JP2003229252A - Manufacturing method of organic led element using transfer film - Google Patents

Manufacturing method of organic led element using transfer film

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JP2003229252A
JP2003229252A JP2002025605A JP2002025605A JP2003229252A JP 2003229252 A JP2003229252 A JP 2003229252A JP 2002025605 A JP2002025605 A JP 2002025605A JP 2002025605 A JP2002025605 A JP 2002025605A JP 2003229252 A JP2003229252 A JP 2003229252A
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JP
Japan
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layer
organic
manufacturing
conductive adhesive
substrate
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JP2002025605A
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Japanese (ja)
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Takashi Ogura
隆 小倉
Shinji Yamana
真司 山名
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic LED element with a highly precise pattern restrained from deterioration. <P>SOLUTION: For the manufacturing method of an organic LED element interposed between a pair of electrodes formed on a base plate by depositing an organic layer by using a transfer film, the pair of electrodes interposing the organic layers are laminated on the transfer film, and conductive adhesive is applied on the base plate, and the pair of electrodes and the organic layer are transferred from the transfer film to the base plate. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は転写法を用いた有
機LEDパネルの製造方法に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method of manufacturing an organic LED panel using a transfer method.

【0002】[0002]

【従来の技術】有機LEDパネルは少なくとも一方が透
光性である一対の電極間に有機物による発光層を、必要
に応じてホール注入輸送層、電子注入輸送層等と併せて
挟んだ構造をもち、低電圧駆動、高輝度の発光が可能で
あることから盛んにその研究が行われている。有機物に
よる発光層、つまり有機LED層の形成方法としては、
マスク蒸着法やインクジェット法等が提案されている。
2. Description of the Related Art An organic LED panel has a structure in which a light emitting layer made of an organic material is sandwiched between a pair of electrodes, at least one of which is translucent, together with a hole injecting and transporting layer, an electron injecting and transporting layer and the like as required. Since it can drive at low voltage and emit light with high brightness, its research is being actively conducted. As a method for forming a light emitting layer made of an organic material, that is, an organic LED layer,
A mask vapor deposition method, an inkjet method, and the like have been proposed.

【0003】しかしながら、マスク蒸着法では大型基板
への蒸着が困難であるという問題があり、インクジェッ
ト法でも大型基板を用いると時間がかかるため生産性が
落ちる等の問題がある。
However, the mask vapor deposition method has a problem that vapor deposition on a large substrate is difficult, and the ink jet method also has a problem that productivity is reduced because it takes time to use a large substrate.

【0004】そこで、大型基板を用いることが可能であ
り作製時間を大幅に短縮することが可能なパターン化方
法として、転写法が提案された(例えば、特開平9−1
67684号公報、特開平10−208881号公報、
特開平11−237504号公報、特開平11−260
549号公報、特開2000−12216号公報、特開
2000−77182号公報、特開2001−1301
41号公報、特開2001−195012号公報参
照)。これらの方法はレーザー照射等により局所的に印
加される熱を利用したパターン化方法である。
Therefore, a transfer method has been proposed as a patterning method capable of using a large-sized substrate and greatly shortening the manufacturing time (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-1.
67684, JP-A-10-208881,
JP-A-11-237504, JP-A-11-260
549, JP2000-12216A, JP2000-77182A, JP2001-1301A.
41, Japanese Patent Laid-Open No. 2001-195012). These methods are patterning methods that utilize heat locally applied by laser irradiation or the like.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】熱転写法を用いて有機
LEDパネルを作成する場合、有機層のみを転写し電極
を後から形成する方法、電極も含めて転写する方法等が
考えられる。有機層のみを転写する場合には、有機層の
融点が比較的低いため転写によるパターニングはきれい
にできるが、後から電極を形成するため工程が多くなる
という問題点がある。また基板上に予め電極をパターニ
ングするため電極エッチング時に電極表面の酸化等によ
り特性が悪くなるという問題点もある。
When an organic LED panel is prepared by using a thermal transfer method, a method of transferring only an organic layer and forming an electrode later, a method of transferring an electrode and the like are conceivable. When only the organic layer is transferred, since the melting point of the organic layer is relatively low, patterning by transfer can be performed neatly, but there is a problem that the number of steps is increased because an electrode is formed later. Further, since the electrodes are preliminarily patterned on the substrate, there is a problem that the characteristics are deteriorated due to the oxidation of the electrode surface during electrode etching.

【0006】また、電極も含めて転写する場合には電極
表面の酸化は避けられるが、転写フィルムと基板の接着
界面に比較的融点が低く、かつ、加熱により溶ける層が
ないため加熱のパターン通りに転写出来ずにかすれ等が
起こり、きれいに転写できる転写条件の範囲が無い又は
非常に狭くなるという問題点があった。
In addition, when transferring including the electrodes, oxidation of the electrode surface can be avoided, but since the melting interface is relatively low at the adhesive interface between the transfer film and the substrate and there is no layer that can be melted by heating, it follows the pattern of heating. However, there is a problem that the transfer condition cannot be properly transferred and the range of transfer conditions for a clean transfer is not provided or is extremely narrowed.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この発明は一対の電極の
間に挟まれた有機層を基板上に堆積させた有機LED素
子を転写フィルムを用いて製造する方法であって、転写
フィルム上に、有機層を挟んだ一対の電極を積層し、基
板上に導電性接着剤を塗布し、転写フィルムから基板へ
一対の電極と有機層とを転写すること特徴とする有機L
ED素子の製造方法を提供するものである。この発明に
より、電極も含めた転写層の転写が可能となる。
The present invention is a method for producing an organic LED element in which an organic layer sandwiched between a pair of electrodes is deposited on a substrate by using a transfer film. , A pair of electrodes sandwiching an organic layer, a conductive adhesive is applied on a substrate, and the pair of electrodes and the organic layer are transferred from the transfer film to the substrate.
A method for manufacturing an ED element is provided. According to the present invention, it is possible to transfer the transfer layer including the electrodes.

【0008】導電性接着剤は基板上の画素部分にのみ塗
布されてもよい。これにより、画素部分のみに転写がで
きるため画素分離が可能となる。導電性接着剤はインク
ジェット法で塗布されることが好ましい。これにより、
高精細なパターンを精度良く転写できる。
The conductive adhesive may be applied only to the pixel portion on the substrate. As a result, since the transfer can be performed only on the pixel portion, the pixel can be separated. The conductive adhesive is preferably applied by an inkjet method. This allows
High-definition patterns can be transferred accurately.

【0009】導電性接着剤はスタンパ法で塗布されるこ
とが好ましい。これにより、インクジェット法では塗布
できない粘度の高い接着剤を使用した転写が可能とな
る。また導電性接着剤を塗布する工程が、基板上の画面
全体に導電性接着剤を塗布する工程からなり、電極と有
機層を転写する工程が、画素部のみの導電性接着剤を硬
化させて転写する工程からなってもよい。これにより、
粘度の高い接着剤の塗布が簡単な方法で行え、画素分離
も可能となる。
The conductive adhesive is preferably applied by a stamper method. This enables transfer using an adhesive having a high viscosity, which cannot be applied by the inkjet method. Further, the step of applying the conductive adhesive includes the step of applying the conductive adhesive to the entire screen on the substrate, and the step of transferring the electrodes and the organic layer cures the conductive adhesive only in the pixel portion. It may consist of a step of transferring. This allows
A highly viscous adhesive can be applied by a simple method, and pixel separation is also possible.

【0010】また導電性接着剤の硬化がレーザーで行わ
れることが好ましい。これにより、粘度の高い接着剤の
塗布を簡単な方法で行えるとともに高精細なパターニン
グ、画素分離が可能となる。また基板が、駆動素子とス
イッチング素子とをTFT回路として含むアクティブマ
トリクス基板であってもよい。これにより、容易に高性
能、高精細な有機LEDパネルの製造が可能となる。
Further, it is preferable that the conductive adhesive is cured by a laser. This makes it possible to apply an adhesive having a high viscosity by a simple method and to perform highly precise patterning and pixel separation. Further, the substrate may be an active matrix substrate including a driving element and a switching element as a TFT circuit. This makes it possible to easily manufacture a high-performance and high-definition organic LED panel.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】この発明に用いる導電性接着剤と
しては、銀フィラーを含有させた熱硬化型エポキシ接着
剤、金属微粒子,金属をコーティングした樹脂ビーズを
含有した熱硬化型接着剤などを挙げることができる。こ
の発明において、転写フィルムはベースフィルム上に転
写法により転写される転写層が形成されたものであり、
必要に応じてベースフィルムと転写層の間に転写補助層
が設けられる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION As the conductive adhesive used in the present invention, a thermosetting epoxy adhesive containing a silver filler, metal fine particles, a thermosetting adhesive containing metal-coated resin beads, etc. Can be mentioned. In the present invention, the transfer film is one in which a transfer layer to be transferred by a transfer method is formed on a base film,
A transfer auxiliary layer is provided between the base film and the transfer layer as needed.

【0012】ベースフィルムとしては基板との密着性を
あげるためフレキシブルな材料が好ましい。このような
材料としては例えばポリエチレンテレフタレート(PE
T),ポリカーボネート(PC),ポリメチルメタクリ
レート(PMMA)、ポリエステル、ポリエポキシ、ポ
リエチレン、ポリスチレン等の高分子材料があげられ
る。これらに限定されるものではないが、ポリエチレン
テレフタレート、ポリカーボネートが好ましい。またフ
ィルムの厚さは10〜600μmが好ましく50〜20
0μmがより好ましい。
A flexible material is preferable as the base film in order to improve the adhesion to the substrate. Examples of such a material include polyethylene terephthalate (PE
Polymer materials such as T), polycarbonate (PC), polymethylmethacrylate (PMMA), polyester, polyepoxy, polyethylene and polystyrene can be used. Although not limited to these, polyethylene terephthalate and polycarbonate are preferable. The thickness of the film is preferably 10 to 600 μm and 50 to 20 μm.
0 μm is more preferable.

【0013】転写層は、実際に転写工程により転写され
る層であり、この発明の方法で用いられる転写層を構成
する層構造としては、例えば通常の有機LED素子に用
いられる有機層と電極層を組み合わせた構造で良く、第
1電極/有機層/第2電極の構造となる。また有機層か
らの発光を外部に取り出すため、第1電極、第2電極の
少なくとも一方は透光性である必要がある。なお、転写
層の構成としては、ベースフィルムに対して順序はどち
らでもよい。
The transfer layer is a layer which is actually transferred in the transfer step, and the layer structure constituting the transfer layer used in the method of the present invention has, for example, an organic layer and an electrode layer used in a normal organic LED element. A combination of the above is sufficient, and the structure is the first electrode / organic layer / second electrode. Further, in order to take out light emitted from the organic layer to the outside, at least one of the first electrode and the second electrode needs to be transparent. The structure of the transfer layer may be in any order with respect to the base film.

【0014】上記有機層は単層構造でも多層構造でも良
く、たとえば下記の構成が挙げられる。 (1)有機発光層 (2)正孔輸送層/有機発光層 (3)有機発光層/電子輸送層 (4)正孔輸送層/有機発光層/電子輸送層 (5)正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子輸送
The organic layer may have a single-layer structure or a multi-layer structure, and examples thereof include the following structures. (1) Organic light emitting layer (2) Hole transport layer / organic light emitting layer (3) Organic light emitting layer / electron transport layer (4) Hole transport layer / organic light emitting layer / electron transport layer (5) Hole injection layer / Hole transport layer / organic light emitting layer / electron transport layer

【0015】上記有機発光層は、一層でも多層構造でも
よい。また母体材料にドーパントをドープした層であっ
てもよい。有機発光層は公知の方法で成膜することが可
能であり、例えば有機発光材料を直接真空蒸着法、EB
法、MBE法等のドライプロセスで成膜することが可能
である。また例えば、有機発光層形成用塗液を用いて、
スピンコート法、ドクターブレード法、吐出コート法、
スプレーコート法、インクジェット法、凸版印刷法、凹
版印刷法、スクリーン印刷法、マイクログラビアコート
法等のウェットプロセスで成膜することが可能である。
The organic light emitting layer may have a single-layer structure or a multi-layer structure. Further, it may be a layer in which a matrix material is doped with a dopant. The organic light emitting layer can be formed by a known method. For example, an organic light emitting material can be directly vacuum-deposited or EB.
It is possible to form a film by a dry process such as a method or an MBE method. Further, for example, using a coating liquid for forming an organic light emitting layer,
Spin coating method, doctor blade method, discharge coating method,
The film can be formed by a wet process such as a spray coating method, an inkjet method, a relief printing method, an intaglio printing method, a screen printing method, a microgravure coating method, and the like.

【0016】有機発光層形成用塗液は、少なくとも発光
材料を含有した溶液であり、一種類もしくは多種類の発
光材料を含有していてもよい。また、その他にレベリン
グ剤、発光アシスト剤、添加剤(ドナー、アクセプター
等)電荷輸送剤、発光性のドーパント等が含有されてい
てもよい。
The organic luminescent layer-forming coating liquid is a solution containing at least a luminescent material, and may contain one kind or multiple kinds of luminescent materials. In addition, a leveling agent, a light emission assisting agent, an additive (donor, acceptor, etc.) charge transporting agent, a light emitting dopant, etc. may be contained.

【0017】発光材料としては、有機LED素子用の公
知の発光材料を用いることが出来る。このような発光材
料には低分子発光材料、高分子発光材料、高分子発光材
料の前駆体等に分類される。以下にこれらの具体的な化
合物を例示するが、この発明はこれらに限定されるもの
ではない。
As the light emitting material, known light emitting materials for organic LED elements can be used. Such light emitting materials are classified into low molecular weight light emitting materials, polymer light emitting materials, precursors of polymer light emitting materials, and the like. Examples of these specific compounds are shown below, but the present invention is not limited thereto.

【0018】低分子発光材料としては、例えば、4,4
‘−ビス(2,2’−ジフェニルビニル)−ビフェニル
(DPVBi)等の芳香族ジメチリデエン化合物、5−
メチルー2−[2−[4−(5−メチル−2−ベンゾオ
キサジリル)フェニル]ビニル]ベンゾオキサゾール等
のオキサジアゾール化合物、3−(4−ビフェニリル)
−4−フェニル−5−t−ブチルフェニル−1,2,4
−トリアゾール(TZA)等のトリアゾール化合物、
1,4−ビス(2−メチスチリル)ベンゼン等のスチリ
ルべンゼン化合物、チオビラジンジオキシド誘導体、ベ
ンゾキノン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノ
ン誘導体等の蛍光性有機材料、アゾメチン亜鉛錯体、
(8−ヒドロキシノリナート)アルミニウム錯体等の蛍
光性有機金属化合物等が挙げられる。
As the low-molecular light emitting material, for example, 4,4
Aromatic dimethylideene compounds such as'-bis (2,2'-diphenylvinyl) -biphenyl (DPVBi), 5-
Oxadiazole compounds such as methyl-2- [2- [4- (5-methyl-2-benzoxazylyl) phenyl] vinyl] benzoxazole, 3- (4-biphenylyl)
-4-phenyl-5-t-butylphenyl-1,2,4
-Triazole compounds such as triazole (TZA),
Fluoryl organic materials such as styrylbenzene compounds such as 1,4-bis (2-methystyryl) benzene, thiovirazine dioxide derivatives, benzoquinone derivatives, naphthoquinone derivatives, anthraquinone derivatives, azomethine zinc complexes,
Examples include fluorescent organometallic compounds such as (8-hydroxynolinato) aluminum complex.

【0019】一方、高分子発光材料としては、例えば、
ポリ(2−デシルオキシ−1,4−フェニレン)(DO
−PPP)、ポリ[2,5−ビス−[2−(N,N,N
−トリエチルアンモニウム)エトキシ]−1,4−フェ
ニル−アルト−1,4−フェニルレン]ジブロマイド
(PPP−NEt3+)、ポリ[2−(2’−エチルヘキ
シルオキシ)−5−メトキシ−1,4−フェニレンビニ
レン](MEH−PPV)等が挙げられる
On the other hand, as the polymer light emitting material, for example,
Poly (2-decyloxy-1,4-phenylene) (DO
-PPP), poly [2,5-bis- [2- (N, N, N
-Triethylammonium) ethoxy] -1,4-phenyl-alto-1,4-phenylene] dibromide (PPP-NEt3 + ), poly [2- (2'-ethylhexyloxy) -5-methoxy-1, 4-phenylene vinylene] (MEH-PPV) and the like.

【0020】また、高分子発光材料の前駆体としては例
えば、ポリ(P−フェニレンビニレン)前駆体(Pre
−PPV)、ポリ(P−ナフタレンビニレン)前駆体
(Pre−PNV)等が挙げられる溶剤としては上記発
光材料を溶解または分散できる溶剤であれば良く、例え
ば、純水、メタノール、エタノール、THF(テトラヒ
ドロフラン)、クロロホルム、トルエン、キシレン、ト
リメチルベンゼン等があげられる。
As the precursor of the polymer light emitting material, for example, a poly (P-phenylene vinylene) precursor (Pre
-PPV), poly (P-naphthalene vinylene) precursor (Pre-PNV), and the like may be used as long as they can dissolve or disperse the above light-emitting material, and for example, pure water, methanol, ethanol, THF ( Tetrahydrofuran), chloroform, toluene, xylene, trimethylbenzene and the like.

【0021】正孔輸送層及び電子輸送層(合わせて電荷
輸送層)はそれぞれ単層構造でも多層構造でもよい。電
荷輸送層は発光層材料と同様に公知の方法で成膜が可能
である。電荷輸送材料としては、公知の材料が使用可能
である。以下にこれらの具体的な化合物を示すが、本発
明はこれに限定されるものではない。
The hole transport layer and the electron transport layer (collectively the charge transport layer) may each have a single layer structure or a multilayer structure. The charge transport layer can be formed by a known method similarly to the light emitting layer material. Known materials can be used as the charge transport material. The specific compounds are shown below, but the invention is not limited thereto.

【0022】正孔輸送材料としては、例えば、ポルフィ
リン化合物、N,N’−ビス−(3−メチルフェニル)
−N,N’−ビス−(フェニル)−ベンジジン(TP
D)、N,N’−ジ(ナフタレン−1−イル)−N,
N’−ジフェニル−ベンジジン(NPD)等の芳香族第
3級アミン化合物、ヒドラゾン化合物、キナクリドン化
合物、スチルアミン化合物等の低分子材料、ポリアニリ
ン、3,4−ポリエチレンジオキシチオフェン/ポリス
チレンサルフォネート(PEDT/PSS)、ポリ(ト
リフェニルアミン誘導体)、ポリビニルカルバゾール
(PVCz)等の高分子材料、ポリ(P−フェニレンビ
ニレン)前駆体、ポリ(P−ナフタレンビニレン)前駆
体等の高分子材料前駆体が挙げられる。
Examples of the hole transport material include porphyrin compounds and N, N'-bis- (3-methylphenyl).
-N, N'-bis- (phenyl) -benzidine (TP
D), N, N'-di (naphthalen-1-yl) -N,
Aromatic tertiary amine compounds such as N'-diphenyl-benzidine (NPD), hydrazone compounds, quinacridone compounds, low molecular weight materials such as stilamine compounds, polyaniline, 3,4-polyethylenedioxythiophene / polystyrene sulfonate (PEDT) / PSS), poly (triphenylamine derivative), polyvinylcarbazole (PVCz) and other polymeric materials, poly (P-phenylenevinylene) precursor, poly (P-naphthalenevinylene) precursor and other polymeric material precursors Can be mentioned.

【0023】電子輸送材料としては、例えば、オキサジ
アゾール誘導体、トリアゾール誘導体、ベンゾキノン誘
導体、ナフトキノン誘導体、フルオレノン誘導体等の低
分子材料、ポリ[オキサジアゾール]等の高分子材料が
挙げられる。また溶剤としては発光材料の形成に使用す
る溶剤が使用可能である。
Examples of the electron transport material include low molecular weight materials such as oxadiazole derivatives, triazole derivatives, benzoquinone derivatives, naphthoquinone derivatives and fluorenone derivatives, and polymer materials such as poly [oxadiazole]. As the solvent, the solvent used for forming the light emitting material can be used.

【0024】電極材料は、公知の電極材料を用いること
が可能であり、陽極としては、仕事関数が高い金属(A
u,Pt,Ni,W等)もしくは透明電極(ITO,I
DIXO,SnO2等)を用いることができ、陰極とし
ては仕事関数の低い金属を少なくとも含有するもの(C
a,Ce,Cs,Rb,Ba,Al,Mg:Ag合金、
Al;Li合金)もしくは薄膜の絶縁層と金属電極の積
層(LiF/Al等)を用いることが可能である。
A known electrode material can be used as the electrode material, and a metal having a high work function (A
u, Pt, Ni, W, etc.) or transparent electrode (ITO, I
DIXO, SnO 2, etc.) can be used, and the cathode contains at least a metal having a low work function (C
a, Ce, Cs, Rb, Ba, Al, Mg: Ag alloy,
(Al; Li alloy) or a lamination of a thin insulating layer and a metal electrode (LiF / Al etc.) can be used.

【0025】実施例 以下、図面に示す実施例に基づいてこの発明を詳述す
る。これによってこの発明が限定されるものではない。 実施例1 実施例を図1と図2を用いて説明する。
Embodiments The present invention will be described in detail below based on the embodiments shown in the drawings. This does not limit the invention. Example 1 An example will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

【0026】図1に示すように、基材フィルム1として
厚さ150μmのポリエチレンテレフタレートを用い、
その上に転写層2を形成する。転写層2において、透明
電極として酸化インジウムに10%の酸化亜鉛を含むI
DIXO層2aを150nmの厚さで形成する。
As shown in FIG. 1, polyethylene terephthalate having a thickness of 150 μm is used as the base film 1,
The transfer layer 2 is formed thereon. In the transfer layer 2, indium oxide containing 10% zinc oxide as a transparent electrode I
The DIXO layer 2a is formed with a thickness of 150 nm.

【0027】IDIXO層2aの成膜はDCマグネトロ
ンスパッタ法を用い、スパッタガスとしては1%の酸素
を含むArガスを使用する。
The IDIXO layer 2a is formed by the DC magnetron sputtering method, and Ar gas containing 1% oxygen is used as the sputtering gas.

【0028】さらに転写層2においてホール輸送材料で
あるNPD層2b、発光層であるAlq3層2cをそれ
ぞれ50nmの厚さで蒸着により形成する。
Further, in the transfer layer 2, an NPD layer 2b which is a hole transport material and an Alq 3 layer 2c which is a light emitting layer are formed by vapor deposition with a thickness of 50 nm.

【0029】さらに、陰極としてLiF/Al層2d,
2eをそれぞれ1nm、150nmの厚さで抵抗加熱蒸
着法により形成する。
Further, as a cathode, a LiF / Al layer 2d,
2e is formed by resistance heating vapor deposition with a thickness of 1 nm and 150 nm, respectively.

【0030】このようにして作製した転写フィルムを、
あらかじめ電極パッド3と取りだし配線をAlで形成し
導電性接着剤4を塗布したガラス基板5と貼り合わせ、
加熱により接着剤4を硬化させる。そして図2に示すよ
うにフィルム1を剥離し封止を行う。
The transfer film produced in this way is
The electrode pad 3 and the take-out wiring are previously formed of Al and bonded to the glass substrate 5 coated with the conductive adhesive 4,
The adhesive 4 is cured by heating. Then, as shown in FIG. 2, the film 1 is peeled off and sealed.

【0031】IDIXO層2a側を+、Al層2e側を
−に電圧を印加するとIDIXO層2aを通してAlq
3層2cからの緑色発光が確認できた。この方法では電
極も同時に転写でき陰極表面の酸化による特性劣化を抑
制することが可能であった。
When a voltage is applied to the side of the IDIXO layer 2a + and to the side of the Al layer 2e-, Alq is passed through the IDIXO layer 2a.
Green light emission from the three layers 2c was confirmed. With this method, the electrodes could be transferred at the same time, and it was possible to suppress the characteristic deterioration due to the oxidation of the cathode surface.

【0032】実施例2 実施例2を図3と図4を用いて説明する。この実施例に
おいて、転写フィルムの作製及び基板の電極パッドと取
りだし配線の形成方法は図3に示すように実施例1と同
様である。
Second Embodiment A second embodiment will be described with reference to FIGS. 3 and 4. In this embodiment, the method for producing the transfer film and the method for forming the electrode pad and the take-out wiring of the substrate are the same as those in the first embodiment as shown in FIG.

【0033】導電性接着剤4の塗布はインクジェット法
を用い図3に示すように電極パッドの上部にだけ行う。
転写フィルムとガラス基板5を貼り合わせ、加熱により
樹脂を硬化させる。その後図4に示すようにフィルム1
を剥離し封止を行う。
The conductive adhesive 4 is applied by an ink jet method only on the upper portion of the electrode pad as shown in FIG.
The transfer film and the glass substrate 5 are bonded together, and the resin is cured by heating. After that, as shown in FIG.
Is peeled off and sealed.

【0034】この実施例においてもIDIXO層2a側
を+、Al層2e側を−に電圧を印加するとIDIXO
層2aを通してAlq3層2cからの緑色発光が確認で
きた。この方法では電極パッド3にのみ接着剤4を塗布
したため、画素間の分離も良好であった。
Also in this embodiment, when a voltage is applied to the + side of the IDIXO layer 2a and − to the side of the Al layer 2e, IDIXO
Green light emission from the Alq 3 layer 2c was confirmed through the layer 2a. In this method, since the adhesive 4 was applied only to the electrode pad 3, the separation between the pixels was also good.

【0035】また、接着剤4が比較的粘度の高い場合に
は、インクジェット法で塗布することが難しいため、例
えば電極パッド3に対応した凸部を持つスタンプに接着
剤を塗布しておき、基板に押し当て接着剤4を電極パッ
ド3上に移すスタンパ法を使用することも可能である。
When the adhesive 4 has a relatively high viscosity, it is difficult to apply the ink by the ink jet method. For example, the adhesive having been applied to the stamp having the convex portion corresponding to the electrode pad 3 is used. It is also possible to use a stamper method in which the adhesive 4 is pressed onto the electrode pad 3 and transferred onto the electrode pad 3.

【0036】実施例3 実施例3を図5と図6を用いて説明する。この実施例に
おいて、転写フィルムの作製は図5に示すように実施例
1と同様である。一方、基板5にはガラス上に有機LE
D素子の駆動用トランジスタ、データ書き込み用トラン
ジスタ、データ保持用キャパシタからなるTFT回路7
を形成したTFT基板を用いる。
Third Embodiment A third embodiment will be described with reference to FIGS. 5 and 6. In this example, the transfer film was produced in the same manner as in Example 1, as shown in FIG. On the other hand, the substrate 5 has organic LE on the glass.
A TFT circuit 7 including a D element driving transistor, a data writing transistor, and a data holding capacitor
A TFT substrate on which is formed is used.

【0037】TFT回路7の形成後、エポキシ系の樹脂
の平坦化膜6を形成して表面を平坦化し、Alの電極パ
ッド3を形成する。表示画面全域に導電性接着剤4を塗
布し、転写フィルムと貼り合わせ、ガラス基板5側から
レーザー光8を照射し加熱、硬化する。その後、図6に
示すようにフィルム1を剥離する。
After the TFT circuit 7 is formed, a flattening film 6 made of an epoxy resin is formed to flatten the surface, and an Al electrode pad 3 is formed. The conductive adhesive 4 is applied to the entire area of the display screen, bonded to the transfer film, and irradiated with laser light 8 from the glass substrate 5 side to heat and cure. After that, the film 1 is peeled off as shown in FIG.

【0038】レーザーの照射は基板5をX−Yステージ
に乗せ、移動させながらパルス照射し、画素部の接着剤
4のみが硬化するようにする。レーザー光はビーム径を
細く絞ることが可能であるため高精細な電極パターンに
も対応ができる。
For laser irradiation, the substrate 5 is placed on an XY stage and pulsed while moving, so that only the adhesive 4 in the pixel portion is cured. Since the beam diameter of the laser light can be narrowed down, it can be applied to high-definition electrode patterns.

【0039】レーザー等の光照射による加熱で接着剤を
硬化させる場合は、転写フィルム側から光照射すること
も可能である。この場合には有機層の光による劣化を防
ぐために、光を照射する側の電極を金属等で形成し遮光
することが好ましい。
When the adhesive is cured by heating by irradiation with light such as a laser, it is possible to irradiate light from the transfer film side. In this case, in order to prevent the organic layer from being deteriorated by light, it is preferable that the electrode on the light irradiation side is formed of a metal or the like to shield the light.

【0040】[0040]

【発明の効果】この発明によれば、導電性接着剤を用い
て電極層と有機層を同時に転写することにより、素子特
性の劣化がなく、高精細パターンの有機LEDパネルの
製造が可能となる。
According to the present invention, by simultaneously transferring the electrode layer and the organic layer by using the conductive adhesive, it is possible to manufacture an organic LED panel having a high-definition pattern without deterioration of element characteristics. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例1を説明するための断面図である。FIG. 1 is a sectional view for explaining a first embodiment.

【図2】実施例1を説明するための断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view for explaining the first embodiment.

【図3】実施例2を説明するための断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining the second embodiment.

【図4】実施例2を説明するための断面図である。FIG. 4 is a sectional view for explaining the second embodiment.

【図5】実施例3を説明するための断面図である。FIG. 5 is a sectional view for explaining the third embodiment.

【図6】実施例3を説明するための断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining the third embodiment.

【符号の説明】 1…基材フィルム 2…転写層 3…電極パッド 4…導電性接着剤 5…ガラス基板[Explanation of symbols] 1 ... Base film 2 ... Transfer layer 3 ... Electrode pad 4 ... Conductive adhesive 5 ... Glass substrate

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一対の電極の間に挟まれた有機層を基板
上に堆積させた有機LED素子を転写フィルムを用いて
製造する方法であって、転写フィルム上に、有機層を挟
んだ一対の電極を積層し、基板上に導電性接着剤を塗布
し、転写フィルムから基板へ一対の電極と有機層とを転
写すること特徴とする有機LED素子の製造方法。
1. A method of manufacturing an organic LED element, which comprises depositing an organic layer sandwiched between a pair of electrodes on a substrate, by using a transfer film, wherein the pair of organic layers is sandwiched on the transfer film. 2. A method for manufacturing an organic LED element, which comprises laminating the electrodes of 1 above, applying a conductive adhesive on the substrate, and transferring the pair of electrodes and the organic layer from the transfer film to the substrate.
【請求項2】 導電性接着剤が基板上の画素部分にのみ
塗布されることを特徴とする請求項1に記載の有機LE
D素子の製造方法。
2. The organic LE according to claim 1, wherein the conductive adhesive is applied only to the pixel portion on the substrate.
Manufacturing method of D element.
【請求項3】 導電性接着剤がインクジェット法で塗布
されることを特徴とする請求項2に記載の有機LED素
子の製造方法。
3. The method of manufacturing an organic LED element according to claim 2, wherein the conductive adhesive is applied by an inkjet method.
【請求項4】 導電性接着剤がスタンパ法で塗布される
ことを特徴とする請求項2に記載の有機LED素子の製
造方法。
4. The method of manufacturing an organic LED element according to claim 2, wherein the conductive adhesive is applied by a stamper method.
【請求項5】 導電性接着剤を塗布する工程が、基板上
の画面全体に導電性接着剤を塗布する工程からなり、電
極と有機層を転写する工程が、画素部のみの導電性接着
剤を硬化させて転写する工程からなることを特徴とする
請求項1に記載の有機LED素子の製造方法。
5. The step of applying the conductive adhesive comprises the step of applying the conductive adhesive to the entire screen on the substrate, and the step of transferring the electrode and the organic layer is the conductive adhesive only for the pixel portion. The method for manufacturing an organic LED element according to claim 1, comprising a step of curing and transferring the resin.
【請求項6】 導電性接着剤の硬化がレーザーで行われ
ることを特徴とする請求項5に記載の有機LED素子の
製造方法。
6. The method of manufacturing an organic LED element according to claim 5, wherein the conductive adhesive is cured by a laser.
【請求項7】 基板が、駆動素子とスイッチング素子と
を含むアクティブマトリクス基板であることを特徴とす
る請求項1に記載の有機LED素子の製造方法。
7. The method of manufacturing an organic LED element according to claim 1, wherein the substrate is an active matrix substrate including a driving element and a switching element.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006047741A (en) * 2004-08-05 2006-02-16 Konica Minolta Opto Inc Polarizing plate, polarizing plate manufacturing method and display apparatus
JP2009010372A (en) * 2007-06-14 2009-01-15 Leonhard Kurz Stiftung & Co Kg Heat stamping of structure
US7557512B2 (en) 2003-12-02 2009-07-07 Lg Display Co., Ltd. Organic electroluminescent device and driving apparatus
KR101738727B1 (en) 2011-06-21 2017-05-22 카티바, 인크. Materials and methods for oled microcavities and buffer layers

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