JP2003241135A - アレイ屈折素子及び露光装置 - Google Patents

アレイ屈折素子及び露光装置

Info

Publication number
JP2003241135A
JP2003241135A JP2002041983A JP2002041983A JP2003241135A JP 2003241135 A JP2003241135 A JP 2003241135A JP 2002041983 A JP2002041983 A JP 2002041983A JP 2002041983 A JP2002041983 A JP 2002041983A JP 2003241135 A JP2003241135 A JP 2003241135A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
array
resolution
light
light beam
scanning direction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002041983A
Other languages
English (en)
Inventor
Ichiro Miyagawa
一郎 宮川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP2002041983A priority Critical patent/JP2003241135A/ja
Publication of JP2003241135A publication Critical patent/JP2003241135A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 容易に作成することができるアレイ屈折素子
を提供することを目的とする。 【解決手段】 樹脂や金属等のメカ部材70と複数のガ
ラス部材72によってアレイ屈折素子を構成する。メカ
部材70は、矩形の開口70Aが設けられた額縁状の形
状とし、副走査方向と直交する方向に対向する一対の辺
におけるレーザビーム入射側の表面の断面形状が、入射
された1本の光ビームを副走査方向に平行シフトするよ
うに分割して射出する形状とする。すなわち、ジグザグ
状に形成する。当該ジグザグ状部分70Bは、副走査方
向となす角度が略6度となるように形成する。ガラス部
材72は、屈折率が1.5で、板厚が略0.15mmの
ガラスを板状に成型し、両面にAR(アンチリフレク
ト)コートを塗布する。また、ガラス部材72は、メカ
部材70の一対のジグザグ状に形成された辺のうちの一
方に、片側のみを接着する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、アレイ屈折素子及
び露光装置にかかり、特に、光源から射出された光ビー
ムにより記録媒体を走査して画像を形成する露光装置に
おける解像度の切換に用いられるアレイ屈折素子、及び
当該アレイ屈折素子を用いて解像度切換を行う露光装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、外周面に感光材料(記録媒
体)が装着されたドラムを主走査方向に回転させると共
に、上記感光材料に記録すべき画像の画像データに応じ
て変調されたレーザビームを上記主走査方向と直交する
方向に走査させることで、2次元画像を上記感光材料に
記録するようにした露光装置が用いられている。
【0003】この種の露光装置において、解像度を低く
して画像を記録するためには、感光材料表面におけるレ
ーザビームのスポット径を拡大すると共に、副走査方向
に対する記録ピッチを大きくすることによって、解像度
を低くすることが可能である。
【0004】そこで、これを利用して本発明の出願人
は、1本の光ビームを2つに分割する単位表面形状を有
する屈折部材が対単位でアレイ状(例えば、ジグザグ
状)に構成されたアレイ屈折素子を用いて、光源から射
出された光を分割し、重ね合わせることで、集光光学系
による記録媒体上での集光点のスポット径を拡大するこ
とを提案した。これによって、集光光学系を介して光源
から射出された光を記録媒体上に集光させて画像を記録
する際に、記録画像の解像度に応じて、アレイ屈折素子
により副走査方向に光を分割して重ね合わせることでビ
ームスポットの大きさを調整すると共に、副走査方向の
ビームスポットの記録間隔を調整することにより、解像
度に応じた画像を効率的に記録することを可能としてい
た。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、1本の
光ビームを2つに分割する単位表面形状を有する屈折部
材が対単位でアレイ状(例えば、ジグザグ状)に構成さ
れたアレイ屈折素子は、厚みが大変薄く、これを一体成
形で作ることは非常に困難である、という問題がある。
【0006】本発明は、上記問題を解決すべく成された
もので、容易に作成することができるアレイ屈折素子及
び当該アレイ屈折素子を用いて解像度切換を行う露光装
置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項1に記載の発明は、1本の光ビームを少なくと
も複数に分離するアレイ屈折素子であって、所定の屈折
率を有する複数の板状部材と、前記板状部材の一部を固
定するための取付面を複数有し、隣り合う板状部材に対
応する取付面の法線方向の角度を異なるように形成した
支持部材と、を備えることを特徴としている。
【0008】請求項1に記載の発明によれば、1本の光
ビームを少なくとも複数に分離する。例えば、1本の光
ビームを2つに分割する単位表面形状を有する屈折部材
が、対単位でアレイ状に並ぶように構成することが可能
である。また、当該アレイ素子を露光装置に用いたとき
に、各々2つに分割された光ビームは、各々アレイ対の
数分の光で構成される。従って、アレイ対の数の集光ビ
ームで1つの集光スポットを構成するので、分割された
光ビームを集光レンズによって焦点位置で2つずつ集光
スポットをずらして重ね合わせることによって、記録媒
体上に結像するスポットサイズを切り換えることができ
る。すなわち、これによって解像度を切り換えることが
できる。
【0009】このような構成のアレイ屈折素子は、露光
装置に用いる場合には、上述したように非常に薄く構成
する必要があり、一体成形で作るのが非常に難しい。そ
こで、請求項1に記載の発明によれば、所定の屈折率を
有する複数の板状部材を固定するための取付面を複数有
し、隣り合う板状部材に対応する取付面の法線方向の角
度を異なるように形成した支持部材に、複数の板状部材
を固定している。これによって、支持部材に固定された
複数の板状部材に入射される光を複数に分離することが
可能である。すなわち、光が透過する部分は、複数の板
状部材によって構成することができ、支持部材は薄くす
る必要はなく、隣り合う板状部材に対応する取付面の法
線方向の角度を異なるように形成した支持部材に、複数
の板状部材を固定するだけでアレイ屈折素子を作成する
ことができるので、薄いアレイ屈折素子を容易に作成す
ることができる。
【0010】支持部材は、板状部材の端部のみを支持す
るものでもよいし、請求項2に記載の発明のように、額
縁状に構成されると共に、額縁状の一対の辺の断面形状
が取付面となるように構成するようにしてもよい。例え
ば、所定の屈折率を有する複数の板状部材を、額縁状に
構成されると共に額縁状の一対の辺における板状部材が
接着される面の断面形状が1本の光ビームを2つに分割
する単位表面形状となるように構成した支持部材に、複
数接着することによって構成するようにしてもよい。
【0011】なお、板状部材の前記取付面への固定は、
前記板状部材の一端部のみを前記取付面に接着するよう
にしてもよい。
【0012】請求項1に記載の発明において、板状部材
の額縁状の支持部材に対する固定を、板状部材の一端部
のみを接着することにより、板状部材と支持部材の温度
変化による伸縮率の差を、板状部材と支持部材の接着し
ていない多端部によって許容することができる。これに
よって、温度変化によって薄い板状部材が割れたりする
のを防止することができる。
【0013】請求項3に記載の発明は、走査露光によっ
て記録媒体上に画像を形成する露光装置であって、少な
くとも副走査方向についてはブロードエリアで発光する
光ビームを射出する光源と、前記光源から射出された光
ビームを前記記録媒体上に集光する集光光学系と、前記
光源と前記記録媒体との間に配置されると共に、前記光
ビームの分割方向が前記光源から射出された光ビームの
ブロードエリア方向と略平行となるように配置された請
求項1又は請求項2に記載のアレイ屈折素子と、を備え
ることを特徴としている。
【0014】請求項3に記載の発明によれば、少なくと
も副走査方向についてブロードエリアで発光する光ビー
ムを射出する光源と記録媒体上に光ビームを集光する集
光光学系を有する露光装置において、光源と記録媒体と
の間に、光ビームの分割方向が光源から射出された光ビ
ームのブロードエリア方向と略平行となるように本発明
のアレイ屈折素子を配置することによって、当該アレイ
屈折素子の表面形状(支持部材に固定された板状部材に
より形成される表面形状)により光ビームを分割するこ
とができ、分割された光ビームを集光レンズによって焦
点位置で重ね合わせることでスポットサイズを制御する
ことができる。すなわち、本発明の露光装置は、上述し
たように、容易に作成することができる薄いアレイ屈折
素子を用いて光ビームを分離することが可能なため、光
ビームを分離して重ね合わせる露光装置を容易に作成す
ることができる。
【0015】請求項4に記載の発明は、請求項3に記載
の発明において、走査露光によって前記記録媒体上に形
成される画像の解像度を表す解像度情報を入力する入力
手段と、前記解像度情報によって表される解像度が予め
定められた第1解像度である場合に前記アレイ屈折素子
が前記光源から射出された光ビームの光軸上から待避さ
れ、前記解像度情報によって表される解像度が前記第1
解像度より低い第2解像度である場合に前記アレイ屈折
素子が前記光軸上に位置されるように当該アレイ屈折素
子を移動させる移動手段と、をさらに備えることを特徴
としている。
【0016】請求項4に記載の発明によれば、請求項3
に記載の発明において、走査露光によって記録媒体上に
形成される画像の解像度を表す解像度情報が入力手段に
よって入力され、当該解像度情報によって表される解像
度情報が予め定められた第1解像度である場合に本発明
のアレイ屈折素子が光源から射出された光ビームの光軸
上から退避され、解像度情報によって表される解像度が
第1解像度より低い第2解像度である場合にアレイ屈折
素子が上記光軸上に位置されるように当該アレイ屈折素
子が移動手段によって移動される。
【0017】このように、請求項4に記載の発明によれ
ば、走査露光によって記録媒体上に形成される画像の解
像度を表す解像度情報を入力し、当該解像度情報によっ
て表される解像度が予め定められた第1解像度である場
合にアレイ屈折素子が光源から射出された光ビームの光
軸上から退避され、当該解像度情報によって表される解
像度が第1解像度より低い第2解像度である場合にアレ
イ屈折素子が上記光軸上に位置されるように当該アレイ
屈折素子を移動しているので、解像度情報を入力するの
みによって、記録媒体に画像を記録する際の解像度を容
易に変更することができる。
【0018】なお、請求項5に記載の発明のように、本
発明の光源を、副走査方向に走査面上に等間隔で光ビー
ムを複数配置し、各光源から射出された光ビームを各々
アレイ屈折素子によって分割して記録媒体に導くように
構成すれば、記録画像の画質を向上できるばかりでな
く、画像を高速に記録することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態の一例を詳細に説明する。なお、以下では、本
発明のアレイ屈折素子をレーザ記録装置に適用した場合
について説明する。
【0020】図1を参照して、本発明の実施の形態に係
わるレーザ記録装置10の構成について説明する。
【0021】図1に示すように、本発明の実施の形態に
係わるレーザ記録装置10は、各々レーザビームを射出
する3以上の奇数個(本実施の形態では、7個)の半導
体レーザLDと、各半導体レーザLDから射出された各
レーザビームを集光する露光ヘッド12と、画像が記録
される記録フィルムFが装着されかつ当該記録フィルム
Fが主走査方向に移動するように回転駆動されるドラム
14と、ボールネジ18を回転駆動させることによって
ボールネジ18上に配置された露光ヘッド12を上記主
走査方向に直交する方向である副走査方向に移動させる
副走査モータ16と、を含んで構成されている。なお、
本実施の形態では、半導体レーザLDとして、図10
(A)に示される強度からなる光ファイバーカップルド
半導体レーザを適用している。
【0022】一方、露光ヘッド12には、上記奇数個の
半導体レーザLDから導波された各レーザビームを取り
纏めて出射する横多モードのファイバーアレイ部30が
備えられており、各半導体レーザLDから射出されたレ
ーザビームは、各々横多モードの光ファイバー20によ
ってファイバーアレイ部30まで案内される。なお、本
実施の形態では、レーザビームを高出力とするために、
コア径の比較的大きな多モード光ファイバーを光ファイ
バーとして用いている。
【0023】図2には、ファイバーアレイ部30の図1
矢印B方向にみた場合の構成が示されている。図2に示
すように、本実施の形態に係わるファイバーアレイ部3
0には、上面に半導体レーザLDと同数のV字溝が副走
査方向に沿って隣接するように設けられた基台30Aが
備えられると共に、各V字溝に対して光ファイバー20
が1本ずつ嵌め込まれて構成されている。従って、ファ
イバーアレイ部30からは、各半導体レーザLDから射
出された複数のレーザビームLが、副走査方向に沿った
所定間隔毎に射出されることになる。
【0024】なお、光源として各半導体レーザLDは一
方向についてブロードエリアで発光するものを用いても
よい。このときには、各半導体レーザLDから射出され
るレーザビームLのブロードエリア方向が副走査方向に
一致するように配置する。
【0025】また、露光ヘッド12には、ファイバーア
レイ部30側より、コリメータレンズ32、集光レンズ
38、及びアレイ屈折素子36が順に配列されている。
【0026】更に、露光ヘッド12には、回転軸が図1
矢印A方向に回転することにより、アレイ屈折素子36
をレーザビームLの光路上に挿抜することができる素子
移動モータ40が備えられている。
【0027】本実施の形態に係わるアレイ屈折素子36
は、図3及び図4に示すように、各々入射されたレーザ
ビームLを複数(本実施の形態では、2つ)に分割し、
かつ分割された2つのレーザビームが副走査方向に平行
シフトするように出射する単位表面形状とされている。
当該単位表面形状は、各々のレーザビームLの分割方向
が一致し、かつ各々当該分割方向に沿うように直線状に
一対形成して構成したものであり、レーザビームLの分
割方向が副走査方向に一致するように素子移動モータ4
0によって位置決めされる。
【0028】従って、本実施の形態に係わるアレイ屈折
素子36に入射されたレーザビームは、図4に示すよう
に、各入射面によって集光レンズ38の集光点から副走
査方向に平行シフトされると共に、隣り合う表面形状に
よって2つのレーザビームに分割される。
【0029】次に、当該アレイ屈折素子36の構成につ
いて説明する。本実施の形態に係わるアレイ屈折素子3
6は、図5に示すように、樹脂や金属等のメカ部材70
と複数のガラス部材72によって構成されている。な
お、図5の下方に、光入射側から見た正面図を示す。上
方に、その投影図を示す。
【0030】メカ部材70は、図6に示すように、矩形
の開口70Aが設けられた額縁状の形状とされている。
また、メカ部材70は、副走査方向と直交する方向に対
向する一対の辺におけるレーザビーム入射側の表面の断
面形状が、入射された1本の光ビームを副走査方向に平
行シフトするように分割して射出する形状とされてい
る。すなわち、図5及び図6に示すように、ジグザグ状
に形成されており、当該ジグザグ状部分70Bは、副走
査方向となす角度が略6度となるように形成されてい
る。
【0031】ガラス部材72は、屈折率が1.5で、板
厚が略0.15mmのガラスが板状に成型されており、
両面にAR(アンチリフレクト)コートが塗布されてい
る。すなわち、ガラス部材72に入射される光が反射さ
れることによる光の散乱が防止されている。また、ガラ
ス部材72は、メカ部材70の一対のジグザグ状に形成
された辺のうちの一方、すなわち片側のみ接着されてお
り、メカ部材70のジグザグ状部分70Bに貼り付けら
れたガラス部材72によってジグザグ状の面、すなわ
ち、入射された1本の光ビームを副走査方向に平行シフ
トするように分割して射出する形状が形成される。な
お、メカ部材70とガラス部材72との接着に用いる接
着剤としては、例えば、2液性のアラルダイトやUV硬
化型の接着剤等が用いられる。また、ARコートはガラ
ス部材72の光入射面にのみコートするようにしてもよ
い。
【0032】なお、ガラス部材72は本発明の板状部材
に相当し、メカ部材70は本発明の支持部材に相当す
る。
【0033】次に、図7を参照して、本実施の形態に係
わるレーザ記録装置10の制御系の構成について説明す
る。図7に示すように、当該制御系は、画像データに応
じて半導体レーザLDを駆動する駆動回路54と、素子
移動モータ40を駆動する素子移動モータ駆動回路56
と、副走査モータ16を駆動する副走査モータ駆動回路
58と、LD駆動回路54、素子移動モータ駆動回路5
6及び副走査モータ駆動回路58を制御する制御回路5
2と、を備えている。ここで、制御回路52には、記録
フィルムFに記録する画像を表す画像データ、及び画像
記録の解像度を表す解像度データが供給される。
【0034】なお、アレイ屈折素子36が本発明のアレ
イ屈折素子に相当し、半導体レーザLDが本発明の光源
に相当し、コリメータレンズ32及び集光レンズ38が
本発明の集光光学系に相当し、素子移動モータ40が本
発明の移動手段に相当する。
【0035】次に、以上のように構成されたレーザ記録
装置10の作用について、図8に示すフローチャートを
参照して説明する。なお、ここでは、アレイ屈折素子3
6をレーザビームLの光路上に位置させない場合の、す
なわちレーザビームLを分割させない場合の各レーザビ
ームLによる記録フィルムF上の高解像度側での副走査
方向の走査線ピッチ間隔をεとした場合、ビームスポッ
トの間隔が2・εに設定されており、アレイ屈折素子3
6により分離された2つのレーザビームの記録フィルム
F上のアレイ屈折素子36によるビームスポットのずら
し量がεに設定されていることを前提に説明する。
【0036】まず、作業者は、レーザ記録装置10に対
して記録する画像の解像度Sを示す解像度データを入力
する(ステップ100)。この解像度データ、及び記録
すべき画像データは制御回路52に供給され、制御回路
52は、これらのデータに基づいて調整された信号をL
D駆動回路54、素子移動モータ駆動回路56及び副走
査モータ駆動回路58に供給する。すなわち、本実施の
形態では、上記解像度SとしてK0(dpi)と2・K
0(dpi)の2種類の解像度で画像を記録できるもの
として以下の説明を行う。
【0037】作業者によって入力された解像度が2・K
0(dpi)である場合(ステップ102で肯定判定さ
れた場合)、素子移動モータ駆動回路56は素子移動モ
ータ40を駆動し、アレイ屈折素子36がレーザビーム
Lの光路上に位置しないようにアレイ屈折素子36を移
動させる(ステップ104)。また、この場合、副走査
モータ駆動回路56は副走査モータ16による露光ヘッ
ド12の副走査方向に対する送り間隔Wを次のように設
定する(ステップ106)。
【0038】
【数1】
【0039】但し、Nは半導体レーザLDの数(本実施
の形態では‘7’)である。
【0040】すなわち、解像度が2K0(dpi)であ
る場合、アレイ屈折素子36をレーザビームLの光路上
から外すことによって、レーザビームLを副走査方向に
分割す場合の2倍の解像度を実現している。
【0041】上述のようにアレイ屈折素子36の移動及
び副走査方向に対する送り間隔の設定が終了すると、L
D駆動回路54は、画像データに基づき、記録濃度に合
わせて設定されたデータに応じた発光量となるように各
半導体レーザLDの駆動を制御する(ステップ10
8)。
【0042】各半導体レーザLDから射出されたレーザ
ビームLは、コリメータレンズ32によって平行光束と
された後、集光レンズ38を介してドラム14の記録フ
ィルムに集光される。
【0043】この場合、記録フィルムF上には、各々図
10(A)に示す強度分布からなるビームスポットS1
〜S7(図9(A))が形成される。このビームスポッ
トS1〜S7は、図9(A)に示すように、露光ヘッド
12が副走査方向に送り間隔Wのピッチで送られると共
に、ドラム14が主走査方向に回転されることにより、
解像度が2・K0(dpi)となる2次元画像が記録フ
ィルムF上に形成される(ステップ110)。
【0044】次に、解像度が2・K0(dpi)からK
0(dpi)に変更された場合(ステップ102で否定
判定された場合)について説明する。この場合、素子移
動モータ駆動回路56は素子移動モータ40を駆動し、
アレイ屈折素子36がレーザビームLの光路上に位置す
るようにアレイ屈折素子36を移動させる(ステップ1
12)。また、この場合、副走査モータ駆動回路58は
副走査モータ16による露光ヘッド12の副走査方向に
対する送り間隔W’を次のように設定する(ステップ1
14)。
【0045】
【数2】
【0046】すなわち、解像度がK0(dpi)である
場合、アレイ屈折素子36をレーザビームLの光路上に
位置させることによって、アレイ屈折素子36に入射さ
れたレーザビームLを副走査方向に複数(本実施の形態
では‘2’)のレーザビームに分割するようにしてお
り、これによってレーザビームLを分割させない場合の
2分の1の解像度を実現している。
【0047】上述のようにビーム分離素子36の移動及
び副走査方向に対する送り間隔W’の設定が終了する
と、LD駆動回路54は、画像データに基づき、記録濃
度にあわせて設定されたデータに応じた発光量となるよ
うに各半導体レーザLDの駆動を制御する(ステップ1
16)。
【0048】各半導体レーザLDから射出されたレーザ
ビームLは、コリメータレンズ32によって平行光束と
された後、アレイ屈折素子36に供給され、各レーザビ
ームL毎に副走査方向に4つに分割(ビームシェアリン
グ)されると共に、図4に示すように、アレイ屈折素子
36の単位表面形状に対応する一対の部位の各々から、
分割された2つのレーザビームが副走査方向に平行シフ
トするように出射される。そして、この4分割されたレ
ーザビームは、ドラム14に設けられた記録フィルムF
の被走査面上で副走査方向に2つずつ重ね合わされ、結
果的に各レーザビームL毎に2つに分割された状態で集
光される。
【0049】このとき、アレイ対の数の集光ビームで1
つの集光スポットを構成するので、焦点位置から見たレ
ーザビームの入射側を見たときと、焦点位置からレーザ
ビームの出射側を見たとときとで、各レーザビームのボ
ケ方が光軸方向に対して対象となり、この結果としてレ
ーザ記録装置10における記録画像の画質を向上するこ
とができる。
【0050】この場合、記録フィルムF上には、図10
(B)に示す2つの強度分布、すなわち2つに分割され
たレーザビームの各強度分布が副走査方向に合成された
状態の強度分布からなるビームスポットS1’〜S7’
(図9(B))が形成される。
【0051】このビームスポットS1’〜S7’は、図
9(B)に示すように、露光ヘッド12が副走査方向に
送り間隔W’のピッチで送られると共に、ドラム14が
主走査方向に回転されることにより、解像度がK0(d
pi)となる2次元画像が記録フィルムF上に形成され
る(ステップ110)。
【0052】このように、記録画像の解像度を2・K0
(dpi)からK0(dpi)に変更した場合、アレイ
屈折素子36をレーザビームLの光路上に挿入するだけ
でビームスポットS1〜S7をビームスポットS1’〜
S7’に容易に拡大することができ、しかも、副走査速
度が高速化されるので、高速で画像記録を行うことが可
能となる。
【0053】同様にして、解像度K0(dpi)から2
・K0(dpi)に変更することができる。
【0054】なお、上記ステップ100の処理は本発明
の入力手段に相当する。
【0055】ところで、アレイ屈折素子36はレーザビ
ームを副走査方向に分離するために、非常に薄く、かつ
ジグザグ状に構成する必要があり、一体成型で作るのが
非常に困難である。そこで、本実施の形態では、メカ部
材70にガラス部材72を貼り付けることによって構成
しており、複雑な単位表面形状(ジグザグ状の形状等)
を薄くする必要のないメカ部材70のガラス部材72が
貼り付けられる部分(ジグザグ状部分70B)に形成
し、当該メカ部材70に光ビームが透過するガラス部材
72を貼り付けることによって薄いアレイ屈折素子36
を構成している。すなわち、メカ部材70にガラス部材
72を貼り付けるだけでアレイ屈折素子36を構成する
ことができるので、アレイ屈折素子を容易に作成するこ
とができる。
【0056】また、ガラス部材72は、メカ部材70に
対して一端側のみを接着しているので、レーザビームL
のガラス部材72への入射による発熱や雰囲気温度の上
昇などで生じるメカ部材70とガラス部材72の伸縮率
を許容することができる。すなわち、異なる材質の部材
を接着しているので、温度変化によって伸縮率が異な
り、何れかの部材に損傷を与えることが考えられるが
(この場合には薄いガラス部材が割れることが考えられ
る)、ガラス部材72の一端のみをメカ部材70に接着
していることによって、伸縮率の差を接着していない他
端側で吸収することができる。
【0057】なお、上記の実施の形態では、アレイ屈折
率素子36を、ガラス部材72をメカ部材70に貼り付
けて構成したが、ガラス部材72はガラスでなくてもよ
く、ガラスに代用できるもので構成することが可能であ
る。
【0058】また、上記の実施の形態では、メカ部材7
0を額縁状としたが、これに限るものではなく、例え
ば、額縁状の一対のガラス部材72が貼り付けられる形
状を有する1辺のみの支持部材としてもよい。
【0059】また、上記の実施の形態では、アレイ屈折
素子36の単位表面形状を、入射された1本の光ビーム
を副走査方向に平行シフトするように分割して射出する
形状とするために、メカ部材70の片面にのみ当該形状
を形成し、該メカ部材70の当該形状部にガラス部材7
2を貼り付けるようにしたが、これに限るものではな
く、例えば、アレイ屈折素子の単位表面形状を、入射さ
れた1本の光ビームを互いに異なる角度方向に分割して
射出する形状とし、当該形状をメカ部材の両面にて形成
し、メカ部材の片面にガラス部材を貼り付け、他面にレ
ンズやプリズム等を貼り付けるようにしてもよい。この
場合のアレイ屈折素子は、露光装置の集光光学系におい
て光ビームが略平行光束となる位置に設けることによ
り、本実施形態と同様の効果を奏することが可能であ
る。
【0060】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、所
定の屈折率を有する複数の板状部材を、板状部材の一部
を固定するための取付面を複数有し、隣り合う板状部材
に対応する取付面の法線方向の角度を異なるように形成
した支持部材に、複数接着することによってアレイ屈折
素子を構成することによって、支持部材に板状部材を貼
り付けるだけでアレイ屈折素子を作成することができる
ので、アレイ屈折素子を容易に作成することができる、
という効果がある。
【0061】また、本発明の露光装置によれば、少なく
とも副走査方向についてブロードエリアで発光する光ビ
ームを射出する光源と記録媒体上に光ビームを集光する
集光光学系を有する露光装置において、光源と記録媒体
との間に、光ビームの分割方向が光源から射出された光
ビームのブロードエリア方向と略平行となるように本発
明のアレイ屈折素子を配置しているので、当該アレイ屈
折素子の各単位表面形状により複数に分割された光ビー
ムを集光点位置で重ね合わせることができる。すなわ
ち、上述したように、容易に作成することができる薄い
アレイ屈折素子を用いて光ビームを分離することが可能
なため、光ビームを分離して重ね合わせる露光装置を容
易に作成することができる、という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係わるレーザ記録装置の
概略構成を示す図である。
【図2】本発明の実施の形態に係わるファイバーアレイ
部の概略構成を示す図である。
【図3】アレイ屈折素子による光ビームの分割を説明す
るための図である。
【図4】アレイ屈折素子による光ビームの分割を説明す
るための図のアレイ屈折素子部の拡大図である。
【図5】本発明の実施の形態に係わるアレイ屈折素子の
構成を示す正面図である。
【図6】本発明の実施の形態に係わるアレイ屈折素子の
構成を示す斜視図である。
【図7】本発明の実施の形態に係わるレーザ記録装置の
制御系の構成を示すブロック図である。
【図8】解像度に応じて画像記録を行う場合の処理の流
れを示すフローチャートである。
【図9】本発明の実施の形態に係わるレーザ記録装置に
よる記録フィルム上でのビームスポットの状態を示す概
略図である。
【図10】焦点位置におけるレーザビームの強度分布の
状態例を示すグラフである。
【符号の説明】
10 レーザ記録装置 36 アレイ屈折素子 70 メカ部材 70A 開口 70B ジグザグ状部分 72 ガラス部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H045 AG09 BA26 BA33 BA41 CB24 DA22 DA24 2H097 AA03 AA16 CA17 5C051 AA02 CA07 DA02 DB02 DB22 DB25 DB30 DC04 DC07 DE26 FA04 5C072 AA03 BA02 HA02 HA20 HB10 TA04 XA05

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 1本の光ビームを少なくとも複数に分離
    するアレイ屈折素子であって、 所定の屈折率を有する複数の板状部材と、 前記板状部材の一部を固定するための取付面を複数有
    し、隣り合う板状部材に対応する取付面の法線方向の角
    度を異なるように形成した支持部材と、 を備えることを特徴とするアレイ屈折素子。
  2. 【請求項2】 前記支持部材は、額縁状に構成されると
    共に、前記額縁状の一対の辺の断面形状が前記取付面と
    なるように構成したことを特徴とする請求項1に記載の
    アレイ屈折素子。
  3. 【請求項3】 走査露光によって記録媒体上に画像を形
    成する露光装置であって、 少なくとも副走査方向についてはブロードエリアで発光
    する光ビームを射出する光源と、 前記光源から射出された光ビームを前記記録媒体上に集
    光する集光光学系と、 前記光源と前記記録媒体との間に配置されると共に、前
    記光ビームの分割方向が前記光源から射出された光ビー
    ムのブロードエリア方向と略平行となるように配置され
    た請求項1又は請求項2に記載のアレイ屈折素子と、 を備えた露光装置。
  4. 【請求項4】 走査露光によって前記記録媒体上に形成
    される画像の解像度を表す解像度情報を入力する入力手
    段と、 前記解像度情報によって表される解像度が予め定められ
    た第1解像度である場合に前記アレイ屈折素子が前記光
    源から射出された光ビームの光軸上から待避され、前記
    解像度情報によって表される解像度が前記第1解像度よ
    り低い第2解像度である場合に前記アレイ屈折素子が前
    記光軸上に位置されるように当該アレイ屈折素子を移動
    させる移動手段と、 をさらに備えることを特徴とする請求項3に記載の露光
    装置。
  5. 【請求項5】 前記光源を、前記副走査方向に走査面上
    に等間隔で光ビームを複数配置することを特徴とする請
    求項3又は請求項4に記載の露光装置。
JP2002041983A 2002-02-19 2002-02-19 アレイ屈折素子及び露光装置 Pending JP2003241135A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002041983A JP2003241135A (ja) 2002-02-19 2002-02-19 アレイ屈折素子及び露光装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002041983A JP2003241135A (ja) 2002-02-19 2002-02-19 アレイ屈折素子及び露光装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003241135A true JP2003241135A (ja) 2003-08-27

Family

ID=27782239

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002041983A Pending JP2003241135A (ja) 2002-02-19 2002-02-19 アレイ屈折素子及び露光装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003241135A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004273812A (ja) * 2003-03-10 2004-09-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザ装置
JP2005115010A (ja) * 2003-10-08 2005-04-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザ光変換光学素子およびレーザ装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004273812A (ja) * 2003-03-10 2004-09-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザ装置
JP2005115010A (ja) * 2003-10-08 2005-04-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザ光変換光学素子およびレーザ装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006261155A (ja) 露光装置及び露光方法
JP4741534B2 (ja) 光デバイス
JP2003127463A (ja) レーザスキャニングユニット
CN1500233A (zh) 带有可移动透镜的光刻装置和在存储媒体中制作数字全息图的方法
US20050280697A1 (en) Polarization-direction-controlling element and exposure device
JP4741535B2 (ja) 光デバイス
TWI352879B (en) Image exposure device
JP2003241135A (ja) アレイ屈折素子及び露光装置
JP2005275325A (ja) 画像露光装置
JP4025097B2 (ja) 露光装置
US5671004A (en) Internal drum scanning type image recording apparatus
JP2005277153A (ja) 画像露光装置
EP1376194B1 (en) Refracting element array, diffracting element array and exposure apparatus
US7196848B2 (en) Array refracting element and exposure device
JP4512325B2 (ja) 露光装置
KR20030091056A (ko) 레이저장치, 노광헤드, 노광장치 및 광섬유의 접속방법
JP2000292722A (ja) マルチビーム光走査装置
JP4014990B2 (ja) 光ファイバの接続方法
JP2006258852A (ja) マイクロレンズアレイの取付構造および画像露光装置
JP2002258185A (ja) ビーム合成方法・ビーム合成用プリズム・マルチビーム走査用光源装置・マルチビーム走査装置
JP3507285B2 (ja) 光走査装置
JP2003262817A (ja) 露光装置
JP2003262806A (ja) 露光装置
JPH09258126A (ja) 走査光学系
JPH04348311A (ja) 光走査装置