田ボール１０３の吸
着の確実性や吸着状態の監視を簡単に行えるという点で
優位性があるといえる。しかし、それを実現するには外
部からの光をピックアップヘッド１００の内部に通すた
めの貫通孔としての吸着孔１０４の存在が必須となる。

【０００９】一般に、この吸着孔１０４は、所定の厚み
のあるＳＵＳなどのステンレス製の吸着プレート１０５
に多数（数万個程度）設けられる場合が多く、しかも、
それぞれの吸着孔１０４の径は０．１ｍｍ程度の微小な
孔であるので、その加工に多くの時間とコストがかかる
問題がある。

【００１０】また、従来では、この吸着孔１０４は、所
定の厚みの有るＳＵＳなどの部材に高精度な孔あけ加工
を行って設けるのが一般的である。しかし、吸着孔１０
４は、上述のように ０．１ｍｍ程度の径であるため、
高精度な孔あけ加工を可能とする高精度で高価な装置を
必要とする問題もある。

【００１１】一方、最近では、回路部材が載置された基
板ではなく、回路が形成されたウエハ自体に半田ボール
１０３をマウントすることが行われ始めている。一般
に、ウエハに半田ボールをマウントさせる装置において
は、１つの吸着プレートには２万個程度の吸着孔が設け
られるのが一般的であるため、従来の方法では、孔あけ
加工によって２万個の吸着孔を設けることが必要とな
り、数週間の期間を要すると共に、その加工に要する費
用（製造コスト）は数百万円程度がかかるとされてい
る。この加工時間と加工費を如何に低く抑えるかが大き
な課題となりつつある。

【００１２】また、この種の半田ボール供給装置におけ
る問題は、上述した孔あけ加工に要する手間や加工費だ
けではなく、真空吸着時における吸着プレート１０５の
変形が大きな問題ともなっている。

【００１３】すなわち、この種の半田ボール供給装置
は、半田ボール１０３の吸着時には、図示しない真空ポ
ンプによってヘッドハウジング１０１内部を減圧して、
半田ボール１０３を吸着するようにしているが、半田ボ
ールトレイ１０２内に貯留された半田ボール１０３を効
率よく的確に吸着させるに必要な吸着力を得るには、真
空ポンプの設定を、外気圧（約１００ｋＰａ）に対して
５３ｋＰａから６０ｋＰａ程度下げた気圧とすることが
必要とされている。すなわち、４１〜４８ｋＰａ程度の
気圧に真空ポンプを設定している。

【００１４】真空ポンプをこのような設定としてヘッド
ハウジング１０１内の気圧を下げることによって、半田
ボール１０３はすべての吸着孔１０４に殆ど瞬時に吸着
されるようになる。なお、半田ボール１０３がすべての
吸着孔１０４に吸着された状態となった後も、その吸着
状態を維持するため、真空ポンプはそのまま動作を続行
している。

【００１５】しかし、吸着プレート１０５のすべての吸
着孔１０４に半田ボール１０３が吸着された状態となる
と、ヘッドハウジング１０１内部は密室状態となるの
で、急激にヘッドハウジング１０１の内部は減圧される
こととなる。このため、吸着プレート１０５に対して瞬
間的にきわめて大きな外気圧、つまり、ヘッドハウジン
グ１０１内部方向への吸引力が働くことになる。

【００１６】ちなみに、吸着プレート１０５がたとえば
２５０ｍｍ×７０ｍｍ程度の大きさであったとすると、
ヘッドハウジング１０１内部が密室状態となった場合、
ヘッドハウジング１０１内部が、外気圧に対して−６０
ｋＰａ程度となると、吸着プレート１０５には１００ｋ
ｇ程度の圧力が加わると考えられる。

【００１７】特に、上述したように、吸着プレート１０
５に多数の吸着孔１０４が形成されると、その吸着プレ
ート１０５の剛性も小さくなりがちであり、ヘッドハウ
ジング１０１内部方向への吸引力の影響をより受けやす
くなる。

【００１８】このため、図１３に示すように、吸着プレ
ート１０５がヘッドハウジング１０１の内側方向にたわ
むような変形が生じて、その変形の度合いが大きくなる
と、ヘッドハウジング１０１と吸着プレート１０５との
接合部に隙間Ｓ（図１３参照）が生じ、その隙間Ｓにも
半田ボール１０３が吸着されてしまうといった問題が発
生する。

【００１９】また、吸着ルート１０５の変形は、ウエハ
等への半田ボール１０３のマウント作業にも不具合が生
じたり、吸着プレート１０５の強度に悪影響を及ぼし
て、吸着プレート１０５が損傷しやすくなり、長期間の
使用に耐えがたくなる危険性も生ずる。

【００２０】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、半田ボール吸着時における吸着
プレートの変形を防止できるようにした半田ボール供給
用ピックアップヘッドおよび半田ボール供給装置ならび
に半田ボール供給方法を提供することを目的とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明の半田ボール供給用ピックアップヘッドは、
内部に空間部を有するヘッドハウジングと、このヘッド
ハウジングに保持され、半田ボールを吸着するための多
数の吸着孔を有する吸着プレートとを有し、ヘッドハウ
ジングと吸着プレートによって囲まれた内部空間を減圧
状態とすることによって、半田ボールを吸着プレートに
設けられた吸着孔に吸着する半田ボール供給用ピックア
ップヘッドにおいて、半田ボールが吸着プレートに設け
られた全ての吸着孔に吸着された状態となると同時にま
たは相前後して作動して、内部空間内の気圧を、半田ボ
ールを吸着する際の気圧よりも高い気圧で、かつ、吸着
プレートに吸着された半田ボールの吸着状態を維持でき
る気圧とする圧力調節手段を設けるようにしている。

【００２２】このような圧力調節手段を設けることによ
り、吸着プレートの各吸着孔に半田ボールが吸着される
と同時にまたは相前後して、ピックアップヘッド内部の
気圧をある値にまで上昇させてそれを保持するので、吸
着プレートに過大な圧力（ピックアップヘッド内部方向
への吸引力）が働くことがなくなり、しかも、吸着プレ
ートに吸着した半田ボールの吸着状態をそのまま維持す
ることができる。

【００２３】これによって、吸着プレートがたわんで変
形したり損傷したりするの防止することができ、ピック
アップヘッドが長期間の使用に耐えるようになる。ま
た、前述したように、吸着プレートがたわんで変形する
ことにより、ヘッドハウジングと吸着プレートとの接合
部に隙間が生じ、その隙間にも半田ボールが吸着されて
しまうといった不都合もなくなる。また、ウエハ等の半
田ボールマウント作業も安定的に実行される。

【００２４】また、他の発明の半田ボール供給用ピック
アップヘッドは、半田ボールを吸着するための多数の吸
着孔を有する吸着部を有し、内部空間を減圧状態とする
ことによって半田ボールを吸着孔に吸着する半田ボール
供給用ピックアップヘッドにおいて、半田ボールが全て
の吸着孔に吸着された状態となると同時にまたは相前後
して作動して、内部空間内の気圧を、半田ボールを吸着
する際の気圧よりも高い気圧で、かつ、吸着部に吸着さ
れた半田ボールの吸着状態を維持できる気圧とする圧力
調節手段を設けている。

【００２５】このような圧力調節手段を設けることによ
り、吸着部の各吸着孔に半田ボールが吸着されると同時
にまたは相前後して、ピックアップヘッド内部の気圧を
ある値にまで上昇させてそれを保持するので、吸着部に
過大な圧力（ピックアップヘッド内部方向への吸引力）
が働くことがなくなり、しかも、吸着部に吸着した半田
ボールの吸着状態をそのまま維持することができる。

【００２６】これによって、吸着プレートがたわんで変
形したり損傷したりするの防止することができ、長期間
の使用に耐えるようになる。また、ウエハ等の半田ボー
ルマウント作業も安定的に実行される。

【００２７】また、圧力調節手段は、ピックアップヘッ
ドの内部と外部とで空気の流通を可能とする圧力調節用
空気流通孔と、この圧力調節用空気流通孔に設けられ、
ピックアップヘッドの内部がある一定の気圧以上となっ
たとき作動して、外気をピックアップヘッドの内部空間
に導入することで当該内部空間の気圧を予め設定した気
圧にまで上昇させ、かつ、その予め設定した気圧を保持
可能な真空レギュレータとを有するものとするのが好ま
しい。

【００２８】圧力調節手段をこのような構成とすること
によって、既存の安価な部品を用い簡単な取り付け加工
を施すだけで圧力調節手段としての機能を持たせること
ができるので、コストにそれ程大きな影響を及ぼすこと
がなく、また、確実な圧力調節動作を行うことができ
る。

【００２９】また、内部空間の気圧を予め設定した気圧
にまで上昇させる際の予め設定された気圧とは、吸着孔
に半田ボールが吸着された状態の吸着プレートまたは吸
着部に半田ボールの直径の１０分の１以上のたわみを生
じさせない気圧で、かつ、吸着された半田ボールの吸着
状態を維持できる気圧とするのが好ましい。

【００３０】これにより、吸着プレートや吸着部に過大
な圧力が働くことがなくなり、しかも、吸着プレートや
吸着部に吸着した半田ボールの吸着状態をそのまま維持
することができる。

【００３１】また、吸着プレートまたは吸着部は、吸着
孔がエッチングにより形成された吸着板と、この吸着板
に重ね合わせて張り合わせることで吸着板の補強部材と
しての役目をなし、吸着板に重ね合わせをしたときに吸
着孔に対応する位置に切り欠き窓が形成された補強板と
から構成するようにするのが好ましい。

【００３２】これによって、強度の高い吸着プレートや
吸着部とすることができ、ピックアップヘッドの内部が
密室状態となっても、吸着プレートや吸着部は変形しに
くくなる。それによって、圧力調節手段によりピックア
ップヘッドの内部空間を予め設定した気圧にまで上昇さ
せる際、内部空間の気圧をあまり高くまで上昇させる必
要がないので、吸着プレートや吸着部に吸着された半田
ボールの吸着状態の維持をより確実なものとすることが
できる。また、設定した気圧となるまでに要する時間を
短くできるので、吸着プレートや吸着部のたわみ防止を
一層確実に達成することができる。さらに、吸着プレー
トや吸着部の吸着孔をエッチングによって形成するよう
にしているので、吸着プレート等の製造時間と製造コス
トを大幅に削減することが可能となり、しかも、高精度
な吸着孔の形成が可能となる効果も得られる。

【００３３】また、本発明の半田ボール供給装置は、請
求項１、２、３または４のいずれか１項記載の半田ボー
ル供給用ピックアップヘッドと、この半田ボール供給用
ピックアップヘッドを水平方向および垂直方向に移動可
能なピックアップヘッドテーブルと、半田ボール供給用
ピックアップヘッドによって吸着される半田ボールを載
置する半田ボールトレイとを有する構成としている。

【００３４】この構成の半田ボール供給装置では、吸着
プレートや吸着部の各吸着孔に半田ボールが吸着される
動作を行う際、圧力調節手段が作動することによって、
ピックアップヘッドの内部の気圧をある値にまで上昇さ
せてそれを保持するので、吸着プレートや吸着部に過大
な圧力が働くことがなくなり、しかも、吸着プレートや
吸着部に吸着した半田ボールの吸着状態をそのまま維持
することができる。これによって、吸着プレートや吸着
部がたわんで変形するの防止することができ、吸着プレ
ートや吸着部が劣化しにくくなり、長期間の使用に耐え
るようになり、半田ボール供給装置の維持・管理にかか
る費用の削減など全体的なコストを減少させることがで
きる。

【００３５】また、吸着プレートのたわみによる不具合
や吸着部のたわみによる不具合が無くなり、ウエハ等へ
の半田ボールのマウント作業が長期間安定して実行され
るものとなる。このため、作業性能が良く、作業効率を
向上させ得る半田ボール供給装置とすることができる。

【００３６】また、本発明の半田ボール供給方法は、ヘ
ッドハウジングと吸着プレートによって囲まれた内部空
間を半田ボールが置かれる外部空間に比べて減圧状態と
することによって、半田ボールを吸着プレートに設けら
れた複数の吸着孔に吸着した後、半田ボールを基板に供
給する半田ボール供給方法において、内部空間を第１の
気圧に減圧して半田ボールを吸着孔に吸着する吸着工程
と、その後、内部空間の気圧を、第１の気圧より高く、
外部空間の気圧より低い第２の気圧にして、吸着工程に
て吸着プレートに吸着された半田ボールを吸着状態にて
維持する維持工程と、を有するものとしている。

【００３７】このように、減圧程度が緩い第２の気圧に
よって半田ボールを吸着状態に保持するので、吸着プレ
ートに過大な圧力（ピックアップヘッド等の内部方向へ
の吸引力）が働くことがなくなり、しかも、吸着プレー
トに吸着した半田ボールの吸着状態をそのまま維持する
ことができる。

【００３８】これによって、吸着プレートがたわんで変
形したり損傷したりするの防止することができ、ヘッド
ハウジングと吸着プレート、特に吸着プレートが長期間
の使用に耐えるようになる。また、前述したように、吸
着プレートがたわんで変形することにより、ヘッドハウ
ジングと吸着プレートとの接合部に隙間が生じ、その隙
間にも半田ボールが吸着されてしまうといった不都合も
なくなる。また、ウエハ等の半田ボールマウント作業も
安定的に実行される。

【００３９】また、半田ボールを吸着プレートに設けら
れた複数の吸着孔に吸着した後、内部空間を第２の気圧
に保持した状態で半田ボールを基板側に移動させる工程
と、その後、半田ボールを基板に搭載する工程とを、さ
らに有するようにするのが好ましい。

【００４０】半田ボールを吸着した後、基板側を移動さ
せて吸着プレートに対向する位置に基板をもってくる方
法も存在するが、この方法では、ヘッドハウジングと吸
着プレートとが一体化されたものを、基板側に移動させ
ている。このため、半田ボールの基板への供給を効率的
に実行することが可能となる。

【００４１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の半田ボール供給用
ピックアップヘッドおよび半田ボール供給装置の実施の
形態の例について図１から図１１を参照しながら説明す
る。なお、この実施の形態では、円形のウエハに半田ボ
ールをマウントするための半田ボール供給装置を例にし
て説明する。

【００４２】図１は、本実施の形態に係る半田ボール供
給用ピックアップヘッドが適用される半田ボール供給装
置の構成図であるが、この図１では本発明を説明する上
で必要な部分のみが示されている。

【００４３】この半田ボール供給装置は、概略的には、
半田ボール１をその底面２ａに貯留するステンレス製の
半田ボールトレイ（以下、ボールトレイという）２と、
このボールトレイ２の端辺を板バネなどの弾性部材３で
支持するボールトレイ支持筺体４と、ボールトレイ２上
において水平方向および垂直方向に移動可能となってい
て、ボールトレイ２上の所定位置においてボールトレイ
２の底面２ａに対し垂直方向に移動してボールトレイ２
内に貯留された半田ボール１を吸着する機構を有するピ
ックアップヘッド５と、ボールトレイ支持筺体４内に設
置されてボールトレイ２に振動力を与える振動発生器６
と、ボールトレイ２の底面２ａに設けられてボールトレ
イ２内に存在する半田ボール１の貯留状態などを監視す
るための半田ボールセンサ７と、ボールトレイ２に対し
半田ボール１の自動補充が可能な半田ボール補充機構８
とを有している。

【００４４】これらの構成要素の他、ピックアップヘッ
ド５を水平方向および垂直方向に移動可能なピックアッ
プヘッドテーブル９、ピックアップヘッド５に半田ボー
ル１を吸着させるための吸着力を与える真空ポンプ１０
などが設けられている。なお、半田ボール１を吸着した
ピックアップヘッド５は、ピックアップテーブル９によ
ってウエハなどのマウント対象となる基板上に搬送さ
れ、その基板上に半田ボール１をマウントする。なお、
この動作については後述する。

【００４５】図２は、図１で示したピックアップヘッド
５の全体的な構成を示すもので、外観構成としては、ほ
ぼ直方体形状のヘッドハウジング５１と、このヘッドハ
ウジング５１の下面、すなわち、ボールトレイ２（図１
参照）に対向する側の面に着脱自在に取り付けられる吸
着プレート５２と、ヘッドハウジング５１内部を真空ポ
ンプ１０（図１参照）で減圧する際の空気吸い込み口と
してのノズル５３と、ヘッドハウジング５１内部の気圧
を調節する圧力調節手段５７が設けられる。

【００４６】この圧力調節手段５７は、ハウジング５１
の上端壁に設けられた圧力調節用空気流通孔５７１と、
この圧力調節用空気流通孔５７１から外部に突出するよ
うに取り付けられた真空レギュレータ５７２とで構成さ
れている。この圧力調節手段５７は、ヘッドハウジング
５１内部の気圧が必要以上に高くなると、真空レギュレ
ータ５７２に設けられた弁（図示せず）が自動的に開い
て、外気を圧力調節用空気流通孔５７１からヘッドハウ
ジング５１内部に導入して、ヘッドハウジング５１内部
をある適切な気圧に保持するような働きを行う。なお、
その詳細な動作などについては後述する。

【００４７】また、ヘッドハウジング５１の側壁部５１
ａには、その上端側から下端側に貫通する空気流通孔５
４が設けられている。この空気流通孔５４は、吸着プレ
ート５２を真空吸着するための空気流通路であり、真空
ポンプ１０の動作によって、吸着プレート５２はヘッド
ハウジング５１の側壁部５１ａの下端面に真空吸着さ
れ、それによってヘッドハウジング５１に保持されるよ
うになっている。

【００４８】なお、吸着プレート５２をヘッドハウジン
グ５１に吸着させる動作や吸着プレート５２が半田ボー
ル１を吸着する動作は、１台の真空ポンプ１０でそれぞ
れに設けられた弁（図示省略）の開閉操作などにより、
それぞれを独立的に動作させることもできるが、それぞ
れに対応した真空ポンプを設けるようにしてもよい。

【００４９】吸着プレート５２は、半田ボール１を吸着
するための多数の吸着孔５５が設けられ、ヘッドハウジ
ング５１内部を図１で示した真空ポンプ１０で減圧する
ことによって、ボールトレイ２内に存在する半田ボール
１を吸着孔５５で吸着するようになっている。なお、こ
の図２では、吸着プレート５２を詳細に示すことが困難
であるため、その構成を簡略化して示しており、その構
造についてはのちに詳細に説明する。

【００５０】また、ヘッドハウジング５１内には、受光
素子群からなる受光部５６が設けられている。そして、
半田ボール１を吸着したピックアップヘッド５が、マウ
ント工程側に搬送される際の途中位置に光源（図示省
略）が設けられ、ピックアップヘッド５の外部下側、つ
まり、吸着プレート５２の下側に位置することとなる光
源の発する光が吸着孔５５を通過したとき、それを受光
できるようになっている。受光部５６が、光を受けた場
合には、受光したことを示す電気信号を出力する。

【００５１】これは、前述したように、ピックアップヘ
ッド５が半田ボール１の吸着動作を行ったとき、半田ボ
ール１が吸着孔５５に適切に吸着されたか否かを監視す
るためのもので、受光部５６から受光したことを示す信
号が出力された場合には、半田ボール１の吸着動作に不
具合のあることを示している。

【００５２】次に、吸着プレート５２の構造について説
明する。

【００５３】この吸着プレート５２は、ヘッドハウジン
グ５１に対して着脱自在に取り付け可能となっている。
この実施の形態では、前述したように、円形のウエハに
半田ボール１をマウントするための半田ボール供給装置
についての例であり、また、その円形のウエハのマウン
ト対象面を幾つかの領域に分けてそれぞれの領域ごとに
半田ボール１のマウントを行う場合を例にしている。

【００５４】図３は、円形のウエハ２１のマウント対象
領域を４つの領域（これを第１のマウント対象領域２１
ａ、第２のマウント対象領域２１ｂ、第３のマウント対
象領域２１ｃ、第４のマウント対象領域２１ｄという）
に分けた例を示すものである。この場合、長方形状の吸
着プレート５２を数枚（この実施の形態では４枚とし、
以下、これを第１の吸着プレート５２ａ、第２の吸着プ
レート５２ｂ、第３の吸着プレート５２ｃ、第４の吸着
プレート５２ｄという）用意して、これら第１〜第４の
吸着プレート５２ａ〜５２ｄをそれぞれの領域ごとに用
いる。

【００５５】すなわち、これら第１〜第４の吸着プレー
ト５２ａ〜５２ｄのうち、第１の吸着プレート５２ａ
は、ウエハ２１の第１のマウント対象領域２１ａに対し
て半田ボール１をマウントする際に用いられ、第２の吸
着プレート５２ｂは、ウエハ２１の第２のマウント対象
領域２１ｂに対して半田ボール１をマウントする際に用
いられる。また、第３の吸着プレート５２ｃは、ウエハ
２１の第３のマウント対象領域２１ｃに対して半田ボー
ル１をマウントする際に用いられ、第４の吸着プレート
５２ｄは、ウエハ２１の第４のマウント対象領域２１ｄ
に対して半田ボール１をマウントする際に用いられる。

【００５６】そして、このようなウエハ２１に対してマ
ウント動作を行う場合は、まず、第１の吸着プレート５
２ａをヘッドハウジング５１に取り付けて半田ボール１
を吸着させ、その状態でマウント工程に搬送させ、ウエ
ハ２１の第１のマウント対象領域２１ａに対するマウン
ト動作を行わせる。そのマウント動作が終了したら、そ
の第１の吸着プレート５２ａをヘッドハウジング５１か
ら取り外して、第２の吸着プレート５２ｂをヘッドハウ
ジング５１に取り付けて半田ボール１を吸着させ、その
状態でマウント工程に搬送させ、ウエハ２１の第２のマ
ウント対象領域２１ｂに対するマウント動作を行わせ
る。

【００５７】そのマウント動作が終了したら、その第２
の吸着プレート５２ｂをヘッドハウジング５１から取り
外して、第３の吸着プレート５２ｃをヘッドハウジング
５１に取り付けて半田ボール１を吸着させ、その状態で
マウント工程に搬送させ、ウエハ２１の第３のマウント
対象領域２１ｃに対するマウント動作を行わせる。この
ように、吸着プレート５２ａ〜５２ｄを順次付け替えて
半田ボール１を吸着し、それをマウント工程に搬送させ
てマウント動作を行わせるという操作が繰り返される。

【００５８】図４は、吸着プレート５２（第１〜第４の
吸着プレート５２ａ〜５２ｄのいずれか１枚の吸着プレ
ートであり、ここでは第１の吸着プレート５２ａとす
る）を拡大して示す正面図（図１および図２において紙
面の表方向から見た図）である。なお、吸着孔５５は極
めて微細であるため図示を省略している。

【００５９】この図４からもわかるように、この第１の
吸着プレート５２ａは、５枚の吸着板（以下、第１層〜
第５層の吸着板と呼び、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５
で表す）と、４枚の補強板（以下、第１層〜第４層の補
強板と呼び、Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，Ｑ４で表す）とからな
る。これら第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５と第１層
〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の材質は、それぞれＳＵＳ
が用いられ、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１，Ｐ２，Ｐ
３，Ｐ４，Ｐ５の１層分の吸着板の板厚は、０．１ｍｍ
程度であり、第１層〜第４層の補強板Ｑ１，Ｑ２，Ｑ
３，Ｑ４の１層分の補強板の板厚は、１．０ｍｍ程度で
ある。

【００６０】なお、第２〜第４の吸着プレート５２ｂ〜
５２ｄも同様の構造であり、それぞれ第１層〜第５層の
吸着板Ｐ１〜Ｐ５と第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４
から構成されている。このように、第１〜第４の吸着プ
レート５２ａ〜５２ｄは、それぞれが５枚の吸着板（第
１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５）と、４枚の補強板
（第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４）とからなる。

【００６１】以下に、第１〜第４の吸着プレート５２ａ
〜５２ｄの構造について詳細に説明する。なお、第１〜
第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄは、その基本的な構
造がほぼ同じであるので、ここでは第１の吸着プレート
５２ａに着目して説明する。

【００６２】まず、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４
の構造について、図５（Ａ）を参照しながら説明する。
この図５（Ａ）は、第１の吸着プレート５２ａの第１層
〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４を示すもので、この図５
（Ａ）では１枚しか図示されていないが実際には同じも
のが４枚存在する。

【００６３】図５（Ａ）において、この第１層〜第４層
の補強板Ｑ１〜Ｑ４は、それぞれが長方形状をなし、そ
の長手方向の両端部付近にはヘッドハウジング５１に取
り付ける際の位置決め孔ｈ１，ｈ２が設けられている。
この２つの位置決め孔ｈ１，ｈ２は、ヘッドハウジング
５１の下端面に突出された突起（図示省略）が挿入され
るもので、一方の位置決め孔ｈ１は位置決めの微調整が
可能なように長孔となっている。また、これら第１層〜
第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４は、その４枚を重ね合わせて
張り合わせることによって１つの補強板としての役目を
なすものであり、その重ね合わせる際の位置決め孔ｈ３
が４箇所に設けられている。

【００６４】ところで、この第１層〜第４層の補強板Ｑ
１〜Ｑ４は、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５上に重
ね合わせて用いられるものであるため、第１層〜第５層
の吸着板Ｐ１〜Ｐ５に多数設けられている吸着孔５５を
塞がないようにすることが必要である。

【００６５】これは、ヘッドハウジング５１内が減圧さ
れることによる吸着孔５５での半田ボール１の吸着動作
を行わせるとともに、半田ボール１の吸着状態を監視す
るために、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５に設けら
れる吸着孔５５を通過してくる光源からの光をヘッドハ
ウジング５１内部に通す必要性があるからである。

【００６６】そのため、この第１層〜第４層の補強板Ｑ
１〜Ｑ４は、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５に設け
られる多数の吸着孔５５のどの吸着孔をも塞ぐことのな
いような形状とする必要がある。

【００６７】そこで、これら第１層〜第４層の補強板Ｑ
１〜Ｑ４には、図５（Ａ）に示すように、全体として凸
状の窓部Ｗ１を設けると共に、窓部Ｗ１内には、行方向
及び列方向に並ぶように設けられた多数の切り欠き窓６
０が配置されている。そして、各切り欠き窓６０は、そ
れぞれの補強板を重ね合わせたときの同じ位置の行方向
及び列方向の切り欠き窓６０が重なるように設けられて
いる。各切り欠き窓６０は、格子状の桟６１によって区
切られ、その桟６１が補強部材としての役目を果たすよ
うになっている。桟６１が配置される位置には、吸着孔
５５が配置されないように重ね合わされる。

【００６８】この切り欠き窓６０の形成は、レーザ加工
により行うもので、その切り欠き窓６０はこの実施の形
態では、一辺が９．６ｍｍ程度の正方形状としている。
ちなみに、この実施の形態における第１層〜第４層の補
強板Ｑ１〜Ｑ４の横方向および縦方向（幅方向）の外形
寸法は、横方向が２５０ｍｍ、縦方向（幅方向）が７４
ｍｍとしている。また、桟６１の幅は０．６ｍｍとして
いる。

【００６９】この切り欠き窓６０は、第１層〜第４層の
補強板Ｑ１〜Ｑ４それぞれにおいて全面に形成する必要
はなく、円形のウエハ２１の所定領域をカバーできる範
囲でよい。すなわち、ここでは、第１の吸着プレート５
２ａについての説明であるため、図３で示したように、
円形のウエハ２１の第１のマウント対象領域２１ａを覆
える範囲に切り欠き窓６０が形成されればよい。

【００７０】したがって、この第１の吸着プレート５２
ａを構成する第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４は、円
形のウエハ２１の円周に沿った部分に対応できるよう
に、切り欠き窓６０が形成される部分Ｗ１を全体的に見
たとき凸型としている。また、切り欠き窓６０が形成さ
れる部分は、第１層から第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の長
手部の端辺Ｔとの間に所定の余白部６３を持たせた状態
で形成される。

【００７１】ちなみに、第４の吸着プレート５２ｄも第
１の吸着プレート５２ａと同様の部分（図２においては
第４のマウント対象領域２１ｄ）を覆えるように切り欠
き窓が形成されればよいので、第１の吸着プレート５２
ａと同様に考えることができる。すなわち、その第１層
〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑの切り欠き窓６０の全体は、
図５（Ｄ）のように、逆凸状の窓部Ｗ２に形成される。

【００７２】また、第２および第３の吸着プレート５２
ｂ，５２ｃは、円形のウエハ２１のほぼ中央部付近（第
２および第３のマウント対象領域２１ｂ，２１ｃ）をマ
ウントするためのものであり、円形のウエハ２１の第２
および第３のマウント対象領域２１ｂ，２１ｃを覆える
ような切り欠き窓が形成されればよい。このため、その
第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の切り欠き窓６０
は、図５（Ｂ），（Ｃ）に示されるように、全体として
長方形状の窓部Ｗ３に形成される。

【００７３】なお、この第２〜第４の吸着プレート５２
ｂ〜５２ｄにおいても、その第１層〜第４層の補強板Ｑ
１〜Ｑは第１の吸着プレート５２ａと同様、その切り欠
き窓６０は、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の長手
部の端辺Ｔとの間に所定幅の余白部６３を持たせた状態
で形成される。また、切り欠き窓６０の一辺の長さや桟
６１の幅、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の外形寸
法などは、図５（Ａ）で示した第１の吸着プレート５２
ａのものと同様である。

【００７４】ところで、第１〜第４の吸着プレート５２
ａ〜５２ｄのそれぞれについて、同じ構成の補強板を４
枚（第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４）作成し、それ
を重ね合わせて１枚の補強板として用いるのは、レーザ
加工により切り欠き窓６０を形成する際の加工のし易さ
が主な理由である。

【００７５】すなわち、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜
Ｑ４は、材質がＳＵＳであり、それぞれの板厚は、１ｍ
ｍ程度であるため、レーザ加工がし易くしかも高精度に
行える。これが、もし、４ｍｍの厚みを有するＳＵＳを
レーザ加工によって上述したような切り欠き窓６０を形
成しようとすると、レーザ加工の加工費がかかり、しか
も、薄い板を１枚１枚レーザ加工するのに比べて高精度
な切り欠き窓６０が形成されない虞がある。なお、第１
層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４は、熱圧着によって張り
合わせるようにしているので、容易にしかも強固な圧着
が可能となる。

【００７６】次に第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５に
ついて説明する。

【００７７】この第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５
は、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２と第３層〜
第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５とで外形の縦方向（幅方向）
の寸法が異なり、また、これら第１層〜第５層の吸着板
Ｐ１〜Ｐ５ごとに、その吸着孔５５の径の大きさもわず
かずつ異なる。しかし、それらについてはのちに説明す
ることにして、まず、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ
５に設けられる多数の吸着孔５５と上述した第１層〜第
４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の切り欠き窓６０との位置関係
についてを説明する。

【００７８】これら第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５
の吸着孔５５は、これら第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜
Ｐ５と第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４を重ね合わせ
たとき、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４で形成され
る多数の切り欠き窓６０のそれぞれに対向する面に所定
数設けられる。なお、この吸着孔５５は、エッチング
（この実施の形態ではメタルマスクエッチング）によっ
て形成される。

【００７９】図６は、第１層の補強板Ｑ１のある１つの
切り欠き窓６０（図５で説明したように９．６ｍｍ×
９．６ｍｍの正方形としている）に対向する面に設けら
れた吸着孔５５を示すもので、この実施の形態では、
つの切り欠き窓６０において行方向および列方向にそれ
ぞれ１８個ずつ（１８×１８＝３２４個）の吸着孔５５
が形成されている。なお、隣接する吸着孔同志の中心間
距離をこの実施の形態では０．５ｍｍとしている。

【００８０】このような吸着孔５５は、第１層〜第４層
の補強板Ｑ１〜Ｑ４のすべての切り欠き窓６０に対向す
る面に形成される。ちなみに、この第１の吸着プレート
５２ａにおいて、図５（Ａ）のように切り欠き窓が５６
個形成されるとすれば、この第１の吸着プレート５２ａ
には２万個に近い数（３２４×５６）の吸着孔５５が設
けられることになる。

【００８１】ところで、上述したように、吸着孔５５
は、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５において、その
径がわずかずつ異なる。すなわち、第１層の吸着板Ｐ１
（ボールトレイ２に対面し、半田ボール１を直接吸着す
る吸着板）の吸着孔５５の径はこの実施の形態では０．
１０ｍｍとしている。この第１層の吸着板Ｐ１上に重ね
て載置される第２層の吸着板Ｐ２の吸着孔５５の径は
０．１１ｍｍとされ、この第２層の吸着板Ｐ２上にさら
に重ねて載置される第３層の吸着板Ｐ３の吸着孔５５の
径は０．１２ｍｍとされている。

【００８２】この第３層の吸着板Ｐ３上に重ねて載置さ
れる第４層の吸着板Ｐ４の吸着孔５５の径は０．１３ｍ
ｍとされ、この第４層の吸着板Ｐ４に接する第５層の吸
着板Ｐ５の吸着孔５５の径は０．１４ｍｍとされてい
る。このように、この実施の形態の場合、０．０１ｍｍ
づつ径を大きくしている。図７はその様子を示すもの
で、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５の一部を拡大し
て示す図である。

【００８３】このように、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１
〜Ｐ５に設けられる吸着孔５５の径を第１層の吸着板Ｐ
１から第２層、第３層、第４層、第５層の吸着板Ｐ２，
Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５の順に大きくしているのは次の理由か
らである。

【００８４】第１層の吸着板Ｐ１の吸着孔５５の径
（０．１０ｍｍ）は、半田ボール１を的確に吸着できる
ように設定された径であるため、本来は、他の吸着板
（第２層〜第５層の吸着板Ｐ２〜Ｐ５）も同じ径でよ
い。しかし、その吸着孔５５は０．１０ｍｍというよう
に非常に小さな径であるため、第１層〜第５層の吸着板
Ｐ１〜Ｐ５を張り合わせて１枚の吸着板とする際に、そ
の重ね合わせ状態が少しでもずれると、重なり合う吸着
孔５５同志の中心軸がずれて、一直線の貫通孔が形成さ
れなくなり、半田ボール１に対する吸着性能が劣るばか
りでなく、前述したように、光を通すための貫通孔とし
ての役目も失われる虞がある。

【００８５】これを防ぐため、第１層の吸着板Ｐ１の吸
着孔５５の大きさを基準として、第２層の吸着板Ｐ２、
第３層の吸着板Ｐ３、・・・と徐々に吸着孔５５の径を
大きくし、それによって、これら第１層〜第５層の吸着
板Ｐ１〜Ｐ５を張り合わせたときに、重なり合う吸着孔
５５同志の中心がわずかにずれたとしても、一直線の貫
通孔が形成されやすくしている。

【００８６】ところで、この第１層〜第５層の吸着板Ｐ
１〜Ｐ５は、それぞれが板厚の薄いＳＵＳ（ここで板厚
が０．１ｍｍのもの）を用いているが、これは、吸着孔
５５の形成をエッチングにより行うためである。すなわ
ち、エッチングにより孔を形成する場合、通常、板厚は
エッチングされて生ずる孔の径と同程度に抑えるのが高
精度なエッチングを行う上で必要とされているからであ
る。

【００８７】この場合は、基準となる吸着孔５５の径は
０．１ｍｍであるので、板厚も０．１ｍｍ程度とするの
が好ましい。ただし、０．１ｍｍの厚さのＳＵＳでは、
余りにも薄すぎて強度的に問題があるので、それを５枚
重ね、さらに、補強板（第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜
Ｑ４）を重ね合わせて強度を持たせている。

【００８８】なお、このような０．１ｍｍ程度の厚みの
ＳＵＳに、直径が０．１０ｍｍ〜０．１５ｍｍ程度の孔
を形成する処理は、エッチングによれば多数の孔あけが
一度に行え、従来のピンによる加工に比べれば、その作
業効率は大幅に向上し、しかも、加工に要する時間と費
用（製造コスト）を大幅に削減することができる。

【００８９】前述したように、１つの吸着プレート５２
には２万個程度の吸着孔５５が必要であるため、従来の
孔あけ加工による方法では、その２万個の吸着孔５５を
設けるための高度な孔あけ加工が必要であり、その製造
時間は数週間となり、製造コストは数百万円がかかると
されている。

【００９０】これに対して、第１層〜第５層の吸着板Ｐ
１〜Ｐ５の吸着孔５５のエッチングによる加工に要する
時間は数時間であり、しかも費用は孔あけ加工に比べ
て、数分の１以下の製造コストに抑えられる。特に、こ
の実施の形態のように、１つのウエハ２１に対して４枚
の吸着プレート（第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５
２ｄ）を用いるような場合には、より大幅な製造時間と
製造コストの削減が可能となる。

【００９１】このようにして、第１層〜第５層の吸着板
Ｐ１〜Ｐ５に吸着孔５５が設けられる。なお、これら第
１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５は、前述したように、
その外形の縦方向（幅方向）寸法が第１層および第２層
の吸着板Ｐ１，Ｐ２と第３層〜第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ
５とで異なる。つまり、第１層および第２層の吸着板Ｐ
１，Ｐ２の外形の縦方向（幅方向）の寸法が第３層〜第
５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５よりも小さくしてある。この場
合、吸着孔５５の設けられている部分の面積は同じであ
るので、縦方向（幅方向）に存在する余白を少なくして
いる。

【００９２】図８（Ａ），（Ｂ）は、この大きさの関係
を説明する図であり、この図８（Ａ）に示すように第３
層〜第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５は、第１〜第４の補強板
Ｑ１〜Ｑ４と同じ外形寸法（横方向長さを２５０ｍｍ、
縦方向（幅方向）長さを７４ｍｍ）としている。一方、
第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５を重ね合わせ、かつ
第１層の吸着板Ｐ１側から見た図８（Ｂ）に示されるよ
うに、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２は、図８
（Ａ）で示した第３層〜第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５に存
在する余白部７０（吸着孔５５の形成される部分と長手
方向の端辺Ｔとの間に存在する余白部で、先に示した補
強板Ｑ１〜Ｑ４の余白部６３にほぼ対応）を殆ど無くし
た外形としている。このため、図８（Ｂ）に示されるよ
うに、第１層の吸着板Ｐ１側から見ると、第３層の吸着
板Ｐ３の余白部７０が現れるものとなる。

【００９３】この図８（Ｂ）からもわかるように、吸着
板Ｐ１，Ｐ２は余白部７０が存在しない分だけ、第３層
〜第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５に比べて縦方向（幅方向）
に小さな外形寸法となっている。この第１層および第２
層の吸着板Ｐ１，Ｐ２の縦方向（幅方向）の寸法は、こ
の実施の形態では３８．８ｍｍ程度としている。

【００９４】このように、第１層および第２層の吸着板
Ｐ１，Ｐ２における長手部の端辺Ｔとの間の余白部７０
を無くして、吸着板Ｐ１，Ｐ２の縦方向（幅方向）の寸
法を第３層〜第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５よりも小さくし
た形状とする理由については後述する。

【００９５】なお、図８において、ｈ１，ｈ２はヘッド
ハウジング５１に取り付ける際の位置決め孔で、ｈ３は
重ね合わせる際の位置決め孔で、これらは第３層〜第５
層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５のそれぞれについて同位置に設け
られている。これらの位置決め孔ｈ１、ｈ２、ｈ３は、
図５で説明した第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４に設
けられた位置決め孔ｈ１，ｈ２，ｈ３と同位置に設けら
れる。

【００９６】図９は、以上のような第１層〜第４層の補
強板Ｑ１〜Ｑ４と第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５を
それぞれ重ね合わせて熱圧着によって張り合わせること
によって作成された第１の吸着プレート５２ａを示すも
のである。図９（Ａ）は、平面図（図２のピックアップ
ヘッド５において矢印ｙ方向から見た図）、図９（Ｂ）
は（Ａ）のＡ−Ａ線断面図、図９（Ｃ）は側面図（図２
のピックアップヘッドにおいて矢印ｘ方向から見た
図）、図９（Ｄ）は底面側から見た図（図２のピックア
ップヘッドにおいて矢印ｙ’方向、つまり、図１の半田
ボールトレイ２側から見た図）である。

【００９７】この図９において、吸着孔５５はすべての
切り欠き窓６０の部分に多数（図６の説明では１８×１
８＝３２４個）存在しているが、それをすべて正確に図
示することが困難であるため、ある１つの切り欠き窓６
０のみに吸着孔５５の存在を示し、その数も正確には表
されていない（ある１つの切り欠き窓６０における吸着
孔５５の詳細は図６参照）。また、図９（Ｂ）では、吸
着孔５５の図示は省略し、さらに、図９（Ｂ）と図９
（Ｃ）においては、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５
を簡略化して示している。

【００９８】なお、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４
と第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５をそれぞれ重ね合
わせて熱圧着する際は、これら第１層〜第４層の補強板
Ｑ１〜Ｑ４と第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５の重ね
合わせを正しく行えるように、それぞれに設けられた重
ね合わせ用の位置決め孔ｈ３を用いて、第１層〜第４層
の補強板Ｑ１〜Ｑ４と第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ
５をそれぞれ正しく重ね合わせた状態とする。そして、
その状態で熱圧着することで、図９に示すよう１つの吸
着プレート（この場合は第１の吸着プレート５２ａ）が
作成される。

【００９９】この図９では、図１〜図８と同一部分には
同一符号を付している。なお、第１層〜第４層の補強板
Ｑ１〜Ｑ４は、各１枚の厚みが１．０ｍｍであり、第１
層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５は、各１枚の厚みが０．
１ｍｍであるので、合計すると約５ｍｍ程度の１枚の吸
着プレート（この例では第１の吸着プレート５２ａ）と
なる。

【０１００】以上の説明は、主に第１の吸着プレート５
２ａについて説明したが、第２〜第４の吸着プレート５
２ｂ〜５２ｄについても、図３で説明したように、円形
のウエハ２１のどのマウント対象領域に対応させるかに
よって、切り欠き窓６０や吸着孔５５を形成する範囲が
多少異なる他は、それぞれの補強板や吸着板の作成の仕
方などは第１の吸着プレート５２ａに準じて行うことが
でき、それによって第２〜第４の吸着プレート５２ｂ〜
５２ｄの作成がなされる。

【０１０１】このように作成された第１〜第４の吸着プ
レート５２ａ〜５２ｄは、ヘッドハウジング５１に対
し、着脱自在に取り付けることができる。たとえば、第
１の吸着プレート５２ａを取り付ける場合は、その端部
に設けられた取り付け孔ｈ１，ｈ２をピックアップヘッ
ド５のヘッドハウジング５１に設けられた図示しない突
起を差し込むようにして位置決めし、その状態で、真空
ポンプ１０または他の真空ポンプの作動によって減圧吸
引されることでヘッドハウジング５１への取り付けがな
される。

【０１０２】なお、上述したように、第１層〜第５層の
吸着板Ｐ１〜Ｐ５のうち、第３層〜第５層の吸着板Ｐ３
〜Ｐ５は、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ５と同じ外
形寸法であるが、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ
２は、図８に示すように長手部の端辺Ｔとの間の余白部
７０をほとんど無くして、その余白部分だけ縦方向（幅
方向）の小さな外形寸法としている。つまり、図９
（Ｃ）において、Ｗで示す部分が第１層および第２層の
吸着板Ｐ１，Ｐ２の縦方向（幅方向）寸法であり、この
部分が凸状に出っ張った状態となり、この凸状に出っ張
った領域部分のみに吸着孔５５が存在することとなる。
この凸状に出っ張った状態は、図９（Ｃ）ではわかりに
くいので、図１０にそれを拡大して示す。

【０１０３】この図１０からもわかるように、第１層お
よび第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２は、吸着孔５５の設けら
れている以外の部分、つまり余白部７０が存在しない分
だけ、この図１０における幅方向の小さな外形寸法とな
っている。したがって、第１層および第２層の吸着板Ｐ
１，Ｐ２による吸着孔５５の存在する面は、第３層の吸
着板Ｐ３の余白部７０に対して０．２０ｍｍ（２枚の吸
着板の厚みに相当する分）だけ凸状に出っ張った状態と
なる。

【０１０４】このように、第１層および第２層の吸着板
Ｐ１，Ｐ２の余白部７０を殆ど無くした形状としたのは
以下に示す理由による。

【０１０５】この実施の形態では、１つのウエハ２１に
半田ボール１をマウントする際、４つの吸着プレート
（第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄ）を用意す
る（図３参照）。前述したように、まず、第１の吸着プ
レート５２ａをヘッドハウジング５１に吸着によって取
り付けて、半田ボール１を吸着させ、それをウエハ２１
の第１のマウント対象領域２１ａにマウント動作を行
う。次に、第１の吸着プレート５２ａをヘッドハウジン
グ５１から取り外して第２の吸着プレート５２ｂを吸着
によって取り付け、半田ボール１を吸着させ、それをウ
エハ２１の第２のマウント対象領域２１ｂにマウント動
作を行う。

【０１０６】次に、第２の吸着プレート５２ｂをヘッド
ハウジング５１から取り外して第３の吸着プレート５２
ｃを吸着によって取り付け、半田ボール１を吸着させ、
それをウエハ２１の第３のマウント対象領域２１ｃにマ
ウント動作を行うという工程を繰り返す。この動作によ
って、ウエハ２１上のマウント対象領域の全面に半田ボ
ール１のマウントを行う。

【０１０７】このような半田ボール１のマウント動作を
行う際、たとえば、第１の吸着プレート５２ａによるウ
エハ２１の第１のマウント対象領域２１ａに半田ボール
１のマウントが図１１示すように終了したあと（図１１
において斜線を施した部分がマウントの終了した領域を
示す）、第２の吸着プレート５２ｂによるマウント動作
を行うが、このとき、もし、その第２の吸着プレート５
２ｂの第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２に余白部
７０（図８参照）が存在していると次のような問題が生
ずる。すなわち、この第２の吸着プレート５２ｂで半田
ボール１をウエハ２１の第２のマウント対象領域２１ｂ
にマウントする際、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，
Ｐ２の余白部７０が、既にウエハ２１の第１のマウント
対象領域２１ａにマウントされた半田ボール１を押し潰
したり半田ボール１に接触したりしてしまうことにな
る。

【０１０８】つまり、図１１において、１点鎖線で示す
第２の吸着プレート５２ｂ中の２点鎖線と１点鎖線で囲
まれた上側の領域部分が第２の吸着プレート５２ｂにお
ける一方の余白部７０に相当し、その余白部７０が、段
差状態になっていないと、すでにマウントされた半田ボ
ール１を押し潰したり半田ボール１に接触したりしてし
まうのである。これは、第３の吸着プレート５２ｃや第
４の吸着プレート５２ｄによるマウント処理の際も同様
のことが言える。

【０１０９】これを防ぐために、第１〜第４の吸着プレ
ート５２ａ〜５２ｄにおいて、それぞれ第１層および第
２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２の余白部７０を無くして、この
第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２における吸着孔
５５の形成された面を、この実施の形態では、合計０．
２０ｍｍ程度凸状に出っ張らせるようにしている。

【０１１０】これによって、ウエハ２１上にマウントす
る際、第３層の吸着板Ｐ３の余白部７０とすでにマウン
ト処理の終了したウエハ２１の表面との間には、少なく
とも半田ボール１の径よりも大きな隙間が生じるように
なり、すでにマウントされた半田ボール１に接触したり
損傷を与えることがなくなる。

【０１１１】吸着プレート５２を以上のような説明した
ような構造とすることによって、多数の孔あけが一度に
しかも高精度に行える。従来のピンによる加工に比べれ
ば、その作業効率は大幅に向上し、かつ、加工に要する
費用（製造コスト）を大幅に削減することができる。

【０１１２】また、このエッチングによる孔あけを効率
よくかつ容易に行うために、１枚の吸着板の厚みを薄く
し、それをこの実施の形態では５枚重ねて、第１層〜第
５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５を形成し、さらに、それを補強
する４枚の補強板（第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ
５）を重ね合わせて、それぞれ熱圧着することによっ
て、１つの吸着プレート５２（この実施の形態では第１
〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄ）を形成するよう
にしている。

【０１１３】このように、各吸着プレート５２ａ〜５２
ｄの吸着孔５５の形成をエッチングにより行うことがで
きるため、製造時間と製造コストを大幅に削減すること
が可能となり、しかも、高精度な吸着孔の形成が可能と
なる。

【０１１４】また、それぞれの吸着プレート５２ａ〜５
２ｄにおける吸着板（第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ
５）に対しては補強板（第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜
Ｑ４）により補強されるので、実用上十分な強度が得ら
れる。しかし、前述したように、真空ポンプ１０（図１
参照）による半田ボール１の吸着プレート５２への吸着
動作時において、半田ボール１が吸着プレート５２のす
べての吸着孔５５に吸着状態となって、ヘッドハウジン
グ５１内部が密室状態となると、ピックアップヘッド５
の内部は低い気圧となって、吸着プレート５２には大き
な圧力（ピックアップヘッド５の内部方向への大きな吸
引力）が働く。このため、吸着プレート５２にピックア
ップヘッド５の内部方向にたわむような変形が生じる可
能性は否めない。

【０１１５】すなわち、前述したように、たとえば、真
空ポンプ１０が、吸着工程で、外気圧（吸着される前の
半田ボール１が置かれている空間の圧力）に対して−５
３ｋＰａから−６０ｋＰａ程度の気圧設定がなされてい
たとすれば、半田ボール１を吸着プレート５２に瞬時に
吸着させることができる。しかし、半田ボール１が吸着
プレート５２のすべての吸着孔５５に吸着状態となっ
て、ヘッドハウジング５１内部が密室状態となると（維
持工程に移行すると）、吸着プレート５２には内圧と外
圧の差に相当するきわめて大きな圧力が加わる。このよ
うな大きな圧力（吸引力）が吸着プレート５２に加わる
と、当然のことながら吸着プレート５２は、ピックアッ
プヘッド５の内部方向にたわむように変形することが考
えられる。

【０１１６】しかし、この実施の形態では、図２で説明
したように、圧力調節手段５７（圧力調節用空気流通孔
５７１と真空レギュレータ５７２でなる）を設け、ピッ
クアップヘッド５内部の気圧が所定以上に低くならない
ような構造となっている。

【０１１７】これによって、吸着プレート５２の各吸着
孔５５に半田ボール１が吸着され、ピックアップヘッド
５の内部が密室状態となって、ピックアップヘッド５の
内部の気圧が小さくなると、真空レギュレータ５７２は
図示しない弁を自動的に開き、ピックアップヘッド５の
内部に圧力調節用空気流通孔５７１を通じて外気を導入
し、ピックアップヘッド５の内部の気圧を予め定めた値
にまで高めるとともにその値に保持する動作を行う。

【０１１８】この場合、真空ポンプ１０によって、吸着
工程の際、−５３ｋＰａから−６０ｋＰａ程度の気圧で
半田ボール１を吸着するようにしているので、その後の
維持工程では、当然のことながら、ピックアップヘッド
５の内部は、それより高い気圧であるが外気圧より低い
気圧となる気圧で保持されることとなる。一例として、
維持工程では、外気圧（約１００ｋＰａ）に対して、−
２６ｋＰａ程度の気圧に保持することが考えられる。こ
の気圧とすることで、吸着プレート５２のたわみは、半
田ボール１の直径０．２０ｍｍの１０分の１以下に抑え
られる。なお、この実施の形態では、直径が０．２０ｍ
ｍの半田ボール１を使用しているが、半田ボール１は、
直径が０．１０〜０．３０ｍｍ程度のものやその他のも
のを採用することができる。その場合、吸着孔５５の径
を適宜変更（半田ボール１の直径より吸着孔５５の直径
を小さくする条件は必須）する必要が生ずると共に、半
田ボール１を吸着した状態を維持する維持工程での気圧
も、−２６ｋＰａではなく、他の値に適宜変更されるこ
ととなる。

【０１１９】なお、この例の場合、真空ポンプ１０によ
って、−５３ｋＰａから−６０ｋＰａ程度の気圧で半田
ボール１を吸着するようにしているが、半田ボール１が
吸着プレート５２に吸着されるまでは、ピックアップヘ
ッド５内の空気は吸着プレート５２の吸着孔５５を通し
て流通される状態となっている。つまり、この状態にお
いては、ピックアップヘッド５内は密室状態ではないの
で、ピックアップヘッド５内の気圧は、真空レギュレー
タ５７２が作動する状態（弁を開とする状態）となるに
は至らない。そして、吸着プレート５２のすべての吸着
孔５５が半田ボール１を吸着した状態となると、ピック
アップヘッド５の内部は急激に気圧が減少するので、真
空レギュレータ５７２が作動する。

【０１２０】このように、吸着プレート５２の各吸着孔
５５に半田ボール１が瞬時に吸着されて、ピックアップ
ヘッド５内部の気圧が急激に小さくなると、真空レギュ
レータ５７２が働いて、内部の弁が開く。この結果、ピ
ックアップヘッド５内部の気圧が、半田ボール１の吸着
動作時に必要な気圧（−５３ｋＰａから−６０ｋＰａ）
よりも高くなるような気圧、すなわち外気圧により近く
なる気圧となるように調節動作がなされるとともにその
気圧を保持する。

【０１２１】先に示した、外気圧（＝１気圧）に対して
−２６ｋＰａという数値は一例であって他の数値として
も良い。要は、吸着プレート５２に、半田ボール１の直
径の１０分の１以上のたわみを生じさせず、かつ、吸着
プレート５２に吸着された半田ボール１の吸着力を維持
できる程度の気圧であればよく、この−２６ｋＰａとい
う気圧もその条件を満たすものである。

【０１２２】なお、吸着プレート５２に半田ボール１が
吸着された状態となったあとで、ピックアップヘッド５
内の気圧をこの例のように、通常の外気圧（＝１気圧）
に対して−２６ｋＰａ程度となる気圧にまで上昇させて
も、吸着プレート５２に吸着された半田ボール１が吸着
プレート５２から離脱することはない。言い換えれば、
吸着プレート５２で半田ボール１を真空吸着させた状態
で保持させるには、−２６ｋＰａ程度の気圧で十分であ
るということである。

【０１２３】つまり、真空ポンプ１０で設定される、１
気圧に対して−５３ｋＰａから−６０ｋＰａという低い
気圧は、半田ボールトレイ２に貯留された半田ボール１
を吸着プレート５２にまで瞬時に吸い上げるに必要な気
圧であって、一旦、半田ボール１が吸着プレート５２に
吸着されてしまえば、ピックアップヘッド５内部の気圧
はそれよりも高くしても吸着力の維持には何等差し支え
ないものとなる。

【０１２４】このように、吸着プレート５２の各吸着孔
５５に半田ボール１が瞬時に吸着されると、それと同時
に、真空レギュレータ５７２が動作して、ピックアップ
ヘッド５内部の気圧がある気圧にまで上昇してそれを保
持するので、吸着プレート５２に無理な外圧（ヘッドハ
ウジング５１の内部方向への吸引力）が働くことがなく
なり、しかも、吸着プレート５２に吸着した半田ボール
１の吸着状態をそのまま維持することができる。

【０１２５】これによって、吸着プレート５２がたわん
で変形するの防止することができ、吸着プレートが損傷
しにくくなり、長期間の使用に耐えるようになる。ま
た、前述したように、吸着プレート５２がたわんで変形
することにより、ヘッドハウジング５１と吸着プレート
５２との接合部に隙間Ｓが生じ、その隙間Ｓにも半田ボ
ール１が吸着されてしまうといった不都合（図１３参
照）もなくなる。また、吸着プレート５２がたわまない
ので、半田ボール１のウエハ等へのマウント作業も問題
を生ずることなく実行される。

【０１２６】なお、吸着プレート５２は、たとえば図４
から図９などで説明した構造、つまり、簡単に言えば、
吸着孔５５がエッチングにより形成された複数枚の吸着
板Ｐ１〜Ｐ５と、これら吸着板Ｐ１〜Ｐ５に重ね合わせ
たときに吸着孔５５に対応する位置に複数の切り欠き窓
６０が形成された補強板Ｑ１〜Ｑ４からなる構造として
いるので、強度の高い吸着プレート５２とすることがで
きる。これによって、ピックアップヘッド５内部が密室
状態となっても、吸着プレート５２は変形しにくくな
り、真空ジェネレータ５７２によりピックアップヘッド
５内部を予め設定した気圧にまで上昇させる際、その内
部気圧をあまり高くまで上昇させる必要がないので、吸
着プレート５２に吸着された半田ボール１の吸着状態の
維持をより確実なものとすることができる。また、設定
値までの気圧上昇にかかる時間を短くすることができる
ので、吸着プレート５２の変形防止が確実に達成され
る。

【０１２７】なお、上述の実施の形態は、本発明の好適
な実施の形態の例であるが、これに限定されるものでは
なく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々変
形実施可能である。たとえば、本発明が適用されるピッ
クアップヘッドは、その吸着プレートとして、前述の実
施の形態で示すような構造のものに限られるものではな
く、従来例で説明した１枚構成の吸着プレートやその他
の構成（箱形等の構成）であってもよい。要は、ピック
アップヘッド５内を、高い真空度とすることで吸着プレ
ート５２または吸着プレート５２に相当する部分に半田
ボール１を吸着させる構造であって、半田ボール１吸着
時にその吸着プレート５２または吸着プレート５２に相
当する部分がたわむ虞のある構造を有するピックアップ
ヘッドには広く適用することができるものである。

【０１２８】また、圧力調節手段として、真空レギュレ
ータ５７２を使用するものを示したが、弁を開閉するた
めの気圧を調整して所定の値に自由に設定することがで
きない弁、すなわち予め機構的に決められた一定の気圧
となると開閉する単なる自動開閉弁としても良い。ま
た、ピックアップヘッド５の内部に気圧センサを配置
し、その気圧センサの検知に基づいて開閉弁や開閉シャ
ッタ等を動作させて圧力調節用空気流通孔５７１を塞い
だり、塞がないようにすることでピックアップヘッド５
内の圧力を調節するようにしても良い。

【０１２９】また、前述の実施の形態で説明した吸着プ
レート５２についていえば、前述の実施の形態で説明し
た構造以外に種々変形実施可能となる。たとえば、前述
の実施の形態では、１つの吸着プレートつまり、第１〜
第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄそれぞれについて、
５枚の吸着板（第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５）と
４枚の補強板（第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４）を
用いたが、この枚数はそれに限定されるものではなく、
使用する半田ボール供給装置の仕様や必要な強度などに
応じて適宜最適な枚数を設定することができる。

【０１３０】なお、上述の実施の形態では、圧力を高め
る時期を、全ての吸着孔５５に半田ボール１が吸着され
た時期（吸着されたと同時）としているが、吸着プレー
ト５２の強度が強い場合は、全ての吸着孔５５が塞がれ
たわずか後に圧力を高めるようにしても良い。また、吸
着孔５５が徐々に塞がっていくので、吸着孔５５が半田
ボール１によってある程度塞がった状態のとき（すなわ
ち、内部空間の減圧状態がある程度高まった状態のと
き）に外気圧を導入し、圧力を徐々に高めるようにして
も良い。

【０１３１】また、導入する空気としては、通常の外気
が好ましいが、ピックアップヘッド５内部の気圧を半田
ボール１の吸着動作時に必要な気圧よりも高く、かつ、
吸着した半田ボール１の吸着状態を維持できる気圧の気
体であれば、他の値の空気としたり、他の気体としても
良い。さらに、ピックアップヘッド５内部の気圧は、吸
着される前の半田ボール１が置かれている空間（外部空
間）の気圧と比較して減圧されるので、外部空間自体の
圧力が１００ｋＰａとは異なる値になれば、吸着の際の
圧力や維持工程の際の圧力は、上述した差と同様な差を
持つように変更される。

【０１３２】また、上述の実施の形態では、吸着プレー
ト５２のたわみ量が半田ボール１の直径の１０分の１以
下となる圧力とすることで、半田ボール１の吸着維持や
基板への搭載が問題なく実行できることとなり、好まし
いが、たわみ量が半田ボール１の直径の１０分の１を超
えても、たわみが復元し、ピックアップヘッド５の最初
の状態が長期間維持できる構成であれば、たわみ量が半
田ボール１の直径の１０分の１を少々またはかなり超え
ても良い。ただし、たわみ量が半田ボール１の直径の１
０分の１を超えないようにすることは、復元力の面や半
田ボール１の基板への搭載作業の確実性の面で好まし
く、さらには、図１３に示した隙間Ｓがほとんど発生し
なくなるという面でも好ましい。

【０１３３】さらに、上述の実施の形態では、ピックア
ップヘッド５（ヘッドハウジング５１と吸着プレート５
２とが一体化されたもの）を、基板側に移動させている
が、半田ボール１を吸着した後、ボール支持筐体４をそ
の場所から移動させ、かつ基板を吸着プレート５２に対
向する位置にもってくるようにしても良い。また、半田
ボール１の吸着の際に、ピックアップヘッド５を移動さ
せず、ボール支持筐体４をピックアップヘッド５側に移
動させるようにしても良い。

【０１３４】

【発明の効果】以上説明したように、各発明によれば、
ピックアップヘッド内の気圧を調節する圧力調節手段を
設けたり、半田ボールの吸着維持に当たって減圧程度を
緩くするようにしている。この圧力調節手段や減圧程度
を緩くする工程によって、ピックアップヘッド内部の気
圧を半田ボールの吸着動作時に必要な気圧よりも高く、
かつ、吸着した半田ボールの吸着状態を維持できる気圧
とする気圧調節がなされるようにしたので、半田ボール
吸着時に、吸着プレートや吸着部に大きな圧力（ピック
アップヘッド内部方向への吸引力）が働くことがなくな
る。

【０１３５】これによって、吸着プレートや吸着部がピ
ックアップヘッドの内部方向にたわんで変形するの防止
することができる。この結果、半田ボールのウエア等へ
のマウント作業を長期間にわたって不具合なく実行する
ことができる。また、吸着プレートや吸着部が劣化しに
くくなり、長期間の使用に耐えるようになり、吸着プレ
ートやピックアップヘッドの交換を頻繁に行う必要も無
くなるので、半田ボール供給用ピックアップヘッドや半
田ボール供給装置全体の維持・管理にかかる費用の削減
など、全体的なコストの削減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る半田ボール供給装置
を説明する構成図である。

【図２】図１の半田ボール供給装置に使用される半田ボ
ール供給用ピックアップヘッドを説明する断面図であ
る。

【図３】図２で示されるピックアップヘッドに用いられ
る吸着プレートを概略的に説明する図であり、円形のウ
エハのそれぞれのマウント対象面に４つの吸着プレート
を対応させた状態を示す図である。

【図４】図２で示されるピックアップヘッドに用いられ
る吸着プレートを拡大して概略的に示す正面図である。

【図５】図２で示されるピックアップヘッドに用いられ
る吸着プレート（第１〜第４の吸着プレート）に用いら
れる補強板の構成を説明する平面図であり、（Ａ）は第
１の吸着プレートの平面図、（Ｂ）は第２の吸着プレー
トの平面図、（Ｃ）は第３の吸着プレートの平面図、
（Ｄ）は第４の吸着プレートの平面図である。

【図６】図５で示される補強板のある１つの切り欠き窓
に対応する第１層の吸着板の吸着孔を説明する図であ
る。

【図７】図４で示される第１層〜第５層の吸着板の一部
を拡大して示す図である。

【図８】図４で示される第１層および第２層の吸着板の
外形寸法と第３層〜第５層の吸着板の外形寸の違いを説
明する図である。

【図９】図１で示す半田ボール供給装置に使用される、
第１層〜第５層の吸着板と第１層〜第４層の補強板を重
ね合わせて熱圧着することによって作成された吸着プレ
ート（第１の吸着プレート）を示す図であり、（Ａ）は
平面図、（Ｂ）はＡ−Ａ線断面図、（Ｃ）は側面図、
（Ｄ）は底面側から見た図である。

【図１０】図９（Ｃ）を拡大して示す図である。

【図１１】円形のウエハに対し図１で示す半田ボール供
給装置に使用される第１〜第４の吸着プレートを順番に
用いてマウント処理を行う例について説明する図であ
る。

【図１２】従来のピックアップヘッドの構成を示す図で
ある。

【図１３】従来のピックアップヘッドにおいて、吸着プ
レートに半田ボールが吸着されたときに吸着プレートに
大きな吸引力が働いてピックアップヘッドの内部にたわ
んだ様子を示す図である。

【符号の説明】

１ 半田ボール ２ 半田ボールトレイ ５ ピックアップヘッド ２１ ウエハ ２１ａ〜２１ｄ 第１〜第４のマウント対象領域 ５１ ヘッドハウジング ５２ 吸着プレート ５２ａ〜５２ｄ 第１〜第４の吸着プレート ５５ 吸着孔 ５６ 受光部 ５７ 圧力調節手段 ５７１ 圧力調節用空気流通孔 ５７２ 真空レギュレータ ６０ 切り欠き窓 ６１ 桟 ６３ 余白部（第１層〜第４層の補強板側の余白部） ７０ 余白部（第３層〜第５層の吸着板側の余白部） Ｐ１〜Ｐ５ 第１層〜第５層の吸着板 Ｑ１〜Ｑ４ 第１層〜第４層の補強板

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部に空間部を有するヘッドハウジング
   と、このヘッドハウジングに保持され、半田ボールを吸
   着するための多数の吸着孔を有する吸着プレートとを有
   し、上記ヘッドハウジングと上記吸着プレートによって
   囲まれた内部空間を減圧状態とすることによって、上記
   半田ボールを上記吸着プレートに設けられた吸着孔に吸
   着する半田ボール供給用ピックアップヘッドにおいて、 上記半田ボールが上記吸着プレートに設けられた全ての
   吸着孔に吸着された状態となると同時にまたは相前後し
   て作動して、上記内部空間内の気圧を、上記半田ボール
   を吸着する際の気圧よりも高い気圧で、かつ、上記吸着
   プレートに吸着された上記半田ボールの吸着状態を維持
   できる気圧とする圧力調節手段を設けたことを特徴とす
   る半田ボール供給用ピックアップヘッド。
2. 【請求項２】 半田ボールを吸着するための多数の吸着
   孔を有する吸着部を有し、内部空間を減圧状態とするこ
   とによって上記半田ボールを上記吸着孔に吸着する半田
   ボール供給用ピックアップヘッドにおいて、上記半田ボ
   ールが上記全ての吸着孔に吸着された状態となると同時
   にまたは相前後して作動して、上記内部空間内の気圧
   を、上記半田ボールを吸着する際の気圧よりも高い気圧
   で、かつ、上記吸着部に吸着された上記半田ボールの吸
   着状態を維持できる気圧とする圧力調節手段を設けたこ
   とを特徴とする半田ボール供給用ピックアップヘッド。
3. 【請求項３】 前記圧力調節手段は、前記ピックアップ
   ヘッドの内部と外部とで空気の流通を可能とする圧力調
   節用空気流通孔と、この圧力調節用空気流通孔に設けら
   れ、前記ピックアップヘッドの内部がある一定の気圧以
   上となったとき作動して、外気を前記ピックアップヘッ
   ドの内部空間に導入することで当該内部空間の気圧を予
   め設定した気圧にまで上昇させ、かつ、その予め設定し
   た気圧を保持可能な真空レギュレータとを有することを
   特徴とする請求項１または２記載の半田ボール供給用ピ
   ックアップヘッド。
4. 【請求項４】 前記内部空間の気圧を予め設定した気圧
   にまで上昇させる際の予め設定された気圧とは、全ての
   吸着孔に前記半田ボールが吸着された状態の前記吸着プ
   レートまたは前記吸着部に前記半田ボールの直径の１０
   分の１以上のたわみ生じさせない気圧で、かつ、吸着さ
   れた前記半田ボールの吸着状態を維持できる気圧である
   ことを特徴とする請求項３記載の半田ボール供給用ピッ
   クアップヘッド。
5. 【請求項５】 前記吸着プレートまたは前記吸着部は、
   前記吸着孔がエッチングにより形成された吸着板と、こ
   の吸着板に重ね合わせて張り合わせることで吸着板の補
   強部材としての役目をなし、上記吸着板に重ね合わせを
   したときに前記吸着孔に対応する位置に切り欠き窓が形
   成された補強板とからなることを特徴とする請求項１、
   ２、３または４に記載の半田ボール供給用ピックアップ
   ヘッド。
6. 【請求項６】 前記請求項１から５のいずれか１項に記
   載の半田ボール供給用ピックアップヘッドと、この半田
   ボール供給用ピックアップヘッドを水平方向および垂直
   方向に移動可能なピックアップヘッドテーブルと、上記
   半田ボール供給用ピックアップヘッドによって吸着され
   る半田ボールを載置する半田ボールトレイとを有するこ
   とを特徴とする半田ボール供給装置。
7. 【請求項７】 ヘッドハウジングと吸着プレートによっ
   て囲まれた内部空間を半田ボールが置かれる外部空間に
   比べて減圧状態とすることによって、上記半田ボールを
   上記吸着プレートに設けられた複数の吸着孔に吸着した
   後、上記半田ボールを基板に供給する半田ボール供給方
   法において、 上記内部空間を第１の気圧に減圧して上記半田ボールを
   上記吸着孔に吸着する吸着工程と、 その後、上記内部空間の気圧を、上記第１の気圧より高
   く、上記外部空間の気圧より低い第２の気圧にして、上
   記吸着工程にて上記吸着プレートに吸着された上記半田
   ボールを吸着状態にて維持する維持工程と、 を有することを特徴とする半田ボール供給方法。
8. 【請求項８】 前記半田ボールを前記吸着プレートに設
   けられた複数の吸着孔に吸着した後、前記内部空間を前
   記第２の気圧に保持した状態で前記半田ボールを前記基
   板側に移動させる工程と、その後、前記半田ボールを前
   記基板に搭載する工程とを、さらに有することを特徴と
   する請求項７記載の半田ボール供給方法。