JP2003232823A - 電位測定素子 - Google Patents
電位測定素子Info
- Publication number
- JP2003232823A JP2003232823A JP2002073238A JP2002073238A JP2003232823A JP 2003232823 A JP2003232823 A JP 2003232823A JP 2002073238 A JP2002073238 A JP 2002073238A JP 2002073238 A JP2002073238 A JP 2002073238A JP 2003232823 A JP2003232823 A JP 2003232823A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- potential
- measuring
- capacitance
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement And Recording Of Electrical Phenomena And Electrical Characteristics Of The Living Body (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】表面電位を測定するための素子を提供する。
【解決手段】本発明の電位測定素子１０においては，固
体誘電体１５を被測定物の表面１ａに接触させ，被測定
物の表面１ａの信号が印加される誘電体の誘電率を，発
振部３４が発生する励振波に応じて変化させ，検出電極
１１に接続された検出部の端子間に，被測定物の表面１
ａの表面電位が変調された交流電圧信号を発生する。こ
の素子を用いて表面電位を計測する例を以下に記述す
る。検出部の端子間に発生した交流電圧信号を濾波部３
１，交流増幅部３２を介し同期検波部３３に入力し，発
振部３４の励振波に同期したクロックを発生させるクロ
ック発生部３５の出力を参照信号として同期検波，増幅
する。この電位測定素子１０を用いることにより，被測
定物と測定用電極間の接触電位差の影響を受けることな
く，被測定物の表面電位を測定することができる。
体誘電体１５を被測定物の表面１ａに接触させ，被測定
物の表面１ａの信号が印加される誘電体の誘電率を，発
振部３４が発生する励振波に応じて変化させ，検出電極
１１に接続された検出部の端子間に，被測定物の表面１
ａの表面電位が変調された交流電圧信号を発生する。こ
の素子を用いて表面電位を計測する例を以下に記述す
る。検出部の端子間に発生した交流電圧信号を濾波部３
１，交流増幅部３２を介し同期検波部３３に入力し，発
振部３４の励振波に同期したクロックを発生させるクロ
ック発生部３５の出力を参照信号として同期検波，増幅
する。この電位測定素子１０を用いることにより，被測
定物と測定用電極間の接触電位差の影響を受けることな
く，被測定物の表面電位を測定することができる。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，植物や生体などを
含む導体および半導体表面の電位を測定することに関す
る。 【０００２】 【従来の技術】電極を被測定物に接触させて表面電位の
直流成分を検出する場合，その電極として，甘汞電極も
しくは銀−塩化銀電極が用いられる。（例えば，大熊輝
雄著「臨床脳波学」，医学書院，４６７頁−４６８頁を
参照）。 【０００３】また，被測定物の表面電位の直流成分を検
出する場合，振動容量型電位センサを被測定物に押し当
てて用いることもある（特許出願公開公報「特開平８−
３８４３７号」参照）。 【０００４】センサを被測定物に接触させずに物体の表
面電位の直流成分を測定する方法として，切り込みを入
れた誘電体を被測定物と測定用電極間の空間に置き，そ
の誘電体を回転させて被測定物と測定用電極間の静電容
量を変化させることにより測定用電極に誘起される電圧
を測定し，被測定物の表面電位の直流成分を非接触で知
る方法がある（特許出願公開公報「特開平６−３４６８
７号」参照）。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】物体の表面電位の直流
成分および低周波成分を測定する際，従来の電極を被測
定物に接触させると，被測定物と電極間に接触電位差が
生じ，それが測定誤差の原因となる。その接触電位差を
なくすために電極面を絶縁物で覆うと，被測定物と電極
間が容量性となり，直流成分および低周波成分の計測は
難しかった。 【０００６】物体の表面電位の直流成分および低周波成
分を測定するために振動容量型電位センサを用いる場
合，そのセンサは機械的な振動を利用するので寿命が短
く，また被測定物との接触面が導体である場合は接触電
位差の影響が避けられないことが予想される。また，振
動部に大きな振幅の振動を与えられないため，振動部の
振動による静電容量の変化が小さく，感度が優れないと
いう問題も予想される。また，振動容量型電位センサで
は被測定物と振動部の距離を一定にするのが難しいとい
う問題も予想される。 【０００７】また，特許出願公報「特開平６−３４６８
７号」の方法を生体信号計測に用いる場合は，誘電体の
回転部が存在するため安全性の面で問題が生じる場合が
あることが予想される。 【０００８】本発明の目的は，これらの問題を解決し，
被測定物の表面電位の直流成分および交流成分を正確に
測定することのできる電位測定素子を提供することであ
る。 【０００９】 【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに，本発明の電位測定素子は，被測定物に接触した固
体誘電体と，検出電極と，前記検出電極に接続された検
出部とを有し，前記被測定物の信号が印加される誘電体
の誘電率を変化させることにより，被測定物の信号に応
じた交流電圧信号を前記検出部の端子間に発生するよう
にした。 【００１０】 【実施の形態】生体表面で検出する生体信号計測に，本
発明の電位測定素子を用いる実施例を示す。 【００１１】図１は本発明の電位測定素子を含む表面電
位測定装置を生体信号計測に応用する一実施例の構成図
である。この装置は，電位測定素子１０と，濾波部３１
と，交流増幅部３２と，同期検波部３３と，発振部３４
と，クロック発生部３５と，表示部３６とから構成され
ている。 【００１２】電位測定素子１０は，生体と接触する誘電
体と検出電極からなる変調用静電容量を有する。また，
その静電容量を励振波により変化させるための電極とし
て補助電極を設ける場合と，補助電極を設けずに検出電
極を用いてその静電容量を変化させる場合が考えられ
る。その静電容量に生体信号を印加すると，検出電極に
接続した検出部に交流電流が流れ，検出部の端子間には
生体信号電圧に応じた交流電圧が発生する。 【００１３】濾波部３１は，生体と検出電極間に存在す
る誘電体による静電容量の変化の周波数以外の周波数成
分を除去する。ただし高調波を変調信号とする場合，濾
波部３１は，信号とする高調波成分以外の周波数成分を
除去する。 【００１４】交流増幅部３２は，濾波部３１を通過した
交流電圧を増幅して，同期検波部３３へ送る。 【００１５】発振部３４は，電位測定素子１０で用いる
励振波を発生する。 【００１６】クロック発生部３５は，発振部３４の発振
電圧に同期したクロックを発生し，同期検波部３３に参
照信号を供給する。 【００１７】同期検波部３３は，クロック発生部３５か
らのクロックを参照信号として，交流増幅部３２の出力
を同期検波し，交流信号成分を直流に変換する。 【００１８】表示部３６は，同期検波部３３の出力を表
示する。 【００１９】次に，電位測定素子１０の構造および原理
を説明する。 【００２０】図２と図３と図４に，電位測定素子１０の
構成例を示す。 【００２１】図２は補助電極を設ける場合の電位測定素
子１０の一構成例である。 【００２２】電極１４の表面に存在する強誘電体層１１
ａ，１２ａ，１３ａ，１５の誘電率は強い印加電圧依存
性を有する。強誘電体層１１ａ，１２ａ，１３ａはつな
がっていてもよい。 【００２３】検出電極１１は強誘電体層１１ａの外側に
取り付けられた電極であり，電極１４に発生する交流電
圧成分を外部出力として取り出すための電極となる。静
電容量Ｃ１は電極１４，強誘電体層１１ａ，検出電極１
１により構成される。 【００２４】電極１２および電極１３は補助電極であ
り，検出電極１１と同様に強誘電体層の外側に取り付け
られ，電極１４との間の強誘電体層を介して生じる静電
容量Ｃ２およびＣ３が存在する。 【００２５】電極１４のもう一方の側には強誘電体層１
５が存在し，電気的な導体として作用する被測定物の表
面１ａに密着する。 【００２６】被測定物の表面１ａの電位は接地に対して
生じるものと考えられる。また，電極１４の接地に対す
る電圧ＶＳは，被測定物の表面１ａの接地に対する電圧
ＶＳ´および電極１４と被測定物１間の静電容量ＣＳに
よって発生する。 【００２７】補助電極１２および１３には，交流励振源
の中点を接地し，接地に対して逆バイアスされた互いに
逆位相の交流電圧を印加する。電極１４の接地に対する
電圧は中点と等しく，接地に対して全静電容量ＣＴ＝Ｃ
２＋Ｃ３を生じる。 【００２８】補助電極１２および１３と電極１４間の静
電容量Ｃ２およびＣ３は強誘電体層１２ａ，１３ａの誘
電率の印加電圧依存性により変化する。これらそれぞれ
の変化分をΔＣ２，ΔＣ３とすると，静電容量ＣＴはそ
の変化分ΔＣＴ＝ΔＣ２＋ΔＣ３を生じる。 【００２９】被測定物の表面１ａの接地に対する電圧Ｖ
Ｓ´による，電極１４の接地に対する電圧ＶＳはＶＳ＝
｛ＣＳ／（ＣＴ＋ＣＳ）｝・ＶＳ´となり，静電容量Ｃ
Ｔには電荷ＱＳ＝ＣＴ・ＶＳ＝ＣＴ・｛ＣＳ／（ＣＴ＋
ＣＳ）｝・ＶＳ´が蓄えられる。 【００３０】今，ＱＳが変化できない位の早さでＣ２お
よびＣ３を変化させると，静電容量ΔＣＴの変化に伴
い，その変化に等しい速度の端子間電圧の変化ΔＶＣ＝
−（ΔＣＴ／ＣＴ）・（ＱＳ／ＣＴ）が電極１４と接地
間に発生する。 【００３１】ＶＳによるＱＳの関係およびＶＳ´による
ＶＳの関係を用いると，ΔＶＣはＶＳ´に比例する値Δ
ＶＣ＝−（ΔＣＴ／ＣＴ）・｛ＣＳ／（ＣＴ＋ＣＳ）｝
ＶＳ´となる。これを出力信号として増幅，検波するこ
とにより被測定物の表面１ａの接地に対する電圧を測定
することができる。 【００３２】また，静電容量ＣＳは印加電圧依存性によ
り，その電荷は印加電圧に対して非直線的特性を持つこ
とから，この特性を利用して，入力信号電圧の偏移電圧
に対する高調波成分の増減を出力信号とすることも可能
である。 【００３３】図３は補助電極を設けない場合の電位測定
素子１０の構成例であり，電極１４の表面に存在する強
誘電体層１１ａおよび１５の誘電率は強い印加電圧依存
性を有する。 【００３４】検出電極１１は強誘電体層の外側に取り付
けられた電極であり，電極１４に発生する交流電圧成分
を外部出力として取り出すための電極となり，静電容量
Ｃ１は電極１４および強誘電体層１１ａおよび検出電極
１１により構成される。 【００３５】電極１４のもう一方の側には強誘電体層１
５が存在し，電気的な導体として作用する被測定物の表
面１ａに密着する。 【００３６】被測定物の表面１ａの電位は接地に対して
生じるものと考えられる。 【００３７】検出電極１１は接地に対して電圧が印加さ
れると，被測定物の表面１ａと電極１４間の静電容量Ｃ
Ｓおよび電極１４と検出電極１１間の静電容量Ｃ１はそ
れぞれ誘電率の印加電圧依存性により変化する。 【００３８】静電容量Ｃ１と静電容量ＣＳの直列合成静
電容量をＣＳ´とおくと，被測定物の表面１ａに電圧Ｖ
Ｓが発生する場合，静電容量ＣＳ´には電荷ＱＳ´＝Ｃ
Ｓ´×ＶＳが蓄えられる。 【００３９】今，ＱＳ´が変化できない位の早さでＣＳ
´を変化させると，その変化に伴ってＣＳ´の端子間に
は，ＣＳ´の変化，すなわちΔＣＳ´による電圧ＶＣ＝
−（ΔＣＳ´／ＣＳ´）×ＱＳ´が発生する。 【００４０】従ってＶＳによるＱＳ´を代入すると，Ｖ
ＣはＶＳに比例する値ＶＣ＝−（ΔＣＳ´／ＣＳ´）×
ＶＳとなる。 【００４１】これを出力ＶＣとして検出し，増幅，検波
することにより表面電位を測定することができ，図２の
例と同様に，静電容量ＣＳ´に偏移電圧を印加し，静電
容量ＣＳ´対電荷特性が非直線となる部分を用いれば，
高調波成分を変調出力とすることも可能である。 【００４２】また，補助電極と電極１４を設けない電位
測定素子１０の構成例（図４）においても，図３の電位
測定素子の構成例と同様の変調作用により表面電位を検
出することができる。 【００４３】また，本発明の範囲内で種々の変更が可能
である。例えば，静電容量の変化は温度，音波，光によ
って起こすことも可能である。また，検出電極１１に接
続された検出部は電位検出素子１０の内部に配置しなく
てもよい。 【００４４】また，本発明の実施例の範囲内で種々の変
更が可能である。例えば，濾波部３１もしくは交流増幅
部３２を電位測定素子１０と一体化することが可能であ
る。また，濾波部３１と交流増幅部３２の順序を入れ替
えることも可能である。また，本発明の素子を複数個用
いて，被測定物の表面１ａに誘導される信号を差動検出
することも可能である。 【００４５】 【発明の効果】本発明は，以上説明したように構成され
ているので，以下に記載するような効果を奏する。 【００４６】被測定物と測定用電極間の接触電位差の影
響を受けることなく，被測定物の表面電位を測定するこ
とができる。
含む導体および半導体表面の電位を測定することに関す
る。 【０００２】 【従来の技術】電極を被測定物に接触させて表面電位の
直流成分を検出する場合，その電極として，甘汞電極も
しくは銀−塩化銀電極が用いられる。（例えば，大熊輝
雄著「臨床脳波学」，医学書院，４６７頁−４６８頁を
参照）。 【０００３】また，被測定物の表面電位の直流成分を検
出する場合，振動容量型電位センサを被測定物に押し当
てて用いることもある（特許出願公開公報「特開平８−
３８４３７号」参照）。 【０００４】センサを被測定物に接触させずに物体の表
面電位の直流成分を測定する方法として，切り込みを入
れた誘電体を被測定物と測定用電極間の空間に置き，そ
の誘電体を回転させて被測定物と測定用電極間の静電容
量を変化させることにより測定用電極に誘起される電圧
を測定し，被測定物の表面電位の直流成分を非接触で知
る方法がある（特許出願公開公報「特開平６−３４６８
７号」参照）。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】物体の表面電位の直流
成分および低周波成分を測定する際，従来の電極を被測
定物に接触させると，被測定物と電極間に接触電位差が
生じ，それが測定誤差の原因となる。その接触電位差を
なくすために電極面を絶縁物で覆うと，被測定物と電極
間が容量性となり，直流成分および低周波成分の計測は
難しかった。 【０００６】物体の表面電位の直流成分および低周波成
分を測定するために振動容量型電位センサを用いる場
合，そのセンサは機械的な振動を利用するので寿命が短
く，また被測定物との接触面が導体である場合は接触電
位差の影響が避けられないことが予想される。また，振
動部に大きな振幅の振動を与えられないため，振動部の
振動による静電容量の変化が小さく，感度が優れないと
いう問題も予想される。また，振動容量型電位センサで
は被測定物と振動部の距離を一定にするのが難しいとい
う問題も予想される。 【０００７】また，特許出願公報「特開平６−３４６８
７号」の方法を生体信号計測に用いる場合は，誘電体の
回転部が存在するため安全性の面で問題が生じる場合が
あることが予想される。 【０００８】本発明の目的は，これらの問題を解決し，
被測定物の表面電位の直流成分および交流成分を正確に
測定することのできる電位測定素子を提供することであ
る。 【０００９】 【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに，本発明の電位測定素子は，被測定物に接触した固
体誘電体と，検出電極と，前記検出電極に接続された検
出部とを有し，前記被測定物の信号が印加される誘電体
の誘電率を変化させることにより，被測定物の信号に応
じた交流電圧信号を前記検出部の端子間に発生するよう
にした。 【００１０】 【実施の形態】生体表面で検出する生体信号計測に，本
発明の電位測定素子を用いる実施例を示す。 【００１１】図１は本発明の電位測定素子を含む表面電
位測定装置を生体信号計測に応用する一実施例の構成図
である。この装置は，電位測定素子１０と，濾波部３１
と，交流増幅部３２と，同期検波部３３と，発振部３４
と，クロック発生部３５と，表示部３６とから構成され
ている。 【００１２】電位測定素子１０は，生体と接触する誘電
体と検出電極からなる変調用静電容量を有する。また，
その静電容量を励振波により変化させるための電極とし
て補助電極を設ける場合と，補助電極を設けずに検出電
極を用いてその静電容量を変化させる場合が考えられ
る。その静電容量に生体信号を印加すると，検出電極に
接続した検出部に交流電流が流れ，検出部の端子間には
生体信号電圧に応じた交流電圧が発生する。 【００１３】濾波部３１は，生体と検出電極間に存在す
る誘電体による静電容量の変化の周波数以外の周波数成
分を除去する。ただし高調波を変調信号とする場合，濾
波部３１は，信号とする高調波成分以外の周波数成分を
除去する。 【００１４】交流増幅部３２は，濾波部３１を通過した
交流電圧を増幅して，同期検波部３３へ送る。 【００１５】発振部３４は，電位測定素子１０で用いる
励振波を発生する。 【００１６】クロック発生部３５は，発振部３４の発振
電圧に同期したクロックを発生し，同期検波部３３に参
照信号を供給する。 【００１７】同期検波部３３は，クロック発生部３５か
らのクロックを参照信号として，交流増幅部３２の出力
を同期検波し，交流信号成分を直流に変換する。 【００１８】表示部３６は，同期検波部３３の出力を表
示する。 【００１９】次に，電位測定素子１０の構造および原理
を説明する。 【００２０】図２と図３と図４に，電位測定素子１０の
構成例を示す。 【００２１】図２は補助電極を設ける場合の電位測定素
子１０の一構成例である。 【００２２】電極１４の表面に存在する強誘電体層１１
ａ，１２ａ，１３ａ，１５の誘電率は強い印加電圧依存
性を有する。強誘電体層１１ａ，１２ａ，１３ａはつな
がっていてもよい。 【００２３】検出電極１１は強誘電体層１１ａの外側に
取り付けられた電極であり，電極１４に発生する交流電
圧成分を外部出力として取り出すための電極となる。静
電容量Ｃ１は電極１４，強誘電体層１１ａ，検出電極１
１により構成される。 【００２４】電極１２および電極１３は補助電極であ
り，検出電極１１と同様に強誘電体層の外側に取り付け
られ，電極１４との間の強誘電体層を介して生じる静電
容量Ｃ２およびＣ３が存在する。 【００２５】電極１４のもう一方の側には強誘電体層１
５が存在し，電気的な導体として作用する被測定物の表
面１ａに密着する。 【００２６】被測定物の表面１ａの電位は接地に対して
生じるものと考えられる。また，電極１４の接地に対す
る電圧ＶＳは，被測定物の表面１ａの接地に対する電圧
ＶＳ´および電極１４と被測定物１間の静電容量ＣＳに
よって発生する。 【００２７】補助電極１２および１３には，交流励振源
の中点を接地し，接地に対して逆バイアスされた互いに
逆位相の交流電圧を印加する。電極１４の接地に対する
電圧は中点と等しく，接地に対して全静電容量ＣＴ＝Ｃ
２＋Ｃ３を生じる。 【００２８】補助電極１２および１３と電極１４間の静
電容量Ｃ２およびＣ３は強誘電体層１２ａ，１３ａの誘
電率の印加電圧依存性により変化する。これらそれぞれ
の変化分をΔＣ２，ΔＣ３とすると，静電容量ＣＴはそ
の変化分ΔＣＴ＝ΔＣ２＋ΔＣ３を生じる。 【００２９】被測定物の表面１ａの接地に対する電圧Ｖ
Ｓ´による，電極１４の接地に対する電圧ＶＳはＶＳ＝
｛ＣＳ／（ＣＴ＋ＣＳ）｝・ＶＳ´となり，静電容量Ｃ
Ｔには電荷ＱＳ＝ＣＴ・ＶＳ＝ＣＴ・｛ＣＳ／（ＣＴ＋
ＣＳ）｝・ＶＳ´が蓄えられる。 【００３０】今，ＱＳが変化できない位の早さでＣ２お
よびＣ３を変化させると，静電容量ΔＣＴの変化に伴
い，その変化に等しい速度の端子間電圧の変化ΔＶＣ＝
−（ΔＣＴ／ＣＴ）・（ＱＳ／ＣＴ）が電極１４と接地
間に発生する。 【００３１】ＶＳによるＱＳの関係およびＶＳ´による
ＶＳの関係を用いると，ΔＶＣはＶＳ´に比例する値Δ
ＶＣ＝−（ΔＣＴ／ＣＴ）・｛ＣＳ／（ＣＴ＋ＣＳ）｝
ＶＳ´となる。これを出力信号として増幅，検波するこ
とにより被測定物の表面１ａの接地に対する電圧を測定
することができる。 【００３２】また，静電容量ＣＳは印加電圧依存性によ
り，その電荷は印加電圧に対して非直線的特性を持つこ
とから，この特性を利用して，入力信号電圧の偏移電圧
に対する高調波成分の増減を出力信号とすることも可能
である。 【００３３】図３は補助電極を設けない場合の電位測定
素子１０の構成例であり，電極１４の表面に存在する強
誘電体層１１ａおよび１５の誘電率は強い印加電圧依存
性を有する。 【００３４】検出電極１１は強誘電体層の外側に取り付
けられた電極であり，電極１４に発生する交流電圧成分
を外部出力として取り出すための電極となり，静電容量
Ｃ１は電極１４および強誘電体層１１ａおよび検出電極
１１により構成される。 【００３５】電極１４のもう一方の側には強誘電体層１
５が存在し，電気的な導体として作用する被測定物の表
面１ａに密着する。 【００３６】被測定物の表面１ａの電位は接地に対して
生じるものと考えられる。 【００３７】検出電極１１は接地に対して電圧が印加さ
れると，被測定物の表面１ａと電極１４間の静電容量Ｃ
Ｓおよび電極１４と検出電極１１間の静電容量Ｃ１はそ
れぞれ誘電率の印加電圧依存性により変化する。 【００３８】静電容量Ｃ１と静電容量ＣＳの直列合成静
電容量をＣＳ´とおくと，被測定物の表面１ａに電圧Ｖ
Ｓが発生する場合，静電容量ＣＳ´には電荷ＱＳ´＝Ｃ
Ｓ´×ＶＳが蓄えられる。 【００３９】今，ＱＳ´が変化できない位の早さでＣＳ
´を変化させると，その変化に伴ってＣＳ´の端子間に
は，ＣＳ´の変化，すなわちΔＣＳ´による電圧ＶＣ＝
−（ΔＣＳ´／ＣＳ´）×ＱＳ´が発生する。 【００４０】従ってＶＳによるＱＳ´を代入すると，Ｖ
ＣはＶＳに比例する値ＶＣ＝−（ΔＣＳ´／ＣＳ´）×
ＶＳとなる。 【００４１】これを出力ＶＣとして検出し，増幅，検波
することにより表面電位を測定することができ，図２の
例と同様に，静電容量ＣＳ´に偏移電圧を印加し，静電
容量ＣＳ´対電荷特性が非直線となる部分を用いれば，
高調波成分を変調出力とすることも可能である。 【００４２】また，補助電極と電極１４を設けない電位
測定素子１０の構成例（図４）においても，図３の電位
測定素子の構成例と同様の変調作用により表面電位を検
出することができる。 【００４３】また，本発明の範囲内で種々の変更が可能
である。例えば，静電容量の変化は温度，音波，光によ
って起こすことも可能である。また，検出電極１１に接
続された検出部は電位検出素子１０の内部に配置しなく
てもよい。 【００４４】また，本発明の実施例の範囲内で種々の変
更が可能である。例えば，濾波部３１もしくは交流増幅
部３２を電位測定素子１０と一体化することが可能であ
る。また，濾波部３１と交流増幅部３２の順序を入れ替
えることも可能である。また，本発明の素子を複数個用
いて，被測定物の表面１ａに誘導される信号を差動検出
することも可能である。 【００４５】 【発明の効果】本発明は，以上説明したように構成され
ているので，以下に記載するような効果を奏する。 【００４６】被測定物と測定用電極間の接触電位差の影
響を受けることなく，被測定物の表面電位を測定するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】表面電位測定装置の接続構成図である。
【図２】本発明の電位測定素子の構成例である。
【図３】本発明の電位測定素子の構成例である。
【図４】本発明の電位測定素子の構成例である。
【符号の説明】
１ 被測定物
１ａ 被測定物の表面
１０ 電位測定素子
１１ 検出電極
１１ａ，１２ａ，１３ａ，１５ 強誘電体層
１２，１３ 補助電極
１４ 電極
３１ 濾波部
３２ 交流増幅部
３３ 同期検波部
３４ 発振部
３５ クロック発生部
３６ 表示部
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】被測定物に接触した固体誘電体と，前記固
体誘電体により絶縁された電極が存在する場合にはその
電極を含む，検出電極と，前記検出電極に接続された検
出部と，を有するセンサにおいて，被測定物の信号が印
加される誘電体の誘電率を変化させることにより，前記
検出部の端子間に交流電圧信号を発生することを特徴と
した電位計測素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002073238A JP2003232823A (ja) | 2002-02-12 | 2002-02-12 | 電位測定素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002073238A JP2003232823A (ja) | 2002-02-12 | 2002-02-12 | 電位測定素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003232823A true JP2003232823A (ja) | 2003-08-22 |
Family
ID=27785076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002073238A Pending JP2003232823A (ja) | 2002-02-12 | 2002-02-12 | 電位測定素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003232823A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005020811A1 (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-10 | Sony Corporation | 測定装置及びその方法 |
| JP2007003512A (ja) * | 2005-05-27 | 2007-01-11 | Canon Inc | 電位測定装置 |
| JP2012032153A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | Tsuda Electric Meters Co Ltd | 非接触式直流電圧検出器 |
-
2002
- 2002-02-12 JP JP2002073238A patent/JP2003232823A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005020811A1 (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-10 | Sony Corporation | 測定装置及びその方法 |
| CN100457024C (zh) * | 2003-08-29 | 2009-02-04 | 索尼株式会社 | 测量装置 |
| KR101083897B1 (ko) * | 2003-08-29 | 2011-11-15 | 소니 주식회사 | 측정 장치 및 그 방법 |
| JP2007003512A (ja) * | 2005-05-27 | 2007-01-11 | Canon Inc | 電位測定装置 |
| JP2012032153A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | Tsuda Electric Meters Co Ltd | 非接触式直流電圧検出器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9551738B2 (en) | Robust capacitive measurement system | |
| JP2015519870A (ja) | 自己検出型誘電エラストマーデバイス | |
| JPH0792486B2 (ja) | 静電量モニタ−装置 | |
| US9678144B2 (en) | Piezoelectric or electret sensing device | |
| CN117665419B (zh) | 一种抗离子流干扰的谐振式静电场传感器及测量装置 | |
| KR100341966B1 (ko) | 임피던스-전압 변환기 및 변환방법 | |
| JP2003232823A (ja) | 電位測定素子 | |
| US6498501B2 (en) | Measuring circuit | |
| JPS5818102A (ja) | 容量式変位計 | |
| JP2010261722A (ja) | 電圧検出装置および線間電圧検出装置 | |
| JP4031215B2 (ja) | センサ信号処理回路 | |
| RU2003133914A (ru) | Датчик и способ измерения давления | |
| JP2007327919A (ja) | 表面電位測定装置 | |
| RU2808718C1 (ru) | Пьезоэлектрический манометр для статических измерений | |
| JP4936921B2 (ja) | 水晶振動子センサー装置 | |
| JP3356029B2 (ja) | 電気量検出回路 | |
| RU2223511C1 (ru) | Бесконтактный способ определения потенциалов заряженной поверхности объекта и устройство для его осуществления | |
| US7046016B2 (en) | Potential fixing device, potential fixing method, and capacitance measuring instrument | |
| JP4676643B2 (ja) | 電位固定装置および容量測定装置 | |
| JP2004170163A (ja) | 静電容量式変位センサ | |
| JPH0355515A (ja) | 液晶表示装置の温度補償回路 | |
| SU1663405A1 (ru) | Способ определени деформаций в изделии | |
| RU2647225C1 (ru) | Измеритель напряженности электрического поля вибрационного типа | |
| JPH0128348B2 (ja) | ||
| KR20020016588A (ko) | 플라즈마 영역내의 전자 에너지 분포 측정 방법 및 그측정 장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20031209 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040126 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040518 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041207 |