JP2003227777A - マルチポート光学装置の測定 - Google Patents
マルチポート光学装置の測定Info
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Abstract
提供すること。 【解決手段】m個の入力(m=1,2,3,...,M)及びn個の出力
(n=1,2,3,...,N)を有する検査対象光学装置(DUT(10))の
少なくとも1つの入力に、特徴の異なる複数の刺激信号
(Si)を印加することにより、該DUTを検査する。n個の出
力のうちの少なくとも1つにおいて応答信号(Ri)を受信
し、印加した前記刺激信号またはその指示を用いて該応
答信号を評価することにより、DUT(10)の特性を判定ま
たは検証することができる。前記特徴の異なる複数の刺
激信号は、個別に印加された各刺激信号を応答信号にお
いて追跡(存在の確認、即ち検出可能閾値を超えている
か否かの確認)できるような方法で印加される。
Description
コネクトなどのマルチポート光学装置の測定に関する。 【0002】 【従来の技術】複数の出力と複数の入力とを接続するク
ロスコネクトなどの光学マルチポート装置の検査業務
は、現代の光電気通信産業においてその重要度が益々高
まっている。これらのマルチポート装置は幅広い様々な
接続オプションを提供するため、各オプションの検査や
検証及び光学特性や望ましくない副作用の測定には極め
て長時間を要することになる。例えばn×nクロスコネ
クト(入力数がnで出力数もn)の場合、発生し得る2
n通り、或いは場合によっては、n!通りもの切り換え
パターンの各々を検査する必要がある。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、マル
チポート光学装置用の改良された検査方法を提供するこ
とである。この目的は独立請求項の発明によって解決さ
れ、好適な実施形態は従属請求項に示される。 【0004】 【課題を解決するための手段】本発明によれば、m個の
入力(m=1、2、3、...、M)とn個の出力(n
=1、2、3、...、N)とを有する検査対象光学装
置(DUT)のm個の入力の中の少なくとも1つに複数
の特徴が異なる刺激信号を印加することによって該DU
Tを検査する。n個の出力の中の少なくとも1つにおい
て受信した応答信号を、印加した刺激信号又は少なくと
も1つのその指示と共に評価装置へ提供する。該評価装
置は、これらの受信応答信号と刺激の指示から、光学特
性(例えば挿入損失、クロストーク、又はアイソレーシ
ョンなど)や装置特性の検証(例えば異なる入出力間の
経路の接続、スイッチマトリックス)などのDUTの特
性を判定する。 【0005】刺激信号は、個別に印加された各刺激信号
を受信応答信号において追跡(存在の確認、検証可能閾
値を超えているか否かの確認)できるように提供しなけ
ればならない。この「追跡」という用語は、印加された
刺激信号のうちの少なくとも一部を受信応答信号におい
て識別することを意味しており、印加された刺激信号に
関する識別部分の定量分析も含まれる。 【0006】又、印加刺激信号の「指示」という用語
は、応答信号においてこの刺激信号を追跡することが可
能なあらゆる種類の代表的な情報を意味している。 【0007】各刺激信号は、受信された各応答信号にお
いて各刺激信号(或いは、その一部)を明確に識別でき
るようにする固有の特徴を提供するものが望ましい。受
信した各応答信号において特徴のある印加刺激信号の各
々の部分を追跡する能力により、複数の刺激信号を同時
に、或いは少なくとも実質的に同時に印加することが可
能となり、この結果、検査時間を大幅に短縮できる。 【0008】一実施例において、各刺激信号は搬送波部
分及び識別部分から構成される。搬送波部分と識別部分
とのうちの少なくとも一方は、各受信応答信号において
各刺激信号(或いはその一部)を明確に識別する固有の
特徴を有する。一実施例において、この搬送波部分は印
加される刺激信号の全部または一部について同一または
実質的に同一のものであるが、異なる搬送波部分を印加
することもできる。この固有の部分は、応答信号におい
て明瞭且つ明確に追跡できるように選択しなければなら
ない。つまり、応答信号を評価するために提供する追跡
手段すなわち識別手段は、識別部分に適用する際にその
識別の種類に適したものにする必要がある。 【0009】固有の識別部分を提供するものであれば、
およそあらゆる適当な識別手段を適用することも可能で
あるが、特に変調(例:強度、振幅、位相、又は周波数
変調)によると非常に有効な追跡を実行できることが判
明しており、特に、加えられた光の強度に反応する標準
的なパワーメーターで応答信号を検出する場合に適して
いる。但し、符号化(例:固有のデータ内容による符号
化)などのその他の識別手段も同様に適用可能である。 【0010】刺激信号の搬送波部分は、実質的に同一或
いは同一のものでよく、同一の光源から取り出したもの
でよいが、同一のアプリケーションが異なる搬送波部分
を必要とする場合もある。特にDUTが波長ごとに異な
る経路(例:伝送経路)を提供する場合には、波長の異
なる複数の搬送波部分を提供する場合もある。 【0011】DUTが少なくとも2つの入力を有する好
適な実施例においては、入力の中の2つ以上(望ましく
は、入力のすべて)の各々が、搬送波部分は共通してい
るが識別部分が固有である異なる刺激信号を受信する。 【0012】DUTが少なくとも1つの搬送波依存型入
力(例:DUTの動作が印加した搬送波部分に依存する
入力)を有する別の好適な実施例においては、この搬送
波依存型入力は、異なる搬送波部分及び/又は異なる固
有の識別部分を各々が備えた少なくとも2つの異なる刺
激信号を受信する。異なる波長について異なる伝送経路
を有するDUTの例においては、同時に印加される各搬
送波部分の波長が異なる。 【0013】一実施例においては、複数の刺激信号の搬
送波は複数の異なる搬送波部分から構成され、各印加刺
激信号は異なる固有の識別部分を有する。これは、例え
ば、複数の異なる搬送波部分を既に提供している広帯域
光源を使用することによって実現できる。 【0014】好適な一実施例においては、当該技術分野
で知られた変調手段を適用することによって各刺激信号
の固有の識別部分を提供している。搬送波部分を表す搬
送波信号を変調することによって振幅変調を行うのが望
ましい。振幅変調は搬送波信号の強度を変調することに
よって実行できる。そして、応答信号は、受信した光信
号を電気信号に変換する一般的なパワーメーター(例え
ばフォトダイオードによるもの)を使用して検出可能で
ある。評価装置では、各受信応答信号における固有の識
別部分(又はその一部)の追跡に当該技術分野で知られ
た各種評価方法を適用できる。つまり、評価装置は、異
なる各刺激信号とそれらの刺激信号のDUTの入力への
配分についての知識とを利用し、要求されているDUT
の特性(例えば各伝送経路の挿入損失、異なる伝送経路
間のクロストーク又はアイソレーション、或いは入出力
間の接続体系(予想されているもの及び予想外のもの)
など)を判定することができる。 【0015】時間領域における望ましい評価方法の例と
しては、同期復調、相関、回帰アルゴリズム(例:3パ
ラメータフィット)がある。中間周波数(ZF)上での
転送やフィルターバンクのような前処理法を追加または
代替として適用することもできる。又、周波数領域にお
いては、例えば、フーリエ変換(例:高速フーリエ変換
−FFT)又は相関を適用可能である。しかしながら、
その他の或いは複数の評価方法も同様に適用可能である
のは明らかである。 【0016】大部分の一般的に入手可能な検出器(例え
ばフォトダイオードなど)による光信号から電気信号へ
の変換においては、通常、光信号の強度の変動には非常
に敏感に反応するが波長の変動にはさほどでもないた
め、振幅変調が特に有用である。 【0017】振幅変調を適用する好適な実施例において
は、変調周波数範囲としてサブ超音波帯(特に100M
Hz未満の範囲)をカバーするものが望ましい。しかし
ながら、適用される変調周波数範囲は、通常、関連する
コンポーネントの帯域幅によしか制限されない。最新技
術を提供する際の最大の制限要素は、所定の入力帯域幅
で光の強度を測定する装置(例えばフォトダイオードな
ど)である。この最大変調周波数は、パワー値のサンプ
リングレートをFs、望ましい最高変調周波数をFma
xとすると、Fmax≦Fs/4に制限される。従っ
て、使用するパワーメーターの入力帯域幅は、通常、概
ねFs/4の範囲内にある。 【0018】少なくとも2つの特徴の異なる刺激信号を
並行して(例えば、同時に或いは実質的に同時に(即
ち、短時間の間に))印加するのが望ましい。受信した
各応答信号において独立的に追跡可能であるという本発
明における刺激信号の規定により、このような複数の刺
激信号の並行的な印加が可能になっていることが理解さ
れるであろう。この結果、特に多数の入力及び/又は出
力を有するm×n装置を検査する際、即ち検査対象とな
る接続可能パターンを装置が多数提供している場合に検
査時間の大幅な短縮が可能となる。但し、刺激信号を連
続的又は擬似並行モードで印加可能であることも明らか
である。 【0019】本発明は、光クロスコネクタ、光スイッ
チ、又はスイッチファブリックなどの光学マルチポート
装置の検査において特に有用であることが判明してお
り、特に入力及び/又は出力の数が多数に上る場合に有
用である。1つの入力と1つの出力との間の伝送経路を
開閉可能なm個の入力とn個の出力を有するスイッチの
場合、例えば、スイッチ全体の損失又はクロストークを
測定するには、通常、m個の入力及び接続されているす
べての伝送経路の各々に異なる刺激信号を同時に印加す
る測定を1回行えば十分である。m個の入力の各々をn
個の出力の中の1つに選択的に経路設定可能な光クロス
コネクトの場合は、通常、同様にm回の測定を実行すれ
ば十分である。但し、本発明を使用し、あらゆるm×n
マルチポート装置を検査できることは明らかである。 【0020】本発明を部分的又は全体的に1つ以上の適
切なソフトウェアプログラムによって実施又はサポート
できることは明らかであり、それらのソフトウェアプロ
グラムはあらゆる種類のデータ媒体上に保存、或いはそ
れらのデータ媒体から提供可能であり、適切な処理装置
内で、或いは処理装置によって実行できる。刺激信号の
印加及び/又は規定を制御したり(例:1つ以上の信号
ソース及び/又は変調装置の制御)、応答信号の評価
(例:評価装置による評価)のためにソフトウェアプロ
グラム又はルーチンを提供することが望ましい。 【0021】本発明のその他の目的と付随する多数の利
点は、添付の図面を参照しつつ以下の詳細な説明を参照
することによって容易に判明し、理解することができ
る。実質的又は機能的に等しい或いは類似の要素は、同
一の参照符号によって参照されている。 【0022】 【発明の実施の形態】図1において、m個の入力とn個
の出力とを有する検査対象装置(DUT)10を検査す
るものとする(m、n=1、2、3、...、N)。m
個の入力の各々は特徴の異なる刺激信号Si(i=1、
2、3、...、m)を受信し、n個の出力の各々は応
答信号Rj(j=1、2、3、...、n)を提供す
る。各応答信号Rjは、個別の検出器20−jによって
受信され、この検出された応答信号は評価装置30に提
供される。該評価装置30は、各刺激信号Si又は各刺
激信号Siの少なくとも1つの指示を更に受信し、これ
によって応答信号Rjにおいて各印加刺激信号Si(又は
対応するその一部)を明白に識別することが可能になっ
ている。 【0023】動作の際には、すべての刺激信号Siを並
行して(望ましくは同時に)DUT10に印加し、得ら
れた応答信号Rjを個別の検出器20−jにより検出し
て評価装置30へ提供する。評価装置30は、DUT1
0の少なくとも1つの光学特性を導出するため、各刺激
信号Siの固有の特徴に関する知識を利用して応答信号
Rjを評価する。このような光学特性としては、例え
ば、挿入損失、クロストーク、アイソレーション、ある
いは、入出力間の所望の伝送経路の検証などがある。 【0024】好適な実施例において、各刺激信号S
iは、個別の変調装置40−iによって提供される。各
変調装置40−iは、搬送波信号Ciおよび変調信号Mi
を受信し、それらから刺激信号Siを生成する。 【0025】好適な実施例において、各変調装置40−
iは、印加した搬送波信号Ciの光強度を変調するため
の振幅変調を実行する。この実施例の場合、搬送波信号
Ciは、すべて同一又は少なくとも実質的に同一であっ
てもよく、或いは、同一光源から取り出したものであっ
てもよい。その場合には、固有の刺激信号Siの各々に
ついての指示として、変調信号Mi、または変調周波数
fiなどのそれに対応する指示又は表現のみを提供すれ
ば十分である。 【0026】この振幅変調を適用する実施例において
は、検出器20−jは、例えば、従来のフォトダイオー
ドによって実現可能である。評価装置30は、応答信号
Rjの各々における周波数成分fiを検出する。図1の右
側は、刺激信号S1及びSmから生じた検出周波数成分f
1及びfmの例を示している。アプリケーションに応じ
て、評価装置30は、受信した周波数成分の強度を互い
に組み合わせて処理することにより、挿入損失、アイソ
レーション、又はクロストークを判定する。このような
処理方法は当該技術分野でよく知られているので、本明
細書では詳細説明を省略する。一般的なアルゴリズムと
しては、周波数領域での相関又はフーリエ変換(例えば
高速フーリエ変換)などが可能があり、例えば、3パラ
メータフィットなどの同期復調、相関、回帰アルゴリズ
ムがある(これらは更に中間周波数(ZF)での転送や
フィルタバンクなどの前処理法と組み合わせることがで
きる)。 【0027】スイッチファブリック100を検査する好
適な実施例が図2に示されており、これは特にいわゆる
3D MEMS(Micro Electro Mec
hanical Systems)用の一般的モデルを
表している。本実施例における光スイッチファブリック
100は、I1、I2、I3、及びI4という4つの入力と
O1、O2、O3、又はO4という4つの出力を有してい
る。但し、入力と出力の数に制限がないことは明らかで
ある。これらの入力の各々は、出力のいずれかに接続で
きる。例えば、可能な接続が、例えば入力I1と出力O1
との間の接続として図2にスイッチ110により示され
ている。尚、その他の接続も同様に提供可能であること
はいうまでもない。 【0028】スイッチファブリック100を検査するた
め、特徴の異なる刺激信号S1−S4を入力I1−I4に同
時に印加して測定を4回実施する。対応する応答信号R
1−R4を出力O1−O4で測定する。各測定ごとにスイッ
チファブリック100のマトリックス接続構造の1ライ
ンを測定するのが望ましい。これが図2の4×4スイッ
チファブリック例において測定が4回である理由であ
る。従って、m×mスイッチファブリックの場合は、少
なくともm回の測定が必要となる。 【0029】図3Aは、合波器又は分波器装置200を
検査するための原理を示している。装置200が合波器
として設けられるか分波器として設けられるかは、装置
200を動作させる方向、即ち、(図3Aにおいて)信
号を左側から印加するのか(分波器の場合)右側から印
加するのか(合波器の場合)によって決まる。 【0030】分波器形態の場合、装置200は1つの入
力とn個の出力とを有する。装置200の入力(左側)
に印加された信号は、装置200の構成及び入力信号の
波長に応じて装置200のn個の出力(右側)の中の1
以上に提供される。装置200を検査するためには、波
長が異なる搬送波信号と異なる固有の識別部分とを各々
が有する複数の刺激信号を同時に装置200の入力に提
供する。そして前述のように、応答信号Rjを検出して
分析する。合波器形態の装置200を検査するために
は、図3Aの右側から刺激信号Sjを提供し、応答信号
Rjを装置200の左側で検出する。 【0031】合波器/分波器装置200を検査するため
の図3Aに示した原理と同じ原理は、図3Bに示した光
クロスコネクトの検査にも適用することができる。この
光クロスコネクトは、1つの入力をm個の出力に分離す
るための1×m分波器装置200、m個の入力をn個の
出力に切り換えるm×nスイッチファブリック100、
及びn個の入力を1つの出力に多重化するn×1合波器
装置200から構成される。 【0032】以下においては、本発明の種々の構成要件
の組み合わせからなる例示的な実施態様を示す。 1.m個の入力(m=1、2、3、...、N)とn個の
出力(n=1、2、3、...、N)とを有する検査対象
光学装置(DUT)の特性を判定または検証するための
システムであって、特徴の異なる複数の刺激信号(S
i)が前記m個の入力のうちの少なくとも1つに供給さ
れるものにおいて、前記n個の出力のうちの少なくとも
1つにおいて応答信号(Ri)を受信するための信号受
信装置(20)と、印加された前記刺激信号(Si)の
うちの少なくとも1つまたはその指示を用いて受信した
前記応答信号を評価することにより、前記DUT(1
0)の特性を判定または検証するための評価装置(3
0)と、からなるシステム。 2.前記評価装置(30)は、受信した前記応答信号の
各々において、印加された前記刺激信号の少なくとも一
部を識別するようになっている、請求項1のシステム。 3.前記評価装置(30)は、印加された前記刺激信号
について識別された部分の定量分析を提供するようにな
っている、請求項2のシステム。 4.m個の入力(m=1、2、3、...、N)とn個の
出力(n=1、2、3、...、N)とを有する検査対象
光学装置(DUT)を検査するためのシステムであっ
て、特徴の異なる複数の刺激信号(Si)を前記m個の
入力のうちの少なくとも1つに印加するための信号印加
装置(40)と、請求項1から3のうちのいずれか1項
に記載のDUT(10)の特性を判定または検証するた
めのシステムと、からなるシステム。 5.前記信号印加装置(40)は、受信した各応答信号
(Ri)において個別に印加された各刺激信号(Si)
を追跡(存在の確認、即ち検出可能閾値を超えているか
否かの確認)できるように前記特徴の異なる複数の刺激
信号(Si)を印加する、請求項4のシステム。 6.前記信号印加装置(40)は、固有の異なる特徴を
有する複数の刺激信号(Si)を印加することにより、
受信した各応答信号において各刺激信号またはその一部
を明確に識別できるようにしている、請求項4または5
に記載のシステム。 7.前記信号印加装置(40)は搬送波部分と識別部分
とを有する特徴の異なる複数の刺激信号(Si)を印加
するようになっており、該搬送波部分と識別部分とのう
ちの少なくとも一方が受信した各応答信号において各刺
激信号またはその一部を明確に識別できるようにする固
有の特徴を含む、請求項4〜6のうちのいずれか1項に
記載のシステム。 8.前記信号印加装置(40)は、特徴の異なる複数の
刺激信号(Si)を生成するための変調または符号化を
提供するようになっている、請求項1のシステム。 9.前記信号印加装置(40)は、前記特徴の異なる複
数の刺激信号(Si)のうちの少なくともいくらかを並
列に、好ましくは同時にまたは少なくとも実質的に同時
に提供するようになっている、請求項1及び5〜8のう
ちのいずれか1項に記載のシステム。 10.特徴の異なる複数の光学刺激信号(Si)を、m
個の入力(m=1、2、3、...、N)とn個の出力
(n=1、2、3、...、N)とを有する検査対象光学
装置(DUT)の、少なくとも1つの前記入力に印加す
るための信号印加装置(40)。 11.特徴の異なる複数の刺激信号(Si)であって該
刺激信号の各々が各刺激信号を明確に識別することを可
能にする固有の特徴を有する複数の刺激信号(Si)を
印加するようになっている、請求項10の信号印加装置
(40)。 12.前記信号印加装置(40)が搬送波部分及び/又
は識別部分を有する特徴の異なる複数の刺激信号(S
i)を印加するようになっており、前記搬送波部分及び
識別部分のうちの少なくとも一方が受信した各応答信号
において各刺激信号またはその一部を明確に識別するこ
とを可能にする固有の特徴を含む、請求項10または1
1の信号印加装置。 13.前記特徴の異なる複数の刺激信号(Si)を生成
するための変調または符号化を提供する装置を含む、請
求項10〜12のうちのいずれか1項に記載の信号印加
装置(40)。 14.前記信号印加装置(40)は前記特徴の異なる複
数の刺激信号(Si)のうちの少なくともいくつかを平
行に、好ましくは同時にまたは少なくとも実質的に同時
に提供するようになっている、請求項10〜13のうち
のいずれか1項に記載の信号印加装置(40)。 15.m個の入力(m=1、2、3、...、N)とn個
の出力(n=1、2、3、...、N)とを有する検査対
象光学装置(DUT)を検査するためのシステムであっ
て、特徴の異なる複数の刺激信号(Si)を前記m個の
入力のうちの少なくとも1つに印加するための信号印加
装置(40)と、前記n個の出力のうちの少なくとも1
つにおいて応答信号(Ri)を受信するための信号受信
装置(20)と、印加した前記刺激信号(Si)のうち
の少なくとも1つまたはその指示を用いて受信した前記
応答信号を評価することにより、前記DUT(10)の
特性を判定または評価するための評価装置(30)と、
からなるシステム。 16.前記信号印加装置(40)は、受信した各応答信
号(Ri)において個別に印加された各刺激信号(S
i)を追跡(存在の確認、即ち検出可能閾値を超えてい
るか否かの確認)できるように前記特徴の異なる複数の
刺激信号(Si)を印加する、請求項15のシステム。 17.前記評価装置(30)は、受信した各応答信号に
おいて、印加された前記刺激信号の少なくとも一部を識
別するようになっている、請求項15または16に記載
のシステム。 18.前記評価装置(30)は、印加された前記刺激信
号について前記識別された部分の定量分析を提供するよ
うになっている、請求項16のシステム。 19.前記信号印加装置(40)は、特徴の異なる複数
の刺激信号(Si)であって該刺激信号の各々が受信し
た各応答信号において各刺激信号またはその一部を明確
に識別することを可能にする固有の特徴を有する複数の
刺激信号(Si)を印加するようになっている、請求項
15〜18のうちのいずれか1項に記載のシステム。 20.前記信号印加装置(40)は搬送波部分及び/又
は識別部分を有する特徴の異なる複数の刺激信号(S
i)を印加するようになっており、前記搬送波部分及び
識別部分のうちの少なくとも一方が受信した応答信号に
おいて各刺激信号またはその一部を明確に識別すること
を可能にする固有の特徴を含む、請求項15〜19のう
ちのいずれか1項に記載のシステム。 21.前記信号印加装置(40)は特徴の異なる複数の
刺激信号(Si)を生成するための変調または符号化を
提供するようになっている、請求項15〜20のうちの
いずれか1項に記載のシステム。 22.前記信号印加装置(40)は前記特徴の異なる複
数の刺激信号(Si)を平行に、好ましくは同時にまた
は少なくとも実質的に同時に提供するようになってい
る、請求項16〜21のうちのいずれか1項に記載のシ
ステム。 23.m個の入力(m=1、2、3、...、N)とn個
の出力(n=1、2、3、...、N)とを有する検査対
象光学装置(DUT)の特性を判定または検証するため
の方法であって、(a)前記m個の入力のうちの少なく
とも1つに印加された特徴の異なる複数の刺激信号(S
i)に応答して前記m個の出力のうちの少なくとも1つ
において応答信号(Ri)を受信するステップと、
(b)印加された前記刺激信号(Si)のうちの少なく
とも1つまたはその指示を用いて受信した前記応答信号
を評価することにより、前記DUT(10)の特性を判
定または検証するステップと、からなる方法。 24.m個の入力(m=1、2、3、...、N)とn個
の出力(n=1、2、3、...、N)とを有する検査対
象光学装置(DUT)を検査するための方法であって、
(a)特徴の異なる複数の刺激信号(Si)を前記m個
の入力のうちの少なくとも1つに印加するステップと、
(b)前記n個の出力のうちの少なくとも1つにおいて
応答信号(Ri)を受信するステップと、(c)印加さ
れた刺激信号(Si)のうちの少なくとも1つまたはそ
の指示を用いて受信した応答信号を評価することによ
り、前記DUTの特性を判定または検証するステップ
と、からなる方法。 25.前記ステップ(a)において印加される特徴の異
なる複数の刺激信号(Si)は、前記ステップ(c)で
受信された各応答信号(Ri)において、印加された個
々の刺激信号(Si)を追跡(存在の確認、即ち検出可
能閾値を超えているか否かの確認)できるように印加さ
れる、請求項24の方法。 26.前記ステップ(a)は、各刺激信号(Si)を明
確に変調または符号化するステップを含む、請求項24
または25の方法。 27.前記ステップ(a)において、前記特徴の異なる
複数の刺激信号(Si)のうちの少なくともいくつかが
平行に、好ましくは同時にまたは少なくとも実質的に同
時に印加される、請求項24〜26のうちのいずれか1
項に記載の方法。 28.特徴の異なる複数の刺激信号(Si)を、m個の
入力(m=1、2、3、...、N)とn個の出力(n=
1、2、3、...、N)とを有する検査対象光学装置
(DUT)の少なくとも1つの入力に印加するための方
法であって、(a)搬送波部分及び/又は識別部分を有
する特徴の異なる複数の刺激信号であって該搬送波部分
と識別部分とのうちの少なくとも一方が各々の刺激信号
を明確に識別する固有の特徴を有する複数の刺激信号を
印加するステップを含む方法。 29.前記特徴の異なる複数の刺激信号(Si)を生成
するための変調または符号化のステップをさらに含む、
請求項28の方法。 30.前記特徴の異なる複数の刺激信号(Si)のうち
の少なくともいくつかを平行に、好ましくは同時にまた
は少なくとも実質的に同時に印加するステップを含む、
請求項28または29の方法。 【0033】 【発明の効果】本発明は、上記のように構成することに
より、光学装置を検査する際、その入力に加える刺激信
号を同時に印加することが可能になるため、検査時間を
大幅に短縮することが可能になる。
を示す図である。 【図3】その他の検査機構を示す図である。 【符号の説明】 10 検査対象光学装置(DUT) 20 信号受信装置 30 評価装置 40 信号印加装置 Si 刺激信号 Ri 応答信号
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】m個の入力(m=1、2、3、...、N)
とn個の出力(n=1、2、3、...、N)とを有する
検査対象光学装置(DUT)の特性を判定または検証す
るためのシステムであって、特徴の異なる複数の刺激信
号(Si)が前記m個の入力のうちの少なくとも1つに
供給されるものにおいて、 前記n個の出力のうちの少なくとも1つにおいて応答信
号(Ri)を受信するための信号受信装置(20)と、 印加された前記刺激信号(Si)のうちの少なくとも1
つまたはその指示を用いて受信した前記応答信号を評価
することにより、前記DUT(10)の特性を判定また
は検証するための評価装置(30)と、 からなるシステム。
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