JP2003228035A - 電気光学装置、これを備えた複板式カラープロジェクタ及び電子機器、並びに電気光学装置の修正方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶装置等の電気光学装置において、輝点等
の欠陥個所を効率的に修正できるようにする。 【解決手段】 電気光学装置は、基板（１０）上に、複
数の画素電極（９ａ）と、該画素電極に接続された電子
素子又は配線（３０、７０、７１）とを備える。複数の
画素電極に対応する複数の画素のうち、輝点（９０３）
等となる不良化した画素の少なくとも一部については、
不透明材料（９１０）で覆われることによって黒点化さ
れている。このような黒点化は、例えば、点燈検査によ
り輝点を検出後に、これに向けてインクジェットヘッド
（５３０）からインクを吐出することで実施する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶装置等の電気
光学装置、これを備えた複板式カラープロジェクタ及び
電子機器、並びにこのような電気光学装置の修正方法及
び装置の技術分野に属する。

【０００２】

【背景技術】一般にこの種の電気光学装置は、例えば薄
膜トランジスタ（以下適宜、ＴＦＴ（Thin Film Transi
stor）と称す）駆動によるアクティブマトリクス駆動方
式であれば、多数の画素電極及びこれをスイッチング制
御するＴＦＴ並びにこれに接続され画像信号や走査信号
を供給するデータ線、走査線等の配線などが設けられた
アレイ基板と、これに対向配置される対向電極、カラー
フィルタなどが設けられた対向基板とを備える。

【０００３】従って、この種の電気光学装置では、各画
素に係る画素電極、配線或いはＴＦＴのショートや断線
に起因して、画素単位で欠陥個所が発生する。そして、
このような欠陥個所は、当該電気光学装置の動作時にお
ける「輝点」個所、即ち表示画像によらずに常時光抜け
して輝いて見える不良表示個所として視認される。或い
は「黒点」個所、即ち表示画像によらずに常時黒く見え
る不良表示個所として視認される。この際、欠陥個所が
輝点個所となるか黒点個所となるかは、ノーマリーブラ
ックモード又はノーマリーホワイトモードといった動作
モードの別、並びに欠陥個所の性質（例えば、断線なの
かショートなのか等）に概ね依存するものである。

【０００４】そこで従来は、このような画素単位の欠陥
個所を修正すべく、先ず液晶封入前など、アレイ基板上
に配線や電子素子が形成された段階で、パターン検査
機、テスタ等で欠陥個所を検出する。その後、検出され
た欠陥個所に対して、レーザによる切断、溶接、レーザ
ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition：化学蒸着）によ
る回路接続等を行なったりしている。

【０００５】或いは、液晶封入後など、電気光学装置が
概ね完成した段階で、点灯検査を行って、欠陥個所に対
するレーザ修正等を行ったりしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た液晶封入前などにパターン検査機等で欠陥個所を検出
する修正技術によれば、例えば画素電極或いは表示用電
極として透明電極が用いられる透過型の電気光学装置の
場合に、当該画素電極或いは表示用電極のパターンを検
出できない。即ち、透過型の電気光学装置であると、こ
の修正技術は役に立たないという問題点がある。

【０００７】他方、上述した液晶封入後などに点灯検査
する修正技術によれば、レーザ修正の際に、電気光学装
置内部にパーティクルが飛散して、新たな欠陥が即時に
発生したり、出荷後における新たな欠陥の原因となった
りするという問題点がある、更に、この対策として、一
つの画素に対して画素スイッチング用のＴＦＴを複数設
けて、異常が発見された方のＴＦＴをレーザにて切断す
る技術も考えられる。しかしながら、これでは余分なＴ
ＦＴを設ける必要が生じてしまい、各画素の開口率（即
ち、各画素における全領域に対する、実際に表示に寄与
する光が出射される領域の比率）の低下を招き、最終的
には表示が暗くなるという問題点が生じる。

【０００８】また特に、例えば赤色用、緑色用及び青色
用のライトバルブとして三枚の電気光学装置を用いる複
板式カラープロジェクタの場合には、製造される各電気
光学装置に対する表示検査で、電気光学装置毎に良品・
不良品の判定を行っている。しかるに、人間の視覚上の
感度との関係で、緑色のライトバルブについての、この
不良品の判定における基準は、赤色用や青色用のライト
バルブの場合と比較して厳しい。この結果、緑色用のラ
イトバルブが相対的に不足すると共に、赤色用や青色用
のライトバルブが余ってしまい、全体として複板式カラ
ープロジェクタを生産する際の歩留まりは非効率的に低
下してしまうという問題点もある。

【０００９】本発明は上記問題点に鑑みなされたもので
あり、欠陥個所が効率的に修正され得る電気光学装置、
そのような電気光学装置を備えてなる複板式カラープロ
ジェクタ及び電子機器、並びに、そのような欠陥個所を
効率的に修正可能な電気光学装置の修正方法及び装置を
提供することを課題とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の電気光学装置は
上記課題を解決するために、基板上に、複数の画素電極
と、該画素電極に接続された電子素子又は配線とを備え
ており、前記複数の画素電極に対応する複数の画素のう
ち不良化した画素の少なくとも一部については、不透明
材料で覆われることによって黒点化されている。

【００１１】本発明の電気光学装置によれば、例えば画
素スイッチング用ＴＦＴやＴＦＤ（Thin Film Diode：
薄膜ダイオード）等の電子素子や、走査線及びデータ線
などの配線を利用して、複数の画素電極に画像信号を供
給することで、アクティブマトリクス駆動を行える。そ
して、複数の画素電極に対応する複数の画素のうち、不
良化した画素の少なくとも一部については黒点化されて
いる。ここに「黒点化」とは、液的吐出ヘッド、例えば
インクジェットヘッドや熱により気泡を吐出する方式の
ヘッドなどにより、不透明材料で不良個所を、画素単位
で覆うことで黒点個所にすることをいう。尚、不良化し
ていない、一般に大部分の画素については、黒点化され
ていない。ここで特に、表示上で輝点及び黒点のいずれ
かとして現れる不良個所は、人間の視覚との関係で輝点
と比べて黒点のほうが目立たない。このため、本発明の
如く、不良化した画素を積極的に黒点化することで、同
じ不良個所であっても、より目立たなくできる。

【００１２】より具体的には、製品の規格上、一つの電
気光学装置について、輝点個数がｍ以上であると、不良
品であると判定され、黒点個数がｎ以上であると、やは
り不良品と判定される。ここで人間の視覚との関係で、
規格上“ｍ＜ｎ”なる関係が成立するので、本発明のよ
うに、不良個所を黒点化すること、即ち“ｍ＋ｎ”を一
定として、ｍを減らしつつｎを増加させることで、不良
品と判定される電気光学装置を、良品として判定される
電気光学装置に修正することも可能となるのである。

【００１３】以上のように本発明の電気光学装置によれ
ば、画素単位の黒点化によって、欠陥個所が極めて効率
的に効率的に修正可能となる。

【００１４】本発明の電気光学装置の一態様では、前記
不良化した画素の少なくとも一部とは、黒点化されない
場合に当該電気光学装置の動作状態で輝点となる画素で
ある。

【００１５】この態様によれば、当該電気光学装置の動
作状態で輝点となる不良化した画素が、積極的に黒点化
される。例えば、ノーマリーホワイトモードで動作させ
る電気光学装置であれば、電圧印加によって全画面ブラ
ックとした動作状態で、輝点となる不良化した画素を黒
点化する。これにより、極めて効率的に不良個所を目立
たなくできる。

【００１６】但し、不良化した画素については、輝点で
ない或いは黒点であっても、輝点と区別することなく黒
点化してもよい。不良個所は、動作上の安定性に欠ける
ため、検査状態や検査後或いは出荷後の状態変化で、黒
点が輝点となってしまう可能性も否定できないからであ
る。即ち、不良個所であれば一律に黒点化しておけば、
安定な表示状態を確保し得る。

【００１７】本発明の電気光学装置の他の態様では、前
記基板の外表面における、前記不良化した画素に対向す
る領域に、前記不透明材料が塗布されている。

【００１８】この態様によれば、当該電気光学装置の内
部に悪影響を与えることなく、単純に基板の外表面に不
透明材料を塗布することで、黒点化を行える。

【００１９】或いは本発明の電気光学装置の他の態様で
は、前記基板に対向配置されており前記基板との間で電
気光学物質層を挟持する対向基板を更に備えており、前
記対向基板の外表面における、前記不良化した画素に対
向する領域に、前記不透明材料が塗布されている。

【００２０】この態様によれば、当該電気光学装置の内
部に悪影響を与えることなく、基板に対向配置された対
向基板の外表面に不透明材料を塗布することで、黒点化
を行える。

【００２１】或いは本発明の電気光学装置の他の態様で
は、前記基板に対して重ねられた板状の光学要素を更に
備えており、前記光学要素の外表面における、前記不良
化した画素に対向する領域に、前記不透明材料が塗布さ
れている。

【００２２】この態様によれば、当該電気光学装置の内
部に悪影響を与えることなく、基板に対して重ねられた
偏光板、位相差板、反射板、導光板等の各種光学要素の
外表面に不透明材料を塗布することで、黒点化を行え
る。

【００２３】本発明の電気光学装置の他の態様では、ノ
ーマリーホワイトモードで駆動される。

【００２４】この態様によれば、画素単位で電圧無印加
時に白表示となるノーマリーホワイトモードにおける電
圧印加時に発生する輝点を、黒点化によって見えなくす
ることで、良好な画像表示を行える。

【００２５】但し、画素単位で電圧無印加時に黒表示と
なるノーマリーブラックモードにおいても電圧無印加時
に発生する輝点を、黒点化によって見えなくすること
で、良好な画像表示を行える。

【００２６】本発明の電気光学装置の他の態様では、前
記画素電極は透明電極からなり、前記電子素子は薄膜ト
ランジスタからなる。

【００２７】この態様によれば、特に前述した従来のパ
ターン検査機等を用いたレーザ修正技術が利用できな
い、透過型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の電
気光学装置において、効率的な修正が可能とされる。

【００２８】但し、画素電極が反射電極からなる反射型
の電気光学装置として構成してもよいし、或いは画素電
極が半透過反射電極からなる半透過反射型の電気光学装
置として構成してもよい。

【００２９】本発明の電子機器は上記課題を解決するた
めに、上述した本発明の電気光学装置（但し、その各種
態様も含む）を具備する。

【００３０】本発明の電子機器は、上述した本発明の電
気光学装置を具備して構成されているので、表示品質に
優れた、複板式プロジェクタの他、単板式プロジェク
タ、液晶テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッ
サ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテー
プレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ
端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。

【００３１】本発明の複板式カラープロジェクタは上記
課題を解決するために、赤色用、青色用及び緑色用の三
つのライトバルブが組み合わされてなる複板式カラープ
ロジェクタであって、前記緑色用のライトバルブは、上
述した本発明の電気光学装置（但し、その各種態様も含
む）からなり、前記赤色用及び前記青色用のライトバル
ブは夫々、基板上に、複数の画素電極と、該画素電極に
接続された電子素子又は配線とを備え、前記複数の画素
電極に対応する複数の画素のいずれについても黒点化さ
れていない他の電気光学装置からなる。

【００３２】本発明の複板式カラープロジェクタによれ
ば、規格が最も厳しい緑色用の基準をクリアする電気光
学装置の個数が、黒点化によって結果として増加させら
れている。他方、特に黒点化せずとも緑色用に比べて個
数は余っている、規格が緩い赤色用及び青色用の電気光
学装置については、無駄な黒点化が結果として行われて
いない。ここで、規格上、緑色用の電気光学装置は、黒
点個数は、数個（ｎ１個）まで許されるが、輝点個数
は、１個も許されない。これに対して、規格上、赤色用
の電気光学装置は、黒点個数は、ｎ１個より多いｎ２個
まで許され、輝点個数も数個まで許される。青色用の電
気光学装置では更に、より多くの個数の黒点や輝点が許
される。

【００３３】即ち、三色用の中で、緑色用としては不良
品であるものの、赤色用及び青色用としては良品である
電気光学装置に対して、黒点化による修正を施すことに
よって、緑色用の基準を満たす電気光学装置の個数が相
対的に増加させられている。従って、全体として極めて
効率的に歩留まりが向上されている。

【００３４】但し、赤色用及び青色用の電気光学装置の
一部或いは全部についても、黒点化による修正が行われ
ているように構成してもよい。この場合にも、歩留まり
向上については、相応の効果が得られる。

【００３５】本発明の複板式カラープロジェクタは上記
課題を解決するために、赤色用、青色用及び緑色用の三
つのライトバルブが組み合わされてなる複板式カラープ
ロジェクタであって、前記青色用のライトバルブは、上
述した本発明の電気光学装置（但し、その各種態様も含
む）からなり、前記赤色用及び前記緑色用のライトバル
ブは夫々、基板上に、複数の画素電極と、該画素電極に
接続された電子素子又は配線とを備え、前記複数の画素
電極に対応する複数の画素のいずれについても黒点化さ
れていない他の電気光学装置からなる。

【００３６】本発明の複板式カラープロジェクタによれ
ば、規格が最も緩い青色用の基準をクリアする電気光学
装置の個数が、黒点化によって増加させられている。即
ち、何らかの理由によって製造品質が相対的に悪く、黒
点化なしでは不良品と判定されてしまう程度に不良個所
が多いものであっても、最も規格が緩い黒点の個数とし
て認められる総数内に、輝点及び黒点の総数が入ってい
る限り、黒点化によって、青色用の電気光学装置として
良品として判定されるレベルにまで修正できる。他方、
規格が厳しい緑色用や赤色用の電気光学装置には、製造
品質が本来的に良く、黒点化を待たずして、予め輝点が
０或いは少ないものを優先的に割り振るようにする。こ
れらによって、三色用の中で、緑色用或いは赤色用とし
ては不良品であるものの、黒点化によって青色用として
は良品となる電気光学装置の個数が相対的に増加させら
れている。従って、全体として極めて効率的に歩留まり
が向上されている。

【００３７】但し、赤色用及び緑色用の電気光学装置の
一部或いは全部についても、黒点化による修正が行われ
ているように構成してもよい。この場合にも、歩留まり
向上については、相応の効果が得られる。

【００３８】本発明の複板式カラープロジェクタは上記
課題を解決するために、赤色用、青色用及び緑色用の三
つのライトバルブが組み合わされてなる複板式カラープ
ロジェクタであって、前記青色用及び前記赤色用のライ
トバルブは夫々、上述した本発明の電気光学装置（但
し、その各種態様も含む）からなり、前記緑色用のライ
トバルブは、基板上に、複数の画素電極と、該画素電極
に接続された電子素子又は配線とを備え、前記複数の画
素電極に対応する複数の画素のいずれについても黒点化
されていない他の電気光学装置からなる。

【００３９】本発明の複板式カラープロジェクタによれ
ば、規格が相対的に緩い青色用及び赤色用の基準をクリ
アする電気光学装置の個数が、黒点化によって増加させ
られている。即ち、何らかの理由によって製造品質が相
対的に悪く、黒点化なしでは不良品と判定されてしまう
程度に不良個所が多いものであっても、規格が緩い黒点
の個数として認められる総数内に、輝点及び黒点の総数
が入っている限り、黒点化によって、青色用及び赤色用
の電気光学装置として良品として判定されるレベルにま
で修正できる。他方、規格が最も厳しい緑色用の電気光
学装置には、製造品質が本来的に良く、黒点化を待たず
して、予め輝点が０或いは少ないものを優先的に割り振
るようにする。これらによって、三色用の中で、緑色用
としては不良品であるものの、黒点化によって青色用或
いは赤色用としては良品となる電気光学装置の個数が相
対的に増加させられている。従って、全体として極めて
効率的に歩留まりが向上されている。

【００４０】但し、緑色用の電気光学装置の一部につい
ても、黒点化による修正が行われているように構成して
もよい。この場合にも、歩留まり向上については、相応
の効果が得られる。

【００４１】本発明の電気光学装置の修正方法は上記課
題を解決するために、基板上に、複数の画素電極と、該
画素電極に接続された電子素子又は配線とを備えた電気
光学装置を修正する電気光学装置の修正方法であって、
前記電子素子又は配線を介して前記画素電極に所定信号
を印加しつつ前記電気光学装置の動作時における輝点個
所を検出する検出工程と、前記検出された輝点個所を、
不透明材料で覆うことによって黒点化する黒点化工程と
を含む。

【００４２】本発明の電気光学装置の修正方法によれ
ば、検出工程では、例えばプローブ等を電気光学装置の
外部入出力端子に当てることによって、画素スイッチン
グ用ＴＦＴなどの電子素子又は配線を介して、画素電極
に所定信号を印加する。この状態で、電気光学装置の動
作時における輝点個所を検出する。そして、この工程後
に或いは殆ど同時に、黒点化工程では、このように検出
された輝点個所を、不透明材料で覆うことによって黒点
化する。尚、不良化していない、一般に大部分の画素に
ついては、黒点化しない。この結果、不良化した画素を
積極的に黒点化することで、同じ不良個所であっても、
より目立たなくできる。即ち、不良品と判定される電気
光学装置を、良品として判定される電気光学装置に修正
することも可能となる。特に、前述したレーザ修正を行
う場合のように、パーティクルを飛散させることもな
く、また画素電極が透明電極からなる場合にも問題なく
修正できる。

【００４３】本発明の電気光学装置の修正方法の一態様
では、前記電気光学装置は、前記基板に対向配置されて
おり前記基板との間に電気光学物質層が封入される対向
基板を更に備えており、前記検出工程及び前記黒点化工
程は、前記電気光学物質層が封入された後に実行され
る。

【００４４】この態様によれば、基板及び対向基板間に
電気光学物質層が封入された後に、検出工程及び黒点化
工程は、実行される。例えば、製品としての電気光学装
置の出荷前に実行されてもよいし、出荷後における点検
時に実行されてもよく、更に、使用後における修理時に
実行されてもよい。いずれにせよ、液晶層等の電気光学
物質層を利用して点灯させた状態で、検出工程を実行で
きるので便利である。

【００４５】本発明の電気光学装置の修正方法の他の態
様では、前記黒点化工程は、液的吐出ヘッドから前記不
透明材料を吐出する。

【００４６】この態様によれば、液的吐出ヘッドから、
例えば１５〜２０μｍの画素ピッチに対して同ピッチ
で、黒色インク等の不透明材料を吐出することによっ
て、黒点化する。尚、不良化した一画素を一回の不透明
材料の吐出によって黒点化するのが簡単であるが、既存
のインクジェットヘッド或いは熱により気泡を吐出する
方式のヘッドでは８μｍ程度の微細ピッチまで可能であ
るので、不良化した一画素を複数回の不透明材料の吐出
によって黒点化することも可能である。

【００４７】本発明の電気光学装置の修正装置は上記課
題を解決するために、基板上に、複数の画素電極と、該
画素電極に接続された電子素子又は配線とを備えた電気
光学装置を修正する電気光学装置の修正装置であって、
前記電子素子又は配線を介して前記画素電極に所定信号
を印加しつつ前記電気光学装置の動作時における輝点個
所を検出する検出装置と、前記検出された輝点個所を、
不透明材料で覆うことによって黒点化する黒点化装置と
を備える。

【００４８】本発明の電気光学装置の修正装置によれ
ば、検出装置では、例えばプローブ等を電気光学装置の
外部入出力端子に当てることによって、画素スイッチン
グ用ＴＦＴなどの電子素子又は配線を介して、画素電極
に所定信号を印加する。この状態で、電気光学装置の動
作時における輝点個所を検出する。そして、黒点化装置
では、このように検出された輝点個所を、不透明材料で
覆うことによって黒点化する。この結果、不良化した画
素を積極的に黒点化することで、同じ不良個所であって
も、より目立たなくできる。即ち、不良品と判定される
電気光学装置を、良品として判定される電気光学装置に
修正することも可能となる。

【００４９】本発明の電気光学装置の修正装置の一態様
では、前記黒点化装置は、前記不透明材料を吐出する液
的吐出ヘッドを備える。

【００５０】この態様によれば、液的吐出ヘッドから、
例えば１５〜２０μｍの画素ピッチに対して同ピッチ
で、黒色インク等の不透明材料を吐出することによっ
て、黒点化する。

【００５１】本発明の電気光学装置の修正装置の他の態
様では、前記検出装置は、前記所定信号を印加するプロ
ーブと、該プローブを前記電気光学装置に対して位置決
めする位置決め手段とを備える。

【００５２】この態様によれば、例えばフルオートプロ
ーバ等の検出装置は、プローブカードとして構成される
プローブを、位置決め手段によって、電気光学装置の入
出力端子に位置決めして当てる。その後、所定信号を印
加し、輝点の検出を実行する。

【００５３】本発明の電気光学装置の修正装置の他の態
様では、前記検出装置は、前記輝点個所を撮像すると共
に該撮像された輝点個所の前記基板上における座標を特
定する撮像装置を備え、前記黒点化装置は、黒点化を実
行する所定位置に対して、前記特定された座標に応じて
前記基板を相対的に位置合わせするアラインメント装置
を備える。

【００５４】この態様によれば、検出装置は例えば、フ
ルオートプローバ内で、ＣＣＤ（Charged Coupled Devi
ce：電荷結合素子）等の撮像装置によって、輝点個所を
撮像すると共に該撮像された輝点個所の基板上における
座標を特定する。そして、アラインメント装置によっ
て、この座標に応じて、基板を相対的に位置合わせす
る。即ち、例えば黒点化を実行する所定位置に配置され
た液的吐出ヘッドであるインクジェットヘッド等に対し
て基板を移動させ固定したり、例えば基板に対して、イ
ンクジェットヘッド等を移動して固定したりする。その
後、黒点化を実行する。

【００５５】本発明の電気光学装置の修正装置の他の態
様では、前記検出装置は、前記電気光学装置を固定する
透明或いは半透明の真空チャックと、該真空チャックの
背面に配置されており、該真空チャックを介して前記電
気光学装置に光源光を照射するバックライトとを備え
る。

【００５６】この態様によれば、透明或いは半透明の真
空チャックにより固定された電気光学装置に対して、そ
の背面側からバックライトによる光源光を照射して、点
灯試験を実行できる。そして、この状態で、その表面側
から輝点についての位置合わせを行うことができ、更に
その表面側から輝点についての黒点化を行える。この結
果、非常に精度良く且つ効率的に、輝点の検出から黒点
化までの処理を、透明或いは半透明の真空チャック上に
おける一連の処理として行うことが可能となる。

【００５７】本発明のこのような作用及び他の利得は次
に説明する実施の形態から明らかにされる。

【００５８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。以下の実施形態は、本発明の電気光
学装置を液晶装置に適用したものである。

【００５９】（電気光学装置）先ず、本発明の電気光学
装置に係る実施形態の全体構成について、図１及び図２
を参照して説明する。ここでは、電気光学装置の一例で
ある駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動
方式の液晶装置を例にとる。

【００６０】図１は、ＴＦＴアレイ基板をその上に形成
された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図で
あり、図２は、図１のＨ−Ｈ’断面図である。

【００６１】図１及び図２において、本実施形態に係る
電気光学装置では、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２
０とが対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１０と対
向基板２０との間に液晶層５０が封入されており、ＴＦ
Ｔアレイ基板１０と対向基板２０とは、画像表示領域１
０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材
５２により相互に接着されている。

【００６２】シール材５２は、両基板を貼り合わせるた
めの、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、
製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０上に塗布さ
れた後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたもの
である。また、シール材５２中には、ＴＦＴアレイ基板
１０と対向基板２０との間隔（基板間ギャップ）を所定
値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等の
ギャップ材が散布されている。即ち、本実施形態の電気
光学装置は、プロジェクタのライトバルブ用として小型
で拡大表示を行うのに適している。但し、当該電気光学
装置が液晶ディスプレイや液晶テレビのように大型で等
倍表示を行う液晶装置であれば、このようなギャップ材
は、液晶層５０中に含まれてもよい。

【００６３】シール材５２が配置されたシール領域の内
側に並行して、画像表示領域１０ａの額縁領域を規定す
る遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けら
れている。但し、このような額縁遮光膜の一部又は全部
は、ＴＦＴアレイ基板１０側に内蔵遮光膜として設けら
れてもよい。

【００６４】画像表示領域の周辺に広がる領域のうち、
シール材５２が配置されたシール領域の外側に位置する
周辺領域には、データ線駆動回路１０１及び外部回路接
続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って設
けられており、走査線駆動回路１０４が、この一辺に隣
接する２辺に沿って設けられている。更にＴＦＴアレイ
基板１０の残る一辺には、画像表示領域１０ａの両側に
設けられた走査線駆動回路１０４間をつなぐための複数
の配線１０５が設けられている。また図１に示すよう
に、対向基板２０の４つのコーナー部には、両基板間の
上下導通端子として機能する上下導通材１０６が配置さ
れている。他方、ＴＦＴアレイ基板１０にはこれらのコ
ーナーに対向する領域において上下導通端子が設けられ
ている。これらにより、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基
板２０との間で電気的な導通をとることができる。

【００６５】図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上に
は、画素スイッチング用のＴＦＴや走査線、データ線等
の配線が形成された後の画素電極９ａ上に、配向膜が形
成されている。他方、対向基板２０上には、対向電極２
１の他、最上層部分に配向膜が形成されている。また、
液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液
晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、
所定の配向状態をとる。

【００６６】尚、図１及び図２に示したＴＦＴアレイ基
板１０上には、これらのデータ線駆動回路１０１、走査
線駆動回路１０４等に加えて、画像信号線上の画像信号
をサンプリングしてデータ線に供給するサンプリング回
路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信
号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回
路、製造途中や出荷時の当該電気光学装置の品質、欠陥
等を検査するための検査回路等を形成してもよい。

【００６７】次に、本実施形態における特徴の一つであ
る、元々は輝点であった画素が黒点化されている構成に
ついて、図３から図６を参照して説明する。ここに、図
３（ａ）から図３（ｃ）は夫々、各種状態にある、上述
の如く構成された電気光学装置の画像表示領域１０ａの
一部を拡大して図式的に示す部分拡大平面図である。図
４は、図３（ｃ）のＥ−Ｅ’断面を図式的に示す断面図
である。また、図５及び図６は夫々、輝点が黒点化され
た構成の他の具体例を、図４と同様の断面について示す
断面図である。

【００６８】図３（ａ）に示すように本実施形態では、
画像表示領域１０ａは、各画素の開口領域９０１（即
ち、各画素において実際に表示に寄与する光が透過する
領域）と、非開口領域９０２（即ち、各画素において実
際に表示に寄与する光が透過しない領域）とに大別され
る。非開口領域９０２は、後に詳述するように、配線や
電極等としても機能する、ＴＦＴアレイ基板１０に作り
込まれた内蔵遮光膜により規定されている。或いは、こ
のような遮光膜は、対向基板２０側に作り込まれてもよ
い。更に、これら両基板に設けられた遮光膜を組み合わ
せて、非開口領域９０２を規定することも可能である。
他方、開口領域９０１には、ＩＴＯ（Indium Tin Oxid
e）膜等の透明導電膜からなる画素電極９ａの他の透明
膜のみが形成されている。

【００６９】この種の電気光学装置では、図３（ｂ）に
示すように、次に説明する黒点化を行わないと仮定する
と、不良個所において、輝点９０３が発生する。例え
ば、本実施形態の電気光学装置をノーマリーホワイトモ
ードで駆動すると仮定すれば、画素電極に電圧を印加し
ない状態では図３（ａ）のような白のベタ表示が得ら
れ、全画素電極に電圧を印加した状態では図３（ｂ）の
ような黒のベタ表示が得られる。この際特に、各画素に
係る画素電極９ａや後述する画素スイッチング用のＴＦ
Ｔ或いはそれに接続された配線、電極等におけるショー
トや断線に起因して、画素単位で欠陥個所が発生する
と、輝点９０３が発生し得る。輝点９０３では、画像信
号によらずに常時光抜けして、輝いて見える不良表示個
所として視認される。尚、図示していないが、欠陥個所
の性質に応じて、図３（ａ）に示した如き、例えばノー
マリーホワイトモードにおける電圧無印加状態で、黒点
が発生する場合もある。

【００７０】しかるに、本実施形態では特に、図３
（ｃ）及び図４に示すように、このような輝点９０３は
（後に修正方法の説明のところで詳述するように）製品
完成に相前後して検出されて、局所的に不透明材料９１
０によって覆われている。即ち、輝点９０３であった不
良個所は、不透明材料９１０の存在によって、黒点化さ
れている。

【００７１】このように輝点９０３を黒点化しておく
と、人間の視覚との関係で輝点と比べて黒点のほうが目
立たないので、同じ不良個所であっても、より目立たな
くできる。言い換えれば、製品の規格上、許容される輝
点個数よりも許容される黒点個数の方が多いので、同じ
不良個所であっても、輝点９０３を黒点化することで、
電気光学装置全体として（黒点個数がその許容値を下回
っている限りにおいて）、不良品を良品に修正し得るの
である。

【００７２】尚、本実施形態の電気光学装置は、ノーマ
リーホワイトモードで駆動されるものに限らず、電圧無
印加時に図３（ｂ）に示した如き黒のベタ表示となるノ
ーマリーブラックモードにおいても、輝点９０３を黒点
化によって見えなくすることで、良好な画像表示を行え
る。また、画素電極９ａは、透明電極でなく例えば反射
電極や半透過反射電極から構成されている場合にであっ
ても（即ち、電気光学装置が反射型や半透過反射型であ
っても）、本実施形態における黒点化による修正による
利益は相応に得られる。

【００７３】次に、図５及び図６を参照して変形形態に
ついて説明する。

【００７４】図４に示した実施形態では、対向基板２０
の外表面に不透明材料９１０が塗布されているが、図５
に示した変形形態では、ＴＦＴアレイ基板１０の外表面
に不透明材料９１０’が塗布されている。このような変
形形態によっても、輝点９０３を黒点化できる。但し、
強力な光源光を対向基板２０側から入射する構成を採用
する場合には、図４に示した実施形態の方が、当該電気
光学装置内に迷光を発生させない観点からは有利であ
る。

【００７５】図６に示した変形形態では、ＴＦＴアレイ
基板１０に重ねられた位相差板９２１及び偏光板９２２
の外表面に、不透明材料９１０”が塗布されている。こ
のような変形形態によっても、輝点９０３を黒点化でき
る。但し、一般に完全な平行光ではない強力な光源光を
対向基板２０側から入射する構成を採用する場合には、
図４に示した実施形態の方が、輝点９０３に近接した位
置にて、より完全な黒点化を可能ならしめる観点からは
有利である。但し、位相差板９２１及び偏光板９２２等
が取り付けられた完成品に近い段階で黒点化を可能なら
しめる観点からは、図６に示した変形形態の方が有利で
ある。

【００７６】図４から図６に示したいずれの場合にも、
電気光学装置の内部に悪影響を与えることなく、単純に
外表面に不透明材料を塗布することで、黒点化を行え
る。

【００７７】次に以上の如く構成された電気光学装置に
おける回路構成及び動作について図７を参照して説明す
る。図７は、電気光学装置の画像表示領域を構成するマ
トリクス状に形成された複数の画素における各種素子、
配線等の等価回路を示すブロック図である。

【００７８】図７において、本実施形態における電気光
学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成さ
れた複数の画素には夫々、画素電極９ａと当該画素電極
９aをスイッチング制御するためのＴＦＴ３０とが形成
されており、画像信号が供給されるデータ線６ａが当該
ＴＦＴ３０のソースに電気的に接続されている。そし
て、画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎが、各データ線６ａ
に供給されるように構成されている。このようにデータ
線６ａに書き込む画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、こ
の順に線順次に供給しても構わないし、相隣接する複数
のデータ線６ａ同士に対して、グループ毎に供給するよ
うにしても良い。

【００７９】また、画素スイッチング用のＴＦＴ３０の
ゲートに走査線３ａが電気的に接続されており、所定の
タイミングで、走査線３ａにパルス的に走査信号Ｇ１、
Ｇ２、…、Ｇｍを、この順に線順次で印加するように構
成されている。画素電極９ａは、ＴＦＴ３０のドレイン
に電気的に接続されており、スイッチング素子であるＴ
ＦＴ３０を一定期間だけそのスイッチを閉じることによ
り、データ線６ａから供給される画像信号Ｓ１、Ｓ２、
…、Ｓｎを所定のタイミングで書き込む。画素電極９ａ
を介して電気光学物質の一例としての液晶に書き込まれ
た所定レベルの画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、対向
基板に形成された対向電極との間で一定期間保持され
る。液晶は、印加される電位レベルにより分子集合の配
向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示
を可能にする。ノーマリーホワイトモードであれば、各
画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透
過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各
画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透
過率が増加され、全体として電気光学装置からは画像信
号に応じたコントラストを持つ光が出射する。ここで、
保持された画像信号がリークするのを防ぐために、画素
電極９ａと対向電極との間に形成される液晶容量と並列
に蓄積容量７０を付加する。走査線３ａと並行して、蓄
積容量７０の固定電位側容量電極を含むと共に定電位に
固定された容量線３００が設けられている。

【００８０】次に、本発明の実施形態の電気光学装置の
画像表示領域における構成について、図８及び図９を参
照して説明する。図８は、データ線、走査線、画素電極
等が形成されたＴＦＴアレイ基板の相隣接する複数の画
素群の平面図である。図９は、図８のＡ−Ａ’断面図で
ある。尚、図９においては、各層や各部材を図面上で認
識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮
尺を異ならしめてある。

【００８１】図８において、電気光学装置のＴＦＴアレ
イ基板上には、マトリクス状に複数の透明な画素電極９
ａ（点線部９ａ’により輪郭が示されている）が設けら
れており、画素電極９ａの縦横の境界に各々沿ってデー
タ線６ａ及び走査線３ａが設けられている。

【００８２】また、半導体層１ａのうち図中右上がりの
斜線領域で示したチャネル領域１ａ’に対向するように
走査線３ａが配置されており、走査線３ａはゲート電極
として機能する。このように、走査線３ａとデータ線６
ａとの交差する個所には夫々、チャネル領域１ａ’に走
査線３ａがゲート電極として対向配置された画素スイッ
チング用のＴＦＴ３０が設けられている。

【００８３】図８及び図９に示すように、蓄積容量７０
は、ＴＦＴ３０の高濃度ドレイン領域１ｅ及び画素電極
９ａに接続された画素電位側容量電極としての中継層７
１と、固定電位側容量電極としての容量線３００の一部
とが、誘電体膜７５を介して対向配置されることにより
形成されている。

【００８４】容量線３００は平面的に見て、走査線３ａ
に沿ってストライプ状に伸びており、ＴＦＴ３０に重な
る個所が図８中上下に突出している。このような容量線
３００は好ましくは、例えば金属を含む遮光性の導電膜
からなる。このように構成すれば、容量線３００は、蓄
積容量７０の固定電位側容量電極としての機能の他、Ｔ
ＦＴ３０の上側において入射光からＴＦＴ３０を遮光す
る遮光層としての機能を持つ。

【００８５】他方、ＴＦＴアレイ基板１０上におけるＴ
ＦＴ３０の下側には、下側遮光膜１１ａが格子状に設け
られている。下側遮光膜１１ａは、例えば、Ｔｉ（チタ
ン）、Ｃｒ（クロム）、Ｗ（タングステン）、Ｔａ（タ
ンタル）、Ｍｏ（モリブデン）等の高融点金属のうち少
なくとも一つを含む、金属単体、合金、金属シリサイ
ド、ポリシリサイド、これらを積層したもの等からな
る。

【００８６】そして、図８中縦方向に夫々伸びるデータ
線６ａと図８中横方向に夫々伸びる容量線３００とが相
交差して形成されること及び格子状に形成された下側遮
光膜１１ａにより、各画素の非開口領域を規定してい
る。

【００８７】図８及び図９に示すように、データ線６ａ
は、コンタクトホール８１を介して、例えばポリシリコ
ン膜からなる半導体層１ａのうち高濃度ソース領域１ｄ
に電気的に接続されている。尚、上述した中継層７１と
同一膜からなる中継層を形成して、当該中継層及び２つ
のコンタクトホールを介してデータ線６ａと高濃度ソー
ス領域１ｄとを電気的に接続してもよい。

【００８８】また容量線３００は好ましくは、画素電極
９ａが配置された画像表示領域１０ａ（図１参照）から
その周囲に延設され、定電位源と電気的に接続されて、
固定電位とされる。このような定電位源としては、デー
タ線駆動回路や走査線駆動回路に供給される正電源や負
電源の定電位源でもよいし、対向基板２０の対向電極２
１に供給される定電位でも構わない。更に、ＴＦＴ３０
の下側に設けられる下側遮光膜１１ａについても、その
電位変動がＴＦＴ３０に対して悪影響を及ぼすことを避
けるために、容量線３００と同様に、画像表示領域１０
ａからその周囲に延設して定電位源に接続するとよい。

【００８９】画素電極９ａは、中継層７１を中継するこ
とにより、コンタクトホール８３及び８５を介して半導
体層１ａのうち高濃度ドレイン領域１ｅに電気的に接続
されている。

【００９０】図８及び図９において、電気光学装置は、
透明なＴＦＴアレイ基板１０と、これに対向配置される
透明な対向基板２０とを備えている。ＴＦＴアレイ基板
１０は、例えば石英基板、ガラス基板、シリコン基板か
らなり、対向基板２０は、例えばガラス基板や石英基板
からなる。

【００９１】図９に示すように、ＴＦＴアレイ基板１０
には、画素電極９ａが設けられており、その上側には、
ラビング処理等の所定の配向処理が施された配向膜１６
が設けられている。画素電極９ａは例えば、ＩＴＯ膜な
どの透明導電性膜からなる。また配向膜１６は例えば、
ポリイミド膜などの透明な有機膜からなる。

【００９２】他方、対向基板２０には、その全面に渡っ
て対向電極２１が設けられており、その下側には、ラビ
ング処理等の所定の配向処理が施された配向膜２２が設
けられている。対向電極２１は例えば、ＩＴＯ膜などの
透明導電性膜からなる。また配向膜２２は、ポリイミド
膜などの透明な有機膜からなる。

【００９３】対向基板２０には、各画素の非開口領域に
対応して格子状又はストライプ状の遮光膜を設けるよう
にしてもよい。このような構成を採ることで、前述の如
く非開口領域を規定する容量線３００やデータ線６ａと
共に当該対向基板２０上の遮光膜により、対向基板２０
側からの入射光がチャネル領域１ａ’や低濃度ソース領
域１ｂ及び低濃度ドレイン領域１ｃに侵入するのを、よ
り確実に阻止できる。

【００９４】このように構成された、画素電極９ａと対
向電極２１とが対面するように配置されたＴＦＴアレイ
基板１０と対向基板２０との間には、シール材５２（図
１及び図２参照）により囲まれた空間に電気光学物質の
一例である液晶が封入され、液晶層５０が形成される。

【００９５】更に、画素スイッチング用のＴＦＴ３０下
には、下地絶縁膜１２が設けられている。下地絶縁膜１
２は、下側遮光膜１１ａからＴＦＴ３０を層間絶縁する
機能の他、ＴＦＴアレイ基板１０の全面に形成されるこ
とにより、ＴＦＴアレイ基板１０の表面の研磨時におけ
る荒れや、洗浄後に残る汚れ等で画素スイッチング用の
ＴＦＴ３０の特性変化を防止する機能を有する。

【００９６】図９において、画素スイッチング用のＴＦ
Ｔ３０は、ＬＤＤ（Lightly DopedDrain）構造を有して
おり、走査線３ａ、当該走査線３ａからの電界によりチ
ャネルが形成される半導体層１ａのチャネル領域１
ａ’、走査線３ａと半導体層１ａとを絶縁するゲート絶
縁膜を含む絶縁膜２、半導体層１ａの低濃度ソース領域
１ｂ及び低濃度ドレイン領域１ｃ、半導体層１ａの高濃
度ソース領域１ｄ並びに高濃度ドレイン領域１ｅを備え
ている。

【００９７】走査線３ａ上には、高濃度ソース領域１ｄ
へ通じるコンタクトホール８１及び高濃度ドレイン領域
１ｅへ通じるコンタクトホール８３が各々開孔された第
１層間絶縁膜４１が形成されている。

【００９８】第１層間絶縁膜４１上には中継層７１及び
容量線３００が形成されており、これらの上には、高濃
度ソース領域１ｄへ通じるコンタクトホール８１及び中
継層７１へ通じるコンタクトホール８５が各々開孔され
た第２層間絶縁膜４２が形成されている。

【００９９】第２層間絶縁膜４２上にはデータ線６ａが
形成されており、これらの上には、中継層７１へ通じる
コンタクトホール８５が形成された平坦化した第３層間
絶縁膜４３が形成されている。画素電極９ａは、このよ
うに構成された第３層間絶縁膜４３の上面に設けられて
いる。

【０１００】本実施形態では、第３層間絶縁膜４３の表
面は、ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing：化学
的機械研磨）処理等により平坦化されており、その下方
に存在する各種配線や素子による段差に起因する液晶層
５０における液晶の配向不良を低減する。

【０１０１】以上説明したように本実施形態では、各画
素に複雑な積層構造が構築されており、各画素に係る画
素電極９ａやＴＦＴ３０、更にそれに接続された電極或
いは配線等に、ショートや断線が発生する可能性があ
る。そして、このようなショートや断線に起因して、画
素単位で欠陥個所が発生し、特に図３（ｂ）に示したよ
うな輝点９０３が発生し得る。しかるに、本実施形態で
は、このように発生する輝点９０３を黒点化するので、
同じ不良個所であっても目立たなくできる。結果とし
て、本実施形態によれば、表示品位を向上させると共に
製造歩留まりを向上させられるので、極めて実践的であ
る。

【０１０２】以上図１から図９を参照して説明した各実
施形態では、データ線駆動回路１０１や走査線駆動回路
１０４をＴＦＴアレイ基板１０の上に設ける代わりに、
例えばＴＡＢ（Tape Automated bonding）基板上に実装
された駆動用ＬＳＩに、ＴＦＴアレイ基板１０の周辺部
に設けられた異方性導電フィルムを介して電気的及び機
械的に接続するようにしてもよい。また、対向基板２０
の投射光が入射する側及びＴＦＴアレイ基板１０の出射
光が出射する側には各々、例えば、ＴＮ（Twisted Nema
tic）モード、ＶＡ（Vertically Aligned）モード、Ｐ
ＤＬＣ(PolymerDispersed Liquid Crystal)モード等の
動作モードや、ノーマリーホワイトモード／ノーマリー
ブラックモードの別に応じて、偏光フィルム、位相差フ
ィルム、偏光板などが所定の方向で配置される。

【０１０３】そして、いずれの場合にも、図５及び図６
に示したように、それらの外表面から輝点を黒点化する
ことが可能である。

【０１０４】（電気光学装置の修正方法及び装置）図１
０及び図１１を参照して、電気光学装置の修正方法及び
装置について説明する。ここに図１０は、電気光学装置
の修正装置の図式的な斜視図であり、図１１は、これを
用いて実行する電気光学装置の修正方法のフローチャー
トである。

【０１０５】本実施形態の電気光学装置の修正装置は、
上述した実施形態に係る電気光学装置における、液晶層
５０を構成する液晶を封入以降の段階であって、図３か
ら図６に示した黒点化以前のいずれかの段階にあるもの
に対して、先ず欠陥個所（特に、輝点個所）を検出し、
更にその検出された輝点を黒点化する装置である。

【０１０６】図１０に示すように、修正装置は、フルオ
ートプローバ５００、真空チャック５０２、バックライ
ト５０４、プローブカード５０８、ＣＣＤ５１０、テス
タ５２０、液的吐出ヘッドの一例であるインクジェット
ヘッド５３０、アラインメント装置５３４及び制御装置
５５０を備えて構成されている。

【０１０７】フルオートプローバ５００は、マザー基板
６００上に、例えば数十個といった複数形成された状態
にある、液晶封入後における電気光学装置（図１から図
９参照）が投入されるものである。真空チャック５０２
は、この投入されたマザー基板６００を真空吸着により
固定する。真空チャック５０２は特に、透明或いは半透
明材料からなる。バックライト５０４は、真空チャック
５０２に固定されたマザー基板６００に対して、真空チ
ャック５０２の裏側から光源光ＬＢを照射する。バック
ライト５０４は、光源５０４ａと導光板５０４ｂとを備
えて構成されている。但し、バックライトは、ＬＥＤ
（Light Emitting Diode）等を備えて構成されてもよ
い。

【０１０８】プローブカード５０８は、複数のプローブ
５０８ｐを備えており、マザー基板６００上に形成され
た各電気光学装置における、任意の外部回路接続端子１
０２（図１及び図２参照）に、プローブ５０８ｐを当て
られるように構成されている。そして、テスタ５２０
は、制御装置５５０による制御下で、このプローブ５０
８ｐを介して所定信号を各電気光学装置に入力するよう
に構成されている。

【０１０９】ＣＣＤ５１０は、制御装置５５０による制
御下で、テスタ５２０により所定信号が入力された状態
にあると共に、バックライト５０４により光源光ＬＢが
照射された状態にある電気光学装置を撮像し、不良個所
として輝点及び黒点を検出する。即ち、点燈検査を実行
する。この際特に、制御装置５５０による制御下でＣＣ
Ｄとテスタとを連動させることで、ＣＣＤにより撮像さ
れた輝点個所のマザー基板６００上における座標を特定
する。

【０１１０】アラインメント装置５３４は、ＣＣＤ５１
０及びテスタ５２０により輝点の座標が特定された後
に、それに対応する位置にインクジェットヘッド５３０
を移動させ固定する。或いは、アラインメント装置５３
４は、インクジェットヘッド５３０を固定したまま、真
空チャック５０２側を移動させてもよい。

【０１１１】そして、インクジェットヘッド５３０は、
係る移動後に、輝点に向けてインクＩＫを吐出するよう
に構成されている。例えば、インクジェットヘッド５３
０は、８μｍピッチ程度の解像度を有しており、フルオ
ートプローバの位置精度を±５μｍ程度とすることによ
って、電気光学装置における１５〜２０μｍ程度の画素
ピッチに対して問題なく図３（ｃ）に示したように輝点
をなす画素を局所的に黒点化できる。

【０１１２】加えて、インクジェットヘッド５３０を用
いて、黒点化した電気光学装置にその旨のマーキングを
行ってもよい。或いは、インクジェットヘッド５３０を
用いて、修正後における黒点の個数や品質レベルを、各
電気光学装置に記してもよい。

【０１１３】ここで、図１０に加えて図１１のフローチ
ャートを参照して、本実施形態に係る電気光学装置の修
正方法について説明する。

【０１１４】図１１において先ず、複数の電気光学装置
が形成されたマザー基板６００を真空チャック５０２に
より固定した状態で、バックライト５０４を点燈させる
（ステップＳ１１）。この状態で、プローブカード５０
８によりプローブ５０８ｐを順次、外部回路接続端子１
０２に当てて、テスタ５２０により所定信号を印加しつ
つ、ＣＣＤにより対応する画素を撮像する。これらによ
り、輝点及び黒点の位置並びにそれらの個数を、マザー
基板６００上に構築された各電気光学装置について特定
する（ステップＳ１２）。

【０１１５】続いて、各電気光学装置についての累計輝
点個数が０以上であるか否かを判定する（ステップＳ１
３）。ここで、輝点数が０であれば（ステップＳ１３：
Ｎｏ）、黒点化による修正を行うことなく、そのまま処
理を終了する。但し、必要であれば、インクジェットヘ
ッド５３０等によって、良品である旨のマーキングを当
該電気光学装置に対して記してもよい。

【０１１６】他方、ステップＳ１３の判定の結果、輝点
数が０より多ければ（ステップＳ１３：Ｙｅｓ）、各輝
点の座標にインクジェットヘッド５３０を相対移動させ
る（ステップＳ１４）。そして、移動完了後に、インク
ジェットヘッド５３０からインクＩＫを吐出することに
よって、輝点を黒点化する（ステップＳ１５）。この際
のインクＩＫの吐出量は、インクＩＫの不透明度に応じ
て可変であるが、最終的に輝点を目立たなくできる程度
に不透明とすれば足り、その吐出量は、実験的、経験的
に或いはシミュレーションによって、適当な値に設定す
ればよい。

【０１１７】加えて、ステップＳ１２で検出された黒点
についても、インクＩＫによって黒点化してもよい。不
良個所は、動作上の安定性に欠けるため、検査状態や検
査後或いは出荷後の状態変化で、黒点が輝点となってし
まう可能性も否定できないからである。

【０１１８】尚、ステップＳ１４における輝点個数が、
最も規格が緩いＢ用の電気光学装置において許容される
黒点数よりも多い場合には、黒点化の意味はない。この
ため、黒点化による修正を実施することなく、そのまま
処理を終了してもよい。

【０１１９】ステップＳ１５における各電気光学装置に
ついての１回又は複数回の黒点化が完了すると、インク
ジェットヘッド５３０等を用いて、黒点化した旨のマー
キングを記した後（ステップＳ１６）、一連の処理を終
了する。

【０１２０】本実施形態の修正装置によれば、輝点を黒
点化することで、同じ不良個所であっても、より目立た
なくできる。即ち、不良品と判定される電気光学装置
を、良品として判定される電気光学装置に修正すること
も可能となる。この際、前述したレーザ修正を行う場合
のように、パーティクルを飛散させることもなく、また
画素電極が透明電極からなる場合にも問題なく修正でき
るので大変有利である。そして特に、透明或いは半透明
な真空チャック５０２を用いることで、非常に精度良く
且つ効率的に、輝点の検出から黒点化までの処理を一連
の処理として行うことが可能となる。

【０１２１】尚、一般に大量生産される電気光学装置に
対しては、本実施形態の如くマザー基板６００上で、修
正を実施すれば効率が高くなるが、マザー基板６００か
ら個々に分断された後の電気光学装置を対象として、輝
点の検出から黒点化までの処理を同様に実施することも
可能である。加えて、完成品の段階や、出荷後更にはユ
ーザによる使用後に、このような輝点の検出及び黒点化
を実施することも可能である。

【０１２２】（電子機器の実施形態）次に、以上詳細に
説明した電気光学装置をライトバルブとして用いた電子
機器の具体例として、複板式カラープロジェクタの実施
形態について、その全体構成、特に光学的な構成につい
て説明する。ここに図１２は、複板式カラープロジェク
タの図式的断面図である。

【０１２３】図１２において、本実施形態における複板
式カラープロジェクタの一例たる、液晶プロジェクタ１
１００は、駆動回路がＴＦＴアレイ基板上に搭載された
電気光学装置を含む液晶モジュールを３個用意し、夫々
ＲＧＢ用のライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００
Ｂとして用いたプロジェクタとして構成されている。液
晶プロジェクタ１１００では、メタルハライドランプ等
の白色光源のランプユニット１１０２から投射光が発せ
られると、３枚のミラー１１０６及び２枚のダイクロイ
ックミラー１１０８によって、ＲＧＢの３原色に対応す
る光成分Ｒ、Ｇ、Ｂに分けられ、各色に対応するライト
バルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂに夫々導かれ
る。この際特にＢ光は、長い光路による光損失を防ぐた
めに、入射レンズ１１２２、リレーレンズ１１２３及び
出射レンズ１１２４からなるリレーレンズ系１１２１を
介して導かれる。そして、ライトバルブ１００Ｒ、１０
０Ｇ及び１００Ｂにより夫々変調された３原色に対応す
る光成分は、ダイクロイックプリズム１１１２により再
度合成された後、投射レンズ１１１４を介してスクリー
ン１１２０にカラー画像として投射される。

【０１２４】本実施形態では特に、液晶プロジェクタ１
１００は、電気光学装置をＲＧＢ（赤色、緑色、青色）
用に３個用いた複板式カラープロジェクタとして構築さ
れている。ここで、製品規格上、Ｇ用の電気光学装置と
しては、例えば黒点個数は、ｎ１個（例えば、２〜３個
など）まで許されるが、輝点個数は１個も許されない。
これに対して、Ｒ用の電気光学装置としては、黒点個数
は、ｎ１より多いｎ２個まで許され、輝点個数も数個
（例えば、２〜３個）まで許される。Ｂ用の電気光学装
置としては更に、ｎ２より多くの個数ｎ３の黒点や輝点
が許される。従って、液晶プロジェクタ１１００におい
て、図１から図９を参照して説明した実施形態の如く、
黒点化による修正を施した電気光学装置を如何に組み合
わせるかについて、次のような各種方法が考えられる。

【０１２５】第１の方法としては、輝点個数及び黒点個
数を前述の如く検査した結果、Ｇ用としては不良品と判
定されるものの、Ｒ用及びＢ用としては良品であると判
定される電気光学装置に対して、前述の如く黒点化によ
る修正を施すことにより（図１０及び図１１参照）、Ｇ
用の基準を満たす電気光学装置の個数を相対的に増加さ
せる。即ち、黒点化による修正によって、規格が厳しい
が故に不足しがちなＧ用の電気光学装置の個数を増加さ
せることができ、効率的に液晶プロジェクタ１１００の
製造歩留まりを向上させられる。但し、この場合にも、
Ｒ用及びＢ用の電気光学装置の一部或いは全部について
黒点化による修正を行ってもよい。

【０１２６】或いは第２の方法としては、輝点個数及び
黒点個数を前述の如く検査した結果、例えば輝点が少な
いなど、製造品質が本来的に優れており黒点化による修
正を必要としない電気光学装置を、規格が厳しいＧ用や
Ｒ用の電気光学装置に優先的に割り振るようにして液晶
プロジェクタ１１００を製造してもよい。他方で、輝点
個数及び黒点個数を前述の如く検査した結果、例えば輝
点が多数個存在するなど、製造品質が本来的に劣ってお
り黒点化による修正を必要とする電気光学装置を、上述
の如く黒点化による修正を施した後（図１０及び図１１
参照）、製品規格が最も緩いＢ用の電気光学装置に割り
振るようにしてもよい。最も規格が緩いＢ用の黒点個数
さえクリアできれば、当該Ｂ用の電気光学装置として採
用可能となり、効率的に液晶プロジェクタ１１００の製
造歩留まりを向上させられる。但し、この場合にも、Ｇ
用やＲ用の電気光学装置の一部或いは全部について黒点
化による修正を行ってもよい。

【０１２７】或いは第３の方法としては、輝点個数及び
黒点個数を前述の如く検査した結果、例えば輝点が０個
であるなど、製造品質が本来的に大変優れており黒点化
による修正を必要としない電気光学装置を、規格が最も
厳しいＧ用の電気光学装置に、優先的に割り振るように
して液晶プロジェクタ１１００を製造してもよい。他方
で、輝点個数及び黒点個数を前述の如く検査した結果、
例えば輝点が複数個存在するなど、製造品質が本来的に
劣っており、黒点化による修正を必要とする電気光学装
置を、上述の如く黒点化による修正を施した後（図１０
及び図１１参照）、製品規格が緩いＢ用やＲ用の電気光
学装置に割り振るようにしてもよい。規格が緩いＢ用や
Ｒ用の黒点個数をクリアできれば、当該Ｂ用やＲ用の電
気光学装置として採用可能となり、効率的に液晶プロジ
ェクタ１１００の製造歩留まりを向上させられる。但
し、この場合にも、Ｇ用の電気光学装置の一部或いは全
部について黒点化による修正を行ってもよい。

【０１２８】これら第１から第３の方法のいずれを採用
するかは、製品規格上要求される輝点個数及び黒点個
数、大量生産或いはバッチ処理で多数の製造された電気
光学装置において検出される輝点個数及び黒点個数、黒
点化を用いた修正によるコストアップ、個々の電気光学
装置の製造コスト等の各種要因を総合的に勘案して、無
駄にする電気光学装置の個数を低減すると共に不要な黒
点化による修正工程を実行しなくて済むものを採用すれ
ばよい。

【０１２９】本発明は、上述した実施形態に限られるも
のではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる
発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能で
あり、そのような変更を伴なう電気光学装置、これを備
えた複板式カラープロジェクタ及び電子機器、並びに電
気光学装置の修正方法及び装置もまた本発明の技術的範
囲に含まれるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の電気光学装置に係る実施形態おける
ＴＦＴアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共
に対向基板の側から見た平面図である。

【図２】 図１のＨ−Ｈ’断面図である。

【図３】 各種状態にある、電気光学装置の実施形態に
おける画像表示領域１０ａの一部を拡大して図式的に示
す部分拡大平面図である。

【図４】 図３（ｃ）のＥ−Ｅ’断面を図式的に示す断
面図である。

【図５】 輝点が黒点化された構成の他の具体例を、図
４と同様の断面について示す断面図である。

【図６】 輝点が黒点化された構成の更に他の具体例
を、図４と同様の断面について示す断面図である。

【図７】 本発明の実施形態の電気光学装置における画
像表示領域を構成するマトリクス状の複数の画素に設け
られた各種素子、配線等の等価回路を示すブロック図で
ある。

【図８】 実施形態の電気光学装置におけるデータ線、
走査線、画素電極等が形成されたＴＦＴアレイ基板の相
隣接する複数の画素群の平面図である。

【図９】 図８のＡ−Ａ’断面図である。

【図１０】 電気光学装置の修正装置の図式的な斜視図
である。

【図１１】 図１０の修正装置を用いて実行する、電気
光学装置の修正方法のフローチャートである。

【図１２】 本発明の電子機器の実施形態である複板式
カラープロジェクタの一例たるカラー液晶プロジェクタ
を示す図式的断面図である。

【符号の説明】

９ａ…画素電極 １０…ＴＦＴアレイ基板 ２０…対向基板 ３０…ＴＦＴ ５０…液晶層 ３００…容量線 ５００…フルオートプローバ ５０２…真空チャック ５０４…バックライト ５０８…プローブカード ５１０…ＣＣＤ ５２０…テスタ ５３０…インクジェットヘッド ５３４…アラインメント装置 ９０１…開口領域 ９０２…非開口領域 ９０３…輝点 ９１０、９１０’、９１０”…不透明材料

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AA90 AB02 CA04 CB02 DA05 EA16 2H088 EA14 EA15 FA14 FA16 FA30 HA14 MA20 2H091 FA26Z FA34X FA34Z FA43Z FC30 FD14 GA01 LA30

Claims (19)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上に、複数の画素電極と、該画素電
   極に接続された電子素子又は配線とを備えており、 前記複数の画素電極に対応する複数の画素のうち不良化
   した画素の少なくとも一部については、不透明材料で覆
   われることによって黒点化されていることを特徴とする
   電気光学装置。
2. 【請求項２】 前記不良化した画素の少なくとも一部と
   は、黒点化されない場合に当該電気光学装置の動作状態
   で輝点となる画素であることを特徴とする請求項１に記
   載の電気光学装置。
3. 【請求項３】 前記基板の外表面における、前記不良化
   した画素に対向する領域に、前記不透明材料が塗布され
   ていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光
   学装置。
4. 【請求項４】 前記基板に対向配置されており前記基板
   との間で電気光学物質層を挟持する対向基板を更に備え
   ており、 前記対向基板の外表面における、前記不良化した画素に
   対向する領域に、前記不透明材料が塗布されていること
   を特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
5. 【請求項５】 前記基板に対して重ねられた板状の光学
   要素を更に備えており、 前記光学要素の外表面における、前記不良化した画素に
   対向する領域に、前記不透明材料が塗布されていること
   を特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
6. 【請求項６】 ノーマリーホワイトモードで駆動される
   ことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載
   の電気光学装置。
7. 【請求項７】 前記画素電極は透明電極からなり、前記
   電子素子は薄膜トランジスタからなることを特徴とする
   請求項１から６のいずれか一項に記載の電気光学装置。
8. 【請求項８】 請求項１から７のいずれか一項に記載の
   電気光学装置を具備することを特徴とする電子機器。
9. 【請求項９】 赤色用、青色用及び緑色用の三つのライ
   トバルブが組み合わされてなる複板式カラープロジェク
   タであって、 前記緑色用のライトバルブは、請求項１から７のいずれ
   か一項に記載の電気光学装置からなり、 前記赤色用及び前記青色用のライトバルブは夫々、基板
   上に、複数の画素電極と、該画素電極に接続された電子
   素子又は配線とを備え、前記複数の画素電極に対応する
   複数の画素のいずれについても黒点化されていない他の
   電気光学装置からなることを特徴とする複板式カラープ
   ロジェクタ。
10. 【請求項１０】 赤色用、青色用及び緑色用の三つのラ
    イトバルブが組み合わされてなる複板式カラープロジェ
    クタであって、 前記青色用のライトバルブは、請求項１から７のいずれ
    か一項に記載の電気光学装置からなり、 前記赤色用及び前記緑用のライトバルブは夫々、基板上
    に、複数の画素電極と、該画素電極に接続された電子素
    子又は配線とを備え、前記複数の画素電極に対応する複
    数の画素のいずれについても黒点化されていない他の電
    気光学装置からなることを特徴とする複板式カラープロ
    ジェクタ。
11. 【請求項１１】 赤色用、青色用及び緑色用の三つのラ
    イトバルブが組み合わされてなる複板式カラープロジェ
    クタであって、 前記青色用及び前記赤色用のライトバルブは夫々、請求
    項１から７のいずれか一項に記載の電気光学装置からな
    り、 前記緑用のライトバルブは、基板上に、複数の画素電極
    と、該画素電極に接続された電子素子又は配線とを備
    え、前記複数の画素電極に対応する複数の画素のいずれ
    についても黒点化されていない他の電気光学装置からな
    ることを特徴とする複板式カラープロジェクタ。
12. 【請求項１２】 基板上に、複数の画素電極と、該画素
    電極に接続された電子素子又は配線とを備えた電気光学
    装置を修正する電気光学装置の修正方法であって、 前記電子素子又は配線を介して前記画素電極に所定信号
    を印加しつつ前記電気光学装置の動作時における輝点個
    所を検出する検出工程と、 前記検出された輝点個所を、不透明材料で覆うことによ
    って黒点化する黒点化工程とを含むことを特徴とする電
    気光学装置の修正方法。
13. 【請求項１３】 前記電気光学装置は、前記基板に対向
    配置されており前記基板との間に電気光学物質層が封入
    される対向基板を更に備えており、 前記検出工程及び前記黒点化工程は、前記電気光学物質
    層が封入された後に実行されることを特徴とする請求項
    １２に記載の電気光学装置の修正方法。
14. 【請求項１４】 前記黒点化工程は、液的吐出ヘッドか
    ら前記不透明材料を吐出することによって黒点化するこ
    とを特徴とする請求項１２又は１３に記載の電気光学装
    置の修正方法。
15. 【請求項１５】 基板上に、複数の画素電極と、該画素
    電極に接続された電子素子又は配線とを備えた電気光学
    装置を修正する電気光学装置の修正装置であって、 前記電子素子又は配線を介して前記画素電極に所定信号
    を印加しつつ前記電気光学装置の動作時における輝点個
    所を検出する検出装置と、 前記検出された輝点個所を、不透明材料で覆うことによ
    って黒点化する黒点化装置とを備えたことを特徴とする
    電気光学装置の修正装置。
16. 【請求項１６】 前記黒点化装置は、前記不透明材料を
    吐出する液的吐出ヘッドを備えたことを特徴とする請求
    項１５に記載の電気光学装置の修正装置。
17. 【請求項１７】 前記検出装置は、 前記所定信号を印加するプローブと、 該プローブを前記電気光学装置に対して位置決めする位
    置決め手段とを備えたことを特徴とする請求項１５又は
    １６に記載の電気光学装置の修正装置。
18. 【請求項１８】 前記検出装置は、前記輝点個所を撮像
    すると共に該撮像された輝点個所の前記基板上における
    座標を特定する撮像装置を備え、 前記黒点化装置は、黒点化を実行する所定位置に対し
    て、前記特定された座標に応じて前記基板を位置合わせ
    するアラインメント装置を備えたことを特徴とする請求
    項１５から１７のいずれか一項に記載の電気光学装置の
    修正装置。
19. 【請求項１９】 前記検出装置は、 前記電気光学装置を固定する透明或いは半透明の真空チ
    ャックと、 該真空チャックの背面に配置されており、該真空チャッ
    クを介して前記電気光学装置に光源光を照射するバック
    ライトとを備えたことを特徴とする請求項１５から１８
    のいずれか一項に記載の電気光学装置の修正装置。